JP2002184749A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置Info
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Abstract
上流側への液飛散を防止する。 【解決手段】 シャワーユニット34を用いた処理部の
入口部分に、複合スリットノズル33を設ける。複合ス
リットノズル33は、処理液を膜状にして噴出する第1
スリットノズルと、第1スリットノズルの上流側にあっ
てそのノズルから噴射される処理液に沿ってエアを噴出
する第2スリットノズルとからなり、基板100の進行
方向へ傾斜して固定される。
Description
ラス基板の製造等に使用される搬送式の基板処理装置に
関する。
は、素材であるガラス基板の表面にエッチング、剥離等
の化学的処理を繰り返し施すことにより製造される。そ
の処理装置はドライ式とウェット式に大別され、ウェッ
ト式は更にバッチ式と枚葉式に分けられる。更に、枚葉
式は回転式とローラ搬送等による搬送式に細分される。
のは、基板を水平方向へ搬送しながらその基板の表面に
処理液を供給する基本構成になっており、高効率なこと
から以前よりエッチング処理や剥離処理に使用されてい
る。
理装置では、基板搬送ラインの上方にマトリックス状に
配置された多数のスプレーノズルからエッチング液を噴
出し、そのエッチング液中に基板を通過させることによ
り、基板の表面全体にエッチング液を供給する。このシ
ャワー処理により、基板の表面が、マスキング材の塗布
された部分を除いて選択的にエッチングされる。エッチ
ングが終わると、引き続きシャワーによる洗浄処理を行
う。剥離処理用のものも、基本的に同じ構成である。
置用ガラス基板では、基板の大型化と共に回路の高精細
化が進んでいる。その基板に使用される配線材料とし
て、以前はCrが多用されていたが、最近の高精細化に
伴ってより比抵抗値の小さいAl又はAl/Moへの転
換が図られている。このため、エッチング用の搬送式基
板処理装置でも、Al用エッチング液が使用され始めた
が、このエッチング液の使用に伴って以下のような問題
を生じることが判明した。
と比べで高粘度であり、ガラス基板の表面に対する濡れ
性が悪い。また、Cr用エッチング液によるCrのエッ
チングレートより高い。これらのため、シャワー処理の
開始時にエッチング液の細かな液滴が衝突した部分が処
理ムラになり、その後のシャワー処理でも消滅せずにエ
ッチング後も処理むらとして残る。
ー処理の前に、スリットノズルから噴出されるエッチン
グ液の膜中に基板を通過させるのが有効とされている。
エッチング液の膜中に基板を通過させると、基板の表面
がムラなく濡れる。一旦ムラなく濡れると、その後にシ
ャワー処理を受けても、液滴による処理ムラは生じな
い。
液置換のために、シャワー処理の前に、スリットノズル
から噴出される洗浄水の膜中に基板を通過させるのが有
効とされている。
らの液膜処理では、処理液が基板の表面に強く衝突する
ため、基板上等で処理液が拡散し、上流側の処理部に侵
入するおそれがある。エッチング液が上流側の処理部に
侵入すると、腐食等の問題が発生する。また、エッチン
グ液の損失が増え、液コストが増大する。洗浄水が女流
側の処理部、即ちエッチング部に侵入すると、エッチン
グ液が希釈され、その循環使用が不可能になるため、こ
の場合も液コストが増大する。
離を大きくすれば、この問題は解決されるが、設備が大
型化する問題を生じる。
膜処理で問題となる上流側への液飛散を防止できる基板
処理装置を提供することにある。
に、本発明の搬送式基板処理装置は、基板を水平方向へ
搬送して複数の処理部に通過させ、各処理部で基板の表
面に処理液を供給する搬送式の基板処理装置において、
複数の処理部のうちの少なくとも1の処理部の入口部分
に、基板の幅方向全域にわたって膜状に処理液を噴出す
る第1スリットノズルを設け、第1スリットノズルの入
側に、第1スリットノズルから噴出される処理液に沿っ
てエアを噴出する第2スリットノズルを設けたものであ
る。
傾斜して処理液を噴出する構成が好ましい。この構成に
より、入側への液飛散がより効果的に防止される。
方向及びその進行方向に直角な方向に配列された多数個
のスプレーノズルから基板の表面全体に処理液を供給す
るシャワーユニットの入側に組み合わされる。
の組合せは、エッチング部及び水洗部に特に有効であ
る。
基づいて説明する。図1は本発明の1実施形態を示す搬
送式基板処理装置の平面図、図2は同基板処理装置の主
要部の側面図、図3は同主要部に設けられた複合スリッ
トノズルの縦断側面図である。
表示装置用ガラス基板100(以下単に基板100と言
う)のAlエッチング処理を行うものである。この基板
処理装置は、図1に示すように、直線状の第1ライン
A、第1ラインAに直角に接続された第2ラインB、第
2ラインBに直角に接続されて第1ラインAに並列する
