JP2002217437A - 薄膜半導体素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体基板上に形成された半導体素子部を剥
離する際に粘着シートを用いることで、太陽電池素子な
どを薄くて柔らかな保持体に容易に埋め込むことができ
る薄膜半導体素子の製造方法を提供する。 【解決手段】 半導体基板１１上の光電変換部１０Ａの
表面側に粘着シート１７を接着した後、この光電変換部
１０Ａを、多孔質シリコン層１２において半導体基板１
１から剥離する。この剥離の後、フィルム１９を光電変
換部１０Ａの裏面側に接着する。次いで、加熱により、
粘着シート１７を光電変換部１０Ａから剥離して表面電
極１５，１６を露出させ、リード電極２０，２１を、露
出させた表面電極１５，１６に半田付けにより接続した
後、フィルム２２を、光電変換部１０Ａの表面側に接着
する。これにより、柔らかくて薄いフィルムに埋め込ま
れた太陽電池素子１０が製造される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板上に形
成された半導体素子部の剥離を行うことにより、薄膜の
太陽電池素子などを製造する薄膜半導体素子の製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の太陽電池素子は、シリコン基板、
ガリウム砒素（ＧａＡｓ）基板、ガラス基板またはプラ
スチックフィルム上に形成されている。しかし、例え
ば、絹、木綿または羊毛（ウール）などの繊維からなる
基材（以下，繊維体という。）は、柔らかく、また高温
に耐えられないので、繊維体上に太陽電池素子を直接形
成することはできない。繊維体を太陽電池素子の表面や
裏面に貼り付けることは可能であるが、この場合には、
太陽電池素子全体の厚みが約３００μｍ以上あることか
ら、繊維体を太陽電池素子の両面に貼り付けて構成され
る衣類などはあまり曲げることができず、衣類などに太
陽電池素子を設ける長所はない。そのため、例えば単結
晶シリコン薄膜を用いた太陽電池素子の開発が進むにつ
れて、この太陽電池素子を衣類などに埋め込んでその利
用範囲を広げることが望まれている。

【０００３】この単結晶シリコン薄膜を用いた太陽電池
素子を製造する１つの方法（特開平８−２１３６４５号
公報）では、まず、単結晶シリコン基板の表面に多孔質
（ポーラス）シリコン層を形成した後、この多孔質シリ
コン層上に単結晶シリコン薄膜からなる光電変換部を形
成する。そして、この光電変換部に例えばプラスチック
フィルムを接着した後に、引張応力により多孔質シリコ
ン層においてこの光電変換部をプラスチックフィルムと
共に単結晶シリコン基板から剥離する。この方法を用い
ることにより、光電変換部がプラスチックフィルムや紙
シートなどの上に形成された柔軟な太陽電池素子を得る
ことができる。なお、この方法において、光電変換部を
単結晶シリコン基板から剥離できるようにするために
は、ある程度硬くて引張応力が大きいプラスチックフィ
ルムや紙シートなどを用いる必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の製造方法におけ
るプラスチックフィルムの接着により、光電変換部の表
面はプラスチックフィルムに覆われる。この状態で、光
電変換部に形成されている表面電極（プラス電極および
マイナス電極）を外部のリード電極に半田付けなどによ
り電気的に接続する場合には、プラスチックフィルム
の、リード電極が表面電極に接続される領域に対応する
位置に、レーザ照射により穴を開けて表面電極を露出さ
せなければならない。しかしながら、例えば１００μｍ
程度の厚さのプラスチックフィルムをレーザ照射により
短時間で穴を開けるためにレーザの電力を大きくする
と、プラスチックフィルムの下に形成されている表面電
極を損傷させてしまう。これを避けるためには、レーザ
の電力を小さくしなければならず、レーザ照射に長時間
を要するという問題がある。

【０００５】リード電極を表面電極に電気的に接続する
別の方法では、プラスチックフィルムを光電変換部に接
着する前に、プラスチックフィルムの、リード電極が接
続される領域に対応する位置に穴を開けている。しかし
ながら、この方法では、プラスチックフィルムに開けら
れた穴には接着剤が付かないため、光電変換部を半導体
基板から剥離する時に欠陥が発生することがあるという
問題がある。特に、例えば約０．１ｍ×約０．１ｍの大
きさを有する太陽電池素子では、３Ａ程度の電流が発生
するため、抵抗損失を減少させるために穴の面積は大き
いことが必要であり、このことが太陽電池素子の欠陥発
生の確率を更に大きくするという問題がある。

