JP2002523259A - 硬質の基板上に光成形面構造体をコピーするための方法および装置 - Google Patents
硬質の基板上に光成形面構造体をコピーするための方法および装置Info
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Abstract
(57)【要約】
比較的硬質な基板（ＳＴ）の積層面上に光成形面構造体をコピーするための方法および装置（２０）。より詳細に説明すると、層状構造体を作るために、基板（ＳＴ）をテーブル（２４）上に装着し、エポキシ層を基板とサブマスタ（ＳＵ）との間に塗布した後で、層状構造体は、テーブルと回転圧縮ローラ（２６）の外表面との間に形成されたニップ内で自動的に圧縮され、それにより、エポキシ層内に表面構造体がコピーされる。その後で、エポキシは硬化され、その表面上に光成形面構造体を持つ積層構造体を残すために、サブマスタ（ＳＵ）が基板（ＳＴ）から分離される。好適には、上記サブマスタは、圧縮ローラの周囲に巻き付けることが好ましく、テーブル（２４）が直線的に往復運動をしている間に圧縮ローラ（２６）が回転することが好ましい。
Description
【０００１】 （発明の背景） １．発明の分野 本発明は、積層状構成部材の製造に関する。より詳細には、硬質の基板上に、
光成形面構造体をコピーすることにより積層状光学的構成部材を製造するための
方法に関するものである。本発明は、さらに、上記方法を実行するための装置に
関する。
光成形面構造体をコピーすることにより積層状光学的構成部材を製造するための
方法に関するものである。本発明は、さらに、上記方法を実行するための装置に
関する。
【０００２】 ２．関連技術の説明 必要な表面特性を持つ最終製品を製造するために、基板上に光学的成分をコピ
ーする方法は周知である。最終製品は、視野スクリーンおよびホモジェナイザを
含み、それぞれ、その少なくとも一つの表面上の光成形表面構造体を特徴とする
。これらの製品は、１）コーヒレントな光により、感光性媒体上に表面構造体を
発生するステップと、２）上記媒体を処理するステップと、３）表面構造体をエ
ポキシ内にコピーするステップにより作られる。処理の異なる段階で、感光性材
料は収縮するので、必要な光学的特性を持つ光学的製品を製造するには、順次製
造される少なくとも一つのサブマスタ、通常は、数個のサブマスタが必要になる
。最終段階においては、必要な表面構造体を含む、再使用可能なサブマスタが、
液体エポキシ層がコーティングされている基板に対して圧着される。その後で、
液体エポキシは硬化され、サブマスタが、基板／硬化エポキシ積層体から除去さ
れる。用途により、基板は、柔軟な薄いフィルムから作ることもできるし、また
はポリカーボネート、ガラスまたはアクリルのような、厚くて、比較的硬質な基
板から作ることもできる。本発明は、このタイプの硬質基板上への表面構造体の
コピーに関する。
ーする方法は周知である。最終製品は、視野スクリーンおよびホモジェナイザを
含み、それぞれ、その少なくとも一つの表面上の光成形表面構造体を特徴とする
。これらの製品は、１）コーヒレントな光により、感光性媒体上に表面構造体を
発生するステップと、２）上記媒体を処理するステップと、３）表面構造体をエ
ポキシ内にコピーするステップにより作られる。処理の異なる段階で、感光性材
料は収縮するので、必要な光学的特性を持つ光学的製品を製造するには、順次製
造される少なくとも一つのサブマスタ、通常は、数個のサブマスタが必要になる
。最終段階においては、必要な表面構造体を含む、再使用可能なサブマスタが、
液体エポキシ層がコーティングされている基板に対して圧着される。その後で、
液体エポキシは硬化され、サブマスタが、基板／硬化エポキシ積層体から除去さ
れる。用途により、基板は、柔軟な薄いフィルムから作ることもできるし、また
はポリカーボネート、ガラスまたはアクリルのような、厚くて、比較的硬質な基
板から作ることもできる。本発明は、このタイプの硬質基板上への表面構造体の
コピーに関する。
【０００３】 いままで、表面構造体は、手動によりまたは半自動的に硬質の基板上にコピー
されてきた。これらのプロセスは、両方とも、いくつかの欠点と不都合な点とを
持つ。
されてきた。これらのプロセスは、両方とも、いくつかの欠点と不都合な点とを
持つ。
【０００４】 手動プロセスは、四つのステップからなる。第一ステップにおいて、基板は、
硬質で平らな面の上に載せられ、エポキシ層が上記基板上に塗布される。その後
で、層状構造体を形成するために、基板とサブマスタとの間にエポキシ層をサン
ドイッチ状に挟むために、基板の頂部上に柔軟なプラスチックのサブマスタが載
せられる。サブマスタは、基板に面しているその表面上に必要な表面構造体を含
む。その後で、ネオプレンでコーティングされたローラ、またはゴムでコーティ
ングされたローラが、手動で、層状構造体上の回転により圧着され、その結果、
層状構造体が、ローラと平らな表面との相互作用による線対面の接触により圧縮
される。この圧縮により、エポキシ層内の必要な表面構造体がコピーされる。そ
の後で、エポキシは、サブマスタによりカバーされた層状基板を形成するために
、紫外線（ＵＶ）の照射により硬化される。最後に、サブマスタは、層状基板か
ら手動で剥離される。
硬質で平らな面の上に載せられ、エポキシ層が上記基板上に塗布される。その後
で、層状構造体を形成するために、基板とサブマスタとの間にエポキシ層をサン
ドイッチ状に挟むために、基板の頂部上に柔軟なプラスチックのサブマスタが載
せられる。サブマスタは、基板に面しているその表面上に必要な表面構造体を含
む。その後で、ネオプレンでコーティングされたローラ、またはゴムでコーティ
ングされたローラが、手動で、層状構造体上の回転により圧着され、その結果、
層状構造体が、ローラと平らな表面との相互作用による線対面の接触により圧縮
される。この圧縮により、エポキシ層内の必要な表面構造体がコピーされる。そ
の後で、エポキシは、サブマスタによりカバーされた層状基板を形成するために
、紫外線（ＵＶ）の照射により硬化される。最後に、サブマスタは、層状基板か
ら手動で剥離される。
【０００５】 手動コピー・プロセスは、非常に面倒なものであり、時間の掛かるものであり
、この場合、通常の製造速度は、コピーされる表面構造体の複雑さにより異なる
が、１時間当り５〜１０単位である。さらに、圧着プロセス中に、確実に均等な
圧力を加えるのは困難である。これは困ったことである。何故なら、圧力を均等
に掛けることができないと、完成品にバラツキが起こるからである。サブマスタ
を基板の上に置く前、および以降の圧着動作の前に、基板上にエポキシ層が均等
に塗布されないと、これらの問題が複合して起こることになる。
、この場合、通常の製造速度は、コピーされる表面構造体の複雑さにより異なる
が、１時間当り５〜１０単位である。さらに、圧着プロセス中に、確実に均等な
圧力を加えるのは困難である。これは困ったことである。何故なら、圧力を均等
に掛けることができないと、完成品にバラツキが起こるからである。サブマスタ
を基板の上に置く前、および以降の圧着動作の前に、基板上にエポキシ層が均等
に塗布されないと、これらの問題が複合して起こることになる。
【０００６】 半自動上記プロセスは、層状の基板／エポキシ／サブマスタ構造体を圧縮する
ために、ラミネータと呼ばれる機械を使用する。ラミネータは、第一および第二
のニップロールを備え、上記二つのロールの間に形成されたニップを通して、層
状構造体を引き出すために、上記第一および第二のニップロールは、反対方向に
駆動される。第一のニップロールは、直流モータ等により駆動され、第二のニッ
プロールは、第二のニップロール上の被駆動ギアと、第一のニップロール上の駆
動ギアとの間の係合接触により駆動される。層状構造体は、ニップの間を通して
引き出される時に圧縮される。その場合、オペレータは、１）エポキシを硬化さ
せ、層状構造体を形成するために、圧縮された層状構造体に紫外線を照射し、２
）手動プロセスと同じ方法で、層状構造体からサブマスタを手動で剥離する。
ために、ラミネータと呼ばれる機械を使用する。ラミネータは、第一および第二
のニップロールを備え、上記二つのロールの間に形成されたニップを通して、層
状構造体を引き出すために、上記第一および第二のニップロールは、反対方向に
駆動される。第一のニップロールは、直流モータ等により駆動され、第二のニッ
プロールは、第二のニップロール上の被駆動ギアと、第一のニップロール上の駆
動ギアとの間の係合接触により駆動される。層状構造体は、ニップの間を通して
引き出される時に圧縮される。その場合、オペレータは、１）エポキシを硬化さ
せ、層状構造体を形成するために、圧縮された層状構造体に紫外線を照射し、２
）手動プロセスと同じ方法で、層状構造体からサブマスタを手動で剥離する。
【０００７】 半自動プロセスは、手動プロセスより少し速いが、いくつかの理由で、必ずし
もよりよい品質の製品を生産しない。第一の理由は、層状構造体は、ニップ内で
、手動プロセスの時の線対面接触ではなく、線対線接触を起こし、層状構造体は
、オペレータがニップを通して構造体を供給すると、ニップロールの周囲で不規
則な運動をしたり、揺れ動いたりする傾向があるからである。そのため、圧力が
均等に加わらなくなる。第二の理由は、ニップロールの相互のギア係合の際のバ
ックラッシュにより、二つのニップロールの間に速度差が発生する傾向があるか
らである。このような速度差により、圧縮作業中に、圧着された層状構造体の二
つの面の間で、スリップが起こる場合がある。このスリップは、さらに、完成品
の品質を劣化させる。その上、圧縮プロセス中に、多くの場合、余分な液体エポ
キシが、層状構造体から絞り出されるので、サブマスタを基板から剥離する前に
拭き取らなければならない。この液体エポキシは、圧縮された層状構造体が紫外
線源に送られている間にサブマスタと基板との間に滲出して、それにより製品を
ダメにする。
もよりよい品質の製品を生産しない。第一の理由は、層状構造体は、ニップ内で
、手動プロセスの時の線対面接触ではなく、線対線接触を起こし、層状構造体は
、オペレータがニップを通して構造体を供給すると、ニップロールの周囲で不規
則な運動をしたり、揺れ動いたりする傾向があるからである。そのため、圧力が
均等に加わらなくなる。第二の理由は、ニップロールの相互のギア係合の際のバ
ックラッシュにより、二つのニップロールの間に速度差が発生する傾向があるか
らである。このような速度差により、圧縮作業中に、圧着された層状構造体の二
つの面の間で、スリップが起こる場合がある。このスリップは、さらに、完成品
の品質を劣化させる。その上、圧縮プロセス中に、多くの場合、余分な液体エポ
キシが、層状構造体から絞り出されるので、サブマスタを基板から剥離する前に