第3ラインCとを組み合わせたUターン形式のレイアウ
トを採用している。
部20及びエッチング部30を直線状に連結して構成さ
れている。第2ラインBは水洗部40である。第3ライ
ンCは、移載装置50、スピンドライヤ60、移載装置
70及び取り出し部80を直線状に連結して構成されて
いる。
00をライン長手方向に搬送するために、搬送方向に所
定間隔で並列された多数の搬送ローラを備えている。各
搬送ローラは、搬送方向に直角な水平ロールである。第
2ラインB、即ち水洗部40の入口部には、基板100
の進行方向を90度変更する転向機構41が設けられて
いる。
は、搬送装置90により受け入れ部10に搬入される。
その基板100は、ローラ搬送により、液よけ部20か
らエッチング30部に進入し、ここを通過する間にエッ
チング処理を受ける。エッチング部30を通過した基板
100は、引き続きローラ搬送により、水洗部40に進
入し、進行方向を90度変更して水洗部40を移動し、
その移動の間に水洗処理を受ける。
0は、移載装置50により水洗部40からスピンドライ
ヤ60へ搬送される。スピンドライヤ60で乾燥を終え
た基板100は、移載装置70によりスピンドライヤ6
0から取り出し部80へ搬送され、更に搬送装置90に
より装置外へ搬出される。
ッチング部30及び水洗部40に特に大きな特徴点があ
る。
基板100を水平方向に搬送する多数の搬送ローラ31
を備えており、基板100の搬送ラインの上方には、基
板100の表面にエッチング液を供給するために、複合
スリットノズル33及びシャワーユニット34が、基板
10の進行方向に沿って順番に設けられている。また、
基板100の表面からエッチング液を除去するために、
スリット形式のエアノズル36が、シャワーユニット3
4の後方に位置して設けられている。
進行方向に直角な向きの水平ノズルであり、エッチング
部30の入口部分に、シャワーユニット34の直前に位
置して配置されている。
すように、Al用エッチング液を膜状にして噴出する第
1スリットノズル33aと、第1スリットノズル33a
から噴射されるエッチング液に沿ってエアを噴出する第
2スリットノズル33bとを、隔板33cを挟んで一体
化した構造になっている。第1スリットノズル33a
は、エッチング液を基板100の表面の進行方向一部に
全幅にわたって直線状に供給し、その入側に配置された
第2スリットノズル33bと共に、基板100の進行方
向へ30°程度傾斜して固定されている。
行方向に平行な水平方向及びその進行方向に直角な水平
方向に所定間隔でマトリックス状(千鳥状を含む)に配
列された多数のスプレーノズル34aを備えており、基
板10の表面より広い範囲にAl用エッチング液をスプ
レーする。
0の進行方向に直角な方向に並列しそれぞれが基板10
0の進行方向に延びる複数本のヘッダ管34bに下方を
向けて取付けられている。各スプレーノズル34aは、
Al用エッチング液を細かな液滴にして円錐形状に噴射
し、隣接するノズル間では、各ノズルの噴射範囲がオー
バーラップするようになっている。ここにおけるエッチ
ング液の供給量は、基板100の表面上で十分な液置換
が行われるように設定される。
ング部30の出口部分に配置されており、基板10の表
面の進行方向一部に全幅にわたって直線状にエアを吹き
付けることにより、その表面からエッチング液を除去す
る。
0度変更する転向機構41と、これに続く多数の搬送ロ
ーラとを備えており、それらの上方には、基板100の
表面洗浄水を吹き付けるために、複合スリットノズル4
2及びシャワーユニット43が設けられている。
入口部分、特にエッチング部30との接続部近傍に配置
されている。この複合スリットノズル42は、エッチン
グ30の入口部分に配置された複合スリットノズル33
と同様、洗浄水を膜状にして噴出する第1スリットノズ
ルと、第1スリットノズルから噴射されるエッチング液
に沿ってエアを噴出する第2スリットノズルとを一体化
した構造になっており、第1スリットノズルは、その入
側に配置された第2スリットノズルと共に、基板100
の進行方向へ30°程度傾斜して固定されている。
行方向に沿って複数配置されている。各シャワーユニッ
ト43は、エッチング部30に設けられたシャワーユニ
ット34と同様、基板100の進行方向に平行な水平方
向及びその進行方向に直角な水平方向に所定間隔でマト
リックス状(千鳥状を含む)に配列された多数のスプレ
ーノズルから洗浄水を噴出し、下方を通過する基板10
0の表面に上方から洗浄水を散布する。
基板処理装置では、液よけ部20からエッチング部30
に進入した基板100は、まず、複合スリットノズル3
3の第1スリットノズル33aから噴出されるAl用エ
ッチング液の膜中を通過し、その表面上に先端部から順
次エッチング液が供給される。次いで、シャワーユニッ
ト34から噴出されるAl用エッチング液の中を通過
し、基板100の表面全体にAl用エッチング液が供給
