JP2003115742A - 弾性表面波変換器 - Google Patents
弾性表面波変換器Info
- Publication number
- JP2003115742A JP2003115742A JP2001308227A JP2001308227A JP2003115742A JP 2003115742 A JP2003115742 A JP 2003115742A JP 2001308227 A JP2001308227 A JP 2001308227A JP 2001308227 A JP2001308227 A JP 2001308227A JP 2003115742 A JP2003115742 A JP 2003115742A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- electrode
- thin film
- wave converter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐電力性を改善するために異種金属を積層し
て構成したＩＤＴ電極の電池効果による腐食を防止する
手段を得る。 【解決手段】 圧電基板上に異種金属薄膜を積層付着し
て形成した弾性表面波変換器であって、該弾性表面波変
換器を構成する電極指の上面及び両側面を覆うように絶
縁物質の薄膜を付着して弾性変換器を形成する。
て構成したＩＤＴ電極の電池効果による腐食を防止する
手段を得る。 【解決手段】 圧電基板上に異種金属薄膜を積層付着し
て形成した弾性表面波変換器であって、該弾性表面波変
換器を構成する電極指の上面及び両側面を覆うように絶
縁物質の薄膜を付着して弾性変換器を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波変換器に
関し、特に異種金属を積層して構成した弾性表面波変換
器（ＩＤＴ電極）に生ずる、所謂電池効果に起因する金
属膜の腐食を防止した弾性表面波変換器の構造に関す
る。
関し、特に異種金属を積層して構成した弾性表面波変換
器（ＩＤＴ電極）に生ずる、所謂電池効果に起因する金
属膜の腐食を防止した弾性表面波変換器の構造に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＳＡＷデバイスは通信分野で広く
利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有す
ることから特に携帯電話機等に多く用いられている。図
４（ａ）は携帯電話のＲＦフィルタに用いられる１次−
３次縦結合二重モードＳＡＷフィルタ（以下、二重モー
ドＳＡＷフィルタと称す）の構成を示す平面図であっ
て、圧電基板１１の主表面上に表面波の伝搬方向に沿っ
てＩＤＴ電極１２、１３、１４を近接配置すると共に、
該ＩＤＴ電極１２、１３、１４の両側にグレーティング
反射器（以下、反射器と称す）１５ａ、１５ｂを配設す
る。ＩＤＴ電極１２、１３、１４はそれぞれ互いに間挿
し合う複数の電極指を有する一対のくし形電極から形成
され、中央のＩＤＴ電極１２の一方のくし形電極を入力
端子ＩＮにワイヤボンディング等を用いて接続すると共
に、他方のくし形電極を接地する。さらに、外側のＩＤ
Ｔ電極１３、１４のくし形電極同士を圧電基板１１上に
形成したリード電極にてそれぞれ接続するとすると共
に、一方のリード電極を出力端子ＯＵＴに接続し、他方
のリード電極を接地して二重モードＳＡＷフィルタを構
成する。
利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有す
ることから特に携帯電話機等に多く用いられている。図
４（ａ）は携帯電話のＲＦフィルタに用いられる１次−
３次縦結合二重モードＳＡＷフィルタ（以下、二重モー
ドＳＡＷフィルタと称す）の構成を示す平面図であっ
て、圧電基板１１の主表面上に表面波の伝搬方向に沿っ
てＩＤＴ電極１２、１３、１４を近接配置すると共に、
該ＩＤＴ電極１２、１３、１４の両側にグレーティング
反射器（以下、反射器と称す）１５ａ、１５ｂを配設す
る。ＩＤＴ電極１２、１３、１４はそれぞれ互いに間挿
し合う複数の電極指を有する一対のくし形電極から形成
され、中央のＩＤＴ電極１２の一方のくし形電極を入力
端子ＩＮにワイヤボンディング等を用いて接続すると共
に、他方のくし形電極を接地する。さらに、外側のＩＤ
Ｔ電極１３、１４のくし形電極同士を圧電基板１１上に
形成したリード電極にてそれぞれ接続するとすると共
に、一方のリード電極を出力端子ＯＵＴに接続し、他方
のリード電極を接地して二重モードＳＡＷフィルタを構
成する。
【０００３】図４（ｂ）は同図（ａ）のＱ−Ｑにおける
断面図の一部を拡大し、ＩＤＴ電極１２の電極指１２’
の断面図を示す図である。ＩＤＴ電極１２、１３、１４
及び反射器１５ａ、１５ｂの電極材料としては、電気抵
抗が小さいこと、質量が小さいこと等からアルミニウム
（Ａｌ）あるいはアルミニウムに微量の異種金属（銅な
ど）を添加したアルミニウム合金が用いられるのが一般
的である。
断面図の一部を拡大し、ＩＤＴ電極１２の電極指１２’
の断面図を示す図である。ＩＤＴ電極１２、１３、１４
及び反射器１５ａ、１５ｂの電極材料としては、電気抵
