JP4056818B2 - リークテスト方法及び装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、密封空間を有する検査対象からの漏れを検査するのに好適なリークテスト方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、この種のリークテストでは、検査対象を含む第1空間と含まない第2空間とを互いに連通させた状態でこれら空間に圧縮エア等の加圧気体を導入する。そして、第1、第2空間の圧が平衡した後、これら空間を遮断して各々閉鎖系とする。ここで、検査対象の密封状態に不良があったときは、そこからの漏れが第2空間との差圧として検出される。これによって、検査対象の良不良を判定することができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
第1、第2空間に加圧気体を導入すると断熱圧縮により昇温し、この昇温分の放熱によっても圧力変化が起きる。そこで、従来は、このような放熱をはじめとする、漏れ以外の差圧変動要因が十分に収まるまで待って差圧検出を実行していた。そのため、検査に時間がかかっていた。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係るリークテスト方法は、検査対象を含む第1空間と含まな い第2空間とを互いに連通させた状態でこれら空間に加圧気体を導入した後、これら空間を遮断して各々閉鎖系としてその差圧を検出するリークテスト方法において、加圧気体導入による断熱昇温後の放熱による効果を表す放熱特性項と検査対象での漏れによる効果を表す漏れ特性項とを少なくとも含む差圧の経時変化を示す差圧方程式を予め近似的に設定しておき、上記閉鎖系形成後の上記放熱効果が有効な短い期間における検出差圧データを上記差圧方程式にフィッティングさせて該方程式の各項の係数を確定し、ひいては検出対象の漏れを判定することを特徴とする。これによって、放熱が収まるまで差圧検出を待つ必要が無く、検査時間を大幅に短縮することができる。上記第2空間の容積は、当該第2空間での放熱効果を無視し得る程度に小さいことが望ましい。これによって、差圧方程式を簡単化でき、係数確定を容易化できる。
【0005】
検査対象の1つ又はそれと同容積で漏れの無いマスタ部材を用いた差圧データの検出を上記放熱有効期間よりも長い期間にわたって1又は複数回行なうことにより上記差圧方程式の漏れ特性項以外の項の係数を事前に確定しておき、その後の検査対象に対する本検査では漏れ特性項の係数のみを確定することにしてもよい。これによって、各々の検査対象に特有の漏れ特性と、それ以外の放熱特性等とを分けて解析することができ、放熱特性等については長期間にわたって1又は複数回行なうことで係数確定の精度を高めることができ、ひいては判定の精度を高めることができる。
上記本検査において、検出差圧データから上記漏れ特性項以外の項の係数をも一時的に求め、それに基づいて上記事前の確定係数を補正し、この補正された事前確定係数と上記検出差圧データとにより上記漏れ特性項の係数を確定することにしてもよい。これによって、検査対象の検査数が1つ増える度に放熱特性等の係数の事前確定値をより精度の高いものに補正することができ、また、周辺温度等の環境特性が経時変化している場合、その変化に適合するように事前確定値を追従させることができ、判定精度を一層高めることができる。
上記事前検査において、上記事前確定係数から得られる理論差圧と実測差圧との差をサンプリングタイムごとに求めておき、上記本検査において、サンプリングタイムごとに検出差圧から上記差を差し引き、この差し引いた値に基づいて漏れ特性項の係数を確定することにしてもよい。これによって、差圧方程式に近似誤差があっても、すなわち放熱や漏れ以外に差圧変化を来たす要因が存在する場合であっても、それを加味した判定を行なうことができ、判定精度を一層高めることができる。
【0006】
