JP2002176200A - 改良された光抽出効率を有する発光ダイオード - Google Patents
改良された光抽出効率を有する発光ダイオードInfo
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Abstract
を提供する。 【解決手段】 発光デバイス4は、活性領域12を有す
る半導体層の積層体8,10,16を備える。積層体
は、活性領域により射出された光に対して好ましくは約
1.5倍、より好ましくは約1.8倍より大きい屈折率を有す
る透明レンズに接着される。活性領域を有する半導体層
の積層体を備える発光デバイスに透明レンズを接着する
ための方法は、レンズと積層体の温度を上げ、圧力を加
えてレンズと積層体を一緒に押しつけることからなる。
発光デバイスに高屈折率のレンズを接着することによ
り、全内部反射による損失が減少して、発光デバイスの
光抽出効率が改善される。この改善は、不乳剤を使用せ
ずに達成できるという利点がある。
Description
オードに関し、より詳細には高められた光抽出効率を有
する発光ダイオードに関する。
は、LEDの内部量子効率に対するLEDの外部量子効
率の比率として定義される。典型的には、実装されたL
EDの光抽出効率は大幅に1より小さく、即ちLEDの
活性領域で発生された光の多くは外部環境に到達しな
い。
の界面における全内部反射とこれに引続くその全内部反
射した光のLEDでの再吸収により低下する。例えば、
エポキシ中に包み込まれた透明基層上の立方体の幾何形
態であるLEDについては、放射波長での屈折率(n)
は、例えば、LEDの半導体におけるnsemiの〜3.5
から、エポキシにおけるnepoxyの〜1.5まで変化す
る。この例における、LED半導体からエポキシ封入材
に入射する光の全内部反射についての対応する臨界角θ
cは、θc=arcsin(nepoxy/nsemi)〜25゜
である。散乱及び多重反射を無視すれば、立方体のLE
Dの活性領域中の一点から4πステラジアンで放射され
た光は、半導体/エポキシ封入材の界面を、この光が、
各界面に1つあり各光円錐の有する角度の半分が臨界角
に等しい、6つの狭い光円錐の1つに放射されたときの
み通過する。全内部反射に基づく付加的な損失は、エポ
キシ/空気の界面でも起こり得る。従って、エポキシに
包み込まれた、有効通常幾何形態(例えば、直方体)の
透明基板のAlInGaPのLEDは、100%近い内
部量子効率を有するにも拘らず、例えば、〜40%の外
部量子効率を有し得るのみである。
は、本明細書に引用により組み込まれた米国特許第5,
779,924号、第5,793,062号、及び、第
6,015,719号中で更に論じられている。光抽出
効率を改良するための1つの手法においては、LEDは
半球の形状に削り落とされる。半球形状とされたLED
の活性領域中の点から放射された光は、ほぼ垂直入射で
半球表面を横断する。従って、全内部反射が低減され
る。しかし、この技術は面倒であり、材料を無駄にす
る。加えて、この削り落としの間に発生する欠陥が、L
EDの信頼性や性能を劣化させる可能性がある。
半球形状の表面を有する材料で包み込まれる(収納され
る)。例えば、上述の例のエポキシ封入材をドームに形
作ることができ、エポキシ封入材/空気の界面の全内部
反射に基づく損失が低減される。しかし、エポキシのよ
うな低い屈折率の封入材の表面を形作ることは、半導体
/低屈折率封入材の界面の全内部反射に基づく損失を低
減しない。さらに、エポキシ封入材は、LED中の半導
体の熱膨張係数との整合性に乏しい熱膨張係数を有す
る。従って、エポキシ封入材は加熱或いは冷却でLED
に機械的応力を加え、LEDを損傷することがある。L
EDはまた、ドームに形作られた高屈折率のガラスに封
入され、半導体/封入材の界面の臨界角が増大される。
不運にも、高屈折率ガラス中での光の吸収と、機械的応
力とは、そのようなガラス中へ封入されたLEDの性能
を典型的に低下させる。
は、先行方法の短所をもたない、発光ダイオードの光抽
出率を高めるための方法である。
有する発光デバイスが提供される。発光デバイスは、活
性領域を備える半導体層を含む積層体を有する。積層体
は透明なレンズに結合される。レンズの形状は、例え
ば、ワイエルストラス球面、半球面、半球面より小さい
球面の一部、楕円面、或いは楕円面の一部である。1つ
の実行の形態においては、レンズはフレネルレンズであ
る。レンズは、例えば、光学ガラス、III−V族半導
体、II−VI族半導体、IV族半導体及び化合物、金属酸化
物、金属フッ化物、ダイアモンド、サファイア、酸化ジ
ルコニウム、イットリウムアルミニウムガーネット、或
いはそれらの組合せから形成される。活性領域から放射
された光についてのレンズの屈折率は、好ましくは約
1.5より大きく、より好ましくは約1.8より大き
い。
は、積層体の半導体層の少なくとも1つに直接結合され
る。他の実施形態においては、透明レンズは、半導体層
の上に配置された透明上層に直接結合される。透明上層
は、活性領域から放射された光について、好ましくは約
1.8より大きい屈折率を有する。
は、レンズと積層体の表面との間に配置された透明結合
層を含む。この透明結合層は、積層体の表面にレンズを
結合させる。1つの実施形態においては、その表面は半
導体層の1つの表面を含む。他の実施形態においては、
その表面は半導体層の上に配置された透明上層の表面を
含む。この透明結合層は、例えば、金属、リン化物系化
合物、ヒ化物系化合物、アンチモン化物系化合物、窒化
物系化合物、或いは透明レンズについて上記で列挙した
材料のいずれかから形成される。1つの実施形態におい
ては、透明結合層は、活性領域から放射された光につい
て約1.5より大きい屈折率を有し、好ましくは約1.