抗が小さいこと、質量が小さいこと等からアルミニウム
（Ａｌ）あるいはアルミニウムに微量の異種金属（銅な
ど）を添加したアルミニウム合金が用いられるのが一般
的である。
【０００４】数年前より携帯電話機のさらなる小型化、
軽量化を図るために、アンテナ分波器に用いられていた
誘電体フィルタをＳＡＷフィルタにて置換する試みがな
されている。このためには特に、ＲＦ段の送信用に用い
られるＳＡＷフィルタの耐電力性を向上する必要があ
り、種々の耐電力性改善が提案されている。例えば、特
開平７−１２２９６１には図５に示すように圧電基板１
１上に形成した電極指１６、１６をアルミニウム−銅合
金１７、銅１８、アルミニウム−銅合金１９の三層膜電
極構造とし、熱処理温度を適切に選ぶことによりアルミ
ニウムの粒径を小さくし、しかもそれぞれの電極膜厚を
適切に設定することにより内部応力を制御して電力に対
する寿命を延ばすことができたと記述している。
軽量化を図るために、アンテナ分波器に用いられていた
誘電体フィルタをＳＡＷフィルタにて置換する試みがな
されている。このためには特に、ＲＦ段の送信用に用い
られるＳＡＷフィルタの耐電力性を向上する必要があ
り、種々の耐電力性改善が提案されている。例えば、特
開平７−１２２９６１には図５に示すように圧電基板１
１上に形成した電極指１６、１６をアルミニウム−銅合
金１７、銅１８、アルミニウム−銅合金１９の三層膜電
極構造とし、熱処理温度を適切に選ぶことによりアルミ
ニウムの粒径を小さくし、しかもそれぞれの電極膜厚を
適切に設定することにより内部応力を制御して電力に対
する寿命を延ばすことができたと記述している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＳＡＷ
デバイスを製作する際にウエハーを切断し、チップ個片
に分割する工程においてはダイシング装置の冷却水や、
空気に触れている間の吸湿作用等により、異種金属を積
層した電極膜に水分が付着することになる。例えば、ア
ルミニウムや銅のような異種金属を積層した電極膜に、
水分が付着すると異種金属間にイオン化傾向による電位
差が発生し、電流がながれる、所謂電池効果により積層
電極膜が腐食されるという問題があった。本発明は上記
問題を解決するためになされたものであって、電池効果
を防止した弾性表面波変換器を提供することを目的とす
る。
デバイスを製作する際にウエハーを切断し、チップ個片
に分割する工程においてはダイシング装置の冷却水や、
空気に触れている間の吸湿作用等により、異種金属を積
層した電極膜に水分が付着することになる。例えば、ア
ルミニウムや銅のような異種金属を積層した電極膜に、
水分が付着すると異種金属間にイオン化傾向による電位
差が発生し、電流がながれる、所謂電池効果により積層
電極膜が腐食されるという問題があった。本発明は上記
問題を解決するためになされたものであって、電池効果
を防止した弾性表面波変換器を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る弾性表面波変換器の請求項１記載の発明
は、圧電基板上に複数の異種金属薄膜を積層した積層薄
膜にて形成された電極パターンを有する弾性表面波変換
器であって、前記電極パターンの少なくとも電極指の上
面及び側面を覆うように絶縁物質の薄膜が付着されてい
ることを特徴とする弾性表面波変換器である。請求項２
記載の発明は、圧電基板上にアルミニウムあるいはアル
ミニウム合金の薄膜と他の金属薄膜を積層し積層薄膜に
て形成した電極パターンを有する弾性表面波変換器であ
って、前記アルミニウムあるいはアルミニウム合金の薄
膜の表面が陽極酸化により得られる絶縁物質で覆われて
いることを特徴とする弾性表面波変換器である。請求項
３記載の発明は、圧電基板上に複数の異種金属薄膜を積
層した積層薄膜にて形成された電極パターンを有する弾
性表面波変換器であって、前記電極パターンの少なくと
も電極指の上面及び側面を覆うように電気抵抗の大きな
金属膜が付着されていることを特徴とする弾性表面波変
換器である。
に本発明に係る弾性表面波変換器の請求項１記載の発明
は、圧電基板上に複数の異種金属薄膜を積層した積層薄
膜にて形成された電極パターンを有する弾性表面波変換
器であって、前記電極パターンの少なくとも電極指の上
面及び側面を覆うように絶縁物質の薄膜が付着されてい
ることを特徴とする弾性表面波変換器である。請求項２
記載の発明は、圧電基板上にアルミニウムあるいはアル
ミニウム合金の薄膜と他の金属薄膜を積層し積層薄膜に
て形成した電極パターンを有する弾性表面波変換器であ
って、前記アルミニウムあるいはアルミニウム合金の薄
膜の表面が陽極酸化により得られる絶縁物質で覆われて
いることを特徴とする弾性表面波変換器である。請求項
３記載の発明は、圧電基板上に複数の異種金属薄膜を積
層した積層薄膜にて形成された電極パターンを有する弾
性表面波変換器であって、前記電極パターンの少なくと
も電極指の上面及び側面を覆うように電気抵抗の大きな
金属膜が付着されていることを特徴とする弾性表面波変
換器である。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る弾
性表面波変換器の構成の一部を拡大して示す断面図であ
