JP2002291220A

JP2002291220A - リニアモータ

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Publication number: JP2002291220A
Application number: JP2002007931A
Authority: JP
Inventors: Koji Watanabe; 浩司渡邊
Original assignee: KURONOFANGU KK
Current assignee: KURONOFANGU KK
Priority date: 2001-01-17
Filing date: 2002-01-16
Publication date: 2002-10-04
Anticipated expiration: 2022-01-16
Also published as: JP4068848B2

Abstract

(57)【要約】【課題】可動部の発熱の問題を解消できるリニアモー
タを提供する。【解決手段】電磁石用コイルを複数個連続的に配列
し、これらの電磁石用コイルからの磁束との相互作用に
より走行可能に永久磁石体を組合わせたリニアモータで
ある。電磁石用コイルはスター結線により接続されたＵ
相、Ｖ相、Ｗ相の各コイル１２を含み、これらの各相の
コイルは中空軸状のセンターコア１１の周囲に、それら
の磁極軸がセンターコアの軸芯と同じ向きになるように
して永久磁石体の走行範囲の全長にわたって直列的に装
着されている。永久磁石体は電磁石用コイルを囲むこと
ができるような環状形状を持ち、かつ磁極軸に関して各
相のコイルの３倍の長さ寸法を持つ複数の永久磁石２１
から成り、これら複数の永久磁石は隣接する磁極が互い
に反対向きになり、かつ磁極軸がセンターコアの軸芯と
同じ向きになるように直列的に組合わされている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はリニアモータに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】リニアモータには様々なタイプのものが
あるが、リニアモータカーのように大きな駆動力を必要
としない場合には、永久磁石と電磁石コイルとの組合わ
せで構成されることが多い。このような永久磁石と電磁
石コイルとの組合わせによるリニアモータは、例えば半
導体製造装置の分野において精密用マイクロステージ、
または精密位置決めステージの駆動源としての応用が考
えられている。これは、リニアモータによる駆動機構
は、これまで主流であったボールネジ駆動機構に比べて
駆動速度が高いうえに位置決め精度が高く、また高い繰
り返し位置決め精度、駆動時と停止時のオーバシュー
ト、アンダーシュートが小さく、等速移動時の速度リッ
プルが小さいという利点があるからである。

【０００３】図１４を参照して、永久磁石と電磁石コイ
ルとの組合わせによるリニアモータについて簡単に説明
する。図１４において、断面略Ｕ形状のヨーク１０１の
互いに対向する内壁にそれぞれ、複数の永久磁石１０２
が間隔をおいて配置されている。ヨーク１０１の互いに
対向する内壁の間には、可動コイル部１０３がヨーク１
０１の延在方向に可動となるように設けられる。可動コ
イル部１０３には、可動コイル部１０３の発生する磁束
と隣接する永久磁石１０２からの磁束との相互作用によ
り駆動力が生じ、この駆動力により可動コイル部１０３
は図示しないガイド機構にガイドされて移動する。可動
コイル部１０３には、通常、被搬送体、例えば半導体ウ
エハを搭載するためのテーブル（ステージ）が組み合わ
される。

【０００４】なお、リニアモータとして三相駆動型を用
いる場合、可動コイル部１０３は、Ｕ相コイル、Ｖ相コ
イル、Ｗ相コイルの３つのコイルを１組とする組合わせ
体を基本要素として備えることになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、これま
でのリニアモータは、固定永久磁石と可動コイルとの組
合わせによるものが普通であり、このようなリニアモー
タには以下のような問題点があった。

【０００６】第１の問題点は、可動コイル部１０３に電
力を供給する電力ケーブルが必要であり、可動コイル部
１０３は可動であるので、この電力ケーブルもまた可動
コイル部１０３の移動に追随できるように可撓性にする
必要がある。そして、このような可撓性の電力ケーブル
と可撓性のケーブル支持装置は、断線予防のため定期的
なメンテナンス(交換)が必要となる。また、可撓性のケ
ーブル支持装置の設置スペース(空間)が必要になる。

【０００７】第２の問題点は、可動コイル部１０３にお
ける発熱が大きいにもかかわらず、可動であるが故に冷
却を行うことが難しく、かつ大きな占有スペースを必要
とするので実現のためには複雑な冷却構造が必要とな
る。可動コイル部１０３における発熱の問題を解消しな
いと、可動コイル部１０３周辺の温度が上昇し、例えば
テーブルに搭載される半導体ウエハのような被搬送体に
反りや膨張のような変形が生じ、被搬送体の精度維持が
困難になるというような悪影響を及ぼすことになる。

【０００８】第３の問題点は、図１４のようなタイプで
は、可動コイル部１０３におけるコイルが円筒状あるい
は矩形状であるのに対し、永久磁石は互いに対向し合う
２面に設けられるだけであるので、推力発生に作用する
有効磁束が少ない。推力を大きくするために可動コイル
部１０３の励磁電流を大きくすると、上記の第２の問題
点の解消が更に難しくなる。

【０００９】第４の問題点としては、特に平面対向型
（フラットベッド型）リニアモータにおいては、固定子
側に板状の永久磁石を複数配置し、それに対峙するよう
に可動子側はヨークにコイルを複数装着し、その際、永
久磁石とコイルは途切れるように断片的な配置構成をさ
れているので、可動子が軸方向に移動する際には必ずヨ
ークと永久磁石とが吸引する位置と吸引が無くなる位置
が規則的かつ連続的に生じる現象(コギング)が見られ
る。これは所謂速度ムラを発生させる直接的な要因とし
て考えられる。

【００１０】そこで、本発明の課題は、上記の問題点を
解消することのできるリニアモータを提供することにあ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、電磁石
用コイルを複数個連続的に配列し、これらの電磁石用コ
イルからの磁束との相互作用によりこれらの電磁石用コ
イルに沿って走行可能に永久磁石体を組合わせたことを
特徴とするリニアモータが提供される。

【００１２】本リニアモータにおいては、前記電磁石用
コイルはスター結線により接続されたＵ相コイル、Ｖ相
コイル、Ｗ相コイルを含み、これらの各相のコイルは中
空軸状のセンターコアの周囲に、それらの磁極軸が前記
センターコアの軸芯と同じ向きになるようにして前記永
久磁石体の走行範囲にわたって直列的に装着される。

