JP2002221550A - 両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法 - Google Patents
両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法Info
- Publication number
- JP2002221550A JP2002221550A JP2001019622A JP2001019622A JP2002221550A JP 2002221550 A JP2002221550 A JP 2002221550A JP 2001019622 A JP2001019622 A JP 2001019622A JP 2001019622 A JP2001019622 A JP 2001019622A JP 2002221550 A JP2002221550 A JP 2002221550A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- position measuring
- reference mark
- double
- board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】位置計測用カメラの取付け位置の誤差を正確に
把握して両面基板検査装置における検査用プローブの位
置決め制御の誤差要因をなくす。 【解決手段】通孔５４を基準マーク５３として備える基
板５１を定置させ、位置計測用カメラ１６，２６を備え
て縦横方向への移動が自在な可動体１４，２４を基板５
１の上下両方向に各別に配設するとともに、各位置計測
用カメラ１６，２６を理論座標の位置へと各別に移動さ
せて光を照射して撮影される各反射光映像との関係で前
記基準マーク５３に対する各カメラ１６，２６の実取付
け位置の誤差を測定し、各別に取得されたそれぞれの誤
差データに基づいて対となった各位置計測用カメラ１
６，２６の実取付け位置を基準となるべき前記理論座標
の位置との関係で補正する。
把握して両面基板検査装置における検査用プローブの位
置決め制御の誤差要因をなくす。 【解決手段】通孔５４を基準マーク５３として備える基
板５１を定置させ、位置計測用カメラ１６，２６を備え
て縦横方向への移動が自在な可動体１４，２４を基板５
１の上下両方向に各別に配設するとともに、各位置計測
用カメラ１６，２６を理論座標の位置へと各別に移動さ
せて光を照射して撮影される各反射光映像との関係で前
記基準マーク５３に対する各カメラ１６，２６の実取付
け位置の誤差を測定し、各別に取得されたそれぞれの誤
差データに基づいて対となった各位置計測用カメラ１
６，２６の実取付け位置を基準となるべき前記理論座標
の位置との関係で補正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、両面基板検査装置
における位置計測用カメラの取付け位置補正方法に関す
る。
における位置計測用カメラの取付け位置補正方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】両面基板検査装置により被検査基板であ
る両面プリント配線板の各面に対し、検査用プローブピ
ンを接触させて各別に所定の検査を行おうとする場合に
は、まず、被検査基板を装置本体内の所定位置に正確に
位置決めして定置させておくことが必要になる。
る両面プリント配線板の各面に対し、検査用プローブピ
ンを接触させて各別に所定の検査を行おうとする場合に
は、まず、被検査基板を装置本体内の所定位置に正確に
位置決めして定置させておくことが必要になる。
【０００３】また、定置された被検査基板の所定位置に
検査用プローブピンを正確に接触させるためには、検査
用プローブピンも常に正しい位置座標のもとで移動させ
てやる必要がある。
検査用プローブピンを正確に接触させるためには、検査
用プローブピンも常に正しい位置座標のもとで移動させ
てやる必要がある。
【０００４】図７は、被検査基板の表裏両面の所定位置
に検査用プローブピンを正確に接触させるためのティー
チングとして、専用ダミー基板を利用して行われている
両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位
置補正のための従来手法の一例を示す説明図である。
に検査用プローブピンを正確に接触させるためのティー
チングとして、専用ダミー基板を利用して行われている
両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位
置補正のための従来手法の一例を示す説明図である。
【０００５】同図によれば、位置計測用カメラ６，８の
取付け位置の補正に必要な情報を得る際に用いられる専
用ダミー基板１には、その表面１ａと裏面１ｂとの所定
位置にメッキ処理を施すことにより、同一形状の円形反
射面として用意される一側基準マーク３と他側基準マー
ク４とが相互に対面合致する配置関係のもとで形成され
ている。また、専用ダミー基板１における一側基準マー
ク３と他側基準マーク４とを除くそれぞれの周囲領域に
は、無反射性樹脂をコーティングしてなる無反射面５が
形成されている。
取付け位置の補正に必要な情報を得る際に用いられる専
用ダミー基板１には、その表面１ａと裏面１ｂとの所定
位置にメッキ処理を施すことにより、同一形状の円形反
射面として用意される一側基準マーク３と他側基準マー
ク４とが相互に対面合致する配置関係のもとで形成され
ている。また、専用ダミー基板１における一側基準マー
