JP2002359980A - 平行平板型静電アクチュエータ、ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク装置 - Google Patents
平行平板型静電アクチュエータ、ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク装置Info
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- JP2002359980A JP2002359980A JP2001163478A JP2001163478A JP2002359980A JP 2002359980 A JP2002359980 A JP 2002359980A JP 2001163478 A JP2001163478 A JP 2001163478A JP 2001163478 A JP2001163478 A JP 2001163478A JP 2002359980 A JP2002359980 A JP 2002359980A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ノイズの発生が従来よりも著しく少なく、ま
た、耐久性、信頼性に優れた平行平板型静電アクチュエ
ータ、ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク
装置を提供すること。 【解決手段】 並行な電極（１ａ，１ｂ，１ｃ，：２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ）がギャップを挟み配置され、電
極間に電圧を加えることによりギャップが伸縮する平行
平板型静電アクチュエータにおいて、ギャップが非導電
性物質３ａ，３ｂでカバーされていることを特徴とす
る。
た、耐久性、信頼性に優れた平行平板型静電アクチュエ
ータ、ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク
装置を提供すること。 【解決手段】 並行な電極（１ａ，１ｂ，１ｃ，：２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ）がギャップを挟み配置され、電
極間に電圧を加えることによりギャップが伸縮する平行
平板型静電アクチュエータにおいて、ギャップが非導電
性物質３ａ，３ｂでカバーされていることを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、平行平板型静電ア
クチュエータ、ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気
ディスク装置に係る。より詳細には、コンピュータの外
部記憶装置に用いられる磁気ディスク装置のヘッドスラ
イダ及びこのヘッドスライダを用いたヘッド組立体およ
びそのヘッド組立体を用いたディスクに関わる。
クチュエータ、ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気
ディスク装置に係る。より詳細には、コンピュータの外
部記憶装置に用いられる磁気ディスク装置のヘッドスラ
イダ及びこのヘッドスライダを用いたヘッド組立体およ
びそのヘッド組立体を用いたディスクに関わる。
【０００２】
【従来の技術】ハードディスクドライブの記録密度が増
すにつれ、データの読み書きをする磁気ヘッドを精密に
位置決めトラッキング制御を行う必要が高まっている。
すにつれ、データの読み書きをする磁気ヘッドを精密に
位置決めトラッキング制御を行う必要が高まっている。
【０００３】図２に、平行平板型静電アクチュエータ、
ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク装置の
概念的斜視図を示す。アーム２１の根元では、ボイスコ
イルモータ２６により、アーム２１の先端の磁気ヘッド
２２が、ディスク２３の半径方向への動作を行ってお
り、磁気ヘッド２２と一体型となっているスライダ２４
が空気浮上により、ディスク２３面から一定高さを保っ
ている。
ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク装置の
概念的斜視図を示す。アーム２１の根元では、ボイスコ
イルモータ２６により、アーム２１の先端の磁気ヘッド
２２が、ディスク２３の半径方向への動作を行ってお
り、磁気ヘッド２２と一体型となっているスライダ２４
が空気浮上により、ディスク２３面から一定高さを保っ
ている。
【０００４】近年、さらにアーム２１の途中や先端に微
動位置決めのためのアクチュエータの研究がなされてい
る。圧電素子を用いたり、静電駆動アクチュエータに
て、磁気ヘッドと一体となっているスライダを駆動する