上記判定で用いる差圧方程式に、上記放熱及び漏れ以外の効果を表す1又は複数の特性項を選択的に含ませることができるようにしてもよい。これによって、検出対象の種類、その他の諸要件に合わせて、判定で考慮すべき特性を取捨選択でき、判定精度を高めることができる。この場合、各種特性項を種々組み合わせた差圧方程式(漏れと放熱の各特性項は必ず含む)の候補を複数設けておき、これら候補式の中から1つを選択できるようにして、それを上記判定で用いる差圧方程式としてもよく、各特性項を候補として設定しておき、これら候補項の中から1又は複数を選択できるようにし、選択された項からなる差圧方程式(漏れと放熱の各特性項は必ず含む)を作り、それを上記判定で用いる差圧方程式としてもよい。
【0007】
本発明に係るリークテスト装置は、検査対象を含む第1空間と含まない第2空間とを互いに連通させた状態でこれら空間に加圧気体を導入した後、これら空間を遮断して各々閉鎖系としてその差圧を検出するリークテスト装置において、加圧気体導入による断熱昇温後の放熱による効果を表す放熱特性項と検査対象での漏れによる効果を表す漏れ特性項とを少なくとも含む差圧の経時変化を示す差圧方程式を近似的に設定する差圧方程式設定部と、上記閉鎖系形成後の上記放熱効果が有効な短い期間における検出差圧データを上記差圧方程式にフィッティングさせて該方程式の各項の係数を確定し、ひいては検出対象の漏れを判定する漏れ判定部とを備えたことを特徴とする。これによって、放熱が収まるまで差圧検出を待つ必要が無く、検査時間を大幅に短縮することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係るエアリークテスト装置1の概略構成を示したものである。エアリークテスト装置1は、圧縮エア源10(加圧気体供給源)と、この圧縮エア源10から延びる主通路20と、この主通路20の中途部から分岐された分岐通路21とを有している。主通路20には、上流側から電空レギュレータ11、テスト圧センサ51、電磁開閉弁からなる加圧弁30、フィルタ40、ボール弁からなるワーク弁33が順次設けられている。主通路20の下流端に、コネクタ29を介してワークW(検査対象)の密封された内部空間が接続されるようになっている。フィルタ40の上流側の主通路20から排気通路22が延びている。排気通路22には、電磁開閉弁からなる排気弁32が設けられている。排気通路22の下流端は、排気ポート22aを介して大気に開放されている。
【0009】
加圧弁30と排気通路22との間の主通路20から上記マスタ通路21が分岐して延びている。分岐通路21には、ワーク圧センサ52と、電磁開閉弁からなる平衡弁31とが上流側から順次設けられている。分岐通路21の下流端には、小容積(例えば30cc)のエアタンク23が接続されている。分岐通路21には、差圧検出通路25が、平衡弁31をバイパスするようにして設けられている。差圧検出通路25には、差圧センサ50が設けられている。
【0010】
加圧弁30より下流の主通路20と、ワークWの密封空間と、排気弁32より上流の排気通路22と、平衡弁31より上流の分岐通路21と、差圧センサ50より上流の差圧検出通路25とによって、第1空間61が構成されている。平衡弁31より下流の分岐通路21と、エアタンク23と、差圧センサ50より下流の差圧検出通路25とによって、第2空間62が構成されている。3つの電磁開閉弁30〜32を閉じると、第1、第2空間61,62が、互いに独立した閉鎖系となる。第2空間62の容積は、第1空間61より極めて小さい。
【0011】
更に、エアリークテスト装置1は、全体を統括する制御手段70を備えている。制御手段70には、弁30〜32の駆動回路、電空レギュレータ11の駆動回路、センサ50〜52の読み取り回路、これら回路を制御する制御部等(何れも図示せず)の他、差圧方程式設定部71と、判定部72が格納されている。設定部71には後記差圧方程式(1)が設定されている。
【0012】
上記構成の装置1によるエアリークテスト方法として基本態様と改変態様とを説明する。
〔1〕基本態様
