JP2003043275A - 光合分波器及び光合分波器の製造方法 - Google Patents
光合分波器及び光合分波器の製造方法Info
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- JP2003043275A JP2003043275A JP2001228554A JP2001228554A JP2003043275A JP 2003043275 A JP2003043275 A JP 2003043275A JP 2001228554 A JP2001228554 A JP 2001228554A JP 2001228554 A JP2001228554 A JP 2001228554A JP 2003043275 A JP2003043275 A JP 2003043275A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】チャネル数が増大しても、各チャネルの信号光
をモニタする機構を集積化することにより、小型化が可
能な光合分波器を提供する。 【解決手段】信号光は各波長毎にコア１６内を伝搬する
が、その一部はモニタ光としてタップ導波路１８に導波
され、受光素子１３により受光されて、各チャネルの信
号光のモニタが行われる。このタップ導波路１８は、コ
ア１６内を伝搬する光のうち、ごく一部の光のみが分波
されて導波されるように形成されている。
をモニタする機構を集積化することにより、小型化が可
能な光合分波器を提供する。 【解決手段】信号光は各波長毎にコア１６内を伝搬する
が、その一部はモニタ光としてタップ導波路１８に導波
され、受光素子１３により受光されて、各チャネルの信
号光のモニタが行われる。このタップ導波路１８は、コ
ア１６内を伝搬する光のうち、ごく一部の光のみが分波
されて導波されるように形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光波長多重通信分
野で用いられる光合分波器に関し、特に、各チャネルの
信号をモニタする機能を有する光合分波器とその製造方
法に関する。
野で用いられる光合分波器に関し、特に、各チャネルの
信号をモニタする機能を有する光合分波器とその製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】高密度波長多重通信システムにおいて各
チャネルの信号光をモニタする場合、従来は、光合分波
器の後段に、信号光の一部を導波するためのタップカプ
ラとモニタ用フォトダイオードとを融着接続によって接
続して、タップカプラにより導波された光を用いて信号
光をモニタすることが一般に行われていた。
チャネルの信号光をモニタする場合、従来は、光合分波
器の後段に、信号光の一部を導波するためのタップカプ
ラとモニタ用フォトダイオードとを融着接続によって接
続して、タップカプラにより導波された光を用いて信号
光をモニタすることが一般に行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、近年の高密度
波長多重通信システムのようにチャネル数が増大する
と、光合分波器は、誘電体多層膜フィルタや光ファイバ
グレーティングに替えてアレイ導波路回折格子（以下
「ＡＷＧ」と略記する）を用いることで、部品点数が削
減され、小型化が可能となるが、各チャネルの信号光を
モニタする機構を設けようとすると、チャネル数の増大
に伴って、タップカプラとモニタ用フォトダイオードの
使用数量が増大し、光モジュール全体が大型化すること
が問題となっていた。本発明は、このような問題点を解
決するためになされたもので、チャネル数が増大して
も、各チャネルの信号光をモニタする機構を集積化し
て、小型化が可能な光合分波器を提供することを目的と
する。
波長多重通信システムのようにチャネル数が増大する
と、光合分波器は、誘電体多層膜フィルタや光ファイバ
グレーティングに替えてアレイ導波路回折格子（以下
「ＡＷＧ」と略記する）を用いることで、部品点数が削
減され、小型化が可能となるが、各チャネルの信号光を
モニタする機構を設けようとすると、チャネル数の増大
に伴って、タップカプラとモニタ用フォトダイオードの
使用数量が増大し、光モジュール全体が大型化すること
が問題となっていた。本発明は、このような問題点を解
決するためになされたもので、チャネル数が増大して
も、各チャネルの信号光をモニタする機構を集積化し
て、小型化が可能な光合分波器を提供することを目的と