試みがなされ、これは第二世代と呼ばれる。
動位置決めのためのアクチュエータの研究がなされてい
る。圧電素子を用いたり、静電駆動アクチュエータに
て、磁気ヘッドと一体となっているスライダを駆動する
試みがなされ、これは第二世代と呼ばれる。
【０００５】磁気ヘッド２２を直接動かし、位置決めす
るマイクロアクチュエータは第三世代と呼ばれ、その駆
動部分の重量の軽さから、高速のデータアクセススピー
ドが見込まれる。静電駆動マイクロアクチュエータは、
微小間隔の電極に作用する静電引力により動作する。
るマイクロアクチュエータは第三世代と呼ばれ、その駆
動部分の重量の軽さから、高速のデータアクセススピー
ドが見込まれる。静電駆動マイクロアクチュエータは、
微小間隔の電極に作用する静電引力により動作する。
【０００６】しかしながら、従来の静電駆動マイクロア
クチュエータを用いた磁気ディスク装置は、原因不明の
ノイズを発生することがあり、また、耐久性、信頼性に
欠けるという欠点を有していた。
クチュエータを用いた磁気ディスク装置は、原因不明の
ノイズを発生することがあり、また、耐久性、信頼性に
欠けるという欠点を有していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ノイズの発
生が従来よりも著しく少なく、また、耐久性、信頼性に
優れた平行平板型静電アクチュエータ、ヘッドスライ
ダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク装置を提供すること
を目的とする。
生が従来よりも著しく少なく、また、耐久性、信頼性に
優れた平行平板型静電アクチュエータ、ヘッドスライ
ダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク装置を提供すること
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の平板型静電アク
チュエータは、少なくとも１対の並行な電極がギャップ
を挟み配置され、電極間に電圧を加えることによりギャ
ップが伸縮する平行平板型静電アクチュエータにおい
て、ギャップがフィルム状の非導電性物質でカバーされ
ていることを特徴とする。
チュエータは、少なくとも１対の並行な電極がギャップ
を挟み配置され、電極間に電圧を加えることによりギャ
ップが伸縮する平行平板型静電アクチュエータにおい
て、ギャップがフィルム状の非導電性物質でカバーされ
ていることを特徴とする。
【０００９】本発明の平行平板型静電アクチュエータ
は、少なくとも１対の並行な電極がギャップを挟み配置
され、電極間に電圧を加えることによりギャップが伸縮
する平行平板型静電アクチュエータにおいて、ギャップ
の一部または全部が非導電性物質で充填されていること
を特徴とする。
は、少なくとも１対の並行な電極がギャップを挟み配置
され、電極間に電圧を加えることによりギャップが伸縮
する平行平板型静電アクチュエータにおいて、ギャップ
の一部または全部が非導電性物質で充填されていること
を特徴とする。
【００１０】本発明のヘッドスライダは、上記平行平板
型アクチュエータを、記録再生素子とスライダ本体との
間に、記録再生素子が記録再生素子の幅方向に動作可能
なように配置したことを特徴とする。
型アクチュエータを、記録再生素子とスライダ本体との
間に、記録再生素子が記録再生素子の幅方向に動作可能
なように配置したことを特徴とする。
【００１１】本発明のヘッド組立体は、上記ヘッドスラ
イダを用い、ヘッドスライダに搭載された記録再生素子
が記録再生素子の幅方向に微動可能であることを特徴と
する。
イダを用い、ヘッドスライダに搭載された記録再生素子
が記録再生素子の幅方向に微動可能であることを特徴と
する。
【００１２】本発明の磁気ディスク装置は、上記ヘッド
組立体を用い、ヘッドスライダに搭載された記録再生素
子が記録再生素子の幅方向に微動可能であることを特徴
とする。
組立体を用い、ヘッドスライダに搭載された記録再生素
子が記録再生素子の幅方向に微動可能であることを特徴
とする。
【００１３】
【作用】以下に本発明の作用を本発明をなすに際して得
た知見などとともに説明する。
た知見などとともに説明する。
【００１４】本発明者は、原因不明のノイズの発生、耐
久性、信頼性に欠ける原因を鋭意探求した。その結果、
次のような知見を得た。すなわち、平行平板型静電アク
チュエータにおいて、静電気は、粉塵やほこりを吸引し
てしまい、この粉塵やほこりが電極ギャップに入り込
み、動作に悪影響を与え、ノイズを発生させているこ
と、また、信頼性を損なわしめていることを知見した。
久性、信頼性に欠ける原因を鋭意探求した。その結果、
次のような知見を得た。すなわち、平行平板型静電アク
チュエータにおいて、静電気は、粉塵やほこりを吸引し
てしまい、この粉塵やほこりが電極ギャップに入り込