8より大きい屈折率を有する。
有する発光デバイスへ透明レンズを結合させる方法が提
供される。この方法は、レンズ及び積層体の温度を上昇
させ、レンズと積層体を一緒に押付けるため圧力を加え
ることを含む。1つの実施形態においては、この方法
は、積層体とレンズとの間に透明結合材料の層を配置す
る段階もまた含む。発光デバイスへの高屈折率のレンズ
の結合は、全内部反射に基づく損失を低減させることに
より、発光デバイスの光抽出効率を改良する。この改良
は、封入材を使用せずに達成できるという利点がある。
従った、互いに結合される、透明レンズ2及び発光ダイ
オード(LED)ダイ4が示される。図1Bでは、本発
明の1つの実施形態に従って、透明レンズ2が、透明結
合層6を用いてLEDダイ4に結合される。本明細書に
おいては、「透明」の用語は、「透明レンズ」、「透明
結合層」、「透明基層」、或いは「透明上層」のように
記述される光学素子が、LEDの放射波長で、吸収や散
乱に基づく単一経路損失が約50%未満、好ましくは1
0%未満で、光を透過させることを示すために用いられ
る。LEDの放射波長は、電磁スペクトルの、赤外、可
視、或いは紫外領域にあってよい。伝達経路長や吸収定
数の種々の組合せによって、「50%未満の単一経路損
失」及び「10%未満の単一経路損失」である条件が適
合できることは、当業者は理解するであろう
は、n−型伝導性(n−層)の第1の半導体層8及びp
−型伝導性(p-層)の第2の半導体層10を含む。半
導体層8及び10は、活性領域12に電気的に連結され
る。活性領域12は、例えば、層8と層10との界面に
おけるp−nダイオード接合である。或いはまた、活性
領域12は、ドーピングされたn−型又はp−型の、或
いはドーピングされない、1つ或いはそれ以上の半導体
層を含む。n−接点14及びp−接点16は、それぞれ
半導体層8及び10に電気的に連結される。接点14及
び16にわたって、適切な電圧を印加することにより活
性領域12は光を放射する。別の実行の形態において
は、層8、10及び接点14及び16の導電性の型が逆
になる。即ち、層8はp−型層であり、接点14はp−
接点であり、層10はn−型層であり、そして接点16
はn−接点である。
AlN、AlP、AlAs、AlSb、GaN、Ga
P、GaAs、GaSb、InN、InP、InAs、
InSbをこれらに限定されずに含むIII−V族半導
体、ZuS、ZnSe、CdSe、CdTeをこれらに
限定されずに含むII−VI族半導体、Ge、Si、SiC
をこれらに限定されずに含むIV族半導体、及びこれらの
混合物又はアロイから形成される。これらの半導体は、
それら半導体が提供するLEDの典型的な放射波長にお
いて、約2.4ないし約4.1の範囲の屈折率を有す
る。例えば、GaNのようなIII族窒化物半導体は、5
00nmで約2.4の屈折率を有し、そして、InGa
PのようなIII族リン化物は、600nmで約3.7の
屈折率を有している。
おいては、金、銀、ニッケル、アルミニウム、チタン、
クロム、白金、パラジウム、ロジウム、レニウム、ルテ
ニウム、タングステン、及びこれらの混合物又は合金
を、これらに限定されずに含む金属から形成される。他
の実行の形態においては、接点14及び16の1つ或い
は両方が、インジウム錫酸化物のような透明な導電体か
ら形成される。
しているが、本発明はLEDダイ4中の半導体層の数と
は無関係であり、そして活性領域12の細部の構造と無
関係である。また、LEDダイ4は、例えば、図1A及
び図1Bで示されない透明基層及び透明上層を含むこと
ができる。種々の数字で示された、LEDダイ4の種々
の構成要素の大きさが一定の縮尺ではないことは、留意
されるべきである。
が、LEDダイ4の上の表面18に付加されて透明結合
層6(図1B)が形成され、この結合層でレンズ2とL
EDダイ4が結合される。透明結合層6は、例えば、約
10オングストローム(Å)ないし約100ミクロン
(μm)の厚みである。結合層は、従来の堆積技術、例
えば、これらに限定するものではないが、スピニング、
スパッタリング、蒸発法、化学気相蒸着法(CVD)、
或いは、材料成長法の一部として、例えば、有機金属気
相蒸着法(MOCVD)、気相エピタキシー(VP
E)、液相エピタキシー(LPE)又は分子線エピタキ
シー(MBE)による方法などを含む技術により付着さ
れる。透明結合層6は、例えば、従来のホトリソグラフ
ィー及びエッチング技術により随意選択的にパターン付
けられ、接点14を結合材で覆われないようにして、接
点14が、レンズ上の随意選択的な金属化層20に電気
的に接触できるようにする。金属化層20は、1つの実
施形態においては網状であり、他の実施形態においては
連続又はパターン付けされた層であって、例えば、約2
Åないし約5000Åの厚みであり、入射光を約10%
より多く、好ましくは約50%より多く透過させ、接点
14と連結する、物理的に到達できる電気的接触を提供
する。金属化層20は、例えば、金属或いはインジウム
錫酸化物のような透明な伝導体から形成される。
は、レンズ2の実質的に平坦な表面22上或いは金属化
層20上に形成され、そして、例えば、従来のホトリソ
グラフィー及びエッチング技術を用いて随意選択的にパ
ターン付けされ、接点14と金属化層20との電気的接
触が可能とされる。他の実施形態においては、結合層6
のような透明結合層は、LEDダイ4の表面18とレン
ズ2の表面22の両方の上に形成される。他の実施形態
においては、接点14は分離して提供されず、そして結
