JP2002513923A - 多回転エンコーダ - Google Patents
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Abstract
Description
要である。この目的のために、例えばヨーロッパ特許発明第 0 715 151号明細書
及びドイツ連邦共和国特許発明第 42 20 502号明細書中に記載されているような
多回転エンコーダが使用される。
DENHAINの社内報:回転エンコーダ,1997年4月号の第9頁中に説明
されている。軸の多数の回転を検出して識別するため、多数のコードディスクが
1つの歯車装置を介して互いに連結されている。各コードディスクは、交互に配
置された複数のN極とS極を有する多数のコードトラックから構成される。これ
らのコードトラックは、異なって区分されている。すなわち、粗いコードトラッ
クは、N極とS極を1つだけずつ有し、次に細かいコードトラックは、N極とS
極を2つずつ有し、そして一番細かいコードトラックは、N極とS極を8つずつ
有する。これらのコードトラックは、複数のホールセンサによって走査される。
絶対的な2桁以上の1つのコードワードが、全てのホールセンサの走査信号を結
合させることによって生成される。このコードワードは、コードディスクの絶対
角度位置を示す。
るコードディスクが使用されなければならない点が、この多回転エンコーダの欠
点である。
、同様に、多数のコードディスクが、それぞれ1つの減速歯車装置を介して互い
に連結されている。各コードディスクは、N極とS極を1つだけ有する1つの磁
気ドラムから構成される。互いに90°だけずれて配置された2つのホールセンサ
が、この磁気ドラムの周囲に設けられている。これらのホールセンサを貫通する
磁気ドラムの磁界が、放射状に指向されている。アナログ式のサイン信号とコサ
イン信号が、この磁気ドラムの回転運動時に生成される。全てのコードディスク
のこれらのアナログサイン信号とコサイン信号は、1つの評価ユニットに入力さ
れる。この評価ユニットは、この2桁以上のコードワードを生成する。さらに、
このコードワードは、何回もの回転運動に関するコードディスクの絶対角度位置
を示す。
い点が、この場合の欠点である。
ンコーダを提供することにある。
ンサ素子が、1つのチップ内に組込まれていると同時に、互いに高精度に指向さ
れていて、かつ同一の特性を呈するという点にある。
は、1つの単一式回転部材と1つの多重式回転部材から構成される。この単一式
回転部材は、1つのコードディスク1から構成される。このコードディスク1は
、測定すべき入力軸2に直接連結されている。この入力軸2の回転運動を識別可
能な多数のセクタに分割するため、このコードディスク1は、光電的に若しくは
磁気的に又は容量性に若しくは誘導性に走査可能なコード部3を担持する。通常
、このコード部3は、マルチトラック式のグレイコードであるが、このコード部
3は、シングルトラック式の連鎖コードによっても構成され得る。このコード部
3は、走査装置4によって走査される。その結果、2桁以上の1つのコードワー
ドC1が、この単一式回転部材の出力部で待機している。このコードワードC1
は、ただ1回の回転中の入力軸2の絶対位置しか示さない。
多重式回転部材は、少なくとも1つのコード記録媒体5.1から構成される。こ
のコード記録媒体5.1は、1つの減速歯車装置6を介して入力軸2に連結され
ている。この示された実施の形態では、8段減速が選択されている。
録媒体5.1に後続連結されていることが、非常に好ましい。1つの又は多数の
さらなるコード記録媒体5.2が、この1つの又は多数のさらなる減速歯車装置
11によって減速して駆動される。多重式回転部材の全てのコード記録媒体5が
同様に構成されていることが、非常に好ましい。そのため、それに対応する走査
装置7.1,7.2も同様に構成され得る。このことは、支承部を単純化し、か
つ仕入れ価格を著しく低減させる。
る。1つのコード記録媒体5のこれらの極が、1つの走査装置7によって走査さ
れる。この走査装置7は、1枚の半導体基板である。磁界を感知する多数のセン
サ素子8,9が、この半導体基板内に組込まれている。この半導体基板7は、図
2中に拡大して示されている。最も単純な実施の形態では、2つのセンサ素子8
,9がホールセンサとして組込まれている。この実施の形態では、それらのセン
サ感知面が、半導体基板面に対して垂直に存在し、かつ互いに角度αだけ回転し
