JP2003068865A - 半導体デバイスの自己診断方法および装置 - Google Patents
半導体デバイスの自己診断方法および装置Info
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- JP2003068865A JP2003068865A JP2001261770A JP2001261770A JP2003068865A JP 2003068865 A JP2003068865 A JP 2003068865A JP 2001261770 A JP2001261770 A JP 2001261770A JP 2001261770 A JP2001261770 A JP 2001261770A JP 2003068865 A JP2003068865 A JP 2003068865A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 各機能ブロックの自己診断、例えば、半導体
装置の電源投入時の自動診断ができるようにすることに
より、出荷後の半導体デバイスの動作不良などを容易に
診断できる方法および装置を提供する。 【解決手段】 メモリにあらかじめ記憶された診断プロ
グラムに従って、各機能ブロックに診断条件を送信する
BISTコントローラ20と、前記診断条件に基づい
て、対応する機能ブロックを診断し、対応する機能ブロ
ックから診断結果を取得し、その診断結果をBISTコ
ントローラ20に送信する前記BIST回路201と、
前記診断結果に基づいて、正常・異常表示を行う主コン
トローラ40と備え、前記BIST回路201で得られ
た診断結果をBISTコントローラ20を介して主コン
トローラ40に送信し、主コントローラ40で正常・異
常の表示を行う。
装置の電源投入時の自動診断ができるようにすることに
より、出荷後の半導体デバイスの動作不良などを容易に
診断できる方法および装置を提供する。 【解決手段】 メモリにあらかじめ記憶された診断プロ
グラムに従って、各機能ブロックに診断条件を送信する
BISTコントローラ20と、前記診断条件に基づい
て、対応する機能ブロックを診断し、対応する機能ブロ
ックから診断結果を取得し、その診断結果をBISTコ
ントローラ20に送信する前記BIST回路201と、
前記診断結果に基づいて、正常・異常表示を行う主コン
トローラ40と備え、前記BIST回路201で得られ
た診断結果をBISTコントローラ20を介して主コン
トローラ40に送信し、主コントローラ40で正常・異
常の表示を行う。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の機能ブロッ
クを有する半導体集積回路(LSI)(以下、半導体デ
バイスと称する)が搭載された基板において、半導体デ
バイスが有する各機能ブロック動作を自己診断する方法
および装置に関するものである。より詳細には、外部の
ヒューマンインタフェース装置からの指示に基づいて、
各機能ブロックに対して通常に行われる数値演算または
画像処理等の処理(通常処理と称する)とは別に、各機
能ブロックのそれぞれに対応して設けられたBIST
(Built In Self Test)回路を用いて半導体デバイスが
有する各機能ブロックの自己診断を行う方法および装置
に関するものである。
クを有する半導体集積回路(LSI)(以下、半導体デ
バイスと称する)が搭載された基板において、半導体デ
バイスが有する各機能ブロック動作を自己診断する方法
および装置に関するものである。より詳細には、外部の
ヒューマンインタフェース装置からの指示に基づいて、
各機能ブロックに対して通常に行われる数値演算または
画像処理等の処理(通常処理と称する)とは別に、各機
能ブロックのそれぞれに対応して設けられたBIST
(Built In Self Test)回路を用いて半導体デバイスが
有する各機能ブロックの自己診断を行う方法および装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体デバイスの各機能ブロックの動作
を診断する方法としては、特開2000−250946
号に開示されたLSI回路のテスト容易化設計方法が知
られている。図3は特開2000−250946号に開
示されたLSI回路テスト装置を示す図である。
を診断する方法としては、特開2000−250946
号に開示されたLSI回路のテスト容易化設計方法が知
られている。図3は特開2000−250946号に開
示されたLSI回路テスト装置を示す図である。
【0003】図3において、LSI回路テスト装置は、
テストパターン生成器352、被テストブロック35
