JP2002267567A - リークテスト方法 - Google Patents
リークテスト方法Info
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- JP2002267567A JP2002267567A JP2001071953A JP2001071953A JP2002267567A JP 2002267567 A JP2002267567 A JP 2002267567A JP 2001071953 A JP2001071953 A JP 2001071953A JP 2001071953 A JP2001071953 A JP 2001071953A JP 2002267567 A JP2002267567 A JP 2002267567A
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- differential pressure
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 内部欠陥に起因する誤判定を確実にかつ効率
よく防止し、信頼性の向上と生産性の向上とに大きく寄
与する差圧式リークテスト方法を提供する。 【解決手段】 被測定物とマスタとに加圧気体を封じ込
め、両者の間の差圧変化量を測定して洩れの有無を判定
するリークテスト方法において、１回目の測定（ステッ
プＳ３）で得られた洩れ量Ｌ１が洩れ規格Ｌｎより大き
い（Ｌ１＞Ｌｎ）場合は、一定時間経過後に再測定を行
い（ステップＳ７）、今回の測定で得られた洩れ量Ｌｋ
が洩れ規格Ｌｎよりも大きい（Ｌｋ＞Ｌｎ）場合は、前
回の洩れ量Ｌk-1と今回洩れ量Ｌｋとを比較して、この
差（Ｌk-1−Ｌｋ）が設定値ΔＬｎより小さくなるま
で、すなわち被測定物の内部圧力が安定するまで再測定
のサイクル（Ｓ６〜Ｓ１０）を繰返し、洩れ無し（ステ
ップＳ９）または洩れ有り（ステップＳ１１）の最終判
定をする。
よく防止し、信頼性の向上と生産性の向上とに大きく寄
与する差圧式リークテスト方法を提供する。 【解決手段】 被測定物とマスタとに加圧気体を封じ込
め、両者の間の差圧変化量を測定して洩れの有無を判定
するリークテスト方法において、１回目の測定（ステッ
プＳ３）で得られた洩れ量Ｌ１が洩れ規格Ｌｎより大き
い（Ｌ１＞Ｌｎ）場合は、一定時間経過後に再測定を行
い（ステップＳ７）、今回の測定で得られた洩れ量Ｌｋ
が洩れ規格Ｌｎよりも大きい（Ｌｋ＞Ｌｎ）場合は、前
回の洩れ量Ｌk-1と今回洩れ量Ｌｋとを比較して、この
差（Ｌk-1−Ｌｋ）が設定値ΔＬｎより小さくなるま
で、すなわち被測定物の内部圧力が安定するまで再測定
のサイクル（Ｓ６〜Ｓ１０）を繰返し、洩れ無し（ステ
ップＳ９）または洩れ有り（ステップＳ１１）の最終判
定をする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の気密性
を検査するリークテスト方法に係り、特にマスタとの差
圧変化量から気密性を検査する差圧式リークテスト方法
に関する。
を検査するリークテスト方法に係り、特にマスタとの差
圧変化量から気密性を検査する差圧式リークテスト方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】差圧式リークテスト方法は、被検査物と
洩れのないマスタとに加圧気体（通常、圧縮空気）を封
じ込め、両者の間の差圧変化量を測定して洩れの有無を
判定するものであるが（例えば、特開平１０−３００６
２３号公報参照）、通常は、被検査物とマスタとに加圧
気体を供給してから両者の内圧が平衡に達するまで若干
の時間がかかるため、両者の内圧が平衡に達する時間を
見込んで、この時間が経過した後に前記差圧変化量の測
定を行うようにしている。
洩れのないマスタとに加圧気体（通常、圧縮空気）を封
じ込め、両者の間の差圧変化量を測定して洩れの有無を
判定するものであるが（例えば、特開平１０−３００６
２３号公報参照）、通常は、被検査物とマスタとに加圧
気体を供給してから両者の内圧が平衡に達するまで若干
の時間がかかるため、両者の内圧が平衡に達する時間を
