JP2003075108A - 回転角度センサ - Google Patents

回転角度センサ

Info

Publication number
JP2003075108A
JP2003075108A JP2001267458A JP2001267458A JP2003075108A JP 2003075108 A JP2003075108 A JP 2003075108A JP 2001267458 A JP2001267458 A JP 2001267458A JP 2001267458 A JP2001267458 A JP 2001267458A JP 2003075108 A JP2003075108 A JP 2003075108A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
sensor
magnet
rotation angle
magnetic sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001267458A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuto Sugano
康人 菅野
Masaya Yamashita
昌哉 山下
Masanobu Sato
正信 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Kasei Corp
Original Assignee
Asahi Kasei Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Kasei Corp filed Critical Asahi Kasei Corp
Priority to JP2001267458A priority Critical patent/JP2003075108A/ja
Publication of JP2003075108A publication Critical patent/JP2003075108A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 センサ全体のサイズをより小さくし、かつ性
能の安定性が良い回転角度センサを提供する。 【解決手段】 円板状に形成された磁石400は回転軸
403に支持されており、この回転軸403を中心とし
て、白抜き矢印で示す方向に回転可能に構成されてい
る。磁気センサAおよびBは、共に等しい温度特性を有
するホール素子であり、円板の中心Oと磁気センサAと
を通る直線、および中心Oと磁気センサBとを通る直線
とがなす角度が概ね90度になるように配置されてい
る。また、磁気センサAおよびBは、共に磁石400の
円周の直下に配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転角度センサに
関し、より詳細には、複数個の磁気センサを用いて非接
触方式で角度を検出する回転角度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、この種の角度センサとして
は、磁気回路を構成するN極とS極の磁石を有する回転
体と、磁気の強さを検出する磁気センサとを組み合せ、
この回転体を磁気センサに対して回転させることにより
回転角度を検出するという構成のものが数多く、例えば
自動車エンジンや、DCモータ等の種々の分野で利用さ
れている。特に、その磁気センサとしてホール素子を使
用し、これに高精度な磁気回路と組み合せることで、回
転体の回転角度に対するアナログ信号を出力できるよう
に構成した非接触式の角度センサが知られている。例え
ば、特開平11−295022号公報、および特開平8
−35809号公報等の文献には、そのような角度セン
サが開示されている。
【0003】また、図1の例に示すように、円筒型磁石
100の側面にホール素子101を近接させて、角度変
化に対応した出力の直線部分のみを用いて、概ね90度
の角度範囲でアナログ信号を出力する角度センサが知ら
れている。このような角度センサは、緑測器(会社名)
の回転角度センサカタログ等の文献に開示されている。
【0004】このように、磁気センサを使用した角度セ
ンサでは、磁気回路中に磁気センサを配置して角度セン
サを構成しているものが多いが、磁気センサの温度変化
が大きく、これが角度検出誤差の要因となる。このた
め、何らかの手段で磁気センサの出力特性の温度補償を
行う必要がある。
【0005】例えば、特開平11−295022号公報
に開示された角度センサは、図2(a)の斜視図および
図2(b)の正面図に示すように、回転体201、20
2に特殊な形状の高精度を必要とする加工を施して巧妙
な磁気回路を構成し、これにホール素子203、204
および特殊な信号処理回路(図示しない)を組み合すこ
とで、回転角度に応じたアナログ信号を取り出すように
し、特に、上記のように磁気回路の構成に工夫を凝らす
ことで回転角度に対してリニアな出力を行い、等価な2
つのホール素子203、204を同一向きに配置し、2
つのホール素子203、204の差分が同じ出力になる
ように信号処理回路による補正を加えることで温度補償
を行っている。
【0006】また、上記の特開平8−35809号公報
に記載の角度センサは、ホール素子に流れる電流を温度
に応じて変化させることで、ホール素子の温度補償を行
うようにしている。
【0007】しかしながら、特開平11−295022
号公報に開示された角度センサは、図2に示すように、
回転体201の磁路の形状が曲面を伴って複雑なため、
磁路の加工精度が不十分となり、実際の磁場に不均一が
生じてしまうことから、角度の精度が悪くなる。
【0008】また、特開平8−35809号公報に記載
の角度センサおよび図1の角度センサは、ホール素子1
個で温度補償をしているため、温度特性の影響をキャン
セルすることが困難である。
【0009】更に、図1に示すような従来の角度センサ
は、回転角度に対する出力が近似的な直線となっている
ため、角度精度も悪い。
【0010】これに対し、特開昭54−18768号公
報には、図3(a)の平面図および図3(b)の正面図