5、テスト結果解析器357、およびこれらを制御して
テスト解析結果358を出力するためのBIST制御回
路351から構成される。BIST制御回路351は、
テストモード設定用の外部入力信号350に基づいて、
被テストブロック355を含む半導体集積回路をテスト
モードに設定する。外部入力信号350に基づいて、B
IST制御回路351が初期化された後、被テストブロ
ック355の自己テストが実行される。
テストパターン生成器352、被テストブロック35
5、テスト結果解析器357、およびこれらを制御して
テスト解析結果358を出力するためのBIST制御回
路351から構成される。BIST制御回路351は、
テストモード設定用の外部入力信号350に基づいて、
被テストブロック355を含む半導体集積回路をテスト
モードに設定する。外部入力信号350に基づいて、B
IST制御回路351が初期化された後、被テストブロ
ック355の自己テストが実行される。
【0004】自己テストの実行中は被テストブロック3
55への入力353はテストパターン生成器352によ
り自動的に生成される。また、被テストブロックからの
テスト結果出力356は、テスト結果解析器357に入
力され、逐一期待値と比較される。最終的に被テストブ
ロック355のテスト解析結果358が出力され、被テ
ストブロック355の良否の判定が行われる。
55への入力353はテストパターン生成器352によ
り自動的に生成される。また、被テストブロックからの
テスト結果出力356は、テスト結果解析器357に入
力され、逐一期待値と比較される。最終的に被テストブ
ロック355のテスト解析結果358が出力され、被テ
ストブロック355の良否の判定が行われる。
【0005】しかしながら、このような従来のLSI回
路テスト装置においては、各被テストブロック355に
対してBIST制御回路351が設けられ、出荷時等に
被テストブロック355の動作診断が行われていたが、
出荷された後の被テストブロック355の動作を自動的
に診断することはできなかった。
路テスト装置においては、各被テストブロック355に
対してBIST制御回路351が設けられ、出荷時等に
被テストブロック355の動作診断が行われていたが、
出荷された後の被テストブロック355の動作を自動的
に診断することはできなかった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】複数の半導体デバイス
を同一の回路基板に搭載した製品の出荷後の経年変化な
どにより半導体デバイスが劣化したような場合に対し
て、半導体デバイスの機能ブロックの診断を簡便に実施
することができなかった。
を同一の回路基板に搭載した製品の出荷後の経年変化な
どにより半導体デバイスが劣化したような場合に対し
て、半導体デバイスの機能ブロックの診断を簡便に実施
することができなかった。
【0007】本発明は、上述の課題に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは、半導体デバイスの各機
能ブロックに対応してBIST回路を設けるとともに、
BISTコントローラとメモリを設けることにより、半
導体デバイスの通常動作中に、例えば、半導体装置の電
源投入時に、半導体デバイスの自動診断を行い、それに
よって、経年変化による半導体デバイスの動作不良など
を常時診断できる方法および装置を提供するものであ
る。
ので、その目的とするところは、半導体デバイスの各機
能ブロックに対応してBIST回路を設けるとともに、
BISTコントローラとメモリを設けることにより、半
導体デバイスの通常動作中に、例えば、半導体装置の電
源投入時に、半導体デバイスの自動診断を行い、それに
よって、経年変化による半導体デバイスの動作不良など
を常時診断できる方法および装置を提供するものであ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明は、基板上に搭載された複数の機能ブロック
を有する半導体デバイスの自己診断方法において、メモ
リにあらかじめ記憶された診断プログラムに従って、B
ISTコントローラが各機能ブロックに診断条件を送信
するステップと、前記診断条件に基づいて、前記BIS
T回路が対応する機能ブロックを診断するステップと、
前記BIST回路が対応する機能ブロックから診断結果
を取得し、その診断結果をBISTコントローラに送信
するステップと、前記BISTコントローラが診断結果
を通常処理を制御する主コントローラに送信するステッ
プと、前記診断結果に基づいて、主コントローラが正常
・異常表示を行うステップと備えたことを特徴とする。
め、本発明は、基板上に搭載された複数の機能ブロック
