JP2002343233A - Evaporative getter and electron tube provided with evaporative getter - Google Patents
Evaporative getter and electron tube provided with evaporative getterInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本願発明は、蒸発性ゲッター
と蒸発性ゲッターを備えた蛍光表示管等の電子管に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an evaporable getter and an electron tube such as a fluorescent display tube provided with the evaporable getter.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の蛍光表示管等の電子管は、ゲッタ
ーを備えているが、そのゲッターには、蒸発性ゲッター
と非蒸発性ゲッターとがある。蒸発性ゲッターは、蒸発
の容易さの点から、蒸気圧が１，０００℃前後で１０-1
〜１Ｔｏｒｒ程度のものが必要になる。そのため従来の
ゲッターには、蒸発の容易さやガス吸収能力を勘案し
て、Ｂａ，Ｍｇ等の金属が用いられている。それらＢ
ａ，Ｍｇ等の金属は、大気中で酸化され易いため、一般
には大気中で安定なそれら金属の合金、例えばＢａとＡ
ｌ、ＭｇとＡｌの合金（一般にＢａＡｌ合金、ＭｇＡｌ
合金と呼ばれている）を用い、それらの合金にＮｉ、Ｔ
ｉ，Ｆｅ，Ｚｒ等の添加金属を所定の比率で混合したも
のをゲッターの材料として使用している。例えば、Ｂａ
Ａｌ合金としてＢａＡｌ4合金を用い、その合金の粉末
にＮｉ粉末を約１：１の比率で混合したものを用いてい
る。ＢａＡｌ4合金は、フラッシュ温度が約１，１００
℃と高いが、Ｎｉ粉末を添加すると容易にフラッシュす
るようになる。ＢａＡｌ4合金粉末にＮｉ等の添加金属
粉末を混合したゲッターは、高周波誘導加熱、電気抵抗
加熱、レーザー光加熱等により加熱されるとフラッシュ
し、蒸発したＢａの粒子が飛散してゲッターミラー膜を
形成する。その際ＢａＡｌ4合金ゲッターを高周波誘導
加熱等により加熱すると、まずＮｉ等の添加金属がＡｌ
と反応して高温の反応熱を発生する。その反応熱が高周
波誘導加熱等の主加熱に加わってゲッターをさらに加熱
するため、ゲッターの加熱温度が上昇してゲッターはフ
ラッシュする。即ちＢａＡｌ4合金粉末にＮｉ等の添加
金属粉末を混合したゲッターは、高周波誘導加熱等の主
加熱と、ＡｌとＮｉ等の反応熱とが相俟ってフラッシュ
する。したがってＮｉ等の添加金属は、ＢａＡｌ4合金
ゲッターのフラッシュには欠くことができない成分であ
る。（例えば、特開平２−１７７２３４号公報参照。）2. Description of the Related Art A conventional electron tube such as a fluorescent display tube has a getter. The getter includes an evaporable getter and a non-evaporable getter. The evaporable getter has a vapor pressure of about 10 -1 at about 1,000 ° C. in terms of ease of evaporation.
の も の 1 Torr is required. For this reason, metals such as Ba and Mg are used in conventional getters in consideration of ease of evaporation and gas absorption capacity. Those B
Since metals such as a and Mg are easily oxidized in the air, generally, alloys of these metals stable in the air, for example, Ba and A
1, alloys of Mg and Al (generally BaAl alloys, MgAl
Alloys), and Ni, T
A mixture of additive metals such as i, Fe, and Zr at a predetermined ratio is used as a getter material. For example, Ba
A BaAl 4 alloy is used as the Al alloy, and a mixture of Ni powder and Ni powder in a ratio of about 1: 1 is used. BaAl 4 alloy has a flash temperature of about 1,100.
° C, but flashes easily when Ni powder is added. The getter obtained by mixing the additive metal powder such as Ni with the BaAl 4 alloy powder flashes when heated by high-frequency induction heating, electric resistance heating, laser light heating, etc., and the evaporated Ba particles are scattered to form the getter mirror film. Form. At this time, when the BaAl 4 alloy getter is heated by high frequency induction heating or the like, first, the additive metal such as Ni
Reacts with to generate high reaction heat. The reaction heat is added to main heating such as high-frequency induction heating to further heat the getter, so that the heating temperature of the getter rises and the getter flashes. That is, the getter in which the BaAl 4 alloy powder is mixed with the additive metal powder such as Ni flashes due to the combination of the main heating such as high-frequency induction heating and the reaction heat of Al and Ni. Therefore, an additive metal such as Ni is an essential component for flashing of a BaAl 4 alloy getter. (See, for example, JP-A-2-177234.)