ク３と他側基準マーク４とを除くそれぞれの周囲領域に
は、無反射性樹脂をコーティングしてなる無反射面５が
形成されている。
【０００６】また、定置された専用ダミー基板１の上方
と下方とには、それぞれのレンズ面７，９が対応する一
側基準マーク３もしくは他側基準マーク４と対面し得る
配置関係のもとで縦横方向への制御された移動が自在な
位置計測用カメラ６，８が各別に配設されている。
と下方とには、それぞれのレンズ面７，９が対応する一
側基準マーク３もしくは他側基準マーク４と対面し得る
配置関係のもとで縦横方向への制御された移動が自在な
位置計測用カメラ６，８が各別に配設されている。
【０００７】このため、各位置計測用カメラ６，８側か
ら専用ダミー基板１の板面２方向に光を照射することに
より、一側基準マーク３もしくは他側基準マーク４とし
ての反射面への照射光は反射光となってレンズ面７もし
くはレンズ面９に到達するのに対し、一側基準マーク３
もしくは他側基準マーク４を除く周囲の無反射面５への
照射光は反射されない結果、位置計測用カメラ６，８が
撮影する画像上において一側基準マーク３もしくは他側
基準マーク４とその周辺領域との間に鮮明なコントラス
トを生じさせることにより、その位置関係を正確に掌握
できることになる。
ら専用ダミー基板１の板面２方向に光を照射することに
より、一側基準マーク３もしくは他側基準マーク４とし
ての反射面への照射光は反射光となってレンズ面７もし
くはレンズ面９に到達するのに対し、一側基準マーク３
もしくは他側基準マーク４を除く周囲の無反射面５への
照射光は反射されない結果、位置計測用カメラ６，８が
撮影する画像上において一側基準マーク３もしくは他側
基準マーク４とその周辺領域との間に鮮明なコントラス
トを生じさせることにより、その位置関係を正確に掌握
できることになる。
【０００８】したがって、専用ダミー基板１の表面１ａ
側に配置されている位置計測用カメラ６には、対応する
一側基準マーク３の位置を、専用基板１の裏面１ｂ側に
配置されている位置計測用カメラ８には、対応する他側
基準マーク４の位置をそれぞれあらかじめティーチング
させておくことにより、各位置計測用カメラ６，８の取
付け位置上の誤差分を測定し、それぞれの測定結果を誤
差データとして各別に記憶させておき、各位置計測用カ
メラ６，８の実取付け位置に補正をかけてやることがで
きるようになっている。
側に配置されている位置計測用カメラ６には、対応する
一側基準マーク３の位置を、専用基板１の裏面１ｂ側に
配置されている位置計測用カメラ８には、対応する他側
基準マーク４の位置をそれぞれあらかじめティーチング
させておくことにより、各位置計測用カメラ６，８の取
付け位置上の誤差分を測定し、それぞれの測定結果を誤
差データとして各別に記憶させておき、各位置計測用カ
メラ６，８の実取付け位置に補正をかけてやることがで
きるようになっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、各位置計測
用カメラ６，８は、それぞれが同一の位置座標を確保で
きるように実取付け位置との間の誤差分を正確に求めて
おく必要がある。そのためには、専用ダミー基板１の表
面１ａ側に付されている一側基準マーク３と裏面１ｂに
付されている他側基準マーク４とがぴったりと相互に対
面合致していることが前提条件となる。
用カメラ６，８は、それぞれが同一の位置座標を確保で
きるように実取付け位置との間の誤差分を正確に求めて
おく必要がある。そのためには、専用ダミー基板１の表
面１ａ側に付されている一側基準マーク３と裏面１ｂに
付されている他側基準マーク４とがぴったりと相互に対
面合致していることが前提条件となる。
【００１０】しかし、一側基準マーク３と他側基準マー
ク４とは、製造上の問題もあってぴったりと対面合致さ
せることは難しく、図８に示すように実際には相互間に
位置ずれを生させてしまう状況にあった。したがって、
一側基準マーク３と他側基準マーク４との相互間の位置
ずれに起因して位置計測用カメラ６，８相互の取付け位
置の誤差を正確に掌握することができなくなる結果、実
際に行われる基板検査時の検査用プローブピンの位置決
め制御における誤差要因となってしまう不都合があっ
た。
ク４とは、製造上の問題もあってぴったりと対面合致さ
せることは難しく、図８に示すように実際には相互間に
位置ずれを生させてしまう状況にあった。したがって、
一側基準マーク３と他側基準マーク４との相互間の位置
ずれに起因して位置計測用カメラ６，８相互の取付け位
置の誤差を正確に掌握することができなくなる結果、実
際に行われる基板検査時の検査用プローブピンの位置決
め制御における誤差要因となってしまう不都合があっ
た。
【００１１】本発明は、従来手法にみられた上記課題に
鑑み、位置計測用カメラ相互の取付け位置の誤差を正確
に把握し、実際に基板検査を行う際の検査用プローブの
位置決め制御における誤差要因をなくすことができる両
面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置
補正方法を提供することを目的とする。
鑑み、位置計測用カメラ相互の取付け位置の誤差を正確
に把握し、実際に基板検査を行う際の検査用プローブの
位置決め制御における誤差要因をなくすことができる両
面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置
補正方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成すべくなされたものであり、少なくともその内周面を