合層6がパターン付けされて、金属化層20及びn−層
8との間の電気的接触が可能とされる。図1Cに示され
る実施形態においては、接点14も結合層12も、分離
して提供されず、そして、金属化層20が付加的に結合
層として機能する。他の実施形態においては、接点14
が表面18上に設けられず、そして金属化層20が使用
されない。
4上に形成されていて、レンズ2の表面22上或いはL
EDダイ4と表面22の両方の上に形成されている形態
ではないとみなすが、以下に記載される工程は、後者の
実施形態を実現するために簡単に修正することができ
る。
6がそれから形成されている結合材料は、高屈折率の光
学ガラス、即ち活性領域12により放射された波長範囲
において、約1.5より大きい屈折率を有する光学ガラ
スである。好ましくは、その屈折率は約1.8より大き
い。透明結合層6は、例えば、ショットガラスSF59
から形成され、これは波長〜600ナノメートル(n
m)で〜1.95の屈折率(n)を有し、そしてガラス
転移温度(TG)は〜362℃である。或いはまた、透
明結合層6は、〜600nmでのnが〜1.81でTG
が630℃であるショットガラスLaSF3;〜600
nmでのnが〜1.91でTGが660℃であるショッ
トガラスLaSF N18;及びこれらの混合物を、こ
れらに限定されずに含む、高屈折率光学ガラスで形成さ
れる。これらのガラスは、ペンシルバニア州・ジュリア
のショット・グラス・テクノロジーズ・インコーポレー
テッドから入手できる。結合層6は、例えば、(Ge,
Sb,Ga)(S,Se)カルゴゲナイドガラスのよう
な高屈折率カルゴゲナイドガラスからも形成できる。
6は、GaP(500nmでのn〜3.3)、InGa
P(600nmでのn〜3.7)、GaAs(500n
mでのn〜3.4)、及びGaN(500nmでのn〜
2.4)を、これらに限定されずに含むIII−V族半導
体;ZnS(500nmでのn〜2.4)、ZnSe
(500nmでのn〜2.6)、ZnTe(500nm
でのn〜3.1)、CdS(500nmでのn〜2.
6)、CdSe(500nmでのn〜2.6)、及びC
dTe(500nmでのn〜2.7)をこれらに限定さ
れずに含むII−VI族半導体;Si(500nmでのn〜
3.5)、及びGe(500nmでのn〜4.1)をこ
れらに限定されずに含むIV族半導体及び化合物;有機半
導体、酸化タングステン、酸化チタン(500nmでの
n〜2.9)、酸化ニッケル(500nmでのn〜2.
2)、酸化ジルコニウム(500nmでのn〜2.
2)、インジウム錫酸化物、及び酸化クロムを、これら
に限定されずに含む金属酸化物;フッ化マグネシウム
(500nmでのn〜1.4)、及びフッ化カルシウム
(500nmでのn〜1.4)を、これらに限定されず
に含む金属フッ化物;Zn、In、Mg、及びSnを、
これらに限定されずに含む金属;イットリウムアルミニ
ウムガーネット(YAG)、リン化物系化合物、ヒ化物
系化合物、アンチモン化物系化合物、窒化物系化合物、
高屈折率有機化合物;及びそれらの混合物及びアロイ、
から形成される。
は、活性領域12から放射された光の波長を他の波長に
変換するルミネセンス材料を含む。ルミネセンス材料
は、例えば、従来の蛍光体粒子、有機半導体、II−VI又
はIII−V族半導体、II−VI又はIII−V族半導体量子ド
ット或いはナノクリスタル、染料、ポリマー、及び欠陥
中心からルミネセンスを発するGaNのような材料を含
む。もし、結合層6が従来の蛍光体粒子を含むならば、
結合層6は、典型的には約5ミクロンないし約50ミク
ロンの寸法を有する蛍光体粒子を収容するのに十分な厚
みを有しなければならない。
LEDダイ4の上部層、例えば、半導体層8の屈折率よ
り小さい屈折率を有する、高屈折率材料(LEDの放射
波長で、約1.5より大きく、好ましくは1.8より大
きい屈折率の)から形成される。従って、LEDダイ4
内から半導体層8/結合層6の界面への入射光の全内部
反射の臨界角が存在する。しかし、この臨界角は、LE
Dダイ4とエポキシ又は空気との間の界面についての臨
界角に比べれば増大され、エポキシ封入材又は空気中に
抽出されるよりも多くの光が表面18を通過して結合層
6中に抽出される。他の実行の形態においては、結合層
6(例えば、ZnS又はZnSe)の屈折率は、半導体
層8(例えばGaN)より大きいか或いは等しく、そし
て、LEDダイ4内側から結合層6への入射光は、全内
部反射されない。フレネル反射損失は、結合層6とLE
Dダイ4との屈折率をほぼマッチさせることにより最少
にすることができるものではあるが、フレネル反射損失
を無視すれば、後者の場合にもまた、エポキシ封入材又
は空気中に抽出されるよりも多くの光が表面18を通過
して結合層6中に抽出される。
は、低屈折率の結合材料、即ち、LEDダイ4の放射波
長で、約1.5未満の屈折率を有する結合材料から形成
される。例えば、フッ化マグネシウムが、このような結
合材料の1つである。低屈折率光学ガラス、エポキシ、
及びシリコーンも、好適な低屈折率結合材料であること
ができる。当業者は、低屈折率の材料から形成された透
明結合層を渡る、LEDダイ4からレンズ2への十分な
光の透過が、結合層の厚みが十分薄いときは達成できる
ことを理解するであろう。従って、この実行の形態にお
いては、LEDダイ4/結合層6の界面での全内部反射
に基づく損失が、結合層6の厚みを約500Å未満、好
ましくは約100Å未満とすることにより低減される。
もし表面18又は表面22の粗さ、或いは表面18又は
表面22上の不規則性の代表的な高さが、結合層6の厚
