JP2002361586A - チェック機構付吸着装置 - Google Patents
チェック機構付吸着装置Info
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- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
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- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
- B25J15/0625—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum provided with a valve
- B25J15/0641—Object-actuated valves
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Abstract
ークに当接していない場合において、負圧流体がパッド
部に供給されることを防止するとともに、大気中の塵埃
等がチェック機構付吸着装置内に進入することを阻止す
る。 【解決手段】ワークW2に当接するパッド部12と、パ
ッド部12に連結されたコネクタ14と、一端部がワー
クW2に当接して上方に向かって変位することにより弁
閉状態から弁開状態へと切り換わる弁ロッド16と、コ
ネクタ14に連結された支持部材18と、支持部材18
の一端部に装着され、パッド部12から流入される外部
エアーの流量が増加することにより弁閉状態となる第2
弁体68を有するチェック弁20aとを備える。
Description
用下にワークを吸着することにより、ワークを搬送する
ことが可能なチェック機構付吸着装置に関する。
昭39−11426号公報参照)を図6に示す。この吸
着装置1は、スカート状に形成されたパッド部2と、前
記パッド部2に連結されたコネクタ部3とから構成され
る。前記パッド部2には、コネクタ部3の内部の弁室4
に装着されたばね5の弾発力によって、常時、下方向に
向かって付勢された開閉弁6が配設され、前記開閉弁6
の底面部には下方側に向かって突出し該開閉弁6と一体
的に変位する突部7が連結されている。
前記突部7が該ワークAに当接し、該ワークAの押圧作
用下にばね5の弾発力に抗して着座部8から離間するこ
とにより弁開状態となる。この結果、図示しない負圧流
体供給源から弁室4に供給された負圧流体は、前記弁室
4に連通する通路9を介してパッド部2の内部空間に導
入され、前記負圧流体の吸引作用下にワークAが吸着さ
れる。
係る吸着装置1において、例えば、図7に示されるよう
に、一部に段差部9aを有するワークBを吸着する際、
突部7がワークBの一面に当接して押圧されることによ
り開閉弁6が弁開状態となる。
圧流体が導入されているにもかかわらず、パッド部2の
一部が段差部9aに臨みワークBに当接していない状態
であるため、ワークBを吸着することができない。すな
わち、パッド部2の一部と段差部9aとの間の間隙を通
じて外部エアーがパッド部2の内部空間に流入すると、
ワークBに対する吸引力が減少する。
ド部2に対して継続的に供給される負圧流体が浪費され
るという不具合がある。
2を介して吸着装置1の内部に吸引され、吸着装置1内
の開閉弁6の摺動部等に塵埃等が付着することにより、
開閉弁6の開閉動作を阻害するおそれがあり、さらに、
メンテナンスサイクルが短くなることも懸念される。
なされたものであり、吸着するワークが段差部を有する
場合においても、負圧流体供給源からの負圧流体の浪費
を防止することができるとともに、装置内への塵埃等の
進入を阻止することが可能なチェック機構付吸着装置を
提供することを目的とする。
めに、本発明は、負圧流体の吸引作用下にワークを吸着
するパッド部と、一端部が前記パッド部に連結されたボ
ディと、ワークに当接して変位することにより前記パッ
ド部に対する負圧流体の供給が遮断された弁閉状態から
前記パッド部に対して負圧流体を供給する弁開状態へと
切り換えるロッド部材が設けられた開閉弁と、前記開閉
弁に負圧流体が供給される通路の前段部に設けられ、パ
ッド部から流入する外部エアーによって弁体が着座部に
着座した弁閉状態となるチェック弁と、を備え、前記開
閉弁が弁開状態となった際、前記パッド部から流入する
外部エアーの流量に対応して前記チェック弁を弁閉状態
とすることにより、前記パッド部に対する負圧流体の供
給が遮断されることを特徴とする。
する材質によって形成するとよい。
アーの流量を絞るための絞り機構を設け、前記絞り機構
に前記チェック弁の弁体の一端面側に近接する位置にフ
ィルタを設けるとよい。
弁体の上流側と下流側とを連通するバイパス通路と、前
記バイパス通路の途中に設けられる可変絞り弁と、を備
え、前記可変絞り弁を調整することにより、前記バイパ
ス通路を流通する外部エアーの流量を調整するとよい。
ワークを吸着する際、ロッド部材が前記ワークに当接し
て開閉弁が弁開状態となる。この場合、パッド部と段差
部との間に生じる間隙より流入する外部エアーの流量に