拭き取らなければならない。この液体エポキシは、圧縮された層状構造体が紫外
線源に送られている間にサブマスタと基板との間に滲出して、それにより製品を
ダメにする。
【０００８】 それ故、１）手動コピー・プロセスの、長時間を要する遅い生産速度を速くす
ることができ、２）サブマスタと基板との間に少しのスリップしか起さないか、
または全然スリップを起こさないで両方を均等に圧着することにより、確実によ
い製品を作ることができる機械の開発が待望されている。 （発明の目的および概要）
ることができ、２）サブマスタと基板との間に少しのスリップしか起さないか、
または全然スリップを起こさないで両方を均等に圧着することにより、確実によ
い製品を作ることができる機械の開発が待望されている。 （発明の目的および概要）
【０００９】 本発明の第一の主な目的は、基板、サブマスタおよび両者の間のエポキシ層を
自動的圧縮することによって、比較的硬質な基板の上に光成形面構造体を自動的
コピーする、高速で、信頼性の高い方法を提供することである。
自動的圧縮することによって、比較的硬質な基板の上に光成形面構造体を自動的
コピーする、高速で、信頼性の高い方法を提供することである。
【００１０】 本発明の第一の機能により、上記目的は、最初に、層状構造体を圧縮ローラの
外表面とテーブルとの間に形成されるニップ内に位置させることにより達成され
る。この場合、上記層状構造体は、１）テーブル上に支持されている比較的硬質
の基板と、２）テーブルに面するその表面上に光成形面構造体を持つサブマスタ
と、３）基板とサブマスタとの間に塗布されたエポキシ層とを含む。上記方法は
、また、エポキシ層の上に表面構造体をコピーするために、ニップ内で層状構造
体を自動的に圧縮するステップを含む。他のステップとしては、エポキシを硬化
するステップと、その表面上に光成形面構造体を持つ、基板／エポキシ積層を残
すために、基板からサブマスタを分離するステップとを含む。
外表面とテーブルとの間に形成されるニップ内に位置させることにより達成され
る。この場合、上記層状構造体は、１）テーブル上に支持されている比較的硬質
の基板と、２）テーブルに面するその表面上に光成形面構造体を持つサブマスタ
と、３）基板とサブマスタとの間に塗布されたエポキシ層とを含む。上記方法は
、また、エポキシ層の上に表面構造体をコピーするために、ニップ内で層状構造
体を自動的に圧縮するステップを含む。他のステップとしては、エポキシを硬化
するステップと、その表面上に光成形面構造体を持つ、基板／エポキシ積層を残
すために、基板からサブマスタを分離するステップとを含む。
【００１１】 速度を最大限度まで速め、自動化を行うためには、好適には、エポキシ塗布ス
テップ、エポキシ硬化ステップ、およびサブマスタ分離ステップも自動的に実行
することが好ましい。
テップ、エポキシ硬化ステップ、およびサブマスタ分離ステップも自動的に実行
することが好ましい。
【００１２】 好適には、圧縮ステップは、ローラに対してテーブルを並進させながら、非並
進軸を中心にしてローラを回転するステップを含むことが好ましい。 本発明のもう一つの目的は、第一主な目的を満足させ、圧着作業中のサブマス
タと基板との間のスリップを防止する方法を提供することである。
進軸を中心にしてローラを回転するステップを含むことが好ましい。 本発明のもう一つの目的は、第一主な目的を満足させ、圧着作業中のサブマス
タと基板との間のスリップを防止する方法を提供することである。
【００１３】 この目的は、ローラの外表面の線速度が、テーブルの線速度と少なくともほぼ
等しくなるように、テーブルの運動とローラの運動とを相互に関連させることに
より達成される。この相関関係は、好適には、サブマスタが、ローラから順次剥
離され、層状構造体を形成するために、ニップ内の基板に圧着されるように、サ
ブマスタを通してのテーブルからローラへの駆動力の伝達を含むことが好ましい
。
等しくなるように、テーブルの運動とローラの運動とを相互に関連させることに
より達成される。この相関関係は、好適には、サブマスタが、ローラから順次剥
離され、層状構造体を形成するために、ニップ内の基板に圧着されるように、サ
ブマスタを通してのテーブルからローラへの駆動力の伝達を含むことが好ましい
。
【００１４】 層状構造体からのサブマスタの自動的な分離を容易にするために、好適には、
前進ストローク中だけ回転するように、テーブルがローラを駆動するようにして
、テーブルが、前進ストロークおよび戻りストロークにより、往復運動を行うこ
とが好ましい。分離ステップは、順次に、１）積層からサブマスタを剥離し、２
）サブマスタをローラ上に元通り巻き付かせるために、テーブルの戻りストロー
クの間、巻き付け方向に回転するようにローラを駆動するステップを含む。
前進ストローク中だけ回転するように、テーブルがローラを駆動するようにして
、テーブルが、前進ストロークおよび戻りストロークにより、往復運動を行うこ
とが好ましい。分離ステップは、順次に、１）積層からサブマスタを剥離し、２
）サブマスタをローラ上に元通り巻き付かせるために、テーブルの戻りストロー
クの間、巻き付け方向に回転するようにローラを駆動するステップを含む。
【００１５】 本発明の第二の主な目的は、サブマスタの表面上に形成された光成形面構造体
を比較的硬質な積層基板の表面上に自動的にコピーすることができるコピー装置
を提供することである。
を比較的硬質な積層基板の表面上に自動的にコピーすることができるコピー装置
を提供することである。
【００１６】 本発明のさらにもう一つの機能により、この目的は、テーブル、圧縮ローラお
よび駆動装置を含むコピー装置を供給することにより達成される。テーブルは、
通常、平らな支持面を持ち、少なくとも、通常、支持面の延長方向に平行に移動
することができる。圧縮ローラは、その間にニップを形成するために、支持面か
ら間隔をおいて設置されている外表面を持つ。ローラは、ローラに対して軸方向
に延びていて、テーブルに対して横方向に延びる支持軸上に装着される。ローラ
は、また、その外表面上に、ローラに面していないその表面上に、表面構造体を
持つサブマスタを収容するように構成されている。駆動装置は、テーブルがニッ
プの間を通って移動する際に、ローラの外表面の線速度が、テーブルの線速度に
ほぼ等しい回転速度でローラが回転するようにテーブルおよびローラを駆動する
。それにより、ニップ内で基板およびサブマスタが圧縮される。
よび駆動装置を含むコピー装置を供給することにより達成される。テーブルは、
通常、平らな支持面を持ち、少なくとも、通常、支持面の延長方向に平行に移動
することができる。圧縮ローラは、その間にニップを形成するために、支持面か
ら間隔をおいて設置されている外表面を持つ。ローラは、ローラに対して軸方向
に延びていて、テーブルに対して横方向に延びる支持軸上に装着される。ローラ
は、また、その外表面上に、ローラに面していないその表面上に、表面構造体を
持つサブマスタを収容するように構成されている。駆動装置は、テーブルがニッ
プの間を通って移動する際に、ローラの外表面の線速度が、テーブルの線速度に
ほぼ等しい回転速度でローラが回転するようにテーブルおよびローラを駆動する
。それにより、ニップ内で基板およびサブマスタが圧縮される。
【００１７】 好適には、動作を最大限度まで速くするために、コピー装置は、さらに、圧縮
ローラの上流に位置する、自動的に動作するエポキシ塗布装置、および圧縮ロー
ラの下流に位置する自動的に動作するエポキシ硬化装置を含むことが好ましい。
ローラの上流に位置する、自動的に動作するエポキシ塗布装置、および圧縮ロー
ラの下流に位置する自動的に動作するエポキシ硬化装置を含むことが好ましい。
【００１８】 本発明のもう一つの目的は、第二の主な目的を満足させ、圧着プロセス中、そ
の間のスリップを防止するために、ローラ速度とテーブル速度とを相互に関連づ
けるコピー装置を提供することである。
の間のスリップを防止するために、ローラ速度とテーブル速度とを相互に関連づ
けるコピー装置を提供することである。
【００１９】 この目的は、サブマスタの第一の端部をローラに取り付けることができ、サブ
マスタの第二の端部をテーブルに取り付けることができるように、テーブルと圧
縮ローラを配置することにより達成される。サブマスタは、ローラの外表面の周
囲に、少なくとも少し間隔をおいて巻き付けることができる。駆動装置は、好適
には、さらに、テーブルの戻りストローク中、ローラの外表面上にサブマスタを
再び巻き付けるために、ローラを駆動する再巻付け駆動デバイスを含むことが好
ましい。再巻付け駆動デバイスは、好適には、１）回転シリンダと、２）回転シ
リンダにより、回転できるように駆動されるピニオンと、３）ピニオンと係合し
ていて、ローラ駆動シャフト上に装着されている被駆動ギアを含むことが好まし
い。
マスタの第二の端部をテーブルに取り付けることができるように、テーブルと圧
縮ローラを配置することにより達成される。サブマスタは、ローラの外表面の周
囲に、少なくとも少し間隔をおいて巻き付けることができる。駆動装置は、好適
には、さらに、テーブルの戻りストローク中、ローラの外表面上にサブマスタを
再び巻き付けるために、ローラを駆動する再巻付け駆動デバイスを含むことが好
ましい。再巻付け駆動デバイスは、好適には、１）回転シリンダと、２）回転シ
リンダにより、回転できるように駆動されるピニオンと、３）ピニオンと係合し
ていて、ローラ駆動シャフト上に装着されている被駆動ギアを含むことが好まし
い。
【００２０】 本発明のその他の目的、機能および利点は、以下の説明を読み、添付の図面を
見ればよりよく理解することができるだろう。しかし、本発明の好適な実施形態
を示す下記の説明は、例示としてのものであって、本発明を制限するものでない
ことを理解されたい。本発明の精神から逸脱することなしに、本発明の範囲内に
おいて、多くの変更を修正を行うことができる。そのような変更および修正は、
本発明の範囲内に含まれる。
見ればよりよく理解することができるだろう。しかし、本発明の好適な実施形態
を示す下記の説明は、例示としてのものであって、本発明を制限するものでない
ことを理解されたい。本発明の精神から逸脱することなしに、本発明の範囲内に
おいて、多くの変更を修正を行うことができる。そのような変更および修正は、
本発明の範囲内に含まれる。
【００２１】 添付の図面は、本発明の好適な例示としての実施形態を示す。全図面中、類似
の参照番号は、類似の部品を示す。 （好適な実施形態の詳細な説明） １．概要 本発明は、比較的硬質な基板の積層面上に光成形面構造体をコピーするための
、簡単で、高速で、信頼性の高い方法および装置を提供する。より詳細に説明す
ると、層状構造体を形成するために、基板がテーブル上に装着され、エポキシ層