みを超えるならば、レンズ2はLEDダイ4によく結合
しないであろう。この実施形態においては、表面18及
び22は、随意選択的に研磨され、結合層6の厚みより
小さいか、又はこれと等しい程度の表面の粗さが得られ
る。
り放射された光を吸収する材料を含み、そしてもし結合
層6が低屈折率の材料から形成され、なお上記のように
薄くされてはいないときは、活性領域から放射された光
の大きな部分がLEDダイ4内に典型的に閉じ込めら
れ、結合層自身に吸収がなくても、その光は吸収されて
失われるであろう。対照的に、高屈折率の材料から形成
された結合層6は、その高屈折率の結合材料が、例え
ば、放射光の一部を吸収するカルコゲナイドガラスのよ
うな材料であっても、典型的には、活性領域12により
LEDダイから放射された光のうちの、より大きい部分
をレンズ2に結合することになる。
後、レンズ2の実質的に平坦な表面22は結合層6へ向
けて置かれる。次いで、結合層6の温度が、ほぼ室温と
約1000℃との間の温度に上昇され、そしてレンズ2
とLEDダイ4は、約1秒ないし約6時間の間、約1ポ
ンド/平方インチ(psi)ないし約6000psiの
圧力で、一緒に押付けられる。本発明者らは、この工程
において、剪断応力、蒸発−凝縮、液化(或いは溶融又
は軟化)、及びそれに続く固体化、拡散、或いは合金化
を経た物質移動により、例えば、レンズ2と結合層6
(LEDダイ4上に形成された)との間にもたらされた
接合によって、レンズ2がLEDダイ4に結合されると
信じている。本発明者らは、他の実行の形態において、
例えば物質移動により、レンズ2とLEDダイ4の各々
の上に同様に形成された結合層の間或いは結合層6(レ
ンズ上に形成された)とLEDダイ4との間の接合によ
って、レンズ2がLEDダイ4に結合されると信じてい
る。従って、物質移動により特徴付けられた結合界面
を、レンズ2及びLEDダイ4の間に配置できる。1つ
の実行の形態においては、例えば、n−層8と結合層6
の界面での表面18がそのような結合された界面であ
る。他の実行の形態においては、レンズ2及びLEDダ
イ4それぞれの上に形成された結合層の界面が結合され
た界面である。他の実行の形態においては、レンズ2と
結合層6との界面が、結合された界面である。
例えば、光学ガラスから形成されると、次いで1つの実
行の形態においては、結合層6の温度が光学ガラスの歪
み点温度付近まで上昇される。歪み点温度は、ガラス転
移温度に近いがそれより低く、光学ガラスの粘度が約1
014.5ポアズとなる温度である。歪み点温度は、また、
光学ガラスについての温度対膨張のプロットにおける最
初の非線形に対応し、従って、アニーリング範囲の下限
を表すものである。歪み点温度の近く又はその上の温度
で得られた、層6の光学ガラスの柔軟性及び低下した表
面張力が、光学ガラスを表面22に顕微鏡的に整合さ
せ、そしてレンズ2と結合層6との間の結合をもたら
す。
の工程は、本明細書に引用により組み込まれた米国特許
第5,502,316号及び第5,376,580号に
開示され、従来、半導体ウェハーを高温高圧のもとで互
いに結合するために用いられた装置を用いて実行するこ
とができる。これら特許に開示された装置は、必要に応
じLEDダイ及びレンズに適合させるために改修でき
る。或いはまた、上記の結合工程は、通常の垂直加圧機
を用いて行うことができる。
nmでのn〜2.7)、酸化アルミニウム(サファイ
ア、500nmでのn〜1.8)、ダイアモンド(50
0nmでのn〜2.4)、或いは、透明結合層6におけ
る結合材料としての使用のために上記で列挙されたもの
のうち、金属を除く何れかの材料から形成される。レン
ズ2と、レンズ2に結合されるLEDダイ4の熱膨張係
数の間の不適合が大きいと、加熱或いは冷却に際してL
EDダイ4からのレンズ2の分離が起こり得る。また、
熱膨張係数を概略同等とすることにより、結合層6及び
レンズ2によりLEDダイ4に引起される応力が低減さ
れる。従って、1つの実行の形態においては、レンズ2
は、レンズ2が結合されるLEDダイ4の熱膨張係数と
概略同等の熱膨張係数を有する材料から形成される。
は、LEDダイ4からレンズ2に入る光が、垂直入射に
近い入射角で表面24を横断するような形状と寸法を有
する。表面24と周囲の媒体、典型的には空気との界面
での全内部反射は、これにより低減される。加えて、入
射角の範囲が狭いので、表面24でのフレネル反射が、
通常の反射防止コーティングを表面24に施工すること
により低減できる。レンズ2の形状は、例えば、半球、
ワイエルストラス球(上部を切り取られた球)、或いは
半球より小さい球の一部のような、球体の一部分であ
る。或いはまた、レンズ2の形状は、上部を切り取られ
た楕円面のような楕円面の一部である。LEDダイ4か
らレンズ2への光の入射角は、レンズ2の寸法が大きく
なるにつれて、より垂直入射に近くなる。従って、LE
Dダイ4の表面18の長さに対する透明レンズ2の基部
の長さの最少比率は、約1より大きいことが好ましく、
約2より大きいことがより好ましい。
数により、特定の材料のレンズ2が、上記で定義される
ような透明であり続ける最大の寸法が定められること
は、当業者に理解されるであろう。1つの実行の形態に
おいては、レンズ2はフレネルレンズである。フレネル
レンズは、例えば、比較できる焦点距離の球面レンズよ
りも典型的に薄く、従って吸収が少ない。他の実行の形
態においては、レンズ2は、例えば、表面22に直交す
る方向において減少する、或いは表面22の中心近くで