はじめに概略を説明する。ワークWにはシールを施して内部空間を密封しておく。このワークWを主通路20のコネクタ29に接続する(ワーク接続工程)。ワーク弁33は開き、排気弁32は閉じておく。そして、制御手段70によって加圧弁30と平衡弁31を開く。これによって、圧縮エア源10からの圧縮エアが、第1、第2空間61,62に供給される(加圧工程)。このとき、ワーク圧センサ52の検出圧が設定テスト圧に達した時点で、電空レギュレータ11によってその二次圧がそれ以上高くならないようにする。続いて、加圧弁30を閉じる一方、平衡弁31の開状態を維持する。これによって、第1、第2空間61,62の圧力が、共に設定テスト圧になるように均等化される(第1平衡工程)。次に、平衡弁31を閉じる。これによって、第1、第2空間61,62が互いに独立した閉鎖系になる。平衡弁31の閉操作による乱れが収まるのを待って(例えば2秒程度/第2平衡工程)、差圧センサ50の検出値を読み取る(検出工程)。この検出差圧に基づいて、判定部72が差圧方程式(1)の後記係数a〜cを確定し、ひいてはワークWの漏れを判定する(判定工程)。判定後、排気弁32を開いて、第1空間61を大気開放するとともに、ワークWを外す(解放工程)。そして、次のワークに対して同様の工程を順次実行する。
【0013】
上記差圧方程式(1)は、検出工程における差圧の経時変化を関数として近似化したものであり、例えば次式のように設定されている。
Y=at+b(1−e−ct) …(式1)
この式(1)をグラフ化すると、図2の実線のようになる。ここで、Yは、第2空間62の圧力から第1空間61の圧力を差し引いた差圧であり、tは、検出工程開始時をゼロとする経過時間である。
なお、第1、第2空間61,62間の差圧は、第2平衡工程の開始時(平衡弁弁31の閉じ時)から生じているが、簡単化のために検出工程開始時の差圧をゼロにリセットしている。
【0014】
差圧方程式(1)の右辺第1項atは、第1空間61ひいてはワークWでの漏れによる効果を表した漏れ特性項である。すなわち、ワークWでエア漏れが起きていると、第1空間61の圧力が低下していく。これによって生じる第2空間62との間の差圧変化を近似的に式化したものである。図2の破線で示すように、この漏れ特性項atは、時間tの経過とともに直線状に大きくなっていくものと仮定されている。係数aは、漏れの度合いを示している。
【0015】
右辺第2項b(1−e−ct)は、第1空間61での放熱による効果を表す放熱特性項である。すなわち、第1空間61では加圧工程における断熱圧縮によって昇温する。その後、この昇温分を放熱することにより圧力が低下する。この放熱による圧力低下を指数関数で近似化したものである。指数関数としたのは、一般に放熱量はその時点の温度(周辺との温度差)に比例するからである。係数b,cは、放熱の度合いを示している。具体的には、係数bは、放熱が収まったときの最終的な圧力低下分(放熱特性の収束点)となり、係数cは、放熱が収まる早さ(放熱特性の収束速度)となる。なお、第2空間62は、容積が極めて小さく、放熱による圧力変動を無視できる。そのため、放熱特性項は、第1空間61についてのみの式になっている。
【0016】
図2の二点鎖線で示すように、放熱特性項は、時間t=0で漏れ特性項より大きな勾配で立ち上がり、時間tの経過とともに勾配が次第に緩やかになり、最終的にはほとんどフラットになって係数bに収束する。したがって、検出工程の開始から僅かな期間T0(例えば10秒間)だけが、上記放熱に起因する差圧変化を有効に検出できる期間である。この放熱有効期間T0を過ぎると、差圧の変化は、ほとんど漏れに起因するものだけとなる。
【0017】
さて、上記検出工程は、放熱有効期間T0内に実行する。すなわち、制御手段70は、放熱有効期間T0の例えば10秒間に、差圧検出を短時間(例えば1秒)置きに繰り返し実行する。こうして、サンプリングタイムの異なる複数個の検出差圧データがサンプリングされる。そして、上記判定工程では、例えば最小二乗法によって検出差圧データに差圧方程式(1)をフィッティングさせ、各項の係数a〜cの値を確定する。そして、係数aの値に基づいてワークWの漏れの有無を判定する。すなわち、係数aが所定値を下回っているときは、漏れ無しとして、そのワークWを良品と判定する。一方、係数aが所定値以上であるときは、漏れ有りとして、そのワークWを不良と判定する。
したがって、放熱が収まるまで(図2の放熱特性項がフラットになるまで)差圧検出を待つ必要が無く、検査時間を大幅に短縮することができる。
また、加圧工程で電空レギュレータ11によって設定テスト圧以上の圧がワークWに導入されないようにしているので、放熱特性の複雑化を回避でき、係数の確定ひいては判定を容易化することができる。
【0018】
上記の基本態様のテスト方法でフィッティング精度ひいては判定精度が思わしくない場合、以下の改変態様を適用することができる。
