JP2002289092A

JP2002289092A - ガス放電型表示装置の製造方法

Info

Publication number: JP2002289092A
Application number: JP2001086456A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Watanabe; 拓渡邉; Masaki Aoki; 正樹青木; Kazuya Hasegawa; 和也長谷川
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-03-23
Filing date: 2001-03-23
Publication date: 2002-10-04

Abstract

(57)【要約】【課題】グリーンシートを用いて誘電体層や隔壁下地
層或は隔壁を形成する上で、工程が簡素で、焼成時に多
くのエネルギを要することなく、形成される誘電体層な
どに気泡が生じるのを抑制することのできるガス放電型
表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】誘電体層１３を形成する工程は、減圧雰囲
気にした密閉室１０３内で第１グリーンシート１１０を
ラミネートする第１ラミネートステップ、第２グリーン
シート１２０をラミネートする第２ラミネートステップ
及びラミネートされた第１グリーンシート１１０及び第
２グリーンシート１２０を焼成する焼成ステップからな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルをはじめとするガス放電型表示装置の製造方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ガス放電型表示装置として代表的なプラ
ズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記載する。）
は、例えば次のように製造される。前面ガラス基板に表
示電極を形成し、その上に誘電体ガラスからなる誘電体
層及び保護膜を形成する。

【０００３】一方、背面ガラス基板上にアドレス電極を
形成し、その上に隔壁下地層を兼ねる誘電体層を形成
し、更にその上に隔壁を形成する。そして隔壁の間に、
各色蛍光体ペーストを塗布し焼成してペースト内の樹脂
成分等を除去することにより各色蛍光体層（Ｒ，Ｇ，
Ｂ）を形成する。蛍光体焼成後、前面ガラス基板または
背面ガラス基板の外周部に封着用ガラスフリットを塗布
して封着ガラス層を形成し、両基板を重ね合わせて加熱
することによって封着する。そして、内部空間を排気し
た後に放電ガスを封入する。

【０００４】ところで、誘電体層を形成する方法として
は、誘電体ガラス材料を含むペーストを、スクリーン印
刷法或はダイコート法で塗布して、塗布膜を焼成する方
法が従来から広く用いられているが、その他に誘電材料
を含有するグリーンシートをラミネートして焼成する方
法も知られている。誘電体層を形成する際に、印刷法や
ダイコート法を用いる場合とグリーンシート法を用いる
場合とを比較すると、印刷法やダイコート法の場合は、
塗布工程・乾燥工程・焼成工程と３段階の工程が必要で
あるのに対して、グリーンシート法は、ラミネート工程
・焼成工程と２段階の工程で済むので簡便である。ま
た、グリーンシート法の方が膜厚が均一な誘電体層を形
成しやすいし、ペーストと比べるとグリーンシートの方
が保管も容易である。

【０００５】また、隔壁を形成する方法としては、ガラ
スペーストを所定のピッチで塗布し焼成する方法が知ら
れているが、この他に、隔壁材料を含むグリーンシート
をラミネートして、サンドブラストで不要部分を取り除
くと共に焼成することによって隔壁を形成する方法も知
られている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、電極が
形成された基板上において、電極エッジ部には段差があ
るため、この上を覆ってグリーンシートをラミネートす
る際に、当該エッジ部に空気を巻き込みやすい。そし
て、空気が巻き込まれると、形成される誘電体層や隔壁
において、電極との間に気泡が生じるため、耐圧不良や
放電光の透過率減衰といった問題も生じる。

【０００７】このような課題に対して、例えば、特開平
１１−６５４８１号公報に開示されているように、基板
に予め液状もしくは半液状の誘電体材料を塗布してお
き、誘電性グリーンシートをラミネートする技術もあ
り、気泡発生を抑えるのに有効であるが、この場合、流
動性の誘電体材料を塗布する工程が必要となるので、工
程の簡素さが失われる。

