JP2002221550A - 両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法 - Google Patents
両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法Info
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- JP2002221550A JP2002221550A JP2001019622A JP2001019622A JP2002221550A JP 2002221550 A JP2002221550 A JP 2002221550A JP 2001019622 A JP2001019622 A JP 2001019622A JP 2001019622 A JP2001019622 A JP 2001019622A JP 2002221550 A JP2002221550 A JP 2002221550A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】位置計測用カメラの取付け位置の誤差を正確に
把握して両面基板検査装置における検査用プローブの位
置決め制御の誤差要因をなくす。 【解決手段】通孔54を基準マーク53として備える基
板51を定置させ、位置計測用カメラ16,26を備え
て縦横方向への移動が自在な可動体14,24を基板5
1の上下両方向に各別に配設するとともに、各位置計測
用カメラ16,26を理論座標の位置へと各別に移動さ
せて光を照射して撮影される各反射光映像との関係で前
記基準マーク53に対する各カメラ16,26の実取付
け位置の誤差を測定し、各別に取得されたそれぞれの誤
差データに基づいて対となった各位置計測用カメラ1
6,26の実取付け位置を基準となるべき前記理論座標
の位置との関係で補正する。
把握して両面基板検査装置における検査用プローブの位
置決め制御の誤差要因をなくす。 【解決手段】通孔54を基準マーク53として備える基
板51を定置させ、位置計測用カメラ16,26を備え
て縦横方向への移動が自在な可動体14,24を基板5
1の上下両方向に各別に配設するとともに、各位置計測
用カメラ16,26を理論座標の位置へと各別に移動さ
せて光を照射して撮影される各反射光映像との関係で前
記基準マーク53に対する各カメラ16,26の実取付
け位置の誤差を測定し、各別に取得されたそれぞれの誤
差データに基づいて対となった各位置計測用カメラ1
6,26の実取付け位置を基準となるべき前記理論座標
の位置との関係で補正する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、両面基板検査装置
における位置計測用カメラの取付け位置補正方法に関す
る。
における位置計測用カメラの取付け位置補正方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】両面基板検査装置により被検査基板であ
る両面プリント配線板の各面に対し、検査用プローブピ
ンを接触させて各別に所定の検査を行おうとする場合に
は、まず、被検査基板を装置本体内の所定位置に正確に
位置決めして定置させておくことが必要になる。
る両面プリント配線板の各面に対し、検査用プローブピ
ンを接触させて各別に所定の検査を行おうとする場合に
は、まず、被検査基板を装置本体内の所定位置に正確に
位置決めして定置させておくことが必要になる。
【0003】また、定置された被検査基板の所定位置に
検査用プローブピンを正確に接触させるためには、検査
用プローブピンも常に正しい位置座標のもとで移動させ
てやる必要がある。
検査用プローブピンを正確に接触させるためには、検査
用プローブピンも常に正しい位置座標のもとで移動させ
てやる必要がある。
【0004】図7は、被検査基板の表裏両面の所定位置
に検査用プローブピンを正確に接触させるためのティー
チングとして、専用ダミー基板を利用して行われている
両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位
置補正のための従来手法の一例を示す説明図である。
に検査用プローブピンを正確に接触させるためのティー
チングとして、専用ダミー基板を利用して行われている
両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位
置補正のための従来手法の一例を示す説明図である。
【0005】同図によれば、位置計測用カメラ6,8の
取付け位置の補正に必要な情報を得る際に用いられる専
用ダミー基板1には、その表面1aと裏面1bとの所定
