JP2002239965A - 調節ガイド付き無接触保持装置 - Google Patents
調節ガイド付き無接触保持装置Info
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- JP2002239965A JP2002239965A JP2001033468A JP2001033468A JP2002239965A JP 2002239965 A JP2002239965 A JP 2002239965A JP 2001033468 A JP2001033468 A JP 2001033468A JP 2001033468 A JP2001033468 A JP 2001033468A JP 2002239965 A JP2002239965 A JP 2002239965A
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- guide
- contact
- suction device
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】形状、柔軟性の異なったワークを容易に無接触
状態にて搬送可能にする。 【構成】空気を噴出することにより板状体を無接触状態
にて懸垂保持する無接触吸着具に、移動可能な水平ガイ
ドおよび垂直ガイドを装着して構成する。
状態にて搬送可能にする。 【構成】空気を噴出することにより板状体を無接触状態
にて懸垂保持する無接触吸着具に、移動可能な水平ガイ
ドおよび垂直ガイドを装着して構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ等のワー
クを無接触状態にて搬送するロボット等の移載装置のハ
ンドとして用いられる搬送装置に関するものである。
クを無接触状態にて搬送するロボット等の移載装置のハ
ンドとして用いられる搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、空気を噴出することによりワーク
を無接触状態にて懸垂保持する無接触吸着具として特開
昭６２−１０５８３１がある。
を無接触状態にて懸垂保持する無接触吸着具として特開
昭６２−１０５８３１がある。
【０００３】この無接触吸着具をロボットに装着しワー
クを搬送する場合、無接触吸着具がワークを吸引保持し
た場合、無接触吸着具とワークは空中に浮遊した無接触
状態にて懸垂保持されているので、ワークは水平方向に
は自由に移動可能で、無接触吸着具から外れて落下し、
搬送することができない。
クを搬送する場合、無接触吸着具がワークを吸引保持し
た場合、無接触吸着具とワークは空中に浮遊した無接触
状態にて懸垂保持されているので、ワークは水平方向に
は自由に移動可能で、無接触吸着具から外れて落下し、
搬送することができない。
【０００４】そのため懸垂保持されているワークの水平
方向の移動を規制するために、無接触吸着具の側面に装
着されたワーク幅の間隔よりやや大きな間隔を有し、か
つ懸垂されているワークより下方に突出する固定された
ガイドによりワーク端面に接触させ、ワークの水平移動
を規制することにより搬送を可能にしている。
方向の移動を規制するために、無接触吸着具の側面に装
着されたワーク幅の間隔よりやや大きな間隔を有し、か
つ懸垂されているワークより下方に突出する固定された
ガイドによりワーク端面に接触させ、ワークの水平移動
を規制することにより搬送を可能にしている。
【０００５】そのためワークの大きさが変更した場合は
ガイドを間隔の大きなガイドに取り替える必要があり、
また柔軟なワークの場合は、端部が垂れ下がりガイドに
接触しないため、より高いガイドと変更する必要があっ
た。
ガイドを間隔の大きなガイドに取り替える必要があり、
また柔軟なワークの場合は、端部が垂れ下がりガイドに
接触しないため、より高いガイドと変更する必要があっ
た。
【０００６】また搬送時には、ガイド間隔がワークより
大きいため、ガイドとワーク端面が絶えず衝突を繰り返
すためワークを損傷する場合がある。
大きいため、ガイドとワーク端面が絶えず衝突を繰り返
すためワークを損傷する場合がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、ワークの大きさが変更および端部の垂れ下がりに
対しても容易に対応可能、また搬送時の衝突によるワー
クの損傷を生じさせない無接触保持装置を提供すること
である。
点は、ワークの大きさが変更および端部の垂れ下がりに
対しても容易に対応可能、また搬送時の衝突によるワー
クの損傷を生じさせない無接触保持装置を提供すること
