JP2003051528A

JP2003051528A - 基板用搬送装置

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Publication number: JP2003051528A
Application number: JP2002021872A
Authority: JP
Inventors: Toshitaka Ono; 俊孝大野; Susumu Murayama; 晋村山; Kenji Iimura; 賢司飯村; Kensuke Hirata; 賢輔平田; Kengo Matsuo; 研吾松尾; Yoshiyuki Wada; 芳幸和田; Takaaki Hasegawa; 敬晃長谷川; Shusaku Yamazaki; 秀作山崎; Keiji Okada; 啓治岡田
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2001-05-31
Filing date: 2002-01-30
Publication date: 2003-02-21
Anticipated expiration: 2022-01-30
Also published as: JP3997348B2

Abstract

(57)【要約】【課題】大型の基板であってもその変形を防止できる
と共に、設置スペースの縮小化を図れる基板用搬送装置
を提供する。【解決手段】基板１を垂直状態で搬送する基板用搬送
装置５であって、上記基板１の搬送ライン６上部に配置
された搬送レール７と、垂直状態の基板１の上部を把持
する把持部８を少なくとも２箇所以上有する水平部材９
からなる搬送治具１１と、その搬送治具１１を上記基板
１と一体で支持して上記搬送レール７に沿って移動する
搬送台車１２と、上記基板１を水平状態に載置して製造
作業を行う作業台１４の側部に設けられ上記基板１を一
時保管するバッファ部１５と、そのバッファ部１５と上
記作業台１４との間で上記搬送治具１１と一体の基板１
を移動させる移載装置１６とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板を垂直状態で
搬送する基板用搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤ等の基板の製造工場には、基板に
加工を施す複数の製造加工ブロックが設けられており、
各製造加工ブロック間で基板を搬送する搬送装置が設け
られている。

【０００３】従来、基板を搬送する装置には、基板を水
平状態にして、真空吸着のハンドを有するロボットで受
け渡しを行う搬送装置と、水平のローラコンベヤで搬送
を行う搬送装置とがあった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年では基
板が大型化しており、長さが１ｍを越えるものもでてき
ている。

【０００５】しかしながら、上述の搬送装置では、基板
の搬送や保管が水平状態で行われているために、基板が
大型化すると、その自重によって、中央部に撓みが発生
する等、変形が生じてしまうといった問題があった。

【０００６】また、搬送を行うためのスペースが大きく
必要となり、生産設備内で占める割合が大きくなってし
まうと共に、設備の製造コストが高くなっていた。ま
た、製造加工ブロックを設置するためのスペースの割合
が小さくなり、基板の生産性があまりよくなかった。

【０００７】特に、ロボットで受け渡しを行う装置で
は、そのロボット自体が大型化し、設備の製造コストが
さらに高くなると共に、製造加工ブロックを設置するた
めのスペースが一層狭くなってしまっていた。

【０００８】さらに、各製造装置には効率的な製造運用
を図るために、基板の出入り部に一時保管スペースが設
けられることが多いが、この保管スペースも生産設備内
で占める割合が大きくなってしまう。

【０００９】そこで、本発明は上記問題を解決するため
に案出されたものであって、その目的は、大型の基板で
あってもその変形を防止できると共に、設置スペースの
縮小化を図れる基板用搬送装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、基板を垂直状態で搬送する基板用搬送装
置であって、上記基板の搬送ライン上部に配置された搬
送レールと、垂直状態の基板の上部を把持する把持部を
少なくとも２箇所以上有する水平部材からなる搬送治具
と、その搬送治具を上記基板と一体で支持して上記搬送
レールに沿って移動する搬送台車と、上記基板を水平状
態に載置して製造作業を行う作業台の側部に設けられ上
記基板を一時保管するバッファ部と、そのバッファ部と
上記作業台との間で上記搬送治具と一体の基板を移動さ
せる移載装置とを備えたものである。