【０００８】一方、グリーンシートにおける可塑剤含有
量を多くして柔軟性を高めることによっても気泡発生を
抑えることは可能と考えられるが、可塑剤を多く含有さ
せると焼成時にそれを焼失させるのに多くの時間とエネ
ルギが必要となる。本発明は、これらの課題に鑑み、グ
リーンシートを用いて誘電体層や隔壁下地層或は隔壁を
形成する上で、工程が簡素で、焼成時に多くのエネルギ
を要することなく、形成される誘電体層などに気泡が生
じるのを抑制することのできるガス放電型表示装置の製
造方法を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明におけるガス放電型表示装置の製造方法で
は、電極が設けられた基材上に、グリーンシートを、当
該電極を蔽うように積層する積層ステップと、積層され
たグリーンシートを焼成する焼成ステップとからなる誘
電体層、隔壁下地層或は隔壁を形成する工程において、
積層ステップを減圧雰囲気下で行うこととした。

【００１０】また、積層ステップにおいて、グリーンシ
ートを複数回積層する場合には、複数回積層する中で少
なくとも最初にグリーンシートを積層する際に、減圧雰
囲気下で行うこととした。このように、積層ステップを
減圧雰囲気下で行えば、仮に、電極が設けられた基材上
にグリーンシートを積層する際に空気を巻き込んだとし
ても、大気圧雰囲気下に戻したときには、巻き込まれた
空気の体積が減少するので、形成される誘電体層、隔壁
下地層或は隔壁に気泡が生じるのを抑制することができ
る。

【００１１】ここで、十分な効果を得るために、減圧雰
囲気の圧力を、大気圧に対して１／１０以下とすること
が好ましい。

【００１２】

【発明の実施の形態】〔実施の形態１〕本発明のガス放
電型表示装置の製造方法について、交流面放電型ＰＤＰ
の製造方法を例にとって説明する。図１は、本実施形態
にかかる交流面放電型ＰＤＰを示す斜視図であって、こ
のＰＤＰは次のように製造される。

【００１３】（全体的な製造方法について）前面ガラス
基板１１に、感光性銀ペーストを塗布し、露光・現像・
焼成して表示電極１２を形成し、その上に誘電体ガラス
からなる誘電体層１３及び保護膜１４を形成する。一
方、背面ガラス基板２１上に、銀ペーストを塗布・焼成
してアドレス電極２２を形成し、その上に誘電体層２３
を形成し、更にその上に隔壁２４を形成する。そして隔
壁２４の間に、各色蛍光体ペーストを塗布し、５００℃
程度で焼成してペースト内の樹脂成分等を除去すること
により各色蛍光体層２５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を形成する。

【００１４】蛍光体焼成後、前面ガラス基板１１または
背面ガラス基板２１の外周部に封着用ガラスフリットを
塗布して封着ガラス層を形成し、両基板を重ね合わせて
加熱することによって封着する。そして、内部空間３０
を排気した後に放電ガスを封入する。なお、誘電体層２
３は、その上に隔壁を形成するための下地層としての役
割も果している。また、誘電体層２３には、誘電体ガラ
スの他に白色顔料である酸化チタンが含まれており、可
視光を反射する反射層としての役割も果している。

【００１５】（誘電体層１３及び誘電体層２３を形成す
る方法について）誘電体層１３及び誘電体層２３は、基
本的に、基板上に電極を蔽うように、誘電体ガラスを含
むグリーンシートを減圧雰囲気下でラミネートし、ラミ
ネートされたグリーンシートを焼成することによって形
成する。以下、表示電極１２が形成された前面ガラス基
板１１上に誘電体層１３を形成する方法について詳述す
るが、アドレス電極２２が形成された背面ガラス基板２
１上に誘電体層２３を形成する方法もこれと同様であ
る。

