JP2003105541A - 膜の形成方法、基材、及び表示装置 - Google Patents
膜の形成方法、基材、及び表示装置Info
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Abstract
有する膜が得られる膜の形成方法と、この膜を有する基
材、及び表示装置を提供する。 【解決手段】 大気圧または大気圧近傍の圧力下におい
て、対向する電極間に放電することにより反応性ガスを
プラズマ状態とし、基材を前記プラズマ状態の反応性ガ
スに晒すことによって、前記基材の表面にO原子とN原
子の少なくともいずれか一方と、Si原子とを含有する
膜を形成する方法である。この方法で形成された膜は、
酸素原子と窒素原子の数の比をx:yとした場合に、x
/(x+y)が0.95以下であり、炭素含有率が0.
2〜5重量%である。
Description
圧近傍の圧力下において反応性ガスをプラズマ化し、基
材表面に膜を形成する膜の形成方法、該膜の形成方法に
より形成した膜を有する基材、及びこの基材を含む表示
装置に関する。
装置などの表示装置用の基板として、あるいはCCDや
CMOSセンサーのような電子光学デバイス用の基板と
して、熱安定性や透明性の高さからガラスが用いられて
きた。近年、携帯電話等の携帯情報端末機器の普及に伴
い、これら端末機器に設けられる表示装置や電子光学デ
バイスにおいては、割れやすく重いガラスよりも、可撓
性が高く割れにくく、軽いプラスチック基板の採用が検
討されている。
チック基板は、空気中の水分を十分に遮断できず、基板
を透過した水分の影響により表示装置等の耐久性が低下
し寿命が短くなるという問題があった。このような問題
を解決すべく、例えば、Proceedings of The 10th Inte
rnational Workshop on Inorganic and Organic Electr
oluminescence, P.365(2001)では、有機EL表示装置に
おいて、スパッタ法により基板表面に酸窒素珪素膜を形
成し、透湿性を抑えることが提案されている。しかし、
さらなる透湿性の抑制による寿命の向上が求められてい
る。
対する密着性が悪いことから、膜はがれが起きやすい。
これを防ぎ基板との密着性を高めるために、スパッタ法
や真空CVD法などのような真空系における製膜方法で
は、製膜時に加熱すればよいが、プラスチック基板を用
いる場合には加熱することは適切ではない。さらに言え
ば、真空系における製膜方法は、密閉した装置内で1回
1回基板を出し入れすることから、生産性が低く、特に
大面積の基板に製膜したい場合など1回につき1枚しか
製膜できず、生産性の低さが問題であった。
に寄与し、基板に対して良好な密着性を有する膜が得ら
れ、かつ、生産性の高い膜の形成方法と、該膜の形成方
法により形成した膜を有する基材と、この基材を含む表
示装置を提供することにある。
の発明は、基材の表面に、酸素原子(O)と窒素原子
(N)の少なくともいずれか一方と珪素原子(Si)と
を含有する膜を形成する膜の形成方法において、大気圧
または大気圧近傍の圧力下において、対向する電極間に
放電することにより反応性ガスをプラズマ状態とし、前
記基材を前記プラズマ状態の反応性ガスに晒すことによ
って、前記基材の表面に前記膜を形成することを特徴と
する。
の膜の形成方法において、前記放電を、100kHzを
超える高周波電圧で、かつ、1W/cm2以上の電力を
供給することにより起こすことを特徴とする。請求項3
に記載の発明は、請求項2に記載の膜の形成方法におい
て、前記放電を、200kHz以上の高周波電圧で、か
つ、2W/cm2以上の電力を供給することにより起こ
すことを特徴とする。請求項4に記載の発明は、請求項
2または3に記載の膜の形成方法において、前記高周波
電圧は、連続したサイン波であることを特徴とする。
いずれかに記載の膜の形成方法において、前記基材は、
長尺なフィルムであって、この長尺フィルムが前記電極
間を搬送されながら、プラズマ状態の反応性ガスに晒さ
れることを特徴とする。請求項6に記載の発明は、請求
項1〜5のいずれかに記載の膜の形成方法において、前
記電極間に、前記反応性ガスと不活性ガスを含有する混
合ガスを導入し、前記混合ガスは、不活性ガスを90.
0〜99.9体積%含有していることを特徴とする。
いずれか記載の膜の形成方法により設けられた膜を有す
る基材であって、前記膜を構成する酸素原子と窒素原子
の数の比をx:yとした場合に、x/(x+y)は0.