【００１３】あるいはまた、前記電磁石用コイルはデル
タ結線により接続されたＵ相コイル、Ｖ相コイル、Ｗ相
コイルを含み、これらの各相のコイルは中空軸状のセン
ターコアの周囲に、それらの磁極軸が前記センターコア
の軸芯と同じ向きになるようにして前記永久磁石体の走
行範囲にわたって直列的に装着される。

【００１４】本リニアモータにおいてはまた、前記永久
磁石体は前記電磁石用コイルを囲むことができるような
環状あるいは略Ｕ形の断面形状を持ち、かつ中心軸方向
と平行に着磁された磁極軸に関して前記各相のコイルの
３倍の長さ寸法を持つ複数の永久磁石から成り、これら
複数の永久磁石は隣接する磁極が互いに反対向きになる
ように直列的に組合わされる。

【００１５】あるいはまた、前記永久磁石体は前記電磁
石用コイルを囲むことができるような環状あるいは略Ｕ
形の断面形状を持ち、かつ長さ方向に関して前記各相の
コイルの３倍の長さ寸法を持つ中心軸に向かって放射状
（径方向）に着磁された複数の永久磁石から成り、これ
ら複数の永久磁石は隣接する磁極が互いに反対向きにな
るように直列的に組合わされる。

【００１６】本リニアモータにおいては、前記永久磁石
体の外面側に磁性体による筒状のヨークを設けることが
好ましい。

【００１７】本リニアモータにおいてはまた、隣り合う
永久磁石の間に磁性体によるスペーサ部材を介在させて
も良いし、隣り合う各相のコイルの間に磁性体によるス
ペーサ部材を介在させても良い。

【００１８】本リニアモータにおいては、前記センター
コアは、前記永久磁石体が直線運動するような直線形状
であって良いし、前記センターコアをその延在方向の形
状が円形状または円の一部を切り欠いた略Ｃ形状を有す
るようにすることにより、前記永久磁石体が円形状また
は略Ｃ形状の軌道に沿った周回運動または往復運動を行
うようにすることができる。

【００１９】本リニアモータにおいては更に、前記永久
磁石体の内面側であって前記電磁石用コイルの外面側
に、前記電磁石用コイルを収容するようにして前記永久
磁石体の走行範囲にわたる筒状体が設けられ、該筒状体
と前記永久磁石体の内面側との間及び前記筒状体と前記
電磁石用コイルの外面側との間にはそれぞれ、ギャップ
ができるようにされる。

【００２０】本リニアモータにおいては更に、前記セン
ターコアの中空部及び前記電磁石用コイルの外面側と前
記筒状体の内面側との間の前記ギャップを冷却空間とす
ることができる。

【００２１】本リニアモータにおいては更に、前記永久
磁石体にはガイドブロックが組み合わされ、該ガイドブ
ロックは前記永久磁石体の走行方向に沿ってベース体に
配置されたガイドにより案内されるように構成すること
ができる。

【００２２】本リニアモータにおいては更に、前記永久
磁石体はケースに収容されており、該ケースの内面側に
は前記筒状体の外面に沿ってスライド可能な第１のすべ
り軸受が少なくとも１個設けられ、前記ケースの側面側
にはその側方に延びる補助部材が設けられ、該補助部材
には走行方向に平行な貫通穴が設けられると共にその内
面側に第２のすべり軸受が設けられ、前記筒状体に平行
かつ走行方向に延在するようにガイド用案内部材を設け
て前記第２のすべり軸受に該ガイド用案内部材を挿通す
ることにより前記永久磁石体の走行案内を行なうように
することができる。

【００２３】本リニアモータにおいては更に、前記電磁
石用コイルを収容した前記筒状体は、ベース体に設けら
れた２つのブラケット間に固定される。

【００２４】本リニアモータにおいては更に、前記永久
磁石体の走行方向に沿ってリニアスケールが配置され、
前記永久磁石体には前記リニアスケールに対向するよう
にエンコーダヘッドが設けられ、該エンコーダヘッドか
らの検出信号は可撓性のケーブルを介して制御ドライバ
ーに入力される。

【００２５】本リニアモータにおいては更に、前記永久
磁石体を含む可動部側、前記ブラケットを含む固定部側
にはそれぞれ、一方に位置検出用の被検出片が設けら
れ、他方には前記被検出片を検出するためのセンサが設
けられる。

【００２６】本リニアモータにおいては更に、前記電磁
石用コイルはＵ相コイル、Ｖ相コイル、Ｗ相コイルを１
組としてこれらを順に直列的に配列して組合わせたもの
を複数組含み、これらの複数組のコイルを前記中空軸状
のセンターコアの周囲に、それらの磁極軸が前記センタ
ーコアの軸芯と同じ向きになるようにして前記永久磁石
体の走行範囲にわたって直列的に装着される。

【００２７】本リニアモータにおいては更に、前記複数
組における複数の前記Ｕ相コイル、複数の前記Ｖ相コイ
ル、複数の前記Ｗ相コイルはそれぞれ相毎に直列接続さ
れてスター結線により接続され、しかも２つの相におけ
る複数のコイルは奇数組における磁極に対して偶数組に
おける磁極が反対向きになるように接続され、残りの１
つの相における複数のコイルは奇数組における磁極が前
記２つの相における複数のコイルの前記奇数組における
磁極と反対向きであり、偶数組における磁極は前記２つ
の相における複数のコイルの前記偶数組における磁極と
反対向きになるように接続される。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の第１の実施の形
態によるリニアモータについて説明する。図１は、リニ
アモータの概略構成を示し、図２はリニアモータを４つ
の方向から見た図である。つまり、図２（ａ）は平面
図、図２（ｂ）は図２（ａ）の下側から見た側面図、図
２（ｃ）は図２（ａ）の上側から見た側面図、図２
（ｄ）は図２（ａ）の右側から見た図である。

【００２９】図１、図２において、リニアモータは、電
磁石用コイル（以下、コイルと略称する）を複数個連続
的に配列したものを収容した軸体（以下、ステータと呼
ぶ）１０と、これらのコイルからの磁束との相互作用に
よりステータ１０の延在方向と同じ方向に走行可能とし
た可動磁石体（以下、ムーバと呼ぶ）２０とを含む。ス
テータ１０は、ベース３０上に間隔をおいて固定された
２つのブラケット３１の間に架け渡されている。