最大で放射状に減少する屈折率を有する、屈折率勾配レ
ンズである。
性領域12により放射された光の波長を他の波長に変換
するルミネセンス材料を含む。他の実行の形態において
は、表面22上のコーティングは、例えば、ルミネセン
ス材料を含む。ルミネセンス材料は、例えば、通常の蛍
光体粒子、有機半導体、II−VI又はIII−V族半導体、I
I−VI又はIII−V族半導体量子ドット或いはナノクリス
タル、染料、ポリマー、及び欠陥中心からルミネセンス
発光するGaNのような材料、を含む。或いはまた、レ
ンズ2の表面22に近い領域が、例えば、ルミネセンス
材料でドーピングされる。
上部層の屈折率の大きさ(それぞれnlens、nbond、及
びnLED)は、6つの順列に並べることができる。も
し、nL ED≦nbond≦nlens或いはnLED≦nlens≦n
bondであれば、全内部反射に基づく損失は除かれるが、
フレネル損失が発生し得る。特に、もし、nLED=n
bond=nlensであれば、フレネル或いは全内部反射に基
づく損失なしに、LEDダイ4からの光がレンズ2に入
る。或いはまた、nbond≦nLED≦nlensではあるが、
nbond>nepoxyであるか或いは結合層6が上述のよう
に薄ければ、フレネル損失が無視され、エポキシ封入材
或いは空気中に抽出されるであろうよりも多くの光がレ
ンズ2中に抽出される。同様に、nbond≦nlens≦n
LEDではあるが、nbond>nepoxyであるか、或いは結合
層6が上述のように薄くそしてnlens>nepoxyであれ
ば、フレネル損失が無視され、エポキシ封入材或いは空
気中に抽出されるであろうよりも多くの光がレンズ2中
に抽出される。もしnlens≦nbo nd≦nLED或いはn
lens≦nLED≦nbondではあるが、nlens>nepoxyであ
れば、フレネル損失が無視され、エポキシ封入材或いは
空気中に抽出されるよりも多くの光がレンズ2中に抽出
される。従って、透明レンズ2は、LEDダイ4の放射
波長で、好もしくは、約1.5より大きい屈折率を有
し、より好ましくは、約1.8より大きい屈折率を有す
るものとする。周囲の媒体がエポキシ封入材でなく空気
(nair〜1)であれば、nepoxyにnairを代入して、
同様な解析が適用される。
しくは高屈折率のカルコゲナイズドガラスである結合材
料の屈折率が、蛍光体の屈折率と概略一致すれば、活性
領域によるか又は蛍光体粒子により放射された光の、蛍
光体粒子による散乱は無視できるであろう。蛍光体粒
子、結合材材料、LEDダイ4の上部層(例えばn−層
8)、及びレンズの屈折率が、全てほぼ同等であること
が好ましい。これは、LEDダイ4の上部層がInGa
Nである場合において、蛍光体粒子がSrS:Eu及び
/或いはSrGaS:Euであり、レンズがZnSであ
る場合に相当する。
て、透明レンズ2が、LEDダイ4の上部表面18に、
分離された結合層なしに直接結合されている。本発明者
らは、剪断応力、蒸発−凝縮、液化(或いは溶融又は軟
化)、及びそれに続く固体化、拡散、或いは合金化を経
た物質移動により、レンズ2とLEDダイ4との間に結
合がもたらされたものと信じている。金属化層20を設
ける場合には、この金属化層は、パターン付けされ、レ
ンズ2の表面22が直接表面18に接触できるようにさ
れる。表面22もまた、随意選択的に、例えばパターン
付けされる。この実施形態の1つの実行の形態において
は、透明レンズ2は、分離された結合層を形成するため
に用いられる、上記で列挙されたような材料から形成さ
れる。他の実行の形態においては、その材料からLED
ダイ4の上部層(例えば、図2におけるn−層8)が形
成されている材料が、結合材料として好適である。従っ
て、レンズ2或いはLEDダイ4の上部層は、付加的に
結合層として機能し、分離された結合層は要しない。1
つの実行の形態においては、表面18でのレンズ2とL
EDダイ4の界面は、例えば、レンズ2とLEDダイ4
との間の物質移動により特徴付けられた結合された界面
である。
ついては、もしnLED≦nlensであるか、或いはnlens
<nLEDではあるがnlens>nepoxyであれば、フレネル
反射損失が無視され、エポキシ封入材中に抽出されるで
あろうよりもより多くの光がレンズ2中に抽出される。
もし、周囲の媒体が、エポキシ封入材でなく空気(n
air〜1)であれば、nepoxyにnairを代入して同様な
解析が適用される。
について上述されたような温度と圧力で、LEDダイ4
に直接結合される。1つの実行の形態においては、LE
Dダイ4の表面18或いはレンズ2の表面22は、例え
ばZn或いはSiのような高い拡散率を示す材料でドー
ピングされる。このようなドーピングは、例えば、MO
CVD、VPE、LPE或いはMBEにより材料成長の
間に、或いは注入により材料成長の後で行われる。他の
実行の形態においては、高拡散率の材料の薄層が、表面
18或いは22の少なくとも1つの上への堆積により、
レンズ2とLEDダイ4との間に配置される。堆積は、
例えば、蒸発法或いはスパッタリング法のような通常の
方法で行われる。発明者は、結合工程の間に、高拡散率
の材料がレンズ2とLEDダイ4との界面を越えて拡散
し、そしてレンズ2とLEDダイ4との間の物質移動を
促進させると考えている。ここで用いられる高拡散率材
料の量は、例えば、レンズ2とLEDダイ4の上部層の
透明度を維持できるために十分少なくなければならな
い。
は、従来の、LEDダイ4を封入材に収納することに比
べて好都合である。例えば、結合層を用い或いは用いず