て配置されている。ホールセンサ8,9は、例えば2重矢印によって示された方
向で最大に敏感である一方で、これらのホールセンサ8,9に対して示されたよ
り長い側面に平行な磁界に対しては鈍感である。磁石5が回転軸線Dの周りを回
転することによって、回転磁界が生成する。この磁界の磁力線は、これらのホー
ルセンサ8,9の領域内で半導体基板面に対して平行に保持されるが、その方向
は、この半導体基板面内で角度に依存して変化する。したがって、これらのホー
ルセンサ8,9の各々は、磁石5の1回転あたりに1つのアナログサイン走査信
号を出力する。角度がα=90°に達すると、これらの走査信号の位相が、互いに
90°だけずれる。このことから、多数の絶対位置を公知の補間法によって磁石5
の回転運動中に識別することができる。同様に、このために必要な評価回路10
が、半導体基板7内に組込まれている。例えばグレイコードを生成する異なる周
期の多数のパラレルなデジタル信号がその出力部で待機しているか、又は2桁以
上のデジタル式のコードワードC2が既に直接その出力部でシリアルに待機して
いるように、この評価回路10はホールセンサ8,9のこれらのアナログ走査信
号を結合させる。
れらのホールセンサ8,9の感知面は、半導体基板7の表面に対して平行に存在
し、かつ、磁石5に発生する磁界は、この半導体基板の表面に垂直に存在する。
この配置には、ホールセンサ8,9がこの半導体基板7の最も外側の周囲面に沿
って配置でき、結果として高い角度分解能がこの周囲面から得られるという有利
な効果がある。この半導体基板7の中心の空間は、評価回路10に対して最適に
利用され得る。
ワードC1,C2,C3、又は、その都度生成された異なる周期のデジタル信号
が、1つの結合論理部14に入力される。この結合論理部14は、ここから結果
として発生する2桁以上の1つのコードワードCRを生成し、電子系へ出力する
。
、半導体基板7内に適切に組込まれ得る。これらのセンサ素子8.0〜9.5は
、それぞれ互いに90°より小さい角度αをなして周設されている。これに対して
、一実施の形態が図4中に示されている。この半導体基板は、ここでは7.4で
示されていて、ホールセンサの形態のセンサ素子は、8.0〜9.5で示されて
いる。同様に、コード記録媒体5は、N極とS極を1つだけ有する双極子として
形成されている。コード記録媒体5が回転軸線Dの周りを回転するときの偏心度
を補整するため、センサ素子8.0〜9.5が、この回転軸線Dに対して対称に
配置されている。これらのセンサ素子8.0〜9.5の各々は、磁石5の1回転
あたりに或る周期の1つのアナログサイン走査信号を出力する。
されるという手法で、補間のために必要な互いに90°だけ位相のずらされた2つ
の走査信号が、これらのセンサ素子8.0〜9.5のこれらの走査信号を結合す
ることによって得られる。
ンサ素子8.0〜8.7から成る第1セクタ内で1つの第1合成信号に合成され
る。そして、これらのセンサ素子8.0〜8.7に対向するセンサ素子8.8〜
9.5のアナログセンサ信号が、1つの第2合成信号に合成される。両合成信号
の差が求められる。この場合、その結果として生成された0°信号が、差動回路
の出力部に待機している。
れ、対向するセンサ素子9.2〜8.3のアナログ走査信号が1つの第4合成信
号に合成される手法で、結果として上記の走査信号に対して90°だけ位相のずら
された走査信号が、180 °内にあるセンサ素子8.4〜9.1から成る第2セク
タ内で複数の走査信号を合成することによって同様に生成される。両合成信号の
差が求められる。この場合、その結果として生成された0°信号が、差動回路の
出力部に待機している。この第2セクタは、第1セクタに対して空間的に90°だ
けずらされている。
信号は、同様に磁石5の1回転あたりに或る周期を有する。この場合、高調波と
偏心度誤差が、これらの走査信号を結合することによって十分に補償されている
。したがって、非常に精確な絶対位置測定が、この磁石5.4の回転運動中のこ
れらの両走査信号の補間によって可能である。
ブル評価(Tabellenauswertung)によって公知の方法で実行できる。補間ユニット
が、或る周期内の1つの一義的な絶対位置を、結果として生成される両アナログ
走査信号の各々の振幅の結合(合成値)に対応させる。したがって、例えば25 = 32分割が実行できる。
要素が、半導体基板7.4内に組込まれている点が本発明に関して重要である。