【００３０】図３をも参照して、ステータ１０とムーバ
２０の内部構造について説明する。ステータ１０は、中
空軸状のセンターコア１１と、センターコア１１の周囲
に装着された複数のコイル１２と、複数のコイル１２の
外周側をカバーするように組み合わされたパイプ１３
（筒状体）とを含む。コイル１２は制御ドライバー４０
のモータ接続端子に接続されたＵ相コイル、Ｖ相コイ
ル、Ｗ相コイルを含み、これらの各コイルはセンターコ
ア１１の周囲にその磁極軸がセンターコア１１の軸芯に
平行になるようにしてムーバ２０の走行範囲のほぼ全長
にわたって装着されている。

【００３１】ムーバ２０は、コイル１２を囲むことがで
きるような環状の複数の永久磁石２１と、これら複数の
永久磁石２１を収容している磁石ケース２２とを含む。
複数の永久磁石２１は、同じ長さ寸法を持ち、しかも隣
接する磁極が互いに反対向きになり、かつ磁極軸がセン
ターコア１１の軸芯に平行になるように直列的に組合わ
されて磁石ケース２２に収容されている。コイル１２、
永久磁石２１のサイズは、推力、リニアモータ全体の大
きさ等の条件により変わるが、すべての永久磁石２１は
軸方向の寸法が等しく、また軸方向の寸法がコイル１２
の磁極軸方向の寸法の３倍の長さになるように作られ
る。

【００３２】パイプ１３の内径はコイル１２の外径より
やや大きく、外径が永久磁石２１の内径よりやや小さく
なるようにされている。このようにして、パイプ１３の
外面側と永久磁石２１の内面側との間及びコイル１２の
外面側とパイプ１３の内面側との間にはそれぞれ、ギャ
ップができるようにされている。そして、センターコア
１１の中空部及びコイル１２の外面側とパイプ１３の内
面側との間のギャップを気体や液体による冷却空間とし
て利用できるようにしている。パイプ１３にはステンレ
ス等の非磁性金属材料が用いられるが、他の材料、例え
ば樹脂材料でも良い。

【００３３】なお、ムーバ２０は、パイプ１３の外周に
対してギャップを維持した状態、すなわちパイプ１３に
非接触状態で移動させる必要がある。これは、以下に述
べるガイドブロック２３とガイドレール３２により実現
される。すなわち、磁石ケース２２には２つのガイドブ
ロック２３が組み合わされ、これら２つのガイドブロッ
ク２３がムーバ２０の走行方向に沿うようにベース３０
上に配置されたガイドレール３２によりスライド案内さ
れるようにしている。

【００３４】なお、パイプ１３の外面側と永久磁石２１
の内面側との間のギャップは一定である必要は無い。言
い換えれば、上記のギャップが全長にわたって一定であ
ってもあるいは上下方向、左右方向に関してばらつきが
あったとしても推力は同じであり、推力ムラなどの影響
を受けない。これは、永久磁石２１が環状であり、その
内側にコイル１２があるからである。このことにより、
ムーバ２０とステータ１０には厳しい取付け精度が要求
されず、それらを構成する部品にも厳しい加工精度が要
求されない。

【００３５】上記の各構成要素の材料について一例をあ
げると、センターコア１１は、ヨークとしての機能を持
たせるために磁性体、例えば鉄が用いられ、パイプ状に
することで機械的強度の向上を図っている。パイプ１３
はＳＵＳ３０４や非磁性体のステンレス等であることが
好ましい。

【００３６】これは、パイプ１３をアースすることでコ
イル１２から発生する電磁波をシールドできるからであ
る。永久磁石２１は磁石としての性能の高い、例えばネ
オジウム磁石が用いられる。特に、永久磁石２１の磁極
軸方向の寸法はすべて同じにする必要がある。

【００３７】磁石ケース２２としては軽量化を考慮する
場合にはアルミ合金等が好ましいが、この限りではなく
例えば石材等でも良い。

【００３８】いずれにしても、磁石ケース２２は、図２
に示されるように、複数の永久磁石２１を収容固定して
いるケース本体部２２−１と、その両端部に取り付けら
れる蓋部材２２−２との３ピース構成で一体化され、十
分な機械的強度を持たせることができる。

【００３９】センターコア１１の中空部には、ブラケッ
ト３１を利用して冷却用流体、例えば油等の液体やエア
ー等の気体を流通させることでコイル１２の内側からの
冷却を行う。一方、コイル１２の外面側とパイプ１３の
内面側との間のギャップには、ブラケット３１を利用し
て冷却用流体、同様に、冷却用の液体や気体を流通させ
ることでコイル１２の外側からの冷却を行う。

【００４０】図１、図２に戻って、ベース３０上にはム
ーバ２０の走行方向に沿ってリニアエンコーダ用のリニ
アスケール３３が配置され、磁石ケース２２にはリニア
スケール３３に対向するようにエンコーダヘッド２４が
設けられている。エンコーダヘッド２４からの検出信号
は可撓性の信号ケーブルを持つキャタピラ状のケーブル
ベヤ（登録商標）２５を介して制御ドライバー４０に入
力される。エンコーダヘッド２４からの検出信号はムー
バ２０の位置決め制御に利用されることは言うまでも無
い。また、ステータ１０内の各コイル１２には、ブラケ
ット３１を介して三相用の電力ケーブル３５に接続さ
れ、電力ケーブル３５は制御ドライバー４０に接続され
ている。制御ドライバー４０は、単相１００Ｖの交流電
源５０に接続する場合、単相−三相変換器を内蔵し、Ｕ
相、Ｖ相、Ｗ相の各相がＵ相コイル、Ｖ相コイル、Ｗ相
コイルに接続される。但し、後の説明で明らかになるよ
うに、電源のＵ相、Ｖ相、Ｗ相がＵ相コイル、Ｖ相コイ
ル、Ｗ相コイルに一対一の関係で接続されるとは限らな
い。電源とＵ相コイル、Ｖ相コイル、Ｗ相コイルとの接
続には様々な形態がある。制御ドライバー４０にはま
た、制御データ入力手段及びデータ処理手段としてパソ
コン４１が接続され、パソコン４１から与えられるデー
タに基づき、エンコーダヘッド２４からの検出信号を用
いてムーバ２０の位置決め制御や速度制御をフルクロー
ズドループ制御で実行する。このような制御ドライバー
４０は市販のものを使用することができる。