【０００３】図４、図５は、従来のゲッターを取付けた
蛍光表示管の断面図である。まず図４の場合には、ガラ
スの基板５１とゲッター保持部材５４との間に、開口部
５３１を形成したスペーサー５３を配置し、その開口部
５３１内のゲッター保持部材５４上にゲッター５５を配
置してある。ゲッター保持部材５４は、多数のスリット
５４１を形成してあり、そのスリット５４１を介して蛍
光表示管のアノード等のある真空室５６と通じている。
なお５２は、側面板である。ゲッター５５は、図４
（ｂ）のように、Ｎｉメッキを施した小型の鉄製のリン
グ状容器５５１に、ＢａＡｌ4合金粉末とＮｉ粉末を
１：１で混合したゲッター材を充填してある。鉄製のリ
ング状容器５５１を用いずに、スペーサー５３とゲッタ
ー保持部材５４との間に、多数の透孔を形成し、Ｎｉメ
ッキを施した４２６合金板を設け、その４２６合金板
に、前記ゲッター材から成る薄膜状のゲッターを形成し
たものもある。ゲッター５５は、矢印Ｌ方向から照射さ
れるレーザー光によりフラッシュする。（例えば、前記
特開平２−１７７２３４号公報参照。）FIGS. 4 and 5 are cross-sectional views of a conventional fluorescent display tube to which a getter is attached. First, in the case of FIG. 4, a spacer 53 having an opening 531 is arranged between the glass substrate 51 and the getter holding member 54, and a getter 55 is arranged on the getter holding member 54 in the opening 531. I have. The getter holding member 54 has a number of slits 541 formed therein, and communicates with the vacuum chamber 56 having the anode and the like of the fluorescent display tube through the slits 541.
52 is a side plate. The getter 55 is shown in FIG.
As shown in (b), a small iron ring-shaped container 551 plated with Ni is filled with a getter material obtained by mixing BaAl 4 alloy powder and Ni powder at a ratio of 1: 1. Instead of using the iron ring-shaped container 551, a number of through holes are formed between the spacer 53 and the getter holding member 54, and a Ni-plated 426 alloy plate is provided. The getter is provided on the 426 alloy plate. There is also a thin film-like getter formed of a material. The getter 55 is flashed by a laser beam irradiated from the direction of arrow L. (See, for example, the above-mentioned JP-A-2-177234.)
【０００４】図５の場合は、側面板６２に取付けた保持
金具６３にゲッター６４を固着してある。ゲッター６４
の形状は、図４（ｂ）のゲッターと同じである。ゲッタ
ー６４は、矢印Ｌ方向から照射されるレーザー光により
フラッシュする。（例えば、特開平４−３１５７４０号
公報参照。）In the case of FIG. 5, a getter 64 is fixed to a holding member 63 attached to a side plate 62. Getter 64
Is the same as the getter of FIG. 4B. The getter 64 is flashed by a laser beam emitted from the direction of the arrow L. (See, for example, JP-A-4-315740.)
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従来のゲッターに含ま
れるＮｉ等の添加金属は、大気中で酸化され易いため、
大気焼成が困難である。大気焼成を行うには、ゲッター
を酸化ホウ素でコーティングして酸化防止手段を施し、
いわゆるフリッタブルゲッターにする必要がある。その
ためゲッターは、コストが高くなり、かつ酸化ホウ素に
よりゲッターのガス吸収能力が低下する。SUMMARY OF THE INVENTION Since an additive metal such as Ni contained in a conventional getter is easily oxidized in the atmosphere,
It is difficult to fire in air. To perform atmospheric baking, getters are coated with boron oxide to provide antioxidant means,
It is necessary to use a so-called flutterable getter. Therefore, the cost of the getter increases, and the gas absorbing ability of the getter decreases due to boron oxide.
【０００６】ゲッターのＮｉ等の添加金属は、ＢａＡｌ
合金等のＡｌと反応して反応熱を発生するために必要な
成分であって、ゲッター本来の機能、即ち蛍光表示管等
の真空容器内のガス吸収に直接寄与する成分ではない。
したがってＢａＡｌ4合金とＮｉを１：１で混合したゲ
ッターの場合、ゲッターを構成する成分の半分は、ガス
の吸収に寄与しない成分である。そのためゲッターは、
Ｎｉ等の添加金属により大型化し、ゲッターの占有スペ
ースが大きくなって、蛍光表示管等の電子管の薄型化、
小型化の障害になっている。またゲッターは、Ｎｉ等の
添加金属によりコストが高くなる。The additive metal such as getter Ni is BaAl.
It is a component necessary for generating reaction heat by reacting with Al such as an alloy, and is not a component directly contributing to the original function of the getter, that is, the gas absorption in a vacuum vessel such as a fluorescent display tube.
Therefore, in the case of a getter in which a BaAl 4 alloy and Ni are mixed at a ratio of 1: 1, half of the components constituting the getter are components that do not contribute to gas absorption. The getter therefore
Additive metal such as Ni increases the size, occupies a larger space for the getter, and reduces the thickness of electron tubes such as fluorescent display tubes.
This is an obstacle to miniaturization. In addition, the cost of the getter increases due to an additional metal such as Ni.