って、圧電基板１上に蒸着装置、あるいはスパッタ装置
等を用いて、アルミニウム合金膜２を形成すると共に、
該合金膜２の上に銅の薄膜３を積層し、さらにアルミニ
ウム合金膜４を積層した後、フォトリソグラフィ技法を
用いてエッチングし、所定の電極パターンを備えた弾性
表面波変換器（ＩＤＴ電極）を形成する。さらに、真空
装置中にて前記弾性表面波変換器（ＩＤＴ電極）の電極
指６、６・・の上面及び側面をそれぞれ覆うように絶縁
物５、例えば二酸化珪素（ＳｉＯ２）の薄膜を付着して
弾性表面波変換器を構成する。
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る弾
性表面波変換器の構成の一部を拡大して示す断面図であ
って、圧電基板１上に蒸着装置、あるいはスパッタ装置
等を用いて、アルミニウム合金膜２を形成すると共に、
該合金膜２の上に銅の薄膜３を積層し、さらにアルミニ
ウム合金膜４を積層した後、フォトリソグラフィ技法を
用いてエッチングし、所定の電極パターンを備えた弾性
表面波変換器（ＩＤＴ電極）を形成する。さらに、真空
装置中にて前記弾性表面波変換器（ＩＤＴ電極）の電極
指６、６・・の上面及び側面をそれぞれ覆うように絶縁
物５、例えば二酸化珪素（ＳｉＯ２）の薄膜を付着して
弾性表面波変換器を構成する。
【０００８】本発明の特徴はＩＤＴ電極の電極指６、６
の上面及び側面が絶縁物質で覆われているので、ダイシ
ングソーを用いてウエハーをチップ個片に分割する場合
でも、水分は絶縁層の上に付着するだけで、異種金属間
に跨って付着することはない。そのために電池効果が生
ずることはなく、ＩＤＴ電極膜が腐食することはない。
の上面及び側面が絶縁物質で覆われているので、ダイシ
ングソーを用いてウエハーをチップ個片に分割する場合
でも、水分は絶縁層の上に付着するだけで、異種金属間
に跨って付着することはない。そのために電池効果が生
ずることはなく、ＩＤＴ電極膜が腐食することはない。
【０００９】図２は本発明に係る他の実施の形態を示す
断面図であって、圧電基板１上に例えば、アルミニウム
−銅合金、銅、アルミニウム−銅合金の三層膜を形成
し、フォトリソグラフィ技法を用いてエッチングし、弾
性表面波変換器（ＩＤＴ電極）を形成するまでの工程は
図１と同様であるが、弾性表面波変換器を形成した後、
硫酸溶液の中あるいは、硼酸アンモニウム溶液（(NH4)2
B4O7・4H2O）中で電界を印加しながらアルミニウム−銅
合金薄膜の表面を陽極酸化して絶縁膜とすることによ
り、積層膜に水溶液が付着しても電池効果が生ずること
はなく、ＩＤＴ電極膜が腐食することはない。
断面図であって、圧電基板１上に例えば、アルミニウム
−銅合金、銅、アルミニウム−銅合金の三層膜を形成
し、フォトリソグラフィ技法を用いてエッチングし、弾
性表面波変換器（ＩＤＴ電極）を形成するまでの工程は
図１と同様であるが、弾性表面波変換器を形成した後、
硫酸溶液の中あるいは、硼酸アンモニウム溶液（(NH4)2
B4O7・4H2O）中で電界を印加しながらアルミニウム−銅
合金薄膜の表面を陽極酸化して絶縁膜とすることによ
り、積層膜に水溶液が付着しても電池効果が生ずること
はなく、ＩＤＴ電極膜が腐食することはない。
【００１０】図３は本発明に係る他の実施の形態を示す
断面図であって、圧電基板１上にアルミニウム−銅、
銅、アルミニウム−銅の三層膜を形成し、フォトリソグ
ラフィ技法を用いてエッチングし弾性表面波変換器（Ｉ
ＤＴ電極）を形成するまでの工程は図１と同様である
が、弾性表面波変換器を形成した後、蒸着法、スパッタ
ー法等により、電気抵抗の極めて高い金属膜８を薄く、
電極指の上面及び側面に付着することにより、異種金属
間に水溶液が付着した場合でも電池効果が生ずることは
なく、ＩＤＴ電極膜が腐食することはない。金属材料と
してはタングステン、ニッケル等の材料がある。
断面図であって、圧電基板１上にアルミニウム−銅、
銅、アルミニウム−銅の三層膜を形成し、フォトリソグ
ラフィ技法を用いてエッチングし弾性表面波変換器（Ｉ
ＤＴ電極）を形成するまでの工程は図１と同様である
が、弾性表面波変換器を形成した後、蒸着法、スパッタ
ー法等により、電気抵抗の極めて高い金属膜８を薄く、
電極指の上面及び側面に付着することにより、異種金属
間に水溶液が付着した場合でも電池効果が生ずることは
なく、ＩＤＴ電極膜が腐食することはない。金属材料と
してはタングステン、ニッケル等の材料がある。
【００１１】また、絶縁物質あるいは電気抵抗の高い金
属材料を蒸着法、スパッタ法を用いて薄く付着する代わ
りに、三層膜構造のＩＤＴ電極に電解液中で薄いメッキ
を施しても同様な効果が得られる。ただ、以上に述べた
手法をＩＤＴ電極に適用すると、二酸化珪素（Ｓｉ
Ｏ２）、二酸化アルミニウム、金属薄膜等のそれぞれの
質量負荷により、ＳＡＷデバイスの周波数が若干低下す
るので、予めその周波数低下量を見込んで弾性表面波変
換器の電極パターン寸法を設定すべきことは言うまでも
ない。
属材料を蒸着法、スパッタ法を用いて薄く付着する代わ
りに、三層膜構造のＩＤＴ電極に電解液中で薄いメッキ
を施しても同様な効果が得られる。ただ、以上に述べた
手法をＩＤＴ電極に適用すると、二酸化珪素（Ｓｉ