【００４１】図２において、磁石ケース２２の両側には
それぞれ、位置検出用の被検出片２６が設けられ、２つ
のブラケット３１にはそれぞれ、被検出片２６を検出す
るためのセンサ３６が設けられている。センサ３６の検
出信号は制御ドライバー４０に送られ、ムーバ２０の原
点位置決め、あるいは暴走防止に用いられる。すなわ
ち、被検出片２６がセンサ３６で検出された位置をムー
バ２０の走行開始時の原点とし、また走行中に何らかの
故障でムーバ２０が暴走したとしても、被検出片２６が
センサ３６で検出される位置まで到達するとムーバ２０
の走行が強制的に停止される。なお、被検出片２６は可
動部分であればどこでも良く、センサ３６も被検出片２
６を検出できる箇所であれば固定部分にどこでも良い。
また、被検出片２６は固定部分に設置されても良く、こ
の場合、センサ３６は被検出片２６を検出可能な可動部
分に設置されれば良い。

【００４２】図示していないが、磁石ケース２２の上面
側には被駆動体としてのテーブルが装着される。

【００４３】図４は、Ｕ相コイル、Ｗ相コイル、Ｖ相コ
イルの基本構成を示す。３つのＵ相コイルＵ１、Ｗ相コ
イルＷ１、Ｖ相コイルＶ１がスター結線されている。各
コイルは巻き始め端Ｓ、巻き終り端Ｅを有し、２つのコ
イルの巻き終り端Ｅと１つのコイルの巻き始め端Ｓ、こ
こではＷ相コイルＷ１の巻き始め端Ｓとがコモン端子に
共通接続される。

【００４４】図５は、３つのＵ相コイル、Ｗ相コイル、
Ｖ相コイルを１組とする基本構成を３組、すなわち合計
９個のコイルを備える場合の接続と制御ドライバー４０
を使用する場合の接続例を示す。ここでは、Ｕ相コイル
については第１のコイルＵ１の巻き始め端Ｓを制御ドラ
イバー４０のＵ端子に接続し、第１のコイルＵ１の巻き
終り端Ｅを第２のコイルＵ２の巻き終り端Ｅに接続して
いる。そして、第２のコイルＵ２の巻き始め端Ｓを第３
のコイルＵ３の巻き始め端Ｓに接続し、第３のコイルＵ
３の巻き終り端Ｅをコモン端子に接続している。同様
に、Ｗ相コイルについては第１のコイルＷ１の巻き終り
端Ｅを制御ドライバー４０のＶ端子に接続し、第１のコ
イルＷ１の巻き始め端Ｓを第２のコイルＷ２の巻き始め
端Ｓに接続している。そして、第２のコイルＷ２の巻き
終り端Ｅを第３のコイルＷ３の巻き終り端Ｅに接続し、
第３のコイルＷ３の巻き始め端Ｓをコモン端子に接続し
ている。一方、Ｖ相コイルについては第１のコイルＶ１
の巻き始め端Ｓを制御ドライバー４０のＷ端子に接続
し、第１のコイルＶ１の巻き終り端Ｅを第２のコイルＶ
２の巻き終り端Ｅに接続している。そして、第２のコイ
ルＶ２の巻き始め端Ｓを第３のコイルＶ３の巻き始め端
Ｓに接続し、第３のコイルＶ３の巻き終り端Ｅをコモン
端子に接続している。

【００４５】簡単に言えば、図５のように９個のコイル
を備える場合には、２つの相については３つのコイルの
うちの中間のコイルをその両側のコイルと巻き始め端
Ｓ、巻き終り端Ｅを逆にして接続し、残りの１つの相に
ついては３つのコイルのうちの両側のコイルをそれらの
間のコイルと巻き始め端Ｓ、巻き終り端Ｅを逆にして接
続している。

【００４６】これを１２個以上、すなわち４組以上の複
数の組のコイルを有する場合について言えば、複数組に
おける複数のＵ相コイル、複数のＷ相コイル、複数のＶ
相コイルはそれぞれ相毎に直列接続されて制御ドライバ
ー４０にスター結線により接続される。しかも、２つの
相における複数のコイルは奇数組における磁極に対して
偶数組における磁極が反対向きになるように接続され、
残りの１つの相における複数のコイルは奇数組における
磁極が前記２つの相における複数のコイルの前記奇数組
における磁極と反対向きであり、偶数組における磁極は
前記２つの相における複数のコイルの前記偶数組におけ
る磁極と反対向きになるように接続されることになる。

【００４７】図６は、上記のようなＵ相コイル、Ｗ相コ
イル、Ｖ相コイルに接続される制御ドライバー４０の電
圧波形を示している。言うまでも無く、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ
相の電圧波形はそれぞれ１２０度の位相差を持つ。

【００４８】図７は、図５の各コイルに図６の電圧を発
生する制御ドライバー４０を接続した場合について、図
６のタイミング、、において各コイル端部に誘起
される磁極の変化を示した図である。

【００４９】ここで、仮に図７に示すような関係で、図
８に示すように４つのコイルが直列配置されているもの
とする。そして、各コイル端部に図８（ａ）のような磁
極が誘起されるものとすると、実際には、図８（ｂ）に
示すように吸引し合う磁極が隣接する部分に磁極は発生
せず、反発し合う磁極が隣接する部分と、最も外側のコ
イルの外側端部に、前記の反発し合う磁極と反対の磁極
が発生する。

【００５０】図９は、上記の点を考慮して、図７
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のように各コイル端部に誘起さ
れた磁極により実際に９個のコイルの組合わせ体に発生
する磁極を示している。

【００５１】次に、本リニアモータの駆動原理について
説明する。以下では、ムーバ２０が４個の永久磁石２１
から成るものとして説明する。

【００５２】図１０〜図１２はそれぞれ、図９（ａ）〜
図９（ｃ）のように磁極が変化した時にムーバ２０がコ
イルの磁束との間の相互作用により一方向（ここでは図
中、左方向）に移動する原理を示している。

【００５３】図１０において、ムーバ２０が図１０
（ａ）に示す位置にある時に、ステータ１０における９
個のコイル１２により図１０（ａ）（図９ａに対応）に
示すような磁極が発生したとすると、図１０（ｂ）に示
すように、ムーバ２０はコイル１個分だけ図中左方向に
移動する。