に示すように、互いに直交する方向成分の磁界の強さを
検知する複数個の磁気センサ301、302を用いて磁
界に対する角度を検出する角度センサが開示されてい
る。この角度センサによれば、上述した従来例に比べ、
回転体の複雑な精密加工を必要とせず、かつ温度補償演
算が不要となるという利点がある。
【0011】図3に示す角度センサでは、その複数個の
磁気センサ301、302の全体を均一な磁場中に配置
し、それら磁気センサ301、302の位置を非常に至
近に配置することで、温度や磁場がそれら磁気センサに
与える影響を同一にすることが必要である。
【0012】だが、上記磁気センサ301、302とし
て従来の磁気センサを用いた場合には、互いに直交する
方向成分の磁界を検知するのに垂直設置と水平設置しか
方法がないという従来の磁気センサの物理的形状の制約
から、磁場の均一な領域をある程度大きくすることが必
要である。このため、磁石や回転体が大きくなり、角度
センサの全体の大きさが実用に不向きなほど大きくな
る。
【0013】また、垂直設置の場合は、複数の磁気セン
サ301、302のうちで少なくとも一方は磁気センサ
の取り付け面303上に垂直に植立させる必要がある。
このため、図3(b)に示す例では磁気センサ301の
足304をその取り付け面303の穴内に垂直に立てる
様にしている。しかし、このような不安定な構造では磁
気センサを常に正確に90度に取付けることも、またそ
の取付けた角度を長期間正確に保つことも実際上困難で
ある。従って、製品間でばらつきが生じ、性能の安定性
が悪い。
【0014】このような状況に鑑み、センサ全体の大き
さを極力小さくでき、かつ性能の安定性が良く、また広
い温度範囲において高精度に温度補償を実現できる磁気
センサ、およびその磁気センサを用いる角度センサの研
究開発が行われている。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の角度センサは、磁石と磁気センサの空間
的な配置の制約により、全体の小型化が困難である。特
に、安定した磁気回路を構成するには、適度な磁石およ
び磁気回路に一定の厚みが必要となるため、センサの薄
型化に制限があるという問題があった。
【0016】また、高精度の温度補償もまた、角度セン
サの小型化に対する制限となっているという問題があっ
た。
【0017】更に、従来の磁気センサ全体の小型化にお
いては、磁気回路の形状加工のために多大なコストがか
かってしまうという問題があった。
【0018】本発明は、上記の問題に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、センサ全体のサイ
ズをより小さくし、かつ性能の安定性が良い回転角度セ
ンサを提供することにある。
【0019】また、本発明の別の目的は、センサ全体の
サイズをより小さくし、かつ広い温度範囲において精度
の良い温度補償を実現できる回転角度センサを提供する
ことにある。
【0020】更に、本発明の別の目的は、低コストでセ
ンサ全体のサイズをより小さくできる回転角度センサを
提供することにある。
【0021】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、請求項1に記載の発明は、回転角度センサで
あって、円板状に形成され、該円板の円周方向に回転す
る磁石と、磁界の強さを検知して、前記磁石の回転角度
に応じた値を出力する複数個の磁気センサとを備えた回
転角度センサであって、前記複数個の磁気センサは、前
記磁石の回転中心線と略直角な面上で前記磁石の円周付
近に配置されていることを特徴とする。
【0022】また、請求項2に記載の発明は、請求項1
に記載の回転角度センサにおいて、前記磁気センサは、
該磁気センサを取付ける取り付け面に面実装可能な容器
に封止されていることを特徴とする。
【0023】また、請求項3に記載の発明は、請求項1
または2に記載の回転角度センサにおいて、前記円板の
中心と前記磁気センサのうちの1つの中心とを通る直
線、および、前記円板の中心と前記磁気センサのうちの
他の少なくとも1つの中心とを通る直線がなす角度は、
30度以上150度以下であることを特徴とする。
【0024】また、請求項4に記載の発明は、請求項2
に記載の回転角度センサにおいて、前記磁気センサの感
磁面の法線方向と前記磁石の回転中心線とがなす角度
は、20度以上90度未満であることを特徴とする。
【0025】更に、請求項5に記載の発明は、請求項4
に記載の回転角度センサにおいて、前記磁気センサの前
記感磁面の法線方向と前記磁石の回転中心線とがなす角
度は、45度であることを特徴とする。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を詳細に説明する。
【0027】(第1実施形態)図4は、本実施形態に係
る回転角度センサの外観構成を概念的に示す図で、
(a)は底面図、(b)は図4(a)の矢印W方向から
示した側面図である。本図において、円板状に形成され
た磁石400は回転軸403に支持されており、この回
転軸403を中心として円周方向、即ち白抜き矢印で示
す方向に回転可能に構成されている。
【0028】磁石400の円周付近に配置された磁気セ
ンサAおよびBは、磁界の強さを検知して、磁石400
の回転角度に応じた値を出力するホール素子であり、共
に等しい温度特性を有する。また、磁気センサAおよび
Bは、磁石400の回転中心線Zと略直角な面上で、磁
石400の円周の直下に配置されており、円板の中心O
と磁気センサAの略中心とを通る直線412、および中
心Oと磁気センサBの略中心とを通る直線411とがな
す角度が概ね90度になるように配置されている。な
お、本明細書中、「感磁面」とは、磁気センサにおいて
磁気を検出することができる面のことをいう。
【0029】図1に示す従来例では、磁気センサ101
を、その感磁面が円筒型磁石100の回転中心線Z’と
平行になるように円筒型磁石100の側面に配置するた
めに、磁石の厚みhが7mm程度必要であった。これ
に対し、本実施形態に係る回転角度センサでは、磁気セ
ンサAおよびBを磁石400の円周直下に配置したの
で、磁石の厚みhは回転角度の測定精度と無関係にな