に、上述のようにレンズ2に結合されたLEDダイ4の
表面18を通過する光の抽出効率は、通常のエポキシ封
入されたLEDに比較して改良されている。加えて、L
EDダイ4は、エポキシ封入(収納)されたLEDによ
り経験される有害な応力を受けることを要しない。さら
に、比較的低い温度で劣化するエポキシ封入材がないと
きは、LEDダイ4がより高い温度で作動できる。従っ
て、LEDダイ4の光出力が、高い電流密度でのLED
の作動によって増大される。
合されたLEDダイ4は、付加的に例えばエポキシ或い
はシリコーンにより封入することができる。レンズに結
合されたLEDダイ4のこのような封入は、レンズ2へ
のLEDダイ4の表面18を通過する光の抽出効率に影
響しない。表面24と封入材との界面での全内部反射
は、先に述べたようなレンズ2の形状及び寸法を用いて
最少とされる。
は、例えば、電気的接点のための金属化部位を含み、こ
れは高められた温度で劣化する。他の実行の形態におい
ては、LEDダイ4は、はんだ又は銀をもったダイ接着
エポキシを用いて、図示しないサブマウントに結合され
るが、このエポキシは高温で劣化する。(ダイ接着エポ
キシは、エポキシ封入材と区別されることに留意せ
よ)。従って、1つの実行の形態においては、LEDダ
イ4にレンズ2を、結合層6を用いて又は用いずに結合
させる工程は、例えば、金属化部位或いはダイ接着エポ
キシの劣化を避けるために、約500℃未満の温度で行
われる。他の実行の形態においては、レンズ2は、未完
成のLEDダイ、例えば、金属化の一部又は全部が行わ
れていないLEDダイに結合される。後者の実行の形態
においては、LEDダイ4の製作はレンズ結合工程の後
に完結される。
9、図10及び図11に示されるように、LEDダイ4
の構造は、図1A、図1B、図1C及び図2に表された
構造と異なるものでもよい。図1A、図1B、図1C、
図2、図3、図4、図5、図6、図7、図8、図9、図
10及び図11における同じ参照番号は、種々の実施形
態において同じ各部品を示す。
部26及び28は斜面であり、それらは結合層6に、9
0℃未満の角α及び角βでそれぞれ交差し、また活性領
域12に、90℃を超える角γ及び角δでそれぞれ交差
する。図3には2つの斜めの側部が示されるが、他の実
施形態においては、LEDダイ4は2つより多いか、又
は少ない斜めの側部を有し、そして、例えば、実質的に
円錐形或いは角錐形である。
放射された光を結合層6に反射する。斜めの側部26及
び28がない場合にはLEDダイ4内に閉じ込められ或
いはダイの側部から外へ失われることになる光が、これ
により、都合よく結合層6及びレンズ2を通じて抽出さ
れる。1つの実施形態においては、LEDダイ4は空気
のような低屈折率の媒体により取り囲まれており、そし
て、活性領域12から斜めの側部26及び28に入射し
た光の一部は全内反射して結合層6へ向かう。他の実施
形態においては、斜めの側部26及び28は、1つの実
行の形態では金属層であり、他の実行の形態では絶縁層
である、反射性のコーティングでコートされ、結合層6
へ向けて光を反射する。
に反射性である。従って、この実施形態においては、接
点16に入射した光は、直接或いは側部26又は28か
らの付加的な反射の後、結合層6へ向けて反射される。
LEDダイ4の光抽出効率は、従って増大する。
は、LEDダイ4は、金属化層20に電気的に連結さ
れ、そしてn−層8に電気的に連結された伝導性の透明
な上層30及びp−層10と接点16に電気的に連結さ
れた、伝導性で、随意選択的に透明な基層32を含む。
上層30及び(随意選択的に)基層32は、例えば、L
EDダイ4により放射される光子のエネルギーより大き
いバンドギャップエネルギーを有する半導体から形成さ
れる。上層30は、好ましくは約1.5より大きく、よ
り好ましくは約1.8より大きい、活性領域12の放射
波長での屈折率を有する材料から形成される。他の実行
の形態においては、上述のように、LEDダイ4の側部
26及び28は斜面でそして高度に反射性であり、そし
て接点16は高度に反射性である。図4に示された実施
形態においては、透明レンズ2は結合層6で上層30に
結合され、そしてn-層8はn−接点14により金属化
層20に電気的に連結される。図5に示された実施形態
においては、透明レンズ2は上層30に直接に結合さ
れ、そしてn−接点14は分離して設けられない。
プ」実施形態においては、接点14及び接点16はLE
Dダイ4の同じ側に配置される。レンズ2は接点14及
び16の反対側に結合されるので、この実施形態におい
てはレンズ2上の金属化層は要しない。金属化層がない
ことにより、レンズ2への光抽出効率が向上する。他の
実行の形態においては、上述のように、側部26及び2
8は斜面でそして高度に反射性であり、接点16は高度
に反射性である。透明上層34は、例えば、サファイ
ア、SiC、GaN、或いはGaPのような、活性領域
12の放射波長で、好ましくは約1.5より大きく、よ
り好ましくは約1.8より大きい屈折率を有する材料か
ら形成される。図6に示された実施形態においては、レ
ンズ2は結合層6を用いて透明上層34に結合される。
図7に示された実施形態においては、レンズ2は透明上
層34に直接に結合される。
実行の形態においては、レンズ2はZnSから形成さ
れ、上層34はSiC又はGaNから形成され、そして
n-層8はGaNのようなIII族窒化物半導体から形成さ
れる。他の実行の形態においては、レンズ2ははGaP
から形成され、上層34はGaPから形成され、そして