する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１記載の発明は、コア中を伝搬する信号光
の一部を分岐するためのタップ導波路がクラッド中に形
成され、クラッド中に設けられた溝に受光素子が配置さ
れ、タップ導波路により導波されたモニタ光を受光素子
で受光してチャネル毎に信号光をモニタすることを特徴
とする光合分波器である。これにより、光合分波器の基
板上にモニタ機構を備えることができ、部品点数を削減
し、小型化が可能な光合分波器を実現することができ
る。請求項２記載の発明は、請求項１記載の光合分波器
において、タップ導波路は略Ｓ字形状に形成されている
ことを特徴とする。請求項３記載の発明は、請求項１又
は２記載の光合分波器において、タップ導波路は、パル
スレーザを集光照射して、クラッド中に屈折率上昇領域
を誘起することによって形成されていることを特徴とす
る。請求項４記載の発明は、請求項３記載の光合分波器
において、パルスレーザはフェムト秒レーザであること
を特徴とする。請求項５記載の発明は、請求項１、２、
３又４記載の光合分波器において、タップ導波路は、入
力用光導波路また出力用光導波路のクラッド中に形成さ
れていることを特徴とする。
めに、請求項１記載の発明は、コア中を伝搬する信号光
の一部を分岐するためのタップ導波路がクラッド中に形
成され、クラッド中に設けられた溝に受光素子が配置さ
れ、タップ導波路により導波されたモニタ光を受光素子
で受光してチャネル毎に信号光をモニタすることを特徴
とする光合分波器である。これにより、光合分波器の基
板上にモニタ機構を備えることができ、部品点数を削減
し、小型化が可能な光合分波器を実現することができ
る。請求項２記載の発明は、請求項１記載の光合分波器
において、タップ導波路は略Ｓ字形状に形成されている
ことを特徴とする。請求項３記載の発明は、請求項１又
は２記載の光合分波器において、タップ導波路は、パル
スレーザを集光照射して、クラッド中に屈折率上昇領域
を誘起することによって形成されていることを特徴とす
る。請求項４記載の発明は、請求項３記載の光合分波器
において、パルスレーザはフェムト秒レーザであること
を特徴とする。請求項５記載の発明は、請求項１、２、
３又４記載の光合分波器において、タップ導波路は、入
力用光導波路また出力用光導波路のクラッド中に形成さ
れていることを特徴とする。
【０００５】請求項６記載の発明は、コア中を伝搬する
信号光の一部を分岐するためのタップ導波路をクラッド
中に形成し、クラッド中に設けられた溝に受光素子を配
置して、タップ導波路により導波されたモニタ光を受光
素子で受光してチャネル毎に信号光をモニタする光合分
波器の製造方法であって、パルスレーザをクラッドに集
光照射し、クラッド中に屈折率上昇領域を誘起すること
によってタップ導波路を形成することを特徴とする光合
分波器の製造方法である。請求項７記載の発明は、請求
項６記載の光合分波器の製造方法において、タップ導波
路は、出力光強度とモニタ光強度との分岐比を調整しつ
つ、パルスレーザを照射して形成されることを特徴とす
る。これにより、出力光強度とモニタ光強度との分岐比
を所望の値とすることが容易な光合分波器の製造方法を
実現することができる。請求項８記載の発明は、請求項
６又は７記載の光合分波器の製造方法において、パルス
レーザはフェムト秒レーザであることを特徴とする。
信号光の一部を分岐するためのタップ導波路をクラッド
中に形成し、クラッド中に設けられた溝に受光素子を配
置して、タップ導波路により導波されたモニタ光を受光
素子で受光してチャネル毎に信号光をモニタする光合分
波器の製造方法であって、パルスレーザをクラッドに集
光照射し、クラッド中に屈折率上昇領域を誘起すること
によってタップ導波路を形成することを特徴とする光合
分波器の製造方法である。請求項７記載の発明は、請求
項６記載の光合分波器の製造方法において、タップ導波
路は、出力光強度とモニタ光強度との分岐比を調整しつ
つ、パルスレーザを照射して形成されることを特徴とす
る。これにより、出力光強度とモニタ光強度との分岐比
を所望の値とすることが容易な光合分波器の製造方法を
実現することができる。請求項８記載の発明は、請求項
６又は７記載の光合分波器の製造方法において、パルス
レーザはフェムト秒レーザであることを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
図１に、本発明の光合分波器の例を示す。図１中、符号