【０００７】従来のゲッターは、ゲッター材を充填する
容器やゲッターの保持金具、保持部材、スペーサー等が
必要であるが、それらは、ゲッターの取付けスペースを
大きくし、蛍光表示管等の電子管の小型化、薄型化の障
害になる。かつその容器や保持金具等は、加工費が高
く、またゲッターの取付け作業を複雑にするため、蛍光
表示管等の電子管のコストが高くなる。また薄膜状ゲッ
ターは、厚みは小さくなるが、高価な蒸着装置とゲッタ
ーのパターニングが必要になるため、蛍光表示管等のコ
ストが高くなり、かつ基板等の平板以外の場所にゲッタ
ーを形成することは困難である。また薄膜状ゲッター
は、厚みが薄いため、ガスの吸収に必要な充分な量のゲ
ッター材を取付けるには、ゲッターの配置面積を大きく
しなければならない。そのためゲッターの占有スペース
が大きくなる。The conventional getter requires a container for filling the getter material, a getter holding bracket, a holding member, a spacer, and the like. However, these require a large mounting space for the getter and reduce the size of the electron tube such as a fluorescent display tube. It becomes an obstacle to thinning and thinning. In addition, the cost of processing the containers and holding fittings is high, and the mounting operation of the getter is complicated, so that the cost of an electron tube such as a fluorescent display tube is high. Although the thin film getter has a small thickness, it requires an expensive vapor deposition device and patterning of the getter, so that the cost of the fluorescent display tube and the like increases, and the getter is formed at a place other than a flat plate such as a substrate. It is difficult. Further, since the thin film-like getter is thin, in order to mount a sufficient amount of getter material necessary for gas absorption, the getter arrangement area must be increased. Therefore, the space occupied by the getter increases.
【０００８】本願発明は、これらの点に鑑み、Ｎｉ等の
添加金属を含まない、Ｂａ、Ｍｇ等のガス吸収能力のあ
る金属、又はそれらの合金（ＢａＡｌ合金、ＭｇＡｌ合
金等）のみから成る蒸発性ゲッターを提供すること、レ
ーザー光、赤外線等の光エネルギーを用いた局部加熱手
段により、フラッシュの可能な蒸発性ゲッターを提供す
ること、及び取付けが簡単な形状の蒸発性ゲッターを提
供することを目的とする。[0008] In view of these points, the invention of the present application does not include an additive metal such as Ni or the like, and includes a metal having a gas absorbing ability such as Ba and Mg, or an alloy thereof (BaAl alloy, MgAl alloy or the like) alone. To provide a volatile getter, to provide a flashable evaporable getter by means of local heating using light energy such as laser light and infrared light, and to provide an evaporable getter having a shape that can be easily mounted. Aim.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本願発明のゲッターは、
ガス吸収能力のある金属又はその金属の合金から成り、
反応熱発生用の添加金属を含まない蒸発性ゲッターであ
る。本願発明のゲッターは、ガス吸収能力のある金属又
はその金属の合金から成り、反応熱発生用の添加金属を
含まない光エネルギー加熱用の蒸発性ゲッターである。
本願発明のゲッターは、ＢａＡｌ合金から成り、反応熱
発生用の添加金属を含まない光エネルギー加熱用の蒸発
性ゲッターである。本願発明のゲッターは、前記各ゲッ
ターをプレス成形により所定の形状に加工してある。本
願発明の電子管は、前記ゲッターのいずれかのゲッター
を取付けてある。本願発明の蛍光表示管は、前記ゲッタ
ーのいずれかのゲッターを取付けてある。本願発明の電
子管は、前記ゲッターのいずれかのゲッターを、光エネ
ルギー加熱によりフラッシュしてゲッターミラー膜を形
成してある。本願発明の蛍光表示管は、前記ゲッターの
いずれかのゲッターを、光エネルギー加熱によりフラッ
シュしてゲッターミラー膜を形成してある。The getter of the present invention comprises:
It is made of a metal or an alloy of the metal having a gas absorbing ability,
It is an evaporable getter that does not contain an additional metal for generating heat of reaction. The getter of the present invention is an evaporable getter for heating light energy, which is made of a metal having an ability to absorb gas or an alloy of the metal and does not contain an additional metal for generating reaction heat.