位置にメッキ処理を施すことにより、同一形状の円形反
射面として用意される一側基準マーク3と他側基準マー
ク4とが相互に対面合致する配置関係のもとで形成され
ている。また、専用ダミー基板1における一側基準マー
ク3と他側基準マーク4とを除くそれぞれの周囲領域に
は、無反射性樹脂をコーティングしてなる無反射面5が
形成されている。
取付け位置の補正に必要な情報を得る際に用いられる専
用ダミー基板1には、その表面1aと裏面1bとの所定
位置にメッキ処理を施すことにより、同一形状の円形反
射面として用意される一側基準マーク3と他側基準マー
ク4とが相互に対面合致する配置関係のもとで形成され
ている。また、専用ダミー基板1における一側基準マー
ク3と他側基準マーク4とを除くそれぞれの周囲領域に
は、無反射性樹脂をコーティングしてなる無反射面5が
形成されている。
【0006】また、定置された専用ダミー基板1の上方
と下方とには、それぞれのレンズ面7,9が対応する一
側基準マーク3もしくは他側基準マーク4と対面し得る
配置関係のもとで縦横方向への制御された移動が自在な
位置計測用カメラ6,8が各別に配設されている。
と下方とには、それぞれのレンズ面7,9が対応する一
側基準マーク3もしくは他側基準マーク4と対面し得る
配置関係のもとで縦横方向への制御された移動が自在な
位置計測用カメラ6,8が各別に配設されている。
【0007】このため、各位置計測用カメラ6,8側か
ら専用ダミー基板1の板面2方向に光を照射することに
より、一側基準マーク3もしくは他側基準マーク4とし
ての反射面への照射光は反射光となってレンズ面7もし
くはレンズ面9に到達するのに対し、一側基準マーク3
もしくは他側基準マーク4を除く周囲の無反射面5への
照射光は反射されない結果、位置計測用カメラ6,8が
撮影する画像上において一側基準マーク3もしくは他側
基準マーク4とその周辺領域との間に鮮明なコントラス
トを生じさせることにより、その位置関係を正確に掌握
できることになる。
ら専用ダミー基板1の板面2方向に光を照射することに
より、一側基準マーク3もしくは他側基準マーク4とし
ての反射面への照射光は反射光となってレンズ面7もし
くはレンズ面9に到達するのに対し、一側基準マーク3
もしくは他側基準マーク4を除く周囲の無反射面5への
照射光は反射されない結果、位置計測用カメラ6,8が
撮影する画像上において一側基準マーク3もしくは他側
基準マーク4とその周辺領域との間に鮮明なコントラス
トを生じさせることにより、その位置関係を正確に掌握
できることになる。
【0008】したがって、専用ダミー基板1の表面1a
側に配置されている位置計測用カメラ6には、対応する
一側基準マーク3の位置を、専用基板1の裏面1b側に
配置されている位置計測用カメラ8には、対応する他側
基準マーク4の位置をそれぞれあらかじめティーチング
させておくことにより、各位置計測用カメラ6,8の取
付け位置上の誤差分を測定し、それぞれの測定結果を誤
差データとして各別に記憶させておき、各位置計測用カ
メラ6,8の実取付け位置に補正をかけてやることがで
きるようになっている。
側に配置されている位置計測用カメラ6には、対応する
一側基準マーク3の位置を、専用基板1の裏面1b側に
配置されている位置計測用カメラ8には、対応する他側
基準マーク4の位置をそれぞれあらかじめティーチング
させておくことにより、各位置計測用カメラ6,8の取
付け位置上の誤差分を測定し、それぞれの測定結果を誤
差データとして各別に記憶させておき、各位置計測用カ
メラ6,8の実取付け位置に補正をかけてやることがで
きるようになっている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、各位置計測
用カメラ6,8は、それぞれが同一の位置座標を確保で
きるように実取付け位置との間の誤差分を正確に求めて
おく必要がある。そのためには、専用ダミー基板1の表
面1a側に付されている一側基準マーク3と裏面1bに
付されている他側基準マーク4とがぴったりと相互に対
面合致していることが前提条件となる。
用カメラ6,8は、それぞれが同一の位置座標を確保で
きるように実取付け位置との間の誤差分を正確に求めて
おく必要がある。そのためには、専用ダミー基板1の表
面1a側に付されている一側基準マーク3と裏面1bに
付されている他側基準マーク4とがぴったりと相互に対
面合致していることが前提条件となる。
【0010】しかし、一側基準マーク3と他側基準マー
ク4とは、製造上の問題もあってぴったりと対面合致さ
せることは難しく、図8に示すように実際には相互間に
位置ずれを生させてしまう状況にあった。したがって、