この評価回路は、図4,5中に符号10で示されている。
。ホールセンサ8.0〜9.5が、外周面に沿って空間的に分散して配置されて
いる。その結果、これらのホールセンサの感知面が、半導体基板7.4の表面に
対して平行に指向されている。そして、これらの感知面は、この半導体基板の表
面に対して垂直に指向している磁石5の磁界の影響を受ける。これらの個々のセ
ンサ素子8.0〜9.5への磁界の影響は、この磁石5のその瞬間の回転位置に
依存する。− 例えばこれらのセンサ素子8.0〜9.5によって包囲される
− この半導体基板の表面内に配置された評価ユニット10が、この磁界の分布
から絶対位置を求める。この目的のために、1つの記憶器が設けられている。角
度値に対するセンサ素子8.0〜9.5の割当てが、この記憶器中に記憶されて
いる。例えば、センサ素子8.1,8.2が最大磁界の範囲内に存在しているこ
とが確認されると、20°分に相当する角度値が出力される。瞬時の最大磁界の場
所を特定するため、2つのセンサ素子の間も補間され得る。瞬時の磁界の位置を
評価する場合は、これらのセンサ素子8.1,8.2が検出され得る。これらの
センサ素子8.1,8.2は、複数の最大信号を出力するか、又は位置も検出さ
れ得る。最大信号から最少信号への遷移が、この位置で現れる。この実施の形態
では、このことは、センサ素子9.3,9.4にも適合されうる。
サ素子8.0〜9.5が磁石5の下側に配置されている。その磁界は、N極とS
極の境界線の領域内で作用する。
体基板7.13内にも組込まれ得る。これに関する実施の形態が、図6〜8中に
示されている。
体5.1,5.2は、図6では1つの共通の平面に沿って存在する。走査装置7
.1,7.2が、1枚の共通の半導体基板7.13内に組込まれている。この目
的のために、磁界を感知する複数のセンサ素子8,9から成る1枚の2次元セン
サアレイが、この半導体基板7.13内に形成されている。この実施の形態では
、このセンサアレイは、4行8列の複数の個別素子から構成される。見やすさの
理由から、複数のセンサ素子8,9のうちの2つだけが符号で示されている。各
磁石5.1,5.2の絶対角度位置が、図2〜5に対して説明したように測定さ
れ得る。このような測定とは別に、絶対位置が、論理評価部によってこのセンサ
アレイ7.13上の両コード記録媒体5.1,5.2のその瞬間の磁界の分布か
ら連動的に測定する可能性がある。
的な運動に限定されない。
され得る。その結果、このコード記録媒体5は、回転軸線Dの周りの回転運動だ
けではなくて、この回転運動に重なった移動運動又はセンサアレイ7.13に対
するさらなる回転運動が実行される。この実施の形態は、図7と図8中に概略的
に示されている。コード記録媒体5は、このコード記録媒体5の回転後に図7中
に示された位置から図8中に示された位置へ移動する。この重なった運動は、第
2の減速歯車装置11とみなされる。この重なった運動は、線形的でも回転子的
でも又は渦巻き状でもよい。この重なった運動は、連続的に又はステップごとに
実行され得る。
な分散によって形成される。これらのセンサ素子の空間的な分散は、磁石体の位
置情報として使用される。この場合、1つのアドレスが各センサ素子に割当てら
れている。このアドレスは、他のセンサ素子に対するそのセンサ素子の位置情報
と共に、半導体基板上の場所的な分散を特定する。
に組込まれ得る。
面は、実際には約 0,2×0,4 mmである。
ようなその他の磁界を感知するセンサ素子も、使用され得る。
を示す。
を示す。
を示す。
を示す。
記録媒体を示す。
DENHAINの社内報:回転エンコーダ,1997年4月号の第9頁中に説明
されている。軸の多数の回転を検出して識別するため、多数のコードディスクが
1つの歯車装置を介して互いに連結されている。各コードディスクは、交互に配
置された複数のN極とS極を有する多数のコードトラックから構成される。これ
らのコードトラックは、異なって区分されている。すなわち、粗いコードトラッ
クは、N極とS極を1つだけずつ有し、次に細かいコードトラックは、N極とS
極を2つずつ有し、そして一番細かいコードトラックは、N極とS極を8つずつ
有する。これらのコードトラックは、複数のホールセンサによって走査される。
絶対的な2桁以上の1つのコードワードが、全てのホールセンサの走査信号を結
合させることによって生成される。このコードワードは、コードディスクの絶対