95以下であることを特徴とする。請求項8に記載の発
明は、請求項7に記載の基材において、x/(x+y)
は0.80以下であることを特徴とする。請求項9に記
載の発明は、請求項7または8に記載の基材において、
前記膜は炭素を含有することを特徴とする。請求項10
に記載の発明は、請求項9に記載の基材において、膜の
炭素含有率は、0.2〜5重量%であることを特徴とす
る。
0のいずれか記載の基材を含むことを特徴とする表示装
置である。請求項12に記載の発明は、請求項11に記
載の表示装置において、有機EL(Electroluminescenc
e)表示装置であることを特徴とする。
発明の膜の形成方法においては、大気圧または大気圧近
傍の圧力下において、対向する電極間に放電することに
より反応性ガスをプラズマ状態とし、基材を前記プラズ
マ状態の反応性ガスに晒すことによって、基材表面に、
酸素原子(O)と窒素原子(N)の少なくともいずれか
一方と珪素原子(Si)とを含有する膜を形成する。こ
こで、「酸素原子(O)と窒素原子(N)の少なくとも
いずれか一方と珪素原子(Si)とを含有する膜」と
は、窒化珪素、酸窒化珪素、酸化珪素、これらの混合物
のいずれでもよい。また、膜を構成する単位がモノマー
あるいはそれに近い構造を有していてもよいし、構成単
位では分けることができないポリマーあるいはそれに近
い構造であってもよい。なお、以下では本発明の方法で
形成される膜を、SiON膜と表記することもあるが、
この表記はSi原子とO原子とN原子とを含む膜という
意であり、各原子の組成比を示すものではない。
ついて説明する。基材としては、板状のもの、フィルム
状のもの、レンズ状、さらには複数の膜や板状のものを
積層した素子など、膜をその表面に形成できるものであ
れば特に限定はない。基材が電極間に載置できるもので
あれば、電極間に載置することによって、基材が電極間
に載置できないものであれば、発生したプラズマを当該
基材に吹き付けることによって膜を形成すればよい。
好適であるが、その場合基材として、透光性を有し軽量
なプラスチック材料を用いることができる。プラスチッ
ク材料としては、セルローストリアセテート等のセルロ
ースエステル、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリ
スチレン、更にこれらの上にゼラチン、ポリビニルアル
コール(PVA)、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、
セルロース系樹脂等を塗設したもの等を使用することが
出来る。また、これらを支持体としてさらにその上に下
引き層やその他の機能層を塗設したり、バックコート
層、帯電防止層を塗設したものを基材として用いること
が出来る。
としては、具体的には、ポリエチレンテレフタレート、
ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリエチ
レン、ポリプロピレン、セロファン、セルロースジアセ
テート、セルロースアセテートブチレート、セルロース
アセテートプロピオネート、セルロースアセテートフタ
レート、セルローストリアセテート、セルロースナイト
レート等のセルロースエステル類またはそれらの誘導
体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、エチ
レンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチ
レン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチ
ルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエ
ーテルスルホン、ポリスルホン類、ポリエーテルケトン
イミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチ
ルメタクリレート、アクリルあるいはポリアリレート類
等を挙げることができる。
ラズマ製膜装置(後述)に薄膜の材料となる反応性ガス
と、不活性ガスとを含有する混合ガスを導入する。不活
性ガスとしては、周期表の第18属原子、具体的には、
ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、
ラドン等が挙げられるが、コストの点や本発明の効果を
得るために、ヘリウム、アルゴンが好ましく用いられ
る。
るように、珪素化合物などを含むガスが選択される。珪
素化合物としては、特に有機珪素化合物が好ましく、例
えば、1,1,3,3−テトラメチルジシラザン、1,
3−ビス(クロロメチル)−1,1,3,3−テトラメ
チルジシラザン、ヘキサメチルジシラザン、1,3−ジ
ビニルー1,1,3,3−テトラメチルジシラザン、ア
ミノメチルトリメチルシラン、ジメチルジメチルアミノ
シラン、ジメチルアミノトリメチルシラン、アリルアミ
ノトリメチルシラン、ジエチルアミノジメチルシラン、
1−トリメチルシリルピロール、1−トリメチルシリル
ピロリジン、イソプロピルアミノメチルトリメチルシラ
ン、ジエチルアミノトリメチルシラン、アニリノトリメ
チルシラン、2−ピペリジノエチルトリメチルシラン、
3−ブチルアミノプロピルトリメチルシラン、3−ピペ
リジノプロピルトリメチルシラン、ビス(ジメチルアミ
ノ)メチルシラン、1−トリメチルシリルイミダゾー
ル、ビス(エチルアミノ)ジメチルシラン、ビス(ジメ
チルアミノ)ジメチルシラン、ビス(ブチルアミノ)ジ
メチルシラン、2−アミノエチルアミノメチルジメチル
フェニルシラン、3−(4−メチルピペラジノプロピ
ル)トリメチルシラン、ジメチルフェニルピペラジノメ
チルシラン、ブチルジメチル−3−ピペラジノプロピル
シラン、ジアニリノジメチルシラン、ビス(ジメチルア
ミノ)ジフェニルシランが挙げられる。
S)、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)、テト
ラメチルジシロキサン(TMDSO)、オクタメチルシ
クロテトラシロキサン、ヘキサメチルシクロトリシロキ
サン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシ
シラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキ
シシラン、トリメチルエトキシシラン、エチルトリメト
キシシラン、エチルトリエトキシシラン、n−プロピル
トリメトキシシラン、n−プロピルトリエトキシシラ
ン、n−ブチルトリメトキシシラン、i−ブチルトリメ
トキシシラン、n−ヘキシルトリメトキシシラン、フェ
ニルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、
ビニルトリエトキシシラン、デカメチルシクロペンタシ
ロキサンなども用いることができる。
ガスや窒素ガスを所定割合で組み合わせて、O原子とN
原子の少なくともいずれかと、Si原子とを含む膜を得
ることができる。なお、SiO2は透明性が高いものの
ガスバリア性が少し低めで水分をやや通すことから、N
原子を含んだ方がより好ましい。すなわち、酸素原子と
窒素原子の数の比をx:yとした場合に、x/(x+
y)は0.95以下、さらに0.80以下であればより
一層好ましい。なお、N原子の割合が多いと光透過性が
低下し、x=0であるSiNではほとんど光を通さな
い。そこで、具体的な酸素原子と窒素原子の割合は用途
に応じて決めればよい。例えば、表示装置において発光
素子に対して発光面側に膜を形成する場合のような、光
透過性を要する用途であれば、x/(x+y)が0.4
以上0.95であれば、光透過性と防水性のバランスを
とることができるので好ましい。また、表示装置の発光
素子の後面に設けられる映り込み防止膜のように光を吸
収あるいは遮光した方が好ましい用途であればx/(x
+y)は0以上0.4未満であることが好ましい。
ガスとして大気圧プラズマ法で製膜することで、膜中に
炭素を含有させることができる。これは、真空プラズマ
法と比較して、大気圧プラズマ法では電極間に存在する
反応ガス由来のイオン等などの粒子が高い密度で存在す
ることになるので、有機珪素化合物由来の炭素が残りや
すいのである。本発明においては、膜中の炭素は、膜に
柔軟性を与え基材との密着性が向上することからわずか
に含有することが好ましく、具体的には0.2〜5重量
%含有することが好ましい。5重量%を超えて含有する
と、膜の屈折率などの物性が経時的に変化することがあ
り、好ましくない。この炭素含有率は、主に電源の周波
数と供給電力に依存し、電極に印加する電圧の高周波数
が高いほど、及び供給電力が大きくなるほど少なくな
る。また、混合ガス中に水素ガスを注入すると炭素原子
が消費されやすくなり、膜中の含有量を減らすことがで
き、これによっても制御できる。
所定の割合いで含有する膜を形成するための混合ガスに
ついて以下に具体的に例示する。x/(x+y)が0.