【００１１】上記構成によれば、基板を垂直状態として
その上部を把持して搬送するようにしたので、基板の自
重による変形を防止することができると共に、水平方向
の面積を減らすことができ、搬送装置の設置スペースの
縮小化が図れ、その分、製造工場全体のイニシャル及び
ランニングコストを低く押えることができる。また、基
板用搬送装置の設置スペースの縮小した分、製造加工ブ
ロックを設置するためのスペースを大きく採ることもで
き、基板の生産性を向上させることができる。

【００１２】そして、上記搬送治具の水平部材が、上記
基板の上部両端からそれぞれ所定長さ突出して形成され
たものが好ましい。

【００１３】また、上記バッファ部が、上記搬送治具の
上記基板の上部両端から突出した水平部材をその下部か
ら支持すると共に上記基板の直交方向に移動自在の一対
のアームを備えたものが好ましい。

【００１４】さらに、上記移載装置が、上記基板を吸着
する吸盤を有するフォークと、そのフォークを回動させ
る回動部とを備えたものが好ましい。

【００１５】また、上記移載装置が、上記基板を吸着す
る吸盤と上記搬送治具の水平部材を支持する支持部とを
有するフォークと、そのフォークを回動させる回動部と
を備えたものが好ましい。

【００１６】そして、上記搬送台車が、上記搬送治具と
一体の上記基板を複数支持するものが好ましい。

【００１７】また、上記搬送台車が、上記搬送治具の上
記基板の上部両端から突出した水平部材をその下部から
支持する係止部材を備えたものが好ましい。

【００１８】さらに、上記搬送治具の上記基板との接触
面に、紫外線照射により硬化する低発塵の硬化ＵＶテー
プを貼り付けたものが好ましい。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳述する。

【００２０】図１は本発明に係る基板用搬送装置の好適
な実施の形態を示した全体斜視図、図２は本発明に係る
基板用搬送装置の好適な実施の形態の搬送治具を示した
斜視図、図３は本発明に係る基板用搬送装置の好適な実
施の形態のバッファ部を示した斜視図、図４は基板の製
造工場の概略を示した平面図である。

【００２１】まず、基板の製造工場の概略を説明する。

【００２２】図４に示すように、基板の製造工場には、
基板（図１から図３参照）１を搬送するメインループ２
の周囲に複数の分岐搬送路３が設けられている。この分
岐搬送路３の周囲には、基板の各種製造工程を行うため
の製造加工ブロック４が複数配設されている。メインル
ープ２及び分岐搬送路３には、本発明に係る基板用搬送
装置５が設けられている。

【００２３】図１に示すように、係る基板用搬送装置５
は、基板１を垂直状態で搬送するものであって、基板１
の搬送ライン（メインループ２及び分岐搬送路３）６の
上部に配置された搬送レール７と、垂直状態の基板１の
上部を把持する把持部８を少なくとも２箇所以上有する
水平部材９からなる搬送治具１１と、その搬送治具１１
を基板１と一体で支持して搬送レール７に沿って移動す
る搬送台車１２と、基板１を水平状態に載置して各種の
製造作業を行う作業台１４の側部に設けられ基板１を一
時保管するバッファ部１５と、そのバッファ部１５と作
業台１４との間で搬送治具１１と一体の基板１を移動さ
せる移載装置１６とを備えたことを特徴とする。

【００２４】搬送レール７は、所定の強度を有したメン
バの鉄骨等から構成されており、その長手方向に沿っ
て、後に詳述する搬送台車１２が走行するためのガイド
部（図示せず）が形成されている。

【００２５】図２に示すように、搬送治具１１は、水平
部材９の下部に、複数（図２においては３箇所、図１及
び図３では４箇所に示している）の把持部８を有してい
る。把持部８は、２枚の板材１７を有しており、これら
板材１７には、基板１を挟持すべく付勢力を与えるバネ
等の付勢手段（図示せず）が設けられている。板材１７
の基板１との接触面には、樹脂等のクッション材が設け
られており、基板１の損傷を防止している。水平部材９
は、基板１の上部両端からそれぞれ所定長さ突出するよ
うに形成されている。