一側基準マーク3と他側基準マーク4との相互間の位置
ずれに起因して位置計測用カメラ6,8相互の取付け位
置の誤差を正確に掌握することができなくなる結果、実
際に行われる基板検査時の検査用プローブピンの位置決
め制御における誤差要因となってしまう不都合があっ
た。
ク4とは、製造上の問題もあってぴったりと対面合致さ
せることは難しく、図8に示すように実際には相互間に
位置ずれを生させてしまう状況にあった。したがって、
一側基準マーク3と他側基準マーク4との相互間の位置
ずれに起因して位置計測用カメラ6,8相互の取付け位
置の誤差を正確に掌握することができなくなる結果、実
際に行われる基板検査時の検査用プローブピンの位置決
め制御における誤差要因となってしまう不都合があっ
た。
【0011】本発明は、従来手法にみられた上記課題に
鑑み、位置計測用カメラ相互の取付け位置の誤差を正確
に把握し、実際に基板検査を行う際の検査用プローブの
位置決め制御における誤差要因をなくすことができる両
面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置
補正方法を提供することを目的とする。
鑑み、位置計測用カメラ相互の取付け位置の誤差を正確
に把握し、実際に基板検査を行う際の検査用プローブの
位置決め制御における誤差要因をなくすことができる両
面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置
補正方法を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成すべくなされたものであり、少なくともその内周面を
含む表裏両面の周辺領域に反射面を設けた通孔を基準マ
ークとして備える基板を装置本体内に定置させ、レンズ
面を板面方向に向けて取り付けられた位置計測用カメラ
を備えて縦横方向への制御された移動を自在とした1以
上の可動体を前記基板の上下両方向に相互が対となって
対向する配置関係で各別に配設するとともに、対となっ
た前記可動体における一方の位置計測用カメラをあらか
じめ定められている基準となるべき理論座標の位置へと
移動させて光を照射し、その際に撮影される基準マーク
側からの反射光映像との関係で前記理論座標に対する該
カメラの実取付け位置の誤差を測定し、一方の前記位置
計測用カメラ側の照明光が干渉しない状況下で、対とな
った前記可動体における他方の位置計測用カメラをあら
かじめ定められている基準となるべき理論座標の位置へ
と移動させて光を照射し、その際に撮影される基準マー
ク側からの反射光映像との関係で前記理論座標に対する
該カメラの実取付け位置の誤差を測定し、各別に取得さ
れたそれぞれの誤差データに基づいて対となった前記可
動体の各位置計測用カメラの実取付け位置を基準となる
べき前記理論座標の位置との関係で補正することに構成
上の特徴がある。
成すべくなされたものであり、少なくともその内周面を
含む表裏両面の周辺領域に反射面を設けた通孔を基準マ
ークとして備える基板を装置本体内に定置させ、レンズ
面を板面方向に向けて取り付けられた位置計測用カメラ
を備えて縦横方向への制御された移動を自在とした1以
上の可動体を前記基板の上下両方向に相互が対となって
対向する配置関係で各別に配設するとともに、対となっ
た前記可動体における一方の位置計測用カメラをあらか
じめ定められている基準となるべき理論座標の位置へと
移動させて光を照射し、その際に撮影される基準マーク
側からの反射光映像との関係で前記理論座標に対する該
カメラの実取付け位置の誤差を測定し、一方の前記位置
計測用カメラ側の照明光が干渉しない状況下で、対とな
った前記可動体における他方の位置計測用カメラをあら
かじめ定められている基準となるべき理論座標の位置へ
と移動させて光を照射し、その際に撮影される基準マー
ク側からの反射光映像との関係で前記理論座標に対する
該カメラの実取付け位置の誤差を測定し、各別に取得さ
れたそれぞれの誤差データに基づいて対となった前記可
動体の各位置計測用カメラの実取付け位置を基準となる
べき前記理論座標の位置との関係で補正することに構成
上の特徴がある。
【0013】この場合、前記基板としては、両面プリン
ト配線板からなる被検査基板自体もしくは基準用として
別途に用意される専用ダミー基板のいずれを用いてもよ
い。
ト配線板からなる被検査基板自体もしくは基準用として
別途に用意される専用ダミー基板のいずれを用いてもよ
い。
【0014】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施に供される
両面基板検査装置の要部構成例を示す側面図であり、図
2は、同平面図である。
両面基板検査装置の要部構成例を示す側面図であり、図