を有する半導体デバイスの自己診断方法において、メモ
リにあらかじめ記憶された診断プログラムに従って、B
ISTコントローラが各機能ブロックに診断条件を送信
するステップと、前記診断条件に基づいて、前記BIS
T回路が対応する機能ブロックを診断するステップと、
前記BIST回路が対応する機能ブロックから診断結果
を取得し、その診断結果をBISTコントローラに送信
するステップと、前記BISTコントローラが診断結果
を通常処理を制御する主コントローラに送信するステッ
プと、前記診断結果に基づいて、主コントローラが正常
・異常表示を行うステップと備えたことを特徴とする。
【0009】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断方法において、前記メモリには、さらに、診断期待値
をあらかじめ記憶し、前記BISTコントローラは、前
記診断条件と共に、前記メモリから読み出した診断期待
値をBIST回路に送信するステップを備えたことを特
徴とする。
断方法において、前記メモリには、さらに、診断期待値
をあらかじめ記憶し、前記BISTコントローラは、前
記診断条件と共に、前記メモリから読み出した診断期待
値をBIST回路に送信するステップを備えたことを特
徴とする。
【0010】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断方法において、前記BIST回路が前記診断結果を前
記診断期待値と比較し、診断結果が診断期待値と不一致
であるときに、前記BIST回路がBISTコントロー
ラに異常信号を送信するステップと、前記異常信号を受
信すると、前記BISTコントローラが、その異常信号
を前記主コントローラに送信するステップと、前記異常
信号を受信すると、前記主コントローラが異常を表示し
または異常を警告するステップとを備えたことを特徴と
する。
断方法において、前記BIST回路が前記診断結果を前
記診断期待値と比較し、診断結果が診断期待値と不一致
であるときに、前記BIST回路がBISTコントロー
ラに異常信号を送信するステップと、前記異常信号を受
信すると、前記BISTコントローラが、その異常信号
を前記主コントローラに送信するステップと、前記異常
信号を受信すると、前記主コントローラが異常を表示し
または異常を警告するステップとを備えたことを特徴と
する。
【0011】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断方法において、前記BISTコントローラは、前記半
導体装置の電源投入時に前記各機能ブロックの診断処理
を行うことを特徴とする。
断方法において、前記BISTコントローラは、前記半
導体装置の電源投入時に前記各機能ブロックの診断処理
を行うことを特徴とする。
【0012】さらに、本発明は、基板上に搭載された複
数の機能ブロックを有する半導体デバイスの自己診断装
置において、メモリにあらかじめ記憶された診断プログ
ラムに従って、各機能ブロックに診断条件を送信するB
ISTコントローラと、前記診断条件に基づいて、対応
する機能ブロックを診断し、対応する機能ブロックから
診断結果を取得し、その診断結果を前記BISTコント
ローラに送信するBIST回路と、前記診断結果に基づ
いて、正常・異常表示を行う主コントローラと備え、前
記BIST回路で得られた診断結果を前記BISTコン
トローラを介して前記主コントローラに送信し、前記主
コントローラで正常・異常表示を行うことを特徴とす
る。
数の機能ブロックを有する半導体デバイスの自己診断装
置において、メモリにあらかじめ記憶された診断プログ
ラムに従って、各機能ブロックに診断条件を送信するB
ISTコントローラと、前記診断条件に基づいて、対応
する機能ブロックを診断し、対応する機能ブロックから
診断結果を取得し、その診断結果を前記BISTコント
ローラに送信するBIST回路と、前記診断結果に基づ
いて、正常・異常表示を行う主コントローラと備え、前
記BIST回路で得られた診断結果を前記BISTコン
トローラを介して前記主コントローラに送信し、前記主
コントローラで正常・異常表示を行うことを特徴とす
る。
【0013】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断装置において、前記メモリに、さらに、診断期待値を
あらかじめ記憶し、前記BISTコントローラは、前記
診断条件と共に、前記メモリから読み出した診断期待値
をBIST回路に送信する手段を備えたことを特徴とす
る。
断装置において、前記メモリに、さらに、診断期待値を
あらかじめ記憶し、前記BISTコントローラは、前記