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願に於いて開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以
下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以
下の通りである。
【０００９】すなわち、空気を噴出することにより対向
するワークとの間隙に負圧を発生させてワークを無接触
状態にて懸垂保持する無接触吸着具に、水平方向あるい
は垂直方向、あるいは両方向に移動可能なガイドを備え
ることである。
するワークとの間隙に負圧を発生させてワークを無接触
状態にて懸垂保持する無接触吸着具に、水平方向あるい
は垂直方向、あるいは両方向に移動可能なガイドを備え
ることである。
【００１０】本発明にあっては、ワークの大きさの変化
にあっては、ガイドを水平方向に移動し、ワークの端部
の垂れ下がりに対しては、ガイドを垂直方向に移動する
ことで対応可能である。
にあっては、ガイドを水平方向に移動し、ワークの端部
の垂れ下がりに対しては、ガイドを垂直方向に移動する
ことで対応可能である。
【００１１】また搬送時にワーク端面がガイドに頻繁に
接触することにより生じる損傷は、無接触吸着具がワー
クを懸垂後、ガイドを水平方向に移動させワークがガイ
ド端面に密着させ固定することによりワーク搬送時の防
止可能である。
接触することにより生じる損傷は、無接触吸着具がワー
クを懸垂後、ガイドを水平方向に移動させワークがガイ
ド端面に密着させ固定することによりワーク搬送時の防
止可能である。
【００１２】
【実施例１】以下、本発明の実施例の形態を図面に基づ
いて詳細に説明する。
いて詳細に説明する。
【００１３】図１は、本発明の一実施形態である調節ガ
イド付き無接触保持装置Ｂの平面図を、図２に側面図
を、図３に側面断面図を示す。
イド付き無接触保持装置Ｂの平面図を、図２に側面図
を、図３に側面断面図を示す。
【００１４】無接触吸着具Ａの上面２に、長穴のネジ穴
７を設けた水平ガイド４をねじ６により水平移動可能に
装着し、また前記水平ガイド４の先端部に長穴のネジ穴
８を設けた垂直ガイド５を垂直移動可能にねじ１６によ
り装着して調節ガイド付き無接触保持装置Ａを構成す
る。
７を設けた水平ガイド４をねじ６により水平移動可能に
装着し、また前記水平ガイド４の先端部に長穴のネジ穴
８を設けた垂直ガイド５を垂直移動可能にねじ１６によ
り装着して調節ガイド付き無接触保持装置Ａを構成す
る。
【００１５】無接触吸着具Ａは、上面２の中央部に設け
られたノズル１より高圧空気ＰをワークＧに向かって噴
出することにより、無接触吸着具Ａの底面に形成されて
いる作動面３とワークＧとの間隙を通過する高速気流に
より該間隙は減圧され、ワークＧを吸引する。
られたノズル１より高圧空気ＰをワークＧに向かって噴
出することにより、無接触吸着具Ａの底面に形成されて
いる作動面３とワークＧとの間隙を通過する高速気流に
より該間隙は減圧され、ワークＧを吸引する。
【００１６】ワークＧが吸引され前記間隙が小になると
前記間隙は増圧し、ワークＧを引き離す。
前記間隙は増圧し、ワークＧを引き離す。
【００１７】かようにしてワークＧは底面に形成されて
いる作動面３に接触することなく空中に浮遊した無接触
状態にて無接触吸着具Ａに懸垂保持される。
いる作動面３に接触することなく空中に浮遊した無接触
状態にて無接触吸着具Ａに懸垂保持される。
【００１８】ワークＧは作動面３と間隙を保って無接触
吸着具Ａに懸垂保持されているため、自由に水平方向の
移動が可能である。
吸着具Ａに懸垂保持されているため、自由に水平方向の
移動が可能である。
【００１９】そのためワークＧを搬送するためにはワー
クＧの外側に、かつワークＧの上面より下方に突出した
ガイドを設け、ワークＧの側端面にガイドを接触させて
水平方向の移動を規制しワークＧを搬送する。
クＧの外側に、かつワークＧの上面より下方に突出した
ガイドを設け、ワークＧの側端面にガイドを接触させて
水平方向の移動を規制しワークＧを搬送する。
【００２０】しかしながらワークＧの寸法、形状および
柔軟性は常に同一でない場合がある。
柔軟性は常に同一でない場合がある。
【００２１】ワークＧの寸法が変化した場合、ねじ６を
緩め水平ガイド４を水平移動させワークＧの寸法に合わ
せる。
緩め水平ガイド４を水平移動させワークＧの寸法に合わ
せる。
【００２２】またワークＧが柔軟性があり、端部が垂れ
下がる場合は、ねじ１６を緩め垂直ガイド５を昇降移動
させ、ワークＧ端部にかかるように垂直ガイド５昇降さ
せる。
下がる場合は、ねじ１６を緩め垂直ガイド５を昇降移動
させ、ワークＧ端部にかかるように垂直ガイド５昇降さ
せる。
【００２３】上述のように水平ガイド４および垂直ガイ