【００１６】誘電体層１３を形成する工程は、図２
（ａ）に示すように第１グリーンシート１１０をラミネ
ートする第１ラミネートステップ、図２（ｂ）に示すよ
うに第２グリーンシート１２０をラミネートする第２ラ
ミネートステップ及び図２（ｃ）に示すようにラミネー
トされた第１グリーンシート１１０及び第２グリーンシ
ート１２０を焼成する焼成ステップの３つのステップか
らなる。

【００１７】（第１グリーンシート及び第２グリーンシ
ートについての説明）先ず、第１ラミネートステップで
用いる第１グリーンシート１１０及び第２ラミネートス
テップで用いる第２グリーンシート１２０について説明
する。この第１グリーンシート１１０及び第２グリーン
シート１２０は、従来から使用されているグリーンシー
トと同様の組成であって、ガラス粉末，熱可塑性樹脂，
可塑剤が混合された混合物がシート状に成形されたもの
である。

【００１８】ガラス粉末は、誘電体層を形成する主要成
分であって、ＰｂＯ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系の他に、Ｐｂ
Ｏ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂−ＺｎＯ系、ＰｂＯ−Ｂ₂Ｏ₃−Ｓ
ｉＯ₂−ＺｎＯ−（ＢａＯ＋ＣａＯ）系、ＺｎＯ−Ｂｉ₂
Ｏ₃−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂−（ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）系
なども用いることができ、これらを混合して用いても良
い。

【００１９】熱可塑性樹脂は、シート状に形成すると共
にラミネート加工できるようにするために用いられる。
ポリブチルメタアクリレート樹脂の他に、ポリメチルメ
タアクリレート樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、エチ
ルセルロース樹脂なども用いることができ、これらを混
合して用いても良い。可塑剤は、シートに柔軟性を付与
する役割を果すものであって、ジオクチルフタレートの
他に、ブチルベンジルフタレート、ジイソオクチルフタ
レート、ジカプリルフタレート、ジブチルフタレートな
ども用いることができ、これらを混合して用いても良
い。

【００２０】ここで、使用するガラス粉末の種類、熱可
塑性樹脂の種類、可塑剤の種類について、第１グリーン
シート１１０と第２グリーンシート１２０とで別々の種
類のものを用いてもよいが、ここでは、同じ種類のもの
を用い、具体的には、誘電体ガラスは、組成がＰｂＯ−
Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂で軟化点が５６０℃のものを用い、熱
可塑性樹脂としてはポリブチルメタアクリレート樹脂を
用い、可塑剤としてはジオクチルフタレートを用いるこ
ととする。

【００２１】（各ステップについての説明）第１ラミネートステップ：このステップでは、表示電極
１２が形成された前面ガラス基板１１上に、減圧雰囲気
下で第１グリーンシート１１０をラミネートする。具体
的には、図２に示すようなラミネート装置を用いて行
う。

【００２２】このラミネート装置は、１対のラミネータ
ローラ１０１・１０２が、密閉室１０３の中に収納され
て構成され、この密閉室１０３内は真空ポンプ１０４で
減圧雰囲気にできるようになっている。なお、図示はし
ていないが、密閉室１０３内では第１グリーンシートが
ロール状に巻かれており、そこから第１グリーンシート
１１０が供給されるようになっている。また、真空ポン
プ１０４としては、工業的に一般に使用される真空ポン
プ、例えばロータリ真空ポンプを用いればよい。

【００２３】そして、表示電極１２が形成された前面ガ
ラス基板１１を８０℃〜１２０℃に加熱し、これを、密
閉室１０３内に入れ、密閉室１０３を減圧雰囲気にし
て、第１グリーンシート１１０を重ね合せながら、１対
のラミネータローラ１０１・１０２間を速度１ｍ／分で
通過させることによって圧力２．５ｋｇ／ｃｍ²で押圧
する。