り、より薄い磁石を用いることができ、厚みhが3m
m程度の磁石を用いて従来例と同様の測定性能を再現す
ることができる。
【0030】また、磁石400の直径も磁気センサの大
きさ程度にすることができ、直径10mm、厚み1mm
程度にまで小さくすることが可能となる。従って、より
小さい回転角度センサを設計することができる。
【0031】更に、2個の磁気センサの出力値から角度
を計算するので、温度特性による影響を補償した良好な
測定結果を得ることができる。
【0032】図5は、図4に示す磁気センサの1つが実
装されたパッケージ(容器)の側面透視図である。磁気
センサAは、パッケージ500に封止されて、磁石の回
転中心線Zに垂直な取り付け面503上に面実装されて
いる。従って、感磁面502の法線504は取り付け面
503に対して垂直となる。なお、本明細書中、「感磁
面」とは、磁気センサにおいて磁気を検出することがで
きる面のことをいう。また、磁気センサAは、リードフ
レーム501を通じて外部の回路と接続される。
【0033】このように、取り付け面上に面実装可能な
パッケージに磁気センサを封止することにより、回転角
度センサの設計に際して高い組立再現性および機械的安
定性が得られる。
【0034】なお、本実施形態では、円板の中心と磁気
センサのうちの1つとを通る直線、および円板の中心と
前記磁気センサのうちの他の少なくとも1つとを通る直
線がなす角度が概ね90度である例について説明した
が、この角度が30度以上150度以下の範囲内であれ
ば、実用に供することが可能である。
【0035】(第2実施形態)図6は、本発明の第2実
施形態に係る回転角度センサの外観構成を概念的に示す
図で、(a)は底面図、(b)は図6(a)の矢印W方
向から示した側面図である。本実施形態において、磁気
センサAおよびBは、磁石400の回転中心線Zに対す
る感磁面の法線の傾きが概ね45度となるように、磁石
400の円周外に配置されている。
【0036】図7は、図6に示す磁気センサを封止した
パッケージの側面透視図である。磁気センサAは、パッ
ケージ700に封止されて、回転中心線Zに対して垂直
な取り付け面703上に面実装されている。従って、感
磁面702の法線704は、取り付け面703に対して
概ね45度傾いている。また、磁気センサAは、リード
フレーム701を通じて外部の回路と接続される。
【0037】このような構成をとることにより、第1実
施形態と同様に、より小型の回線角度センサを実現する
ことができ、温度特性による影響を補償した良好な測定
結果を得ることができ、また高い組立再現性および機械
的安定性が得られる。
【0038】また、図8に示すように、磁石400の円
周直下に配置した磁気センサ801よりも、磁石400
の円周外に配置した磁気センサ802の方が、より多く
の磁束を感磁面でとらえることができる。
【0039】図9に示すように、磁石400として直径
φ=20mm、厚みt=5mmのフェライト磁石を使用
し、磁気センサ801および802として感磁面の断面
積が1mmのホール素子を使用して、これらの磁気セ
ンサを磁石400からP=1mmの距離をおいて配置し
た。また、磁気センサ802の法線と、取り付け面との
なす角度は、45度とした。このような構成を用いて各
磁気センサからの出力値を測定したところ、磁石の円周
の直下に配置した磁気センサ801からの出力値が20
0mVであったのに対し、磁石の円周外に配置した磁気
センサ802からの出力値は220mVであった。従っ
て、磁気センサを磁石の円周外に配置することにより、
その感度が向上し、角度センサの分解能を向上させるこ
とができるという結果が得られた。
【0040】なお、本実施形態では、磁気センサの感磁
面の法線と磁気センサの取り付け面とのなす角度が45
度である場合について説明したが、この角度が20度以
上90度未満の範囲内であれば、実用に供することが可
能である。
【0041】(第3実施形態)本発明を適用した回転角
度センサに用いられる磁気センサは、2個に限定される
ものではない。磁気センサを4個用いた回転角度センサ
の構成例を示す図10では、磁気センサAおよびA’、
磁気センサBおよびB’が、磁石400の円周付近に配
置されている。ここで、各磁気センサの取り付け面への
実装方法は、第1実施形態に準じており、各磁気センサ
の感磁面の法線は、取り付け面に対して垂直である。
【0042】本図に示す例では、磁気センサAおよび
A’は、磁石400の中心Oを通る直線901上に配置
されている。また、磁気センサBおよびB’は、磁石4
00の中心Oを通り、直線901に垂直な直線902上
に配置されている。
【0043】いま、磁石の所定の基準位置からの磁石4
00の回転角をθとする。Vを定数とすると、磁気セ
ンサA、A’、BおよびB’からの出力値V(A)、V
(A’)、V(B)、V(B’)は、 V(A)=−Vcosθ (1) V(A’)=Vcosθ (2) V(B)=Vsinθ (3) V(B’)=−Vsinθ (4) と表すことができる。
【0044】従って、回転角度θを求める計算式は、 θ=arctan((V(A)−V(A’))/(V(B)−V(B’))) (5) となる。また、磁気センサA、A’、BおよびB’に作
用する外部磁場により生じるオフセット値offset
は offset=(V(A)+V(A’))/2 (6) または offset=(V(B)+V(B’))/2 (7) となる。従って、上述したように磁気センサを配置する
ことにより、外部磁場による影響をキャンセルすること
ができる。
【0045】(第4実施形態)図11は、本発明の第4
実施形態に係る回転角度センサの構成例を概念的に示す
図で、(a)は底面図、(b)は図11(a)の矢印W
方向から示した側面図である。本図に示す例では、3個
の磁気センサAおよびBおよびCが使用されている。こ
こで、各磁気センサの取り付け面への実装方法は、第1
実施形態に準じており、各磁気センサの感磁面の法線
は、取り付け面に対して垂直である。
【0046】ここで、円板の中心と磁気センサAとを通
る直線、および円板の中心と磁気センサBとを通る直線
とがなす角度は、概ね90度になるように配置されてい
る。また、磁気センサCは、磁石400の中心に配置さ
