JP2002239965A - Non-contact retainer with adjusting guide - Google Patents
Non-contact retainer with adjusting guideInfo
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- JP2002239965A JP2002239965A JP2001033468A JP2001033468A JP2002239965A JP 2002239965 A JP2002239965 A JP 2002239965A JP 2001033468 A JP2001033468 A JP 2001033468A JP 2001033468 A JP2001033468 A JP 2001033468A JP 2002239965 A JP2002239965 A JP 2002239965A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ等のワー
クを無接触状態にて搬送するロボット等の移載装置のハ
ンドとして用いられる搬送装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device used as a hand of a transfer device such as a robot for transferring a work such as a semiconductor wafer in a non-contact state.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、空気を噴出することによりワーク
を無接触状態にて懸垂保持する無接触吸着具として特開
昭６２−１０５８３１がある。2. Description of the Related Art Conventionally, there is JP-A-62-158831 as a non-contact suction device for suspending a work in a non-contact state by blowing air.
【０００３】この無接触吸着具をロボットに装着しワー
クを搬送する場合、無接触吸着具がワークを吸引保持し
た場合、無接触吸着具とワークは空中に浮遊した無接触
状態にて懸垂保持されているので、ワークは水平方向に
は自由に移動可能で、無接触吸着具から外れて落下し、
搬送することができない。When the non-contact suction device is mounted on a robot to transfer a work, when the non-contact suction device sucks and holds the work, the non-contact suction device and the work are suspended and held in a non-contact state floating in the air. The workpiece can move freely in the horizontal direction, falls off the non-contact suction device,
Cannot be transported.
【０００４】そのため懸垂保持されているワークの水平
方向の移動を規制するために、無接触吸着具の側面に装
着されたワーク幅の間隔よりやや大きな間隔を有し、か
つ懸垂されているワークより下方に突出する固定された
ガイドによりワーク端面に接触させ、ワークの水平移動
を規制することにより搬送を可能にしている。[0004] Therefore, in order to regulate the horizontal movement of the suspended workpiece, the workpiece has an interval slightly larger than the width of the workpiece mounted on the side surface of the non-contact suction device, and is smaller than the suspended workpiece. A fixed guide protruding downward contacts the end face of the work, thereby restricting the horizontal movement of the work, thereby enabling conveyance.
【０００５】そのためワークの大きさが変更した場合は
ガイドを間隔の大きなガイドに取り替える必要があり、
また柔軟なワークの場合は、端部が垂れ下がりガイドに
接触しないため、より高いガイドと変更する必要があっ
た。Therefore, when the size of the work is changed, it is necessary to replace the guide with a guide having a large interval.
In the case of a flexible work, the end portion does not contact the hanging guide, so that it is necessary to change to a higher guide.
【０００６】また搬送時には、ガイド間隔がワークより
大きいため、ガイドとワーク端面が絶えず衝突を繰り返
すためワークを損傷する場合がある。Further, at the time of conveyance, since the guide interval is larger than the work, the work may be damaged because the guide and the end face of the work constantly repeat collision.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、ワークの大きさが変更および端部の垂れ下がりに
対しても容易に対応可能、また搬送時の衝突によるワー
クの損傷を生じさせない無接触保持装置を提供すること
である。The problems to be solved are that the size of the work can be easily changed and the end portion can be easily drooped, and that the work can be prevented from being damaged due to collision at the time of conveyance. It is to provide a contact holding device.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本願に於いて開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以
下の通りである。SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, typical ones will be briefly described as follows.
【０００９】すなわち、空気を噴出することにより対向
するワークとの間隙に負圧を発生させてワークを無接触
状態にて懸垂保持する無接触吸着具に、水平方向あるい
は垂直方向、あるいは両方向に移動可能なガイドを備え
ることである。That is, a non-contact suction device that generates a negative pressure in a gap between the opposing work by blowing air and holds the work in a non-contact state is moved in a horizontal direction, a vertical direction, or both directions. It is to have a possible guide.