含む表裏両面の周辺領域に反射面を設けた通孔を基準マ
ークとして備える基板を装置本体内に定置させ、レンズ
面を板面方向に向けて取り付けられた位置計測用カメラ
を備えて縦横方向への制御された移動を自在とした１以
上の可動体を前記基板の上下両方向に相互が対となって
対向する配置関係で各別に配設するとともに、対となっ
た前記可動体における一方の位置計測用カメラをあらか
じめ定められている基準となるべき理論座標の位置へと
移動させて光を照射し、その際に撮影される基準マーク
側からの反射光映像との関係で前記理論座標に対する該
カメラの実取付け位置の誤差を測定し、一方の前記位置
計測用カメラ側の照明光が干渉しない状況下で、対とな
った前記可動体における他方の位置計測用カメラをあら
かじめ定められている基準となるべき理論座標の位置へ
と移動させて光を照射し、その際に撮影される基準マー
ク側からの反射光映像との関係で前記理論座標に対する
該カメラの実取付け位置の誤差を測定し、各別に取得さ
れたそれぞれの誤差データに基づいて対となった前記可
動体の各位置計測用カメラの実取付け位置を基準となる
べき前記理論座標の位置との関係で補正することに構成
上の特徴がある。
成すべくなされたものであり、少なくともその内周面を
含む表裏両面の周辺領域に反射面を設けた通孔を基準マ
ークとして備える基板を装置本体内に定置させ、レンズ
面を板面方向に向けて取り付けられた位置計測用カメラ
を備えて縦横方向への制御された移動を自在とした１以
上の可動体を前記基板の上下両方向に相互が対となって
対向する配置関係で各別に配設するとともに、対となっ
た前記可動体における一方の位置計測用カメラをあらか
じめ定められている基準となるべき理論座標の位置へと
移動させて光を照射し、その際に撮影される基準マーク
側からの反射光映像との関係で前記理論座標に対する該
カメラの実取付け位置の誤差を測定し、一方の前記位置
計測用カメラ側の照明光が干渉しない状況下で、対とな
った前記可動体における他方の位置計測用カメラをあら
かじめ定められている基準となるべき理論座標の位置へ
と移動させて光を照射し、その際に撮影される基準マー
ク側からの反射光映像との関係で前記理論座標に対する
該カメラの実取付け位置の誤差を測定し、各別に取得さ
れたそれぞれの誤差データに基づいて対となった前記可
動体の各位置計測用カメラの実取付け位置を基準となる
べき前記理論座標の位置との関係で補正することに構成
上の特徴がある。
【００１３】この場合、前記基板としては、両面プリン
ト配線板からなる被検査基板自体もしくは基準用として
別途に用意される専用ダミー基板のいずれを用いてもよ
い。
ト配線板からなる被検査基板自体もしくは基準用として
別途に用意される専用ダミー基板のいずれを用いてもよ
い。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施に供される
両面基板検査装置の要部構成例を示す側面図であり、図
２は、同平面図である。
両面基板検査装置の要部構成例を示す側面図であり、図
２は、同平面図である。
【００１５】これらの図によれば、基板５１（図１と図
２とでは両面プリント配線板としての被検査基板５２）
は、位置固定用基準点３２に位置合わせした上で装置本
体１１内に図１に示すように適宜構造の保持具３１を介
して定置させることができるようになっている。また、
被検査基板５２の水平面方向での板面５１ａに対する上
下両方向には、照明具１８，２８を備えレンズ面１７，
２７が板面５１ａ方向に向けられて取り付けられた位置
計測用カメラ１６，２６と、昇降自在に配設された検査
用プローブピン１５，２５とを備えて縦横方向への制御
された移動を自在とした可動体１４，２４が、対となっ
て相互に対向する配置関係で各別に配設されている。
２とでは両面プリント配線板としての被検査基板５２）
は、位置固定用基準点３２に位置合わせした上で装置本
体１１内に図１に示すように適宜構造の保持具３１を介
して定置させることができるようになっている。また、
被検査基板５２の水平面方向での板面５１ａに対する上
下両方向には、照明具１８，２８を備えレンズ面１７，
２７が板面５１ａ方向に向けられて取り付けられた位置
計測用カメラ１６，２６と、昇降自在に配設された検査
用プローブピン１５，２５とを備えて縦横方向への制御
された移動を自在とした可動体１４，２４が、対となっ
て相互に対向する配置関係で各別に配設されている。
【００１６】すなわち、被検査基板５２の上方に位置す
る可動体１４は、例えば装置本体１１が備えるＣＰＵか
らの移送指令により駆動する図３に示すサーボモータ１
９を介するなどしてＹ軸アーム１３に沿っての移動を自
在に配設されており、該Ｙ軸アーム１３も同様にＸ軸ア
ーム１２に沿っての移動を自在に配設されている。この
ため、検査用プローブピン１５は、Ｘ軸方向とＹ軸方向
とＺ軸方向とへの移動が、位置計測用カメラ１６は、Ｘ
軸方向とＹ軸方向とへの移動がそれぞれ自在となって可
動体１４に設置されることになる。
る可動体１４は、例えば装置本体１１が備えるＣＰＵか
らの移送指令により駆動する図３に示すサーボモータ１
９を介するなどしてＹ軸アーム１３に沿っての移動を自
在に配設されており、該Ｙ軸アーム１３も同様にＸ軸ア
ーム１２に沿っての移動を自在に配設されている。この
ため、検査用プローブピン１５は、Ｘ軸方向とＹ軸方向
とＺ軸方向とへの移動が、位置計測用カメラ１６は、Ｘ
軸方向とＹ軸方向とへの移動がそれぞれ自在となって可
動体１４に設置されることになる。
【００１７】また、被検査基板５２の下方に位置する可
動体２４は、例えば装置本体１１が備えるＣＰＵからの