対応してチェック弁が弁閉状態となり、前記パッド部に
対する負圧流体の供給が遮断される。従って、パッド部
に対する負圧流体の浪費が阻止される。
装置について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参
照しながら以下詳細に説明する。
実施の形態に係るチェック機構付吸着装置を示す。
1に当接して負圧流体の吸引作用下にワークW1を吸着
するパッド部12と、パッド部12に連結されたコネク
タ(ボディ)14と、一端部がワークW1に当接して上
方に向かって変位することにより、パッド部12への負
圧流体の供給が遮断された弁閉状態からパッド部12に
対して負圧流体が供給された弁開状態へと切り換える弁
ロッド(ロッド部材)16と、コネクタ14の一端部に
連結された支持部材(ボディ)18と、支持部材18の
一端部に装着されたチェック弁20aとから構成され
る。
円筒状の本体部22と、本体部22に内装され、略中央
部および略中央部より所定間隔離間する外周側に貫通孔
24が形成されるプレート部材26と、本体部22と一
体的に形成され、徐々に拡径するスカート部28とを有
する。パッド部12の略中央部には、複数の段部を有す
る第1貫通孔30が形成されている。
が形成され、また、パッド部12と当接するコネクタ1
4の一端面側には、貫通孔24に挿入される中空状の円
筒体33を介してねじ部材34が螺合される複数のねじ
穴36が形成されており、前記ねじ部材34によってパ
ッド部12とコネクタ14とが連結されている。なお、
前記コネクタ14は、樹脂製材料で形成することによ
り、チェック機構付吸着装置10の軽量化を図ることが
でき、また、金属製材料で形成することにより、チェッ
ク機構付吸着装置10の剛性強度をより一層向上させる
ことができる。
材18の一端部が螺合され、該支持部材18の一端部側
の内部には、前記第1貫通孔30に連通し、複数の段部
を有する第2貫通孔38が形成されており、パッド部1
2、第1貫通孔30、第2貫通孔38内には、弁ロッド
16が設けられている。
は、フィルタ40を介してチェック弁20aと連通する
弁室42と、前記弁室42と第2貫通孔38とを連通す
る第1連通路44と、第2貫通孔38側に向かって徐々
に縮径する第1着座部46が形成されている。
支持部材18の孔部内に固着され、パッド部12より導
入される外部エアー中に含まれる塵埃等がチェック弁2
0aや図示しない負圧流体供給源等に進入することを防
止するとともに、弁室42からチェック弁20aへの外
部エアーの流量を絞る絞り機能を有している。すなわ
ち、フィルタ40の材質、密度等を変更することによ
り、外部エアーの流量の絞り量を任意に調整することが
できる。
弁20bの本体部64の内部に後述する第2連通路78
と後述する第2孔部82とを連通するバイパス通路48
を設け、その途中に前記フィルタ40の代わりに可変絞
り弁50を設けてもよい。該可変絞り弁50の調整つま
みを回転させることにより、前記バイパス通路48を流
通する流体の流量の絞り量を調整することができる。
貫通孔30、第2貫通孔38および弁室42内を軸線方
向に変位自在に設けられ、弁ロッド16の一端部には、
下方側に向かって縮径するテーパ部52が形成され、前
記テーパ部52の環状溝部に、例えば、弾性体より形成
される第1弁体(開閉弁)54が装着されている。ま
た、前記第1弁体54が支持部材18に形成される第1
着座部46に着座することにより、弁室42と第2貫通
孔38との連通が遮断された状態となる。
グ体56を介して係止部材58が装着され、また、係止
部材58と支持部材18の第2貫通孔38との間に第1
ばね部材60が介装され、第1ばね部材60の弾発作用
下に係止部材58を支持部材18から離間する方向に付
勢するとともに、弁ロッド16も係止部材58と一体的
に支持部材18から離間する方向に付勢される。
がワークW1に当接した際の衝撃を緩衝する弾性部材6
2が一体的に連結されている。なお、弾性部材62は、
ワークW1を吸着していない場合においては、パッド部
12のスカート部28の下端面より所定長だけ突出して
設けられている。
の下端面より所定長だけ突出して設けられていることに
より、スカート部28がワークW1に当接した際に、弁
ロッド16が上方に変位する。
部12の略中央に形成されるガイド孔63に挿通される
ことにより、弁ロッド16がガイドされている。前記ガ
イド孔63の直径は、弁ロッド16の直径より若干大き
く形成されることにより、弁ロッド16が軸線方向に自
在に変位することができる。
弁20aは、一端部にねじ部が形成される本体部64
と、前記本体部64の他端部側に装着され、チューブ6
5を離脱させるリリース部材66と、上方に向かって縮
径するテーパ状に形成され、通気性材料からなる第2弁
体(弁体)68と、該第2弁体68の一端部に形成され
る環状突部70と本体部64との間に介装される第2ば
ね部材72とからなる。
(例えば、ポリエチレン焼結材)等の通気性材料から形
成される。すなわち、負圧流体が弁室42に供給される
際に、負圧流体が第2連通路78から第2孔部82およ
び第2弁体68の内部を通過して弁室42に流入される
ため、第2弁体68が負圧流体の流路抵抗となることが
