JPS6148718A - 位置測定装置 - Google Patents

位置測定装置

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JPS6148718A
JPS6148718A JP60174417A JP17441785A JPS6148718A JP S6148718 A JPS6148718 A JP S6148718A JP 60174417 A JP60174417 A JP 60174417A JP 17441785 A JP17441785 A JP 17441785A JP S6148718 A JPS6148718 A JP S6148718A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は副長機、特にインクリメンタル円目盛と少なく
とも一つの参照マークのための担持体を備え、参照マー
クの位置は円目盛に対して絶対的に確定してお夛、 また、少なくとも一つの別の担持体を備え、この担持体
はコード化された目盛の形のコード情報を有しかつ伝動
装置を介して第一担持体に連結してお９、また担持体の
走査のための電気的走査装置に接続している、測長機に
関する。
（従来技術） 多数の文献から角度測定機で角度目盛を複数のスケール
上に符合化して付設し、伝動装置によって相互に連系す
ることが公知である。例として***国特許明細９８９７
２９が掲げられるが、***国特許公開公報５２４５９３
６もこの種の位置測定機を示す。そこには個々のスケー
ルのためにそれぞれ固有の読取９装置が設けられている
。位置測定機は測定範囲を拡大するために多段に形成さ
れる。更に同心の格子の形の目盛がスケール上に設けら
れているインクリメンタル角度測定機が公知である。測
定は走査された目盛間隔の総和によってなされる。イン
クリメンタル角度測定機では測定範囲は実際上無制限で
ある、そのわけは目盛はエンドレスだからである。勿論
１回転当シ１回の参照マークから導かれる参照パルスに
よって停電後のスピンドルによって伝動される機械往復
台の位置が検出されることができる。機械往復台は他の
方法で特別に特徴づけられる位置まで走行されなければ
ならない（雑誌ＩＢＭ、１９８３年１０月発行。
１０９頁）。
このことは煩雑かつ時間を消費する。
（解決すべき課題） 利点を併有し、コスト安く農作可能でｉＸ３６０“内の
絶対的位置のできる限シ簡単な決定を可能にする測定機
を創造することを課題の基礎とする。
（解決手段） この課題は、 第一担持体のインクリメンタル円目盛及び参照マークに
他の担持体のコード情報の連続的走査のための走査光線
を制御するための窓が位置確定的に付設されていること
によって解決される。
（本発明の効果） 本発明による測長機の利点は絶対的位置の決定のために
６６０°以内の運動しか必要なく、その際コード値の検
出のために一つの光電袂素と一つの信号回線しか必要と
されないことにある。
（実施例） 図面に示す実施例に基いて本発明の詳細な説明する。
角度測定＠１はステータ２を有し、ステータはハウジン
グとして形成されている。ステータ２は走査装置６を有
し、走査装置は照明装置５ａ。
走査板６ｂ及び光電要素板３Ｃから成シ、光電要素板上
には光電要素３ｄが配設されてお夛１図示しない評価装
置に対する電気的接続部４から成るっステータ２に支承
された軸５上には担持体６が固定されておシ、担持体は
従来の方法で第２ａ図かられかるようにインクリメンタ
ル測定目盛７を保有する。インクリメンタル測定目盛７
は破断面のみ示されている。更に担持体６は参照マーク
８を有しＳ参照マークは従来の方法でここでは示してな
い線群から成る。
軸５が回転すると、インクリメンタル測定目盛７が動か
され、かつ走査装置６において所属の走査窓３１）７に
よって走査され、即ち走査板６ｂ（第２ｂ図）の傍を動
かされる目盛間隔が検出され、かつ評価装置で積算され
て示されるように動かされる。
目盛７のゼロ点は同様に所属の走査窓５１）８を通って
走査板３ｂにおいて走査される参照マーク８によって確
定される。
走査板３ｂは追加の走査窓３１）９を有し、走査窓は一
コード担体６上に相互に半径距離及び角度ずれを以って
位置する一窓６９と共働してコード化された目盛９を走
査する。コード化された目盛９は第二担持体１０上にあ
）、第二担持体は軸５上に回転可能に支承されてお夛、
かつ伝動装置１１を介して担持体６と接続されている。
両担持体６及び１０の軸間距離はできる限り小さくある
べきである。
インクリメンタル目盛）、コード化された目盛９及び場