【００１０】本発明にあっては、ワークの大きさの変化
にあっては、ガイドを水平方向に移動し、ワークの端部
の垂れ下がりに対しては、ガイドを垂直方向に移動する
ことで対応可能である。According to the present invention, when the size of the work changes, the guide is moved in the horizontal direction, and when the end of the work sags, the guide is moved in the vertical direction. It is possible.
【００１１】また搬送時にワーク端面がガイドに頻繁に
接触することにより生じる損傷は、無接触吸着具がワー
クを懸垂後、ガイドを水平方向に移動させワークがガイ
ド端面に密着させ固定することによりワーク搬送時の防
止可能である。Further, the damage caused by frequent contact of the end face of the work with the guide during conveyance is caused by the non-contact suction device suspending the work, moving the guide horizontally, and fixing the work in close contact with the end face of the guide. Prevention during transport is possible.
【００１２】[0012]
【実施例１】以下、本発明の実施例の形態を図面に基づ
いて詳細に説明する。Embodiment 1 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【００１３】図１は、本発明の一実施形態である調節ガ
イド付き無接触保持装置Ｂの平面図を、図２に側面図
を、図３に側面断面図を示す。FIG. 1 is a plan view, FIG. 2 is a side view, and FIG. 3 is a side sectional view of a non-contact holding device B with an adjustment guide according to an embodiment of the present invention.
【００１４】無接触吸着具Ａの上面２に、長穴のネジ穴
７を設けた水平ガイド４をねじ６により水平移動可能に
装着し、また前記水平ガイド４の先端部に長穴のネジ穴
８を設けた垂直ガイド５を垂直移動可能にねじ１６によ
り装着して調節ガイド付き無接触保持装置Ａを構成す
る。A horizontal guide 4 provided with an elongated screw hole 7 is mounted on the upper surface 2 of the non-contact suction device A so as to be horizontally movable by a screw 6. The non-contact holding device A with the adjustment guide is constituted by mounting the vertical guide 5 provided with 8 with a screw 16 so as to be vertically movable.
【００１５】無接触吸着具Ａは、上面２の中央部に設け
られたノズル１より高圧空気ＰをワークＧに向かって噴
出することにより、無接触吸着具Ａの底面に形成されて
いる作動面３とワークＧとの間隙を通過する高速気流に
より該間隙は減圧され、ワークＧを吸引する。The non-contact suction device A has a working surface formed on the bottom surface of the non-contact suction device A by jetting high-pressure air P toward a work G from a nozzle 1 provided at the center of the upper surface 2. The gap is decompressed by the high-speed airflow passing through the gap between the work 3 and the work G, and the work G is sucked.
【００１６】ワークＧが吸引され前記間隙が小になると
前記間隙は増圧し、ワークＧを引き離す。When the work G is sucked and the gap becomes smaller, the pressure in the gap is increased and the work G is separated.
【００１７】かようにしてワークＧは底面に形成されて
いる作動面３に接触することなく空中に浮遊した無接触
状態にて無接触吸着具Ａに懸垂保持される。Thus, the work G is suspended and held by the non-contact suction device A in a non-contact state floating in the air without contacting the working surface 3 formed on the bottom surface.
【００１８】ワークＧは作動面３と間隙を保って無接触
吸着具Ａに懸垂保持されているため、自由に水平方向の
移動が可能である。Since the work G is suspended and held by the non-contact suction device A while keeping a gap with the working surface 3, the work G can be freely moved in the horizontal direction.
【００１９】そのためワークＧを搬送するためにはワー
クＧの外側に、かつワークＧの上面より下方に突出した
ガイドを設け、ワークＧの側端面にガイドを接触させて
水平方向の移動を規制しワークＧを搬送する。Therefore, in order to transport the work G, a guide projecting outside the work G and below the upper surface of the work G is provided, and the guide is brought into contact with the side end surface of the work G to restrict the horizontal movement. The work G is transported.
【００２０】しかしながらワークＧの寸法、形状および
柔軟性は常に同一でない場合がある。However, the size, shape and flexibility of the work G may not always be the same.