され、所定のエッチングが行われる。
ング液をシャワーすると、最初に液滴を受けた部分が処
理ムラとなって残るが、事前にエッチング液の膜中を通
過することにより、その表面上にエッチング液がムラな
く供給されるので、エッチング液のシャワー処理に伴う
処理ムラが防止される。
リットノズル33aから噴出されるAl用エッチング液
は、基板100の表面に強く衝突し、飛散を生じるが、
第1スリットノズル33の入側に隣接して設けられた第
2スリットノズル33bからエッチング液の液膜に沿っ
てエアが噴出され、かつ、これらの噴出方向が基板10
0の進行方向へ傾斜しているため、上流側への飛散が効
果的に抑制される。このため、上流側の設備でのエッチ
ング液による腐食が防止される。また、エッチング液の
損失が回避される。
板100は、エアノズル36の下方を通過し、その表面
からエッチング液を除去された後、水洗部40に進入す
る。水洗部40に進入するとき、基板100は複合スリ
ットノズル42の下方を通過し、複合スリットノズル4
2の第1スリットノズルから膜状に噴出される洗浄液に
より表面が全幅にわたって洗浄されることにより、エッ
チングが完全に停止する。
ズルから噴出される洗浄水は、基板100の表面に強く
衝突し、飛散を生じるが、第1スリットノズルの入側に
隣接して受けられた第2スリットノズルから洗浄水の液
膜に沿ってエアが噴出され、かつ、これらの噴出方向が
基板100の進行方向へ傾斜しているため、エッチング
部30への飛散が効果的に抑制される。このため、エッ
チング部30では、エッチング液への洗浄水の混入が防
止される。
水洗部40内に進入した基板100は、方向転換後、シ
ャワーユニット43から噴出される洗浄水の中を通過
し、所定の洗浄処理を受ける。
理装置は、処理部の入口部分に、基板の幅方向全域にわ
たって膜状に処理液を噴出する第1スリットノズルを設
けたことにより、エッチング部では処理ムラを防止で
き、エッチング部に続く水洗部では、エッチングの迅速
な停止を可能にする。また、第1スリットノズルの入側
に、第1スリットノズルから噴出される処理液に沿って
エアを噴出する第2スリットノズルを設けたことによ
り、第1スリットノズルを用いた液膜処理で問題となる
上流側への液飛散を防止でき、エッチング液による設備
腐食の問題やエッチング液に洗浄水が混入することによ
る液コスト増大の問題を解決できる。
の平面図である。
断側面図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 基板を水平方向へ搬送して複数の処理部
に通過させ、各処理部で基板の表面に処理液を供給する
搬送式の基板処理装置において、複数の処理部のうちの
少なくとも1の処理部の入口部分に、基板の幅方向全域
にわたって膜状に処理液を噴出する第1スリットノズル
を設け、第1スリットノズルの入側に、第1スリットノ
ズルから噴出される処理液に沿ってエアを噴出する第2
スリットノズルを設けたことを特徴とする基板処理装
置。 - 【請求項2】 第1スリットノズルは、基板の進行方向
に傾斜して処理液を噴出することを特徴とする請求項1
に記載の基板処理装置。 - 【請求項3】 第1スリットノズルの出側に、基板の進
行方向及びその進行方向に直角な方向に配列された多数
個のスプレーノズルから基板の表面全体に処理液を供給
するシャワーユニットを設けたことを特徴とする請求項
1に記載の基板処理装置。 - 【請求項4】 複数の処理部はエッチング部及び水洗部
を含み、エッチング部及び水洗部は、入口部分に第1ス
リットノズル及び第2スリットノズルを装備することを
特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 【請求項5】 第1スリットノズル及び第2スリットノ
ズルは、隔板を挟んで両ノズルを一体化した複合スリッ
トノズルである請求項1に記載の基板処理装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103219262A (zh) * | 2012-01-20 | 2013-07-24 | 株式会社Mm科技 | 衬底表面处理***以及方法 |
JP2019189900A (ja) * | 2018-04-23 | 2019-10-31 | 東洋熱工業株式会社 | エッチング装置 |
CN110743722A (zh) * | 2019-11-06 | 2020-02-04 | 徐州徐工精密工业科技有限公司 | 可调压式快速喷淋刀 |
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- 2000-12-12 JP JP2000377316A patent/JP3452895B2/ja not_active Expired - Fee Related
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