角度位置を示す。 類似の多回転エンコーダが、雑誌 Elektronik,第70巻(1988),12月16日
no.22, 第38頁と第42頁中に説明されている。
い点が、この場合の欠点である。 複数のホールセンサを有する回転エンコーダが、ドイツ連邦共和国特許出願公
開第 44 40 214号明細書中に説明されている。この回転エンコーダでは、1つの
磁石板を走査するこれらのホールセンサが、角度値を生成する評価回路を含めて
1つの共通のIC内に組込まれている。何回もの回転にわたる測定は、記載され
ていない。 複数のホール素子によって部材を走査して計数パルスを生成するインクリメン
ト式の回転エンコーダが、英国特許公開第 2 176 616号明細書中に開示されてい
る。
Claims (7)
- 【請求項1】 − 1つの第1コード記録媒体(1)を有し、この第1コー
ド記録媒体(1)は、1本の入力軸(2)に連結されていて、絶対位置を生成す
るために1回転中に1つの走査装置(4)によって走査され、 − この入力軸(2) の何回もの回転を測定する少なくとも1つのその他のコー
ド記録媒体(5)を有し、この場合、1つの減速歯車装置(6,11)がこの第
1コード記録媒体(1)とこのその他のコード記録媒体(5)との間に配置され
ていて、 − このその他のコード記録媒体(5)は、少なくとも1つのN極とS極を有す
る1つの磁石体であり、 − 磁界を感知する多数のセンサ素子(8,9)から成る組込まれた空間的な配
置を有する1枚の半導体基板(7)が、この磁石体(5)に敷設されている多回
転エンコーダ。 - 【請求項2】 その他のコード記録媒体(5) は、N極とS極(N,S)を
1つだけ有する1つの磁石体であり、その結果、各センサ素子(8,9)は、こ
の磁石体(5)の1回転あたりに1つの周期的なサイン走査信号を生成すること
、1つの評価回路(10) が、この半導体基板(7)内に組込まれていて、互い
に位相のずらされたこれらの走査信号が、これらのセンサ素子(8,9)のこの
評価回路(10) に入力されること、及び、多数のビットを有する1つのデジタ
ル式のコードワード(C2,C3)が出力部でシリアルに又はパラレルに待機し
ているように、この評価回路(10) はこれらの評価信号を結合させることを特
徴とする請求項1に記載の多回転エンコーダ。 - 【請求項3】 多数のコード記録媒体(5.1,5.2)は、入力軸(2)
によって異なる減速度で駆動され、各コード記録媒体(5.1,5.2)は、1
枚の半導体基板(7.1,7.2)によって走査され、この場合、これらの半導
体基板(7.1,7.2)は、同様に構成されていることを特徴とする請求項1
又は2に記載の多回転エンコーダ。 - 【請求項4】 半導体基板(7.1,7.2)及び走査装置(4)の出力信
号(C2,C3)は、1つの結合論理部(14)に入力され、この結合論理部(
14) は、結果として1つのコードワード(CR)を生成することを特徴とする
請求項1〜3のいずれか1項に記載の多回転エンコーダ。 - 【請求項5】 センサ素子は、ホールセンサ(8,9,8.0〜9.5)で
あり、かつn個かn個より多いか又は4個に等しいセンサ素子を有するアレイ配
置を構成することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の多回転エン
コーダ。 - 【請求項6】 多数のその他のコード記録媒体(5.1,5.2)が設けら
れていること、各コード記録媒体(5.1,5.2)は、N極とS極を1つだけ
有する1つの磁石体であること、及び、センサ素子(8,9)は、多数のコード
記録媒体(5.1,5.2)を走査するために1つの共通の半導体基板(7.1
3)内に組込まれていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の
多回転エンコーダ。 - 【請求項7】 入力軸(2)とその他のコード記録媒体(5)との間の減速
歯車装置は、このコード記録媒体(5)の回転運動とこの回転運動に重なった移
動運動を引き起こすこと、及び、これらのセンサ要素(8,9)は、回転方向と
移動方向に相並んで2次元的に1枚の半導体基板(7.13)内に組込まれてい
ることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の多回転エンコーダ。
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