【００２４】第２ラミネートステップ：図２（ｂ）は、
この第２ラミネートの様子を示す図である。この第２ラ
ミネートでは、第１グリーンシート１１０がラミネート
された前面ガラス基板１１上に、第２グリーンシート１
２０をラミネートする。具体的には、第１ラミネートス
テップと同様であって、第１グリーンシート１１０がラ
ミネートされた前面ガラス基板１１を加熱し、図２
（ｂ）に示すように、これに第２グリーンシート１２０
を重ね合せながら、１対のラミネータローラ１０１・１
０２間を通過させることによって押圧する。

【００２５】この第２ラミネートステップは、大気圧下
で行うこととするが、第１ラミネートステップと同様に
減圧雰囲気下で行っても良い。焼成ステップ：図２（ｃ）は、焼成の様子を示す図であ
る。第１グリーンシート１１０，第２グリーンシート１
２０がラミネートされた前面ガラス基板１１を、空気中
で加熱することによって焼成する。

【００２６】この焼成温度は、第１グリーンシートに含
まれる誘電体ガラスの軟化点及び第２グリーンシートに
含まれる誘電体ガラスの軟化点のいずれよりも高い温度
とし、焼成時間は、グリーンシート中の樹脂成分が焼失
するのに十分な時間とする。グリーンシートに含まれる
誘電体ガラスの軟化点が５５０℃であれば、例えば、焼
成温度５７０℃で１０分間焼成する。

【００２７】このように焼成することによって、第１グ
リーンシート１１０及び第２グリーンシート１２０中の
樹脂成分が焼失すると共に誘電体ガラスが焼結し、図２
（ｄ）に示すように誘電体層１３が形成される。なお、
この焼成ステップにおいてグリーンシートは収縮するの
で、誘電体層１３の膜厚は、通常、第１，第２グリーン
シートの合計膜厚の半分程度となる。この点を考慮し
て、例えば、誘電体層１３の膜厚を３０μｍに設定する
場合、使用する第１グリーンシート１１０の膜厚と第２
グリーンシート１２０の膜厚の合計が６０μｍ程度にな
るように設定する。

【００２８】（効果についての説明）上記のような誘電
体層１３の形成方法によれば、以下に説明するように、
工程が比較的簡素で、焼成時に多くのエネルギを要する
こともなく、且つ空気を巻き込むことによって誘電体層
に気泡が生じるのを抑制することができる。図３は、従
来の一般的なグリーンシート法で誘電体層３１３を形成
する工程を示す図である。

【００２９】この場合、（ａ）のように表示電極１２を
形成した前面ガラス基板１１上に、誘電材料を主成分と
するグリーンシート３１０をラミネートし、（ｂ）のよ
うに焼成することによって、（ｃ）のように誘電体層１
３が形成されるが、表示電極１２のエッジ部１２ａには
表示電極１２の厚み分だけ段差があるので、（ａ）に示
すように、グリーンシート３１０をラミネートするとき
に、この部分に空気が巻き込まれて隙間ができやすい。

【００３０】そして、このように巻き込まれた空気は、
（ｂ）に示す焼成時においても外に抜けにくいにので、
形成された誘電体層３１３においても気泡３１０ａとし
て残ることになる。ここで、例えばグリーンシート３１
０の可塑剤の含有量を多く設定することによって、その
柔軟性を高めておけば、空気が巻き込まれるのを抑える
ことは可能であるが、このように可塑剤含有量を高めた
場合、焼成時に多くの時間とエネルギが必要となる。

【００３１】これに対して、本実施形態の誘電体層形成
方法では、第１ラミネートステップを減圧雰囲気下で行
っているので、仮に、表示電極１２が設けられた前面ガ
ラス基板１１に第１グリーンシート１１０を積層する際
に空気を巻き込んだとしても、大気圧雰囲気下に戻した
ときにはその体積が減少するので、気泡発生が抑えられ
る。

【００３２】また、第２ラミネートステップで第２グリ
ーンシート１２０をラミネートする際には、既に電極上
には第１グリーンシート１１０が覆われており、第１グ
リーンシート１１０の表面には段差があっても緩やかな
ので、大気圧下で行っても、空気は巻き込まれない。よ
って、この方法で形成される誘電体層１３は、気泡が生
じにくい。