が基板とサブマスタとの間に塗布された後で、層状構造体は、テーブルと回転圧
縮ローラの外表面との間に形成されるニップの間で自動的圧縮され、それにより
、表面構造体をエポキシ層内にコピーする。その後で、エポキシは硬化され、そ
の表面上に光成形面構造体を持つ層状構造体を残こすために、サブマスタが基板
から分離される。好適には、サブマスタを圧縮ローラの周囲に巻き付け、ニップ
内で層状構造体を圧縮するためには、テーブルが直線的に往復運動している間に
圧縮ローラを回転させることが好ましい。サブマスタと基板との間のスリップを
防止するために、圧縮ローラの回転速度は、好適には、テーブルが運動した際に
、サブマスタを回転させる目的で、ローラを駆動する駆動ベルトとして、使用す
ることにより、圧縮動作中に、テーブルの並進速度と整合させることが好ましい
。好適には、コピー装置も、圧縮動作の後で自動的にエポキシを硬化し、その後
で、サブマスタを基板から分離することが好ましい。
の参照番号は、類似の部品を示す。 （好適な実施形態の詳細な説明） １．概要 本発明は、比較的硬質な基板の積層面上に光成形面構造体をコピーするための
、簡単で、高速で、信頼性の高い方法および装置を提供する。より詳細に説明す
ると、層状構造体を形成するために、基板がテーブル上に装着され、エポキシ層
が基板とサブマスタとの間に塗布された後で、層状構造体は、テーブルと回転圧
縮ローラの外表面との間に形成されるニップの間で自動的圧縮され、それにより
、表面構造体をエポキシ層内にコピーする。その後で、エポキシは硬化され、そ
の表面上に光成形面構造体を持つ層状構造体を残こすために、サブマスタが基板
から分離される。好適には、サブマスタを圧縮ローラの周囲に巻き付け、ニップ
内で層状構造体を圧縮するためには、テーブルが直線的に往復運動している間に
圧縮ローラを回転させることが好ましい。サブマスタと基板との間のスリップを
防止するために、圧縮ローラの回転速度は、好適には、テーブルが運動した際に
、サブマスタを回転させる目的で、ローラを駆動する駆動ベルトとして、使用す
ることにより、圧縮動作中に、テーブルの並進速度と整合させることが好ましい
。好適には、コピー装置も、圧縮動作の後で自動的にエポキシを硬化し、その後
で、サブマスタを基板から分離することが好ましい。
【００２２】 ２．コピー装置の構造 図面について説明するが、最初に、図１−図４および図１０を説明する。図に
示すように、コピー装置２０は、上記第一節で説明したように動作することがで
きる。コピー装置２０は、その上に、１）並進することができるテーブル２４、
２）圧縮ローラ組立体２６、３）圧縮ローラ組立体２６の上流に位置するエポキ
シ塗布装置組立体２８、および４）圧縮ローラ組立体２６の下流に位置するエポ
キシ硬化装置３０が装着されている、支持フレーム２２を含む。支持フレーム２
２は、上部水平支持面３２、複数の垂直支持体３４、および複数の側部支持体３
６、および縦方向の支持体３８を含む。すべての動力構造体は、好適には、コン
ピュータ４０および手動制御装置４２により制御するのが好ましい。すべての手
動制御装置４２は、支持フレーム２２に対して、内部に向かって、また外部に向
かって揺れ動くことができるアーム４６上に装着されているコントロール・ボッ
クス４４上に装着されていて、それにより、必要な場合には、コピー装置２０の
側面にアクセスすることができる。図の実施形態の場合には、テーブル２４は、
水平面上に位置していて、圧縮ローラ組立体２６、エポキシ塗布装置組立体２８
、およびエポキシ硬化装置３０は、すべてテーブル２４上に装着されている。今
後は、この好適な実施形態により説明を続けるが、テーブルは傾けて設置するこ
ともできるし、倒置することさえできるし、他の部材もそれに対応する角度に設
置することができる。
示すように、コピー装置２０は、上記第一節で説明したように動作することがで
きる。コピー装置２０は、その上に、１）並進することができるテーブル２４、
２）圧縮ローラ組立体２６、３）圧縮ローラ組立体２６の上流に位置するエポキ
シ塗布装置組立体２８、および４）圧縮ローラ組立体２６の下流に位置するエポ
キシ硬化装置３０が装着されている、支持フレーム２２を含む。支持フレーム２
２は、上部水平支持面３２、複数の垂直支持体３４、および複数の側部支持体３
６、および縦方向の支持体３８を含む。すべての動力構造体は、好適には、コン
ピュータ４０および手動制御装置４２により制御するのが好ましい。すべての手
動制御装置４２は、支持フレーム２２に対して、内部に向かって、また外部に向
かって揺れ動くことができるアーム４６上に装着されているコントロール・ボッ
クス４４上に装着されていて、それにより、必要な場合には、コピー装置２０の
側面にアクセスすることができる。図の実施形態の場合には、テーブル２４は、
水平面上に位置していて、圧縮ローラ組立体２６、エポキシ塗布装置組立体２８
、およびエポキシ硬化装置３０は、すべてテーブル２４上に装着されている。今
後は、この好適な実施形態により説明を続けるが、テーブルは傾けて設置するこ
ともできるし、倒置することさえできるし、他の部材もそれに対応する角度に設
置することができる。
【００２３】 以後、コピー装置２０の主要な構成部材の各々について順次説明する。 テーブル２４の目的は、その上に設置されている基板ＳＴを、エポキシ塗布装
置２８、圧縮ローラ組立体２６、およびエポキシ硬化装置３０を通して、これら
すべてのデバイスと整合状態で移動させることである。テーブル２４は、その運
動を正確に制御することができる、並進可能な比較的平らな面を持つ任意の構造
体を備えることができる。図の実施形態の場合には、テーブル２４は、支持フレ
ーム２２の上部支持面３２上に支持されている長方形のスラブを備える。テーブ
ル２４は、水平の平らな頂部５０を持つ。横方向に延びるクランプ５２は、図１
１−図１４に最もハッキリ示すように、サブマスタＳＵの第一の端部を収容する
ために、テーブル２４の縦方向の後部端部に設置されている。
置２８、圧縮ローラ組立体２６、およびエポキシ硬化装置３０を通して、これら
すべてのデバイスと整合状態で移動させることである。テーブル２４は、その運
動を正確に制御することができる、並進可能な比較的平らな面を持つ任意の構造
体を備えることができる。図の実施形態の場合には、テーブル２４は、支持フレ
ーム２２の上部支持面３２上に支持されている長方形のスラブを備える。テーブ
ル２４は、水平の平らな頂部５０を持つ。横方向に延びるクランプ５２は、図１
１−図１４に最もハッキリ示すように、サブマスタＳＵの第一の端部を収容する
ために、テーブル２４の縦方向の後部端部に設置されている。
【００２４】 図４および図５に最もハッキリ示すように、テーブル２４は、一組の横向きに
対向する、縦方向に延びるレール５４により、それに沿って縦方向に運動するこ
とができるように支持面３２上に装着されている。各レール５４は、支持面３２
上に装着されていて、その対向側面内に形成された溝６０を持つほぼＩ形のバー
５８を備える。一組の縦方向に間隔持つほぼ逆Ｕ字形のブロック６２および６４
が、テーブル２４の各側面の底部にしっかりと固定されている。これらの各ブロ
ック６２および６４は、関連するレール５４内の対応する溝６０と、スライドで
きるように係合している、内側に向かって延びるフランジ６６を有する。
対向する、縦方向に延びるレール５４により、それに沿って縦方向に運動するこ
とができるように支持面３２上に装着されている。各レール５４は、支持面３２
上に装着されていて、その対向側面内に形成された溝６０を持つほぼＩ形のバー
５８を備える。一組の縦方向に間隔持つほぼ逆Ｕ字形のブロック６２および６４
が、テーブル２４の各側面の底部にしっかりと固定されている。これらの各ブロ
ック６２および６４は、関連するレール５４内の対応する溝６０と、スライドで
きるように係合している、内側に向かって延びるフランジ６６を有する。
【００２５】 テーブル２４は、リニア駆動機構５６により、レール５４に沿って運動するよ
うに駆動される。リニア駆動機構５６は、正確に制御できる速度で、上部支持面
３２に対して縦方向にテーブル２４を駆動するために、テーブル２４および上部
支持面３２に接続していて、コンピュータ４０、および／または手動制御装置４
２の制御の下で動作することができる、任意の構造体を備えることができる。好
適なリニア・アクチュエータは、可逆直流モータ６８、回転ネジ７０、およびネ
ジ山付きスリーブ７２を備える回転ネジ・ドライブである。モータ６８は、上部
支持面３２の前端部に装着されていて、スリーブ７２は、テーブル２４の底面の
後端部に装着されている。ネジ７０は、モータ６８から、スリーブ７２を通して
、遠端部のベアリング７３まで延びる。ベアリング７３は、回転できるように、
支持面３２上にネジ７０の後端部を支持している。モータに電力が供給されると
、スリーブ７２内でネジ７０を回転させ、それにより、スリーブ７２を駆動し、
そのためテーブル２４全体が、ネジ７０に沿って縦方向に移動する。
うに駆動される。リニア駆動機構５６は、正確に制御できる速度で、上部支持面
３２に対して縦方向にテーブル２４を駆動するために、テーブル２４および上部
支持面３２に接続していて、コンピュータ４０、および／または手動制御装置４
２の制御の下で動作することができる、任意の構造体を備えることができる。好
適なリニア・アクチュエータは、可逆直流モータ６８、回転ネジ７０、およびネ
ジ山付きスリーブ７２を備える回転ネジ・ドライブである。モータ６８は、上部
支持面３２の前端部に装着されていて、スリーブ７２は、テーブル２４の底面の
後端部に装着されている。ネジ７０は、モータ６８から、スリーブ７２を通して
、遠端部のベアリング７３まで延びる。ベアリング７３は、回転できるように、
支持面３２上にネジ７０の後端部を支持している。モータに電力が供給されると
、スリーブ７２内でネジ７０を回転させ、それにより、スリーブ７２を駆動し、
そのためテーブル２４全体が、ネジ７０に沿って縦方向に移動する。
【００２６】 圧縮ローラ組立体２６は、その主要構成部材として、１）圧縮ローラ７４、お
よび２）再巻き付けデバイス７６を含む。圧縮ローラ７４は、その間にニップＮ
を形成するために、テーブル２４の上に間隔をおいて設置されている。さらに、
圧縮ローラ７４は、その外面の線速度が、テーブル２４の線速度と少なくともほ
ぼ等しくなるように、ローラ７４の回転速度とテーブル２４の並進速度とを相互
に関連づける。図の好適な実施形態の場合には、この相関関係の一部は、以下に
詳細に説明するように、サブマスタＳＵにより、また再巻き付けデバイス７６に
より、それぞれ達成される。
よび２）再巻き付けデバイス７６を含む。圧縮ローラ７４は、その間にニップＮ