【００５４】次に、ムーバ２０が図１０（ｂ）に示す位
置に移動した状態にある時に、９個のコイル１２により
図１１（ａ）（図９ｂに対応）に示すような磁極が発生
したとすると、図１１（ｂ）に示すように、ムーバ２０
はコイル２個分だけ図中左方向に移動する。

【００５５】更に、ムーバ２０が図１１（ｂ）に示す位
置に移動した状態にある時に、９個のコイル１２により
図１２（ａ）（図９ｃに対応）に示すような磁極が発生
したとすると、図１２（ｂ）に示すように、ムーバ２０
はコイル２個分だけ図中左方向に移動する。

【００５６】続いて、ムーバ２０が図１２（ｂ）に示す
位置に移動した状態にある時に、９個のコイル１２によ
り図１３（ａ）（図９ａに対応）に示すような磁極が発
生したとすると、図１３（ｂ）に示すように、ムーバ２
０はコイル２個分だけ図中左方向に移動する。

【００５７】上記の説明によれば、ムーバ２０はコイル
１個当たりの寸法で決まる距離だけステップ状に移動す
るように思われるが、実際にはそうはならない。これ
は、本形態によるリニアモータの駆動原理を、図６で示
した〜のタイミングだけについて説明しているから
であり、実際にはＵ相、Ｖ相、Ｗ相の各コイルに印加さ
れる電圧は図６に示すような連続波形であるので、ムー
バ２０の動きはスムーズであり、位置決めもリニアスケ
ール３３の分解能、エンコーダヘッド２４の検出精度で
決まる精度で行うことができる。

【００５８】また、図１１〜図１３では、ムーバ２０の
移動距離がコイル２個分であるのに対し、図１０ではコ
イル１個分の移動距離である。これは、始めにムーバ２
０のセットされていた位置がずれていたためであり、実
際には図１１〜図１３をループする動きとなる。

【００５９】更に、図１０〜図１３において、９個のコ
イル１２の組合わせ体の中央部分では磁極間の距離がコ
イル３個分でそろっているのに対し、組合わせ体の端部
に近い磁極間の距離はコイル１個分あるいは２個分とな
っている。これによりムーバ２０の動きに影響を及ぼす
ように思われる。しかし、このような問題は実際には生
じない。上記のようになるのは、図解しやすいように、
コイル１２を９個使用した場合について示しているから
であり、実際には、移動するムーバ２０の端部が、複数
個のコイル１２の組合わせ体の両端部からはみ出さない
ように設計される。つまり、実際には、ムーバ２０の一
部が図１０〜図１３に示すように９個のコイル１２の組
合わせ体の端部からはみ出すような動きはしない。

【００６０】いずれにしても、本形態によるリニアモー
タは、図１で説明したパソコン４１に必要なデータを設
定することで、ムーバ２０をステータ１０における所望
の位置まで移動させることは勿論、ステータ１０におけ
るある距離範囲の領域で往復運動（振動運動）をさせる
というような様々な運動をさせることができる。また、
例えば原点位置から所望の設定位置までの往運動は通常
の速度で行い、原点位置に戻る時の復運動は高速で行う
というような制御を行うことで繰り返し搬送動作を行う
場合の作業時間の短縮を図ることもできる。これは、復
運動の場合には、往運動の場合とは逆向きの電流を流す
と共に、その時の電源の周波数を変えることで容易に実
現できる。

【００６１】また、ムーバ２０と固定部との間は、必要
最小限の可撓性の信号線、すなわちエンコーダヘッド２
４用の信号線で接続されれば良いので、ケーブルベヤ２
５（図２参照）は電力ケーブルを収容するためのスペー
スが不要であり、小形化が可能となる。速度ムラに関し
て言えば、本形態では１００ｍｍ／ｓｅｃの速度で１
（％）以内の速度ムラに抑えることができることが確認
されている。なお、エンコーダヘッド２４は、ベース３
０側に設けられて良い。この場合、ムーバ２０の可動範
囲には制約が生ずるが、比較的狭い範囲で往復運動でき
れば良いタイプのリニアモータに適用すれば良く、可撓
性の電力ケーブル、信号線が不要であることのメリット
は大きい。

【００６２】以上、本発明の第１の実施の形態について
説明したが、本発明は以下に述べるような様々な変更が
可能である。

【００６３】図１５は永久磁石の他の例を示す。つま
り、上記の形態においては、永久磁石２１はその中心軸
方向、すなわち中心軸方向と平行に着磁されているが、
本例による永久磁石２１´は径方向、すなわち中心軸に
向かって放射状（径方向）に着磁されている。勿論、本
例でも複数の永久磁石２１´が直列的に組み合わされる
ものであり、１個当たりの長さはコイル１２（図３）の
磁極軸の寸法の３倍の長さに作られる。そして、隣り合
う永久磁石２１´は互いに反対の磁極が対向するように
組み合わされる。

【００６４】尚、中心軸方向と平行の着磁による磁石、
径方向の着磁による磁石のいずれにおいても、筒状体の
一体成形による磁石だけに限らず、分割したものを組み
合わせた磁石でも良い。つまり、周方向に関してある角
度間隔で複数に分割（例えば９０度であれば４分割、４
５度であれば８分割）したものを用意し、それぞれに中
心軸方向と平行の着磁あるいは径方向の着磁を施したう
えで筒状に組み合わせた磁石でも良い。

【００６５】図１６は、上記のような永久磁石２１´の
組合わせ体の外周を磁性体による筒状、ここでは円筒状
のアウターヨーク６１でカバーするようにした例であ
る。なお、本図ではコイルは図示を省略している。この
ようなアウターヨーク６１は、アウターヨーク６１の外
部周辺の磁気シールド効果が得られる。つまり、本リニ
アモータの外部への漏洩磁束の低減を持ち、かつ、効率
的な磁気回路が構成され、リニアモータとして推力の向
上が得られる。

【００６６】図１７は、図１６のアウターヨーク６１を
上記の第１の実施の形態における永久磁石２１に適用し
たものであり、図１６の例と同様の効果が得られること
は言うまでも無い。