【００３３】また、第１グリーンシート１１０及び第２
グリーンシート１２０も、従来から使用されているグリ
ーンシートと組成が同様のものを用いても、充分に効果
を得ることができ、その点、実用的である。また、装置
的にも、従来のラミネート装置に対して真空雰囲気を形
成する装置を加えるだけでよく、装置的な負担は比較的
少なく済む。

【００３４】（減圧度、グリーンシート組成などについ
ての考察、並びに変形例）第１ラミネートステップにお
いて、密閉室１０３を減圧する程度に関しては、十分な
気泡発生抑制効果を得るには、大気圧に対して１／１０
以下までする必要があると考えられる。また、できるだ
け高真空にする方が高い効果が得られるが、通常用いら
れる真空ポンプで達成できる真空度を考慮すると、１０
０Ｐａ〜１０００Ｐａ程度まで減圧とすることが好まし
いと考えられる。

【００３５】また、気泡抑制効果をより向上させるため
に、第１グリーンシート１１０における可塑剤の配合比
率を、第２グリーンシート１２０における可塑剤の配合
比率よりも大きく設定することによって、第１グリーン
シート１１０の柔軟性が大きくなるように調整すること
も好ましい。これは、第１グリーンシート１１０の柔軟
性を大きくすることによって、第１ラミネートステップ
において空気が巻き込まれるのを防ぎ、且つ第２グリー
ンシート１２０における可塑剤含有量を比較的低く抑え
ることにより、グリーンシート全体に含まれる可塑剤含
有量が低く抑えられ、焼成時に多くの時間とエネルギが
消費されるのを抑えられるからである。なお、この場
合、第２グリーンシート１２０の膜厚を、第１グリーン
シート１１０の膜厚より大きく設定することによって、
グリーンシート全体に含まれる可塑剤含有量をより低減
できる。

【００３６】上記の説明では、第１ラミネートステップ
及び第２ラミネートステップと、２度のラミネートを行
ったが、先ず、上記の第１グリーンシート１１０と第２
グリーンシート１２０とをラミネートして積層グリーン
シートを作製し、電極が形成されたガラス基板に、この
積層グリーンシートを減圧雰囲気下でラミネートして
も、同様に実施することができ、同様の効果を奏する。

【００３７】また、上記の説明では、複数枚のグリーン
シート（第１グリーンシート及び第２グリーンシートの
２枚）を用いたが、電極が形成されたガラス基板上に、
グリーンシートを１枚だけラミネートする場合において
も、それを減圧雰囲気下で行えば、通常の大気圧下で行
う場合と比べて気泡発生抑制効果が得られる。（焼成時の雰囲気についての考察）焼成工程は、焼成炉
内で行うが、焼成炉の内部に、酸素やドライエアーを強
制的に流し込んで、焼成時に酸素が十分に含まれている
雰囲気を形成することが好ましい。

【００３８】この理由は、次の通りである。一般的に
は、昇温時においてグリーンシート中の有機物が大部分
が燃焼されるものの、酸素が不足した雰囲気では、有機
物の燃焼が不十分となり、有機物やカーボンが残存した
り炉の内壁にタールが付着したりすることがある。これ
に対して、焼成時において酸素が十分に含まれている雰
囲気を形成すると、有機物の燃焼が促進され、焼成後の
誘電体層に有機物やカーボンが残存したりしにくくな
り、その結果、耐電圧の高い誘電体層を形成することが
できる。また、焼成炉の内壁に付着するタールを低減で
きるので、焼成炉の管理も容易となる。