95以下であって、さらに炭素を0.2〜5重量%含有
するSiON膜を、シラザンと酸素ガスの反応ガスから
形成する場合について説明する。この場合、膜中のSi
とNは、全てシラザン由来である。酸素ガスは、混合ガ
ス全体に対する比が大きくなると大部分SiO2膜にな
ってしまうので、混合ガスのうち0.01〜5体積%が
好ましく、より好ましくは0.05〜1体積%である。
また、酸素とシラザンの反応効率から、シラザンに対す
る酸素ガスのモル比が、得たい膜の組成比(モル比)の
1〜4倍になるような体積で混合することが好ましい。
このようにして酸素ガスの混合ガス全体に対する割合
と、シラザンに対する割合が設定される。
ラザンから形成する場合、気化させたシラザンは混合ガ
ス全体に対し、0.2〜1.5vol.%でよい。このまま
であると、炭素がかなり膜中に残ってしまうので、最大
でも混合ガスの2vol.%以下の水素ガスを混合し炭素を
飛ばす。
合物だけでなく、無機珪素化合物を用いてもよい。ま
た、酸素源として酸素ガス以外に、オゾン、二酸化炭
素、水(水蒸気)等を用いてもよいし、窒素源としてシ
ラザンや窒素ガス以外に、アンモニア、窒素酸化物等を
用いてもよい。
気体、液体、固体いずれの状態であっても構わない。気
体の場合は、そのまま放電空間に導入できる。液体、固
体の場合は、加熱、減圧、超音波照射等の手段により気
化させて使用される。また、溶媒によって希釈して使用
しても良く、溶媒は、メタノール、エタノール、n−ヘ
キサンなどの有機溶媒及びこれらの混合溶媒が使用でき
る。なお、これらの希釈溶媒は、プラズマ放電処理中に
おいて、分子状、原子状に分解される為、影響は殆ど無
視することが出来る。
マ製膜装置について、図1〜図6に基づいて説明する。
図中、符号Fは基材の一例としての長尺なフィルムであ
る。本発明においては、上記の放電プラズマ処理が大気
圧または大気圧近傍で行われるが、大気圧近傍とは、2
0kPa〜110kPaの圧力を表し、さらに好ましく
は93kPa〜104kPaが好ましい。図1には、プ
ラズマ製膜装置に備えられるプラズマ放電処理室10を
示した。図1において、フィルム状の基材Fは搬送方向
(図中、時計回り)に回転するロール電極25に巻回さ
れながら搬送される。ロール電極25の周囲に固定され
ている複数の固定電極26はそれぞれ円筒から構成さ
れ、ロール電極25に対向させて設置される。プラズマ
放電処理室10を構成する放電容器11はパイレックス
(R)ガラス製の処理容器等が好ましく用いられるが、
電極との絶縁がとれれば金属製を用いることも可能であ
る。例えば、アルミニウムまたは、ステンレスのフレー
ムの内面にポリイミド樹脂等を張り付けても良く、該金
属フレームにセラミックス溶射を行い絶縁性をとっても
良い。
ップローラ15、15、16で押圧され、ガイドローラ
24で規制されて放電容器11内部に確保された放電処
理空間に搬送され、放電プラズマ処理され、次いで、ガ
イドローラ27を介して次工程に搬送される。本発明で
は、真空系ではなくほぼ大気圧に近い圧力下で製膜する
ことから、このような連続工程が可能となり、高い生産
性を上げることができる。なお、仕切板14、14は前
記ニップローラ15、15、16に近接して配置され、
基材Fに同伴する空気が放電容器11内に進入するのを
抑制する。この同伴される空気は、放電容器11内の気
体の全体積に対し、1体積%以下に抑えることが好まし
く、0.1体積%以下に抑えることがより好ましい。前
記ニップローラ15および16により、それを達成する
ことが可能である。尚、放電プラズマ処理に用いられる
混合ガスは、給気口12から放電容器11に導入され、
処理後のガスは排気口13、13から排気される。
電極である固定電極26、26…との間で放電させ、当
該電極間に前述したような反応性ガスを導入してプラズ
マ状態とし、前記ロール電極25に巻回された長尺フィ
ルム状の基材を前記プラズマ状態の反応性ガスに晒すこ
とによって、反応性ガス由来の膜を形成する。前記電極
間には、高いプラズマ密度を得て製膜速度を大きくし、
さらに炭素含有率を所定割合内に制御するため、高周波
電圧で、ある程度大きな電力を供給することが好まし
い。具体的には、100kHz以上150MHz以下の
高周波数の電圧を印加することが好ましく、200kH
z以上であればより一層好ましい。また、電極間に供給
する電力の下限値は、1W/cm2以上50W/cm2以
下であることであることが好ましく、2W/cm2以上
であればより一層好ましい。なお、電極における電圧の
印加面積(/cm2)は放電が起こる範囲の面積のこと
である。また、電極間に印加する高周波電圧は、断続的
なパルス波であっても、連続したサイン波であってもよ
いが、製膜速度が大きくなることから、サイン波である
ことが好ましい。
電体を被覆したものであることが好ましい。少なくとも
固定電極26とロール電極25のいずれか一方に誘電体
を被覆すること、好ましくは、両方に誘電体を被覆する
ことである。誘電体としては、比誘電率が6〜45の無
機物であることが好ましい。電極25、26の一方に固
体誘電体を設置した場合の固体誘電体と電極の最短距
離、上記電極の双方に固体誘電体を設置した場合の固体
誘電体同士の距離としては、いずれの場合も均一な放電
を行う観点から0.5mm〜20mmが好ましく、特に
好ましくは1mm±0.5mmである。この電極間の距