〔2〕改変態様(その1)
実際の検査対象であるワークWに対する上記基本態様と同様の検査(これを「本検査」という。)に先立ち、事前検査を行なう。事前検査では、図1の仮想線で示すように、マスタ部材Mを用意し、これを実際の検査対象のワークWに代えてコネクタ29に接続する。マスタ部材Mは、漏れ無しと判明している(検査済みの)ワークWを用いてもよく、ワークWと同容積で漏れの無い他の部材を用いてもよい。なお、かかるマスタ部材Mに代えて、漏れの有無が不明な(未検査の)ワークWを用いてもよい。このマスタ部材M又はワークWに対して、上記と同様の加圧工程、第1平衡工程、第2平衡工程、検出工程を実行する。ただし、検出工程は、短い放熱有効期間T0内に留めず、数分〜数十分にわたって長時間実行する。これによって得られた多数のサンプリングデータを差圧方程式(1)にフィッティングさせて、各項の係数a〜cを求める。上記の各工程を1回でなく、反復して複数回実行し、その平均を取ってもよい。複数回実行する場合には、検出工程の長さを1回だけの場合よりも短くし、例えば数十秒のオーダーにしてもよい。勿論、反復の度に排気弁32を開けて空間61,62を一旦大気開放する。
【0019】
なお、未検査のワークWで事前検査を行なう場合は、この検査で得られた漏れ特性項の係数aの値によって当該ワークWの漏れ判定を行なうことができるので、当該ワークWに対する本検査は省略することができる。
マスタ部材Mの場合は、漏れが無いので、a=0となることになる。そこで、差圧方程式設定部71にマスタ部材M用の下記差圧方程式(2)を追加設定しておき、この式(2)でフィッティングを行なってもよい。
Y=b(1−e−ct) …(式2)
【0020】
上記事前検査で求められた漏れ特性項以外の項すなわち放熱特性項の係数b,cの確定値は、本検査における検査対象のワークWにも当てはまり得る。そこで、本検査の判定工程では、上記事前検査での放熱特性係数b,cの確定値を差圧方程式(1)に代入し、方程式(1)を線形にする。そして、線形最小二乗法等により漏れ特性係数aのみを確定し、この確定値に基づいてワークWの漏れの有無を判定する。
この改変態様(その1)によれば、各々のワークWに特有の漏れ特性と、どのワークWにも共通に当てはまる傾向の高い放熱特性とを分けて解析することができ、放熱特性については長期間にわたって1又は複数回行なうことで係数確定の精度を高めることができ、ひいては判定の精度を高めることができる。
【0021】
〔3〕改変態様(その2)
改変態様(その1)と同様の事前検査を行ない、放熱特性係数b,cの値を事前確定しておく。その後の本検査の判定工程では、先ず、上記基本態様と同様に、ワークWの検出差圧データを差圧方程式(1)にフィッティングさせ、各項の係数a〜cを求める。要するに、当該ワークWの検出差圧データだけに基づいて係数b,cの値を改めて算出する。この算出値に基づいて事前確定値を補正する。すなわち、算出値と事前確定値との加重平均又は移動平均を取り、これを放熱特性係数b,cの新たな事前確定値として補正する。この補正された事前確定値と当該ワークWの検出差圧データとを差圧方程式(1)に代入し、改めて漏れ特性係数aを算出、確定する。この確定した漏れ特性係数aの値に基づいて当該ワークWの漏れの有無を判定する。次のワークWに対する判定工程では、そのワークWの検出差圧データだけから算出した放熱特性係数b,cの値に基づいて上記補正後の事前確定値を再補正する。なお、ワークWの検出差圧データだけから算出した漏れ特性係数aが漏れ有りとされるような大きさのときは、そのワークWのデータを事前確定値に反映させない(上記補正を行なわない)。
この改変態様(その2)によれば、ワークWの検査数が1つ増える度に放熱特性係数b,cの事前確定値がより精度の高いものに補正されていく。これによって、判定精度を高めることができる。また、周辺温度等の環境特性が経時変化している場合、その変化に適合するように事前確定値を追従させることができる。
【0022】
〔4〕改変態様(その3)