１は光合分波器であり、一例として、ＡＷＧ型の光合分
波器を示している。符号２は入力側光ファイバアレイで
あり、この入力側光ファイバアレイ２は、光合分波器１
の入力端に接続されている。符号３は、入力側光ファイ
バアレイ２に接続された入力用光ファイバである。符号
４は出力側光ファイバアレイであり、この出力側光ファ
イバアレイ４は、光合分波器１の出力端に接続されてい
る。符号５は、出力側光ファイバアレイ４に接続された
出力用光ファイバである符号６は、光合分波器の基板で
あり、例えば、シリコンウエハからなっている。この基
板６上には、入力用光導波路７と、この入力光を複数の
導波路に分岐させるための展開用スラブ導波路８と、そ
の後段に配置された長さの異なる複数本のアレイ導波路
９と、このアレイ導波路９から放射された光を互いに干
渉させるためのスラブ光導波路１０と、複数の出力用光
導波路１１が形成されている。符号１２は、基板６上に
設けられた溝であり、この溝１２の内部には、受光素子
１３が出力側チャネル数だけ配置されている。
図１に、本発明の光合分波器の例を示す。図１中、符号
１は光合分波器であり、一例として、ＡＷＧ型の光合分
波器を示している。符号２は入力側光ファイバアレイで
あり、この入力側光ファイバアレイ２は、光合分波器１
の入力端に接続されている。符号３は、入力側光ファイ
バアレイ２に接続された入力用光ファイバである。符号
４は出力側光ファイバアレイであり、この出力側光ファ
イバアレイ４は、光合分波器１の出力端に接続されてい
る。符号５は、出力側光ファイバアレイ４に接続された
出力用光ファイバである符号６は、光合分波器の基板で
あり、例えば、シリコンウエハからなっている。この基
板６上には、入力用光導波路７と、この入力光を複数の
導波路に分岐させるための展開用スラブ導波路８と、そ
の後段に配置された長さの異なる複数本のアレイ導波路
９と、このアレイ導波路９から放射された光を互いに干
渉させるためのスラブ光導波路１０と、複数の出力用光
導波路１１が形成されている。符号１２は、基板６上に
設けられた溝であり、この溝１２の内部には、受光素子
１３が出力側チャネル数だけ配置されている。
【０００７】図２は、図１に示したＡの部分の、基板６
に対して垂直な方向の断面を示す図である。図２中、符
号６は基板であり、この基板６上には下クラッド１５が
形成され、この下クラッド１５上にはコア１６が形成さ
れている。符号１７は、コア１６上に形成された上クラ
ッドであり、この上クラッド１７中には、タップ導波路
１８が形成されている。このタップ導波路１８とは、コ
ア１６内を伝搬する光のうち、ごく一部の光のみが分波
されて導波されるように形成された導波路のことをい
う。この上クラッド１７の厚さは、使用波長において光
伝送損失が十分小さくなるようにクラッド材料とコア材
料との比屈折率差、導波路構造等を考慮して決定され、
通常２０μｍ程度であるが、この例では、上クラッド１
７内に受光素子１３を配置するため、さらに厚くして、
３０μｍ〜４０μｍとするのが好ましい。
に対して垂直な方向の断面を示す図である。図２中、符
号６は基板であり、この基板６上には下クラッド１５が
形成され、この下クラッド１５上にはコア１６が形成さ
れている。符号１７は、コア１６上に形成された上クラ
ッドであり、この上クラッド１７中には、タップ導波路
１８が形成されている。このタップ導波路１８とは、コ
ア１６内を伝搬する光のうち、ごく一部の光のみが分波
されて導波されるように形成された導波路のことをい
う。この上クラッド１７の厚さは、使用波長において光
伝送損失が十分小さくなるようにクラッド材料とコア材
料との比屈折率差、導波路構造等を考慮して決定され、
通常２０μｍ程度であるが、この例では、上クラッド１
７内に受光素子１３を配置するため、さらに厚くして、
３０μｍ〜４０μｍとするのが好ましい。
【０００８】タップ導波路１８の形状は、有効にモニタ
光を導波するために、図２に示す断面から見て略Ｓ字形
状であることが好ましい。また、タップ導波路１８の先
端部は、図２に示すようにコア１６と重複する領域を持
つように形成してもよく、また、タップ導波路１８の先
端部をコア１６の近傍に接近させるように形成してもよ
い。符号１２は溝であり、この溝１２内に受光素子１３
が配置されている。この受光素子１３として、例えばフ
ォトダイオードが用いられる。溝１２は、出力用光導波
路１１のうち、１２７μｍピッチまたは２５０μｍピッ
チで直線状に導波路が整列している部分の直上に、この
導波路に対して垂直な方向に例えば研削加工機により設