移送指令により駆動する図３に示すサーボモータ２９を
介するなどしてＹ軸アーム２３に沿っての移動を自在に
配設されており、該Ｙ軸アーム２３も同様にＸ軸アーム
２２に沿っての移動を自在に配設されている。このた
め、検査用プローブピン２５は、Ｘ軸方向とＹ軸方向と
Ｚ軸方向とへの移動が、位置計測用カメラ２６は、Ｘ軸
方向とＹ軸方向とへの移動がそれぞれ自在となって可動
体２４に設置されることになる。
動体２４は、例えば装置本体１１が備えるＣＰＵからの
移送指令により駆動する図３に示すサーボモータ２９を
介するなどしてＹ軸アーム２３に沿っての移動を自在に
配設されており、該Ｙ軸アーム２３も同様にＸ軸アーム
２２に沿っての移動を自在に配設されている。このた
め、検査用プローブピン２５は、Ｘ軸方向とＹ軸方向と
Ｚ軸方向とへの移動が、位置計測用カメラ２６は、Ｘ軸
方向とＹ軸方向とへの移動がそれぞれ自在となって可動
体２４に設置されることになる。
【００１８】本発明における基板５１については、少な
くともその内周面５５を含む表裏両面の周辺領域に位置
する板面５１ａに金メッキを施すなどして反射面５６を
設けた通孔５４を基準マーク５３として備えてさえいれ
ば、図１と図２とに示す被検査基板５２に代えて基準用
として別途に用意される例えば図６に示す専用ダミー基
板６１を用いることもできる。
くともその内周面５５を含む表裏両面の周辺領域に位置
する板面５１ａに金メッキを施すなどして反射面５６を
設けた通孔５４を基準マーク５３として備えてさえいれ
ば、図１と図２とに示す被検査基板５２に代えて基準用
として別途に用意される例えば図６に示す専用ダミー基
板６１を用いることもできる。
【００１９】次に、上記構成からなる両面基板検査装置
により実施される本発明方法を図３と図４とを参酌しな
がら説明すれば、まず、基板５１を位置固定用基準点３
２に位置合わせした上で保持具３１を介して装置本体１
１内に定置させて基板セットを終える。
により実施される本発明方法を図３と図４とを参酌しな
がら説明すれば、まず、基板５１を位置固定用基準点３
２に位置合わせした上で保持具３１を介して装置本体１
１内に定置させて基板セットを終える。
【００２０】次いで、いずれか一方の位置計測用カメ
ラ、例えば上方の位置計測用カメラ１６は、基板５１に
通孔５４となって形成されている基準マーク５３の位置
から遠ざけたり、照明具１８を消灯させるなどして他方
である下方の位置計測用カメラ２６に対し上方からの照
明光が干渉しない状況下に配置させる。
ラ、例えば上方の位置計測用カメラ１６は、基板５１に
通孔５４となって形成されている基準マーク５３の位置
から遠ざけたり、照明具１８を消灯させるなどして他方
である下方の位置計測用カメラ２６に対し上方からの照
明光が干渉しない状況下に配置させる。
【００２１】このように上方の位置計測用カメラ１６を
配置した後は、下方の位置計測用カメラ２６をあらかじ
め定められている基準となるべき理論座標の位置へと移
動させるとともに、照明具２８を装置本体１１が備える
ＣＰＵからの照明制御のもとで点灯させ、その光を基準
マーク５３側に照射してその反射光を撮影する。
配置した後は、下方の位置計測用カメラ２６をあらかじ
め定められている基準となるべき理論座標の位置へと移
動させるとともに、照明具２８を装置本体１１が備える
ＣＰＵからの照明制御のもとで点灯させ、その光を基準
マーク５３側に照射してその反射光を撮影する。
【００２２】これにより、画像認識手段は、基準マーク
５３の中心位置Ｏ１ からのずれを画素数で測定してそ
の中心位置Ｏ１を正確に検出し、画像処理手段３５を介
して誤差測定値として取得され、該誤差測定値は装置本
体１１が備えるＣＰＵにより距離（ずれ量としての座標
値）に換算される。
５３の中心位置Ｏ１ からのずれを画素数で測定してそ
の中心位置Ｏ１を正確に検出し、画像処理手段３５を介
して誤差測定値として取得され、該誤差測定値は装置本
体１１が備えるＣＰＵにより距離（ずれ量としての座標
値）に換算される。
【００２３】ここで換算された距離（ずれ量としての座
標値）は、Ｘ軸アーム２２とＹ軸アーム２３との機構誤
差分として把握され、装置本体１１が備えるメモリに格
納保持される。
標値）は、Ｘ軸アーム２２とＹ軸アーム２３との機構誤
差分として把握され、装置本体１１が備えるメモリに格
納保持される。
【００２４】次いで、下方の位置計測用カメラ２６は、
基板５１に通孔５４となって形成されている基準マーク
５３の位置から遠ざけたり、照明具１８を消灯させるな
どして上方の位置計測用カメラ１６に対し下方からの照
明光が干渉しない状況下に配置される。
基板５１に通孔５４となって形成されている基準マーク
５３の位置から遠ざけたり、照明具１８を消灯させるな
どして上方の位置計測用カメラ１６に対し下方からの照
明光が干渉しない状況下に配置される。
【００２５】このように下方の位置計測用カメラ２６を
配置した後は、上方の位置計測用カメラ１６をあらかじ
め定められている基準となるべき理論座標の位置へと移
動させるとともに、照明具１８を装置本体１１が備える
ＣＰＵからの照明制御のもとで点灯させ、その光を基準
マーク５３側に照射してその反射光を撮影する。
配置した後は、上方の位置計測用カメラ１６をあらかじ
め定められている基準となるべき理論座標の位置へと移
動させるとともに、照明具１８を装置本体１１が備える
ＣＰＵからの照明制御のもとで点灯させ、その光を基準
マーク５３側に照射してその反射光を撮影する。
【００２６】これにより、画認識手段は、基準マーク５
３の中心位置Ｏ１ からのずれを画素数で測定してその