れているので、磁石400が作る磁場の影響をほとんど
受けず、磁石の回転による磁場変化が磁気センサCの出
力に現れない。よって、磁気センサCからの出力の変動
は外部磁場による作用のみを受けることになる。従っ
て、外部磁場によるオフセット値offsetは、 offset=V(C) (8) と表すことができ、磁石400の所定の基準位置からの
回転角度θは、磁気センサCからの出力V(C)を用い
て、 θ=arctan((V(A)−V(C))/(V(B)−V(C))) (9) と表せる。従って、上述したように磁気センサを配置す
ることにより、回転角度の測定に際し、オフセット値を
用いて外部磁場による影響をキャンセルすることができ
る。
【0047】(第5実施形態)図12は、本発明の第5
実施形態に係る回転角度センサの外観構成を概念的に示
す図で、(a)は底面図、(b)は図12(a)の矢印
W方向から示した側面図である。ここで、各磁気センサ
の取り付け面への実装方法は、第1実施形態に準じてお
り、各磁気センサの感磁面の法線は、取り付け面に対し
て垂直である。
【0048】本図において、磁気センサAは、磁石40
0の中心Oを通り図面に水平な直線1101上に配置さ
れている。また、磁気センサBおよびB’はそれぞれ、
その中心が、中心Oを通る直線1102に対して角度φ
をなす直線1103および1104上に配置されてい
る。
【0049】磁気センサA、BおよびB’からの出力V
(A)、V(B)、V(C)は、 V(A)=Vsinθ (10) V(B)=Vcos(θ−φ) (11) V(B’)=−Vcos(θ+φ) (12) と表される。回転角を求める式は、 θ=arctan(2×V(A)×cosφ/(V(B)−V(B’))) (13) となる。また、オフセット値offsetは、 offset= (V(B)+V(B’)−2V(A)sinφ)/2(1−sinφ) (14) となる。従って、上述したように磁気センサを配置する
ことにより、回転角度の測定に際し、オフセット値を用
いて外部磁場による影響をキャンセルすることができ
る。
【0050】以上、本発明の好適な実施の形態について
説明したが、本発明は上述の実施形態に限らず、他の種
々の形態で実施できることはいうまでもない。例えば、
本発明を適用した角度測定システムを構成する磁気セン
サとしては、ホール素子の他に、MR(Magnetic Resis
tance)素子、MI(Magnetic Impedance)素子、およ
びフラックスゲート等を使用することができる。
【0051】また、上述の実施形態では1箇所に1個の
磁気センサを配置する例について説明したが、1箇所に
複数の磁気センサを配置することとしても良い。この場
合、当該複数の磁気センサからの出力値を平均して、そ
の位置での出力値とすることにより、より精度の高い出
力値を得ることができる。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
磁気センサ全体のサイズをより小さくし、かつ性能の安
定性が良い回転角度センサを実現することができる。
【0053】また、測定された回転角度に対して温度特
性を考慮した補償を行うので、広い温度範囲において精
度の良い温度補償を実現できる。
【0054】更に、全体のサイズがより小さい磁気セン
サを低コストで実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の角度センサの構成を示した図である。
【図2】従来の角度センサの構成を示した図である。
【図3】従来の角度センサの構成を示した図である。
【図4】本発明の一実施形態に係る回転角度センサの外
観構成を概念的に示す図である。
【図5】図4に示す磁気センサの1つが実装されたパッ
ケージの側面透視図である。
【図6】本発明の一実施形態に係る回転角度センサの外
観構成を概念的に示す図である。
【図7】図6に示す磁気センサの1つが実装されたパッ
ケージの側面透視図である。
【図8】磁気センサによりとらえられる磁束を示す図で
ある。
【図9】本発明の一実施形態に係る回転角度センサの外
観構成を概念的に示す図である。
【図10】回転角度センサの実施例を概念的に示す図で
ある。
【図11】本発明の一実施形態に係る回転角度センサの
外観構成を概念的に示す図である。
【図12】本発明の一実施形態に係る回転角度センサの
外観構成を概念的に示す図である。
【符号の説明】
100 磁石 101 ホール素子 201 回転体 202 回転体 301 磁気センサ 302 磁気センサ 303 取り付け面 304 足 400 磁石 403 回転軸 500 パッケージ 501 リードフレーム 502 感磁面 503 取り付け面 504 法線 700 パッケージ 701 リードフレーム 702 感磁面 703 取り付け面 704 法線 801 磁気センサ 802 磁気センサ 901 直線 902 直線 1101 直線 1102 直線 1103 直線 1104 直線 A 磁気センサ A’ 磁気センサ B 磁気センサ B’ 磁気センサ C 磁気センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 正信 神奈川県厚木市岡田3050番地 旭化成株式 会社内 Fターム(参考) 2F063 AA35 CA34 DA01 DB07 DD03 DD09 GA52 KA01 NA06 2F077 AA13 AA21 AA25 JJ08 JJ23 NN17 PP12 UU10 UU25 VV21

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 円板状に形成され、該円板の円周方向に
    回転する磁石と、磁界の強さを検知して、前記磁石の回
    転角度に応じた値を出力する複数個の磁気センサとを備
    えた回転角度センサであって、前記複数個の磁気センサ
    は、前記磁石の回転中心線と略直角な面上で前記磁石の
    円周付近に配置されていることを特徴とする回転角度セ
    ンサ。
  2. 【請求項2】 前記磁気センサは、該磁気センサを取付
    ける取り付け面に面実装可能な容器に封止されているこ