Ｏ２）、二酸化アルミニウム、金属薄膜等のそれぞれの
質量負荷により、ＳＡＷデバイスの周波数が若干低下す
るので、予めその周波数低下量を見込んで弾性表面波変
換器の電極パターン寸法を設定すべきことは言うまでも
ない。
【００１２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、請求項１に記載の発明はＩＤＴ電極の腐食を防止
するという優れた効果を表す。請求項２に記載の発明は
陽極酸化という簡易な手法を用いることによりＩＤＴ電
極の腐食を防止するという優れた効果を表す。請求項３
に記載の発明は電気抵抗の極めて大きな金属を薄く付着
するだけで、ＩＤＴ電極の腐食を防止するという優れた
効果をもたらす。
ので、請求項１に記載の発明はＩＤＴ電極の腐食を防止
するという優れた効果を表す。請求項２に記載の発明は
陽極酸化という簡易な手法を用いることによりＩＤＴ電
極の腐食を防止するという優れた効果を表す。請求項３
に記載の発明は電気抵抗の極めて大きな金属を薄く付着
するだけで、ＩＤＴ電極の腐食を防止するという優れた
効果をもたらす。
【図１】本発明に係る弾性表面波変換器の構造を示す断
面図で一部を拡大して示している。
面図で一部を拡大して示している。
【図２】本発明に係る第２の実施例の弾性表面波変換器
の構造を示す断面図で一部を拡大して示している。
の構造を示す断面図で一部を拡大して示している。
【図３】本発明に係る第３の実施例の弾性表面波変換器
の構造を示す断面図で一部を拡大して示している。
の構造を示す断面図で一部を拡大して示している。
【図４】（ａ）は従来の１次−３次縦結合二重モードＳ
ＡＷフィルタの構成を示す平面図、（ｂ）はＩＤＴ電極
の断面図の一部を拡大して示している。
ＡＷフィルタの構成を示す平面図、（ｂ）はＩＤＴ電極
の断面図の一部を拡大して示している。
【図５】三層膜構造のＩＤＴ電極の断面図の一部を拡大
して示している。
して示している。
１・・圧電基板
２、３、４・・ＩＤＴ電極の電極指を構成する電極膜
５・・絶縁物質の膜
６・・電極指
７・・酸化アルミニウム膜
８・・高抵抗の金属膜
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電基板上に複数の異種金属薄膜を積層
した積層薄膜にて形成された電極パターンを有する弾性
表面波変換器であって、前記電極パターンの少なくとも
電極指の上面及び側面を覆うように絶縁物質の薄膜が付
着されていることを特徴とする弾性表面波変換器。 - 【請求項２】 圧電基板上にアルミニウムあるいはアル
ミニウム合金の薄膜と他の金属薄膜を積層し積層薄膜に
て形成した電極パターンを有する弾性表面波変換器であ
って、前記アルミニウムあるいはアルミニウム合金の薄
膜の表面が陽極酸化により得られる絶縁物質で覆われて
いることを特徴とする弾性表面波変換器。 - 【請求項３】 圧電基板上に複数の異種金属薄膜を積層
した積層薄膜にて形成された電極パターンを有する弾性
表面波変換器であって、前記電極パターンの少なくとも
電極指の上面及び側面を覆うように電気抵抗の大きな金
属膜が付着されていることを特徴とする弾性表面波変換
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001308227A JP2003115742A (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 弾性表面波変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001308227A JP2003115742A (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 弾性表面波変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003115742A true JP2003115742A (ja) | 2003-04-18 |
Family
ID=19127570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001308227A Pending JP2003115742A (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 弾性表面波変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003115742A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006041589A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波デバイスおよびその製造方法 |
| JP2012186696A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波装置およびその製造方法 |
| JPWO2017002513A1 (ja) * | 2015-07-02 | 2018-02-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| CN109207946A (zh) * | 2018-09-12 | 2019-01-15 | 杭州联芳科技有限公司 | 一种镍钛合金支架表面处理方法 |