中心位置Ｏ１を正確に検出し、画像処理手段３５を介し
て誤差測定値として取得され、該誤差測定値は装置本体
１１が備えるＣＰＵにより距離（ずれ量としての座標
値）に換算される。
３の中心位置Ｏ１ からのずれを画素数で測定してその
中心位置Ｏ１を正確に検出し、画像処理手段３５を介し
て誤差測定値として取得され、該誤差測定値は装置本体
１１が備えるＣＰＵにより距離（ずれ量としての座標
値）に換算される。
【００２７】ここで換算された距離（ずれ量としての座
標値）は、Ｘ軸アーム１２とＹ軸アーム１３との機構誤
差分として把握され、装置本体１１が備えるメモリに格
納保持される。
標値）は、Ｘ軸アーム１２とＹ軸アーム１３との機構誤
差分として把握され、装置本体１１が備えるメモリに格
納保持される。
【００２８】このようにして下方の位置計測用カメラ２
６と上方の位置計測用カメラ１６とについての誤差測定
を終えた後は、各別に取得されたそれぞれの誤差データ
に基づいて対となった可動体２４の側の位置計測用カメ
ラ２６と可動体１４の側の位置計測用カメラ１６とのそ
れぞれの実取付け位置を基準となるべき理論座標の位置
との関係で補正を行ってその処理を終了する。
６と上方の位置計測用カメラ１６とについての誤差測定
を終えた後は、各別に取得されたそれぞれの誤差データ
に基づいて対となった可動体２４の側の位置計測用カメ
ラ２６と可動体１４の側の位置計測用カメラ１６とのそ
れぞれの実取付け位置を基準となるべき理論座標の位置
との関係で補正を行ってその処理を終了する。
【００２９】このため、通孔５４により形成されている
同一の基準マーク５３を共用して上方の位置計測用カメ
ラ１６と下方の位置計測用カメラ２６との取付け位置の
誤差測定を行うことができるので、位置計測用カメラ１
６，２６相互の取付け位置の誤差を正確に把握し、実際
に基板検査を行う際の検査用プローブ１５，２５の位置
決め制御における誤差要因を確実になくすことができ
る。
同一の基準マーク５３を共用して上方の位置計測用カメ
ラ１６と下方の位置計測用カメラ２６との取付け位置の
誤差測定を行うことができるので、位置計測用カメラ１
６，２６相互の取付け位置の誤差を正確に把握し、実際
に基板検査を行う際の検査用プローブ１５，２５の位置
決め制御における誤差要因を確実になくすことができ
る。
【００３０】しかも、本発明における基板５１は、通孔
５４を基準マーク５３としているので、通孔５４の内周
面５５を含む表裏両面の周辺領域への照明具１８，２８
からの照射光は反射光となってレンズ面１７，２７に到
達するのに対し、通孔５４内への照射光は反射されるこ
となく通過する。このため、位置計測用カメラ１６，２
６は、通孔５４からなる基準マーク５３の位置を鮮明な
コントラストの画像もとで撮影することができ、正しい
補正処理を行わせることができる。
５４を基準マーク５３としているので、通孔５４の内周
面５５を含む表裏両面の周辺領域への照明具１８，２８
からの照射光は反射光となってレンズ面１７，２７に到
達するのに対し、通孔５４内への照射光は反射されるこ
となく通過する。このため、位置計測用カメラ１６，２
６は、通孔５４からなる基準マーク５３の位置を鮮明な
コントラストの画像もとで撮影することができ、正しい
補正処理を行わせることができる。
【００３１】以上は、本発明の好適例について説明した
ものであり、その具体的な内容は上記記載に限定される
ものではない。例えば、図示例においては、上下に対と
なった一組の可動体１４，２４を配置し、各１個の位置
計測用カメラ１６もしくは位置計測用カメラ２６を用い
た例が示されているが、同一のＸ軸アームに複数本のＹ
軸アームを配置して複数個の位置計測用カメラを設置す
ることもできる。この場合、図４に示す一連の処理も複
数回繰り返し行われることになる。また、Ｘ軸アームの
側に可動体を配置して、該Ｘ軸アームに沿わせてＹ軸ア
ームの側を移動できるようにしてもよい。さらに、上方
の位置計測用カメラ１６の機構誤差をまず検出し、次い
で下方の位置計測用カメラ２６の機構誤差を検出するよ
うにしてもよい。
ものであり、その具体的な内容は上記記載に限定される
ものではない。例えば、図示例においては、上下に対と
なった一組の可動体１４，２４を配置し、各１個の位置
計測用カメラ１６もしくは位置計測用カメラ２６を用い
た例が示されているが、同一のＸ軸アームに複数本のＹ
軸アームを配置して複数個の位置計測用カメラを設置す
ることもできる。この場合、図４に示す一連の処理も複
数回繰り返し行われることになる。また、Ｘ軸アームの
側に可動体を配置して、該Ｘ軸アームに沿わせてＹ軸ア
ームの側を移動できるようにしてもよい。さらに、上方
の位置計測用カメラ１６の機構誤差をまず検出し、次い
で下方の位置計測用カメラ２６の機構誤差を検出するよ
うにしてもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、基板
に設けた同一の通孔を基準マークとして用いているの
で、上方の位置計測用カメラと下方の位置計測用カメラ
とのいずれによっても前記基準マークの位置を正確に撮
影することができ、双方のカメラ取付け位置の誤差を正
しく掌握することができる。
に設けた同一の通孔を基準マークとして用いているの
で、上方の位置計測用カメラと下方の位置計測用カメラ
とのいずれによっても前記基準マークの位置を正確に撮
影することができ、双方のカメラ取付け位置の誤差を正
しく掌握することができる。
【００３３】したがって、実際に基板検査を行う際に
は、検査用プローブの位置決め制御における誤差要因を
一掃してより正確な測定検査を実施することができる。