【００２６】搬送台車１２は、搬送治具１１をその上部
から把持する。搬送台車１２には搬送治具１１を支持す
るための係止部１８が形成されている。この係止部１８
は搬送治具１１の把持部８に対応する位置にそれぞれ配
置されている。係止部１８には、搬送治具１１の把持部
８を開閉するための移動アーム１９が設けられている。
この移動アーム１９は、把持部８に設けられた回動ピン
２１を押すことによって、一方の板材１７が付勢手段に
対抗して開き、基板１の把持を解除するようになってい
る。

【００２７】図３に示すように、バッファ部１５は、基
板１の直交方向に移動自在の一対のアーム２３を備えて
いる。このアーム２３は、搬送治具１１をその水平部材
９の基板１の上部両端から突出した部分２４の下部から
支持するようになっている。アーム２３は所定長さを有
しており、複数の基板１及び搬送治具１１を所定間隔で
吊り下げ保管するようになっている。バッファ部１５
は、後述する移載装置１６に、基板１を受け渡す前に一
時保管する払出しバッファ部２５と、製造加工作業が終
了して、移載装置１６から戻された後に一時保管する受
取りバッファ部２６とが形成されている。

【００２８】バッファ部１５には、搬送台車１２から搬
送治具１１と一体の基板１を受け取って、アーム２３に
掛け渡すための移載アーム２７が設けられている。この
移載アーム２７には、その上面に搬送治具１１を載せて
支持するための載置部２８が形成されている。移載アー
ム２７は、上記アーム２３とオフセットした位置に配置
され、アーム２３とはズレた位置で、水平部材９の基板
１の上部両端から突出した部分２４の下部から載置部２
８で支持するようになっている。移載アーム２７は、基
板１の直交方向に移動自在で且つ若干高さ昇降自在に設
けられており、基板１を搬送台車１２から受け取って、
アーム２３上の任意の位置に移動できるようになってい
る。

【００２９】作業台１４は、製造加工ブロック４内に設
けられており、基板１を水平状態で支持すべく、上方に
突出した複数の固定支持ピン（図１参照）２２が設けら
れている。

【００３０】移載装置１６は、バッファ部１５と作業台
１４との間に配置されており、基板１を吸着する吸盤
（図示せず）と搬送治具１１の水平部材９を支持する支
持部５９とを有するフォーク３１と、そのフォーク３１
を回動させる回動部３２とを備えている。

【００３１】吸盤はフォーク３１の基板１側に複数設け
られている。支持部５９は、フォーク３１の先端にその
長手方向に延びた板材にて構成されており、フォーク３
１が水平になったときに、水平部材９を固定支持するよ
うになっている。

【００３２】回動部３２は、起立時（図１中左側に示
す）にフォーク３１をバッファ部１５に移動させると共
に、水平時（図１中右側に示す）にフォーク３１を作業
台１４上に移動させるべくスライド機構を有している。

【００３３】なお、作業台１４の側部には、搬送治具１
１の基板１の把持を解除する基板着脱装置（図示せず）
が設けられており、作業台１４上では、基板１が搬送治
具１１から外された状態で作業を行うようになってい
る。

【００３４】また、移載装置１６は、基板１の直交方向
及び平行方向に移動自在に形成されている。具体的に
は、移載装置１６の下部に、基板１の直交方向に延びる
ガイドレール３３と、平行方向に延びるガイドレール３
４が設けられており、これらガイドレール３３，３４に
沿って、移載装置１６が走行するようになっている。移
載装置１６は、基板１の直交方向に移動することによっ
て、バッファ部１５と作業台１４間を移動する一方、基
板１の平行方向に移動することによって、払出しバッフ
ァ部２５と受取りバッファ部２６間を移動する。