The getter of the present invention is an evaporable getter for heating light energy, which is made of a BaAl alloy and does not contain an additional metal for generating reaction heat. In the getter of the present invention, each of the getters is processed into a predetermined shape by press molding. The electron tube of the present invention has any one of the getters. The fluorescent display tube of the present invention is provided with any of the getters. In the electron tube of the present invention, one of the getters is flashed by light energy heating to form a getter mirror film. In the fluorescent display tube of the present invention, one of the getters is flashed by light energy heating to form a getter mirror film.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】本実施の形態の蒸発性ゲッター
は、ガス吸収能力のあるＢａＡｌ合金、例えばＢａＡｌ
4のみから成り、Ｎｉ，Ｆｅ，Ｔｉ，Ｚｒ等の添加金属
を含まない。また本実施の形態の蒸発性ゲッターは、レ
ーザー光加熱によりフラッシュする。本願の発明者は、
従来慣用されているＢａＡｌ4合金粉末にＮｉ粉末を
１：１の比率で混合した材料から成る蒸発性ゲッターに
ついて、そのゲッターのフラッシュに慣用されている種
々の加熱手段により実験を繰返した結果、Ｎｉ粉末は、
従来前記ゲッターのフラッシュに欠かすことのできない
成分と考えられていたが、レーザー光加熱の場合には、
必要でないことが分かった。即ちＢａＡｌ4合金ゲッタ
ーは、ＢａＡｌ4合金粉末にＮｉ粉末を混合しない場合
にも、レーザー光加熱によりフラッシュすることが分か
った。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An evaporable getter according to the present embodiment is a BaAl alloy having a gas absorbing ability, for example, a BaAl alloy.
4 and does not include additional metals such as Ni, Fe, Ti, and Zr. Further, the evaporable getter of the present embodiment flashes by heating with laser light. The inventor of the present application
Experiments were repeated on various types of evaporable getters made of a material obtained by mixing a conventionally used BaAl 4 alloy powder with a Ni powder at a ratio of 1: 1 using various heating means commonly used for flashing the getters. The powder is
Conventionally, it was considered an indispensable component in the getter flash, but in the case of laser light heating,
Turned out to be unnecessary. That is, it was found that the BaAl 4 alloy getter flashes by laser light heating even when the Ni powder is not mixed with the BaAl 4 alloy powder.
【００１１】本実施の形態においては、ＢａＡｌ4合金
粉末を、プレス成形して直径２．０ｍｍ、厚さ０．３ｍ
ｍの板状ゲッターに形成した。蛍光表示管の真空容器を
構成する基板の対向する一方の基板に、そのゲッタ−を
固着し、レーザー光加熱によりフラッシュして他方の基
板にゲッターミラー膜を形成した。両基板の距離は、
１．４ｍｍ、レーザー（ＹＡＧ）の出力は、０．２５〜
２．５Ｊ、レーザービーム径は０．４ｍｍ、レーザーと
ゲッターとの距離は、１．２ｍｍに設定した。In this embodiment, BaAl 4 alloy powder is press-molded to have a diameter of 2.0 mm and a thickness of 0.3 m.
m of a plate-like getter. The getter was adhered to one of the substrates constituting the vacuum vessel of the fluorescent display tube, and the getter mirror film was formed on the other substrate by flashing by heating with laser light. The distance between both substrates is
1.4mm, laser (YAG) output is 0.25-
2.5J, the laser beam diameter was set to 0.4 mm, and the distance between the laser and the getter was set to 1.2 mm.
【００１２】上記ゲッターを溶接により固着し、出力
０．２５Ｊと２．５Ｊのレーザー光で加熱したところ、
夫々直径３．０ｍｍと直径５．０ｍｍのゲッターミラー
膜が形成された。ゲッターをフリットガラスにより固着
し、上記と同条件で加熱した場合にも、溶接の場合と同
様のゲッターミラー膜が形成された。When the above-mentioned getter was fixed by welding and heated with laser beams having outputs of 0.25 J and 2.5 J,
Getter mirror films having a diameter of 3.0 mm and a diameter of 5.0 mm, respectively, were formed. Even when the getter was fixed with frit glass and heated under the same conditions as above, a getter mirror film similar to that in the case of welding was formed.
【００１３】本実施の形態のＢａＡｌ4合金ゲッター
は、Ｎｉを含まないから、大気焼成が可能になり、蛍光
表示管の製造が容易になる。また本実施の形態のＢａＡ
ｌ4合金ゲッターは、Ｎｉを含まないから、従来の半分
の大きさで従来のゲッターと同じガス吸収能力をもって
いる。したがって本実施の形態のＢａＡｌ4合金ゲッタ
ーは、その占有スペースが小さくなり、コストも低減す
る。Since the BaAl 4 alloy getter of the present embodiment does not contain Ni, it can be fired in the air and the manufacture of the fluorescent display tube is facilitated. Also, the BaA of the present embodiment
l 4 alloy getters, do not contain Ni, it has the same gas absorption capacity to the conventional getter in the size of a conventional half. Therefore, the space occupied by the BaAl 4 alloy getter of the present embodiment is reduced, and the cost is also reduced.