【０００６】また、上記の製造方法とは別の方法とし
て、粘着シートを太陽電池素子の光電変換部（またはＩ
Ｃ（Integrated Circuit；集積回路））の表面に接着
し、プラスチックフィルムを光電変換部の裏面に室温で
紫外光（ＵＶ光）硬化樹脂または室温接着剤により接着
した後、粘着シートを５０°Ｃ〜６０°Ｃ程度に加熱し
て接着強度を室温の１０分の１に低下させることによ
り、この粘着シートを光電変換部の裏面から剥離するも
のが、本出願人と同一の出願人から提案されている（特
願平１１−２７４０６２号）。しかしながら、この方法
で用いられる粘着シートでは、接着強度が室温の１０分
の１程度になるもののまだ接着強度が０ではないため、
剥離の際に光電変換部またはＩＣを損傷させる場合があ
った。

【０００７】ところで、太陽電池素子の製造時に用いら
れる接着剤として、ＥＶＡ（エチレンビニルアセテー
ト）からなる接着剤（以下，ＥＶＡ接着剤という。）が
ある。このＥＶＡ接着剤は、弾力性が高いため結晶系の
太陽電池素子をガラス材などに接着する材料として広く
使われている。このＥＶＡ接着剤を単結晶シリコン薄膜
の太陽電池素子の製造のために用いれば、太陽光による
加熱や冬の寒さにより発生する膨張または収縮ストレス
から太陽電池素子を保護することができる。従って、上
記の製造方法において、光電変換部の裏面にプラスチッ
クフィルムを接着する際には、ＥＶＡ接着剤を使用する
ことが望まれる。しかしながら、ＥＶＡ接着剤による接
着を行うには、１３０°Ｃ程度の加熱が必要である。そ
のため、この接着の際には、光電変換部の表面に接着さ
れている粘着シートにも１３０°Ｃ程度の高温がかかっ
てしまうので、光電変換部から粘着シートを剥離するに
は、１３０°Ｃのような高温で引張強度を加えなければ
ならないという問題もあった。

【０００８】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、半導体基板上に形成された半導体素
子部を剥離する際に粘着シートを用いることで、太陽電
池素子などを薄くて柔らかな保持体に容易に埋め込むこ
とができる薄膜半導体素子の製造方法を提供することに
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明による薄膜半導体
素子の製造方法は、対向する２面を有する半導体基板の
一方の面に多孔質半導体層を形成する工程と、この多孔
質半導体層上に半導体素子部を形成する工程と、半導体
素子部に、加熱により剥離可能な粘着シートを接着する
工程と、多孔質半導体層において、半導体基板から、粘
着シートが接着された半導体素子部を剥離する工程と、
半導体素子部の剥離面側に第１の保持体を接着する工程
と、加熱により、第１の保持体が接着された半導体素子
部から粘着シートを剥離する工程と、半導体素子部の、
粘着シートが剥離された面側に第２の保持体を接着する
工程とを有している。

【００１０】本発明による薄膜半導体素子の製造方法で
は、対応する２面を有する半導体基板の一方の面に多孔
質半導体層が形成され、この多孔質半導体層上に半導体
素子部が形成された後、この半導体素子部に、加熱によ
り剥離可能な粘着シートが接着される。そして、多孔質
半導体層において、半導体基板から、粘着シートが接着
された半導体素子部が剥離され、半導体素子部の剥離面
側に第１の保持体が接着された後、加熱により、第１の
保持体が接着された半導体素子部から粘着シートが剥離
されると共に、半導体素子部の、粘着シートが剥離され
た面側に第２の保持体が接着される。これにより、例え
ば、薄くて柔らかいフィルムに埋め込まれた太陽電池素
子が製造される。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。