を形成するために、テーブル２４の上に間隔をおいて設置されている。さらに、
圧縮ローラ７４は、その外面の線速度が、テーブル２４の線速度と少なくともほ
ぼ等しくなるように、ローラ７４の回転速度とテーブル２４の並進速度とを相互
に関連づける。図の好適な実施形態の場合には、この相関関係の一部は、以下に
詳細に説明するように、サブマスタＳＵにより、また再巻き付けデバイス７６に
より、それぞれ達成される。
【００２７】 圧縮ローラ７４および再巻き付けデバイス７６は、両方とも、テーブル２４の
横方向の外側、支持面３２の縦方向のほぼ中央に位置するフレーム組立体２２の
上部支持面３２上に装着している支持組立体７８上に装着されている。支持組立
体７８は、一組の側面支持プレート８０、前部タイロッド８２、および後部クロ
ス８４を含む。支持プレート８０は、テーブル２４の側面上の位置から垂直に延
びて、テーブル２４上のかなり離れ場所に位置する上端部のところで終っている
。支持プレート８０は、タイロッド８２によりその前端部に接続していて、クロ
ス・プレート８４によりその後端部に接続している。両方とも、支持プレート８
０の上端部のところで、テーブル２４を横切って横方向に延びる。
横方向の外側、支持面３２の縦方向のほぼ中央に位置するフレーム組立体２２の
上部支持面３２上に装着している支持組立体７８上に装着されている。支持組立
体７８は、一組の側面支持プレート８０、前部タイロッド８２、および後部クロ
ス８４を含む。支持プレート８０は、テーブル２４の側面上の位置から垂直に延
びて、テーブル２４上のかなり離れ場所に位置する上端部のところで終っている
。支持プレート８０は、タイロッド８２によりその前端部に接続していて、クロ
ス・プレート８４によりその後端部に接続している。両方とも、支持プレート８
０の上端部のところで、テーブル２４を横切って横方向に延びる。
【００２８】 図１、図２、図９および図１０について説明すると、圧縮ローラ７４は、１）
回転できる硬質の金属ドラム８６と、２）ドラム８６の外周期面の少なくとも一
部上に装着されている、比較的圧縮し易い材料でできている層８８とを含む。ド
ラム８６は、一組の支持シャフト９０上に装着されている。各シャフト９０は、
焼入れ鋼からできていて、ドラム８６の各端部から軸方向に外側に向かって延び
る。柔軟な材料の層８８は、好適には、６５〜７０デュロメータの硬度を持つシ
リコーンのような天然ゴムまたは合成ゴムから作ることが好ましい。クランプバ
ー９２は、層８８内のギャップに沿って、ドラム８６の外周面に沿って軸方向に
延びる。クランプバー９２は、サブマスタＳＵの第二の端部を、図９に最もハッ
キリ示すように、圧縮ローラ７４に取り付けるために使用される。
回転できる硬質の金属ドラム８６と、２）ドラム８６の外周期面の少なくとも一
部上に装着されている、比較的圧縮し易い材料でできている層８８とを含む。ド
ラム８６は、一組の支持シャフト９０上に装着されている。各シャフト９０は、
焼入れ鋼からできていて、ドラム８６の各端部から軸方向に外側に向かって延び
る。柔軟な材料の層８８は、好適には、６５〜７０デュロメータの硬度を持つシ
リコーンのような天然ゴムまたは合成ゴムから作ることが好ましい。クランプバ
ー９２は、層８８内のギャップに沿って、ドラム８６の外周面に沿って軸方向に
延びる。クランプバー９２は、サブマスタＳＵの第二の端部を、図９に最もハッ
キリ示すように、圧縮ローラ７４に取り付けるために使用される。
【００２９】 各支持シャフト９０は、ドラム８６の関連端部に軸方向に隣接して位置するベ
アリング・ブロック９４内に回転できるように支持されている。各ベアリング・
ブロック９４は、図６−図８および図１０に最もハッキリ示すように、関連支持
プレート８０内に形成された案内スロット９６内に、浮き上がった状態に支持さ
れる。より詳細に説明すると、各ベアリング・ブロック９４は、設定を目的とし
、および／または圧縮動作中に層状構造体上に加わる圧力を調整するために、圧
縮ローラ７４を垂直方向に調整することができるカウンタバランス装置により、
上および下からバイアスを掛けられる。これらの各カウンタバランス装置は、ス
プリング９８およびリニア・アクチュエータ１００を含む。スプリング９８は、
支持プレート８０の上を向いている表面からベアリング・ブロック９４の下を向
いている表面に延びるように、案内スロット９６内に配置されていて、それによ
り、ベアリング・ブロック９４に上向きのバイアスを掛けている。すべてのスプ
リング９８によるバイアス力全体は、好適には、圧縮ローラ７４およびベアリン
グ・ブロック９４の重量と、釣り合っていることが好ましい。各リニア・アクチ
ュエータ１００は、コンピュータ４０および／または手動制御装置４２の制御の
下で、スプリング９８の力に対抗して、関連ベアリング・ブロック９４を下向き
に押し、それにより、コピー装置２０の動作中に、層状構造体上に加わる圧縮力
を調整するために動作することができる任意のデバイスを備えることができる。
図の好適なリニア・アクチュエータ１００は、１）垂直案内スロット９６の頂部
上を延びるクロス・バー１０４上に装着されているシリンダ部分１０２、２）ベ
アリング・ブロック９４に取り付けられているロッド１０６を含む復動空気圧シ
リンダを備える。
アリング・ブロック９４内に回転できるように支持されている。各ベアリング・
ブロック９４は、図６−図８および図１０に最もハッキリ示すように、関連支持
プレート８０内に形成された案内スロット９６内に、浮き上がった状態に支持さ
れる。より詳細に説明すると、各ベアリング・ブロック９４は、設定を目的とし
、および／または圧縮動作中に層状構造体上に加わる圧力を調整するために、圧
縮ローラ７４を垂直方向に調整することができるカウンタバランス装置により、
上および下からバイアスを掛けられる。これらの各カウンタバランス装置は、ス
プリング９８およびリニア・アクチュエータ１００を含む。スプリング９８は、
支持プレート８０の上を向いている表面からベアリング・ブロック９４の下を向
いている表面に延びるように、案内スロット９６内に配置されていて、それによ
り、ベアリング・ブロック９４に上向きのバイアスを掛けている。すべてのスプ
リング９８によるバイアス力全体は、好適には、圧縮ローラ７４およびベアリン
グ・ブロック９４の重量と、釣り合っていることが好ましい。各リニア・アクチ
ュエータ１００は、コンピュータ４０および／または手動制御装置４２の制御の
下で、スプリング９８の力に対抗して、関連ベアリング・ブロック９４を下向き
に押し、それにより、コピー装置２０の動作中に、層状構造体上に加わる圧縮力
を調整するために動作することができる任意のデバイスを備えることができる。
図の好適なリニア・アクチュエータ１００は、１）垂直案内スロット９６の頂部
上を延びるクロス・バー１０４上に装着されているシリンダ部分１０２、２）ベ
アリング・ブロック９４に取り付けられているロッド１０６を含む復動空気圧シ
リンダを備える。
【００３０】 再巻き付けデバイス７６の目的は、圧縮ローラ７４とテーブル２４との間に必
要な速度の相関関係を維持するために、サブマスタＳＵの張力に依存しながら、
テーブル２４の戻りストロークの間、圧縮ローラ７４上にサブマスタＳＵを巻き
戻すために、圧縮ローラ７４を駆動して回転させることである。図の実施形態の
場合には、巻き付けデバイス７６は、一組の空気圧で作動する回転空気アクチュ
エータ１１０の形をしていて、その中の一方は、圧縮ローラ組立体２６の各端部
に位置する。各回転空気アクチュエータ１１０の出力は、動作できるようにピニ
オン１１２と係合している。ピニオン１１２は、関連ドラム支持シャフト９０の
端部に固定されている被駆動ギア１１４と係合する。従って、コンピュータ４０
および／または手動制御装置４２の制御の下で、回転空気アクチュエータ１１０
が作動すると、ピニオン１１２を駆動して回転させ、それにより、ギア１１４お
よび圧縮ローラ７４を駆動して回転させる。ピニオン１１２の一方は、設定等の
目的で、圧縮ローラを回転することができるように、ノブ１１６により手動で駆
動することができる。ピニオン１１２および関連回転空気アクチュエータ１１０
は、また１）ピニオン１１２が被駆動ギア１１４と係合している、図の動作位置
と、２）圧縮ローラ７４を直接手動で回転することができるように、ピニオン１
１２がギア１１４から離れている引っ込んだ位置との間を、図１、図２および図
８内の矢印１１８の方向に、シリンダ１１１により移動することができる。最後
に、オペレータが、クランプバー９２にアクセスするために、図面に示す位置に
、圧縮ローラ７４をロックすることができるように、被駆動ギア１１４の中の一
方に選択的にブレーキを掛けることができる。ブレーキは、好適には、１）支持
ブラケット１２２上に装着されているシリンダ、および２）ブレーキ・シュウ１
２４に取り付けられているロッドを含む複動空気圧シリンダ１２０の形をしてい
ることが好ましい。ブレーキ・シュウ１２４は、シリンダ延長部上の関連被駆動
ギア１１４の歯と係合したり、離脱したり、また手動制御装置４２の中の一つの
制御の下で引っ込むために、選択的に運動することができる。
要な速度の相関関係を維持するために、サブマスタＳＵの張力に依存しながら、
テーブル２４の戻りストロークの間、圧縮ローラ７４上にサブマスタＳＵを巻き
戻すために、圧縮ローラ７４を駆動して回転させることである。図の実施形態の
場合には、巻き付けデバイス７６は、一組の空気圧で作動する回転空気アクチュ
エータ１１０の形をしていて、その中の一方は、圧縮ローラ組立体２６の各端部
に位置する。各回転空気アクチュエータ１１０の出力は、動作できるようにピニ
オン１１２と係合している。ピニオン１１２は、関連ドラム支持シャフト９０の
端部に固定されている被駆動ギア１１４と係合する。従って、コンピュータ４０
および／または手動制御装置４２の制御の下で、回転空気アクチュエータ１１０
が作動すると、ピニオン１１２を駆動して回転させ、それにより、ギア１１４お
よび圧縮ローラ７４を駆動して回転させる。ピニオン１１２の一方は、設定等の
目的で、圧縮ローラを回転することができるように、ノブ１１６により手動で駆
動することができる。ピニオン１１２および関連回転空気アクチュエータ１１０
は、また１）ピニオン１１２が被駆動ギア１１４と係合している、図の動作位置
と、２）圧縮ローラ７４を直接手動で回転することができるように、ピニオン１
１２がギア１１４から離れている引っ込んだ位置との間を、図１、図２および図
８内の矢印１１８の方向に、シリンダ１１１により移動することができる。最後
に、オペレータが、クランプバー９２にアクセスするために、図面に示す位置に
、圧縮ローラ７４をロックすることができるように、被駆動ギア１１４の中の一
方に選択的にブレーキを掛けることができる。ブレーキは、好適には、１）支持