【００１４】本実施の形態は、ＢａＡｌ4合金ゲッター
について説明したが、ＢａＡｌ4合金に限らず、ＭｇＡ
ｌ合金等のガス吸収能力のある金属の合金から成るゲッ
ターであればよい。また大気中では扱い難いが、Ｂａ，
Ｍｇ等のガス吸収能力のある金属単体から成るゲッター
であってもよい。本実施の形態のゲッターの加熱は、レ
ーザー光による加熱について説明したが、レーザー光に
限らず、赤外線等の光エネルギーであればよい。The present embodiment has been described BaAl 4 alloy getter is not limited to the BaAl 4 alloy, MGA
Any getter made of an alloy of a metal having a gas absorbing ability such as an alloy may be used. Although it is difficult to handle in the atmosphere, Ba,
A getter made of a simple metal such as Mg having a gas absorbing ability may be used. Although the heating of the getter in this embodiment has been described with respect to heating by laser light, the invention is not limited to laser light, and light energy such as infrared light may be used.
【００１５】図１は、本願発明の実施の形態に係るゲッ
ターの斜視図である。図１のゲッターは、ＢａＡｌ4合
金粉末を材料に用いて、図１（ａ）は、円板状に、図１
（ｂ）は、楕円板状に、図１（ｃ）は、四角形の板状
に、図１（ｄ）は、線状に、夫々プレス成形してある。
形状は、これらに限らず、多角形でよく、また線状ゲッ
ターの断面は、多角形、円形であってもよい。ゲッター
の形状、大きさ、厚みは、ゲッターを配置する場所に応
じて選定することができ、１つの蛍光表示管に種々の形
状、大きさ、厚みのゲッターを組み合せて配置すること
もできる。本実施の形態のゲッターは、プレス成形によ
り加工するから、ゲッター材を充填する容器を必要とし
ないし、後述するように、簡単に取付けることができ
る。FIG. 1 is a perspective view of a getter according to an embodiment of the present invention. The getter of FIG. 1 uses BaAl 4 alloy powder as a material, and FIG.
1 (b) is formed into an elliptical plate, FIG. 1 (c) is formed into a rectangular plate, and FIG. 1 (d) is formed into a linear shape.
The shape is not limited to these, and may be a polygon. The cross section of the linear getter may be a polygon or a circle. The shape, size, and thickness of the getter can be selected according to the place where the getter is to be arranged, and getters of various shapes, sizes, and thicknesses can be combined and arranged in one fluorescent display tube. Since the getter of the present embodiment is processed by press molding, it does not require a container for filling the getter material, and can be easily attached as described later.
【００１６】図２は、本願発明の実施の形態に係るゲッ
ターを取付けた蛍光表示管の基板の斜視図である。図２
（ａ）は、円板状のゲッター１２１を、フリットガラス
等の接着剤１３１により基板１１に取付けた例であり、
図２（ｂ）は、四角形の板状のゲッター１２２を、基板
１１に固着した爪部材１３２により保持する例である。
なおゲッターの形状は、これらに限らない。図２の場合
には、ゲッター１２１，１２２は、プレス成形により加
工してあるから、ゲッター自身を直接固着又は保持する
ことができ、ゲッターの取付け手段が簡単になる。FIG. 2 is a perspective view of a substrate of a fluorescent display tube to which a getter according to an embodiment of the present invention is attached. FIG.
(A) is an example in which a disk-shaped getter 121 is attached to the substrate 11 by an adhesive 131 such as frit glass.
FIG. 2B shows an example in which a rectangular plate-like getter 122 is held by a claw member 132 fixed to the substrate 11.
The shape of the getter is not limited to these. In the case of FIG. 2, since the getters 121 and 122 are processed by press molding, the getters themselves can be directly fixed or held, and the means for attaching the getters is simplified.
【００１７】図３は、本願発明の実施の形態に係るゲッ
ターを、アルミニウム線により取付けた蛍光表示管の基
板の斜視図である。図３（ａ）は、円板状のゲッター２
２１を、アルミニウム線２３１により基板２１に取付け
た例で、アルミニウム線２３１をゲッター２２１の凹部
２２１１に係合し、アルミニウム線２３１の両端部２５
１を、基板２１上に予め被着形成してあるアルミニウム
層２４１に超音波溶接（超音波ワイヤーボンディング）
してある。図３（ａ）の場合には、アルミニウム線２３
１の両端を固着するのみでゲッター２２１を取付け又は
保持することができるから、ゲッターの取付け手段が簡
単になる。FIG. 3 is a perspective view of a substrate of a fluorescent display tube to which the getter according to the embodiment of the present invention is attached by an aluminum wire. FIG. 3A shows a disk-shaped getter 2.
21 is attached to the substrate 21 by an aluminum wire 231, the aluminum wire 231 is engaged with the concave portion 2211 of the getter 221, and both ends 25 of the aluminum wire 231 are
1 is ultrasonically welded (ultrasonic wire bonding) to an aluminum layer 241 previously formed on the substrate 21.
I have. In the case of FIG.
Since the getter 221 can be attached or held only by fixing both ends of the getter 1, the means for attaching the getter is simplified.
