JP2002172582A - コンプライアンスユニット - Google Patents

コンプライアンスユニット

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JP2002172582A
JP2002172582A JP2000370414A JP2000370414A JP2002172582A JP 2002172582 A JP2002172582 A JP 2002172582A JP 2000370414 A JP2000370414 A JP 2000370414A JP 2000370414 A JP2000370414 A JP 2000370414A JP 2002172582 A JP2002172582 A JP 2002172582A
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JP2000370414A
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English (en)
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Tahei Sato
藤 太 平 佐
Hiroshi Miyaji
地 博 宮
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SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 テーブルの中心軸線と直交し、且つ互いに直
交する1軸または2軸のまわりに傾動可能なボディの備
え、ボディの傾動を原点位置に復帰させるための復帰機
構を有した、全体として小形のコンプライアンスユニッ
トを提供する。 【解決手段】 ボディ本体3とテーブル1との間に傾動
部20を設け、該傾動部20を、ボディ本体3とテーブ
ル1との間に、これらボディ本体3とテーブル1とを上
記2軸のまわりに傾動可能に連結する中空状のジョイン
トリング21を介在させ、シリンダ機構26の駆動によ
りジョイントリング21の中空内21aを通して動作す
る、テーブル1の原点復帰用の圧接部27aを備えた構
成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、産業用ロボットの
ハンドによる自動組立等において、部品の嵌挿等の任意
部材の相対的な接触に対する柔軟な対応を実現するため
のコンプライアンスユニットに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、産業用ロボットのハンド等に保持
されたワークや工具に、外部からの作用に対する柔軟性
を付与するため、あるいは、他の任意部材との相対的な
接触に対する柔軟な対応を実現するために、コンプライ
アンスユニットが用いられている。このコンプライアン
スユニットとしては、産業用ロボットのアーム等が取付
けられるボディと、産業用ロボットのハンド等に取付け
られるテーブルとを備え、上記ボディに、該テーブルに
対してそのテーブルの中心軸線に直交するXY平面に沿
うコンプライアンス機能を備えると共に、該ボディを、
テーブルの中心軸線と直交し、且つ互いに直交する1軸
または2軸のまわりに傾動可能にテーブルに取付けた構
成を備えたものが知られている。しかしながら、この種
のコンプライアンスユニットは、テーブルの中心軸線に
直交するXY平面に沿うコンプライアンス機能について
は、テーブルに対するボディの位置を原点位置に復帰さ
せる復帰機能を備えているのが通常であるが、傾動した
ボディについては原点復帰させるための復帰機構を備え
る場合には構造が複雑化して大形化するため、傾動した
ボディの復帰機構を備えたコンパクトなコンプライアン
スユニットが望まれていた。また、上述のような傾動し
たボディの復帰機構をコンプライアンスユニットに組み
込むに際しては、近年、ユニット全体の小形化を求めら
れているため、ユニットを、復帰機構を含めて可能な限
りコンパクトな構造とすることが肝要であると考えられ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、ボディが、テーブルの中心軸線と直交し、且つ互い
に直交する1軸または2軸のまわりに傾動可能にテーブ
ルに取付けた構成を備えたコンプライアンスユニットに