改変態様(その1)の事前検査において、確定した係数a(=0),b,cの値を差圧方程式(1)に代入した理論差圧と、実際の検出差圧すなわち実測差圧との差をサンプリングタイムごとに求めておく。すなわち、各サンプリングタイムを、t1,t2,t3…とする。サンプリングタイムは、期間T0内に含まれる必要がある。このサンプリングタイム(t1,t2,t3…)ごとの理論差圧を、Yi(t1),Yi(t2),Yi(t3)…とし、実測差圧をYr(t1),Yr(t2),Yr(t3)…とすると、その差、すなわち、
ΔY(t1)=Yi(t1)−Yr(t1)
ΔY(t2)=Yi(t2)−Yr(t2)
ΔY(t3)=Yi(t3)−Yr(t3)
…
を求める。なお、複数回実測した場合には、その平均を実測差圧とする。上記の差ΔY(t1),ΔY(t2),ΔY(t3)…は、近似式としての差圧方程式(1)の近似誤差に相当する。すなわち、放熱や漏れ以外に差圧変化の要因が存在する場合(例えば加圧によってワークW自体が変形したり、ワークWに施したシール部が変形したりし、その後、復元していく場合等)、その要因分の差圧変化(第2空間62の圧力)−(第1空間61の圧力)に(−1)をかけたものに相当する。
【0023】
そして、本検査において、検出差圧から上記差を差し引いて補正差圧を求める。すなわち、本検査におけるサンプリングタイム(t1,t2,t3…)ごとの検出差圧をYp(t1),Yp(t2),Yp(t3)…とし、補正差圧をYp’(t1),Yp’(t2),Yp’(t3)…とすると、
Yp’(t1)=Yp(t1)−ΔY(t1)
Yp’(t2)=Yp(t2)−ΔY(t2)
Yp’(t3)=Yp(t3)−ΔY(t3)
…
を求める。この補正差圧は、差圧方程式(1)の近似誤差を補正したものであり、放熱や漏れ以外の要因による差圧変化分を加算したものである。この補正差圧Yp’(t1),Yp’(t2),Yp’(t3)…と上記放熱特性項の事前確定係数b,cの値とに基づいて直線回帰を行なう。これによって、漏れ特性項の係数aを確定し、ワークWの漏れの有無を判定する。
この改変態様(その3)によれば、差圧方程式に近似誤差があっても、すなわち放熱や漏れ以外に差圧変化を来たす要因が存在する場合であっても、それを加味した漏れ特性係数aを算出することができ、判定精度を高めることができる。
【0024】
〔5〕改変態様(その4)
制御手段70の差圧方程式設定部71に、下記のように、差圧方程式の候補を式(1)だけでなく複数設定しておく。
Y=at+b(1−e−ct) …(式1)
Y=at+b1(1−e−c1t)+b2(1−e−c2t) …(式3)
Y=at+b1(1−e−c1t)+b2(1−e−c2t)+b3(1−e−c3t) …(式4)
…
ここで、式3と式4の右辺第2項は、放熱特性項であり、第3項は、例えばワークWのシール部の変形による差圧変化を表したシール部変形特性項であり、式4の右辺第4項は、例えばワークW自体の変形による差圧変化を表したワーク変形特性項である。その他、周辺温度の変化による差圧変化を表した周辺温度特性項等を含む式を設定してもよい。このように漏れや放熱や以外の特性項をも作り、これらを組み合わせた式を立てておく。各式には、少なくとも漏れ特性項と放熱特性項を含ませる。更に、制御手段70に、これら候補式の中から1つを選択する式選択部(図示せず)を設けておく。検査作業者は、対象となるワークW等に合わせて、上記式選択部によって1つの式を選択する。これによって、判定部72が、検出差圧データを上記選択された1つの差圧方程式にフィッティングさせて当該式の各項の係数を確定し、その中の漏れ特性係数aの値に基づいて、ワークWの漏れの有無を判定する。なお、シール部変形やワーク変形等の各特性項を候補として設定しておき、これら候補項の中から1又は複数を選択できるようにし、選択された候補項と放熱特性項及び漏れ特性項とを組み合わせることによって、上記判定工程で用いる差圧方程式を作ることにしてもよい。
この改変態様(その4)によれば、ワークWその他の諸要件に合わせて、判定で考慮すべき特性を取捨選択でき、判定精度を高めることができる。
【0025】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の改変を行なうことができる。
例えば、放熱特性項は、上記指数関数b(1−e−ct)に代えて累乗関数や対数関数等を用いることも考えられる。