【００１８】図３（ｂ）は、開口部２２２１を有する円
板状のゲッター２２２を、アルミニウム線２３２により
基板２１に取付けた例で、アルミニウム線２３２の両端
部２５２を、基板２１上に予め被着形成してあるアルミ
ニウム層２４２に超音波溶接してある。図３（ｂ）の場
合には、アルミニウム線２３２の１端は、開口部２２２
１内に固着してあるから、図３（ａ）の凹部２２１１に
相当する凹部を形成しなくても、ゲッター２２２は、移
動しない。またゲッター２２２の取付けスペースが、小
さくなる。FIG. 3B shows an example in which a disk-shaped getter 222 having an opening 2221 is attached to the substrate 21 by an aluminum wire 232. Both ends 252 of the aluminum wire 232 are previously covered on the substrate 21. It is ultrasonically welded to the aluminum layer 242 formed. In the case of FIG. 3B, one end of the aluminum wire 232 is connected to the opening 222.
1, the getter 222 does not move even if a recess corresponding to the recess 2211 in FIG. 3A is not formed. Also, the space for mounting the getter 222 is reduced.
【００１９】図３（ｃ）は、円板状のゲッター２２３に
取付けたアルミニウム線２３３により、ゲッター２２３
を基板２１に取付けた例で、アルミニウム線２３３の両
端部２５３を、基板２１上に予め被着形成してあるアル
ミニウム層２４３に超音波溶接してある。図３（ｃ）の
場合には、基板２１とゲッター２２３の間に空間がある
から、基板２１にゲッター膜を形成することができ、か
つゲッター２２３をフラッシュした際、蒸発したＢａ粒
子は、アルミニウム線２３３の外側に飛散することがな
いから、ゲッター２２３を表示領域に近接して配置する
ことができる。したがってゲッターの取付けに必要なス
ペースを小さくできる。また必要に応じて基板２１に対
向する基板にゲッターミラー膜を形成することができる
から、一個のゲッターで両基板にゲッターミラー膜を形
成することもできる。FIG. 3C shows a getter 223 with an aluminum wire 233 attached to a disk-shaped getter 223.
Is attached to the substrate 21, and both ends 253 of the aluminum wire 233 are ultrasonically welded to the aluminum layer 243 previously formed on the substrate 21. In the case of FIG. 3C, since there is a space between the substrate 21 and the getter 223, a getter film can be formed on the substrate 21, and when the getter 223 is flashed, the Ba particles evaporated are aluminum. Since it does not scatter outside the line 233, the getter 223 can be arranged close to the display area. Therefore, the space required for mounting the getter can be reduced. Further, since a getter mirror film can be formed on the substrate facing the substrate 21 as required, a getter mirror film can be formed on both substrates with one getter.
【００２０】アルミニウム層２４１〜２４３は、アルミ
ニウム線２３１〜２３３を取付ける部分のみでなく、基
板２１の広い範囲を覆うように形成してもよい。そして
アルミニウム層２４１〜２４３は、蒸着、スパッタリン
グ、メッキ等により形成することができる。The aluminum layers 241 to 243 may be formed so as to cover not only a portion where the aluminum wires 231 to 233 are mounted but also a wide area of the substrate 21. The aluminum layers 241 to 243 can be formed by vapor deposition, sputtering, plating, or the like.
【００２１】図３の場合、ゲッター２２１〜２２３は、
直径２．０ｍｍ、厚さ０．３ｍｍのものを、またアルミ
ニウム線２２１〜２２３は、直径０．２ｍｍのものを用
い、アルミニウム薄膜２４１〜２４３は、膜厚１．２μ
ｍに形成した。アルミニウム線２３１〜２３３の溶接
は、超音波溶接に限らないが、アルミニウム層２４１〜
２４３が薄膜の場合には、アルミニウム層２４１〜２４
３の加熱による損傷を勘案すると、超音波溶接が適して
いる。In the case of FIG. 3, the getters 221 to 223
Those having a diameter of 2.0 mm and a thickness of 0.3 mm, the aluminum wires 221 to 223 having a diameter of 0.2 mm, and the aluminum thin films 241 to 243 having a thickness of 1.2 μm
m. The welding of the aluminum wires 231 to 233 is not limited to the ultrasonic welding.
When 243 is a thin film, aluminum layers 241 to 24
Taking into account the damage caused by heating in No. 3, ultrasonic welding is suitable.
【００２２】アルミニウム線２３１〜２３３、及びアル
ミニウム層２４１〜２４３は、アルミニウムに限らず、
他の金属、例えばＡｕ，Ａｇ，Ｃｕ等であってもよい
し、またアルミニウム線２３１〜２３３、及びアルミニ
ウム層２４１〜２４３は、同種の金属に限らず、異種の
金属であってもよい。またゲッター２２１〜２２３の形
状は、図３のものに限らない。図３の場合、ゲッター２
２１〜２２３の取付け又は保持は、アルミニウム線２３
１〜２３３を溶接するのみでよく、ゲッター材を充填す
る容器やゲッターの高価な取付け手段を必要としないか
ら、ゲッターやその取付け手段のコストを低減でき、か
つゲッターの取付け作業が簡単になる。The aluminum wires 231 to 233 and the aluminum layers 241 to 243 are not limited to aluminum.