けられ、この溝１２内に受光素子１３を配置する。この
際、溝１２を設けた位置での上クラッド１７の厚さは１
０μｍ程度とするのが好ましい。
光を導波するために、図２に示す断面から見て略Ｓ字形
状であることが好ましい。また、タップ導波路１８の先
端部は、図２に示すようにコア１６と重複する領域を持
つように形成してもよく、また、タップ導波路１８の先
端部をコア１６の近傍に接近させるように形成してもよ
い。符号１２は溝であり、この溝１２内に受光素子１３
が配置されている。この受光素子１３として、例えばフ
ォトダイオードが用いられる。溝１２は、出力用光導波
路１１のうち、１２７μｍピッチまたは２５０μｍピッ
チで直線状に導波路が整列している部分の直上に、この
導波路に対して垂直な方向に例えば研削加工機により設
けられ、この溝１２内に受光素子１３を配置する。この
際、溝１２を設けた位置での上クラッド１７の厚さは１
０μｍ程度とするのが好ましい。
【０００９】この例の光合分波器は、信号光をモニタす
るためにタップ導波路１８を形成し、受光素子１３を配
置したものであり、このタップ導波路１８の製造方法に
ついて以下に説明する。タップ導波路１８は、上クラッ
ド１７の上方からフェムト秒レーザのようなパルスレー
ザを集光照射して、屈折率上昇領域を誘起することによ
って形成される。このフェムト秒レーザ照射は、少なく
ともＸ、Ｙ、Ｚ方向の３軸移動可能な精密ステージと、
位置合わせのための観察用の顕微鏡等を含む光学系と、
フェムト秒レーザ装置と、フェムト秒レーザを集光照射
するための対物レンズを用いて行う。このフェムト秒レ
ーザを集光照射するための対物レンズは、位置あわせに
使用する顕微鏡の対物レンズを兼用することも可能であ
り、この場合には、フェムト秒レーザは顕微鏡筒にミラ
ーを用いて導光される。タップ導波路１８を形成するた
めに、上クラッド１７の内部にフェムト秒レーザが集光
されるように集光点を調整する。この集光点を上クラッ
ド１７の内部で相対移動させることにより、光導波路と
して機能する連続した高屈折率領域が上クラッド１７の
内部に形成される。集光点の相対移動は、レーザ光の集
光点に対して上クラッド１７を連続的に移動させ、ある
いは上クラッド１７の内部でレーザ光の集光点を連続的
に移動させることにより行われる。
るためにタップ導波路１８を形成し、受光素子１３を配
置したものであり、このタップ導波路１８の製造方法に
ついて以下に説明する。タップ導波路１８は、上クラッ
ド１７の上方からフェムト秒レーザのようなパルスレー
ザを集光照射して、屈折率上昇領域を誘起することによ
って形成される。このフェムト秒レーザ照射は、少なく
ともＸ、Ｙ、Ｚ方向の３軸移動可能な精密ステージと、
位置合わせのための観察用の顕微鏡等を含む光学系と、
フェムト秒レーザ装置と、フェムト秒レーザを集光照射
するための対物レンズを用いて行う。このフェムト秒レ
ーザを集光照射するための対物レンズは、位置あわせに
使用する顕微鏡の対物レンズを兼用することも可能であ
り、この場合には、フェムト秒レーザは顕微鏡筒にミラ
ーを用いて導光される。タップ導波路１８を形成するた
めに、上クラッド１７の内部にフェムト秒レーザが集光
されるように集光点を調整する。この集光点を上クラッ
ド１７の内部で相対移動させることにより、光導波路と
して機能する連続した高屈折率領域が上クラッド１７の
内部に形成される。集光点の相対移動は、レーザ光の集
光点に対して上クラッド１７を連続的に移動させ、ある
いは上クラッド１７の内部でレーザ光の集光点を連続的
に移動させることにより行われる。
【００１０】滑らかで連続的なタップ導波路１８を形成
するためには、照射するレーザ光のパルス間隔を狭く、
すなわち繰り返し周期を短くして照射することが望まし
く、そのためには高繰り返し型のフェムト秒レーザを照
射することが好ましい。タップ導波路１８の形成は、入
力側光ファイバアレイ２及び出力側光ファイバアレイ４
と受光素子１３を実装した後に行ってもよい。この場合
には、波長多重された光を入力し、または１波長の光を
順次入力して、分波された出力光の強度をモニタしつ
つ、受光素子１３のレベルもモニタしながらフェムト秒
レーザを照射する。このフェムト秒レーザの照射は、１
回あたりのフェムト秒レーザの強度を弱くし、複数回重
ねて照射することが好ましく、これによって分岐比の調
整を行うことができる。このようにしてタップ導波路１
８を形成すると、タップ導波路１８によってコア１６か
ら分岐される光の分岐比を所望の値に設定することが容