【００３９】なお、焼成炉に流す酸素やドライエアの流
量は、焼成炉の大きさによる。また、酸素やドライエア
ーは、常温〜可塑剤の燃焼完了温度（本実施形態では５
５０℃）の温度雰囲気のときだけ流通させ、燃焼完了温
度を越える範囲では流通させないようにする方が無駄が
なく好ましい。また、焼成炉内を大気圧より高い圧力に
加圧した状態で、酸素やドライエアを送り込むと、酸素
分圧を高めることができる。従って、燃焼反応が促進さ
れ、焼成後の誘電体層中に残存する有機物やカーボンを
低減する効果が高められる。〔実施の形態２〕上記実施の形態１では、誘電体層を形
成する場合について説明したが、本実施の形態では、隔
壁を形成する場合について説明する。

【００４０】即ち、従来から、隔壁材料を含有するグリ
ーンシートをラミネートし、サンドブラストによって不
要な部分を除去し、焼成することによって隔壁を形成す
る方法が知られているが、この隔壁材料を含有するグリ
ーンシートをラミネートする際にも、上記実施の形態１
で説明した方法は適用できる。そして、この場合、工程
が比較的簡素で、焼成時に多くのエネルギを要すること
なく、且つ空気が巻き込まれて隔壁層に気泡が生じるの
を抑制することができる。

【００４１】以下、この隔壁形成方法について具体的に
説明する。先ず、実施の形態１で説明したのと同様の方
法で、図４（ａ）に示すように、アドレス電極２２が形
成された背面ガラス基板２１上に、第１グリーンシート
２１０及び第２グリーンシート２２０をラミネートす
る。この第１グリーンシート２１０及び第２グリーンシ
ート２２０は、上記実施の形態で用いた第１グリーンシ
ート１１０及び第２グリーンシート１２０と同様、隔壁
剤材料粉末，熱可塑性樹脂，可塑剤などを混合し、シー
ト状に成形したものであるが、隔壁材料粉末には、ガラ
ス粉末の他に、アルミナからなるフィラー粉末（骨
材）、酸化チタン（ＴｉＯ2）からなる顔料粉末も添加
されている。

【００４２】そして、第１グリーンシート２１０は、可
塑剤含有量を大きく設定して柔軟性を高めてあり、第２
グリーンシート２２０は、第１グリーンシート２１０よ
りも可塑剤含有量を小さく設定している。なお、使用す
る第１グリーンシート２１０及び第２グリーンシート２
２０の合計厚さは、形成しようとする隔壁の高さに合わ
せて設定する。通常、隔壁高さは誘電体層と比べるとか
なり大きいので、この合計厚さは、実施形態１，２で用
いた第１グリーンシート１１０及び第２グリーンシート
１２０の合計厚さよりもかなり大きく設定することにな
る。

【００４３】但し、全体の可塑剤含有量をできるだけ低
く抑えるために、第１グリーンシート２１０の厚さは、
第１グリーンシート１１０と同様にできるだけ薄く設定
し、第２グリーンシート１２０を厚めに設定することが
好ましい。次に、図４（ｂ）に示すように、上記のよう
にラミネートしたグリーンシート２１０，２２０の上
に、感光性ドライフィルムレジスト（以下、ＤＦＲと称
する。）をラミネートすることによって被覆膜２３０を
形成し、この被覆膜２３０上に、隔壁パターンに相当す
る部分だけを覆うフォトマスク２４０を載せ、紫外線光
（ＵＶ光）を照射して露光を行う。

【００４４】次に、１％炭酸ナトリウム水溶液の現像液
を使用して現像を行い、現像後直ちに水洗する。これに
よって、図４（ｃ）に示すように、被覆膜２３０は、Ｕ
Ｖ照射された部分が除去され、隔壁パターンに相当する
部分だけが残る。上記のように被覆膜２３０をパターン
形成した後、グリーンシート２１０，２２０をサンドブ
ラスト加工することによって不要な部分を削り取る。