Other metals, for example, Au, Ag, Cu, etc. may be used, and the aluminum wires 231 to 233 and the aluminum layers 241 to 243 are not limited to the same kind of metal but may be different kinds of metals. Further, the shapes of the getters 221 to 223 are not limited to those shown in FIG. In the case of FIG. 3, getter 2
The attachment or holding of 21 to 223 is performed by using the aluminum wire 23
No. 1 to 233 need only be welded, and no expensive container for filling the getter material or expensive getter mounting means is required, so that the cost of the getter and its mounting means can be reduced, and the work of mounting the getter is simplified.
【００２３】前記各実施の形態においては、ゲッターを
基板に取付ける例について説明したが、基板のみでな
く、蛍光表示管のフィラメント保持部材（フィラメント
アンカー、フィラメントサポート等）、グリッド等の部
品にも簡単に取付けることができる。前記各実施の形態
は、蛍光表示管について説明したが、蛍光表示管に限ら
ず、感光部材に光書き込みを行う蛍光発光プリントヘッ
ド、蛍光表示管以外の表示管、及びその他の電子管であ
ってもよい。In each of the above embodiments, the example in which the getter is attached to the substrate has been described. However, not only the substrate but also components such as the filament holding member (filament anchor, filament support, etc.) and the grid of the fluorescent display tube can be easily applied. Can be mounted on Although the above embodiments have been described with respect to the fluorescent display tube, the present invention is not limited to the fluorescent display tube, but may be a fluorescent light emitting print head for performing optical writing on a photosensitive member, a display tube other than the fluorescent display tube, and other electronic tubes. Good.
【００２４】[0024]
【発明の効果】本願発明のゲッターは、Ｂａ，Ｍｇ等の
ガス吸収能力のある金属、又はそれらの金属の合金のみ
から構成し、Ｎｉ等の添加金属を含まないから、ゲッタ
ーを酸化ホウ素でコーティングすることなく大気焼成が
できる。したがって蛍光表示管等の電子管の製造工程が
簡単になる。また本願発明のゲッターは、Ｎｉ等の添加
金属や酸化ホウ素のコーティングが必要でないから、ゲ
ッターのコストを低減でき、かつ酸化ホウ素によるゲッ
ターのガス吸収能力の低下もない。本願発明のゲッター
は、Ｎｉ等の添加金属を含まないから、小型になり、そ
のゲッターを取付けた蛍光表示管等の電子管も小型にな
り、薄くなる。The getter according to the present invention is composed of only a metal having an ability to absorb gas such as Ba or Mg, or an alloy of those metals, and does not contain an additional metal such as Ni. Therefore, the getter is coated with boron oxide. Air baking can be performed without performing. Therefore, the manufacturing process of an electron tube such as a fluorescent display tube is simplified. Further, the getter of the present invention does not require a coating of an additive metal such as Ni or boron oxide, so that the cost of the getter can be reduced, and the gas absorbing ability of the getter due to boron oxide does not decrease. Since the getter of the present invention does not contain an additive metal such as Ni, the size is small, and the electron tube such as a fluorescent display tube to which the getter is attached is also small and thin.
【００２５】本願発明のゲッターは、プレス成形により
所定の形状に加工するから、ゲッターの取付け場所に応
じて、任意の形状、大きさ、厚みのものを製造すること
ができ、かつ種々の形状、大きさ、厚みのゲッターを組
み合せて使用できるから、蛍光表示管等の電子管内部の
スペースを有効に利用してゲッターを取付けることがで
きる。そして薄膜状ゲッターのように取付け場所の制約
を受けることがない。また本願発明のゲッターは、ゲッ
ター材を充填する容器やゲッターの高価な取付け手段が
必要でないから、ゲッターやその取付け手段のコストを
低減でき、また薄膜状ゲッターのように、高価な蒸着装
置やゲッターのパターニングが必要でないから、蛍光表
示管等の電子管のコストを低減できる。本願発明は、金
属線を溶接するのみでゲッターを取付け又は保持するこ
とができ、また金属線を使わずに接着剤等によりゲッタ
ーを直接取付けることもできるから、ゲッターの取付け
作業が簡単になる。Since the getter of the present invention is processed into a predetermined shape by press molding, it can be manufactured in an arbitrary shape, size and thickness depending on the place where the getter is mounted. Since a getter having a size and a thickness can be used in combination, the getter can be attached by effectively utilizing the space inside the electron tube such as a fluorescent display tube. Further, there is no restriction on the mounting place unlike the thin film getter. Further, the getter of the present invention does not require a container for filling the getter material and expensive mounting means for the getter, so that the cost of the getter and its mounting means can be reduced, and an expensive vapor deposition device or getter such as a thin film getter can be obtained. Since patterning is not required, the cost of an electron tube such as a fluorescent display tube can be reduced. According to the present invention, the getter can be attached or held only by welding the metal wire, and the getter can be directly attached by an adhesive or the like without using the metal wire, so that the operation of attaching the getter is simplified.