【００６７】図１８は、永久磁石２１の性能向上を図る
ための改良例を示している。つまり、同じ磁極が隣り合
う永久磁石２１の間に磁性体、例えば鉄板によるリング
状のスペーサ６５を介在させている。このスペーサ６５
は磁石寸法（磁石の内径、外径、長さ(軸方向)）に適し
た厚さで十分であり、磁石が互いに反発しあう反磁界部
分にスペーサ６５を入れることで、磁束が径方向(コイ
ル)に向かう磁気回路が構成されることにより、永久磁
石２１の性能向上に寄与する効果がある。勿論、このよ
うなスペーサ６５は図１５〜図１７の例のいずれに組み
合わされても良い。

【００６８】図１９は、コイル１２の改良例を示した図
である。つまり、隣り合うコイル１２の間に磁性体、例
えば鉄板によるリング状のスペーサ６６を介在させてい
る。このスペーサ６６は１ｍｍ以下の厚さで十分であ
り、推力の性能向上に寄与する効果がある。勿論、この
ようなスペーサ６６は図１５〜図１８の例のいずれに組
み合わされても良い。

【００６９】図２０は、三相コイルの他の例を示した図
である。つまり、上記の第１の実施の形態では三相コイ
ルとして直列スター結線によるコイルをあげたが、図２
０（ａ）のようなデルタ結線でも良いことは言うまでも
無い。なお、図２０（ｂ）は並列デルタ結線と呼ばれる
三相コイルを示しているが、これもデルタ結線に含まれ
ると考えて良い。同様の理由で、図２０（ｃ）は並列ス
ター結線を示しているが、これもスター結線に含まれる
と考えて良い。そして、これらのコイルの配列は、図７
でも説明したように、図２０（ｄ）に示すような配列に
される。

【００７０】更に考えられる変形例として、コイル１２
の外周側を液体冷媒を循環させることで冷却を行う場
合、液体冷媒として例えば、絶縁性を持つ液体を使用す
ることができる。この場合、コイル１２はその表面を樹
脂材料等でコーティングするのが好ましい。

【００７１】あるいはまた、リニアモータの使用環境と
して、冷却を必要としない、コイルに化学薬品等による
影響がない、コイル表面の外観が重要ではない等の条件
下であれば、パイプ１３を省略することで磁石とコイル
表面の距離を短くでき、推力アップを図ることができ
る。

【００７２】また、コイル１２を励磁するための電源用
配線の一例を挙げれば、センターコア１１の外周面に長
さ方向に沿って溝を設け、この溝内に配線を埋め込むこ
とによりコイル表面と磁石表面をより近くできるため、
推力向上につながる。

【００７３】図２１は、ムーバ２０の案内系の他の例を
示した図である。上記の第１の実施の形態ではムーバ２
０をガイドブロックとガイドレールとにより案内するよ
うにしているが、本例では永久磁石２１の内径側に樹脂
製のブッシュ７１を設けてステータ１０側のパイプ１３
に沿ってスライド可能にしている。加えて、パイプ１３
に平行にガイド用パイプ７２を並設している。そして、
ムーバ２０の側面にはガイド用パイプ７２まで延びる補
助部材７３を設け、この補助部材７３にはガイド用パイ
プ７２の挿通可能な貫通穴を設けると共に、この貫通穴
の内径側に樹脂製のブッシュ７４を設けることにより補
助部材７３がガイド用パイプ７２に沿ってスライド可能
にしている。なお、ブッシュ７１、７４はすべり軸受の
ことである。このような案内系は、ムーバ２０が小型の
場合、例えばプリンタの印字ヘッド部の走行駆動源とし
て用いられるような場合に有効である。

【００７４】なお、上記の第１の実施の形態は、ムーバ
とステータとの組合わせが１組である場合について説明
したが、ムーバとステータとの組合わせを２組以上並列
に設置し、複数のムーバに共通のテーブルを装着するよ
うにして、推力を向上させた駆動制御を行うようにして
も良い。この場合、各組のガイドレールも平行をとった
状態でベース上に設置すれば良い。

【００７５】図２２は、上記の点を考慮した本発明の第
２の実施の形態を示し、第１の実施の形態で説明したリ
ニアモータを少なくとも１つ用いて２軸案内によりテー
ブル状のスライダー（可動子）を駆動するようにした例
である。ここでは、リニアモータを２つ用いる場合につ
いて説明する。石やセラミック等によるベース８０に、
前に述べたステータ１０側のパイプ１３を２本互いに平
行になるように並設している。パイプ１３の外周には２
つのムーバ２０（一方のみ図示）を持つスライダー（可
動子）８５が組合わされている。つまり、この形態では
スライダー（可動子）８５と磁石が一体、言い換えれば
スライダー８５に磁石を埋め込んでいる。これにより、
スライダー８５はガイドとモータの２つの役割を持つこ
とになる。

【００７６】なお、２つのムーバ２０は同期して移動す
るように制御される。また、リニアモータは１個でも良
い。

【００７７】このような形態の適用例としては、半導体
製造装置におけるウエハ加工用のテーブル装置や往復移
動を繰り返すことで加工対象物にコーティングを行うコ
ーター等が考えられる。

【００７８】また、上記の形態では直線形状のステータ
１０を示しているが、ステータをある半径で円形あるい
は略Ｃ形状を描くようにつくっても良い。つまり、本発
明によるリニアモータは、直線運動を行うものに限ら
ず、ステータを円形あるいはその一部を切り欠いた略Ｃ
形状にすることで、円形あるいは略Ｃ形の軌道を周回あ
るいは往復運動するものも含むものとする。この場合、
ムーバ２０における複数の永久磁石２１の組合わせ体の
内径側空間もステータの曲率と同じ曲率になるように作
れば良い。なお、ステータを円形にする場合には、ムー
バ側の断面形状を略Ｕ形状にする必要がある。ステータ
を円形あるいは略Ｃ形状にする場合の適用例としては、
ＭＲＩ（核磁気共鳴）診断装置、ＣＴスキャナ等におけ
るスキャナの駆動源とすることが考えられる。

【００７９】更に、本発明による直動型のリニアモータ
は、例えば自動ドア等の開閉駆動源としての適用も可能
である。例えば、自動ドアの場合について言えば、ドア
の上側あるいは下側に、本発明によるリニアモータをそ
の可動部の移動に伴ってドアの開閉を行うことができる
ように設置すれば良い。