【００４５】具体的には、図４（ｄ）に示すように、ブ
ラストノズル２５０から研磨材（例えばガラスビーズ
材）２５１を噴射しながら、このブラストノズル２５０
を、図中白抜矢印で示すように、被覆膜２３０表面に沿
って全体にわたって走査させる。これによって、グリー
ンシート２１０，２２０に対して、被覆膜２３０が除か
れた領域だけにブラスト加工が施されて削り取られる。

【００４６】尚、このブラスト加工する深さについて
は、図では、第１グリーンシート２１０と第２グリーン
シート２２０との境界付近まで削っているが、もっと浅
くグリーンシート２２０の途中まで削ってもよいし、更
に深く第１グリーンシート２１０に侵入するまで削って
もよい。上記のようにブラスト加工した後の背面ガラス
基板２１を、剥離液（例えば５％水酸化ナトリウム水溶
液）に浸漬することによって、被覆膜２３０を剥離す
る。図４（ｅ）は、このようにしてグリーンシート２１
０，２２０が隔壁形状にパターニングされた様子（焼成
前隔壁層）を示している。

【００４７】次に、焼成ステップにおいて、被覆膜を剥
離した後の背面ガラス基板２１を、ピーク温度が隔壁材
料中のガラス粉末の軟化温度より若干高い温度（約５５
０℃）となるようにプロファイル形成された焼成炉内で
加熱する。これによって、パターニングされたグリーン
シート２１０，２２０（焼成前隔壁層）中の隔壁材料が
焼結され、図４（ｆ）に示すように隔壁層２２４が形成
される。

【００４８】なお、このように形成された隔壁層２２４
は、図１における誘電体層２３と隔壁２４とを合せたも
のに相当する。以上の本実施形態の隔壁形成法によれ
ば、ラミネート時にアドレス電極２２のエッジ部に空気
が巻き込まれにくく、且つ、焼成時に多くのエネルギを
要することもない。

【００４９】なお、本実施の形態では、隔壁形状を形成
するのにサンドブラスト法を用いる例を示したが、感光
性のグリーンシートを用いてフォトリソ法で隔壁形状を
形成した場合も、同様に実施することができる。また、
実施の形態１で説明した減圧度、グリーンシート組成な
どについての考察、変形例、焼成時の雰囲気についての
考察は、本実施の形態でもそのまま適用できる。（その他の事項）上記実施の形態では、焼成温度につい
て、ガラス材料の軟化点よりも１０℃程度高い温度で焼
成することとしたが、ガラス材料の軟化点よりも１００
℃程度高い温度で焼成すると、焼成時に膜から空気が抜
けやすいので、気泡を更に低減できるものと期待でき
る。但しこの場合、焼成炉における消費エネルギが大き
くなり焼成時間も多く必要となる。

【００５０】上記実施の形態では、交流面放電型ＰＤＰ
を例にとって説明したが、本発明は、対向放電型ＰＤ
Ｐ、直流型ＰＤＰなどにも適用できる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、電極が
設けられた基材上に、グリーンシートを、当該電極を蔽
うように積層する積層ステップと、積層されたグリーン
シートを焼成する焼成ステップとからなる誘電体層、隔
壁下地層或は隔壁を形成する工程において、積層ステッ
プを減圧雰囲気下で行う、或は、積層ステップにおい
て、グリーンシートを複数回積層する場合には、複数回
積層する中で少なくとも最初にグリーンシートを積層す
る際に、減圧雰囲気下で行うことによって、形成される
誘電体層、隔壁下地層或は隔壁に気泡が生じるのを抑制
することを可能とした。

【００５２】特に、この製法を誘電体層形成に用いれ
ば、耐電圧の高い誘電体層を比較的容易に形成すること
ができる点で有益である。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態にかかる交流型ＰＤＰの斜視図であ
る。