合によっては参照マーク８の走査の際、照明装置３ａの
光は目盛７．Ｂ、６９．９及び、走査板５ｂの窓３１）
７．３１）８，３ｂ９を通って光電要素３ｄ上に入射し
、光電要素上で、評価装置において測定値に処理される
相応した電気信号への変換が行われる。
この角度測定機１の特徴は第二担体１０上に設けられた
、コード化された目盛によって、第一担持体６の絶対的
角度位置が１×３６０°　以内で検出されることができ
ることにある。このために一つの追加的光１１Ｌ要素及
び一つの追加的信号伝送回線しか必要とされない、その
わけはコード化された目盛９がインクリメンタル目盛７
の回動の際に連続的に読取られるからである。
この目的で、第一担持体６上に窓６９が設けられてお夛
、窓は第二担持体１０のコード化された目盛９のトラッ
クに対応して、半径方向の距離及び角度をずらされてい
る。
窓６９は同心又は担持体６上にらせん状にも配設される
ことができる。
８ｇ１担持体６が完全に一回転すると、各回転毎に参照
マーク８が走査され、かつ第二担体１０上のコード化さ
れた目盛の読取）が開始される。
伝動装置１１によって第二担持体１０が１回転の何分の
−か連続的に送られ、一方第一担持体６は１回転される
。
そうするとコード化された目盛９の読取シによって、担
持体６が回転した回転数が常に絶対的に確定されること
ができる。読取シ周期の制御は参照マーク８及びインク
リメンタル目盛シによって行わｎる。
故障が起った場合、瞬間的位置値のだめのゼロ点を得る
ためには、参照マーク８のみが通過されればよく、−コ
ード情報によって確定される一絶対値が直接読取られる
ことができる。
純粋のコード回転発信器の場合のように全測定範囲がコ
ード化された目盛の形でスケール上に設けられる必要は
なく、即ちいわゆるマルチターン発信器（Ｍｕｌｔｉ−
Ｔｕｒｎ　Ｇｅｂｅｒ）で実現されるような大きな測定
範囲に亘って多くのコードトラック及び多くの信号ダク
トが必要とされることがなく、むしろ回転数のみがコー
ド化されればよく、このためには本質的に少ないコード
情報しか必要とされない。
動力故障の後第−担持体乙の一回転の最大で、絶対的位
置が再現され、このことは就中、スピンドルに連結され
た回転発信器による往復台の位置測定の場合に有利であ
る。
第３図において、第１図による角度測定機の変形が示さ
れている。ここでは軸５３上にインクリメンタル目盛７
３及び参照マーク８３のための担持体６３の外に、走査
光線の１ｆｌｌＪ御のための窓６９３を有する。追加の
担持体６３ａもある。
この解決では多くのコード情報を設けることができるた
めに二つの担持体６３及び６３ａが選択されている。
上記の他の目盛７５及び８３が既に設けられている場合
にインクリメンタル円目盛７３及び参照マーク８５のた
めの担持体６６と等しい大きさの第二担持体６５ｔｓに
よって、担持体６３上の曲率よジも大きい曲率に基いて
、コード化のために多くのスペースが利用される。
本発明によれば第二担持体６？ｉｌＬは、走査光線の制
御のだめの窓６９３のみを有し一第１図の例のように一
固有のコードは追加の担持体１０３上に；−ド化された
目盛９３の形で設けられている。他の担持体６３ａに相
応して、走査装置３６の他の実施形態が必要とされ、そ
の詳細は図面から直接間らかにされる。走査板及び光成
要素板の形態は明らかに走査装置３３の実施形態に適合
し、従ってここでは詳しく説明しない。
窓６９３．ｔｌ−備えた担持体６３ａ、走査板、及びコ
ード化された目盛９３を備えた担持体１０３の第２ａ図
＋ｇｚ　ｂ図、及び第２ｃ図に相応した構成も省略する
、そのわけはこのことは図示すれば全く同一であ夛、ど
んな場合でも担持体６３上の誤ったインクリメンタル目
盛及び参照マークと走査光路の制御のための窓６３９と
の大きさの比のみが重袂である。
第１図と同様に担持体６３、６３ｈと担持体１０３の間
の回転の減速のための伝動装置１１３が設けられている
。
ここでは構成要素の必要な電気的回路を詳しく説明しな
い、そのわけは本発明の理解に寄与しないからである。
走査信号はケーブル４３を介して図示しない評価装置に
供給される。＠１Ｉ５３はステータ２３に当業者にとっ
て周知でちる。
【図面の簡単な説明】
第１図は角度測定機の断面図、 第２ａ図はインクリメンタル目盛を備えた担持体。 第２ｂ図は走査板、 第２ｃ図はコード化された符号を備えた担持体、そして 第３図は角度測定機の変形である。 図中符号 ６．６３・・・第一担持体 ７．７３・・・円目盛 ８．８３・・・参照マーク ９．９６・・・コード情報 １０．１０５・・・第二担持体 ６９．６９３・・・窓