【００８０】更に、ムーバ２０のガイド機構は、静圧軸
受けを含むようなものでも良く、位置決め制御のための
リニアスケールとエンコーダヘッドとの組合わせも他の
周知の技術、例えばレーザを使用した高精度のものを使
用しても良い。また、被検出片２６とセンサ３６の組合
わせは省略されても良い。

【００８１】

【発明の効果】本発明によるリニアモータは、以下のよ
うな効果を有する。

【００８２】（１）電磁石コイルを固定、永久磁石を可
動としたことにより、電磁石コイルにおける発熱に対す
る冷却を簡単な構造で実現することができる。

【００８３】（２）可動部における発熱が無いことか
ら、これに組み合わされる被搬送テーブルの温度上昇が
無く、従ってこれに搭載される被搬送体に熱的影響を及
ぼすことが無い。このことから、本発明によるリニアモ
ータは、厳しい温度条件が要求される環境下での使用、
例えば半導体製造装置における真空チャンバ内での搬送
駆動系に最適である。

【００８４】（３）環状あるいはＵ形状の永久磁石の内
側にわずかなギャップを介して電磁石コイルが収容配置
されているので、電磁石コイルの磁束を有効に永久磁石
に作用させることができる。特に、環状の永久磁石の場
合には電磁石コイルの磁束の利用効率は非常に高く、高
推力を得ることができる。

【００８５】（４）可動部に対して電力を供給する必要
が無いので、可撓性の電力ケーブルが不要であり、電力
ケーブルの断線等に対するメンテナンスが不要となる。

【００８６】（５）電磁石コイル側を可動とする場合、
その温度上昇を監視する必要があるため、電磁石コイル
に熱電対等の温度センサを設置し、可撓性の信号線で温
度検出信号を制御ドライバー側に送出する必要がある
が、本発明では不要である。

【００８７】（６）可撓性の電力ケーブル、信号線は屈
曲を繰り返すので断線を生ずる場合があるが、本発明で
は電力ケーブルの断線が発生することは無く、エンコー
ダヘッドをベース側に設置することで信号線の断線も無
くすことができる。

【００８８】（７）可動部における永久磁石のケース
を、アルミ合金の一体物で実現できるので、機械的強度
が大きい。

【００８９】（８）各構成要素は、永久磁石の材料が高
価であることを除いて、すべて安価で実現することがで
き、かなり大型にした場合でもリニアモータ全体として
の低価格化を実現することができる。

【００９０】（９）ムーバとステータとの間のギャップ
を一定にする必要が無いので、ムーバとステータには厳
しい取付け精度が要求されず、それらを構成する部品に
も厳しい加工精度が要求されない。

【００９１】（１０）センターコア（ヨーク）が直線的
な円筒形状であるために、永久磁石とセンターコア（ヨ
ーク）が断片的に吸引する力が作用しないために極めて
高い定速性が実現されている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態によるリニアモータの概略
構成を示した図である。

