JP2003060439A - 圧電発振器 - Google Patents
圧電発振器Info
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Abstract
を有し上面に配線パターン50を有する蓋30を配置
し、配線パターン50上に半導体集積回路40を実装
し、ケース10の角に側面電極20を介して、ケース1
0の底部の外部電極100に接続する。
Description
どの発振回路に使用される、表面実装型の小型圧電発振
器に関する。
ージの内部に半導体集積回路と振動子片を配置したもの
や、基板上に半導体集積回路と振動子を実装した構造が
知られている。
た例として、底部と支持部がある容器の底部に半導体集
積回路を配置し、半導体集積回路の上部に空間を置いて
支持部に支持された振動子を配置し、容器の上面に接合
部材を介して金属製の蓋をした構造がある。
壁を設け、セラミック板の下面に集積回路を配置し、樹
脂で封止し、セラミック板の上面に振動可能な間隔を設
け振動子を配置し、側壁の上面を金属で蓋をした構造が
ある。
として、基板の表面に、振動子と振動子に隣接して半導
体集積回路を配置した構造がある。
いては、容器内に振動子以外の集積回路を入れるため、
容器内部の表面積が大きくなることと、集積回路の接着
に使用する接着剤からの放出ガスにより、振動子周囲の
環境を高真空に保つことができない。パッケージ内に駆
動集積回路を実装するのに、実装面積が少ないために、
駆動集積回路とパッケージの配線の接続を行なうのに、
ワイヤーボンドを行なう面積が確保できず、ベアチップ
実装を行なう必要がある。そのために量産性が悪く、実
装コストが高くなり、且つ、耐衝撃性が弱くなる等の信
頼性面の問題があった。
る方式の場合も同様に、実装面積の制約があるうえに、
圧電発振器自体の基板との接続端子を形成する面積にも
制約が発生し、接合強度が不足するという問題があっ
た。
の表面実装がた圧電発振器を実現するために、セラミッ
クもしくはガラスで形成した振動子パッケージの片面に
パターンを形成し、集積化路を実装することでにした。
側に設け、反対面に発振器の電源端子、GND端子、信号
出力端子を設け、振動子パッケージの4隅にスルーホー
ルを形成することで、駆動集積回路と反対面の端子の接
続を行なう。
外周上に側面部を有するケースと、側面部の上面に接合
され、ケースの内面側に支持電極を設けた蓋部と、支持
電極に一端が接続された圧電振動片と、蓋部の支持電極
を有する面の反対側に駆動集積回路用の配線を介して実
装された駆動集積回路と、ケースの底面の角に設けられ
た基板との接続用の電極と、基板接続用の電極と前記駆
動集積回路の配線を前記ケースの角に形成したスルーホ
ールで接続した圧電発振器を形成した。
ルドした。またケースと前記蓋の接合に陽極接合を用い
た。ここでケースはガラスまたはガラスセラミックスが
好ましい。さらに、蓋はガラスまたはガラスセラミック
スであることが好ましい。
る。図1は、本発明の実施例の圧電発振器を示す図で、
内部に圧電振動片を有するケース10のコーナー部に側面
電極20、21、22、23を形成し、それぞれVDD,GN
D,OUT、ENB端子とする。ケース10の上面の蓋30
の上面には、半導体集積回路40と電気的に接続する配線
パターン50が形成され、角には側面電極20と接続する凹
部60がある。
れ、圧電振動片との電気的接続が行われる。ここで、半
導体集積回路40と配線パターン50の接続には、バンプを
使用した。
部には外部電極100があり、ケース10のコーナー部に形
成された側面電極20を介して、蓋30の上面に配置された
半導体集積回路40と電気的に接続されている。蓋30の下
面には支持電極110を介して圧電振動片120が配置されて
いる。半導体集積回路40は、樹脂130でモールドされて
いる。
ーンを配置し半導体集積回路を実装し、蓋の反対の面に
圧電振動片を内部に有するケースを配置し、ケースの角
に側面電極を形成することにより半導体集積回路の実装
面積を小さくし、かつ圧電振動片の周囲の環境を真空と
し、メカニカルインピーダンスを低く保つことができ
る。
る。
る。
Claims (5)
- 【請求項1】 底部と前記底部の外周上に側面部を有す
るケースと、 前記側面部の上面に接合され、前記ケースの内面側に支
持電極を設けた蓋部と、前記支持電極に一端が接続され
た圧電振動片と、前記蓋部の前記支持電極を有する面の
反対側に駆動集積回路用の配線を介して実装された駆動
集積回路と、前記ケースの底面の角に設けられた基板と
の接続用の電極と、前記基板接続用の電極と前記駆動集
積回路の配線を前記ケースの角に形成したスルーホール
で接続した圧電発振器。 - 【請求項2】 前記駆動集積回路の表面に樹脂を有する
請求項1記載の圧電発振器。 - 【請求項3】 前記ケースと前記蓋の接合に陽極接合を
用いたことを特徴とする請求項1記載の圧電発振器。 - 【請求項4】 前記ケースがガラスまたはガラスセラミ
ックスであることを特徴とする請求項1記載の圧電発振
器。 - 【請求項5】 前記蓋がガラスまたはガラスセラミック
スであることを特徴とする請求項1記載の圧電発振器。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011049992A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Seiko Instruments Inc | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2001
- 2001-08-08 JP JP2001241296A patent/JP4689898B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
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