診断条件と共に、前記メモリから読み出した診断期待値
をBIST回路に送信する手段を備えたことを特徴とす
る。
【0014】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断装置において、さらに、前記BIST回路は、前記診
断結果を前記診断期待値と比較する比較手段と、診断結
果が診断期待値と不一致であるときに、BISTコント
ローラに異常信号を送信する手段とを備え、前記BIS
Tコントローラは、前記BIST回路から前記異常信号
を受信すると、その異常信号を前記主コントローラに送
信する手段を備え、前記主コントローラは、前記BIS
Tコントローラから前記異常信号を受信すると、異常を
表示しまたは異常を警告する手段とを備えたことを特徴
とする。
断装置において、さらに、前記BIST回路は、前記診
断結果を前記診断期待値と比較する比較手段と、診断結
果が診断期待値と不一致であるときに、BISTコント
ローラに異常信号を送信する手段とを備え、前記BIS
Tコントローラは、前記BIST回路から前記異常信号
を受信すると、その異常信号を前記主コントローラに送
信する手段を備え、前記主コントローラは、前記BIS
Tコントローラから前記異常信号を受信すると、異常を
表示しまたは異常を警告する手段とを備えたことを特徴
とする。
【0015】また、本発明は、半導体デバイスの自己診
断装置において、前記BISTコントローラは、前記半
導体装置の電源投入時に、前記各機能ブロックの診断処
理を行うことを特徴とする。
断装置において、前記BISTコントローラは、前記半
導体装置の電源投入時に、前記各機能ブロックの診断処
理を行うことを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の一実施の形態の
半導体デバイスの自己診断を行う装置の装置構成を示す
図である。図1において、本発明の半導体デバイスの自
己診断装置は、複数の機能ブロックおよび複数のBIS
T回路を有する半導体デバイス10、複数の機能ブロッ
クおよび複数のBIST回路を有する半導体デバイス1
1、半導体デバイス10および半導体デバイス11を制
御するための主コントローラ40、BIST回路を制御
するためのBISTコントローラ20、BISTコント
ローラ20を制御するためのプログラムを格納するメモ
リおよび一次メモリを有するメモリ30から構成され
る。
半導体デバイスの自己診断を行う装置の装置構成を示す
図である。図1において、本発明の半導体デバイスの自
己診断装置は、複数の機能ブロックおよび複数のBIS
T回路を有する半導体デバイス10、複数の機能ブロッ
クおよび複数のBIST回路を有する半導体デバイス1
1、半導体デバイス10および半導体デバイス11を制
御するための主コントローラ40、BIST回路を制御
するためのBISTコントローラ20、BISTコント
ローラ20を制御するためのプログラムを格納するメモ
リおよび一次メモリを有するメモリ30から構成され
る。
【0017】ここで、半導体デバイス10および半導体
デバイス11は、それぞれ診断対象の半導体デバイスで
ある。半導体デバイス10は、機能ブロック(#1)1
01および機能ブロック(#2)102を有するととも
に機能ブロック(#1)101に対して自己診断を実施
するBIST回路(#1)201および機能ブロック
(#2)102に対して自己診断を実施するBIST回
路(#2)202を有している。なお、BIST回路2
01および202は、半導体デバイス10中に内蔵さ
れ、それぞれ機能ブロック101および102の近傍に
設けられる。
デバイス11は、それぞれ診断対象の半導体デバイスで
ある。半導体デバイス10は、機能ブロック(#1)1
01および機能ブロック(#2)102を有するととも
に機能ブロック(#1)101に対して自己診断を実施
するBIST回路(#1)201および機能ブロック
(#2)102に対して自己診断を実施するBIST回
路(#2)202を有している。なお、BIST回路2
01および202は、半導体デバイス10中に内蔵さ
れ、それぞれ機能ブロック101および102の近傍に
設けられる。
【0018】また、同様に、半導体デバイス11は、機
能ブロック(#i)111および機能ブロック(#N)
112を有するとともに、機能ブロック(#i)111
の自己診断を行うBIST回路(#i)211および機
能ブロック(#N)112の自己診断を行うBIST回
路(#N)212を有している。同様に、BIST回路
211および212は、それぞれ機能ブロック111お
よび112の近傍に設けられている。
能ブロック(#i)111および機能ブロック(#N)