-
2001
- 2001-10-04 JP JP2001308227A patent/JP2003115742A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006041589A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波デバイスおよびその製造方法 |
| JP2012186696A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波装置およびその製造方法 |
| JPWO2017002513A1 (ja) * | 2015-07-02 | 2018-02-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| CN109207946A (zh) * | 2018-09-12 | 2019-01-15 | 杭州联芳科技有限公司 | 一种镍钛合金支架表面处理方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10911023B2 (en) | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with etch-stop layer | |
| US9035725B2 (en) | Acoustic wave device | |
| EP1470639B1 (en) | Surface acoustic wave device having improved performance and method of making the device | |
| US9748924B2 (en) | Elastic wave element with interdigital transducer electrode | |
| KR100698985B1 (ko) | 필터 및 필터의 제조 방법 | |
| US8564172B2 (en) | Elastic wave element and electronic apparatus using same | |
| US8680744B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
| US7554242B2 (en) | Surface acoustic wave chip, surface acoustic wave device, and manufacturing method for implementing the same | |
| JPH0969748A (ja) | Ｓａｗデバイスおよびその製造方法 | |
| CN108631748B (zh) | 声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器 | |
| EP4027519A1 (en) | Bulk acoustic wave resonator and manufacturing method therefor, filter and electronic device | |
| CN113381724B (zh) | 体声波谐振器及其制备方法 | |
| JP2006513649A (ja) | 改善された温度特性を有するｓａｗ素子 | |
| JP2019021997A (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
| US20240195385A1 (en) | Surface acoustic wave resonator device and method of manufacturing the same, filter | |
| JP3870947B2 (ja) | 弾性表面波装置の製造方法 | |
| KR100559091B1 (ko) | 높은 내전력성을 갖는 탄성표면파 소자 및 그 제조방법 | |
| US20240171148A1 (en) | Surface acoustic wave resonator device and method for manufacturing the same and filter | |
| JP2003115742A (ja) | 弾性表面波変換器 | |
| JPH06350377A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| CN117013980B (zh) | 一种横模抑制的声表面波装置及其成型方法 | |
| CN118157614A (zh) | 横向电场激励的薄膜体声波谐振器和滤波器 | |
| JP3631228B2 (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JP2001156576A (ja) | 弾性表面波デバイスとその製造法 | |
| JPH11214951A (ja) | 表面弾性波素子 |