ブラケット１２２上に装着されているシリンダ、および２）ブレーキ・シュウ１
２４に取り付けられているロッドを含む複動空気圧シリンダ１２０の形をしてい
ることが好ましい。ブレーキ・シュウ１２４は、シリンダ延長部上の関連被駆動
ギア１１４の歯と係合したり、離脱したり、また手動制御装置４２の中の一つの
制御の下で引っ込むために、選択的に運動することができる。
【００３１】 エポキシ塗布装置２８は、コピー装置２０にとって重要なものではないが、役
に立つものである。何故なら、この装置は、全プロセスの自動化に貢献するから
である。エポキシ塗布装置２８は、層状構造体がニップＮ内で圧縮される前に、
サブマスタＳＵと基板ＳＴとの間に、液体エポキシＥ、好適には、液体エポキシ
の均等な層を塗布することができる任意のデバイスを備えることができる。図の
好適な実施形態の場合には、エポキシ塗布装置２８は、圧縮ローラ７４のすぐ上
流の圧縮ローラ支持組立体７８上に装着されている。図８および図１０に最もハ
ッキリ示すように、図のエポキシ塗布装置２８は、テーブル２４を横切って延び
る、支持バー１３０上に装着されているスプレーバー１３２、および少なくとも
一つ、好適には、数個のエポキシ供給チューブ１３４を含む。スプレーバー１３
２は、基板ＳＴの幅と同じ長さ、またはほぼ同じ長さの、その内部に形成された
、下向きの出口スリット（図示せず）を含む。スプレーバー１３２は、また、エ
ポキシを受け入れるためにその内部に形成された、複数の（図示の実施形態の場
合には三つの）入口オリフィスを含む。エポキシＥは、コンピュータ４０が指定
する流量で、供給チューブ１３４を通して、適当な供給源（図示せず）からこれ
らオリフィスに送られる。好適には、エポキシ塗布装置２８が、コピー装置２０
が動作していない場合、その動作位置から引っ込むことができるようにするため
に、支持バー１３０が、テーブル２４に対して上下に運動することができるよう
に、複動空気圧シリンダのような、リニア・アクチュエータ１３６上に、支持バ
ー１３０の他方の端部を装着することが好ましい。
に立つものである。何故なら、この装置は、全プロセスの自動化に貢献するから
である。エポキシ塗布装置２８は、層状構造体がニップＮ内で圧縮される前に、
サブマスタＳＵと基板ＳＴとの間に、液体エポキシＥ、好適には、液体エポキシ
の均等な層を塗布することができる任意のデバイスを備えることができる。図の
好適な実施形態の場合には、エポキシ塗布装置２８は、圧縮ローラ７４のすぐ上
流の圧縮ローラ支持組立体７８上に装着されている。図８および図１０に最もハ
ッキリ示すように、図のエポキシ塗布装置２８は、テーブル２４を横切って延び
る、支持バー１３０上に装着されているスプレーバー１３２、および少なくとも
一つ、好適には、数個のエポキシ供給チューブ１３４を含む。スプレーバー１３
２は、基板ＳＴの幅と同じ長さ、またはほぼ同じ長さの、その内部に形成された
、下向きの出口スリット（図示せず）を含む。スプレーバー１３２は、また、エ
ポキシを受け入れるためにその内部に形成された、複数の（図示の実施形態の場
合には三つの）入口オリフィスを含む。エポキシＥは、コンピュータ４０が指定
する流量で、供給チューブ１３４を通して、適当な供給源（図示せず）からこれ
らオリフィスに送られる。好適には、エポキシ塗布装置２８が、コピー装置２０
が動作していない場合、その動作位置から引っ込むことができるようにするため
に、支持バー１３０が、テーブル２４に対して上下に運動することができるよう
に、複動空気圧シリンダのような、リニア・アクチュエータ１３６上に、支持バ
ー１３０の他方の端部を装着することが好ましい。
【００３２】 硬化装置３０は、テーブル２４が、硬化装置３０の下で往復運動をしている間
にエポキシを硬化させることができる任意のデバイスを備えることができる。大
部分のエポキシは、紫外線（ＵＶ）の照射により硬化する。それ故、好適な硬化
装置３０は、紫外線硬化組立体を備える。図１−図７および図１０について詳細
に説明すると、この組立体は、シャッター１４０、紫外線源１４２、および紫外
線源用の調整可能な支持構造体を含む。紫外線源１４２は、任意の標準紫外線ゼ
ネレータを備えることができるので、詳細な説明は省略する。紫外線源１４２は
、好適には、紫外線源１４２の上および周囲を覆うハウジング１４３内に収容す
ることが好ましい。
にエポキシを硬化させることができる任意のデバイスを備えることができる。大
部分のエポキシは、紫外線（ＵＶ）の照射により硬化する。それ故、好適な硬化
装置３０は、紫外線硬化組立体を備える。図１−図７および図１０について詳細
に説明すると、この組立体は、シャッター１４０、紫外線源１４２、および紫外
線源用の調整可能な支持構造体を含む。紫外線源１４２は、任意の標準紫外線ゼ
ネレータを備えることができるので、詳細な説明は省略する。紫外線源１４２は
、好適には、紫外線源１４２の上および周囲を覆うハウジング１４３内に収容す
ることが好ましい。
【００３３】 シャッター１４０は、圧縮ローラ支持組立体７８の後部プレート８４の下を延
びる簡単な構造の金属プレートを備える。シャッター１４０は、コンピュータ４
０および／または手動制御装置４２の制御の下で動作する複動空気圧シリンダ１
４６によりプレート８４に対して垂直に運動することができる。シリンダ１４６
は、シャッター１４０に接続しているロッド端部、および支持プレート８４に固
定されているシリンダ端部を備える。シリンダ１４６が伸縮すると、シャッター
１４０は、１）シャッター１４０の底面が、テーブル２４から上に向かってかな
り離れる、上昇した開位置から、２）ニップＮの付近で、テーブル２４の方向に
伝播する光を素子するために、シャッター１４０の底面が、テーブル２４の近接
する下降した閉位置との間でシャッター１４０を上下に運動させる。
びる簡単な構造の金属プレートを備える。シャッター１４０は、コンピュータ４
０および／または手動制御装置４２の制御の下で動作する複動空気圧シリンダ１
４６によりプレート８４に対して垂直に運動することができる。シリンダ１４６
は、シャッター１４０に接続しているロッド端部、および支持プレート８４に固
定されているシリンダ端部を備える。シリンダ１４６が伸縮すると、シャッター
１４０は、１）シャッター１４０の底面が、テーブル２４から上に向かってかな
り離れる、上昇した開位置から、２）ニップＮの付近で、テーブル２４の方向に
伝播する光を素子するために、シャッター１４０の底面が、テーブル２４の近接
する下降した閉位置との間でシャッター１４０を上下に運動させる。
【００３４】 支持構造体１４４は、紫外線源１４２からの光を、ニップＮのすぐ下流に位置
するチューブ２４上の入射位置の方向に向けるように、紫外線源１４２の方向を
調整するように構成されている。入射点の位置および入射点に入射する光の輝度
は、支持構造体１４４を適当に調整して、紫外線源１４２の位置および方向を調
整することにより調整することができる。図４および図１０について説明すると
、支持構造体１１４は、１）支持面３２上のある位置において、テーブルを横切
って横方向に延びる、支持プレート１５０と、２）一組の垂直方向に延びる、横
方向に間隔を持つ垂直支持ベース１５２とを含む。支持プレート１５０は、図１
０に最もハッキリ示すように、一組のブラケット１５４により、カンチレバーの
ように、垂直支持ベース１５２上に装着されている。クロス・ブレース１５６は
、垂直支持バー１５２の間を延びていて、相互に横方向に間隔を持ち、クロス・
ブレース１５６から支持プレート１５０へ、前方および下方に延びる相互に横方
向に間隔を持つ一組の傾斜紫外線源マウント１５８を収容する。テーブル２４に
光が入射する位置を変えるために、これらのマウント１５８の傾斜は、垂直支持
バー１５に対して、クロス・ブレース１５６を上下に移動することにより調整す
ることができる。この調整は、垂直支持バー１５２上に、クロス・ブレース１５
６を装着するための、装着孔部１６０の複数の垂直方向に間隔を持つ組の中の一
つを選択することにより行うことができる。紫外線源１４２は、Ｕ字形のスライ
ド・プレート１６２上に装着されていて、このプレート１６２は、紫外線源１４
２をマウント１５８に沿ってスライドできるようにし、それにより、紫外線源１
４２と入射点との間の間隔を変化させ、それにより、入射点での光の輝度を変化
させることができるようにする傾斜マウント１５８上にスライドできるように装
着されている。
するチューブ２４上の入射位置の方向に向けるように、紫外線源１４２の方向を
調整するように構成されている。入射点の位置および入射点に入射する光の輝度
は、支持構造体１４４を適当に調整して、紫外線源１４２の位置および方向を調
整することにより調整することができる。図４および図１０について説明すると
、支持構造体１１４は、１）支持面３２上のある位置において、テーブルを横切
って横方向に延びる、支持プレート１５０と、２）一組の垂直方向に延びる、横
方向に間隔を持つ垂直支持ベース１５２とを含む。支持プレート１５０は、図１
０に最もハッキリ示すように、一組のブラケット１５４により、カンチレバーの
ように、垂直支持ベース１５２上に装着されている。クロス・ブレース１５６は
、垂直支持バー１５２の間を延びていて、相互に横方向に間隔を持ち、クロス・
ブレース１５６から支持プレート１５０へ、前方および下方に延びる相互に横方
向に間隔を持つ一組の傾斜紫外線源マウント１５８を収容する。テーブル２４に
光が入射する位置を変えるために、これらのマウント１５８の傾斜は、垂直支持
バー１５に対して、クロス・ブレース１５６を上下に移動することにより調整す
ることができる。この調整は、垂直支持バー１５２上に、クロス・ブレース１５
６を装着するための、装着孔部１６０の複数の垂直方向に間隔を持つ組の中の一
つを選択することにより行うことができる。紫外線源１４２は、Ｕ字形のスライ
ド・プレート１６２上に装着されていて、このプレート１６２は、紫外線源１４
２をマウント１５８に沿ってスライドできるようにし、それにより、紫外線源１
４２と入射点との間の間隔を変化させ、それにより、入射点での光の輝度を変化
させることができるようにする傾斜マウント１５８上にスライドできるように装
着されている。
【００３５】 ３．コピー装置の動作 全コピー・プロセスは、オペレータによる設定が行われた後で、自動的に行わ
れ、サブマスタＳＵ上の表面構造体ＳＳの、基板ＳＴ、および硬化エポキシＥ層
の上に形成された積層体上へのコピーを含む。
れ、サブマスタＳＵ上の表面構造体ＳＳの、基板ＳＴ、および硬化エポキシＥ層
の上に形成された積層体上へのコピーを含む。
【００３６】 サブマスタＳＵは、好適には、ポリエチレンのような、柔軟なポリカーボネー
ト・シートから形成され、その表面上に形成された、必要な光成形面構造体ＳＳ