【図１】本願発明の実施の形態に係るゲッターの斜視図
である。FIG. 1 is a perspective view of a getter according to an embodiment of the present invention.
【図２】本願発明の実施の形態に係る第１取付け手段に
よりゲッターを取付けた蛍光表示管の基板の斜視図であ
る。FIG. 2 is a perspective view of a substrate of the fluorescent display tube to which a getter is attached by first attaching means according to the embodiment of the present invention.
【図３】本願発明の実施の形態に係る第２取付け手段に
よりゲッターを取付けた蛍光表示管の基板の斜視図であ
る。FIG. 3 is a perspective view of a substrate of a fluorescent display tube to which a getter is attached by second attaching means according to the embodiment of the present invention.
【図４】従来のゲッターを取付けた蛍光表示管の断面図
である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a fluorescent display tube to which a conventional getter is attached.
【図５】従来のゲッターを取付けた別の蛍光表示管の断
面図である。FIG. 5 is a sectional view of another fluorescent display tube to which a conventional getter is attached.
１１、２１ 蛍光表示管の基板 １２１，１２２，２２１，２２２，２２３ ゲッター １３１ フリットガラス １３２ 爪部材 ２２１１ 凹部 ２２２１ 開口部 ２３１，２３２，２３３ アルミニウム線 ２４１，２４２，２４３ アルミニウム薄膜 ２５１，２５２，２５３ アルミニウム線の端部の溶
接部11, 21 fluorescent display tube substrate 121, 122, 221, 222, 223 getter 131 frit glass 132 claw member 2211 concave portion 2221 opening 231, 232, 233 aluminum wire 241, 242, 243 aluminum thin film 251, 252, 253 aluminum wire End welds
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石毛省悟 千葉県茂原市大芝629双葉電子工業株式会 社内 Ｆターム(参考） 4K018 AA15 CA11 KA32 5C032 AA06 JJ07 JJ10 5C035 JJ09 JJ11 JJ19 5C036 EE14 EE19 EF01 EF02 EF05 EF07 EF08 EG02 EG50 EH11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Satoru Ishige 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba Futaba Electronics Industry Co., Ltd.In-house F-term (reference) 4K018 AA15 CA11 KA32 5C032 AA06 JJ07 JJ10 5C035 JJ09 JJ11 JJ19 5C036 EE14 EE19 EF01 EF02 EF05 EF07 EF08 EG02 EG50 EH11
Claims (8)
合金から成り、反応熱発生用の添加金属を含まないこと
を特徴とする蒸発性ゲッター。1. An evaporable getter comprising a metal having a gas absorbing ability or an alloy of the metal and not containing an additional metal for generating heat of reaction.
合金から成り、反応熱発生用の添加金属を含まないこと
を特徴とする光エネルギー加熱用の蒸発性ゲッター。2. An evaporable getter for heating light energy, comprising a metal having an ability to absorb gas or an alloy of the metal and containing no additional metal for generating reaction heat.
添加金属を含まないことを特徴とする光エネルギー加熱
用の蒸発性ゲッター。3. An evaporable getter for heating light energy, comprising a BaAl alloy and containing no additional metal for generating reaction heat.
の蒸発性ゲッターの材料のみをプレス成形により所定の
形状に加工してあることを特徴とする蒸発性ゲッター。4. An evaporable getter, wherein only the material of the evaporable getter according to claim 1 is processed into a predetermined shape by press molding.
の蒸発性ゲッターを取付けた電子管5. An electron tube to which the evaporable getter according to claim 1 is attached.
の蒸発性ゲッターを取付けた蛍光表示管。6. A fluorescent display tube provided with the evaporable getter according to claim 1.
の蒸発性ゲッターを、光エネルギー加熱によりフラッシ
ュしてゲッターミラー膜を形成してある電子管。7. An electron tube in which the getter mirror film is formed by flashing the evaporable getter according to claim 1 by light energy heating.
の蒸発性ゲッターを、光エネルギー加熱によりフラッシ
ュしてゲッターミラー膜を形成してある蛍光表示管。8. A fluorescent display tube in which a getter mirror film is formed by flashing the evaporable getter according to claim 1 by light energy heating.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001141854A JP2002343233A (en) | 2001-05-11 | 2001-05-11 | Evaporative getter and electron tube provided with evaporative getter |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7459842B2 (en) | 2004-01-26 | 2008-12-02 | Futaba Corporation | Self-luminous elements and method for producing the same |
| KR101224385B1 (en) | 2011-02-11 | 2013-01-21 | 하호 | Getter for Low Temperature and Method for Preparing the Same |
-
2001
- 2001-05-11 JP JP2001141854A patent/JP2002343233A/en active Pending
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