見込んで、この時間が経過した後に前記差圧変化量の測
定を行うようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、被検査物が
鋳造品である場合は、図５に示すように内部に巣（内部
欠陥）１が存在し、しかも、この巣１が測定対象系の空
洞２に対して細い通路３で連通する形態で存在するもの
がある。このような鋳造品Ｗを対象に、いま、その空洞
２を外部から蓋体４により閉塞して上記差圧式リークテ
ストを行うと、鋳造品Ｗとマスタ（図示略）との間の差
圧は、図６に実線Ａにて示すように、ある時間ｔｂに達
するまで二次元的に増大し、時間ｔｂの経過後に一定に
推移するようになる。これは、鋳造品Ｗ内の空洞２に封
じ込められた加圧気体が、細い通路３を経由して巣１に
流れ込む結果、その内圧が徐々に低下することに起因す
るもので、この場合、作業標準に従って時間ｔａ内（斜
線内）で差圧変化量（差圧の時間当りの変化）の測定を
行うと、鋳造品Ｗに外部洩れがない（良品である）にも
かかわらず、これを“洩れ有り”と誤判定してしまい、
その分、不良率が高くなるという問題があった。因み
に、鋳造品（被検査物）Ｗに外部洩れがある場合は、そ
の内圧が一定の割合で低下するため、図６に点線Ｂにて
示すように差圧は時間と共に直線的に増大する。
鋳造品である場合は、図５に示すように内部に巣（内部
欠陥）１が存在し、しかも、この巣１が測定対象系の空
洞２に対して細い通路３で連通する形態で存在するもの
がある。このような鋳造品Ｗを対象に、いま、その空洞
２を外部から蓋体４により閉塞して上記差圧式リークテ
ストを行うと、鋳造品Ｗとマスタ（図示略）との間の差
圧は、図６に実線Ａにて示すように、ある時間ｔｂに達
するまで二次元的に増大し、時間ｔｂの経過後に一定に
推移するようになる。これは、鋳造品Ｗ内の空洞２に封
じ込められた加圧気体が、細い通路３を経由して巣１に
流れ込む結果、その内圧が徐々に低下することに起因す
るもので、この場合、作業標準に従って時間ｔａ内（斜
線内）で差圧変化量（差圧の時間当りの変化）の測定を
行うと、鋳造品Ｗに外部洩れがない（良品である）にも
かかわらず、これを“洩れ有り”と誤判定してしまい、
その分、不良率が高くなるという問題があった。因み
に、鋳造品（被検査物）Ｗに外部洩れがある場合は、そ
の内圧が一定の割合で低下するため、図６に点線Ｂにて
示すように差圧は時間と共に直線的に増大する。
【０００４】なお、上記誤判定を防止するには、内圧が
安定する時間ｔｂ以降に測定時間を設定すればよいが、
巣１の存在形態は鋳造品Ｗごとに異なるため、その時間
ｔｂは一定せず、判定に完璧を期すには、長時間側に測
定時間を設定しなければならない。しかし、鋳造品Ｗの
ほとんどは、外部洩れも前記した巣１も無い良品である
ことから、前記したように長時間側に測定時間を設定し
た場合は、リークテストに要する時間的な無駄が多くな
り、インラインでのリークテストも不可能になって、生
産性が著しく犠牲になる。
安定する時間ｔｂ以降に測定時間を設定すればよいが、
巣１の存在形態は鋳造品Ｗごとに異なるため、その時間
ｔｂは一定せず、判定に完璧を期すには、長時間側に測
定時間を設定しなければならない。しかし、鋳造品Ｗの
ほとんどは、外部洩れも前記した巣１も無い良品である
ことから、前記したように長時間側に測定時間を設定し
た場合は、リークテストに要する時間的な無駄が多くな
り、インラインでのリークテストも不可能になって、生
産性が著しく犠牲になる。
【０００５】本発明は、上記した従来の問題点に鑑みて
なされたもので、その課題とするところは、内部欠陥に
起因する誤判定を確実にかつ効率よく防止し、もって信
頼性の向上と生産性の向上とに大きく寄与する差圧式リ
ークテスト方法を提供することにある。
なされたもので、その課題とするところは、内部欠陥に
起因する誤判定を確実にかつ効率よく防止し、もって信
頼性の向上と生産性の向上とに大きく寄与する差圧式リ
ークテスト方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、被検査物とマスタとに加圧気体を封じ込
め、両者の間の差圧変化量を測定して洩れの有無を判定