（図１２−図１４）を持つ再使用可能なサブマスタであることが好ましい。この
サブマスタＳＵは、任意の適当なプロセスにより作ることができる。例えば、完
成品が視野スクリーン、ホモジェナイザ等である通常の用途の場合には、サブマ
スタは、コーヒレントな光を使用して、感光媒体上に、表面構造体ＳＳを形成し
、この媒体を処理し、一連のサブマスタ内に表面構造体をコピーすることにより
作成される。この場合、以降の各発生は、マスタの視野角より、幾分小さな視野
角を持つ。サブマスタ・コピー・プロセスは、必要な視野角を持つサブマスタＳ
Ｕが達成されるまで、必要なだけ反復して行われる。１９９８年３月３１日付の
、サバント他の米国特許出願第０９／０５２，５８６号が、この方法で、サブマ
スタを形成するプロセスを開示している。上記米国特許出願の主題は、引用によ
って本明細書の記載に援用する。基板ＳＴは、光学的用途に使用することができ
る比較的硬質の任意の構造体を含むことができる。例えば、基板は、ガラス、ア
クリルまたはポリエステルのようなポリカーボネート構造体を含むことができる
。エポキシＥは、基板の上に積層し、その後で、紫外線照射により硬化すること
ができる任意の液体エポキシを含むことができる。
ト・シートから形成され、その表面上に形成された、必要な光成形面構造体ＳＳ
（図１２−図１４）を持つ再使用可能なサブマスタであることが好ましい。この
サブマスタＳＵは、任意の適当なプロセスにより作ることができる。例えば、完
成品が視野スクリーン、ホモジェナイザ等である通常の用途の場合には、サブマ
スタは、コーヒレントな光を使用して、感光媒体上に、表面構造体ＳＳを形成し
、この媒体を処理し、一連のサブマスタ内に表面構造体をコピーすることにより
作成される。この場合、以降の各発生は、マスタの視野角より、幾分小さな視野
角を持つ。サブマスタ・コピー・プロセスは、必要な視野角を持つサブマスタＳ
Ｕが達成されるまで、必要なだけ反復して行われる。１９９８年３月３１日付の
、サバント他の米国特許出願第０９／０５２，５８６号が、この方法で、サブマ
スタを形成するプロセスを開示している。上記米国特許出願の主題は、引用によ
って本明細書の記載に援用する。基板ＳＴは、光学的用途に使用することができ
る比較的硬質の任意の構造体を含むことができる。例えば、基板は、ガラス、ア
クリルまたはポリエステルのようなポリカーボネート構造体を含むことができる
。エポキシＥは、基板の上に積層し、その後で、紫外線照射により硬化すること
ができる任意の液体エポキシを含むことができる。
【００３７】 オペレータは、最初、クランプバー９２を使用して、サブマスタＳＵの一方の
端部を圧縮ローラ７４に取り付け、その後で、圧縮ローラ７４のシリコーン層８
８の周りに、約１８０度巻き付け、その後で、クランプ５２を使用して、サブマ
スタＳＵの他方の端部をテーブル２４に取り付けることにより、動作用のコピー
装置２０を作成する。サブマスタＳＵは、現在、図１１に示す位置に位置してい
て、その場所で、テーブル２４および圧縮ローラ７４に取り付けられ、その場所
で、圧縮ローラ７４の周囲に少し間隔をおいて巻き付けられる。圧縮ローラ７４
のシリコーン層８８が、約１０インチの直径、約１１．５インチの長さを持つ、
図の実施形態の場合には、圧縮ローラ７４は、長さ約３０インチ、幅約１１．５
インチの、サブマスタＳＵを収容することができる。その後で、オペレータは、
図１１に示すように、テーブル２４の表面５０の上に基板ＳＴのシートを置くこ
とにより設定作業を完了する。
端部を圧縮ローラ７４に取り付け、その後で、圧縮ローラ７４のシリコーン層８
８の周りに、約１８０度巻き付け、その後で、クランプ５２を使用して、サブマ
スタＳＵの他方の端部をテーブル２４に取り付けることにより、動作用のコピー
装置２０を作成する。サブマスタＳＵは、現在、図１１に示す位置に位置してい
て、その場所で、テーブル２４および圧縮ローラ７４に取り付けられ、その場所
で、圧縮ローラ７４の周囲に少し間隔をおいて巻き付けられる。圧縮ローラ７４
のシリコーン層８８が、約１０インチの直径、約１１．５インチの長さを持つ、
図の実施形態の場合には、圧縮ローラ７４は、長さ約３０インチ、幅約１１．５
インチの、サブマスタＳＵを収容することができる。その後で、オペレータは、
図１１に示すように、テーブル２４の表面５０の上に基板ＳＴのシートを置くこ
とにより設定作業を完了する。
【００３８】 その後で、オペレータは、図１２の矢印１７８により示すように、右にテーブ
ル２４を駆動する目的で、モータ６８にエネルギーを供給するための電流を供給
するために、コンピュータ４０に適当なコマンドを入力することにより、コピー
手順をスタートさせることができる。テーブルの移動速度は、複雑さおよび／ま
たはコピーした表面構造体の視野角、およびエポキシＥの硬化速度により用途毎
に異なる。テーブル２４が移動すると、エポキシ塗布装置２８を、その作業位置
に下降させるために、塗布シリンダ１３６が作動し、エポキシ塗布装置２８は、
ニップＮのすぐ上流のところの基板ＳＴ上にエポキシの均等な層を塗布する。ま
た、テーブル２４が移動すると、図１２の矢印１８０の方向に回転する目的で、
圧縮ローラ７４を駆動するために、圧縮ローラ７４からサブマスタＳＵが剥離さ
れる。被駆動ギア１１４が回転すると、矢印１８２で示す反対方向に回転させる
ために、ピニオン１１２が駆動される。この回転は、３６０度の全範囲にわたっ
て回転する回転アクチュエータ１１０の力で行われる。このようにして、サブマ
スタＳＵをローラ７４用の駆動ベルトとして使用することにより、ローラの速度
は、自動的に、テーブルの速度と相互に関連し、その結果、ローラ７４の外表面
の線速度は、ニップＮを通るテーブル２４の線速度に整合する。その結果、サブ
マスタＳＵと、基板ＳＴ、エポキシＥおよびサブマスタＳＵからなる層状構造体
としての基板ＳＴとの間にスリップが起こらず、上記層状構造体はニップＮ内で
圧縮される。この圧縮中、圧縮ローラ７４により層状構造体上に加わる圧力は、
通常、接触線において、直線１インチ当り２０〜４０ポンドであり、空気圧シリ
ンダ１００を適当に作動することにより設定することができる。
ル２４を駆動する目的で、モータ６８にエネルギーを供給するための電流を供給
するために、コンピュータ４０に適当なコマンドを入力することにより、コピー
手順をスタートさせることができる。テーブルの移動速度は、複雑さおよび／ま
たはコピーした表面構造体の視野角、およびエポキシＥの硬化速度により用途毎
に異なる。テーブル２４が移動すると、エポキシ塗布装置２８を、その作業位置
に下降させるために、塗布シリンダ１３６が作動し、エポキシ塗布装置２８は、
ニップＮのすぐ上流のところの基板ＳＴ上にエポキシの均等な層を塗布する。ま
た、テーブル２４が移動すると、図１２の矢印１８０の方向に回転する目的で、
圧縮ローラ７４を駆動するために、圧縮ローラ７４からサブマスタＳＵが剥離さ
れる。被駆動ギア１１４が回転すると、矢印１８２で示す反対方向に回転させる
ために、ピニオン１１２が駆動される。この回転は、３６０度の全範囲にわたっ
て回転する回転アクチュエータ１１０の力で行われる。このようにして、サブマ
スタＳＵをローラ７４用の駆動ベルトとして使用することにより、ローラの速度
は、自動的に、テーブルの速度と相互に関連し、その結果、ローラ７４の外表面
の線速度は、ニップＮを通るテーブル２４の線速度に整合する。その結果、サブ
マスタＳＵと、基板ＳＴ、エポキシＥおよびサブマスタＳＵからなる層状構造体
としての基板ＳＴとの間にスリップが起こらず、上記層状構造体はニップＮ内で
圧縮される。この圧縮中、圧縮ローラ７４により層状構造体上に加わる圧力は、
通常、接触線において、直線１インチ当り２０〜４０ポンドであり、空気圧シリ
ンダ１００を適当に作動することにより設定することができる。
【００３９】 テーブル２４の下流の端部上の圧縮された層状構造体が、ニップＮを越えて移
動すると、コンピュータ４０は、圧縮された層状構造体がニップＮから出てきた
ほとんど直後に、層状構造体のエポキシＥが紫外線の照射により硬化を始めるよ
うに、シャッター１４０を上に移動させるために、空気圧シリンダ１４６を作動
する。基板ＳＴにエポキシＥを塗布し、圧縮ローラ７４からサブマスタＳＵを剥
離し、圧縮された層状構造体を形成するために、エポキシＥ上にサブマスタＳＵ
を圧着し、圧着された層状構造体内でエポキシＥを硬化させるプロセスは、テー
ブル２４の前方ストローク全体を通して継続して行われ、その点（図１２）にお
いて、その内部において、サブマスタ上の光成形面構造体ＳＳが、エポキシＥ上
にコピーされ、またエポキシの少なくとも一部が硬化する、平らな層状構造体を
作るために、ほとんど全サブマスタＳＵが基板ＳＴ上に圧着される。
動すると、コンピュータ４０は、圧縮された層状構造体がニップＮから出てきた
ほとんど直後に、層状構造体のエポキシＥが紫外線の照射により硬化を始めるよ
うに、シャッター１４０を上に移動させるために、空気圧シリンダ１４６を作動
する。基板ＳＴにエポキシＥを塗布し、圧縮ローラ７４からサブマスタＳＵを剥
離し、圧縮された層状構造体を形成するために、エポキシＥ上にサブマスタＳＵ
を圧着し、圧着された層状構造体内でエポキシＥを硬化させるプロセスは、テー
ブル２４の前方ストローク全体を通して継続して行われ、その点（図１２）にお
いて、その内部において、サブマスタ上の光成形面構造体ＳＳが、エポキシＥ上
にコピーされ、またエポキシの少なくとも一部が硬化する、平らな層状構造体を
作るために、ほとんど全サブマスタＳＵが基板ＳＴ上に圧着される。
【００４０】 その後で、モータ６８は、その戻りストローク中に、すなわち、図１３の矢印
１８４の方向に、テーブル２４を駆動するために反転する。この運動中、層状構
造体は、エポキシＥの硬化のプロセスを終了し、それにより基板／エポキシ積層
を、サブマスタＳＵによりカバーされている状態に維持するために、再び紫外線
により照射される。同時に、回転空気アクチュエータ１１０が、作動して、図１
３の矢印１８６および１８８の方向に、回転を行うために、圧着ローラ７４およ
びピニオン１１２を駆動する。ローラが回転すると、基板／エポキシ積層体から
サブマスタＳＵが剥離され、圧着ローラ７４にサブマスタＳＵが順次もう一度巻
き付けられる。テーブルの戻りストロークの終わりに、シャッター１４０が閉じ
、テーブル・モータ６８、および回転空気アクチュエータ１１０への、動力の供
給が中断され、テーブル２４およびローラ７４は、図１４に示す位置に停止する
。その後で、塗布シリンダ１３６は、その引っ込んだ位置に自動的に戻る。その
上に必要な光成形面構造体を持つ、基板／硬化したエポキシ積層体を含む光学的
製品は、オペレータが運び去ることができ、その後で、オペレータは、テーブル