み、動作に悪影響を与え、ノイズを発生させているこ
と、また、信頼性を損なわしめていることを知見した。
【００１５】また、平行平板型静電アクチュエータに外
力がかかると、電極ギャップが変形し、電極同士のショ
ートを招き、これが信頼性を低下せしめている原因であ
ることも知見した。
力がかかると、電極ギャップが変形し、電極同士のショ
ートを招き、これが信頼性を低下せしめている原因であ
ることも知見した。
【００１６】もちろん、ノイズの発生、耐久性、信頼性
が欠ける原因がこのようなことにあることは従来知られ
ておらず本発明者が初めて見出したものである。
が欠ける原因がこのようなことにあることは従来知られ
ておらず本発明者が初めて見出したものである。
【００１７】上記知見に基づき、課題の解決手段をさら
に探求したところ、ギャップを弾性を有する非導電性物
質で被覆（カバー）すれば、粉塵やほこりはギャップに
入らずノイズの発生を防止することができ、また、信頼
性、耐久性を高めることができることを見出し本発明を
なすに至った。
に探求したところ、ギャップを弾性を有する非導電性物
質で被覆（カバー）すれば、粉塵やほこりはギャップに
入らずノイズの発生を防止することができ、また、信頼
性、耐久性を高めることができることを見出し本発明を
なすに至った。
【００１８】また、ギャップの一部あるいは全部を弾性
を有する非導電性物質で充填すれば、粉塵やほこりがギ
ャップに入ることを防止できるのみならず、外力が加わ
ったとしても非導電性物質が弾性変形するのみで電極の
変化を防止することができ、ひいていは電極のショート
を防止しることができ、信頼性を高めることができる。
また、電極が多少変形したとしても非導電性物質が電極
のショートを防止する。
を有する非導電性物質で充填すれば、粉塵やほこりがギ
ャップに入ることを防止できるのみならず、外力が加わ
ったとしても非導電性物質が弾性変形するのみで電極の
変化を防止することができ、ひいていは電極のショート
を防止しることができ、信頼性を高めることができる。
また、電極が多少変形したとしても非導電性物質が電極
のショートを防止する。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明では、ギャップが非導電性
物質でカバーされている。ギャップを非導電性物質でカ
バーする方法としては、例えば、非導電性物質を溶融状
態とし、それをギャップにスピンコートすればよい。ス
ピンコートを行った場合には、ギャップを被覆するとと
もにギャップを充填する。なお、適宜マスキングを行う
ことにより一部のみを被覆、充填することも可能であ
る。
物質でカバーされている。ギャップを非導電性物質でカ
バーする方法としては、例えば、非導電性物質を溶融状
態とし、それをギャップにスピンコートすればよい。ス
ピンコートを行った場合には、ギャップを被覆するとと
もにギャップを充填する。なお、適宜マスキングを行う
ことにより一部のみを被覆、充填することも可能であ
る。
【００２０】また、非導電性物質をフィルム状にしてギ
ャップの入り口に直接、貼り付ければよい。貼り付け方
法としては、例えば、圧着法あるいは接着剤による貼り
付け、溶融液へのディッピングなど適宜の方法を用いれ
ばよい。
ャップの入り口に直接、貼り付ければよい。貼り付け方
法としては、例えば、圧着法あるいは接着剤による貼り
付け、溶融液へのディッピングなど適宜の方法を用いれ
ばよい。
【００２１】また、非導電性物質としては、例えば、フ
ッ素ゴム、ウレタンゴム、感光性ポリイミド、エポキシ
テープなどが挙げられる。これらの材料は、いずれも弾
性を有しており、これらの材料が有する弾性係数の範囲
における弾性係数が好ましい。なお、商品名、フロラー
ドＦＣ−７３２（住友スリーエム社製）、フッ素系プラ
スチックＴＨＶ２２０Ａなども好適に用いられる。
ッ素ゴム、ウレタンゴム、感光性ポリイミド、エポキシ
テープなどが挙げられる。これらの材料は、いずれも弾
性を有しており、これらの材料が有する弾性係数の範囲
における弾性係数が好ましい。なお、商品名、フロラー
ドＦＣ−７３２（住友スリーエム社製）、フッ素系プラ
スチックＴＨＶ２２０Ａなども好適に用いられる。
【００２２】
【実施例】図１に、本発明実施例を示す。図１におい
て、（ａ）が非導電性物質による被覆あるいは充填前の
平行平板型静電アクチュエータである。
て、（ａ）が非導電性物質による被覆あるいは充填前の
平行平板型静電アクチュエータである。
【００２３】１は、ムーバであり、１ａ，１ｂ，１ｃは
ムーバ電極である。２はステータであり、２ａ，２ｂ，
２ｃ，２ｄはステータ電極である。
ムーバ電極である。２はステータであり、２ａ，２ｂ，
２ｃ，２ｄはステータ電極である。
【００２４】本例では、ステータ電極とムーバ電極との
間隔（ギャップ）を２μｍとした。図１において、