112を有するとともに、機能ブロック(#i)111
の自己診断を行うBIST回路(#i)211および機
能ブロック(#N)112の自己診断を行うBIST回
路(#N)212を有している。同様に、BIST回路
211および212は、それぞれ機能ブロック111お
よび112の近傍に設けられている。
【0019】BISTコントローラ20は、信号線30
1,302,311および312によって、それぞれB
IST回路201,202,211および212と接続
され、各機能ブロックに対応した診断条件をBIST回
路に送信する。各BIST回路は、BISTコントロー
ラ20から受信した診断条件を、診断すべき機能ブロッ
クに送信する。さらに、BISTコントローラ20は、
機能ブロックから診断結果を受信すると、BISTコン
トローラ20にその診断結果を送信する。BISTコン
トローラ20は各BIST回路から受信した診断結果と
メモリ30から受信した診断期待値とを照合する。メモ
リ30は、信号線21によりBISTコントローラ20
と接続され、前記各BIST回路が各機能ブロックを診
断するための診断条件、各機能ブロックに対する診断期
待値および各機能ブロックの診断結果を各機能ブロック
対応に記憶する。
1,302,311および312によって、それぞれB
IST回路201,202,211および212と接続
され、各機能ブロックに対応した診断条件をBIST回
路に送信する。各BIST回路は、BISTコントロー
ラ20から受信した診断条件を、診断すべき機能ブロッ
クに送信する。さらに、BISTコントローラ20は、
機能ブロックから診断結果を受信すると、BISTコン
トローラ20にその診断結果を送信する。BISTコン
トローラ20は各BIST回路から受信した診断結果と
メモリ30から受信した診断期待値とを照合する。メモ
リ30は、信号線21によりBISTコントローラ20
と接続され、前記各BIST回路が各機能ブロックを診
断するための診断条件、各機能ブロックに対する診断期
待値および各機能ブロックの診断結果を各機能ブロック
対応に記憶する。
【0020】主コントローラ40は、信号線50を介し
て図示されていない外部装置、例えば、試験用テスタま
たはキーボードのようなヒューマンインタフェース装置
と接続され、一方、信号線22を介してBISTコント
ローラ20と接続され、入出力信号線41、42、43
および44を介して対応の機能ブロックの入出力端子と
接続される。主コントローラ40は、外部のヒューマン
インタフェース装置からの指示に基づいて、各機能ブロ
ックを用いて、通常の数値演算または画像処理等の処理
を行う。一方、主コントローラ40は外部のテスタから
受信した診断パターンに基づいて各機能ブロックの診断
を行うこともできる。また、主コントローラ40は、B
ISTコントローラ20で得られた各半導体デバイスの
機能ブロックの自己診断結果を外部テスタなどに送信す
ることができる。
て図示されていない外部装置、例えば、試験用テスタま
たはキーボードのようなヒューマンインタフェース装置
と接続され、一方、信号線22を介してBISTコント
ローラ20と接続され、入出力信号線41、42、43
および44を介して対応の機能ブロックの入出力端子と
接続される。主コントローラ40は、外部のヒューマン
インタフェース装置からの指示に基づいて、各機能ブロ
ックを用いて、通常の数値演算または画像処理等の処理
を行う。一方、主コントローラ40は外部のテスタから
受信した診断パターンに基づいて各機能ブロックの診断
を行うこともできる。また、主コントローラ40は、B
ISTコントローラ20で得られた各半導体デバイスの
機能ブロックの自己診断結果を外部テスタなどに送信す
ることができる。
【0021】図2は、本発明の一実施の形態の機能ブロ
ックの診断処理を示すフローチャートの一例を示す図で
ある。ここでは、出荷後の半導体装置の障害を、半導体
装置の電源投入時に自動的に診断する例について説明す
る。図2において、ステップS1は、電源投入を検出
し、BIST回路による診断を開始するための契機とな
る処理である。ステップS1で電源投入が検出されると
(ステップS1でYesの場合)、BISTコントロー
ラ20が起動される(ステップS2)。BISTコント
ローラ20は、診断対象のN個の機能ブロックの内で第
1番目の機能ブロックから順次、診断処理を開始するた
めに、機能ブロック番号iを1に設定する(ステップS
3)。
ックの診断処理を示すフローチャートの一例を示す図で
ある。ここでは、出荷後の半導体装置の障害を、半導体
装置の電源投入時に自動的に診断する例について説明す
る。図2において、ステップS1は、電源投入を検出