【００１２】〔第１の実施の形態〕図１〜図３は本発明
の第１の実施の形態に係る太陽電池素子の製造方法を説
明するためのものである。まず、図１（Ａ）に示したよ
うに、太陽電池素子の光電変換部を形成するための半導
体基板１１を用意する。この半導体基板１１としては、
例えば、ホウ素などのｐ型不純物が添加され、約０．０
１Ω・ｃｍ〜約０．０２Ω・ｃｍの範囲内の比抵抗を有
する単結晶シリコン基板を用いる。

【００１３】次に、図１（Ｂ）に示したように、半導体
基板１１の一方の面（表面）に、陽極化成により多孔質
シリコン層１２を形成する。ここでは、陽極化成を例え
ば３段階に分けて行う。すなわち、例えば、第１段階で
は、約１ｍＡ／ｃｍ² の電流密度で約８分間、第２段階
では、例えば約７ｍＡ／ｃｍ² の電流密度で約８分間、
第３段階では、例えば約２００ｍＡ／ｃｍ² の電流密度
で数秒間、それぞれ陽極化成を行う。

【００１４】半導体基板１１の表面に多孔質シリコン層
１２を形成した後、水素アニールにより、多孔質シリコ
ン層１２の表面に存在する空孔を塞ぐ。次いで、図１
（Ｃ）に示したように、エピタキシャル成長を行い、多
孔質シリコン層１２の表面に、例えば約１０μｍの厚さ
のｐ型のエピタキシャル膜（単結晶シリコン膜）１３を
形成する。

【００１５】このような水素アニールおよびエピタキシ
ャル成長を行っている間に、多孔質シリコン層１２中
に、引張強度が最も小さい剥離層１２Ａが形成される。
ただし、この剥離層１２Ａは、太陽電池素子の製造工程
中に、ｐ型のエピタキシャル膜１３などが半導体基板１
１から部分的にまたは全体的に剥離しない程度の引張強
度を有しているものとする。

【００１６】続いて、図１（Ｄ）に示したように、エピ
タキシャル膜１３に例えばイオン注入によりｎ型不純物
を拡散させてｎ型層１３Ａを形成し、これにより、ｐｎ
接合を形成する。そして、図１（Ｅ）に示したように、
エピタキシャル膜１３の表面に反射防止膜１４を形成し
た後に、例えばスクリーン印刷により表面電極１５を陽
極、表面電極１６を陰極としてそれぞれ形成する。

【００１７】以上のようにして、光電変換部１０Ａを形
成した後に、図２（Ａ）に示したように、この光電変換
部１０Ａの表面側（多孔質シリコン層１２が形成されて
いない面側）に、粘着シート１７を室温で接着する。こ
の粘着シート１７は、基材と、この基材の表面に形成さ
れた粘着層とによって構成されており、室温などの低い
温度では粘着性を有するが、温度が高くなると粘着性が
なくなるものである。基材は、例えば、ＰＥＴ（Polyet
hylene Terephthalate；ポリエチレンテレフタレート）
のようなプラスチックからなるフィルム、ステンレス鋼
（ＳＵＳ）のような金属薄膜、または繊維からなる不織
布である。粘着層には、粘着剤と、加熱により発泡する
発泡剤とが含まれている。因みに、粘着シートとして、
例えば約５０°Ｃに加熱すると接着力が室温の場合の１
０分の１程度まで減少するものがあるが、まだ接着力が
存在するため、この粘着シートを剥離するためには、約
５０°Ｃ以上に加熱した状態で引張応力を加える必要が
ある。ここでは、粘着シート１７として、室温からある
温度までは十分な粘着力を有すると共に、例えば、約９
０°Ｃ、約１２０°Ｃ、約１５０°Ｃまたは約１７０°
Ｃに加熱すると、粘着層中の発泡剤が発泡してその表面
に凹凸が生じ、これにより接着面積が低下して接着力が
実質的に零になることで、引張応力を加えなくとも光電
変換部１０Ａから剥離できるものが好適である。このよ
うな粘着シートとして、例えば、日東電工株式会社製の
「リバアルファ」または「リバクリーン」を用いる。