（ｂ）が非導電性物質により電極ギャップを被覆あるい
は充填した状態の平行平板型静電アクチュエータであ
る。
間隔（ギャップ）を２μｍとした。図１において、
（ｂ）が非導電性物質により電極ギャップを被覆あるい
は充填した状態の平行平板型静電アクチュエータであ
る。
【００２５】（ｃ）は断面図であり、スピンコートを行
うことにより非導電性物質を塗布した場合である。この
場合は、電極間ギャップに非導電性物資は一部充填され
ている。もちろん長時間のスピンコートを行うことによ
りギャップ全体に非導電性物質を充填することも可能で
ある。
うことにより非導電性物質を塗布した場合である。この
場合は、電極間ギャップに非導電性物資は一部充填され
ている。もちろん長時間のスピンコートを行うことによ
りギャップ全体に非導電性物質を充填することも可能で
ある。
【００２６】（ｄ）は非導電性物質をフィルム状にし、
フィルム状の非導電性物質を平行平板型静電アクチュエ
ータの表面及び裏面に接着により貼り付けることにより
ギャップをカバーした例である。もちろん、表裏面の片
方のみをカバーしてもよい。
フィルム状の非導電性物質を平行平板型静電アクチュエ
ータの表面及び裏面に接着により貼り付けることにより
ギャップをカバーした例である。もちろん、表裏面の片
方のみをカバーしてもよい。
【００２７】以上の平行平板型静電アクチュエータを用
いて図２に示す構造の磁気ディスク装置を組み立て、記
録・再生試験を行ったところ、ノイズが従来よりはるか
に少なく、また、外力による電極のショートに基づく故
障も無かった。さらに、長期にわたり安定した特性を示
した。
いて図２に示す構造の磁気ディスク装置を組み立て、記
録・再生試験を行ったところ、ノイズが従来よりはるか
に少なく、また、外力による電極のショートに基づく故
障も無かった。さらに、長期にわたり安定した特性を示
した。
【００２８】さらに、アクチュエータの動作として、減
衰効果が増すことにより、位置決め動作のときの過渡的
な振動が速やかに収まるという利点も生じた。
衰効果が増すことにより、位置決め動作のときの過渡的
な振動が速やかに収まるという利点も生じた。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、電極ギャップに粉塵や
ほこりが入らず耐久性が向上し、信頼性の高い平行平板
型静電アクチュエータ、、ヘッドスライダ、ヘッド組立
体及び磁気ディスク装置が得られる。
ほこりが入らず耐久性が向上し、信頼性の高い平行平板
型静電アクチュエータ、、ヘッドスライダ、ヘッド組立
体及び磁気ディスク装置が得られる。
【００３０】また、外力により電極がショートすること
を完全に防ぐことができる。
を完全に防ぐことができる。
【００３１】さらに、アクチュエータの動作として、減
衰効果が増すことにより、位置決め動作のときの過渡的
な振動が速やかに収まるという利点も生じる。
衰効果が増すことにより、位置決め動作のときの過渡的
な振動が速やかに収まるという利点も生じる。
【図１】実施例を示す平行平板型静電アクチュエータの
斜視図及び断面図である。
斜視図及び断面図である。
【図２】ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディス
ク装置を示す。
ク装置を示す。
１ ムーバ １ａ，１ｂ，１ｃ 電極 ２ ステータ ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ ステータ電極 ３ａ、３ｂ 非導電性物質 ２１ アーム ２２ ヘッド ２３ ディスク ２４ スライダー ２６ モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 CA18 DA19 EA02 5D096 NN07
Claims (5)
- 【請求項１】 少なくとも１対の並行な電極がギャップ
を挟み配置され、電極間に電圧を加えることによりギャ
ップが伸縮する平行平板型静電アクチュエータにおい
て、ギャップがフィルム状の非導電性物質でカバーされ
ていることを特徴とする平行平板型静電アクチュエー
タ。 - 【請求項２】 少なくとも１対の並行な電極がギャップ
を挟み配置され、電極間に電圧を加えることによりギャ
ップが伸縮する平行平板型静電アクチュエータにおい
て、ギャップの一部または全部が非導電性物質で充填さ
れていることを特徴とする平行平板型静電アクチュエー
タ。 - 【請求項３】請求項１または請求項２記載の平行平板型
アクチュエータを、記録再生素子とスライダ本体との間
に、記録再生素子が記録再生素子の幅方向に動作可能な
ように配置したことを特徴とするヘッドスライダ。 - 【請求項４】請求項３記載のヘッドスライダを用い、ヘ
ッドスライダに搭載された記録再生素子が記録再生素子
の幅方向に微動可能であることを特徴としたヘッド組立