し、BIST回路による診断を開始するための契機とな
る処理である。ステップS1で電源投入が検出されると
(ステップS1でYesの場合)、BISTコントロー
ラ20が起動される(ステップS2)。BISTコント
ローラ20は、診断対象のN個の機能ブロックの内で第
1番目の機能ブロックから順次、診断処理を開始するた
めに、機能ブロック番号iを1に設定する(ステップS
3)。
【0022】ステップS4で、BISTコントローラ2
0は、ステップS3において設定した診断対象の機能ブ
ロック(#i)に対する診断条件をメモリ30から読み
出し、前記BIST回路(#i)に送信する。
0は、ステップS3において設定した診断対象の機能ブ
ロック(#i)に対する診断条件をメモリ30から読み
出し、前記BIST回路(#i)に送信する。
【0023】BIST回路(#i)は、前記機能ブロッ
クの診断条件を受信すると、その診断条件に基づき、機
能ブロック(#i)を診断する(ステップS5)。BI
ST回路(#i)は、前記機能ブロック(#i)の診断
が終了すると、BISTコントローラ20から受信した
前記機能ブロックの診断期待値と前記機能ブロックから
得られた診断結果を比較する(ステップS6)。
クの診断条件を受信すると、その診断条件に基づき、機
能ブロック(#i)を診断する(ステップS5)。BI
ST回路(#i)は、前記機能ブロック(#i)の診断
が終了すると、BISTコントローラ20から受信した
前記機能ブロックの診断期待値と前記機能ブロックから
得られた診断結果を比較する(ステップS6)。
【0024】ステップS7において、前記BIST回路
(#i)は、前記解析結果から診断期待値と機能ブロッ
クから得られた診断結果とが一致するか否かを判断す
る。その結果、両データが一致する場合には(ステップ
S7でYesの場合)、BIST回路(#i)は、その
機能ブロックが正常であると判断してステップS8の処
理に移る。ステップS8においては、BIST回路(#
i)は、機能ブロック(#i)の診断結果をBISTコ
ントローラ20に送信する。その結果を受信すると、B
ISTコントローラ20は、ステップS11で、メモリ
30に前記結果の書き込み要求信号を送信し、メモリ3
0はその診断結果を機能ブロック対応に記憶する。
(#i)は、前記解析結果から診断期待値と機能ブロッ
クから得られた診断結果とが一致するか否かを判断す
る。その結果、両データが一致する場合には(ステップ
S7でYesの場合)、BIST回路(#i)は、その
機能ブロックが正常であると判断してステップS8の処
理に移る。ステップS8においては、BIST回路(#
i)は、機能ブロック(#i)の診断結果をBISTコ
ントローラ20に送信する。その結果を受信すると、B
ISTコントローラ20は、ステップS11で、メモリ
30に前記結果の書き込み要求信号を送信し、メモリ3
0はその診断結果を機能ブロック対応に記憶する。
【0025】一方、両データが不一致の場合には(ステ
ップS7でNoの場合)、その機能ブロックは診断結果
が異常と判断して、ステップS9で、前記BIST回路
(#i)は、BISTコントローラ20に異常情報を送
信する。その情報を受信すると、BISTコントローラ
20は、当該機能ブロックの異常表示要求信号を、主コ
ントローラ40に送信する(ステップS10)。
ップS7でNoの場合)、その機能ブロックは診断結果
が異常と判断して、ステップS9で、前記BIST回路
(#i)は、BISTコントローラ20に異常情報を送
信する。その情報を受信すると、BISTコントローラ
20は、当該機能ブロックの異常表示要求信号を、主コ
ントローラ40に送信する(ステップS10)。
【0026】ステップS12で、BISTコントローラ
20が診断対象となっている機能ブロックの全数(N
個)の診断が完了したか否かを判断し、未完了の場合に
は、ステップS13に移り、次の機能ブロック番号(i
+1)を設定して、ステップS4の処理に移る。ステッ
プS12において、診断対象の機能ブロック全数の診断
が完了した場合には(ステップS12でYesの場
合)、BISTコントローラ20は、診断結果を主コン
トローラ40に送信する(ステップS14)。ステップ
S14で、主コントローラ40は、信号線50を介して
外部のディスプレイ等に正常・異常の表示を行い、また
は異常の場合には警報等を発する(ステップS15)。
20が診断対象となっている機能ブロックの全数(N
個)の診断が完了したか否かを判断し、未完了の場合に
は、ステップS13に移り、次の機能ブロック番号(i
+1)を設定して、ステップS4の処理に移る。ステッ
プS12において、診断対象の機能ブロック全数の診断
が完了した場合には(ステップS12でYesの場