【００３５】次に、上記構成の基板用搬送装置５による
基板１の搬送動作を説明しながらその作用を説明する。

【００３６】基板１は、製造工場内に搬入された後、そ
の上部を搬送治具１１にて吊り下げ、把持され、その搬
送治具１１と一体で、搬送台車１２に支持され、メイン
ループ２から分岐搬送路３へと搬送される。

【００３７】そして、所望の製造加工ブロック４に到着
すると、バッファ部１５の内、払出しバッファ部２５の
側部に搬送台車１２が停止して、移載アーム２７が搬送
治具１１の水平部材９の下部に移動して若干上昇し、基
板１及び搬送治具１１は搬送台車１２から離される。そ
して、基板１及び搬送治具１１は、移載アーム２７にて
アーム２３の所定位置に移載され一時保管される。

【００３８】このとき、基板１は搬送治具１１によって
把持されているので、搬送台車１２やバッファ部１５に
接触せず、損傷を防止できる。また、バッファ部１５で
は、搬送治具１１がスペーサの役目を果たすので、隣接
する基板１同士が接触することはない。

【００３９】その後、移載装置１６の回動部３２を回動
させフォーク３１を払出しバッファ部２５の作業台１４
側に位置する基板１の側部に起立させる。そして、フォ
ーク３１の吸盤で基板１を固定し、支持部５９で搬送治
具１１の水平部材９を固定した後、フォーク３１を若干
上昇させて、水平部材９をアーム２３から離反させ、回
動部３２を回動させて基板１及び搬送治具１１を基板着
脱装置（図示せず）上に水平状態に寝かせる。そして、
基板着脱装置で、搬送治具１１と基板１とを分離した
後、基板１を作業台１４上に移動させる。このとき、基
板１は、固定支持ピン２２にて支持されるので、移載装
置１６をガイドレール３３に沿って、作業台１４から離
反する方向に移動させることによって、フォーク３１を
抜き取ることができる。

【００４０】基板１の製造加工作業が終了すると、フォ
ーク３１を基板１の下部に差し込んで、吸盤で吸着した
後、基板１を基板着脱装置に移動させ、搬送治具１１を
基板１に取り付ける。その後、回動部３２を回動させて
フォーク３１を起立させ、移載装置１６をガイドレール
３３に沿ってバッファ部１５側に移動させた後に、ガイ
ドレール３４に沿って基板着脱装置に移動させて、基板
１に搬送治具１１を取り付けた後、受取りバッファ部２
６の側部に移動させる。

【００４１】その後、搬送治具１１の水平部材９を受取
りバッファ部２６のアーム２３に係止させて、一時保管
する。そして、移載アーム２７によって、搬送レール７
側で待機する搬送台車１２に基板１及び搬送治具１１を
移動させる。

【００４２】そして、基板１及び搬送治具１１は一体
で、搬送保管用カセットに所定枚数収容されて、搬送さ
れる。

【００４３】以上のように、本発明の基板用搬送装置５
によれば、基板１を垂直状態としてその上部を把持して
吊り下げて搬送するようにしたので、基板１に無理な力
がかからず、自重による変形を防止することができる。

【００４４】その他、基板１を垂直状態として、搬送及
び一時保管を行うので、基板１の表面に、微小な屑等が
付着するのを防止することができる。

【００４５】さらに、本発明によれば、搬送時の水平方
向の面積を減らすことができ、基板用搬送装置５の設置
スペースの縮小化が図れ、その分、製造工場全体のイニ
シャル及びランニングコストを低く押えることができ
る。また、基板用搬送装置５の設置スペースの縮小した
分、製造加工ブロック４を設置するためのスペースを大
きく採ることもでき、基板１の生産性を向上させること
ができる。

【００４６】基板１を一時保管するスペースも小さくで
きるので、さらに製造加工ブロック４を設置するための
スペースを大きく採ることができ、基板１の生産性の一
層の向上が達成される。