    とを特徴とする請求項1に記載の回転角度センサ。
  3. 【請求項3】 前記円板の中心と前記磁気センサのうち
    の1つの中心とを通る直線、および、前記円板の中心と
    前記磁気センサのうちの他の少なくとも1つの中心とを
    通る直線がなす角度は、30度以上150度以下である
    ことを特徴とする請求項1または2に記載の回転角度セ
    ンサ。
  4. 【請求項4】 前記磁気センサの感磁面の法線方向と前
    記磁石の回転中心線とがなす角度は、20度以上90度
    未満であることを特徴とする請求項2に記載の回転角度
    センサ。
  5. 【請求項5】 前記磁気センサの前記感磁面の法線方向
    と前記磁石の回転中心線とがなす角度は、45度である
    ことを特徴とする請求項4に記載の回転角度センサ。
JP2001267458A 2001-09-04 2001-09-04 回転角度センサ Pending JP2003075108A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001267458A JP2003075108A (ja) 2001-09-04 2001-09-04 回転角度センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001267458A JP2003075108A (ja) 2001-09-04 2001-09-04 回転角度センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003075108A true JP2003075108A (ja) 2003-03-12

Family

ID=19093585

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001267458A Pending JP2003075108A (ja) 2001-09-04 2001-09-04 回転角度センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003075108A (ja)

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7002339B2 (en) 2004-05-31 2006-02-21 Denso Corporation Rotation angle detecting device
US7030608B2 (en) 2004-05-14 2006-04-18 Denso Corporation Rotational angle sensing device and assembling method thereof
US7132824B2 (en) 2004-05-20 2006-11-07 Konica Minolta Photo Imaging, Inc. Position detector, camera-shake compensation mechanism, and image capture apparatus
US7218100B1 (en) 2005-10-20 2007-05-15 Denso Corporation Rotation angle detecting device having function of detecting abnormality
US7221153B2 (en) 2005-03-18 2007-05-22 Denso Corporation Rotation angle detector
US7319320B2 (en) 2004-08-06 2008-01-15 Denso Corporation Rotation angle detecting device
US7339371B2 (en) 2005-02-03 2008-03-04 Denso Corporation Rotation angle detector
WO2008050581A1 (fr) 2006-10-26 2008-05-02 The Furukawa Electric Co., Ltd. Détecteur d'angle de rotation
JP2008151774A (ja) * 2006-11-21 2008-07-03 Hitachi Metals Ltd 回転角度検出装置および回転機
JP2008281556A (ja) * 2007-04-13 2008-11-20 Hitachi Metals Ltd 角度検出装置、バルブ装置および非接触式ボリューム
JP2010008359A (ja) * 2008-06-30 2010-01-14 Furukawa Electric Co Ltd:The 回転角検出装置
US7663360B2 (en) 2006-08-24 2010-02-16 Denso Corporation Rotation angle detecting device
US7675284B2 (en) 2006-10-26 2010-03-09 Denso Corporation Rotation angle detecting device
EP2302330A2 (en) 2009-09-24 2011-03-30 JTEKT Corporation Rotational angle sensor, motor, rotational angle detector, and electric power steering system
US7969147B2 (en) 2007-05-18 2011-06-28 Denso Corporation Rotation angle detecting device including multiple magnetic sensor elements
US8115479B2 (en) 2006-11-21 2012-02-14 Hitachi Metals, Ltd. Rotation-angle-detecting apparatus, rotating machine, and rotation-angle-detecting method