合)、BISTコントローラ20は、診断結果を主コン
トローラ40に送信する(ステップS14)。ステップ
S14で、主コントローラ40は、信号線50を介して
外部のディスプレイ等に正常・異常の表示を行い、また
は異常の場合には警報等を発する(ステップS15)。
【0027】以上述べた実施の形態は本発明を説明する
ための一例であり、本発明は、前記の実施の形態に限定
されるものではなく、発明の要旨の範囲で種々の変形が
可能である。前記の実施の形態では、診断は電源投入時
に行う場合について説明したが、これに限ることはな
く、半導体装置の運転時に、任意の間隔で、または電源
切断時に診断処理を行ってもよい。
ための一例であり、本発明は、前記の実施の形態に限定
されるものではなく、発明の要旨の範囲で種々の変形が
可能である。前記の実施の形態では、診断は電源投入時
に行う場合について説明したが、これに限ることはな
く、半導体装置の運転時に、任意の間隔で、または電源
切断時に診断処理を行ってもよい。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
機能ブロック対応にBIST回路を設けた半導体デバイ
スに、BISTコントローラ、診断のための診断プログ
ラムおよび診断結果等を記憶するメモリを設け、BIS
Tコントローラは、主コントローラが動作する前または
動作中に、機能ブロックを診断するようにしたので、半
導体デバイスの出荷後において、半導体デバイスの診断
を容易に行うことができる。特に、半導体装置の電源投
入時に各機能ブロックの診断処理を行うようにすれば、
半導体デバイスの動作前に半導体デバイスの障害を検出
できるので半導体デバイスの動作中に生じるデータの損
失等を防止できる効果がある。
機能ブロック対応にBIST回路を設けた半導体デバイ
スに、BISTコントローラ、診断のための診断プログ
ラムおよび診断結果等を記憶するメモリを設け、BIS
Tコントローラは、主コントローラが動作する前または
動作中に、機能ブロックを診断するようにしたので、半
導体デバイスの出荷後において、半導体デバイスの診断
を容易に行うことができる。特に、半導体装置の電源投
入時に各機能ブロックの診断処理を行うようにすれば、
半導体デバイスの動作前に半導体デバイスの障害を検出
できるので半導体デバイスの動作中に生じるデータの損
失等を防止できる効果がある。
【0029】また、BIST回路は、機能ブロックの診
断結果とその診断期待値とが不一致のとき、BISTコ
ントローラを介して主コントローラに異常信号を送信
し、その信号を受信した主コントローラは、ヒューマン
インタフェースを介して外部表示装置等に機能ブロック
の異常表示ができるので、半導体装置の動作時における
機能ブロックの異常をあらかじめ知ることができる。
断結果とその診断期待値とが不一致のとき、BISTコ
ントローラを介して主コントローラに異常信号を送信
し、その信号を受信した主コントローラは、ヒューマン
インタフェースを介して外部表示装置等に機能ブロック
の異常表示ができるので、半導体装置の動作時における
機能ブロックの異常をあらかじめ知ることができる。
【図1】 本発明の一実施の形態の半導体デバイスの自
己診断装置の装置構成を示す図である。
己診断装置の装置構成を示す図である。
【図2】 本発明の一実施の形態の機能ブロックの診断
処理を示すフローチャートである。
処理を示すフローチャートである。
【図3】 従来のLSI回路テスト装置を示す図であ
る。
る。
10、11…半導体デバイス
101,102,111,112…機能ブロック
201,202,211,212…BIST回路
20…BISTコントローラ
30…メモリ
40…主コントローラ
Claims (8)
- 【請求項1】 基板上に搭載された複数の機能ブロック
を有する半導体デバイスの自己診断方法において、 メモリにあらかじめ記憶された診断プログラムに従っ
て、BIST回路を制御するBISTコントローラが各
機能ブロックに診断条件を送信するステップと、 前記診断条件に基づいて、前記BIST回路が対応する
機能ブロックを診断するステップと、 前記BIST回路が対応する機能ブロックから診断結果
を取得し、その診断結果をBISTコントローラに送信
するステップと、 前記BISTコントローラが診断結果を通常処理を制御
する主コントローラに送信するステップと、 前記診断結果に基づいて、前記主コントローラが正常・
異常表示を行うステップと備えたことを特徴とする半導
体デバイスの自己診断方法。 - 【請求項2】 前記メモリには、さらに、診断期待値を
あらかじめ記憶し、前記BISTコントローラは、前記
診断条件と共に、前記メモリから読み出した診断期待値