【００４７】図５は本発明に係る基板用搬送装置の好適
な他の実施の形態の搬送台車を示した斜視図、図６は本
発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施の形態の搬
送台車を示した側面図、図７は本発明に係る基板用搬送
装置の好適な他の実施の形態の搬送治具を示した側面
図、図８は本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実
施の形態の搬送治具の把持部を示した側面図及び正面
図、図９は本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実
施の形態の搬送治具の把持部の解除状態を示した側面図
である。

【００４８】本実施の形態に係る基板搬送装置５の搬送
台車１２は、搬送治具１１と一体の基板１を複数支持す
るように構成されている。

【００４９】図５及び図６に示すように、搬送台車１２
は、搬送レール７に沿って走行する走行部３５と、その
走行部３５の下部に設けられ基板１を支持する支持フレ
ーム３６とで構成されている。

【００５０】支持フレーム３６は、側方から見て矩形に
組まれており、その上部に両端には、搬送治具１１の基
板１の上部両端から突出した水平部材９をその下部から
支持するための係止部材３７が設けられている。係止部
材３７は、例えば断面コ字状の溝型鋼３８が用いられて
おり、その係止部材３７は、基板１の直交方向に所定長
さ延出して、複数（本実施の形態では４枚）の基板１を
同時に把持できるようになっている。

【００５１】搬送治具１１の水平部材９の突出部分２４
の下部には、下方に延びる突起部４１が軸方向に間隔を
あけて２カ所ずつ形成されている。一方、係止部材３８
には、上記突起部４１のうち外側の突起部４１が係合す
る穴（図示せず）が形成されている。この穴は、係止部
材３８の長手方向に沿って所定ピッチで形成されてお
り、各基板１の位置決めを行うものである。

【００５２】なお、上記突起部４１のうち内側の突起部
４１は、バッファ部１５のアーム２３（図６中破線にて
示す）の上面に形成された穴（図示せず）に係合して、
各基板１のバッファ部１５での位置決めを行うようにな
っている。

【００５３】支持フレーム３６に下部には、基板１の底
辺を支持する支持台４３が複数、設けられており、基板
１の安定性を向上させている。

【００５４】本実施の形態に係る基板搬送装置５の搬送
治具１１の把持部８は、図７に示すように、水平部材９
に複数（３カ所）設けられている。把持部８は、図８に
示すように、水平部材９から下方に延びるブラケット４
４を有し、そのブラケット４４には、逆Ｕ字状の板バネ
４５が取り付けられている。板バネ４５の基端部はブラ
ケット４４の略中間部にボルト４６によって固定されて
おり、一旦上方に延出して下方に折り返され、その先端
部はブラケット４４の下端部の位置まで延出している。
板バネ４５の先端部とブラケット４４の下端部との間に
は、基板１を狭むクランパ４７が互いに向き合うように
設けられている。クランパ４７は、クランパ押さえ部材
４８を介して板バネ４５の先端部及びブラケット４４の
下端部にそれぞれ固定されている。基板１は、板バネ４
５の付勢力によって、クランパ４７に狭持される。

【００５５】ブラケット４４と板バネ４５には、基板１
の着脱時に利用される貫通穴５１，５２が互いにオフセ
ットして形成されている。

【００５６】次に、搬送治具１１に基板１を着脱する動
作を説明する。

【００５７】基板１は、作業台１４の側部等に配置され
た基板着脱装置（図示せず）にて、搬送治具１１に着脱
される。基板着脱装置では、図９に示すように、基板１
及び搬送治具１１は、横向きに配置される。

【００５８】基板１を取り外す際には、把持部８の板バ
ネ４５の貫通穴５２からピン５５を下方へと挿入してブ
ラケット４４を押さえると共に、ブラケット４４の貫通
穴５１からピン５６を上方へと挿入して板バネ４５を押
し広げる。これによって、各クランパ４７が互いに離反
して、基板１が解放される。そして基板１の下部に設け
られたローラ５７を回転させることによって、基板１を
移動させる。