離は、電極周囲の誘電体の厚さ、印加電圧の大きさ等を
考慮して決定される。
を搬送してプラズマに晒す場合には、基材を片方の電極
に接して搬送出来るロール電極仕様にするだけでなく、
更に誘電体表面を研磨仕上げし、電極の表面粗さRma
x(JIS B 0601)を10μm以下にすること
で、誘電体の厚み及び電極間のギャップを一定に保つこ
とができ、放電状態を安定化できる。更に、誘電体の熱
収縮差や残留応力による歪やひび割れを無くし、かつポ
ーラスの無い高精度の無機誘電体を被覆することで大き
く耐久性を向上させることができる。
電極製作において、前記のように、誘電体を研磨仕上げ
することや、電極の金属母材と誘電体間の熱膨張の差を
なるべく小さくすることが必要であるので、母材表面
に、応力を吸収出来る層として泡混入量をコントロール
して無機質の材料をライニングすることが好ましい。特
に材質としては琺瑯等で知られる溶融法により得られる
ガラスであることが良く、更に導電性金属母材に接する
最下層の泡混入量を20〜30vol%とし、次層以降
を5vol%以下とすることで、緻密でかつひび割れ等
が発生しない良好な電極が出来る。
方法として、セラミックスの溶射を空隙率10vol%
以下まで緻密に行い、更にゾルゲル反応により硬化する
無機質の材料にて封孔処理を行うことが挙げられる。こ
こでゾルゲル反応の促進には、熱硬化やUV硬化が良
く、更に封孔液を希釈し、コーティングと硬化を逐次で
数回繰り返すと、よりいっそう無機質化が向上し、劣化
の無い緻密な電極が出来る。
5の一例としてロール電極25c、25Cを示したもの
である。アース電極であるロール電極25cは、図2
(a)に示すように、金属等の導電性母材25aに対し
セラミックスを溶射後、無機材料を用いて封孔処理した
セラミック被覆処理誘電体25bを被覆した組み合わせ
で構成されているものである。セラミック被覆処理誘電
体を1mm被覆し、ロール径を被覆後200φとなるよ
うに製作し、アースに接地する。溶射に用いるセラミッ
クス材としては、アルミナ・窒化珪素等が好ましく用い
られるが、この中でもアルミナが加工し易いので、更に
好ましく用いられる。
5Cのように、金属等の導電性母材25Aへライニング
により無機材料を設けたライニング処理誘電体25Bを
被覆した組み合わせから構成してもよい。ライニング材
としては、ケイ酸塩系ガラス、ホウ酸塩系ガラス、リン
酸塩系ガラス、ゲルマン酸塩系ガラス、亜テルル酸塩ガ
ラス、アルミン酸塩ガラス、バナジン酸塩ガラス等が好
ましく用いられるが、この中でもホウ酸塩系ガラスが加
工し易いので、更に好ましく用いられる。金属等の導電
性母材25a、25Aとしては、銀、白金、ステンレ
ス、アルミニウム、鉄等の金属等が挙げられるが、加工
の観点からステンレスが好ましい。また、尚、本実施の
形態においては、ロール電極の母材は、冷却水による冷
却手段を有するステンレス製ジャケットロール母材を使
用している(不図示)。さらに、ロール電極25c、2
5C(ロール電極25も同様)は、図示しないドライブ
機構により軸部25d、25Dを中心として回転駆動さ
れるように構成されている。
を示した。また、固定電極は、円筒形状に限らず、図3
(b)の固定電極36のように角柱型でもよい。円柱型
の電極26に比べて、角柱型の電極36は、放電範囲を
広げる効果があるので、形成する膜の性質などに応じて
好ましく用いられる。固定電極26、36いずれであっ
ても上記記載のロール電極25c、ロール電極25Cと
同様な構造を有する。すなわち、中空のステンレスパイ
プ26a、36aの周囲に、ロール電極25(25c、
25C)同様に誘電体26b、36bで被覆し、放電中
は冷却水による冷却が行えるようになっている。誘電体
26b、36bは、セラミック被覆処理誘電体及びライ
ニング処理誘電体のいずれでもよい。なお、誘電体の被
覆後12φまたは15φとなるように製作され、当該電
極の数は、例えば上記ロール電極の円周上に沿って14
本設置している。
6をロール電極25の周りに配設したプラズマ放電処理
室30を示した。図4において、図1と同じ部材につい
ては同符号を付して説明を省略する。図5には、図4の
プラズマ放電処理室30が設けられたプラズマ製膜装置
50を示した。図5において、プラズマ放電処理室30
の他に、ガス発生装置51、電源41、電極冷却ユニッ
ト55等が装置構成として配置されている。電極冷却ユ
ニット55は、冷却材の入ったタンク57とポンプ56
とからなる。冷却剤としては、蒸留水、油等の絶縁性材
料が用いられる。図5のプラズマ放電処理室30内の電
極間のギャップは、例えば1mm程度に設定される。
5、固定電極36を所定位置に配置し、ガス発生装置5
1で発生させた混合ガスを流量制御して、給気口12よ
り供給し、処理容器11内をプラズマ処理に用いる混合
ガスで充填し不要分については排気口13より排気す
る。次に電源41により固定電極36、36…に電圧を
印加し、ロール電極25はアースに接地し、放電プラズ
マを発生させる。ここでロール状の元巻き基材FFから
ローラ54、54、54を介して基材Fが供給され、ガ
イドローラ24を介して、プラズマ放電処理室30内の
電極間をロール電極25に片面接触した状態で搬送され
る。このとき放電プラズマにより基材Fの表面が放電処
理され、その後にガイドローラ27を介して、次工程に