US8183857B2 (en) 2006-12-18 2012-05-22 The Furukawa Electric Co., Ltd. Rotation angle detection device for detecting rotation angle of a rotating body
US8232794B2 (en) 2006-11-17 2012-07-31 The Furukawa Electric Co., Ltd Rotation angle detector
US8314607B2 (en) 2006-12-18 2012-11-20 The Furukawa Electric Co., Ltd Rotation angle detector
JP2014528085A (ja) * 2011-09-29 2014-10-23 タイコ エレクトロニクス アンプ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハウツンク ホールセンサによる相対位置の非接触測定のための方法
CN104197827A (zh) * 2014-08-18 2014-12-10 江苏多维科技有限公司 一种双z轴磁电阻角度传感器
JP2015127652A (ja) * 2013-12-27 2015-07-09 マブチモーター株式会社 回転検出装置およびモータ
DE102017103298A1 (de) 2016-03-11 2017-09-14 Tdk Corporation Drehwinkel-Fühlvorrichtung
DE102017104512A1 (de) 2016-03-11 2017-09-14 Tdk Corporation Rotationswinkelabfühlvorrichtung
DE102017105148A1 (de) 2016-03-11 2017-09-14 Tdk Corporation Drehwinkeldetektionseinrichtung und Drehmaschineneinrichtung
US11636889B2 (en) 2015-02-04 2023-04-25 MultiDimension Technology Co., Ltd. Automatic magnetic flow recording device
CN116259212A (zh) * 2023-05-12 2023-06-13 合肥威艾尔智能技术有限公司 一种非接触式磁感应模拟操纵台装置及线性校正方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5418768A (en) * 1977-07-12 1979-02-13 Mitsubishi Electric Corp Angle sensor
JPS61142782A (ja) * 1984-12-14 1986-06-30 Nippon Denso Co Ltd 位置検出装置
JPS646557A (en) * 1987-06-30 1989-01-11 Honda Motor Co Ltd Covering member for torque converter and molding method therefor
JPH0233585A (ja) * 1988-07-21 1990-02-02 Kajima Corp 氷雪展示場用冷却システム
JPH0835809A (ja) * 1994-02-01 1996-02-06 Moving Magnet Technol Sa ホール素子による磁気位置センサー
JPH11295022A (ja) * 1998-04-13 1999-10-29 Toyota Motor Corp 回転角度センサ
WO1999057522A1 (de) * 1998-05-06 1999-11-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Multiturn-codedrehgeber
JP2001124586A (ja) * 1999-10-29 2001-05-11 Hitachi Ltd 回転式磁気センサ

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5418768A (en) * 1977-07-12 1979-02-13 Mitsubishi Electric Corp Angle sensor
JPS61142782A (ja) * 1984-12-14 1986-06-30 Nippon Denso Co Ltd 位置検出装置
JPS646557A (en) * 1987-06-30 1989-01-11 Honda Motor Co Ltd Covering member for torque converter and molding method therefor
JPH0233585A (ja) * 1988-07-21 1990-02-02 Kajima Corp 氷雪展示場用冷却システム
JPH0835809A (ja) * 1994-02-01 1996-02-06 Moving Magnet Technol Sa ホール素子による磁気位置センサー
JPH11295022A (ja) * 1998-04-13 1999-10-29 Toyota Motor Corp 回転角度センサ
WO1999057522A1 (de) * 1998-05-06 1999-11-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Multiturn-codedrehgeber
JP2002513923A (ja) * 1998-05-06 2002-05-14 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 多回転エンコーダ
JP2001124586A (ja) * 1999-10-29 2001-05-11 Hitachi Ltd 回転式磁気センサ

Cited By (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7030608B2 (en) 2004-05-14 2006-04-18 Denso Corporation Rotational angle sensing device and assembling method thereof