易となる。
するためには、照射するレーザ光のパルス間隔を狭く、
すなわち繰り返し周期を短くして照射することが望まし
く、そのためには高繰り返し型のフェムト秒レーザを照
射することが好ましい。タップ導波路１８の形成は、入
力側光ファイバアレイ２及び出力側光ファイバアレイ４
と受光素子１３を実装した後に行ってもよい。この場合
には、波長多重された光を入力し、または１波長の光を
順次入力して、分波された出力光の強度をモニタしつ
つ、受光素子１３のレベルもモニタしながらフェムト秒
レーザを照射する。このフェムト秒レーザの照射は、１
回あたりのフェムト秒レーザの強度を弱くし、複数回重
ねて照射することが好ましく、これによって分岐比の調
整を行うことができる。このようにしてタップ導波路１
８を形成すると、タップ導波路１８によってコア１６か
ら分岐される光の分岐比を所望の値に設定することが容
易となる。
【００１１】次に、本発明の光合分波器の例の動作につ
いて説明する。図１において、入力用光ファイバ３から
送られた信号光は、入力側光ファイバアレイ２を介して
光合分波器１の入力用光導波路７に入力され、この入力
光は展開用スラブ導波路８によって複数の導波路に分岐
され、アレイ導波路９と、スラブ光導波路１０とによっ
て波長毎に分波され、出力用光導波路１１から出力側光
ファイバアレイ４を介して出力用光ファイバ５から出力
される。図２において、信号光は各波長毎にコア１６内
を伝搬するが、その一部はモニタ光としてタップ導波路
１８に導波され、受光素子１３により受光されて、各チ
ャネル毎に信号光のモニタが行われる。
いて説明する。図１において、入力用光ファイバ３から
送られた信号光は、入力側光ファイバアレイ２を介して
光合分波器１の入力用光導波路７に入力され、この入力
光は展開用スラブ導波路８によって複数の導波路に分岐
され、アレイ導波路９と、スラブ光導波路１０とによっ
て波長毎に分波され、出力用光導波路１１から出力側光
ファイバアレイ４を介して出力用光ファイバ５から出力
される。図２において、信号光は各波長毎にコア１６内
を伝搬するが、その一部はモニタ光としてタップ導波路
１８に導波され、受光素子１３により受光されて、各チ
ャネル毎に信号光のモニタが行われる。
【００１２】以上の説明においては、光分波器としてＡ
ＷＧを用いた場合について説明したが、これに限定され
るものではなく、Ｙ分岐を多段に重ねた１入力８出力型
光分波器等、他のタイプの光分波器についても適用可能
である。また、すべてのチャネルについてモニタする場
合に限らず、１チャネルのみをモニタする場合にも適用
できる。さらに、以上説明したモニタ手段によって、入
力側の各チャネルをモニタすることもできる。この場合
には、受光素子へモニタ光を導波するためのタップ導波
路１８を形成する方向を逆にすることによって実現でき
る。この例の光合分波器よると、コア１６中を伝搬する
信号光の一部を分岐するためのタップ導波路１８を上ク
ラッド１７中に形成し、上クラッド１７中に設けられた
溝１２に受光素子１３を配置して、タップ導波路１８に
より導波されたモニタ光を受光素子１３で受光してチャ
ネル毎に信号光強度をモニタすることにより、光合分波
器の基板上にモニタ機構を備えることができ、部品点数
を削減し、小型化が可能な光合分波器を実現することが
できる。また、タップ導波路１８を、出力光強度とモニ
タ光強度との分岐比を調整しつつ、パルスレーザを照射
して形成することにより、出力光強度とモニタ光強度と
の分岐比を所望の値とすることが容易な光合分波器の製
造方法を実現することができる。
ＷＧを用いた場合について説明したが、これに限定され
るものではなく、Ｙ分岐を多段に重ねた１入力８出力型
光分波器等、他のタイプの光分波器についても適用可能
である。また、すべてのチャネルについてモニタする場
合に限らず、１チャネルのみをモニタする場合にも適用
できる。さらに、以上説明したモニタ手段によって、入
力側の各チャネルをモニタすることもできる。この場合
には、受光素子へモニタ光を導波するためのタップ導波
路１８を形成する方向を逆にすることによって実現でき
る。この例の光合分波器よると、コア１６中を伝搬する
信号光の一部を分岐するためのタップ導波路１８を上ク
ラッド１７中に形成し、上クラッド１７中に設けられた
溝１２に受光素子１３を配置して、タップ導波路１８に
より導波されたモニタ光を受光素子１３で受光してチャ
ネル毎に信号光強度をモニタすることにより、光合分波
器の基板上にモニタ機構を備えることができ、部品点数