搬送される。ここで、基材Fはロール電極25に接触し
ていない面のみ放電処理がなされる。
るため、基材の温度を常温(15℃〜25℃)〜200
℃未満、更に好ましくは常温〜100℃内で抑えられる
ように、必要に応じて電極冷却ユニット55で冷却す
る。
いることができるプラズマ製膜装置100であり、電極
間に載置できないような性状、例えば厚みのある基材1
01上に膜を形成する場合に、予めプラズマ状態にした
反応性ガスを基材上に噴射して薄膜を形成するためのも
のである。図6のプラズマ製膜装置において、35aは
誘電体、35bは金属母材、105は電源である。金属
母材35bに誘電体35aを被覆したスリット状の放電
空間に、上部から不活性ガスおよび反応性ガスからなる
混合ガスを導入し、電源105により高周波電圧を印加
することにより反応性ガスをプラズマ状態とし、該プラ
ズマ状態の反応性ガスを基材101上に噴射することに
より基材101表面に膜を形成する。
本発明の膜の形成方法に用いるプラズマ製膜装置の電源
としては、特に限定はないが、ハイデン研究所製インパ
ルス高周波電源(連続モードで使用100kHz)、パ
ール工業製高周波電源(200kHz)、パール工業製
高周波電源(800kHz)、日本電子製高周波電源
(13.56MHz)、パール工業製高周波電源(15
0MHz)等が使用できる。
るが、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。
ES(ポリエーテルスルホン)フィルム(住友ベークラ
イト(株)製スミライトFS−1300)の表面に、図
5に示すプラズマ製膜装置50を用い、所定の組成のS
iON膜を形成した。プラズマ発生に用いる使用電源
は、日本電子(株)製高周波電源JRF−10000に
て周波数13.56MHzの電圧で、且つ、20W/c
m2の電力を供給した。
る。 不活性ガス:アルゴン 反応性ガス1:酸素 反応性ガス2:ヘキサメチルジシラザン蒸気(125℃
に加熱した液体にアルゴンガスをバブリングして蒸発さ
せる) 酸素ガスとヘキサメチルジシラザン蒸気の比率を変え
て、酸素原子と窒素原子の数の比をx:yとした場合の
x/(x+y)の値が、0.2、0.4、0.5、0.
80、0.85、1.0である膜を作製した。なお、予
め、酸素ガスとヘキサメチルジシラザンの混合割合に対
して得られるx/(x+y)値に関して、検量線等の知
見を得ておき、この知見に基づいて、これらの各割合に
なるように調整した。さらに、酸素ガスに代えて、水素
ガスを用い、x/(x+y)が0、つまり窒化珪素膜を
形成した。
として、実施例1と同じ基材表面に、ターゲットとして
窒化珪素(SiN)を用い、アルゴンガス及び酸素ガス
の雰囲気下でRF(Radio Frequency)スパッタリング
法(真空状態、周波数13.56MHz)によって所定
の組成のSiON膜を形成した。酸素ガスの分圧を変え
て、x/(x+y)の値が、0、0.2、0.4、0.
5、0.8、0.85、1.0となるように膜を作製し
た。実施例1及び比較例1において、形成した膜の膜厚
は、約200nmである。なお、実施例1及び比較例1
において、便宜上、x/(x+y)の値が、0の膜につ
いて、同様に0.2は、0.4は、0.5は、
0.8は、0.85は、1.0はと番号を付す。
含有率を次のように測定した。 (炭素含有率の測定)実施例1と比較例1で形成した各
SiON膜の炭素含有率は、XPS(X-rayPhotoelectr
on Spectroscopy)表面分析装置を用いてその値を測定
した。XPS表面分析装置としては、特に限定なく、い
かなる機種も使用することができるが、本実施例におい
てはVGサイエンティフィックス社製ESCALAB−
200Rを用いた。X線アノードにはMgを用い、出力
600W(加速電圧15kV、エミッション電流40m
A)で測定した。エネルギー分解能は、清浄なAg3d
5/2ピークの半値幅で規定したとき、1.5〜1.7
eVとなるように設定した。測定をおこなう前に、汚染
による影響を除くために、膜厚の10〜20%の厚さに
相当する表面層をエッチング除去する必要がある。この
表面層の除去には、希ガスイオンが利用できるイオン銃
を用いることが好ましく、イオン種としては、He、N
e、Ar、Xe、Krなどが利用できる。本測定におい
ては、Arイオンエッチングを用いて表面層を除去し
た。
0eVから1100eVの範囲を、データ取り込み間隔
1.0eVで測定し、いかなる原子が検出されるかを求
めた。次に、検出された、エッチングイオン種を除く全
ての原子について、データの取り込み間隔を0.2eV
として、その最大強度を与える光電子ピークについてナ
ロースキャンをおこない、各原子のスペクトルを測定し
た。得られたスペクトルは、測定装置、あるいは、コン
ピューターの違いによる含有率算出結果の違いを生じせ
しめなくするために、VAMAS−SCA−JAPAN
製のCOMMON DATA PROCESSING
SYSTEM (Ver.2.3以降が好ましい)上に
転送した後、同ソフトで処理をおこない、炭素含有率の
値を原子数濃度(atomic concentrat
ion)として求めた。定量処理をおこなう前に、各原
子についてCount Scaleのキャリブレーショ
ンをおこない、5ポイントのスムージング処理をおこな