US7132824B2 (en) 2004-05-20 2006-11-07 Konica Minolta Photo Imaging, Inc. Position detector, camera-shake compensation mechanism, and image capture apparatus
US7002339B2 (en) 2004-05-31 2006-02-21 Denso Corporation Rotation angle detecting device
US7319320B2 (en) 2004-08-06 2008-01-15 Denso Corporation Rotation angle detecting device
DE102005036973B4 (de) 2004-08-06 2018-12-06 Denso Corporation Drehwinkel-Messeinrichtung
US7339371B2 (en) 2005-02-03 2008-03-04 Denso Corporation Rotation angle detector
DE102006000046B4 (de) * 2005-02-03 2021-06-02 Denso Corporation Rotationswinkelerfassungsvorrichtung
US7221153B2 (en) 2005-03-18 2007-05-22 Denso Corporation Rotation angle detector
US7218100B1 (en) 2005-10-20 2007-05-15 Denso Corporation Rotation angle detecting device having function of detecting abnormality
US7663360B2 (en) 2006-08-24 2010-02-16 Denso Corporation Rotation angle detecting device
WO2008050581A1 (fr) 2006-10-26 2008-05-02 The Furukawa Electric Co., Ltd. Détecteur d'angle de rotation
US7675284B2 (en) 2006-10-26 2010-03-09 Denso Corporation Rotation angle detecting device
US8232794B2 (en) 2006-11-17 2012-07-31 The Furukawa Electric Co., Ltd Rotation angle detector
US8115479B2 (en) 2006-11-21 2012-02-14 Hitachi Metals, Ltd. Rotation-angle-detecting apparatus, rotating machine, and rotation-angle-detecting method
JP2008151774A (ja) * 2006-11-21 2008-07-03 Hitachi Metals Ltd 回転角度検出装置および回転機
US8183857B2 (en) 2006-12-18 2012-05-22 The Furukawa Electric Co., Ltd. Rotation angle detection device for detecting rotation angle of a rotating body
US8314607B2 (en) 2006-12-18 2012-11-20 The Furukawa Electric Co., Ltd Rotation angle detector
JP2008281556A (ja) * 2007-04-13 2008-11-20 Hitachi Metals Ltd 角度検出装置、バルブ装置および非接触式ボリューム
US7969147B2 (en) 2007-05-18 2011-06-28 Denso Corporation Rotation angle detecting device including multiple magnetic sensor elements
JP2010008359A (ja) * 2008-06-30 2010-01-14 Furukawa Electric Co Ltd:The 回転角検出装置
EP2302330A2 (en) 2009-09-24 2011-03-30 JTEKT Corporation Rotational angle sensor, motor, rotational angle detector, and electric power steering system
US8278916B2 (en) 2009-09-24 2012-10-02 Jtekt Corporation Rotational angle sensor, motor, rotational angle detector, and electric power steering system
JP2014528085A (ja) * 2011-09-29 2014-10-23 タイコ エレクトロニクス アンプ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハウツンク ホールセンサによる相対位置の非接触測定のための方法
JP2015127652A (ja) * 2013-12-27 2015-07-09 マブチモーター株式会社 回転検出装置およびモータ
CN104197827A (zh) * 2014-08-18 2014-12-10 江苏多维科技有限公司 一种双z轴磁电阻角度传感器
US10690515B2 (en) 2014-08-18 2020-06-23 MultiDimension Technology Co. Ltd. Dual Z-axis magnetoresistive angle sensor