ド５を移動させることにより、形状の異なったワークＧ
あるいは柔軟性が異なり端部の歪み量が異なったワーク
Ｇを懸垂保持、搬送が可能である。
ド５を移動させることにより、形状の異なったワークＧ
あるいは柔軟性が異なり端部の歪み量が異なったワーク
Ｇを懸垂保持、搬送が可能である。
【００２４】
【実施例２】図４には本発明の他の調節ガイド付き無接
触保持装置Ｄの側面図を示す。
触保持装置Ｄの側面図を示す。
【００２５】無接触吸着具Ａの上面２に装着された水平
ガイド４は、上面２に固定された駆動装置９にブラケッ
ト１１により連結されており、水平ガイド４の下面に固
定された起動装置１０は、ブラケット１２により垂直ガ
イド５に連接されている。
ガイド４は、上面２に固定された駆動装置９にブラケッ
ト１１により連結されており、水平ガイド４の下面に固
定された起動装置１０は、ブラケット１２により垂直ガ
イド５に連接されている。
【００２６】駆動装置９、１０は、懸垂するワークＧの
性状に応じた移動量を記憶させた調節装置（図示せず）
により駆動され、水平ガイド４および垂直ガイド５を所
定の位置まで移動させる。
性状に応じた移動量を記憶させた調節装置（図示せず）
により駆動され、水平ガイド４および垂直ガイド５を所
定の位置まで移動させる。
【００２７】あるいはワークＧの垂直ガイド５に設けら
れたワークＧの端部検出センサー１３および端部上面検
出センサー１８により、駆動装置９，１０を駆動し水平
ガイド４および垂直ガイド５を自動的に移動させること
も可能である。
れたワークＧの端部検出センサー１３および端部上面検
出センサー１８により、駆動装置９，１０を駆動し水平
ガイド４および垂直ガイド５を自動的に移動させること
も可能である。
【００２８】上述の構成により異なる形状のワークある
いは端部の垂れ下がり量の異なるワークを、調節ガイド
付き無接触保持装置Ｃにより懸垂搬送することが可能で
ある。
いは端部の垂れ下がり量の異なるワークを、調節ガイド
付き無接触保持装置Ｃにより懸垂搬送することが可能で
ある。
【００２９】ワークＧの性状に応じて、水平ガイド４あ
るいは垂直ガイド５の双方あるいは片方のみ調節可能に
することでよい。
るいは垂直ガイド５の双方あるいは片方のみ調節可能に
することでよい。
【００３０】また、ワークＧの性状により、垂直ガイド
５はワークＧの上面に接触くさせてワークＧの移動を規
制することも可能である。
５はワークＧの上面に接触くさせてワークＧの移動を規
制することも可能である。
【００３１】また水平ガイド４および垂直ガイド５は無
接触吸着具Ａに直接取り付けなくても良く、無接触吸着
具Ａを装着しているロボットアーム、ブラケット等の外
部機構に取り付けても良い。
接触吸着具Ａに直接取り付けなくても良く、無接触吸着
具Ａを装着しているロボットアーム、ブラケット等の外
部機構に取り付けても良い。
【００３２】
【発明の効果】本願に開示される発明のうち、代表的な
ものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のと
おりである。
ものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のと
おりである。
【００３３】（１）水平方向に移動可能な水平ガイドを
調節することにより、形状の異なったワークを無接触状
態にて懸垂保持搬送が可能。
調節することにより、形状の異なったワークを無接触状
態にて懸垂保持搬送が可能。
【００３４】（２）垂直方向に移動可能な垂直ガイドを
調節することにより、ワーク端部の垂れ下がり量の異な
ったワークを無接触状態にて懸垂保持搬送が可能。
調節することにより、ワーク端部の垂れ下がり量の異な
ったワークを無接触状態にて懸垂保持搬送が可能。
【００３５】（３）ワーク端部およびワーク端部上面を
検出するセンサーにより自動的に異なる性状のワークを
無接触状態にて懸垂保持搬送が可能。
検出するセンサーにより自動的に異なる性状のワークを
無接触状態にて懸垂保持搬送が可能。
【００３６】（４）ワーク搬送中、水平ガイドを移動さ
せることによりワークの移動を規制し、搬送中のワーク
の損傷を防止することが可能。
せることによりワークの移動を規制し、搬送中のワーク
の損傷を防止することが可能。
【図１】本発明の実施例の平面図である。
【図２】本発明の実施例の側面図である。
【図３】本発明の実施例の側面断面図である。
【図４】本発明の他の実施例の側面図である。
１ ノズル ２ 上面 ３ 作動面室 ４ 水平ガイド ５ 垂直ガイド ６、１６ ねじ ７、８ 長穴 ９、１０ 駆動装置 １３，１８ センサー Ａ 無接触吸着具 Ｂ、Ｄ 調節ガイド付き無接触保持装置 Ｐ 高圧空気Ｐ Ｇ ワーク
Claims (1)