った。定量処理では、バックグラウンドを除去したピー
クエリア強度(cps*eV)を用いた。バックグラウ
ンド処理には、Shirleyによる方法を用いた。S
hirley法については、D.A.Shirley,
Phys.Rev.,B5,4709(1972)を参
考にすることができる。この測定の結果の炭素含有率に
ついては、表1に示した。
た碁盤目試験を行った。形成された薄膜の表面に片刃の
カミソリの刃を面に対して90°の角度で切り込みを1
mm間隔で縦横に11本入れ、1mm角の碁盤目を10
0個作製した。この上に市販のセロファンテープを張り
付け、その一端を手で持って垂直に力強く引張って剥が
し、切り込み線からの貼られたテープ面積に対する薄膜
が剥がされた面積の割合を、 A:全く剥離されなかった B:剥離された面積割合が10%未満であった C:剥離された面積割合が10%以上であった の3ランクでランク評価し表1に示した。
れぞれについて、炭素含有率、剥離試験の結果、SiO
N膜の前記x/(x+y)にはほとんど左右されず、ほ
ぼ同じ値であった。
N膜は、比較例と比べて剥離試験で良好な結果を示し
た。これは、炭素含有率が真空で作製した比較例よりも
多く、膜が柔軟であるためと考えられる。また、大気圧
プラズマ法では真空プラズマ法よりも、粒子密度の高い
緻密な膜が形成されることが容易に推測でき、より緻密
であれば膜自体の強度も大きくなり、この点からも剥離
試験で良好な結果を示したと考えられる。また、SiO
N膜の形成スピードは、本発明の方が、比較例に比べて
15倍以上速く、極めて生産性が高かった。
る組成比のSiON膜を、印加する高周波電圧および供
給電力を5種類変更して、製造した。その他の点につい
ては実施例1と同様である。得られたSiON膜それぞ
れについて、実施例1同様に炭素含有率を求めるととも
に、下記の耐傷性の測定を行い、それらの結果を表2に
示した。比較例1のx/(x+y)=0.5の組成比
のSiON膜についても耐傷性を測定し、その結果を表
2に示した。
ルウールを貼り付けたプローブを、光学フィルムの薄膜
面に250gの荷重をかけて押し付け10回往復運動さ
せた後、擦り傷の入る本数を測定した。
ON膜は、比較例の真空スパッタリング法で作製したも
のより炭素含有率が多く柔軟で、緻密で丈夫な膜である
ことから、耐傷性の点でも優れている。とくに、SiO
N膜中の炭素含有量が0.2〜5質量%にあるものは、
耐傷性において優れた性能を有することがわかる。ま
た、膜の形成方法の点で、炭素含有率が0.2〜5質量
%となるような200kHz以上の高周波で2W/cm
2以上の高い電力で製膜することがより好ましいことが
分かる。
0.80、0.85であるSiON膜を、実施例1の
、、それぞれと同様に、PESフィルムの両面に
形成した透明基板を用いて、図7(a)に示す有機EL
表示装置を作製した。まず、基材61の両面にSiON
膜(x/(x+y)=0.5)62、62が形成された
透明基板63の一方のSiON膜62上に、スパッタリ
ングターゲットとして酸化インジウムと酸化亜鉛との混
合物(Inの原子比In/(In+Zn)=0.80)
からなる焼結体を用い、DCマグネトロンスパッタリン
グにより透明な導電性の非晶質酸化物膜であるIZO
(Indium Zinc Oxide)膜64を膜厚250nm形成し
た。スパッタリング方法としては、スパッタリング装置
の真空装置内を1×10-3Pa以下にまで減圧し、Ar
ガス(純度99.99%)とO2ガス(純度99.99
%)との混合ガス(Ar:O2=1000:2.8(体
積比))を真空圧が1×10-1Paになるまで真空槽内
に導入した後、ターゲット印加電圧420V、基板温度
60℃でIZO膜64を形成した。
周知の方法でパターニングした後、IZO膜64を設け
た透明基板63をi−プロピルアルコールで超音波洗浄
し、乾燥窒素ガスで乾燥し、さらにUVオゾン洗浄を5
分間行った。この透明基板63を、真空蒸着装置(図示
せず)内の所定箇所に固定する。そして、5つのモリブ
デン製抵抗加熱ボードのそれぞれに、下記に示すm−M
TDATXAを200mg、DMPhenを200m
g、BCを200mg、フッ化リチウムを200mg、
アルミニウム3gを入れ、前記真空蒸着装置内に取り付
けた。ここで使用した化合物の化学式を以下に示した。
Paまで減圧する。その後、m−MTDATAの入った
前記加熱ボードに通電して220℃まで加熱し、蒸着速
度0.1〜0.3nm/sec.で前記支持基板のIZ
O膜64の表面に正孔輸送層であるm−MTDATA層
65(膜厚25nm)を形成した。次に、DMPhe
n、BCが入ったそれぞれの加熱ボードを順に220℃
に加熱し、蒸着速度0.1〜0.3nm/sec.で、
発光層であるDMPhen層66(膜厚20nm)、電
子輸送層であるBC層67(膜厚30nm)を形成し
た。さらに、フッ化リチウムの入った加熱ボードを22
0℃まで加熱し、陰極バッファー層であるLiF層68
(膜厚0.5nm)を形成した。次に、ステンレス鋼製
の所定のパターンで穴が形成されたマスクを介して、ア
ルミニウムの入った加熱ボードに通電し、220℃に加
熱し、LiF層68の表面に膜厚100nmのアルミニ
ウムからなる陰極69を形成した。
基板63を重ね、有機EL表示装置60aを得た。な
お、図7(a)では、各層を同じ横幅で示したが、実際
には上下の透明基板63、63はもっと幅広く形成さ