は、検査用プローブの位置決め制御における誤差要因を
一掃してより正確な測定検査を実施することができる。
【図１】本発明の実施に供される両面基板検査装置の要
部構成例を示す側面図。
部構成例を示す側面図。
【図２】図１に対応させた平面図。
【図３】本発明における位置計測用カメラの駆動系の一
例を示すブロック図。
例を示すブロック図。
【図４】本発明の処理手順の一例を示すフローチャート
図。
図。
【図５】本発明における基板と位置計測用カメラとの配
置関係の一例を示す説明図。
置関係の一例を示す説明図。
【図６】本発明に用いられる基板の要部構成例を示す平
面図。
面図。
【図７】被検査基板である両面プリント配線板の所定位
置に検査用プローブピンを正確に接触させるために採用
されている従来手法の一例を示す説明図。
置に検査用プローブピンを正確に接触させるために採用
されている従来手法の一例を示す説明図。
【図８】従来から用いられている専用ダミー基板の表面
に形成されている一側基準マークと、裏面に形成されて
いる他側基準マークとの配置関係を示す説明図。
に形成されている一側基準マークと、裏面に形成されて
いる他側基準マークとの配置関係を示す説明図。
１ 専用ダミー基板 １ａ 表面 １ｂ 裏面 ２ 板面 ３ 一側基準マーク ４ 他側基準マーク ５ 無反射面 ６，８ 位置計測用カメラ ７，９ レンズ面 １１ 装置本体 １２，２２ Ｘ軸アーム １３，２３ Ｙ軸アーム １４，２４ 可動体 １５，２５ 検査用プローブピン １６，２６ 位置計測用カメラ １７，２７ レンズ面 １８，２８ 照明具 １９，２９ サーボモータ ３１ 保持具 ３２ 位置固定用基準点 ３５ 画像処理手段 ５１ 基板 ５１ａ 板面 ５２ 被検査基板 ５３ 基準マーク ５４ 通孔 ５５ 内周面 ５６ 反射面 ５７ 専用ダミー基板 Ｏ１ 基準マークの中心位置
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくともその内周面を含む表裏両面の
周辺領域に反射面を設けた通孔を基準マークとして備え
る基板を装置本体内に定置させ、 レンズ面を板面方向に向けて取り付けられた位置計測用
カメラを備えて縦横方向への制御された移動を自在とし
た１以上の可動体を前記基板の上下両方向に相互が対と
なって対向する配置関係で各別に配設するとともに、 対となった前記可動体における一方の位置計測用カメラ
をあらかじめ定められている基準となるべき理論座標の
位置へと移動させて光を照射し、 その際に撮影される基準マーク側からの反射光映像との
関係で前記理論座標に対する該カメラの実取付け位置の
誤差を測定し、 一方の前記位置計測用カメラ側の照明光が干渉しない状
況下で、対となった前記可動体における他方の位置計測
用カメラをあらかじめ定められている基準となるべき理
論座標の位置へと移動させて光を照射し、 その際に撮影される基準マーク側からの反射光映像との
関係で前記理論座標に対する該カメラの実取付け位置の
誤差を測定し、 各別に取得されたそれぞれの誤差データに基づいて対と
なった前記可動体の各位置計測用カメラの実取付け位置
を基準となるべき前記理論座標の位置との関係で補正す
ることを特徴とする両面基板検査装置における位置計測
用カメラの取付け位置補正方法。 - 【請求項２】前記基板は、両面プリント配線板からなる
被検査基板自体もしくは基準用として別途に用意される
専用ダミー基板のいずれかであることを特徴とする請求
項１に記載の両面基板検査装置における位置計測用カメ
ラの取付け位置補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001019622A JP2002221550A (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | 両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001019622A JP2002221550A (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | 両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002221550A true JP2002221550A (ja) | 2002-08-09 |
Family
ID=18885470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001019622A Pending JP2002221550A (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | 両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002221550A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006029833A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Hikari Physics Kenkyusho:Kk | 光学素子評価方法または装置 |
| KR100751508B1 (ko) | 2007-04-26 | 2007-08-22 | 서승환 | 인쇄회로기판 검사장치 |
| JP2009294155A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Hioki Ee Corp | アームオフセット取得方法 |