n-層8はAlInGaPアロイのようなIII族リン化物
半導体から形成される。結合層6を設ける場合には、こ
の結合層は、例えばZnSから形成される。
は、n-層8、p−層10、及び活性領域12の方向は
実質的にレンズ2と直交する。図6及び図7に示された
実施形態と同様に、レンズ2上には、金属化層は要求さ
れない。図8に示された実施形態においては、レンズ2
は結合層6を用いてLEDダイ4に結合される。図9に
示された実施形態においては、レンズ2はLEDダイ4
に直接に結合される。1つの実行の形態においては、L
EDダイ4は、層8と層10に、そして活性領域12に
実質的に直交する方向につくられた切片を用いて、ウェ
ハーから切り出される(「ダイスされる」)。この実行
の形態においては、レンズ2に結合されるLEDダイ4
の表面は、随意選択的に研磨され、その粗さが低減され
る。他の実行の形態においては、LEDダイ4の側部2
6及び28は斜面であり、接点14及び接点16は高度
に反射性であり、そして光をレンズ2へ反射するために
反射層36が設けられる。
LEDダイ4は、LEDダイ4が結合されるレンズ2の
表面22中の凹部38に設けられる。図10に示された
実施形態においては、レンズ2はLEDダイ4に直接に
結合される。図11の実施形態においては、レンズ2は
結合層6を用いてLEDダイ4に結合される。本発明を
詳細な実施形態を用いて説明しているが、本発明には、
添付した請求項の範囲に適合する全ての変形及び修正が
含まれることが意図されている。
る、レンズ及び発光ダイオードの概要図である。
発光ダイオードに結合されたレンズの概要図である。
ードに結合されたレンズの概要図である。
ドに直接に結合されたレンズの概要図である。
斜の側部を有する発光ダイオードに結合されたレンズの
概要図である。
基層と上層を有する発光ダイオードに結合されたレンズ
の概要図である。
る発光ダイオードに直接に結合されたレンズの概要図で
ある。
「フリップチップ」幾何形態を有する発光ダイオードに
結合されたレンズの概要図である。
プ」幾何形態を有する発光ダイオードに直接に結合され
たレンズの概要図である。
ダイオードに、結合層を用いて結合されたレンズの概要
図である。
ダイオードに、直接に結合されたレンズの概要図であ
る。
接に結合された発光ダイオードの概要図である。
いて、レンズに結合された発光ダイオードの概要図であ
る。
Claims (42)
- 【請求項1】 活性領域を備える半導体層を含む積層体
を有する発光デバイスであって、前記デバイスが、前記
積層体に結合するレンズを備えることを特徴とする発光
デバイス。 - 【請求項2】 前記レンズの形状が、ワイエルストラス
球面、半球、半球より小さい球面の一部、楕円面、及び
楕円面の一部からなる群から選択されることを特徴とす
る、請求項1に記載の発光デバイス。 - 【請求項3】 前記レンズが、フレネルレンズであるこ
とを特徴とする、請求項1に記載の発光デバイス。 - 【請求項4】 前記レンズが、屈折率勾配型レンズであ
ることを特徴とする、請求項1に記載の発光デバイス。 - 【請求項5】 前記レンズが、光学ガラス、III−V族
半導体、II−VI族半導体、IV族半導体及び化合物、金属
酸化物、金属フッ化物、ダイアモンド、イットリウムア
ルミニウムガーネット、及びそれらの組合せからなる群
から選択された材料から形成されることを特徴とする、
請求項1に記載の発光デバイス。 - 【請求項6】 前記レンズが、酸化ジルコニウム、サフ
ァイア、GaP、ZnS、及びSiCからなる群から選
択された材料から形成されることを特徴とする、請求項
1に記載の発光デバイス。 - 【請求項7】 前記レンズが、前記活性領域から放射さ
れた光の波長を、少なくとも1つの他の波長に変換す
る、1つ或いはそれ以上のルミネセンス材料を含むこと
を特徴とする、請求項1に記載の発光デバイス。 - 【請求項8】 前記レンズが、前記活性領域から放射さ
れた光の波長を、少なくとも1つの他の波長に変換す
る、1つ或いはそれ以上のルミネセンス材料でコートさ
れることを特徴とする、請求項1に記載の発光デバイ
ス。 - 【請求項9】 前記レンズが、前記積層体の表面に結合
され、前記レンズの基部の長さと前記表面の長さとの最
少比が約1より大きいことを特徴とする、請求項1に記
載の発光デバイス。 - 【請求項10】 前記比が、約2より大きいことを特徴
とする、請求項9に記載の発光デバイス。 - 【請求項11】 前記積層体が、前記レンズの表面の凹
部中に設けられることを特徴とする、請求項1に記載の
発光デバイス。 - 【請求項12】 前記レンズの屈折率が、前記活性領域
により放射された光について、約1.5より大きいこと
を特徴とする、請求項1に記載の発光デバイス。 - 【請求項13】 前記屈折率が、約1.8より大きいこ
とを特徴とする、請求項12に記載の発光デバイス。 - 【請求項14】 前記レンズの屈折率が、前記活性領域
により放射された光について、前記半導体層の屈折率よ
り大きいか又は等しいことを特徴とする、請求項1に記
載の発光デバイス。 - 【請求項15】 前記活性領域にわたって電圧を印加す
るため、前記半導体層に電気的に連結する接点を、さら
に備えることを特徴とする、請求項1に記載の発光デバ
イス。 - 【請求項16】 前記接点の少なくとも1つが、前記活
性領域により放射された光について高度に反射性であ
り、そして前記レンズに向けて前記光を反射させるよう
に設けられることを特徴とする、請求項15に記載の発
光デバイス。 - 【請求項17】 前記活性領域により放射された光を前