2は、同平面図である。
【0015】これらの図によれば、基板51(図1と図
2とでは両面プリント配線板としての被検査基板52)
は、位置固定用基準点32に位置合わせした上で装置本
体11内に図1に示すように適宜構造の保持具31を介
して定置させることができるようになっている。また、
被検査基板52の水平面方向での板面51aに対する上
下両方向には、照明具18,28を備えレンズ面17,
27が板面51a方向に向けられて取り付けられた位置
計測用カメラ16,26と、昇降自在に配設された検査
用プローブピン15,25とを備えて縦横方向への制御
された移動を自在とした可動体14,24が、対となっ
て相互に対向する配置関係で各別に配設されている。
2とでは両面プリント配線板としての被検査基板52)
は、位置固定用基準点32に位置合わせした上で装置本
体11内に図1に示すように適宜構造の保持具31を介
して定置させることができるようになっている。また、
被検査基板52の水平面方向での板面51aに対する上
下両方向には、照明具18,28を備えレンズ面17,
27が板面51a方向に向けられて取り付けられた位置
計測用カメラ16,26と、昇降自在に配設された検査
用プローブピン15,25とを備えて縦横方向への制御
された移動を自在とした可動体14,24が、対となっ
て相互に対向する配置関係で各別に配設されている。
【0016】すなわち、被検査基板52の上方に位置す
る可動体14は、例えば装置本体11が備えるCPUか
らの移送指令により駆動する図3に示すサーボモータ1
9を介するなどしてY軸アーム13に沿っての移動を自
在に配設されており、該Y軸アーム13も同様にX軸ア
ーム12に沿っての移動を自在に配設されている。この
ため、検査用プローブピン15は、X軸方向とY軸方向
とZ軸方向とへの移動が、位置計測用カメラ16は、X
軸方向とY軸方向とへの移動がそれぞれ自在となって可
動体14に設置されることになる。
る可動体14は、例えば装置本体11が備えるCPUか
らの移送指令により駆動する図3に示すサーボモータ1
9を介するなどしてY軸アーム13に沿っての移動を自
在に配設されており、該Y軸アーム13も同様にX軸ア
ーム12に沿っての移動を自在に配設されている。この
ため、検査用プローブピン15は、X軸方向とY軸方向
とZ軸方向とへの移動が、位置計測用カメラ16は、X
軸方向とY軸方向とへの移動がそれぞれ自在となって可
動体14に設置されることになる。
【0017】また、被検査基板52の下方に位置する可
動体24は、例えば装置本体11が備えるCPUからの
移送指令により駆動する図3に示すサーボモータ29を
介するなどしてY軸アーム23に沿っての移動を自在に
配設されており、該Y軸アーム23も同様にX軸アーム
22に沿っての移動を自在に配設されている。このた
め、検査用プローブピン25は、X軸方向とY軸方向と
Z軸方向とへの移動が、位置計測用カメラ26は、X軸
方向とY軸方向とへの移動がそれぞれ自在となって可動
体24に設置されることになる。
動体24は、例えば装置本体11が備えるCPUからの
移送指令により駆動する図3に示すサーボモータ29を
介するなどしてY軸アーム23に沿っての移動を自在に
配設されており、該Y軸アーム23も同様にX軸アーム
22に沿っての移動を自在に配設されている。このた
め、検査用プローブピン25は、X軸方向とY軸方向と
Z軸方向とへの移動が、位置計測用カメラ26は、X軸
方向とY軸方向とへの移動がそれぞれ自在となって可動
体24に設置されることになる。
【0018】本発明における基板51については、少な
くともその内周面55を含む表裏両面の周辺領域に位置
する板面51aに金メッキを施すなどして反射面56を
設けた通孔54を基準マーク53として備えてさえいれ
ば、図1と図2とに示す被検査基板52に代えて基準用
として別途に用意される例えば図6に示す専用ダミー基
板61を用いることもできる。
くともその内周面55を含む表裏両面の周辺領域に位置
する板面51aに金メッキを施すなどして反射面56を
設けた通孔54を基準マーク53として備えてさえいれ
ば、図1と図2とに示す被検査基板52に代えて基準用
として別途に用意される例えば図6に示す専用ダミー基
板61を用いることもできる。
【0019】次に、上記構成からなる両面基板検査装置
により実施される本発明方法を図3と図4とを参酌しな
がら説明すれば、まず、基板51を位置固定用基準点3
2に位置合わせした上で保持具31を介して装置本体1
1内に定置させて基板セットを終える。
により実施される本発明方法を図3と図4とを参酌しな
がら説明すれば、まず、基板51を位置固定用基準点3