| US20120081539A1 (en) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | Yokogawa Electric Corporation | Apparatus for measuring position and shape of pattern formed on sheet |
| JP2012225710A (ja) * | 2011-04-18 | 2012-11-15 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 |
| WO2013058287A1 (ja) * | 2011-10-17 | 2013-04-25 | 旭硝子株式会社 | 連結配線基板の製造方法および連結配線基板 |
| JP2013108938A (ja) * | 2011-11-24 | 2013-06-06 | Nidec-Read Corp | 基板検査用治具の位置合わせ方法 |
| KR200479721Y1 (ko) | 2015-02-13 | 2016-02-29 | 한국해양과학기술원 | 카메라영상을 이용한 위치측정시스템의 위치오차 교정 장치 |
| JP2017181188A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | Ckd株式会社 | 基板検査装置 |
| WO2019163288A1 (ja) * | 2018-02-26 | 2019-08-29 | ヤマハファインテック株式会社 | 位置決め装置及び位置決め方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6271651A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-04-02 | Nemoto Tokushu Kagaku Kk | 検査装置 |
| JPH0792190A (ja) * | 1993-09-21 | 1995-04-07 | Tokusoo Riken:Kk | プリント基板の検査装置 |
| JPH1038538A (ja) * | 1996-07-26 | 1998-02-13 | Mitsutoyo Corp | 物体形状測定装置 |
-
2001
- 2001-01-29 JP JP2001019622A patent/JP2002221550A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6271651A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-04-02 | Nemoto Tokushu Kagaku Kk | 検査装置 |
| JPH0792190A (ja) * | 1993-09-21 | 1995-04-07 | Tokusoo Riken:Kk | プリント基板の検査装置 |
| JPH1038538A (ja) * | 1996-07-26 | 1998-02-13 | Mitsutoyo Corp | 物体形状測定装置 |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006029833A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Hikari Physics Kenkyusho:Kk | 光学素子評価方法または装置 |
| KR100751508B1 (ko) | 2007-04-26 | 2007-08-22 | 서승환 | 인쇄회로기판 검사장치 |
| JP2009294155A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Hioki Ee Corp | アームオフセット取得方法 |
| US20120081539A1 (en) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | Yokogawa Electric Corporation | Apparatus for measuring position and shape of pattern formed on sheet |
| US8823819B2 (en) * | 2010-09-30 | 2014-09-02 | Yokogawa Electric Corporation | Apparatus for measuring position and shape of pattern formed on sheet |
| JP2012225710A (ja) * | 2011-04-18 | 2012-11-15 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 |
| WO2013058287A1 (ja) * | 2011-10-17 | 2013-04-25 | 旭硝子株式会社 | 連結配線基板の製造方法および連結配線基板 |
| JP2013108938A (ja) * | 2011-11-24 | 2013-06-06 | Nidec-Read Corp | 基板検査用治具の位置合わせ方法 |
| KR200479721Y1 (ko) | 2015-02-13 | 2016-02-29 | 한국해양과학기술원 | 카메라영상을 이용한 위치측정시스템의 위치오차 교정 장치 |