をBIST回路に送信するステップを備えたことを特徴
とする請求項1記載の半導体デバイスの自己診断方法。 - 【請求項3】 前記BIST回路が前記診断結果を前記
診断期待値と比較し、診断結果が診断期待値と不一致で
あるときに、前記BIST回路が前記BISTコントロ
ーラに異常信号を送信するステップと、 前記異常信号を受信すると、前記BISTコントローラ
が、その異常信号を前記主コントローラに送信するステ
ップと、 前記異常信号を受信すると、前記主コントローラが異常
を表示しまたは異常を警告するステップとを備えたこと
を特徴とする請求項2記載の半導体デバイスの自己診断
方法。 - 【請求項4】 前記BISTコントローラは、前記装置
の電源投入時に前記各機能ブロックの診断処理を行うこ
とを特徴とする請求項1記載の半導体デバイスの自己診
断方法。 - 【請求項5】 基板上に搭載された複数の機能ブロック
を有する半導体デバイスの自己診断装置において、 メモリにあらかじめ記憶された診断プログラムに従っ
て、各機能ブロックに診断条件を送信するBISTコン
トローラと、 前記診断条件に基づいて、対応する機能ブロックを診断
し、対応する機能ブロックから診断結果を取得し、その
診断結果を前記BISTコントローラに送信するBIS
T回路と、 前記診断結果に基づいて、正常・異常表示を行う主コン
トローラと備え、 前記BIST回路で得られた診断結果を前記BISTコ
ントローラを介して前記主コントローラに送信し、前記
主コントローラで正常・異常表示を行うことを特徴とす
る半導体デバイスの自己診断装置。 - 【請求項6】 前記メモリに、さらに、診断期待値をあ
らかじめ記憶し、前記BISTコントローラは、前記診
断条件と共に、前記メモリから読み出した診断期待値を
前記BIST回路に送信する手段を備えたことを特徴と
する請求項5記載の半導体デバイスの自己診断装置。 - 【請求項7】 さらに、 前記BIST回路は、前記診断結果を前記診断期待値と
比較する比較手段と、診断結果が診断期待値と不一致で
あるときに、前記BISTコントローラに異常信号を送
信する手段とを備え、 前記BISTコントローラは、前記BIST回路から前
記異常信号を受信すると、その異常信号を前記主コント
ローラに送信する手段を備え、 前記主コントローラは、前記BISTコントローラから
前記異常信号を受信すると、異常を表示しまたは異常を
警告する手段とを備えたことを特徴とする請求項6記載
の半導体デバイスの自己診断装置。 - 【請求項8】 前記BISTコントローラは、前記装置
の電源投入時に、前記各機能ブロックの診断処理を行う
ことを特徴とする請求項5記載の半導体デバイスの自己
診断装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001261770A JP2003068865A (ja) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | 半導体デバイスの自己診断方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001261770A JP2003068865A (ja) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | 半導体デバイスの自己診断方法および装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003068865A true JP2003068865A (ja) | 2003-03-07 |
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ID=19088763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2001261770A Pending JP2003068865A (ja) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | 半導体デバイスの自己診断方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003068865A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2001
- 2001-08-30 JP JP2001261770A patent/JP2003068865A/ja active Pending
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