２４上に新しい基板ＳＴを設置し、コンピュータ４０に、プロセスを反復して行
うように命令する。
１８４の方向に、テーブル２４を駆動するために反転する。この運動中、層状構
造体は、エポキシＥの硬化のプロセスを終了し、それにより基板／エポキシ積層
を、サブマスタＳＵによりカバーされている状態に維持するために、再び紫外線
により照射される。同時に、回転空気アクチュエータ１１０が、作動して、図１
３の矢印１８６および１８８の方向に、回転を行うために、圧着ローラ７４およ
びピニオン１１２を駆動する。ローラが回転すると、基板／エポキシ積層体から
サブマスタＳＵが剥離され、圧着ローラ７４にサブマスタＳＵが順次もう一度巻
き付けられる。テーブルの戻りストロークの終わりに、シャッター１４０が閉じ
、テーブル・モータ６８、および回転空気アクチュエータ１１０への、動力の供
給が中断され、テーブル２４およびローラ７４は、図１４に示す位置に停止する
。その後で、塗布シリンダ１３６は、その引っ込んだ位置に自動的に戻る。その
上に必要な光成形面構造体を持つ、基板／硬化したエポキシ積層体を含む光学的
製品は、オペレータが運び去ることができ、その後で、オペレータは、テーブル
２４上に新しい基板ＳＴを設置し、コンピュータ４０に、プロセスを反復して行
うように命令する。
【００４１】 最初の前方へのストロークの際のテーブルの運動のスタートから、その戻りス
トロークの際のテーブルの運動の停止までの全コピー・プロセスは、通常、２０
秒以上掛からない。この時間内に、１時間当り１００ユニットの速度で生産する
ことができる。この速度は、１時間当り５〜１０ユニットの過去の生産速度と比
較すると劇的な改善である。さらに、結果として得られる製品の品質も、１）ニ
ップＮ内での線対面の均等な接触による層状構造体の均等な圧縮、および２）テ
ーブル２４の速度と圧縮ローラ７４の速度との間の相関関係によるサブマスタＳ
Ｕと基板ＳＴとの間のスリップの防止により改善される。
トロークの際のテーブルの運動の停止までの全コピー・プロセスは、通常、２０
秒以上掛からない。この時間内に、１時間当り１００ユニットの速度で生産する
ことができる。この速度は、１時間当り５〜１０ユニットの過去の生産速度と比
較すると劇的な改善である。さらに、結果として得られる製品の品質も、１）ニ
ップＮ内での線対面の均等な接触による層状構造体の均等な圧縮、および２）テ
ーブル２４の速度と圧縮ローラ７４の速度との間の相関関係によるサブマスタＳ
Ｕと基板ＳＴとの間のスリップの防止により改善される。
【００４２】 本発明の精神から逸脱することなしに、本発明に多くの変更および修正を行う
ことができる。これらの変更の範囲は、添付の特許請求の範囲を読めば理解する
ことができるだろう。
ことができる。これらの変更の範囲は、添付の特許請求の範囲を読めば理解する
ことができるだろう。
【図１】 本発明の好適な実施形態に従って作られたコピー装置の斜視図で
ある。
ある。
【図２】 図１のコピー装置の頂部平面図である。
【図３】 コピー装置の側部立面図である。
【図４】 図１の４−４線にほぼ沿って切断した、コピー装置の立面断面図
である。
である。
【図５】 コピー装置の後端部の立面図である。
【図６】 圧縮ローラ組立体を含むコピー装置の右側面の部分立面図である
。
。
【図７】 図２の７−７線にほぼ沿って切断した側部立面断面図である。
【図８】 図２の８−８線にほぼ沿って切断した側部立面断面図である。
【図９】 コピー装置の圧縮ローラの一部の拡大部分端面図である。
【図１０】 コピー装置の一部の分解斜視図である。
【図１１】 コピー装置の動作シーケンスを含む一連の簡単な側部立面図で
ある。
ある。
【図１２】 コピー装置の動作シーケンスを含む一連の簡単な側部立面図で
ある。
ある。
【図１３】 コピー装置の動作シーケンスを含む一連の簡単な側部立面図で
ある。
ある。
【図１４】 コピー装置の動作シーケンスを含む一連の簡単な側部立面図で
ある。
ある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２９Ｌ 11:00 Ｂ２９Ｌ 11:00 (72)発明者 リー、カン エス． アメリカ合衆国 91367 カリフォルニア 州 ウッドランド ヒルズ カノガ アベ ニュー 5545 ナンバー222 (72)発明者 サヴァント、ガジェンドラ ディ． アメリカ合衆国 90275 カリフォルニア 州 ランチ パロス ヴェルデス バス ウッド ストリート 26640 Ｆターム(参考） 4F204 AA39 AG03 AH73 EA03 EA04 EB01 EB11 EF01 EF05 EF23 EF49 EK17 EK18 EK25
Claims (29)
- 【請求項１】 光成形面構造体をコピーする方法であって、 （Ａ）１）テーブル上に支持されている比較的硬質の基板と、２）前記テーブ
ルに面していて、その表面上に、前記光成形面構造体を持つサブマスタと、３）
前記基板と前記サブマスタとの間に塗布されたエポキシ層を含む層状構造体を、
圧縮ローラの外表面と前記テーブルとの間に形成されたニップ内に位置させるス
テップと、 （Ｂ）前記エポキシ層の上に前記表面構造体をコピーするために、前記ニップ
内で層状構造体を自動的に圧縮するステップと、 （Ｃ）前記エポキシ層を硬化するステップと、 （Ｄ）その表面上に前記表面構造体を持つ基板／エポキシ積層体を残すために
、前記基板から前記サブマスタを分離するステップとを含む方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の方法において、前記層状構造体の完成と圧縮
が同時に行われる方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の方法において、前記圧縮ステップが、前記ロ
ーラに対して、前記テーブルを並進させながら、前記ローラを非並進軸を中心に
して回転させるステップを含む方法。 - 【請求項４】 請求項３記載の方法において、さらに、前記圧縮ステップ中
に、前記ローラの前記外表面の線速度が、少なくとも前記テーブルの線速度にほ
ぼ等しくなるように、前記ローラの運動を前記テーブルの運動と相互に関連づけ
るステップを含む方法。 - 【請求項５】 請求項４記載の方法において、前記サブマスタが、柔軟なシ
ートを含み、前記サブマスタの一方の端部が前記ローラに取り付けられていて、
前記サブマスタの他方の端部が前記テーブルに取り付けられていて、前記の相互
に関連づけるステップが、前記層状構造体を形成するために、前記サブマスタが
前記ローラから順次離れ、前記ニップ内で前記基板に対して圧着されるように、
前記サブマスタを通して駆動力を前記テーブルから前記ローラに伝達するステッ
プを含む方法。 - 【請求項６】 請求項５記載の方法において、前記テーブルが、前進ストロ
ークおよび戻りストロークにより往復運動を行い、前記分離ステップが、順次、
１）前記積層体から前記サブマスタを剥離し、２）前記サブマスタを前記ローラ
上に元通りに巻き付かせるために、テーブルの戻りストローク中に、巻き付け方
向に回転するように前記ローラを駆動するステップを含む方法。 - 【請求項７】 請求項４記載の方法において、前記層状構造体を形成する際
の最初のステップが、前記圧縮ステップの直前に、前記基板上にエポキシを自動
的に塗布するステップを含み、前記塗布ステップが、前記ローラの上流のところ
で、前記テーブルから間隔をおいて位置しているエポキシ塗布装置により行われ
る方法。 - 【請求項８】 請求項１記載の方法において、前記硬化ステップが、前記層
状構造体に対して紫外線を照射するステップを含む方法。 - 【請求項９】 請求項１記載の方法において、前記硬化ステップが、前記層
状構造体の一部が、その他の部分が前記ニップ内で圧縮されている間に硬化され
るように圧縮ステップと平行して行われる方法。 - 【請求項１０】 光成形面構造体をコピーする方法であって、 （Ａ）テーブル上に比較的硬質な構造体を支持するステップと、 （Ｂ）その間にニップを形成するために、前記テーブルから間隔をおいて位置
する圧着ローラの外表面の周囲に、少なくとも少し離して、前記ローラに面して
いないその表面上に前記表面構造体を持つ比較的柔軟なサブマスタを巻き付ける
ステップと、 （Ｃ）前記サブマスタと前記基板との間にエポキシ層を塗布するステップと、 （Ｄ）前記ローラから前記サブマスタを剥離し、前記エポキシ層上に前記表面
構造体をコピーし、それにより、層状構造体を形成するために、前記ニップ内で
前記サブマスタ、前記エポキシ層、および前記基板を圧縮するステップであって
、前記圧縮ステップが、前記ローラの前記外表面の線速度が、前記テーブルの線
速度に少なくともほぼ等しくなる回転速度で、前記ローラを回転させながら、前
記ローラを越えて前記テーブルを駆動するステップを含むステップと、 （Ｅ）前記エポキシ層を硬化するステップと、 （Ｆ）その表面上に前記表面構造体を持つ基板／エポキシ積層体を残すように
、前記基板から前記サブマスタを分離するステップとを含む方法。 - 【請求項１１】 請求項１０記載の方法において、前記サブマスタの一方の
端部が、前記ローラに取り付けられていて、前記サブマスタの他方の端部が、前
記テーブルに取り付けられていて、前記ローラを越えての前記テーブルの運動が
、前記ローラから前記基板を剥離し、前記ローラを回転するように駆動するため
に、前記基板に張力を加える方法。 - 【請求項１２】 請求項１１記載の方法において、前記テーブルが、前進ス
トロークおよび戻りストロークにより往復運動を行い、前記テーブルが、前記前
進ストローク中だけ、前記ローラを駆動して、回転させ、前記分離ステップが、
順次、１）前記積層体から前記サブマスタを剥離し、２）前記サブマスタを前記
ローラ上に元通り巻き付かせるために、前記テーブルの戻りストローク中に、再
巻き付け方向に回転するように前記ローラを駆動するステップを含む方法。 - 【請求項１３】 光成形面構造体をコピーする方法であって、 （Ａ）テーブル上に比較的硬質な構造体を支持するステップと、 （Ｂ）比較的柔軟な再利用可能であって、その表面上に前記表面構造体を持つ
サブマスタの一方の端部を、圧縮ローラの、その間にニップを形成するために、
前記テーブルから間隔をおいて位置する外表面に取り付けるステップと、 （Ｃ）前記サブマスタを、前記サブマスタの前記表面が、前記テーブルに面し
ないように、前記ローラの前記外表面から少なくとも少し離して巻き付けるステ
ップと、 （Ｄ）前記サブマスタの他方の端部を前記ローラの下流の位置で前記テーブル
に取り付けるステップと、 （Ｅ）前記サブマスタと前記基板との間にエポキシ層を塗布するステップと、 （Ｆ）前記ローラから前記サブマスタを剥離し、前記エポキシ層上に前記表面