WO2016026412A1 (zh) * 2014-08-18 2016-02-25 江苏多维科技有限公司 一种双z轴磁电阻角度传感器
US11636889B2 (en) 2015-02-04 2023-04-25 MultiDimension Technology Co., Ltd. Automatic magnetic flow recording device
CN107179096A (zh) * 2016-03-11 2017-09-19 Tdk株式会社 旋转角度检测装置
CN107179094A (zh) * 2016-03-11 2017-09-19 Tdk株式会社 旋转角度检测装置
US10288451B2 (en) 2016-03-11 2019-05-14 Tdk Corporation Rotation angle sensing device
CN107179094B (zh) * 2016-03-11 2019-12-17 Tdk株式会社 旋转角度检测装置
DE102017105148A1 (de) 2016-03-11 2017-09-14 Tdk Corporation Drehwinkeldetektionseinrichtung und Drehmaschineneinrichtung
US10697801B2 (en) 2016-03-11 2020-06-30 Tdk Corporation Rotational angle detection apparatus and rotating machine apparatus
US10775195B2 (en) 2016-03-11 2020-09-15 Tdk Corporation Rotation angle sensing device
DE102017104512A1 (de) 2016-03-11 2017-09-14 Tdk Corporation Rotationswinkelabfühlvorrichtung
US11371863B2 (en) 2016-03-11 2022-06-28 Tdk Corporation Rotational angle detection apparatus and rotating machine apparatus
US11598653B2 (en) 2016-03-11 2023-03-07 Tdk Corporation Rotational angle detection apparatus and rotating machine apparatus
DE102017103298A1 (de) 2016-03-11 2017-09-14 Tdk Corporation Drehwinkel-Fühlvorrichtung
CN116259212A (zh) * 2023-05-12 2023-06-13 合肥威艾尔智能技术有限公司 一种非接触式磁感应模拟操纵台装置及线性校正方法
CN116259212B (zh) * 2023-05-12 2023-08-08 合肥威艾尔智能技术有限公司 一种非接触式磁感应模拟操纵台装置及线性校正方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003075108A (ja) 回転角度センサ
US11371862B2 (en) Magnetic sensor device, system and method
US10830612B2 (en) Arrangement, method and sensor for measuring an absolute angular position using a multi-pole magnet
US10309802B2 (en) Angle sensors, systems, and methods
US10670425B2 (en) System for measuring angular position and method of stray field cancellation
US8471552B2 (en) Rotational angle-measurement apparatus and rotational speed-measurement apparatus
KR101426877B1 (ko) 회전 각도 검출 장치, 회전기 및 회전 각도 검출 방법
US10732009B2 (en) Angle sensing in an off-axis configuration
JP4900835B2 (ja) 角度検出装置、バルブ装置および非接触式ボリューム
JP5231365B2 (ja) 回転角度検出センサ
JP5184092B2 (ja) 電流ループ位置センサ及び同センサを備える回転ベアリング
US10816363B2 (en) Angular sensor system and method of stray field cancellation
JP5187538B2 (ja) 磁気センサ
Metz et al. Contactless angle measurement using four Hall devices on single chip
US20230160722A1 (en) Position sensor with master and nonius tracks
JP2003240598A (ja) デジタル角度測定システム
JP2003240602A (ja) 回転角度センサ
US20200149926A1 (en) Encoder With Toothed Structure and Apparatus Having the Same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080829

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101021

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20101026

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110304