2に位置合わせした上で保持具31を介して装置本体1
1内に定置させて基板セットを終える。
【0020】次いで、いずれか一方の位置計測用カメ
ラ、例えば上方の位置計測用カメラ16は、基板51に
通孔54となって形成されている基準マーク53の位置
から遠ざけたり、照明具18を消灯させるなどして他方
である下方の位置計測用カメラ26に対し上方からの照
明光が干渉しない状況下に配置させる。
ラ、例えば上方の位置計測用カメラ16は、基板51に
通孔54となって形成されている基準マーク53の位置
から遠ざけたり、照明具18を消灯させるなどして他方
である下方の位置計測用カメラ26に対し上方からの照
明光が干渉しない状況下に配置させる。
【0021】このように上方の位置計測用カメラ16を
配置した後は、下方の位置計測用カメラ26をあらかじ
め定められている基準となるべき理論座標の位置へと移
動させるとともに、照明具28を装置本体11が備える
CPUからの照明制御のもとで点灯させ、その光を基準
マーク53側に照射してその反射光を撮影する。
配置した後は、下方の位置計測用カメラ26をあらかじ
め定められている基準となるべき理論座標の位置へと移
動させるとともに、照明具28を装置本体11が備える
CPUからの照明制御のもとで点灯させ、その光を基準
マーク53側に照射してその反射光を撮影する。
【0022】これにより、画像認識手段は、基準マーク
53の中心位置O1 からのずれを画素数で測定してそ
の中心位置O1を正確に検出し、画像処理手段35を介
して誤差測定値として取得され、該誤差測定値は装置本
体11が備えるCPUにより距離(ずれ量としての座標
値)に換算される。
53の中心位置O1 からのずれを画素数で測定してそ
の中心位置O1を正確に検出し、画像処理手段35を介
して誤差測定値として取得され、該誤差測定値は装置本
体11が備えるCPUにより距離(ずれ量としての座標
値)に換算される。
【0023】ここで換算された距離(ずれ量としての座
標値)は、X軸アーム22とY軸アーム23との機構誤
差分として把握され、装置本体11が備えるメモリに格
納保持される。
標値)は、X軸アーム22とY軸アーム23との機構誤
差分として把握され、装置本体11が備えるメモリに格
納保持される。
【0024】次いで、下方の位置計測用カメラ26は、
基板51に通孔54となって形成されている基準マーク
53の位置から遠ざけたり、照明具18を消灯させるな
どして上方の位置計測用カメラ16に対し下方からの照
明光が干渉しない状況下に配置される。
基板51に通孔54となって形成されている基準マーク
53の位置から遠ざけたり、照明具18を消灯させるな
どして上方の位置計測用カメラ16に対し下方からの照
明光が干渉しない状況下に配置される。
【0025】このように下方の位置計測用カメラ26を
配置した後は、上方の位置計測用カメラ16をあらかじ
め定められている基準となるべき理論座標の位置へと移
動させるとともに、照明具18を装置本体11が備える
CPUからの照明制御のもとで点灯させ、その光を基準
マーク53側に照射してその反射光を撮影する。
配置した後は、上方の位置計測用カメラ16をあらかじ
め定められている基準となるべき理論座標の位置へと移
動させるとともに、照明具18を装置本体11が備える
CPUからの照明制御のもとで点灯させ、その光を基準
マーク53側に照射してその反射光を撮影する。
【0026】これにより、画認識手段は、基準マーク5
3の中心位置O1 からのずれを画素数で測定してその
中心位置O1を正確に検出し、画像処理手段35を介し
て誤差測定値として取得され、該誤差測定値は装置本体
11が備えるCPUにより距離(ずれ量としての座標
値)に換算される。
3の中心位置O1 からのずれを画素数で測定してその
中心位置O1を正確に検出し、画像処理手段35を介し
て誤差測定値として取得され、該誤差測定値は装置本体
11が備えるCPUにより距離(ずれ量としての座標
値)に換算される。
【0027】ここで換算された距離(ずれ量としての座
標値)は、X軸アーム12とY軸アーム13との機構誤
差分として把握され、装置本体11が備えるメモリに格
納保持される。
標値)は、X軸アーム12とY軸アーム13との機構誤
差分として把握され、装置本体11が備えるメモリに格
納保持される。
【0028】このようにして下方の位置計測用カメラ2
6と上方の位置計測用カメラ16とについての誤差測定
を終えた後は、各別に取得されたそれぞれの誤差データ
に基づいて対となった可動体24の側の位置計測用カメ
ラ26と可動体14の側の位置計測用カメラ16とのそ
れぞれの実取付け位置を基準となるべき理論座標の位置
との関係で補正を行ってその処理を終了する。