おいて、テーブルに対するボディの傾動を原点位置に復
帰させるための復帰機構を備えた、ユニット全体として
小形化が可能なものを提供することある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のコンプライアンスユニットは、テーブルの一
端側に設けられたボディが、該テーブルに対してそのボ
ディの中心軸線に直交するXY平面に沿うコンプライア
ンス機能を備えたコンプライアンスユニットにおいて、
上記ボディが、上記コンプライアンス機能を有するボデ
ィ本体と、該ボディ本体の他端側に設けられたエンド部
材とを有し、上記ボディ本体とエンド部材またはテーブ
ルとの間に、ボディの中心軸線と直交し、且つ互いに直
交する2軸のまわりに傾動可能に構成した、テーブルの
傾きを調整する傾動部を備えていて、上記傾動部が、ボ
ディ本体とエンド部材またはテーブルとの間に、これら
ボディ本体とエンド部材またはテーブルとを上記2軸の
まわりに傾動可能に連結するための中空状のジョイント
リングを介在させ、ボディ本体に設けたシリンダ機構の
駆動により、テーブルの傾きを原点に復帰させるために
エンド部材またはテーブルを圧接する圧接部材が、ジョ
イントリングの中空内を通して動作する構成を有してい
ることを特徴とするものである。
【0005】上記構成を有するコンプライアンスユニッ
トは、ボディ本体とエンド部材またはテーブルとの間
に、エンド部材またはテーブルとを2軸のまわりに傾動
可能に連結する中空状のジョイントリングを介在させ、
このジョイントリングの中空部を通して、ボディ本体に
設けたシリンダの駆動によりエンド部材またはテーブル
を圧接する圧接部材を動作させる構成を備えているた
め、ジョイントリングの中空部を有効利用した省スペー
ス化を図ることができ、これにより、コンプライアンス
ユニット全体を小形化することが可能である。
【0006】本発明のコンプライアンスユニットにおい
ては、ジョイントリングを、ボディ本体に対して、ボデ
ィ本体の中心軸線と直交する第1軸のまわりに傾動可能
に連結すると共に、エンド部材またはテーブルとジョイ
ントリングとを第1軸と直交する第2軸のまわりに傾動
可能に連結することができる。また、本発明において
は、ボディとエンド部材との間にボディの中心軸線方向
への緩衝機構を設けることができる。
【0007】
【発明の実施の形態】図1及び図2は、本発明にかかる
コンプライアンスユニットの第1実施例を示すもので、
この実施例のコンプライアンスユニットは、ワーク等に
作用するテーブル1と、該テーブル1の一端側に設けら
れた、産業用ロボットのアーム等に取付けられるボディ
2とを備えている。
【0008】上記テーブル1は、圧縮流体の給排用の流
通路1aがその中央に設けられていて、該流通路1aを
構成する導管部分1bの外周には、後述する傾動部20
及び原点復帰機構25に利用される調心部材1cが固定
されている。上記調心部材1cにおける上記ボディ本体
3と対向する側の面は、テーブル1の軸線方向と直交す
るXY平面と平行になるように形成されている。
【0009】上記ボディ2は、上記テーブル1と一端側
で連結されたボディ本体3と、該ボディ本体3の他端側
に連接されたエンド部材4とを有している。上記エンド
部材4は、実質的に産業用ロボットのアーム等と連結さ
れる部分で、上記ボディ本体3の連接側と反対側の端部
に連結面5aを備えた基体部材5と、該基体部材5に設
けられた、ボディ2の軸方向に流体圧駆動する第1シリ
ンダ機構6とを備えている。
【0010】上記第1シリンダ機構6は、上記テーブル
1の緩衝機構となるもので、産業用ロボットのハンド等
またはアーム等を通じて、テーブル1の中心軸線方向へ
の力が該テーブルに作用した場合に、その衝撃の緩衝
や、柔軟な対応の実現すると共に、ワークや工具が他の
任意部材を押す力を調整できるようにするものである。
この第1シリンダ機構6は、具体的には、基体部材5に
形成されたシリンダ孔部7と、該シリンダ孔部7内を摺
動するピストン部材8と、上記シリンダ孔部7のエンド
側から開口側に柱状に延びた、該ピストン部材8の駆動
をボディ2の軸線方向に直線的にガイドするガイド機構
9と、上記シリンダ孔部7内の圧力室7aに対する圧縮
流体の給排に用いる給排ポート10とで構成されてい
る。
【0011】上記ピストン部材8は、その一端面側に、
上記シリンダ孔部7から導出するロッド部8aを一体に