れ、互いの周囲が光硬化型接着剤(東亜合成社製ラック
ストラックLCR0629B)によって封止され、上下の透明基
板63、63の内側にIZO層64〜陰極69までの主
要な部分が保護されて密閉された構造となっている。x
/(x+y)=0.80、0.85についても全く同様
に、それぞれ有機EL表示装置60b、60cを製造し
た。さらに、比較例1の、、と全く同様の方法
で、x/(x+y)=0.5、0.80、0.85のS
iON膜を両面に形成した各透明基板についても、同様
に有機EL表示装置を製造し、それぞれ有機EL表示装
置60’a、60’b、60’cとした。以上の6つの
有機EL表示装置について、温度23℃下で、陽極であ
るIZO層64と陰極69との間に直流電圧15Vを印
加したところ、青紫色の発光が見られた。点灯開始から
輝度の半減する時間を、有機EL表示装置60’bの半
減時間を100として、評価し表3にまとめた。表3に
おいて、◎140以上、○120〜140、△100〜
120、×100未満である。
成した透明基板を用いた有機EL表示装置60a、60
b、60cは、比較例と比較して、輝度半減時間が長
く、寿命が長いことが分かった。有機EL表示装置の寿
命は外からの水分の影響が大きいことが知られている
が、本発明の方法で形成したSiON膜は、従来の真空
下で形成した膜よりも緻密であり、水分を通し難いと考
えられる。そのため、装置としての寿命が長くなったと
考えられる。
で示した有機イリジウム化合物を含むものに変更する以
外は前記実施例3と全く同様に有機EL表示装置を製造
した。IZO層64とアルミニウムからなる陰極69は
全く同様であるが、その間の各膜は次の化合物から形成
した。IZO層64側から順に、α−NPD層(25n
m)、CBPとIr(PPy)3の共蒸着膜層(35n
m、Ir(PPy)3が6%)、BC層(10nm)、
Alq層(40nm)、LiF層(0.5nm)であ
る。
発光させたところ、発光色は緑であった。また、輝度半
減時間について、x/(x+y)の値が0.5、0.8
0、0.85のいずれも実施例3と同様であり、良好な
結果が得られた。
フィルムに直接SiON膜を保護膜として形成したが、
実施例5、6では、SiON膜(SiN膜)を、有機E
L表示装置の背面側にあって、発光側に存在する物体の
陰極への写り込みを禁止する写り込み防止膜として形成
する。実施例1〜4の保護膜の場合、発光面側に形成さ
れることから、透明であることが必須であったが、写り
込み防止膜の場合、逆に着色され遮光性が高いことが重
要である。
説明する。まず、PESフィルムからなる基材81の表
面に実施例3と同様に、IZO膜を形成し、パターニン
グ後、洗浄しIZO層82を形成した。このIZO層8
2の表面に、実施例3同様に、mTDATXA層83
(25nm)、DMPhen層84(20nm)、BC
層85(30nm)、LiF層86(0.5nm)を順
次形成した。次いで、LiF層86の表面に、アルミニ
ウムを真空蒸着することによりAl層87を極薄く(1
nm)形成した。
プラズマ法(周波数13.56MHz、電力20W/c
m2)によりSiON膜からなる写り込み防止膜88を
形成した。ここで用いた混合ガスは以下のものである。 不活性ガス:アルゴン 反応性ガス1:酸素 反応性ガス2:ヘキサメチルジシラザン(125℃に加
熱した液体にアルゴンガスをバブリング) これらのガスの割合を制御することで、x/(x+y)
の値が0.2の膜を形成した。膜厚は30nmであっ
た。次いで、真空蒸着装置において、写り込み防止膜8
8の表面にアルミニウムからなる陰極89(膜厚100
nm)を蒸着形成した。このように得られた積層体に、
さらに基材81を重ね、有機EL表示装置80aを得
た。なお、図7(b)では、各層を同じ横幅で示した
が、実際には上下の基材81、81はもっと幅広く形成
され、互いの周囲が光硬化型接着剤(東亜合成社製ラッ
クストラックLCR0629B)によって封止され、上下の基材
81、81の内側にIZO層82〜陰極89の主要な部
分が保護された状態で密閉された構造となっている。
大気圧プラズマ法で、混合ガスとして酸素を水素に代え
て、厚さ10nmのSiN膜を写り込み防止膜88とし
て形成し、有機EL表示装置80bを製造した。
RFスパッタリング法(真空状態、周波数13.56M
Hz)により形成した。ターゲットとして窒化珪素を用
い、アルゴンと酸素からなる混合ガスを供給しながら、
x/(x+y)の値が0.2のSiON膜(膜厚30n
m)を形成した以外は、有機EL表示装置80a同様
に、有機EL表示装置80’aを製造した。同じく、比
較として、写り込み防止膜88をRFスパッタリング法
(真空状態、周波数13.56MHz)により形成し
た。ターゲットとして窒化珪素を用い、アルゴンガスを
供給しながら、SiN膜(膜厚30nm)を形成した以
外は、有機EL表示装置80b同様に、有機EL表示装
置80’bを製造した。
a、80’bそれぞれについて、陽極であるIZO層8
2と陰極89の間に、温度23℃下で15Vの直流電圧
を印加したところ、青紫色の発光が見られた。点灯開始
時からの輝度の半減する時間について、有機EL表示装
置80’aの輝度の半減時間を100として評価した。
また、写り込み防止効果についても評価し、これらの結
果を表4にまとめた。表4の輝度半減時間について、◎