第2平衡工程を短くし、その分だけ放熱有効期間T0すなわち検出工程の時間を長くして、差圧データのサンプリング数を増やすのが望ましい。これによって、係数算出の精度を高めることができる。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、放熱をはじめとする漏れ以外の差圧変動要因が収まるまで差圧検出を待つ必要が無く、検査時間を大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るエアリークテスト装置の概略構成図である。
【図2】上記エアリークテスト装置に設定された差圧方程式とその漏れ特性項及び放熱特性項について差圧の時間変化を示すグラフである。
【符号の説明】
W ワーク(検査対象)
M マスタ部材
1 エアリークテスト装置
10 圧縮エア源(加圧気体源)
30 加圧弁
31 平衡弁
50 差圧センサ(差圧検出手段)
61 第1空間
62 第2空間
70 制御手段
71 差圧方程式設定部
72 判定部
Claims (5)
- 検査対象を含む第1空間と含まない第2空間とを互いに連通させた状態でこれら空間に加圧気体を導入した後、これら空間を遮断して各々閉鎖系としてその差圧を検出するリークテスト方法において、
加圧気体導入による断熱昇温後の放熱による効果を表す放熱特性項と検査対象での漏れによる効果を表す漏れ特性項とを少なくとも含む差圧の経時変化を示す差圧方程式を予め近似的に設定しておき、
事前検査と、検査対象に対する上記閉鎖系形成後の上記放熱効果が有効な短い期間における検出差圧から漏れ特性項の係数を確定し、ひいては検出対象の漏れを判定する本検査と、を実行し、
上記事前検査では、検査対象の1つ又はそれと同容積で漏れの無いマスタ部材を用いて差圧検出を上記放熱有効期間よりも長い期間にわたって1又は複数回行ない、得られた当該事前検査における検出差圧を上記差圧方程式にフィッティングさせることにより上記差圧方程式の漏れ特性項以外の項の係数を事前確定係数として事前に確定しておき、
その後、上記本検査では、当該本検査における上記放熱有効期間の検出差圧を上記差圧方程式にフィッティングさせて上記漏れ特性項以外の項の係数を改めて求め、それに基づいて上記事前確定係数を補正し、上記差圧方程式に上記補正された事前確定係数を代入するとともに当該本検査における上記検出差圧をフィッティングさせることにより上記漏れ特性項の係数を確定することを特徴とするリークテスト方法。 - 検査対象を含む第1空間と含まない第2空間とを互いに連通させた状態でこれら空間に加圧気体を導入した後、これら空間を遮断して各々閉鎖系としてその差圧を検出するリークテスト方法において、
加圧気体導入による断熱昇温後の放熱による効果を表す放熱特性項と検査対象での漏れによる効果を表す漏れ特性項とを少なくとも含む差圧の経時変化を示す差圧方程式を予め近似的に設定しておき、
事前検査と、検査対象に対する上記閉鎖系形成後の上記放熱効果が有効な短い期間における検出差圧から漏れ特性項の係数を確定し、ひいては検出対象の漏れを判定する本検査と、を実行し、
上記事前検査では、検査対象の1つ又はそれと同容積で漏れの無いマスタ部材を用いて差圧検出を上記放熱有効期間よりも長い期間にわたって1又は複数回行ない、得られた当該事前検査における検出差圧を上記差圧方程式にフィッティングさせることにより上記差圧方程式の漏れ特性項以外の項の係数を事前確定係数として事前に確定するとともに、この事前確定係数を上記差圧方程式に代入して得られる理論差圧と実際の当該事前検査における上記検出差圧との差をサンプリングタイムごとに求めておき、
その後、上記本検査では、サンプリングタイムごとに当該本検査における検出差圧から上記差を差し引いて補正差圧を求め、上記差圧方程式に上記事前確定係数を代入するとともに上記補正差圧をフィッティングさせて漏れ特性項の係数を確定することを特徴とするリークテスト方法。 - 上記第2空間の容積が、当該第2空間での放熱効果を無視し得る程度に小さいことを特徴とする請求項1又は2に記載のリークテスト方法。
- 検査対象を含む第1空間と含まない第2空間とを互いに連通させた状態でこれら空間に加圧気体を導入した後、これら空間を遮断して各々閉鎖系としてその差圧を検出するリークテスト装置において、
加圧気体導入による断熱昇温後の放熱による効果を表す放熱特性項と検査対象での漏れによる効果を表す漏れ特性項とを少なくとも含む差圧の経時変化を示す差圧方程式を近似的に設定する差圧方程式設定部と、