【００５９】一方、基板１を取り付ける際には、上述の
ように、板バネ４５を押し広げた後、基板１をクランパ
４７間に移動させて、各ピン５５，５６を引き抜くこと
によって、板バネ４５の付勢力によって基板１が狭持さ
れる。

【００６０】また、本実施の形態では、クランパ４７の
基板１との接触面５３に、紫外線照射により硬化する低
発塵の硬化ＵＶテープ５４が貼り付けられている。この
硬化ＵＶテープ５４は、通常、半導体製造プロセスに適
用される接着剤付テープを紫外線照射させて硬化させた
ものであって、接着力を低下させて利用している。この
硬化ＵＶテープ５４は、硬化させた後も、低発塵である
という効果を有しており、基板１に付着する粒子を低減
させることができる。

【００６１】具体的な数値を調べるために、本発明者
は、従来、基板１との接触面５３に用いられていたＰＡ
Ｎ、ＰＥＥＫ及び上記効果ＵＶシートを接触面５３に貼
り付けて、粒子の付着状態を計測した。

【００６２】図１０のグラフに示すように、硬化ＵＶテ
ープは、従来用いられていたＰＡＮやＰＥＥＫと比較し
て、押付回数が１００回の場合で付着粒子数が２０％以
下に低減されることがわかった。また、基板の製造工程
で押し付けられると考えられる程度の押付回数が少ない
場合（２０回程度）には、さらに付着粒子数の低減率が
高いということがわかった。

【００６３】要するに、本実施の形態では、搬送治具１
１の把持部８の基板１との接触面５３に、硬化ＵＶテー
プ５４を貼り付けたことによって、基板１に付着する塵
等の粒子数を大幅に低減することができる。また、硬化
ＵＶテープ５４は、元来接着力を有しているが、紫外線
照射することによってその接着力が低減されるので、基
板１の把持のリリース等の抵抗となることはない。

【００６４】一方、本実施の形態では、搬送治具１１が
複数（４枚）の基板１をまとめて搬送することができる
ので、搬送能力が向上し、基板１の製造効率が向上す
る。また、４枚程度を搬送単位としたことで、搬送スペ
ースが広すぎず、小回りがきくといった作用も得られ
る。

【００６５】なお、上記実施の形態の搬送治具１１や搬
送台車１２等の各構成は、ほんの一例であって、上記構
成に限られるものではない。

【００６６】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、基板を垂
直状態としてその上部を把持して搬送するようにしたの
で、基板の自重による変形を防止することができると共
に、水平方向の面積を減らすことができ、搬送装置の設
置スペースの縮小化が図れ、その分、製造工場全体のイ
ニシャル及びランニングコストを低く押えることができ
るという優れた効果を発揮する。

【００６７】また、基板用搬送装置の設置スペースの縮
小した分、製造加工ブロックを設置するためのスペース
を大きく採ることもでき、基板の生産性を向上させるこ
とができる。

【００６８】さらに、搬送台車を複数の基板を同時に搬
送できるものとしたことによって、搬送効率が向上す
る。

【００６９】また、搬送治具の把持部の基板との接触面
に、硬化ＵＶテープを貼り付けたことによって、基板に
付着する塵等の粒子数を大幅に低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板用搬送装置の好適な実施の形
態を示した全体斜視図である。

【図２】本発明に係る基板用搬送装置の好適な実施の形
態の搬送治具を示した斜視図である。

【図３】本発明に係る基板用搬送装置の好適な実施の形
態のバッファ部を示した斜視図である。

【図４】基板の製造工場の概略を示した平面図である。

【図５】本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施
の形態の搬送台車を示した斜視図である。

【図６】本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施
の形態の搬送台車を示した側面図である。

【図７】本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施
の形態の搬送治具を示した側面図である。

【図８】本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施
の形態の搬送治具の把持部を示した（ａ）は側面図、
（ｂ）は正面図である。