140以上、○120〜140、△100〜120であ
る。また、写り込み防止効果については、◎写り込みは
全く無し、○少し認められる、である。
(x+y)=0.2)は、本発明、比較例に関係なく良
好な写り込み防止効果を示した。しかし、輝度半減時間
については、本発明の大気圧プラズマ法で写り込み防止
膜を形成した表示装置の方が長く、つまり寿命が長く、
写り込み防止効果だけでなく、保護膜としても寄与して
いると考えられる。
層82側から順に、α−NPD層(25nm)、CBP
とIr(PPy)3の共蒸着膜層(35nm、Ir(P
Py)3が6%)、BC層(10nm)、Alq層(4
0nm)、LiF層(0.5nm)を形成した後、Al
層87を形成した以外は前記実施例5と全く同様に有機
EL表示装置を製造した。そして、表4と全く同様に評
価した。実施例5同様に、本発明の方法で写り込み防止
膜を形成した有機EL表示装置は、寿命が長く、SiO
N膜やSiN膜が写り込み防止効果だけでなく、保護膜
としても寄与していることが分かった。
れることなく、適宜変更可能であるのは勿論である。例
えば、有機EL表示装置の発光層を構成する化合物とし
ては、上記で用いたもの以外に、以下に示す有機白金化
合物や有機イリジウム化合物を使用することができる。
さらに、有機オスミウム化合物なども使用することがで
きる。
に限定されず、液晶表示装置や、CCDなどの光学セン
サにより受光した画像を表示する表示装置など、各種表
示装置に適用することができる。さらに、本発明の膜の
形成方法は、表示装置だけでなく、各種電子機器、光学
機器などに使用される基材に対して適用することができ
る。
SiON膜は、炭素含有率が真空で作製した膜よりも多
く膜が柔軟であるため、剥離試験の結果が示すように、
基材に対する密着性が良く、製膜時に基材の温度を上げ
るなどの工夫が不要である。したがって、プラスチック
を基板として利用しやすい。また、大気圧プラズマ法で
はRFスパッタリング法よりも、粒子密度の高い緻密な
膜が形成されるので、強度が高く、耐傷性の点でも優れ
ている。さらに、本発明の方法で得られたSiON膜、
SiN膜は、従来の真空下で形成した膜よりも緻密であ
り、水分を通し難く、結果として、このようなSiON
膜、SiN膜を使用した有機EL表示装置は寿命が長
い。加えて、大気圧プラズマ法は、真空下よりも本質的
に格段に製膜速度が速く、また、真空系における製膜装
置のように密閉系にする必要もないので、排気などにか
かる時間も短く、次々に基材をプラズマ状態のガスに晒
すことができ、生産性が非常に高い。
理室の一例を示す図である。
理室に取り付け可能なロール電極の斜視図である。
られる固定電極の斜視図であり、(b)は固定電極の他
の例である。
理室を示す図である。
膜装置を示す概略図である。
る。
の概略構成を示す図であり、(b)は実施例5で製造し
た有機EL表示装置の概略構成を示す図である。
Claims (12)
- 【請求項1】基材の表面に、酸素原子と窒素原子の少な
くともいずれか一方と、珪素原子とを含有する膜を形成
する膜の形成方法において、 大気圧または大気圧近傍の圧力下において、対向する電
極間に放電することにより反応性ガスをプラズマ状態と
し、前記基材を前記プラズマ状態の反応性ガスに晒すこ
とによって、前記基材の表面に前記膜を形成することを
特徴とする膜の形成方法。 - 【請求項2】前記放電を、100kHzを超える高周波
電圧で、かつ、1W/cm2以上の電力を供給すること
により起こすことを特徴とする請求項1に記載の膜の形
成方法。 - 【請求項3】前記放電を、200kHz以上の高周波電
圧で、かつ、2W/cm2以上の電力を供給することに
より起こすことを特徴とする請求項2に記載の膜の形成
方法。 - 【請求項4】前記高周波電圧は、連続したサイン波であ
ることを特徴とする請求項2または3に記載の膜の形成
方法。 - 【請求項5】前記基材は、長尺なフィルムであって、こ
の長尺フィルムが前記電極間を搬送されながら、プラズ
マ状態の反応性ガスに晒されることを特徴とする請求項
1〜4のいずれかに記載の膜の形成方法。 - 【請求項6】前記電極間に、前記反応性ガスと不活性ガ
スを含有する混合ガスを導入し、前記混合ガスは、不活
性ガスを90.0〜99.9体積%含有していることを
特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の膜の形成方
法。 - 【請求項7】請求項1〜6のいずれか記載の膜の形成方
法により設けられた膜を有する基材であって、 前記膜を構成する酸素原子と窒素原子の数の比をx:y
とした場合に、x/(x+y)は0.95以下であるこ
とを特徴とする基材。 - 【請求項8】x/(x+y)は0.80以下であること
を特徴とする請求項7に記載の基材。 - 【請求項9】前記膜は炭素を含有することを特徴とする
請求項7または8に記載の基材。 - 【請求項10】膜の炭素含有率は、0.2〜5重量%で
あることを特徴とする請求項9に記載の基材。 - 【請求項11】請求項7〜10のいずれか記載の基材を
含むことを特徴とする表示装置。 - 【請求項12】有機EL表示装置であることを特徴とす
る請求項11に記載の表示装置。
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