構造体をコピーし、それにより、層状構造体を形成するために、前記サブマスタ
、前記エポキシ層、および前記基板を前記ニップ内で圧縮するステップであって
、前記剥離および前記圧縮ステップが、前記サブマスタに張力を加えるために、
第一の方向に前記テーブルを駆動し、それにより、前記ローラの前記外表面の線
速度が、前記テーブルの線速度に少なくともほぼ等しくなる回転速度で、前記サ
ブマスタを前記ローラから剥離し、前記ローラを剥離する方向に駆動し、回転さ
せるステップを含むステップと、 （Ｅ）前記エポキシ層を硬化するステップと、 （Ｆ）その表面上に前記表面構造体を持つ基板／エポキシ積層体が残るように
、前記基板から前記サブマスタを分離するステップとを含む方法。 - 【請求項１４】 請求項１３記載の方法において、前記分離ステップが、前
記サブマスタを前記基板から剥離し、前記ローラ上に元通りに巻き付けるために
、前記ローラを再巻き付け方向に回転するように駆動しながら、第二の方向に、
前記ローラを越えて前記テーブルを駆動するステップを含む方法。 - 【請求項１５】 光成形面構造体をコピーする方法であって、 （Ａ）テーブル上に比較的硬質な基板を支持するステップと、 （Ｂ）比較的柔軟で再利用可能であって、その表面上に前記表面構造体を持つ
サブマスタの一方の端部を、圧縮ローラの、その間にニップを形成するために、
前記テーブルから上方に間隔をおいて位置する外表面に取り付けるステップと、 （Ｃ）前記サブマスタを、前記サブマスタの前記表面が、前記テーブルに面し
ないように、前記ローラの前記外表面から少なくとも少し離して巻き付けるステ
ップと、 （Ｄ）前記サブマスタの他方の端部を前記テーブルに取り付けるステップと、 （Ｅ）前記サブマスタに張力を加えるために、前記テーブルを、前記ローラの
下を第一の方向に移動するように駆動し、それにより、１）前記サブマスタを前
記ローラから分離し、前記ローラの前記外表面の線速度が、前記テーブルの線速
度に少なくともほぼ等しくなる回転速度で、分離方向に前記ローラを回転させる
ために駆動し、２）前記ニップ内で前記サブマスタと前記基板を圧縮するステッ
プと、 （Ｆ）駆動ステップの間に、前記圧縮ステップ後に、前記エポキシが、１）前
記基板と前記サブマスタとの間にサンドイッチ状に挟まれ、２）その表面上にコ
ピーされた前記表面構造体を持つように、前記ニップの上流に位置する上流テー
ブル上に配置されたエポキシ塗布装置から上流基板上にエポキシを塗布するステ
ップと、 （Ｇ）前記駆動ステップ中に、前記ローラの下流に位置する前記テーブル上に
配置された紫外線源により前記エポキシを硬化するステップと、 （Ｈ）前記サブマスタを前記基板から分離し、前記ローラ上に元通りに巻き付
け、それにより、その表面上に、前記表面構造体を持つ基板／エポキシ積層体が
残るよう、再巻き付け方向に回転するように前記ローラを駆動しながら、第二の
方向に、前記ローラを越えて前記テーブルを駆動するステップとを含む方法。 - 【請求項１６】 比較的硬質の基板上に、光成形面構造体をコピーするため
のコピー装置であって、 （Ａ）ほぼ平らな支持面を有し、前記支持面の延長方向と少なくともほぼ平行
に移動することができるテーブルと、 （Ｂ）その間にニップを形成するために、前記テーブルの前記支持面から間隔
を置いて位置する外表面を有し、前記ローラに対して軸方向に、前記テーブルに
対して横方向に延びる支持シャフト上に装着されていて、その外表面上に、前記
ローラに面していないその表面上に、前記表面構造体を持つサブマスタを収容す
るように構成されている圧縮ローラと、 （Ｃ）前記テーブルが前記ニップを通って移動する場合、前記ローラが、前記
ローラの前記外表面の線速度が、前記テーブルの前記支持面の線速度に少なくと
もほぼ等しくなる回転速度で回転し、それにより前記ニップ内で前記基板および
前記サブマスタが圧縮されるように前記テーブルおよび前記ローラを駆動する駆
動装置とを含むコピー装置。 - 【請求項１７】 請求項１６記載のコピー装置において、前記駆動装置が、
１）直線的に運動するように前記テーブルを駆動するモータと、２）前記テーブ
ルおよび前記ローラに接続していて、前記テーブルの並進運動を前記ローラの回
転運動に変換するカップリングとを備えるコピー装置。 - 【請求項１８】 請求項１７記載のコピー装置において、前記カップリング
が、１）前記サブマスタの第一の端部を前記ローラに取り付けることができ、前
記サブマスタが、前記ローラの外表面の周囲に少なくとも少し離して巻き付ける
ことができるようにする前記ローラ上のデバイスと、２）前記サブマスタの第二
の端部を前記テーブルに取り付けることができるようにする前記テーブル上のデ
バイスとを備えるコピー装置。 - 【請求項１９】 請求項１８記載のコピー装置において、前記モータが、前
進ストロークおよび戻りストロークにより前記テーブルを往復運動させ、前記駆
動装置が、さらに、前記テーブルの前記戻りストローク中に、前記ローラの前記
外表面上に、前記サブマスタを元通りに巻き付けるように前記ローラを駆動する
再巻き付け駆動デバイスを備えるコピー装置。 - 【請求項２０】 請求項１９記載のコピー装置において、前記再巻き付け駆
動デバイスが、１）回転シリンダ、２）前記回転シリンダにより回転するように
駆動されるピニオン、および３）前記ピニオンと係合していて、前記支持シャフ
ト上に装着されている被駆動ギアを備えるコピー装置。 - 【請求項２１】 請求項１６記載のコピー装置において、前記支持シャフト
が、前記テーブルの隣接する対向側面に位置する第一および第二のベアリング上
に支持されていて、さらに、前記各ベアリングに対して、１）前記ベアリングが
、前記テーブルから遠ざかるようにバイアスを掛けるカウンタバランス装置と、
２）前記ベアリングを前記テーブルの方向に押すために選択的に作動することが
できるリニア・アクチュエータとを備えるコピー装置。 - 【請求項２２】 請求項１６記載のコピー装置において、さらに、前記ロー
ラの上流のところで、前記テーブルから間隔をおいて位置していて、エポキシを
前記基板上に塗布するように構成されているエポキシ塗布装置を備えるコピー装
置。 - 【請求項２３】 請求項２２記載のコピー装置において、前記エポキシ塗布
装置が、１）前記テーブルを横切って延び、突出位置と引っ込み位置との間を移
動することができる支持体と、２）前記支持体上に装着されていて、エポキシ入
口とエポキシ出口とを持つスプレーバーと、３）前記スプレーバーの前記エポキ
シ入口に接続している少なくとも一つのエポキシ供給チューブを備えるコピー装
置。 - 【請求項２４】 請求項１６記載のコピー装置において、さらに、前記ロー
ラが回転するのを防止するために選択的に作動することができるブレーキを備え
るコピー装置。 - 【請求項２５】 請求項１８記載のコピー装置において、さらに、前記ロー
ラの下流のところで、前記テーブルから間隔をおいて位置するエポキシ硬化デバ
イスを備えるコピー装置。 - 【請求項２６】 請求項２５記載のコピー装置において、前記エポキシ硬化
デバイスが、紫外線源を備えるコピー装置。 - 【請求項２７】 比較的硬質な基板上に光成形面構造体をコピーするための
コピー装置であって、 （Ａ）上を向いているほぼ平らな支持面を有し、前記支持面に対して少なくと
もほぼ平行に移動することができるテーブルと、 （Ｂ）その間にニップを形成するために、前記支持面の上に間隔を置いて位置
する外表面を有し、前記ローラに対して軸方向に、前記テーブルに対して横方向
に延びる支持シャフト上に装着されていて、その外表面上に、サブマスタを収容
するように構成されている圧縮ローラと、 （Ｃ）前記テーブルおよび前記ローラを駆動し、 （１）前記支持面に対して縦方向に移動するように前記テーブルを駆動するモ
ータと、 （２）ａ）前記ローラに取り付けられている第一の端部を有し、ｂ）前記テー
ブルに取り付けられている第二の端部を有し、ｃ）前記ローラの前記外表面の周
囲から少し離れて巻き付けることができ、前記テーブルが、前記ニップを通って
移動する場合に、前記ローラの前記外表面の線速度が、前記テーブルの線速度に
少なくともほぼ等しくなる回転速度で、前記ローラが回転し、それにより、前記
ニップ内で前記基板と前記サブマスタが圧縮されるように、前記テーブルを前記
ローラと係合させるサブマスタとを含む駆動装置を備えるコピー装置。 - 【請求項２８】 請求項２７記載のコピー装置において、前記モータが、前
進ストロークおよび戻りストロークにより前記テーブルを往復運動させ、前記駆
動装置が、さらに、前記テーブルの前記戻りストローク中に、前記ローラの前記
外表面上に前記サブマスタを元通りに巻き付けるように前記ローラを駆動する再
巻き付け駆動デバイスを備えるコピー装置。 - 【請求項２９】 比較的硬質な基板上に光成形面構造体をコピーするための
コピー装置であって、 （Ａ）上を向いているほぼ平らな支持面を有し、前記支持面に対して少なくと
もほぼ平行に移動することができるテーブルと、 （Ｂ）その間にニップを形成するために、前記支持面の上に間隔を置いて位置
する外表面を有し、前記ローラに対して軸方向に、前記テーブルに対して横方向
に延びるローラ駆動シャフトにより自由に回転することができ、１）前記サブマ
スタの第一の端部が、前記ローラに取り付けられ、２）前記サブマスタが、前記
外表面の周囲に、少なくとも少し離れて巻き付き、３）前記サブマスタの第二の
端部が、前記ローラの下流のところで前記テーブルに取り付けられるように、そ
の前記外表面にサブマスタを収容するように構成されていて、その場合、前記サ
ブマスタが、前記ローラに面していないその表面上に前記表面構造体を持つ圧縮
ローラと、 （Ｃ）前記ローラの上流のところで、前記テーブルの上に間隔をおいて位置し
、前記基板上にエポキシ層を塗布するように構成されているエポキシ塗布装置と
、 （Ｄ）前記テーブルが、前記ニップを通って、第一の方向に移動した場合に、
前記ローラが、前記ローラの前記外表面の線速度が、前記テーブルの線速度に少
なくともほぼ等しくなる回転速度で、前記ローラが回転し、それにより、前記ニ
ップ内で前記エポキシ層と前記サブマスタが圧縮されるように、前記支持面に対
して縦方向に移動するように前記テーブルを往復駆動させるモータと、 （Ｅ）前記モータが、前記第一の方向とは反対の第二の方向に前記テーブルを
駆動した場合に、前記ローラの前記外表面上に前記サブマスタを元通りに巻き付
けるように前記ローラを駆動する回転シリンダと、 （Ｆ）前記ローラの下流のところで、前記テーブル上に間隔をおいて位置し、
エポキシを硬化するように構成されている紫外線源とを備えるコピー装置。
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