6と上方の位置計測用カメラ16とについての誤差測定
を終えた後は、各別に取得されたそれぞれの誤差データ
に基づいて対となった可動体24の側の位置計測用カメ
ラ26と可動体14の側の位置計測用カメラ16とのそ
れぞれの実取付け位置を基準となるべき理論座標の位置
との関係で補正を行ってその処理を終了する。
【0029】このため、通孔54により形成されている
同一の基準マーク53を共用して上方の位置計測用カメ
ラ16と下方の位置計測用カメラ26との取付け位置の
誤差測定を行うことができるので、位置計測用カメラ1
6,26相互の取付け位置の誤差を正確に把握し、実際
に基板検査を行う際の検査用プローブ15,25の位置
決め制御における誤差要因を確実になくすことができ
る。
同一の基準マーク53を共用して上方の位置計測用カメ
ラ16と下方の位置計測用カメラ26との取付け位置の
誤差測定を行うことができるので、位置計測用カメラ1
6,26相互の取付け位置の誤差を正確に把握し、実際
に基板検査を行う際の検査用プローブ15,25の位置
決め制御における誤差要因を確実になくすことができ
る。
【0030】しかも、本発明における基板51は、通孔
54を基準マーク53としているので、通孔54の内周
面55を含む表裏両面の周辺領域への照明具18,28
からの照射光は反射光となってレンズ面17,27に到
達するのに対し、通孔54内への照射光は反射されるこ
となく通過する。このため、位置計測用カメラ16,2
6は、通孔54からなる基準マーク53の位置を鮮明な
コントラストの画像もとで撮影することができ、正しい
補正処理を行わせることができる。
54を基準マーク53としているので、通孔54の内周
面55を含む表裏両面の周辺領域への照明具18,28
からの照射光は反射光となってレンズ面17,27に到
達するのに対し、通孔54内への照射光は反射されるこ
となく通過する。このため、位置計測用カメラ16,2
6は、通孔54からなる基準マーク53の位置を鮮明な
コントラストの画像もとで撮影することができ、正しい
補正処理を行わせることができる。
【0031】以上は、本発明の好適例について説明した
ものであり、その具体的な内容は上記記載に限定される
ものではない。例えば、図示例においては、上下に対と
なった一組の可動体14,24を配置し、各1個の位置
計測用カメラ16もしくは位置計測用カメラ26を用い
た例が示されているが、同一のX軸アームに複数本のY
軸アームを配置して複数個の位置計測用カメラを設置す
ることもできる。この場合、図4に示す一連の処理も複
数回繰り返し行われることになる。また、X軸アームの
側に可動体を配置して、該X軸アームに沿わせてY軸ア
ームの側を移動できるようにしてもよい。さらに、上方
の位置計測用カメラ16の機構誤差をまず検出し、次い
で下方の位置計測用カメラ26の機構誤差を検出するよ
うにしてもよい。
ものであり、その具体的な内容は上記記載に限定される
ものではない。例えば、図示例においては、上下に対と
なった一組の可動体14,24を配置し、各1個の位置
計測用カメラ16もしくは位置計測用カメラ26を用い
た例が示されているが、同一のX軸アームに複数本のY
軸アームを配置して複数個の位置計測用カメラを設置す
ることもできる。この場合、図4に示す一連の処理も複
数回繰り返し行われることになる。また、X軸アームの
側に可動体を配置して、該X軸アームに沿わせてY軸ア
ームの側を移動できるようにしてもよい。さらに、上方
の位置計測用カメラ16の機構誤差をまず検出し、次い
で下方の位置計測用カメラ26の機構誤差を検出するよ
うにしてもよい。
【0032】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、基板
に設けた同一の通孔を基準マークとして用いているの
で、上方の位置計測用カメラと下方の位置計測用カメラ
とのいずれによっても前記基準マークの位置を正確に撮
影することができ、双方のカメラ取付け位置の誤差を正
しく掌握することができる。
に設けた同一の通孔を基準マークとして用いているの
で、上方の位置計測用カメラと下方の位置計測用カメラ
とのいずれによっても前記基準マークの位置を正確に撮
影することができ、双方のカメラ取付け位置の誤差を正
しく掌握することができる。
【0033】したがって、実際に基板検査を行う際に
は、検査用プローブの位置決め制御における誤差要因を
一掃してより正確な測定検査を実施することができる。
は、検査用プローブの位置決め制御における誤差要因を
一掃してより正確な測定検査を実施することができる。
【図1】本発明の実施に供される両面基板検査装置の要
部構成例を示す側面図。
部構成例を示す側面図。