| JP2017181188A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | Ckd株式会社 | 基板検査装置 |
| WO2019163288A1 (ja) * | 2018-02-26 | 2019-08-29 | ヤマハファインテック株式会社 | 位置決め装置及び位置決め方法 |
| KR20200109346A (ko) * | 2018-02-26 | 2020-09-22 | 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 | 위치 결정 장치 및 위치 결정 방법 |
| CN111742233A (zh) * | 2018-02-26 | 2020-10-02 | 雅马哈精密科技株式会社 | 定位装置及定位方法 |
| JPWO2019163288A1 (ja) * | 2018-02-26 | 2021-01-14 | ヤマハファインテック株式会社 | 位置決め装置及び位置決め方法 |
| JP7050359B2 (ja) | 2018-02-26 | 2022-04-08 | ヤマハファインテック株式会社 | 位置決め装置及び位置決め方法 |
| KR102457415B1 (ko) * | 2018-02-26 | 2022-10-24 | 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 | 위치 결정 장치 및 위치 결정 방법 |
| CN111742233B (zh) * | 2018-02-26 | 2023-06-09 | 雅马哈精密科技株式会社 | 定位装置及定位方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9488472B2 (en) | Apparatus and method for measuring a three dimensional shape | |
| JP4903627B2 (ja) | 表面実装機、及び、そのカメラ位置補正方法 | |
| JP4791118B2 (ja) | 画像測定機のオフセット算出方法 | |
| TWI684020B (zh) | 探針裝置及探針方法 | |
| KR100420272B1 (ko) | 오프셋 측정방법, 툴위치 검출방법 및 본딩장치 | |
| JP2007183193A (ja) | プロービング装置 | |
| JPH0596700A (ja) | スクリーン印刷の位置合わせ方法 | |
| US20130342677A1 (en) | Vision testing device using multigrid pattern | |
| CN101120620A (zh) | 绘图设备的校准方法和绘图设备 | |
| US8314920B2 (en) | Method of aligning an exposure apparatus, method of exposing a photoresist film using the same and exposure apparatus for performing the method of exposing a photoresist film | |
| JP2002221550A (ja) | 両面基板検査装置における位置計測用カメラの取付け位置補正方法 | |
| US6219442B1 (en) | Apparatus and method for measuring distortion of a visible pattern on a substrate by viewing predetermined portions thereof | |
| JP3011401B2 (ja) | 上側治具位置決め機構付きプリント基板検査装置および上側治具位置決め方法 | |
| JP2002264294A (ja) | スクリーン印刷装置及びスクリーン製版セット方法 | |
| TWI638239B (zh) | 位置偏移檢測方法、位置偏移檢測裝置、描繪裝置及基板檢查裝置 | |
| JPH08262114A (ja) | 回路基板検査装置におけるプローブの移動制御方法 | |
| JP2002057197A (ja) | プローブ方法及びプローブ装置 | |
| JPH03211812A (ja) | 露光装置 | |
| JP3337499B2 (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JP6879484B2 (ja) | 画像取得装置、露光装置、及び画像取得方法 | |
| JP4802814B2 (ja) | 開口パターンの検査装置 | |
| TWI834440B (zh) | 處理裝置及處理方法 | |
| CN216599866U (zh) | 用于图像芯片测试的镜头安装结构、图像芯片测试装置 | |
| JP4487700B2 (ja) | 近接露光装置 | |
| TWM588788U (zh) | 2d及3d量測裝置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080125 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100524 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100602 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101013 |