備えていると共に、該ピストン部材8及びロッド部8a
をその軸線上において貫通するように設けられた挿通孔
8bを備えていて、該挿通孔8bに上記ガイド機構9の
軸部が摺動自在に挿通されている。さらに、ピストン部
材8の挿通孔の内周面とガイド機構9の軸部の外周面と
の間には、該軸部の外周面に保持された多数の鋼球9a
が介在されていて、該ガイド機構9とピストン部材8と
のスムーズな摺動を可能としている。また、上記ピスト
ン部材8におけるシリンダ孔部7から導出した側の開口
端部には、後述するコンプライアンス機能の一部分を構
成する、ピストン部材8のロッド部8aより径大の円板
状に形成されたベース板11が、エンド部材4の軸線方
向に直交するXY平面に沿うように、且つ上記挿通孔8
bの開口を気密に塞ぐように取付けられている。
【0012】一方、上記ボディ本体3は、該ボディ本体
3の中心軸線に直交するXY平面に沿うコンプライアン
ス機能を発揮するための構成を備えたものである。上記
コンプライアンス機能に係る具体的な構成は、上記エン
ド部材4におけるピストン部材8に取付けられた上述の
ベース板11と、ボディ本体3の軸線方向に直交するX
Y平面に沿うように該ボディ本体3の一端側に取付けら
れた、円環状の保持板12と、上記ベース板11上にお
いて該保持板12を挟んで配設され、ボディ本体3をベ
ース板2上のXY平面に沿ってスライドさせる一対の平
面スライド要素13,13と、ピストン部材8のロッド
部8aの基端側に取付けられ、保持板12と平面スライ
ド要素13,13とを、上記ベース板11と共に挟み込
む円環状の受け板14とを備えたものである。したがっ
て、上記ボディ本体3とエンド部材4とが上記コンプラ
イアンス機能に係る構成を通じて相互に連結されると共
に、産業用ロボットのアーム等と連結されるエンド部材
4とテーブル1との間でコンプライアンス機能が働くこ
ととなる。
【0013】上記保持板12は、その内周縁が、ボディ
本体3に形成された凹部3aの周縁から該凹部3a側に
突出するように形成されている。また、上記一対の平面
スライド要素13,13は、それぞれ円環板状のリテー
ナ13aに多数の鋼球13bを等間隔に保持させた相互
に同形のもので、各リテーナ13aは、鋼球13bがベ
ース板11上における外周端寄りの部分に位置するよう
な径の円環状に形成されている。
【0014】上記保持板12におけるボディ本体3の凹
部3aの周縁にあたる位置には、大径のボール15を保
持させる保持孔12aが穿設されている。また、受け板
14における上記保持孔12aに対応する位置には、保
持孔12aに保持されているボール15を受ける凹円錐
面状のボール受け面16aを備えたボールベース16が
取付けられている。
【0015】さらに、上記ボディ本体3の凹部3aの周
縁における上記保持孔12aに対応する位置には、その
駆動によりボール15をボールベース16のボール受け
面16aに押し付ける第2シリンダ機構17が設けられ
ている。この第2シリンダ機構17は、給排ポート17
cを通じて圧縮流体を供給してピストン部材17aを駆
動させることにより、該ピストン部材17aによってボ
ール15を押圧して上記ボール受け面16aに圧嵌さ
せ、コンプライアンス機能によって原点位置からずれた
エンド部材4を原点位置に復帰させると共に、エンド部
材4をその原点位置に不動に固定することができるもの
である。また、スプリング17bの弾性力によってもピ
ストン部材17aが押圧されている。なお、図1におい
ては、ボールベース16及び第2ピストン機構17は1
箇所のみにあらわれているが、安定的な動作のために実
際には複数箇所に設けられている。
【0016】なお、上記受け板14には、ボディ本体3
の凹部3aにおける、上記第2ピストン以外の位置か
ら、保持板12を貫通して受け板14方向に延びるピン
18が挿入される挿入孔14aが穿設されている。この
挿入孔14aは、ピン18の径より径大のもので、これ
らの挿入孔14aとピン18とにより、コンプライアン
ス機能における上記エンド部材4に対するボディ本体3
の移動距離を制限することが可能である。
【0017】上記テーブル1とボディ本体3とは、該テ
ーブル1の中心軸線と直交し、且つ互いに直交する2軸
のまわりに傾動可能に構成した傾動部20を介して相互
に連結されている。この傾動部20は、ボディ2の中心
軸線に対するテーブル1の傾き、ひいては産業用ロボッ