【００１８】この接着の後に、図２（Ｂ）に示したよう
に、光電変換部１０Ａを、剥離層１２Ａにおいて半導体
基板１１から剥離する。この剥離の際には、例えば、半
導体基板１１と粘着シート１７との間に引張応力を生じ
させる。この剥離の後、光電変換部１０Ａの裏面側（剥
離面側）に残っている多孔質シリコン層１２Ｂをエッチ
ングなどにより除去する。

【００１９】なお、半導体基板１１の表面側（剥離面
側）に残っている多孔質シリコン層１２Ｃをエッチング
などにより除去すれば、この半導体基板１１を、再度、
太陽電池素子を形成するための基板として利用すること
ができ、太陽電池素子の製造コストを低減することが可
能となる。

【００２０】多孔質シリコン層１２Ｂを除去した後、図
２（Ｃ）に示したように、光反射板１８が形成された、
例えばプラスチックからなるフィルム１９を用意し、こ
のフィルム１９を、光電変換部１０Ａの裏面側に例えば
ＥＶＡ接着剤を用いて接着する。

【００２１】ここで、このＥＶＡ接着剤を用いてフィル
ム１９を光電変換部１０Ａに接着するためには、例えば
約１３０°Ｃの加熱を行わなければならない。既に接着
された粘着シート１７が例えば約９０°Ｃまたは約１２
０°Ｃの加熱により剥離可能なものであるならば、ＥＶ
Ａ接着剤を用いてフィルム１９を光電変換部１０Ａの裏
面側に接着すると同時に、粘着シート１７の粘着層中の
発泡剤が発泡して粘着シート１７を光電変換部１０Ａか
ら剥離させることができる。これにより、太陽電池素子
の製造工程数を減らすことができ、低コスト化を図るこ
とが可能となる。

【００２２】フィルム１９の接着の後、図２（Ｄ）に示
したように、加熱により、粘着シート１７を光電変換部
１０Ａから剥離し、表面電極１５，１６を露出させる。
粘着シート１７が例えば約９０°Ｃで剥離するものであ
れば約１００°Ｃの加熱を数秒間、粘着シート１７が例
えば約１２０°Ｃで剥離するものであれば約１３０°Ｃ
の加熱を数秒間、それぞれ行うことが好適である。

【００２３】その後、図３（Ａ）に示したように、リー
ド電極２０を表面電極１５、リード電極２１を表面電極
１６に、例えば半田付けによりそれぞれ接続する。これ
により、低抵抗で電気的な接続がなされる。次いで、図
３（Ｂ）に示したように、例えばプラスチックからなる
フィルム２２を用意し、このフィルム２２を、光電変換
部１０Ａの表面側（フィルム１９が接着されていない面
側）に例えばＥＶＡ接着剤を用いて接着する。

【００２４】以上のようにして、太陽電池素子１０が製
造される。なお、フィルム１９の代わりに、光反射板が
ない透明なプラスチックフィルムを用いてもよく、この
ような構成により、太陽電池素子１０の裏面側から入射
した光による光電変換も可能となる。また、フィルム１
９，２２は、半導体基板１１からの光電変換部１０Ａの
剥離が行われた後に接着されるので、柔軟なものや薄い
ものを用いるようにしてもよい。

【００２５】因みに、太陽電池素子は、例えば夏の昼間
においては太陽光の照射により高温状態となって膨張す
るが、逆に、冬の夜間においては低温状態となって収縮
する。このような温度状態の変化により、太陽電池素子
においては引張応力や圧縮応力が生じ、特に薄膜の太陽
電池素子では破壊が起こる場合がある。しかしながら、
薄膜の太陽電池素子の光電変換部の表裏両面に接着され
るプラスチックフィルムとして、同一の種類で、厚みが
ほぼ同じであるものを用いるようにすれば、光電変換部
の両面に同程度の応力が加わるので、これらの応力が互
いに相殺される。これにより、太陽電池素子の破壊が起
こるのを極力抑えることができる。