するリークテスト方法において、洩れ有りと判定した
際、一定時間経過後に再測定して次の判定を行い、この
再測定サイクルを、洩れ量にほとんど変化がなくなるま
で繰返して、その時の判定結果を最終判定とすることを
特徴とする。このように行うリークテスト方法において
は、洩れ量にほとんど変化がなくなるまで再測定サイク
ルを繰返すことで、内部欠陥に起因する差圧変動の影響
を解消した状態で正確に洩れの有無を判定することがで
きる。しかも、外部洩れも内部欠陥もない被測定物につ
いては、初回の測定で良品と判定できるので、良品の判
定に無駄な時間を費やすこともない。
め、本発明は、被検査物とマスタとに加圧気体を封じ込
め、両者の間の差圧変化量を測定して洩れの有無を判定
するリークテスト方法において、洩れ有りと判定した
際、一定時間経過後に再測定して次の判定を行い、この
再測定サイクルを、洩れ量にほとんど変化がなくなるま
で繰返して、その時の判定結果を最終判定とすることを
特徴とする。このように行うリークテスト方法において
は、洩れ量にほとんど変化がなくなるまで再測定サイク
ルを繰返すことで、内部欠陥に起因する差圧変動の影響
を解消した状態で正確に洩れの有無を判定することがで
きる。しかも、外部洩れも内部欠陥もない被測定物につ
いては、初回の測定で良品と判定できるので、良品の判
定に無駄な時間を費やすこともない。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基いて説明する。
図面に基いて説明する。
【０００８】図３は、本発明に係るリークテストを実施
するための装置を示したものである。なお、本実施の形
態で測定対象とする被測定物は前記した鋳造品Ｗである
ので、ここでは、同一部分に同一符号を付すこととす
る。本リークテストの実施に際しては、前記鋳造品Ｗに
おける空洞２と同寸法、形状の空洞２´を有する洩れの
ないマスタＭを用意し、このマスタＭの空洞２´を前記
鋳造品Ｗに対すると同様の蓋体４´で閉塞する。リーク
テストを実施するための装置は、空気圧源１０を備える
と共に、この空気圧源１０から延ばした主管路１１およ
び該主管路１１から分岐した並列管路１２、１３を備え
ており、前記鋳造品ＷおよびマスタＭには、各並列管路
１２、１３を通じて加圧気体（圧縮空気）が供給される
ようになっている。また、主管路１１および各並列管路
１２、１３には開閉弁１４、１５、１６が介装されてお
り、これら開閉弁１４、１５、１６は別途設置したコン
トローラ１７からの指令で開閉制御されるようになって
いる。さらに、並列管路１２と１３との間には、鋳造品
ＷとマスタＭとの間の差圧を検出する差圧センサ１８が
介装されており、その信号が前記コントローラ１７へ送
出されるようになっている。
するための装置を示したものである。なお、本実施の形
態で測定対象とする被測定物は前記した鋳造品Ｗである
ので、ここでは、同一部分に同一符号を付すこととす
る。本リークテストの実施に際しては、前記鋳造品Ｗに
おける空洞２と同寸法、形状の空洞２´を有する洩れの
ないマスタＭを用意し、このマスタＭの空洞２´を前記
鋳造品Ｗに対すると同様の蓋体４´で閉塞する。リーク
テストを実施するための装置は、空気圧源１０を備える
と共に、この空気圧源１０から延ばした主管路１１およ
び該主管路１１から分岐した並列管路１２、１３を備え
ており、前記鋳造品ＷおよびマスタＭには、各並列管路
１２、１３を通じて加圧気体（圧縮空気）が供給される
ようになっている。また、主管路１１および各並列管路
１２、１３には開閉弁１４、１５、１６が介装されてお
り、これら開閉弁１４、１５、１６は別途設置したコン
トローラ１７からの指令で開閉制御されるようになって
いる。さらに、並列管路１２と１３との間には、鋳造品
ＷとマスタＭとの間の差圧を検出する差圧センサ１８が
介装されており、その信号が前記コントローラ１７へ送
出されるようになっている。
【０００９】上記した装置によるリークテストの手順
は、従来方法と基本的に変わるところがなく、空気圧源
１０から鋳造品ＷおよびマスタＭに圧縮空気を供給する
加圧行程と、鋳造品ＷおよびマスタＭ内の圧力を平衡さ
せる平衡行程と、差圧センサ１８により鋳造品Ｗとマス