- 【請求項１】空気を噴出することにより対向するワーク
との間隙に負圧を発生させてワークを無接触状態にて懸
垂保持する無接触吸着具に、調節可能なガイドを備えた
ことを特徴とする調節ガイド付き無接触保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001033468A JP2002239965A (ja) | 2001-02-09 | 2001-02-09 | 調節ガイド付き無接触保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001033468A JP2002239965A (ja) | 2001-02-09 | 2001-02-09 | 調節ガイド付き無接触保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002239965A true JP2002239965A (ja) | 2002-08-28 |
Family
ID=18897215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001033468A Pending JP2002239965A (ja) | 2001-02-09 | 2001-02-09 | 調節ガイド付き無接触保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002239965A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1503402A1 (en) * | 2003-07-28 | 2005-02-02 | Sipec Corporation | Substrate supporting apparatus |
| WO2011104790A1 (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-01 | 村田機械株式会社 | 移載装置及びワーク載置装置 |
| JP2013255971A (ja) * | 2012-06-14 | 2013-12-26 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | ピッキング装置 |
| JP2020088072A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 株式会社東京精密 | ウエハ受け渡し装置 |
-
2001
- 2001-02-09 JP JP2001033468A patent/JP2002239965A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1503402A1 (en) * | 2003-07-28 | 2005-02-02 | Sipec Corporation | Substrate supporting apparatus |
| US7275749B2 (en) * | 2003-07-28 | 2007-10-02 | Sipec Corporation | Substrate supporting apparatus |
| WO2011104790A1 (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-01 | 村田機械株式会社 | 移載装置及びワーク載置装置 |
| JP2011176053A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Murata Machinery Ltd | 移載装置及びワーク載置装置 |
| US8882437B2 (en) | 2010-02-23 | 2014-11-11 | Murata Machinery, Ltd. | Transfer device, and workpiece mounting device |
| JP2013255971A (ja) * | 2012-06-14 | 2013-12-26 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | ピッキング装置 |
| JP2020088072A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 株式会社東京精密 | ウエハ受け渡し装置 |
| JP7148374B2 (ja) | 2018-11-20 | 2022-10-05 | 株式会社東京精密 | ウエハ受け渡し装置 |
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