事前検査と、検査対象に対する上記閉鎖系形成後の上記放熱効果が有効な短い期間における検出差圧から漏れ特性項の係数を確定し、ひいては検出対象の漏れを判定する本検査と、を実行する漏れ判定部とを備え、
上記漏れ判定部が、上記事前検査では、検査対象の1つ又はそれと同容積で漏れの無い マスタ部材を用いて差圧検出を上記放熱有効期間よりも長い期間にわたって1又は複数回行ない、得られた当該事前検査における検出差圧を上記差圧方程式にフィッティングさせることにより上記差圧方程式の漏れ特性項以外の項の係数を事前確定係数として事前に確定し、その後の上記本検査では、当該本検査における上記放熱有効期間の検出差圧を上記差圧方程式にフィッティングさせて上記漏れ特性項以外の項の係数を改めて求め、それに基づいて上記事前確定係数を補正し、上記差圧方程式に上記補正された事前確定係数を代入するとともに当該本検査における上記検出差圧をフィッティングさせることにより上記漏れ特性項の係数を確定することを特徴とするリークテスト装置。 - 検査対象を含む第1空間と含まない第2空間とを互いに連通させた状態でこれら空間に加圧気体を導入した後、これら空間を遮断して各々閉鎖系としてその差圧を検出するリークテスト装置において、
加圧気体導入による断熱昇温後の放熱による効果を表す放熱特性項と検査対象での漏れによる効果を表す漏れ特性項とを少なくとも含む差圧の経時変化を示す差圧方程式を近似的に設定する差圧方程式設定部と、
事前検査と、検査対象に対する上記閉鎖系形成後の上記放熱効果が有効な短い期間における検出差圧から漏れ特性項の係数を確定し、ひいては検出対象の漏れを判定する本検査と、を実行する漏れ判定部とを備え、
上記漏れ判定部が、上記事前検査では、検査対象の1つ又はそれと同容積で漏れの無いマスタ部材を用いて差圧検出を上記放熱有効期間よりも長い期間にわたって1又は複数回行ない、得られた当該事前検査における検出差圧を上記差圧方程式にフィッティングさせることにより上記差圧方程式の漏れ特性項以外の項の係数を事前確定係数として事前に確定するとともに、この事前確定係数を上記差圧方程式に代入して得られる理論差圧と実際の当該事前検査における上記検出差圧との差をサンプリングタイムごとに求め、その後の上記本検査では、サンプリングタイムごとに当該本検査における検出差圧から上記差を差し引いて補正差圧を求め、上記差圧方程式に上記事前確定係数を代入するとともに上記補正差圧をフィッティングさせて漏れ特性項の係数を確定することを特徴とするリークテスト装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002217585A JP4056818B2 (ja) | 2002-07-26 | 2002-07-26 | リークテスト方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002217585A JP4056818B2 (ja) | 2002-07-26 | 2002-07-26 | リークテスト方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004061201A JP2004061201A (ja) | 2004-02-26 |
JP4056818B2 true JP4056818B2 (ja) | 2008-03-05 |
Family
ID=31938996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002217585A Expired - Fee Related JP4056818B2 (ja) | 2002-07-26 | 2002-07-26 | リークテスト方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4056818B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10107711B2 (en) | 2016-01-15 | 2018-10-23 | Intertech Development Company | Reducing thermal effects during leak testing |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4665163B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2011-04-06 | 国立大学法人 熊本大学 | 漏洩検査方法および漏洩検査装置 |