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）測長機、特にインクリメンタル円目盛と少なくと
    も一つの参照マークのための担持体とを備え、参照マー
    クの位置は円目盛に対して絶対的に確定しており、 また少なくとも一つの別の担持体を備え、この担持体は
    コード化された目盛の形のコード情報を有しかつ伝動装
    置を介して第一担持体に連結しており、また担持体の走
    査のための電気的走査装置に接続している、測長機にお
    いて、第一担持体（６、６３）のインクリメンタル円目
    盛（７、７３）及び参照マーク（８、８３）に他の担持
    体（１０、１０３）のコード情報の連続的走査のための
    走査光線を制御するための窓 （６９、６９３）が位置確定的に付設されていることを
    特徴とする測長機。
  2. （２）第一担持体（６）が第二担持体（１０）のコード
    情報（９）の連続的走査のための走査光線の制御のため
    の窓（６９）を有する、特許請求の範囲第１項記載の測
    長機。
  3. （３）第一担持体（６３）の軸（５３）上に一つの別の
    担持体（６３ａ）が固定されており、この担持体は第三
    担持体（１０３）のコード情報（９３）の連続的走査の
    ための走査光線の制御のための窓（６、３９）を有する
    、特許請求の範囲第１項記載の測長機。
  4. （４）窓（６９、６９３）が相互に半径方向距離及び角
    度をずらして配設されている、特許請求の範囲第１項記
    載の測長機。
  5. （５）伝動装置（１１、１１３）及びコード化された目
    盛（９、９３）が、走査装置（３、３３）によつて読取
    り可能な各参照マーク（８、８３）に、個別のコード値
    が付設されることによつて相互に同調している特許請求
    の範囲第１項記載の測長機。
  6. （６）第一担持体（６、６３）上に単一の参照マーク（
    ８、８３）が設けられており、参照マークは一回転当り
    一度走査され、そして第一担持体 （６、６３）の各回転毎にその回転数に相応して新しい
    コード値（９、９３）が走査される、特許請求の範囲第
    １項記載の測長機。
  7. （７）コード化された目盛（９、９３）の走査は二つの
    参照マーク走査の間で連続的に行われる、特許請求の範
    囲第１項記載の測長機。
  8. （８）参照マーク（８、８３）及びインクリメンタル目
    盛（７、７３）の読取周期が制御される、特許請求の範
    囲第１項記載の測長機。
  9. （９）コード化された目盛（９、９３）の走査のために
    一つの光電要素（３ｄ）と一つの信号回線のみが必要と
    される、特許請求の範囲第１項記載の測長機。
JP60174417A 1984-08-11 1985-08-09 位置測定装置 Granted JPS6148718A (ja)

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DE19843429648 DE3429648A1 (de) 1984-08-11 1984-08-11 Lagemesseinrichtung
DE3429648.4 1984-08-11

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JPS6148718A true JPS6148718A (ja) 1986-03-10
JPH0471444B2 JPH0471444B2 (ja) 1992-11-13

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EP (1) EP0171612B1 (ja)
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AT (1) ATE34609T1 (ja)
DE (2) DE3429648A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012050130A1 (ja) * 2010-10-12 2012-04-19 株式会社ニコン エンコーダ、駆動装置及びロボット装置
JP2013211958A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Denso Wave Inc エンコーダシステム