ない。
ワークW1を正常に吸着した際において、第2弁体68
は、第2着座部(着座部)80から所定間隔離間してい
る状態にある。すなわち、第2弁体68は、第2ばね部
材72の弾発作用下に第2着座部80より離間する方向
に付勢されており、また、負圧流体が供給されていない
場合においては、フィルタ40の一端面に当接している
状態にある。
弁体68の受圧部74に対して外部エアーが作用する受
圧面積、フィルタ40、または可変絞り弁50等の絞り
量を変更することにより、パッド部12から流入する外
部エアーの押圧作用下に第2弁体68が第2着座部80
に着座する際の条件を任意に調整することができる。な
お、パッド部12がワークW1を吸着する前および通常
のワークW1の吸着時においては、弁室42からチェッ
ク弁20aに導入される外部エアーの作用下に第2弁体
68が閉塞することがなく、図3、図4に示されるよう
に、ワークW2が段差部75を有する場合においては、
弁室42からチェック弁20aに導入される外部エアー
の圧力作用下に第2弁体68が閉塞するように調整され
る。
6が装着される第1孔部76と、前記第1孔部76に連
通する第2連通路78と、上方に向かって縮径するテー
パ状に形成され、第2弁体68が着座する第2着座部8
0と、第2弁体68が配設される第2孔部82とから形
成されており、第2ばね部材72の弾発作用下に第2弁
体68を第2着座部80から離間する方向に付勢してい
る。なお、第2弁体68が第2着座部80より所定間隔
離間している際において、第1孔部76、第2連通路7
8および第2孔部82は連通した状態であるとともに、
第2連通路78の直径は、第1孔部76および第2孔部
82より小さく形成される。
吸着装置10は、基本的には以上のように構成されるも
のであり、次にその動作並びに作用効果について説明す
る。
に示されるように、チェック機構付吸着装置10を、例
えば、支持部材18を外嵌する図示しないロボットのア
ーム84等に接続し、前記アーム84の操作によって変
位自在に設定しておく。また、チェック弁20aのリリ
ース部材66に管継手を接続し、図示しない負圧流体供
給源に連通するチューブ65を管継手に接続しておく。
そして、負圧流体供給源からチェック弁20aのリリー
ス部材66を介して支持部材18の弁室42内に負圧流
体が供給された状態としておく。なお、この際、第2弁
体68は、第2ばね部材72の弾発作用下に第2着座部
80より所定間隔離間して、フィルタ40の一端面に当
接した弁開状態にある。
ットのアーム84を介して、チェック機構付吸着装置1
0を下降させ、図2に示されるように、パッド部12を
ワークW1に当接させる。この場合、弾性部材62がワ
ークW1に当接し、弁ロッド16が上方に押圧されるこ
とにより、弁ロッド16が第1弁体54およびリング体
56を介して係止部材58と一体的に上方に変位する。
そして、第1弁体54が第1着座部46より離間するこ
とにより第1弁体54が弁開状態となり、弁室42に供
給されていた負圧流体が、第2貫通孔38から第1貫通
孔30へ導入され、さらに、第1貫通孔30から図示し
ない通路を介してパッド部12内の空間に導入される。
成されているため、負圧流体がチェック弁20aの第2
連通路78から弁室42に供給される際に、第2弁体6
8が負圧流体の流路抵抗となることがないため、負圧流
体の作用下に第2弁体68が第2着座部80に着座して
第2連通路78を閉塞することがない。
クW1とが当接することにより、スカート部28の内部
に閉塞された空間が形成され、前記空間に導入された負
圧流体の作用下にワークW1が吸着される。
に、段差部75を有するワークW2については、ワーク
W2にパッド部12を当接させる場合、弁ロッド16に
連結された弾性部材62がワークW2に当接し、ワーク
W2に段差部75があるため、スカート部28の一部が
ワークW2に当接せずに、パッド部12とワークW2と
の間に間隙が生じて、パッド部12に供給される負圧流
体が間隙より漏洩する。
ド16に連結された弾性部材62がワークW2に当接す
ると、弁ロッド16が上方に押圧され、弁ロッド16が
第1弁体54および係止部材58と一体的に上方に変位
する。そして、第1弁体54が第1着座部46から離間
することにより弁開状態となり、弁室42に供給されて
いた負圧流体が、第1貫通孔30、第2貫通孔38を介
してパッド部12内の空間に導入される。
に、ワークW2とスカート部28とは一部分のみが当接
しているため、当接していないワークW2とスカート部
28の間隙より外部からの大流量の外部エアーが負圧流
体の作用下に第1貫通孔30、第2貫通孔38を介して
弁室42へ導入される。
に、第2弁体68の受圧部74に対し大流量からなる外
部エアーの押圧力が付与され、第2弁体68が第2ばね
部材72の弾発力に抗して上方に変位して第2着座部8
0に着座することにより、第2連通路78が閉塞され
る。
されているため、第2弁体68が第2着座部80に着座
している際においても、外部エアーが弁室42から第2
連通路78へと流入しているが、第2弁体68の内部を
連通している流体は、ごく微量であるため、無視するこ
とができる。