タＭとの間の差圧を検出する測定行程とが順に行われ
る。より詳しくは、図４のタイムチャートに示すよう
に、加圧行程では主管路１１および各並列管路１２、１
３内の全ての開閉弁１４、１５、１６を開き、これから
一定時間経過後、主管路１１内の開閉弁１４を閉じて平
衡行程に移行させ、さらに所定時間経過後、各並列管路
１２、１３内の開閉弁１５、１６を閉じて測定行程に移
行させる。
は、従来方法と基本的に変わるところがなく、空気圧源
１０から鋳造品ＷおよびマスタＭに圧縮空気を供給する
加圧行程と、鋳造品ＷおよびマスタＭ内の圧力を平衡さ
せる平衡行程と、差圧センサ１８により鋳造品Ｗとマス
タＭとの間の差圧を検出する測定行程とが順に行われ
る。より詳しくは、図４のタイムチャートに示すよう
に、加圧行程では主管路１１および各並列管路１２、１
３内の全ての開閉弁１４、１５、１６を開き、これから
一定時間経過後、主管路１１内の開閉弁１４を閉じて平
衡行程に移行させ、さらに所定時間経過後、各並列管路
１２、１３内の開閉弁１５、１６を閉じて測定行程に移
行させる。
【００１０】しかして、本実施の形態においては、上記
測定行程を図１および図２に示す手順に従って実施す
る。すなわち、上記加圧行程（ステップＳ１）および平
衡行程（ステップＳ２）を終了して測定行程へ移行した
ら、ステップＳ３において、差圧センサ１８からの信号
に基づいて１回目の測定を行い、差圧変化量（単位時間
当りの差圧変化）から洩れ量Ｌ１を算出する。次に、ス
テップＳ４において、前記洩れ量Ｌ１と予め設定されて
いる洩れ規格Ｌｎとを比較し、洩れ量Ｌ１が洩れ規格Ｌ
ｎ以下（Ｌ１≦Ｌｎ）であれば、ステップＳ５において
洩れ無し（良品）と判定し、測定を終了する。
測定行程を図１および図２に示す手順に従って実施す
る。すなわち、上記加圧行程（ステップＳ１）および平
衡行程（ステップＳ２）を終了して測定行程へ移行した
ら、ステップＳ３において、差圧センサ１８からの信号
に基づいて１回目の測定を行い、差圧変化量（単位時間
当りの差圧変化）から洩れ量Ｌ１を算出する。次に、ス
テップＳ４において、前記洩れ量Ｌ１と予め設定されて
いる洩れ規格Ｌｎとを比較し、洩れ量Ｌ１が洩れ規格Ｌ
ｎ以下（Ｌ１≦Ｌｎ）であれば、ステップＳ５において
洩れ無し（良品）と判定し、測定を終了する。
【００１１】ところで、被測定物である鋳造品Ｗが、図
３に示したように測定対象系の空洞２に対して細い通路
３で連通する巣１を内包する場合は、前記したように圧
縮空気が、細い通路３を経由して巣１に流れ込むため、
その内圧が安定するまで時間がかかり、上記１回目の測
定において得られた洩れ量Ｌ１が洩れ規格Ｌｎよりも大
きくなり（Ｌ１＞Ｌｎ）、従来であれば、この段階で洩
れ有り（不良品）と判定していた。
３に示したように測定対象系の空洞２に対して細い通路
３で連通する巣１を内包する場合は、前記したように圧
縮空気が、細い通路３を経由して巣１に流れ込むため、
その内圧が安定するまで時間がかかり、上記１回目の測
定において得られた洩れ量Ｌ１が洩れ規格Ｌｎよりも大
きくなり（Ｌ１＞Ｌｎ）、従来であれば、この段階で洩
れ有り（不良品）と判定していた。
【００１２】しかし、本実施の形態においては、上記ス
テップＳ４において、洩れ量Ｌ１が洩れ規格Ｌｎよりも
大きい（Ｌ１＞Ｌｎ）と判断した場合は、そのまま一定
時間待機し（ステップＳ６）、次に、２回目の測定を行
う。なお、図１には説明の便宜のため、次のステップＳ
７をＫ回目の測定行程として示しているが、その処理内
容は２回目もＫ回目も変わるところがないので、以下、
Ｋ回目の測定を行ったものとして説明を行う。ステップ
Ｓ７において、差圧センサ１８からの信号に基づいてＫ
回目の測定を行い、差圧変化量から洩れ量Ｌｋを算出す
る。次に、ステップＳ８において、前記洩れ量Ｌｋと前
記した洩れ規格Ｌｎとを比較し、洩れ量Ｌｋが洩れ規格
Ｌｎ以下（Ｌｋ≦Ｌｎ）であれば、ステップＳ９におい
て洩れ無し（良品）と判定し、測定を終了する。
テップＳ４において、洩れ量Ｌ１が洩れ規格Ｌｎよりも
大きい（Ｌ１＞Ｌｎ）と判断した場合は、そのまま一定
時間待機し（ステップＳ６）、次に、２回目の測定を行
う。なお、図１には説明の便宜のため、次のステップＳ