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3720828A1 (de) * 1987-06-24 1989-01-05 Bosch Gmbh Robert Messeinrichtung und verfahren zur lageistwerterfassung
JPH0747682Y2 (ja) * 1987-12-03 1995-11-01 株式会社東海理化電機製作所 自動車用ステアリングホイールの回転検出装置
JP2600235B2 (ja) * 1987-12-28 1997-04-16 松下電器産業株式会社 位置検出装置
US5006703A (en) * 1988-02-22 1991-04-09 Victor Company Of Japan, Ltd. Reflective optical rotary encoder disc
JPH0518649Y2 (ja) * 1988-04-12 1993-05-18
DE3829905A1 (de) * 1988-09-02 1990-03-15 Siemens Ag Verfahren zur positionserfassung einer achse
US4990909A (en) * 1988-09-30 1991-02-05 Yokogawa Electric Corporation Revolution counter using a magnetic bubble device for multi-turn absolute encoder
US5176085A (en) * 1988-12-23 1993-01-05 Mitsubishi Denki K.K. Position detecting device
JPH02176418A (ja) * 1988-12-28 1990-07-09 Fanuc Ltd パルスエンコーダにおける固定スリット板のスリット配設構造
DE3926799A1 (de) * 1989-08-14 1991-02-21 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Inkrementaler drehgeber
US5073710A (en) * 1989-09-21 1991-12-17 Copal Company Limited Optical displacement detector including a displacement member's surface having a diffractive pattern and a holographic lens pattern
JPH0351316U (ja) * 1989-09-22 1991-05-20
JPH04294406A (ja) * 1991-03-22 1992-10-19 Kobe Steel Ltd ロボットの回転位置検出装置
DE4132049A1 (de) * 1991-09-26 1992-10-29 Bosch Gmbh Robert Messeinrichtung zur bestimmung eines drehwinkels
JPH0877694A (ja) † 1994-09-05 1996-03-22 Yamaha Corp 操作子装置
JPH09166671A (ja) * 1995-09-28 1997-06-24 Helmut Hechinger Gmbh & Co 時計針の位置決め装置
US5698851A (en) * 1996-04-03 1997-12-16 Placa Ltd. Device and method for precise angular measurement by mapping small rotations into large phase shifts
WO1999042790A1 (de) 1998-02-21 1999-08-26 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Verfahren zum betrieb eines positionsmesssystems und geeignete positionsmesssystem hierzu
DE59912617D1 (de) 1998-08-01 2006-02-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Rotatorische Positionsmesseinrichtung
US6175109B1 (en) 1998-12-16 2001-01-16 Renco Encoders, Inc. Encoder for providing incremental and absolute position data
DE19904471B4 (de) 1999-02-04 2011-03-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Drehgeber
DE19907326B4 (de) 1999-02-20 2013-04-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Winkelmeßsystem
TW558676B (en) * 2002-08-02 2003-10-21 Chih-Hao Yiu Device for detecting angular position
TW558677B (en) * 2002-08-02 2003-10-21 Chih-Hao Yiu Device for detecting angular position
DE10238640B4 (de) * 2002-08-19 2005-11-17 Sick Stegmann Gmbh Multiturn-Winkelmessgerät
US20040085860A1 (en) * 2002-10-31 2004-05-06 Yiu Chih Hao Position detecting and correcting device for timepiece
DE10312045B4 (de) 2003-03-18 2014-07-31 Anton Rodi Messsystem zur Absolutwerterfassung von Winkeln und Wegen
US20060187573A1 (en) * 2005-02-24 2006-08-24 Electro-Sensors, Inc. Sensor equipment guard
DE102005047258A1 (de) * 2005-10-01 2007-04-05 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
EP1879087A3 (de) * 2006-07-10 2010-08-18 Brose Schliesssysteme GmbH & Co. KG Positionserfassungsanordnung für ein motorisch verstellbares Funktionselement in einem Kraftfahrzeug
DE102008049140A1 (de) * 2008-09-26 2010-04-01 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Anordnung und Verfahren zur Erzeugung eines Referenzimpulses für ein Positionsmessgerät

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL137729C (ja) * 1965-10-11 1900-01-01
US3693024A (en) * 1971-05-17 1972-09-19 Litton Systems Inc Rotational shaft encoder having a bearing tube having a slot therein
US4319134A (en) * 1978-06-16 1982-03-09 Sensor Technology, Inc. Optical encoder
US4266125A (en) * 1978-12-21 1981-05-05 Hewlett-Packard Company Optical shaft angle encoder
US4342996A (en) * 1980-10-29 1982-08-03 Jannotta Louis J Two disc encoder system for monitoring height of liquid in storage tank
US4358753A (en) * 1981-03-16 1982-11-09 Rockwell International Corporation High resolution shaft position encoder
JPS58106691A (ja) * 1981-12-21 1983-06-25 株式会社エスジ− アブソリュート位置検出装置
DE3243956A1 (de) * 1982-11-27 1984-05-30 Luma Elektronik - GmbH, 4904 Enger Positionsgeber zur lagebestimmung linear verfahrbarer maschinenteile
DE3311204A1 (de) * 1983-03-26 1984-10-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012050130A1 (ja) * 2010-10-12 2012-04-19 株式会社ニコン エンコーダ、駆動装置及びロボット装置
JPWO2012050130A1 (ja) * 2010-10-12 2014-02-24 株式会社ニコン エンコーダ、駆動装置及びロボット装置
JP6032010B2 (ja) * 2010-10-12 2016-11-24 株式会社ニコン エンコーダ、駆動装置及びロボット装置
US10557707B2 (en) 2010-10-12 2020-02-11 Nikon Corporation Encoder, driving device, and robot apparatus
JP2013211958A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Denso Wave Inc エンコーダシステム

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