【図2】図1に対応させた平面図。
【図3】本発明における位置計測用カメラの駆動系の一
例を示すブロック図。
例を示すブロック図。
【図4】本発明の処理手順の一例を示すフローチャート
図。
図。
【図5】本発明における基板と位置計測用カメラとの配
置関係の一例を示す説明図。
置関係の一例を示す説明図。
【図6】本発明に用いられる基板の要部構成例を示す平
面図。
面図。
【図7】被検査基板である両面プリント配線板の所定位
置に検査用プローブピンを正確に接触させるために採用
されている従来手法の一例を示す説明図。
置に検査用プローブピンを正確に接触させるために採用
されている従来手法の一例を示す説明図。
【図8】従来から用いられている専用ダミー基板の表面
に形成されている一側基準マークと、裏面に形成されて
いる他側基準マークとの配置関係を示す説明図。
に形成されている一側基準マークと、裏面に形成されて
いる他側基準マークとの配置関係を示す説明図。
1 専用ダミー基板 1a 表面 1b 裏面 2 板面 3 一側基準マーク 4 他側基準マーク 5 無反射面 6,8 位置計測用カメラ 7,9 レンズ面 11 装置本体 12,22 X軸アーム 13,23 Y軸アーム 14,24 可動体 15,25 検査用プローブピン 16,26 位置計測用カメラ 17,27 レンズ面 18,28 照明具 19,29 サーボモータ 31 保持具 32 位置固定用基準点 35 画像処理手段 51 基板 51a 板面 52 被検査基板 53 基準マーク 54 通孔 55 内周面 56 反射面 57 専用ダミー基板 O1 基準マークの中心位置
Claims (2)
- 【請求項1】 少なくともその内周面を含む表裏両面の
周辺領域に反射面を設けた通孔を基準マークとして備え
る基板を装置本体内に定置させ、 レンズ面を板面方向に向けて取り付けられた位置計測用
カメラを備えて縦横方向への制御された移動を自在とし
た1以上の可動体を前記基板の上下両方向に相互が対と
なって対向する配置関係で各別に配設するとともに、 対となった前記可動体における一方の位置計測用カメラ
をあらかじめ定められている基準となるべき理論座標の
位置へと移動させて光を照射し、 その際に撮影される基準マーク側からの反射光映像との
関係で前記理論座標に対する該カメラの実取付け位置の
誤差を測定し、 一方の前記位置計測用カメラ側の照明光が干渉しない状
況下で、対となった前記可動体における他方の位置計測
用カメラをあらかじめ定められている基準となるべき理
論座標の位置へと移動させて光を照射し、 その際に撮影される基準マーク側からの反射光映像との
関係で前記理論座標に対する該カメラの実取付け位置の
誤差を測定し、 各別に取得されたそれぞれの誤差データに基づいて対と
なった前記可動体の各位置計測用カメラの実取付け位置
を基準となるべき前記理論座標の位置との関係で補正す
ることを特徴とする両面基板検査装置における位置計測
用カメラの取付け位置補正方法。 - 【請求項2】前記基板は、両面プリント配線板からなる
被検査基板自体もしくは基準用として別途に用意される
専用ダミー基板のいずれかであることを特徴とする請求
項1に記載の両面基板検査装置における位置計測用カメ
ラの取付け位置補正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001019622A JP2002221550A (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | 両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001019622A JP2002221550A (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | 両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2002221550A true JP2002221550A (ja) | 2002-08-09 |
Family
ID=18885470
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JP2001019622A Pending JP2002221550A (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | 両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法 |
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