トのアームと連結される上記エンド部材4(実質的に
は、該エンド部材4における基体部材5の取付面5a)
に対するテーブル1の傾きを調整するもので、ボディ本
体3とテーブル1とを2軸のまわりに傾動可能に連結す
るためのジョイントリング21と、テーブル1の中心軸
線に対するボディ2の傾きを原点に復帰させるための原
点復帰機構25とを備えている。
【0018】上記ジョイントリング21は、図2に示す
ように、ボディ本体3の一端側の凹溝3b内に収容され
る程度の大きさに、全体として断面略矩形の枠状に形成
された中空状のものであり、その中空部21a内に上記
テーブル1及び上記原点復帰機構25のそれぞれの一
部、並びにテーブル1の調心部材1cのほぼ全体が収容
されている。このジョイントリング21は、上記ボディ
本体3の凹溝3bの溝壁3cに沿うそれぞれの対辺部分
21b,21bの中央位置で、一対の第1軸22,22
により、ボディ本体3が傾動可能なように連結され、一
方、一対の溝壁3c,3c間の対辺部分21c,21c
のそれぞれの中央位置と上記テーブル1に固定されてい
る、上述した調心部材1cとが、一対の第2軸23,2
3により、ジョイントリング21がテーブル1に対して
傾動可能なように連結されている。上記第1軸22と第
2軸23とは、それぞれの軸線が相互に直交するような
向きに取付けられていて、ジョイントリング21とボデ
ィ本体3の傾動方向と、テーブル1とジョイントリング
21の傾動方向とが相互に直交する構成とし、これによ
り、テーブル1とボディ本体3とを2軸のまわりに傾動
可能に連結している。
【0019】上記原点復帰機構25は、ボディ本体3に
設けた流体圧駆動の第3シリンダ機構26と、該第3シ
リンダ機構26のピストン部材27の駆動により、上記
ジョイントリングの中空部21a内を通して移動し動作
する、該ピストン部材27の先端側に一体に形成された
圧接部27aとを備えている。上記第3シリンダ機構2
6は、ボディ本体3の凹溝3bの溝底に形成されたシリ
ンダ孔28内に嵌入されて、上記ピストン部材27を駆
動方向にガイドするガイド部材29と、該ガイド部材2
9とピストン部材27との間に介在させ、ピストン部材
27をガイド部材29に沿ってスムーズに駆動させる、
多数の鋼球30aをリテーナ30bによって保持させた
構成のスライド機構30と、上記ピストン部材27を押
圧するスプリング31と、上記シリンダ孔28の圧力室
28a内に対する圧縮流体の給排に供する給排ポート3
2とを有している。
【0020】この第3シリンダ機構26は、給排ポート
32を通して圧縮流体をシリンダ孔28の圧力室28a
内に供給するによりピストン部材27を駆動させるが、
その駆動によって圧接部27aが動作して上記調心部材
1cを押圧することにより、テーブル1に対するボディ
2の傾きをその原点に復帰させ、且つ固定することがで
きるようになっている。
【0021】上記ピストン部材27の中央部には、ボデ
ィ本体3に設けられたポート1d(図1中の破線で示す
部分)からの流路1eと、テーブル1の流通路1aとを
気密に連結するパイプ33が気密に嵌挿されている。こ
のパイプ33は、テーブル1に対してボディ本体3が傾
動しても気密を保持可能にしたものである。なお、上記
スプリング31は、上記ピストン部材27の中央部にお
けるこのパイプ33の外周に配置されている。また、図
2において、36はパイプ33とテーブル1の流通路1
aとの間をシールするシール部材である。
【0022】上記構成を有するコンプライアンスユニッ
トは、ボディ本体3とテーブル1との間に、これらボデ
ィ本体3とテーブル1とを2軸のまわりに傾動可能に連
結する中空状のジョイントリング21を介在させ、この
ジョイントリング21の中空部21aを通して、ボディ
本体1に設けた第3シリンダ26の駆動によりテーブル
1の調心部材1cを圧接する圧接部27aを動作させる
構成を備えているため、ジョイントリング21の中空部
21aを有効利用して省スペース化を図ることができ、
これにより、コンプライアンスユニット全体を小形化す
ることが可能である。
【0023】また、テーブル1に取付けた工具やワーク
等が他の任意部材に接触する場合に、工具等の接触角度
等によってはボディ2はテーブル1に対して傾動するこ
ととなる。その際、その傾動に伴って、任意部材に対す
る工具等の接触位置にテーブルの軸線方向と直交する方
向の若干の誤差が生じ、工具等の一部の接触によって損