体。 - 【請求項５】請求項４記載のヘッド組立体を用い、ヘッ
ドスライダに搭載された記録再生素子が記録再生素子の
幅方向に微動可能であることを特徴とした磁気ディスク
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001163478A JP4837839B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | 平行平板型静電アクチュエータ、ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001163478A JP4837839B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | 平行平板型静電アクチュエータ、ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002359980A true JP2002359980A (ja) | 2002-12-13 |
| JP4837839B2 JP4837839B2 (ja) | 2011-12-14 |
Family
ID=19006443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001163478A Expired - Fee Related JP4837839B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | 平行平板型静電アクチュエータ、ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4837839B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005341788A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロアクチュエータ |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04368479A (ja) * | 1991-06-17 | 1992-12-21 | Ricoh Co Ltd | 静電アクチュエータ |
| JPH11218716A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Canon Inc | 走査光学装置 |
| JPH11313795A (ja) * | 1998-05-01 | 1999-11-16 | Olympus Optical Co Ltd | 内視鏡 |
| JPH11346482A (ja) * | 1998-06-01 | 1999-12-14 | Hitachi Ltd | 静電アクチュエータとその製造方法 |
| JPH11356065A (ja) * | 1999-04-26 | 1999-12-24 | Nec Corp | マイクロアクチュエ―タ |
| JP2000230549A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-22 | Nsk Ltd | 直動装置 |
-
2001
- 2001-05-30 JP JP2001163478A patent/JP4837839B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04368479A (ja) * | 1991-06-17 | 1992-12-21 | Ricoh Co Ltd | 静電アクチュエータ |
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| JP2000230549A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-22 | Nsk Ltd | 直動装置 |
| JPH11356065A (ja) * | 1999-04-26 | 1999-12-24 | Nec Corp | マイクロアクチュエ―タ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005341788A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロアクチュエータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4837839B2 (ja) | 2011-12-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
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