７をＫ回目の測定行程として示しているが、その処理内
容は２回目もＫ回目も変わるところがないので、以下、
Ｋ回目の測定を行ったものとして説明を行う。ステップ
Ｓ７において、差圧センサ１８からの信号に基づいてＫ
回目の測定を行い、差圧変化量から洩れ量Ｌｋを算出す
る。次に、ステップＳ８において、前記洩れ量Ｌｋと前
記した洩れ規格Ｌｎとを比較し、洩れ量Ｌｋが洩れ規格
Ｌｎ以下（Ｌｋ≦Ｌｎ）であれば、ステップＳ９におい
て洩れ無し（良品）と判定し、測定を終了する。
【００１３】一方、上記ステップＳ８において、洩れ量
Ｌｋが洩れ規格Ｌｎよりも大きい（Ｌｋ＞Ｌｎ）と判断
した場合は、処理をステップＳ１０に移し、前回の測定
結果から求めた洩れ量Ｌk-1と今回の洩れ量Ｌｋとの差
を算出すると共に、この算出値（洩れ量の差）と予め設
定した設定値ΔＬｎとを比較する。そして、前記算出値
が設定値以下（Ｌk-1−Ｌｋ≦ΔＬｎ）であれば、鋳造
品Ｗの内圧が既に安定したと判断し、処理をステップＳ
１１へ移し、ステップＳ８における判断結果に従って洩
れ有りと判定し、測定を終了する。これに対し、ステッ
プＳ１０で、洩れ量の差が設定値を超えている（Ｌk-1
−Ｌｋ＞ΔＬｎ）場合は、鋳造品Ｗの内圧が依然として
不安定な状態にあると判断し、処理をステップＳ６に戻
し、洩れ量の差が設定値以下（Ｌk-1−Ｌｋ≦ΔＬｎ）
になるまで、すなわち洩れ量にほとんど変化がなくなる
まで前記再測定のサイクル（Ｓ６〜Ｓ１０）を繰返し、
洩れ無し（ステップＳ９）または洩れ有り（ステップＳ
１１）の最終判定をする。因みに、図２に示す実施例で
は、５回目と６回目の差圧変化量（差圧勾配）がほぼ同
じ、すなわち洩れ量の差がほぼゼロ（Ｌ5−Ｌ6≒０）で
あるので、６回目の測定結果を用いて最終判定をするこ
とになる。
Ｌｋが洩れ規格Ｌｎよりも大きい（Ｌｋ＞Ｌｎ）と判断
した場合は、処理をステップＳ１０に移し、前回の測定
結果から求めた洩れ量Ｌk-1と今回の洩れ量Ｌｋとの差
を算出すると共に、この算出値（洩れ量の差）と予め設
定した設定値ΔＬｎとを比較する。そして、前記算出値
が設定値以下（Ｌk-1−Ｌｋ≦ΔＬｎ）であれば、鋳造
品Ｗの内圧が既に安定したと判断し、処理をステップＳ
１１へ移し、ステップＳ８における判断結果に従って洩
れ有りと判定し、測定を終了する。これに対し、ステッ
プＳ１０で、洩れ量の差が設定値を超えている（Ｌk-1
−Ｌｋ＞ΔＬｎ）場合は、鋳造品Ｗの内圧が依然として
不安定な状態にあると判断し、処理をステップＳ６に戻
し、洩れ量の差が設定値以下（Ｌk-1−Ｌｋ≦ΔＬｎ）
になるまで、すなわち洩れ量にほとんど変化がなくなる
まで前記再測定のサイクル（Ｓ６〜Ｓ１０）を繰返し、
洩れ無し（ステップＳ９）または洩れ有り（ステップＳ
１１）の最終判定をする。因みに、図２に示す実施例で
は、５回目と６回目の差圧変化量（差圧勾配）がほぼ同
じ、すなわち洩れ量の差がほぼゼロ（Ｌ5−Ｌ6≒０）で
あるので、６回目の測定結果を用いて最終判定をするこ
とになる。
【００１４】このようにして、内部欠陥（巣）１に起因
する差圧変動の影響を解消した状態で最終判定をするの
で、外部洩れのない良品を不良品と誤判定してしまうこ
とはなくなり、その分、製品歩留りが向上する。しか
も、外部洩れも内部欠陥もない被測定物Ｗについては、
初回の測定で良品と判定できる（ステップＳ５）ので、
良品の判定に無駄な時間を費やすこともない。
する差圧変動の影響を解消した状態で最終判定をするの
で、外部洩れのない良品を不良品と誤判定してしまうこ
とはなくなり、その分、製品歩留りが向上する。しか
も、外部洩れも内部欠陥もない被測定物Ｗについては、
初回の測定で良品と判定できる（ステップＳ５）ので、
良品の判定に無駄な時間を費やすこともない。
【００１５】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係る差
圧式リークテスト方法によれば、内部欠陥に起因する誤
判定を確実にかつ効率よく防止することができ、信頼性
の向上と生産性の向上とに大きく寄与する効果を奏す
る。
圧式リークテスト方法によれば、内部欠陥に起因する誤
判定を確実にかつ効率よく防止することができ、信頼性
の向上と生産性の向上とに大きく寄与する効果を奏す