【００２１】ワークＧの寸法が変化した場合、ねじ６を
緩め水平ガイド４を水平移動させワークＧの寸法に合わ
せる。When the size of the work G changes, the screw 6 is loosened and the horizontal guide 4 is moved horizontally to match the size of the work G.
【００２２】またワークＧが柔軟性があり、端部が垂れ
下がる場合は、ねじ１６を緩め垂直ガイド５を昇降移動
させ、ワークＧ端部にかかるように垂直ガイド５昇降さ
せる。When the work G is flexible and its end hangs down, the screw 16 is loosened and the vertical guide 5 is moved up and down so that the vertical guide 5 is moved up and down so as to touch the end of the work G.
【００２３】上述のように水平ガイド４および垂直ガイ
ド５を移動させることにより、形状の異なったワークＧ
あるいは柔軟性が異なり端部の歪み量が異なったワーク
Ｇを懸垂保持、搬送が可能である。By moving the horizontal guide 4 and the vertical guide 5 as described above, the workpieces G having different shapes are formed.
Alternatively, it is possible to suspend and hold a workpiece G having a different flexibility and a different amount of distortion at an end.
【００２４】[0024]
【実施例２】図４には本発明の他の調節ガイド付き無接
触保持装置Ｄの側面図を示す。Embodiment 2 FIG. 4 shows a side view of another contactless holding device D with an adjustment guide of the present invention.
【００２５】無接触吸着具Ａの上面２に装着された水平
ガイド４は、上面２に固定された駆動装置９にブラケッ
ト１１により連結されており、水平ガイド４の下面に固
定された起動装置１０は、ブラケット１２により垂直ガ
イド５に連接されている。The horizontal guide 4 mounted on the upper surface 2 of the non-contact suction device A is connected to a driving device 9 fixed to the upper surface 2 by a bracket 11, and a starting device 10 fixed to the lower surface of the horizontal guide 4. Is connected to the vertical guide 5 by a bracket 12.
【００２６】駆動装置９、１０は、懸垂するワークＧの
性状に応じた移動量を記憶させた調節装置（図示せず）
により駆動され、水平ガイド４および垂直ガイド５を所
定の位置まで移動させる。The driving devices 9 and 10 are adjusting devices (not shown) in which the moving amounts according to the properties of the suspended work G are stored.
To move the horizontal guide 4 and the vertical guide 5 to predetermined positions.
【００２７】あるいはワークＧの垂直ガイド５に設けら
れたワークＧの端部検出センサー１３および端部上面検
出センサー１８により、駆動装置９，１０を駆動し水平
ガイド４および垂直ガイド５を自動的に移動させること
も可能である。Alternatively, the driving devices 9 and 10 are driven by the end detection sensor 13 and the end upper surface detection sensor 18 of the work G provided on the vertical guide 5 of the work G to automatically move the horizontal guide 4 and the vertical guide 5. It is also possible to move.
【００２８】上述の構成により異なる形状のワークある
いは端部の垂れ下がり量の異なるワークを、調節ガイド
付き無接触保持装置Ｃにより懸垂搬送することが可能で
ある。With the above structure, it is possible to suspend and convey a workpiece having a different shape or a workpiece having a different amount of sag at the end by the non-contact holding device C with the adjustment guide.
【００２９】ワークＧの性状に応じて、水平ガイド４あ
るいは垂直ガイド５の双方あるいは片方のみ調節可能に
することでよい。According to the properties of the work G, only one or both of the horizontal guide 4 and the vertical guide 5 may be adjusted.
【００３０】また、ワークＧの性状により、垂直ガイド
５はワークＧの上面に接触くさせてワークＧの移動を規
制することも可能である。Further, depending on the properties of the work G, the vertical guide 5 can be brought into contact with the upper surface of the work G to regulate the movement of the work G.
【００３１】また水平ガイド４および垂直ガイド５は無
接触吸着具Ａに直接取り付けなくても良く、無接触吸着
具Ａを装着しているロボットアーム、ブラケット等の外
部機構に取り付けても良い。The horizontal guide 4 and the vertical guide 5 need not be directly attached to the non-contact suction device A, but may be mounted to an external mechanism such as a robot arm or a bracket on which the non-contact suction device A is mounted.