を削減し、小型化が可能な光合分波器を実現することが
できる。また、タップ導波路１８を、出力光強度とモニ
タ光強度との分岐比を調整しつつ、パルスレーザを照射
して形成することにより、出力光強度とモニタ光強度と
の分岐比を所望の値とすることが容易な光合分波器の製
造方法を実現することができる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
コア中を伝搬する信号光の一部を分岐するためのタップ
導波路をクラッド中に形成し、該クラッド中に設けられ
た溝に受光素子を配置して、タップ導波路により導波さ
れたモニタ光を受光素子で受光してチャネル毎に信号光
強度をモニタすることにより、光合分波器の基板上にモ
ニタ機構を備えることができ、部品点数を削減し、小型
化が可能な光合分波器を実現することができる。また、
タップ導波路を、出力光強度とモニタ光強度との分岐比
を調整しつつ、パルスレーザを照射して形成することに
より、出力光強度とモニタ光強度との分岐比を所望の値
とすることが容易な光合分波器の製造方法を実現するこ
とができる。
コア中を伝搬する信号光の一部を分岐するためのタップ
導波路をクラッド中に形成し、該クラッド中に設けられ
た溝に受光素子を配置して、タップ導波路により導波さ
れたモニタ光を受光素子で受光してチャネル毎に信号光
強度をモニタすることにより、光合分波器の基板上にモ
ニタ機構を備えることができ、部品点数を削減し、小型
化が可能な光合分波器を実現することができる。また、
タップ導波路を、出力光強度とモニタ光強度との分岐比
を調整しつつ、パルスレーザを照射して形成することに
より、出力光強度とモニタ光強度との分岐比を所望の値
とすることが容易な光合分波器の製造方法を実現するこ
とができる。
【図１】本発明の光合分波器の例を示す図である。
【図２】本発明の光合分波器の例について、タップ導波
路によりモニタする機構を説明する図である。
路によりモニタする機構を説明する図である。
６…基板、１２…溝、１３…受光素子、１５…下クラッ
ド、１６…コア、１７…上クラッド、１８…タップ導波
路
ド、１６…コア、１７…上クラッド、１８…タップ導波
路
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 四方 朋子
千葉県佐倉市六崎1440番地 株式会社フジ
クラ佐倉事業所内
(72)発明者 細谷 英行
千葉県佐倉市六崎1440番地 株式会社フジ
クラ佐倉事業所内
Ｆターム(参考） 2H047 KA04 KA12 LA19 MA05 PA22
QA04 RA08 TA01 TA11 TA41
Claims (8)
- 【請求項１】 コア中を伝搬する信号光の一部を分岐す
るためのタップ導波路がクラッド中に形成され、該クラ
ッド中に設けられた溝に受光素子が配置され、タップ導
波路により導波されたモニタ光を該受光素子で受光して
チャネル毎に信号光をモニタすることを特徴とする光合
分波器。 - 【請求項２】 前記タップ導波路は略Ｓ字形状に形成さ
れていることを特徴とする請求項１記載の光合分波器。 - 【請求項３】 前記タップ導波路は、パルスレーザを集
光照射して、クラッド中に屈折率上昇領域を誘起するこ
とによって形成されていることを特徴とする請求項１又
は２記載の光合分波器。 - 【請求項４】 前記パルスレーザはフェムト秒レーザで
あることを特徴とする請求項３記載の光合分波器。 - 【請求項５】 前記タップ導波路は、入力用光導波路ま
た出力用光導波路のクラッド中に形成されていることを
特徴とする請求項１、２、３又４記載の光合分波器。 - 【請求項６】 コア中を伝搬する信号光の一部を分岐す
るためのタップ導波路をクラッド中に形成し、該クラッ
ド中に設けられた溝に受光素子を配置して、タップ導波
路により導波されたモニタ光を受光素子で受光してチャ
ネル毎に信号光をモニタする光合分波器の製造方法であ
って、 パルスレーザを該クラッドに集光照射し、該クラッド中
に屈折率上昇領域を誘起することによって該タップ導波
路を形成することを特徴とする光合分波器の製造方法。 - 【請求項７】 前記タップ導波路は、出力光強度とモニ
タ光強度との分岐比を調整しつつ、パルスレーザを照射
して形成されることを特徴とする請求項６記載の光合分
波器の製造方法。 - 【請求項８】 前記パルスレーザはフェムト秒レーザで
あることを特徴とする請求項６又は７記載の光合分波器
の製造方法。
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