【図２】本発明によるリニアモータを４つの方向から見
た図である。

【図３】図２におけるムーバ及びステータの内部構造を
説明するための図である。

【図４】本発明で使用される電磁石コイルの基本構成を
説明するための図である。

【図５】電磁石コイルとして９個のコイルを使用する場
合の各コイルと制御ドライバーとの接続例を説明するた
めの図である。

【図６】図５における制御ドライバーによる電圧波形例
を示した図である。

【図７】図５における９個のコイルに誘起する磁極の例
について説明するための図である。

【図８】コイル４個の場合について各コイルに誘起され
た磁極によりコイル全体に発生する磁極について説明す
るための図である。

【図９】図８と同様の原理でコイル９個の場合について
各コイルに誘起された磁極によりコイル全体に発生する
磁極について説明するための図である。

【図１０】図９（ａ）のような磁極を持つ電磁石コイル
に永久磁石が組み合わされる場合に永久磁石が駆動され
る原理を説明するための図である。

【図１１】図９（ｂ）のような磁極を持つ電磁石コイル
に永久磁石が組み合わされる場合に永久磁石が駆動され
る原理を説明するための図である。

【図１２】図９（ｃ）のような磁極を持つ電磁石コイル
に永久磁石が組み合わされる場合に永久磁石が駆動され
る原理を説明するための図である。

【図１３】再び、図９（ａ）のような磁極を持つ電磁石
コイルに永久磁石が組み合わされる場合に永久磁石が駆
動される原理を説明するための図である。

【図１４】従来のリニアモータの概略構成を示した図で
ある。

【図１５】本発明においてムーバを構成するために使用
される永久磁石の他の例を説明するための断面図（図
（ａ）及び図（ｂ））である。

【図１６】本発明におけるムーバの改良例を説明するた
めの断面図（ａ）及び正面図（ｂ）である。

【図１７】本発明におけるムーバの他の改良例を説明す
るための断面図（ａ）及び正面図（ｂ）である。

【図１８】本発明におけるムーバ側の永久磁石体の改良
例を説明するための断面図である。

【図１９】本発明におけるステータ側のコイルの改良例
を説明するための断面図である。

【図２０】本発明において使用される三相コイルの他の
例を説明するための図である。

【図２１】本発明におけるムーバの案内系の他の例を説
明するための斜視図である。

【図２２】本発明の第２の実施の形態による２軸駆動型
のテーブル装置を説明するための図である。

【符号の説明】

１０ステータ１１センターコア１２コイル１３パイプ２０ムーバ２１永久磁石２２磁石ケース２３ガイドブロック２４エンコーダヘッド３０ベース３１ブラケット３２ガイドレール３３リニアスケール４０制御ドライバー４１パソコン６１アウターヨーク６５、６６スペーサ７１、７４ブッシュ７２ガイド用パイプ７３補助部材８０ベース８５スライダー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電磁石用コイルを複数個連続的に配列
し、これらの電磁石用コイルからの磁束との相互作用に
よりこれらの電磁石用コイルに沿って走行可能に永久磁
石体を組合わせたことを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】請求項１に記載のリニアモータにおい
て、前記電磁石用コイルはスター結線により接続された
Ｕ相コイル、Ｖ相コイル、Ｗ相コイルを含み、これらの
各相のコイルは中空軸状のセンターコアの周囲に、それ
らの磁極軸が前記センターコアの軸芯と同じ向きになる
ようにして前記永久磁石体の走行範囲にわたって直列的
に装着されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】請求項１に記載のリニアモータにおい
て、前記電磁石用コイルはデルタ結線により接続された
Ｕ相コイル、Ｖ相コイル、Ｗ相コイルを含み、これらの
各相のコイルは中空軸状のセンターコアの周囲に、それ
らの磁極軸が前記センターコアの軸芯と同じ向きになる
ようにして前記永久磁石体の走行範囲にわたって直列的
に装着されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項４】請求項２または３に記載のリニアモータ
において、前記永久磁石体は前記電磁石用コイルを囲む
ことができるような環状あるいは略Ｕ形の断面形状を持
ち、かつ中心軸方向と平行に着磁された磁極軸に関して
前記各相のコイルの３倍の長さ寸法を持つ複数の永久磁
石から成り、これら複数の永久磁石は隣接する磁極が互
いに反対向きになるように直列的に組合わされているこ
とを特徴とするリニアモータ。
【請求項５】請求項２または３に記載のリニアモータ
において、前記永久磁石体は前記電磁石用コイルを囲む
ことができるような環状あるいは略Ｕ形の断面形状を持
ち、かつ長さ方向に関して前記各相のコイルの３倍の長
さ寸法を持つ中心軸に向かって放射状（径方向）に着磁
された複数の永久磁石から成り、これら複数の永久磁石
は隣接する磁極が互いに反対向きになるように直列的に
組合わされていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項６】請求項４または５に記載のリニアモータ
において、前記永久磁石体の外面側に磁性体による筒状
のヨークを設けたことを特徴とするリニアモータ。
【請求項７】請求項４〜６のいずれか１つに記載のリ
ニアモータにおいて、隣り合う永久磁石の間に磁性体に
よるスペーサ部材を介在させたことを特徴とするリニア
モータ。
【請求項８】請求項４〜７のいずれか１つに記載のリ
ニアモータにおいて、隣り合う各相のコイルの間に磁性
体によるスペーサ部材を介在させたことを特徴とするリ
ニアモータ。
【請求項９】請求項８に記載のリニアモータにおい
て、前記センターコアは、前記永久磁石体が直線運動す
るような直線形状であることを特徴とするリニアモー
タ。
【請求項１０】請求項８に記載のリニアモータにおい
て、前記センターコアはその延在方向の形状が円形状ま
たは円の一部を切り欠いた略Ｃ形状を有し、前記永久磁
石体は円形状または略Ｃ形状の軌道に沿った周回運動ま
たは往復運動を行うことを特徴とするリニアモータ。
【請求項１１】請求項９または１０に記載のリニアモ
ータにおいて、前記永久磁石体の内面側であって前記電
磁石用コイルの外面側に、前記電磁石用コイルを収容す
るようにして前記永久磁石体の走行範囲にわたる筒状体
が設けられ、該筒状体と前記永久磁石体の内面側との間
及び前記筒状体と前記電磁石用コイルの外面側との間に
はそれぞれ、ギャップができるようにされていることを
特徴とするリニアモータ。
【請求項１２】請求項１１に記載のリニアモータにお
いて、前記センターコアの中空部及び前記電磁石用コイ
ルの外面側と前記筒状体の内面側との間の前記ギャップ
を冷却空間としたことを特徴とするリニアモータ。
【請求項１３】請求項１２に記載のリニアモータにお
いて、前記永久磁石体にはガイドブロックが組み合わさ
れ、該ガイドブロックは前記永久磁石体の走行方向に沿
ってベース体に配置されたガイドにより案内されること
を特徴とするリニアモータ。
【請求項１４】請求項１２に記載のリニアモータにお
いて、前記永久磁石体はケースに収容されており、該ケ
ースの内面側には前記筒状体の外面に沿ってスライド可
能な第１のすべり軸受が少なくとも１個設けられ、前記
ケースの側面側にはその側方に延びる補助部材が設けら
れ、該補助部材には走行方向に平行な貫通穴が設けられ
ると共にその内面側に第２のすべり軸受が設けられ、前
記筒状体に平行かつ走行方向に延在するようにガイド用
案内部材を設けて前記第２のすべり軸受に該ガイド用案
内部材を挿通することにより前記永久磁石体の走行案内
が行われることを特徴とするリニアモータ。
【請求項１５】請求項１３または１４に記載のリニア
モータにおいて、前記電磁石用コイルを収容した前記筒
状体は、ベース体に設けられた２つのブラケット間に固
定されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項１６】請求項１５に記載のリニアモータにお
いて、前記永久磁石体の走行方向に沿ってリニアスケー
ルが配置され、前記永久磁石体には前記リニアスケール
に対向するようにエンコーダヘッドが設けられ、該エン
コーダヘッドからの検出信号は可撓性のケーブルを介し
て制御ドライバーに入力されることを特徴とするリニア
モータ。
【請求項１７】請求項１６に記載のリニアモータにお
いて、前記永久磁石体を含む可動部側、前記ブラケット
を含む固定部側にはそれぞれ、一方に位置検出用の被検
出片が設けられ、他方には前記被検出片を検出するため
のセンサが設けられることを特徴とするリニアモータ。
【請求項１８】請求項２〜１７のいずれかに記載のリ
ニアモータにおいて、前記電磁石用コイルはＵ相コイ
ル、Ｖ相コイル、Ｗ相コイルを１組としてこれらを順に
直列的に配列して組合わせたものを複数組含み、これら
の複数組のコイルを前記中空軸状のセンターコアの周囲
に、それらの磁極軸が前記センターコアの軸芯と同じ向
きになるようにして前記永久磁石体の走行範囲にわたっ
て直列的に装着されていることを特徴とするリニアモー
タ。
【請求項１９】請求項１８に記載のリニアモータにお
いて、前記複数組における複数の前記Ｕ相コイル、複数
の前記Ｖ相コイル、複数の前記Ｗ相コイルはそれぞれ相
毎に直列接続されてスター結線により接続され、しかも
２つの相における複数のコイルは奇数組における磁極に
対して偶数組における磁極が反対向きになるように接続
され、残りの１つの相における複数のコイルは奇数組に
おける磁極が前記２つの相における複数のコイルの前記
奇数組における磁極と反対向きであり、偶数組における
磁極は前記２つの相における複数のコイルの前記偶数組
における磁極と反対向きになるように接続されているこ
とを特徴とするリニアモータ。