JP4663400B2 (ja) * | 2005-05-20 | 2011-04-06 | 東京瓦斯株式会社 | 容器検査方法及び装置 |
JP4630769B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2011-02-09 | 株式会社フクダ | リークテスト方法及びそれに用いる感温部材 |
JP4630791B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2011-02-09 | 株式会社フクダ | 流量式性能検査方法 |
US8205484B2 (en) | 2009-02-17 | 2012-06-26 | Fukuda Co., Ltd. | Apparatus and method for leak testing |
JP5806462B2 (ja) * | 2010-12-03 | 2015-11-10 | 株式会社フクダ | 洩れ検査装置及び方法 |
CN105298821A (zh) * | 2015-09-16 | 2016-02-03 | 大连液压件有限公司 | 气源压力快速转换装置 |
JP6599751B2 (ja) * | 2015-12-17 | 2019-10-30 | 暎三 浦田 | リーク検査方法リーク検査装置 |
JP6738702B2 (ja) * | 2016-06-29 | 2020-08-12 | 暎三 浦田 | リーク検査方法 リーク検査装置 |
CN106706234B (zh) * | 2017-01-16 | 2023-05-02 | 中国计量大学 | 一种车用比例继动阀检测装置及检测方法 |
JP6781063B2 (ja) * | 2017-01-31 | 2020-11-04 | 暎三 浦田 | リーク検査方法 リーク検査装置 |
CN107228745B (zh) * | 2017-07-14 | 2023-05-09 | 深圳市高晟智能装备有限公司 | 一种球阀气密性测试方法及测试*** |
JP7286282B2 (ja) * | 2018-08-10 | 2023-06-05 | 株式会社ガスター | リーク検査システム、プログラム |
CN110182707A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-30 | 南京航空航天大学 | 一种使用压差传感器的气动平衡吊及控制方法 |
JP7294165B2 (ja) * | 2020-01-24 | 2023-06-20 | トヨタ自動車株式会社 | ケースの気密性の評価方法及び評価装置 |
JP7445439B2 (ja) * | 2020-01-27 | 2024-03-07 | 株式会社フクダ | エアリークテスト装置 |
CN113295351B (zh) * | 2021-06-21 | 2022-10-11 | 湖南行必达网联科技有限公司 | 一种整车气密性检测方法 |
-
2002
- 2002-07-26 JP JP2002217585A patent/JP4056818B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10107711B2 (en) | 2016-01-15 | 2018-10-23 | Intertech Development Company | Reducing thermal effects during leak testing |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004061201A (ja) | 2004-02-26 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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