負圧流体がチェック弁20aの第2弁体68によって遮
断されるため、負圧流体がパッド部12側に対して継続
的に供給されることが阻止される。
を有するワークW2に弁ロッド16の弾性部材62が当
接して第1弁体54が弁開状態となり、且つパッド部1
2の一部がワークW2に当接していない際においても、
パッド部12から流入する外部エアーの押圧作用下に第
2弁体68が閉塞され、負圧流体のパッド部12への供
給を停止することができる。その結果、負圧流体供給源
より供給される負圧流体が浪費されることがなく有効に
活用できるとともに、大気中の塵埃等が装置の内部に進
入することを好適に阻止することができる。
る。
パッド部の一部がワークに当接していない場合において
も、パッド部から流入する外部エアーの押圧作用下に弁
体が閉塞され、パッド部への負圧流体の供給を遮断する
ことができる。
負圧流体を有効に活用できるとともに、大気中の塵埃等
が装置の内部に進入することを好適に阻止することがで
きる。
装置においてワークを吸着する前における縦断面図であ
る。
装置においてワークを吸着時における縦断面図である。
装置においてワークに段差部がある場合の弁開時におけ
る縦断面図である。
装置においてワークに段差部がある場合の弁閉時におけ
る縦断面図である。
可変弁を設けた弁開時における縦断面図である。
クに段差部がある場合の縦断面図である。
チェック弁 26…プレート部材 28…スカート部 30…第1貫通孔 34…ねじ部材 36…ねじ穴 38…第2貫通孔 40…フィルタ 42…弁室 44…第1連通路 46…第1着座部 50…可変絞り弁 54…第1弁体 58…係止部材 60…第1ばね部
材 68…第2弁体 72…第2ばね部
材 78…第2連通路 80…第2着座部
Claims (5)
- 【請求項1】負圧流体の吸引作用下にワークを吸着する
パッド部と、 一端部が前記パッド部に連結されたボディと、 ワークに当接して変位することにより前記パッド部に対
する負圧流体の供給が遮断された弁閉状態から前記パッ
ド部に対して負圧流体を供給する弁開状態へと切り換え
るロッド部材が設けられた開閉弁と、 前記開閉弁に負圧流体が供給される通路の前段部に設け
られ、パッド部から流入する外部エアーによって弁体が
着座部に着座した弁閉状態となるチェック弁と、 を備え、前記開閉弁が弁開状態となった際、前記パッド
部から流入する外部エアーの流量に対応して前記チェッ
ク弁を弁閉状態とすることにより、前記パッド部に対す
る負圧流体の供給が遮断されることを特徴とするチェッ
ク機構付吸着装置。 - 【請求項2】請求項1記載のチェック機構付吸着装置に
おいて、 前記チェック弁の弁体が通気性を有する材質によって形
成されることを特徴とするチェック機構付吸着装置。 - 【請求項3】請求項1記載のチェック機構付吸着装置に
おいて、 前記パッド部から流入する外部エアーの流量を絞るため
の絞り機構を備えることを特徴とするチェック機構付吸
着装置。 - 【請求項4】請求項3記載のチェック機構付吸着装置に
おいて、 前記絞り機構は、前記チェック弁の弁体の一端面側に近
接する位置に設けられたフィルタからなることを特徴と
するチェック機構付吸着装置。 - 【請求項5】請求項3記載のチェック機構付吸着装置に
おいて、 前記絞り機構は、前記チェック弁の弁体の上流側と下流
側とを連通するバイパス通路と、前記バイパス通路の途
中に設けられる可変絞り弁と、 を備え、前記可変絞り弁を調整することにより、前記バ
イパス通路を流通する外部エアーの流量が調整されるこ
とを特徴とするチェック機構付吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001176195A JP2002361586A (ja) | 2001-06-11 | 2001-06-11 | チェック機構付吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001176195A JP2002361586A (ja) | 2001-06-11 | 2001-06-11 | チェック機構付吸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002361586A true JP2002361586A (ja) | 2002-12-18 |
Family
ID=19017223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001176195A Pending JP2002361586A (ja) | 2001-06-11 | 2001-06-11 | チェック機構付吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050811 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050913 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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