る。
【図１】本発明に係るリークテスト方法の処理フローを
示すフローチャートである。
示すフローチャートである。
【図２】本リークテスト方法における判定基準を差圧変
化と関連付けて示すグラフである。
化と関連付けて示すグラフである。
【図３】本リークテスト方法を実施するための装置構成
を模式的に示す系統図である。
を模式的に示す系統図である。
【図４】本リークテスト方法を実施行程を示すタイムチ
ャートである。
ャートである。
【図５】被測定物としての鋳造品における内部欠陥の存
在形態を示す断面図である。
在形態を示す断面図である。
【図６】従来のリークテスト方法における不具合発生例
を差圧変化と関連付けて示すグラフである。
を差圧変化と関連付けて示すグラフである。
１ 巣（内部欠陥） ２ 空洞 ３ 細い通路 １０ 空気圧源 １１ 主管路 １２、１３ 並列管路 １４、１５、１６ 開閉弁 １７ コントローラ １８ 差圧センサ Ｗ 鋳造品（被測定物） Ｍ マスタ
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査物とマスタとに加圧気体を封じ込
め、両者の間の差圧変化量を測定して洩れの有無を判定
するリークテスト方法において、洩れ有りと判定した
際、一定時間経過後に再測定して次の判定を行い、この
再測定サイクルを、洩れ量にほとんど変化がなくなるま
で繰返して、その時の判定結果を最終判定とすることを
特徴とするリークテスト方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001071953A JP2002267567A (ja) | 2001-03-14 | 2001-03-14 | リークテスト方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001071953A JP2002267567A (ja) | 2001-03-14 | 2001-03-14 | リークテスト方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002267567A true JP2002267567A (ja) | 2002-09-18 |
Family
ID=18929601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001071953A Pending JP2002267567A (ja) | 2001-03-14 | 2001-03-14 | リークテスト方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002267567A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3282238A1 (en) * | 2016-08-08 | 2018-02-14 | Sartorius Stedim Biotech GmbH | Improving the reliability of an integrity or leak test of a sample |
-
2001
- 2001-03-14 JP JP2001071953A patent/JP2002267567A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3282238A1 (en) * | 2016-08-08 | 2018-02-14 | Sartorius Stedim Biotech GmbH | Improving the reliability of an integrity or leak test of a sample |
| US10473677B2 (en) | 2016-08-08 | 2019-11-12 | Sartorius Stedim Biotech Gmbh | Reliability of an integrity or leak test of a sample |
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