【００２６】以上のように、本実施の形態では、粘着シ
ート１７を半導体基板１１上の光電変換部１０Ａの表面
に接着した状態で、光電変換部１０Ａを多孔質シリコン
層１２において半導体基板１１から剥離した後に、フィ
ルム１９を光電変換部１０Ａの裏面に接着している。そ
して、加熱により粘着シート１７を光電変換部１０Ａか
ら剥離した後に、フィルム２２を光電変換部１０Ａの表
面に接着している。従って、あたかもフィルムに埋め込
まれたような太陽電池素子１０を製造することが可能と
なる。また、従来の製造方法では、太陽電池素子を損傷
させることなく、リード電極を表面電極に低抵抗で接続
することが困難であったが、粘着シート１７は光電変換
部１０Ａから容易に剥離できるので、半田付けなどによ
りリード電極２０，２１を表面電極１５，１６に低抵抗
で接続することが可能となる。

【００２７】〔第２の実施の形態〕図４は本発明の第２
の実施の形態に係る太陽電池素子の製造方法を説明する
ためのものである。ここでは、第１の実施の形態と同一
の構成要素には同一の符号を付し、異なる部分について
のみ説明する。

【００２８】本実施の形態の太陽電池素子３０の製造方
法においては、フィルム１９，２２を用いる代わりに、
紙シート２３，２４を光電変換部１０Ａの両面に接着さ
せている。光電変換部１０Ａの裏面側に接着される紙シ
ート２３の表面には光反射板１８が形成されているが、
太陽電池素子３０の裏面側から入射した光による光電変
換も可能とするために、光反射板が形成されていない紙
シートを用いるようにしてもよい。光電変換部１０Ａの
両面に対する紙シート２３，２４の接着には、ＥＶＡ接
着剤を用いるのが好適である。紙シート２３，２４は、
半導体基板１１からの光電変換部１０Ａの剥離の際には
接着されていないので、柔らかでかつ薄いものを使用す
ることができ、従来よりも更に柔らかでかつ薄い太陽電
池素子３０を製造することが可能となる。また、紙シー
ト２３，２４として、同一の種類で、厚みがほぼ同じで
あるものを用いるのが好適である。

【００２９】以上のように、本実施の形態では、粘着シ
ート１７を用いて光電変換部１０Ａを剥離した後、紙シ
ート２３，２４により光電変換部１０Ａを挟むようにし
ている。従って、紙シートに埋め込まれたような太陽電
池素子を製造することができ、この太陽電池素子を、例
えば、障子、襖または造花のような製品に埋め込むこと
が可能となる。

【００３０】〔第３の実施の形態〕図５は本発明の第３
の実施の形態に係る太陽電池素子の製造方法を説明する
ためのものである。ここでは、第１の実施の形態と同一
の構成要素には同一の符号を付し、異なる部分について
のみ説明する。

【００３１】本実施の形態の太陽電池素子４０の製造方
法においては、フィルム１９，２２を用いる代わりに、
例えば、絹、木綿または羊毛からなる繊維体２５，２６
を光電変換部１０Ａの両面に接着させている。光電変換
部１０Ａの裏面側に接着される繊維体２５の表面には光
反射板１８が形成されているが、太陽電池素子４０の裏
面側から入射した光による光電変換も可能とするため
に、光反射板が形成されていない繊維体を用いるように
してもよい。光電変換部１０Ａの両面に対する繊維体２
５，２６の接着には、ＥＶＡ接着剤を用いるのが好適で
ある。

【００３２】以上のように、本実施の形態では、粘着シ
ート１７を用いて光電変換部１０Ａを剥離した後、繊維
体２５，２６により光電変換部１０Ａを挟むようにして
いる。従って、繊維体に埋め込まれたような太陽電池素
子４０を製造することができ、この太陽電池素子を、例
えば、衣類（衣服、帽子、帯、ネクタイまたはスカーフ
など）、傘（日傘や雨傘）、船（ヨットなど）の帆、テ
ントまたは造花のような製品に埋め込むことが可能とな
る。特に、太陽電池素子が埋め込まれた衣類を身につけ
ている場合には、電源がない場所でも、この太陽電池素
子による発電により種々の携帯端末を駆動することがで
きる。