【図９】本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施
の形態の搬送治具の把持部の解除状態を示した側面図で
ある。

【図１０】搬送治具の把持部の接触面の押付材別付着粒
子数を示したグラフである。

【符号の説明】

１基板５基板用搬送装置６搬送ライン７搬送レール８把持部９水平部材１１搬送治具１２搬送台車１４作業台１５バッファ部１６移載装置２３アーム３１フォーク３２回動部３７係止部材５３（搬送治具の基板との）接触面５４硬化ＵＶテープ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者村山晋東京都江東区豊洲三丁目１番15号石川島播磨重工業株式会社東京エンジニアリングセンター内 (72)発明者飯村賢司東京都江東区豊洲三丁目１番15号石川島播磨重工業株式会社東京エンジニアリングセンター内 (72)発明者平田賢輔東京都江東区豊洲三丁目１番15号石川島播磨重工業株式会社東京エンジニアリングセンター内 (72)発明者松尾研吾東京都江東区豊洲三丁目１番15号石川島播磨重工業株式会社東京エンジニアリングセンター内 (72)発明者和田芳幸東京都江東区豊洲三丁目１番15号石川島播磨重工業株式会社東京エンジニアリングセンター内 (72)発明者長谷川敬晃東京都江東区豊洲三丁目１番15号石川島播磨重工業株式会社東京エンジニアリングセンター内 (72)発明者山崎秀作東京都江東区豊洲三丁目１番15号石川島播磨重工業株式会社東京エンジニアリングセンター内 (72)発明者岡田啓治東京都江東区豊洲三丁目１番15号石川島播磨重工業株式会社東京エンジニアリングセンター内Ｆターム(参考） 5F031 CA05 FA02 FA07 FA09 FA18 FA21 GA08 GA16 GA58 PA13 PA18 PA30

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を垂直状態で搬送する基板用搬送装
置であって、上記基板の搬送ライン上部に配置された搬
送レールと、垂直状態の基板の上部を把持する把持部を
少なくとも２箇所以上有する水平部材からなる搬送治具
と、その搬送治具を上記基板と一体で支持して上記搬送
レールに沿って移動する搬送台車と、上記基板を水平状
態に載置して製造作業を行う作業台の側部に設けられ上
記基板を一時保管するバッファ部と、そのバッファ部と
上記作業台との間で上記搬送治具と一体の基板を移動さ
せる移載装置とを備えたことを特徴とする基板用搬送装
置。
【請求項２】上記搬送治具の水平部材が、上記基板の
上部両端からそれぞれ所定長さ突出して形成された請求
項１記載の基板用搬送装置。
【請求項３】上記バッファ部が、上記搬送治具の上記
基板の上部両端から突出した水平部材をその下部から支
持すると共に上記基板の直交方向に移動自在の一対のア
ームを備えた請求項１または２いずれかに記載の基板用
搬送装置。
【請求項４】上記移載装置が、上記基板を吸着する吸
盤を有するフォークと、そのフォークを回動させる回動
部とを備えた請求項１から３いずれかに記載の基板用搬
送装置。
【請求項５】上記移載装置が、上記基板を吸着する吸
盤と上記搬送治具の水平部材を支持する支持部とを有す
るフォークと、そのフォークを回動させる回動部とを備
えた請求項１から３いずれかに記載の基板用搬送装置。
【請求項６】上記搬送台車が、上記搬送治具と一体の
上記基板を複数支持する請求項１から５いずれかに記載
の基板用搬送装置。
【請求項７】上記搬送台車が、上記搬送治具の上記基
板の上部両端から突出した水平部材をその下部から支持
する係止部材を備えた請求項１から６いずれかに記載の
基板用搬送装置。
【請求項８】上記搬送治具の上記基板との接触面に、
紫外線照射により硬化する低発塵の硬化ＵＶテープを貼
り付けた請求項１から７いずれかに記載の基板用搬送装
置。