【００３２】[0032]
【発明の効果】本願に開示される発明のうち、代表的な
ものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のと
おりである。The effects obtained by typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
【００３３】（１）水平方向に移動可能な水平ガイドを
調節することにより、形状の異なったワークを無接触状
態にて懸垂保持搬送が可能。(1) By adjusting the horizontal guide which can move in the horizontal direction, it is possible to suspend and convey workpieces having different shapes in a non-contact state.
【００３４】（２）垂直方向に移動可能な垂直ガイドを
調節することにより、ワーク端部の垂れ下がり量の異な
ったワークを無接触状態にて懸垂保持搬送が可能。(2) By adjusting the vertical guide that can move in the vertical direction, it is possible to suspend and convey workpieces with different hanging amounts at the ends of the workpieces in a non-contact state.
【００３５】（３）ワーク端部およびワーク端部上面を
検出するセンサーにより自動的に異なる性状のワークを
無接触状態にて懸垂保持搬送が可能。(3) Workpieces having different properties can be automatically suspended and conveyed in a non-contact state by a sensor for detecting the work end and the top surface of the work end.
【００３６】（４）ワーク搬送中、水平ガイドを移動さ
せることによりワークの移動を規制し、搬送中のワーク
の損傷を防止することが可能。(4) The movement of the work can be restricted by moving the horizontal guide during the transfer of the work, thereby preventing the work from being damaged during the transfer.
【図１】本発明の実施例の平面図である。FIG. 1 is a plan view of an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施例の側面図である。FIG. 2 is a side view of an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施例の側面断面図である。FIG. 3 is a side sectional view of an embodiment of the present invention.
【図４】本発明の他の実施例の側面図である。FIG. 4 is a side view of another embodiment of the present invention.
１ ノズル ２ 上面 ３ 作動面室 ４ 水平ガイド ５ 垂直ガイド ６、１６ ねじ ７、８ 長穴 ９、１０ 駆動装置 １３，１８ センサー Ａ 無接触吸着具 Ｂ、Ｄ 調節ガイド付き無接触保持装置 Ｐ 高圧空気Ｐ Ｇ ワーク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Nozzle 2 Top surface 3 Working surface chamber 4 Horizontal guide 5 Vertical guide 6,16 Screw 7,8 Slot 9,10 Driving device 13,18 Sensor A Non-contact suction device B, D Non-contact holding device with adjustment guide P High-pressure air PG work
Claims (1)
との間隙に負圧を発生させてワークを無接触状態にて懸
垂保持する無接触吸着具に、調節可能なガイドを備えた
ことを特徴とする調節ガイド付き無接触保持装置。An adjustable guide is provided on a non-contact suction device that generates a negative pressure in a gap between the opposing work by ejecting air and holds the work suspended in a non-contact state. Non-contact holding device with adjustment guide.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001033468A JP2002239965A (en) | 2001-02-09 | 2001-02-09 | Non-contact retainer with adjusting guide |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001033468A JP2002239965A (en) | 2001-02-09 | 2001-02-09 | Non-contact retainer with adjusting guide |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002239965A true JP2002239965A (en) | 2002-08-28 |
Family
ID=18897215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001033468A Pending JP2002239965A (en) | 2001-02-09 | 2001-02-09 | Non-contact retainer with adjusting guide |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002239965A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1503402A1 (en) * | 2003-07-28 | 2005-02-02 | Sipec Corporation | Substrate supporting apparatus |
| WO2011104790A1 (en) * | 2010-02-23 | 2011-09-01 | 村田機械株式会社 | Transfer device, and workpiece mounting device |
| JP2013255971A (en) * | 2012-06-14 | 2013-12-26 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | Picking device |
| JP2020088072A (en) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 株式会社東京精密 | Wafer delivery device |
-
2001
- 2001-02-09 JP JP2001033468A patent/JP2002239965A/en active Pending
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