【００３３】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、
種々の変形が可能である。例えば、フィルム、紙シート
または繊維体に文字、絵または写真などを任意に表すよ
うにしてもよく、これにより、美観を伴った魅力のある
太陽電池素子を得ることができる。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、対向する２面を有
する半導体基板の一方の面に多孔質半導体層を形成し、
この多孔質半導体層上に半導体素子部を形成し、この半
導体素子部に、加熱により剥離可能な粘着シートを接着
し、多孔質半導体層において、半導体基板から、粘着シ
ートが接着された半導体素子部を剥離し、半導体素子部
の剥離面側に第１の保持体が接着された後、加熱によ
り、第１の保持体が接着された半導体素子部から粘着シ
ートが剥離されると共に、半導体素子部の、粘着シート
が剥離された面側に第２の保持体が接着されるようにし
たので、例えば、薄くて柔らかいフィルムに埋め込まれ
た太陽電池素子を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る薄膜半導体素
子である太陽電池素子の製造方法を説明するための断面
図である。

【図２】図１に表した工程に続く工程を説明するための
断面図である。

【図３】図２に表した工程に続く工程を説明するための
断面図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池素子
の製造方法を説明するための断面図である。

【図５】本発明の第３の実施の形態に係る太陽電池素子
の製造方法を説明するための断面図である。

【符号の説明】

１０…太陽電池素子、１０Ａ…光電変換部、１１…半導
体基板、１２，１２Ｂ，１２Ｃ…多孔質シリコン層、１
２Ａ…剥離層、１３…エピタキシャル膜、１３Ａ…ｎ型
層、１４…反射防止膜、１５，１６…表面電極、１７…
粘着シート、１８…光反射板、１９，２２…フィルム、
２０，２１…リード電極、２３，２４…紙シート、２
５，２６…繊維体。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向する２面を有する半導体基板の一方
   の面に多孔質半導体層を形成する工程と、 前記多孔質半導体層上に半導体素子部を形成する工程
   と、 前記半導体素子部に、加熱により剥離可能な粘着シート
   を接着する工程と、 前記多孔質半導体層において、前記半導体基板から、前
   記粘着シートが接着された前記半導体素子部を剥離する
   工程と、 前記半導体素子部の剥離面側に第１の保持体を接着する
   工程と、 加熱により、前記第１の保持体が接着された半導体素子
   部から前記粘着シートを剥離する工程と、 前記半導体素子部の、前記粘着シートが剥離された面側
   に第２の保持体を接着する工程とを含むことを特徴とす
   る薄膜半導体素子の製造方法。
2. 【請求項２】 前記粘着シートとして、基材上に発泡剤
   を含む粘着層が形成されたものを用いることを特徴とす
   る請求項１記載の薄膜半導体素子の製造方法。
3. 【請求項３】 前記粘着シートとして、加熱により前記
   発泡剤が発泡して前記粘着層の接着面積が低下し、接着
   力が実質的に零になるものを用いることを特徴とする請
   求項２記載の薄膜半導体素子の製造方法。
4. 【請求項４】 前記基材として、プラスチック、金属ま
   たは繊維のいずれか１つからなるものを用いることを特
   徴とする請求項２記載の薄膜半導体素子の製造方法。
5. 【請求項５】 前記粘着シートを剥離する工程を、前記
   第１の保持体を接着する工程と同時に行うことを特徴と
   する請求項１記載の薄膜半導体素子の製造方法。
6. 【請求項６】 前記第１の保持体として、光反射板が設
   けられたものを用いることを特徴とする請求項１記載の
   薄膜半導体素子の製造方法。
7. 【請求項７】 前記第１および第２の保持体として、プ
   ラスチック、紙または繊維のいずれか１つからなるもの
   を用いることを特徴とする請求項１記載の薄膜半導体素
   子の製造方法。
8. 【請求項８】 前記第１および第２の保持体は、衣類、
   傘、船の帆、テント、造花、障子または襖のいずれか１
   つを形成するために用いることを特徴とする請求項１記
   載の薄膜半導体素子の製造方法。
9. 【請求項９】 前記第１および第２の保持体として、文
   字、絵または写真の少なくとも１つが表されているもの
   を用いることを特徴とする請求項１記載の薄膜半導体素
   子の製造方法。
10. 【請求項１０】 更に、前記粘着シートを剥離する工程
    と前記第２の保持体を接着する工程との間において、前
    記半導体素子部の表面電極にリード電極を接続する工程
    を含むことを特徴とする請求項１記載の薄膜半導体素子
    の製造方法。