記レンズに向けて反射するように設けられた、少なくと
も1つの、斜面とされた側部をさらに備えることを特徴
とする、請求項1に記載の発光デバイス。 - 【請求項18】 前記活性領域により放射された光につ
いて高度に反射性の、少なくとも1つの層をさらに備
え、前記層は前記光を前記レンズに向けて反射するよう
に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の
発光デバイス。 - 【請求項19】 前記透明レンズが、少なくとも1つの
前記半導体層に直接結合されることを特徴とする、請求
項1に記載の発光デバイス。 - 【請求項20】 前記積層体が、前記半導体層の上に配
置されそしてレンズに直接結合された透明上層を備える
ことを特徴とする、請求項1に記載の発光デバイス。 - 【請求項21】 前記上層が、前記活性領域により放射
された光について、約1.8より大きい屈折率を有する
ことを特徴とする、請求項20に記載の発光デバイス。 - 【請求項22】 前記上層が、サファイア、SiC、G
aN、及びGaPからなる群から選択された材料から形
成されることを特徴とする、請求項20に記載の発光デ
バイス。 - 【請求項23】 前記レンズがZnSから形成され、前
記上層がSiC、GaP、及びサファイアからなる群か
ら選択された材料から形成され、そして前記半導体層が
III族窒化物半導体を備えることを特徴とする、請求項
20に記載の発光デバイス。 - 【請求項24】 前記レンズがGaPから形成され、前
記上層がIII族リン化物材料から形成され、そして前記
半導体層がIII族リン化物半導体を備えることを特徴と
する、請求項20に記載の発光デバイス。 - 【請求項25】 前記レンズと前記積層体の表面との間
に配置された透明結合層をさらに備え、前記透明結合層
は前記レンズを前記積層体に結合することを特徴とす
る、請求項1に記載の発光デバイス。 - 【請求項26】 前記透明結合層が、光学ガラス、カル
コゲナイドガラス、III−V族半導体、II−VI族半導
体、IV族半導体、有機半導体、金属、金属酸化物、金属
フッ化物、イットリウムアルミニウムガーネット、リン
化物、ヒ化物、アンチモン化物、窒化物、及びそれらの
組合せからなる群から選択された材料から形成されるこ
とを特徴とする、請求項25に記載の発光デバイス。 - 【請求項27】 前記透明結合層が、前記活性領域から
放射された光の波長を少なくとも1つの他の波長に変換
する、1つ或いはそれ以上のルミネセンス材料を含むこ
とを特徴とする、請求項25に記載の発光デバイス。 - 【請求項28】 前記透明結合層が、前記活性領域によ
り放射された光について、約1.5より大きい屈折率を
有することを特徴とする、請求項25に記載の発光デバ
イス。 - 【請求項29】 前記屈折率が、約1.8より大きいこ
とを特徴とする、請求項28に記載の発光デバイス。 - 【請求項30】 前記結合層が、約500オングストロ
ーム未満の厚みを有することを特徴とする、請求項25
に記載の発光デバイス。 - 【請求項31】 前記表面が、前記半導体層の1つの表
面を含むことを特徴とする、請求項25に記載の発光デ
バイス。 - 【請求項32】 前記表面が、前記半導体層の上に配置
された透明上層の表面を含むことを特徴とする、請求項
25に記載の発光デバイス。 - 【請求項33】 前記上層が、前記活性領域により放射
される光について、約1.8より大きい屈折率を有する
ことを特徴とする、請求項32に記載の発光デバイス。 - 【請求項34】 前記上層が、サファイア、SiC、G
aN、及びGaPからなる群から選択された材料から形
成されることを特徴とする、請求項32に記載の発光デ
バイス。 - 【請求項35】 前記レンズがZnSから形成され、前
記上層がSiC、GaN、及びサファイアからなる群か
ら選択された材料から形成され、そして前記半導体層が
III族窒化物半導体を備えることを特徴とする、請求項
32に記載の発光デバイス。 - 【請求項36】 前記レンズがGaPから形成され、前
記上層がIII族リン化物材料から形成され、そして前記
半導体層がIII族リン化物半導体を備えることを特徴と
する、請求項32に記載の発光デバイス。 - 【請求項37】 活性領域を備える半導体層を含む積層
体を有する発光デバイスに、透明レンズを結合する方法
であって、 前記レンズ及び前記積層体の温度を上昇させる段階と、 前記レンズ及び前記積層体を一緒に押付けるため圧力を
加える段階とを含み、これにより前記レンズを前記積層
体に結合させることを特徴とする方法。 - 【請求項38】 前記温度が、約500℃未満の温度ま
で上昇されることを特徴とする、請求項37に記載の方
法。 - 【請求項39】 前記レンズと前記積層体の間に、1つ
或いはそれ以上の高拡散率の材料を配置する段階をさら
に備えることを特徴とする、請求項37に記載の方法。 - 【請求項40】 前記レンズと前記積層体の少なくとも
1つに、高拡散率の材料をドーピングする段階をさらに
備えることを特徴とする、請求項37に記載の方法。 - 【請求項41】 前記レンズと前記積層体の表面との間
に透明結合材料の層を配置する段階をさらに備えること
を特徴とする、請求項37に記載の方法。 - 【請求項42】 前記結合材料が光学ガラスを含み、前
記温度が前記光学ガラスの歪み点温度付近にまで上昇さ
れることを特徴とする、請求項41に記載の方法。
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