【図２】実施の形態１にかかる誘電体形成方法を示す図
である。

【図３】従来のグリーンシート法による誘電体層形成方
法を示す図である。

【図４】実施の形態２にかかる誘電体形成方法を示す図
である。

【符号の説明】

１１前面ガラス基板１２表示電極１３誘電体層１４保護膜２１背面ガラス基板２２アドレス電極２３誘電体層２４隔壁１０１，１０２ラミネータローラ１０３密閉室１０４真空ポンプ１１０，２１０第１グリーンシート１２０，２２０第２グリーシート２２４隔壁層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者長谷川和也大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 5C027 AA05 AA09 5C040 GD09 GF19 JA09 JA17 JA22 JA28 LA17 MA23 MA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電極が設けられた基材上に、誘電材料を
含むグリーンシートを、当該電極を蔽うように積層する
積層ステップと、積層されたグリーンシートを焼成する
焼成ステップとからなる誘電体層形成工程を備えるガス
放電型表示装置の製造方法であって、前記積層ステップを、減圧雰囲気下で行うことを特徴と
するガス放電型表示装置の製造方法。
【請求項２】電極が設けられた基材上に、誘電材料を
含むグリーンシートを、当該電極を蔽うように複数回積
層する積層ステップと、積層されたグリーンシートを焼成する焼成ステップとか
らなる誘電体層形成工程を備えるガス放電型表示装置の
製造方法であって、前記積層ステップでは、グリーンシートを複数回積層する中で少なくとも最初に
グリーンシートを積層する際に、減圧雰囲気下で行うこ
とを特徴とするガス放電型表示装置の製造方法。
【請求項３】電極が設けられた基材上に、隔壁下地材
料を含むグリーンシートを、当該電極を蔽うように積層
する積層ステップと、積層されたグリーンシートを焼成
する焼成ステップとからなる誘電下地層形成工程を備え
るガス放電型表示装置の製造方法であって、前記積層ステップを、減圧雰囲気下で行うことを特徴と
するガス放電型表示装置の製造方法。
【請求項４】電極が設けられた基材上に、隔壁下地材
料を含むグリーンシートを、当該電極を蔽うように複数
回積層する積層ステップと、積層されたグリーンシートを焼成する焼成ステップとか
らなる隔壁下地層形成工程を備えるガス放電型表示装置
の製造方法であって、前記積層ステップでは、グリーンシートを複数回積層する中で少なくとも最初に
グリーンシートを積層する際に、減圧雰囲気下で行うこ
とを特徴とするガス放電型表示装置の製造方法。
【請求項５】電極が設けられた基材上に、隔壁材料を
含むグリーンシートを、当該電極を蔽うように積層する
積層ステップと、積層されたグリーンシートにおける不
要部分を除去する除去ステップと、積層されたグリーン
シートを焼成する焼成ステップとからなる隔壁形成工程
を備えるガス放電型表示装置の製造方法であって、前記積層ステップを、減圧雰囲気下で行うことを特徴と
するガス放電型表示装置の製造方法。
【請求項６】電極が設けられた基材上に、隔壁材料を
含むグリーンシートを、当該電極を蔽うように複数回積
層する積層ステップと、積層されたグリーンシートにお
ける不要部分を除去する除去ステップと、積層されたグ
リーンシートを焼成する焼成ステップとからなる隔壁形
成工程を備えるガス放電型表示装置の製造方法であっ
て、前記積層ステップでは、グリーンシートを複数回積層する中で少なくとも最初に
グリーンシートを積層する際に、減圧雰囲気下で行うこ
とを特徴とするガス放電型表示装置の製造方法。
【請求項７】前記積層ステップにおける減圧雰囲気の
圧力は、大気圧に対して１／１０以下であることを特徴とする請
求項１〜６のいずれか１項に記載のガス放電型表示装置
の製造方法。
【請求項８】前記焼成ステップでは、大気中よりも酸素が多く含まれる雰囲気中で焼成するこ
とを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のガ
ス放電型表示装置の製造方法。
【請求項９】前記焼成ステップでは、乾燥空気中で焼成することを特徴とする請求項１〜７の
いずれか１項に記載のガス放電型表示装置の製造方法。