傷することが考えられるが、上記コンプライアンス機能
によりその誤差が補整され、しかも、上記第1ピストン
機構の作用により接触時の衝撃等も吸収されるため、こ
れらの構成または機能の相乗効果により、工具等と他の
任意部材との相対的な接触に対してより効果的な柔軟性
を付与することができる。
【0024】図3及び図4は、本発明のコンプライアン
スユニットの第2実施例を示すもので、この実施例のコ
ンプライアンスユニットは、上記第1実施例が傾動部2
0をボディ2におけるボディ本体3とテーブル1との間
に設けていたのに対し、傾動部80をボディ52におけ
るボディ本体53とエンド部材54との間に設けている
ものである。
【0025】このコンプライアンスユニットは、テーブ
ル51と、該テーブル51の一端側に取付けられたボデ
ィ52とを備え、該ボディ52は、上記テーブル51と
相互に連結されるボディ本体53と、産業用ロボットの
アーム等に取付けられるエンド部材54とを有してい
る。
【0026】上記エンド部材54は、産業用ロボットの
アーム等と連結される連結面55aを有する基体部材5
5と、該基体部材55の両端に設けられた、ボディ本体
53との連結に供する一対の立壁56,56と、これら
一対の立壁56,56間における基体部材55上の中央
に台状に突設された調心部材60とを備えている。
【0027】上記テーブル51とボディ本体53とは、
ボディ52全体がその中心軸線と直交するXY平面に沿
うコンプライアンス機能を発揮するための構成を介在し
て相互に連結されている。即ち、このコンプライアンス
機能に係る構成は、上記ボディ本体53の一端側に、上
記ボディ52の中心軸線と直交するXY平面に沿うよう
に取付けられた円板状のベース板61と、該ベース板6
1を挟むように配設され、テーブル51を該ベース板6
1上のXY平面に沿ってスライドさせる一対の平面スラ
イド要素63,63と、テーブル51と共に上記ベース
板61及び一対の平面スライド機構63,63を挟むよ
うに配設された円環状の保持板62と、該保持板62と
テーブル51との間を一定の間隔に保った状態で相互に
連結するスペーサ64とを備えている。また、上記保持
板62におけるボディ本体53と対向する部分には、ボ
ディ本体53から延びるピン78を挿入して、コンプラ
イアンス機能におけるテーブル51に対するボディ本体
53の移動距離を制限するために用いる挿入溝62aが
設けられている。なお、上記平面スライド機構63の構
成は第1実施例のものと実質的に同じ構成である。した
がって、上記テーブル51とボディ本体53とが上記コ
ンプライアンス機能に係る構成を通じて相互に連結さ
れ、また、これらテーブル51とボディ本体53との間
でコンプライアンス機能が働くこととなる。
【0028】上記ボディ本体53には、上記コンプライ
アンス機能によってずれたボディ52と上記テーブル5
1の位置を原点位置に復帰させ、その原点位置に不動に
固定するために用いられる第1シリンダ機構67が設け
られている。この第1シリンダ機構67は、ボディ本体
53の一端側に設けられたシリンダ孔68と、該シリン
ダ孔68に摺動自在に挿入されたピストン部材69と、
シリンダ孔68の圧力室68aに対する圧縮流体の給排
に供する給排ポート70と、シリンダ孔68の圧力室6
8a内に設けられたスプリング71とを備えたものであ
り、上記シリンダ孔68の開口端には、ピストン部材6
9がシリンダ孔68内に収容された状態で、上記コンプ
ライアンス機構に係る構成のベース板61が開口を塞ぐ
ように取付けられている。上記第1シリンダ機構67
は、給排ポート70を通じてシリンダ孔68の圧力室6
8aに圧縮流体を供給してピストン部材69を駆動さ
せ、そのピストン部材69で後述するボール65を押圧
してボールベース66のボール受け面66aに圧嵌させ
るものである。
【0029】上記ベース板61における、上記第1シリ
ンダ機構67のピストン部材69と干渉する位置の複数
箇所には、大径のボール65を保持させるための保持孔
61aが穿設されている。また、テーブル51における
上記保持孔61aに対応する位置には、保持孔61aに
保持されているボール65を受ける凹円錐状のボール受
け面66aを備えた上述のボールベース66が設けられ
ている。
【0030】上記ボディ52におけるボディ本体53と
エンド部材54とは、ボディ本体53の中心軸線と直交
し、且つ互いに直交する2軸のまわりに傾動可能な傾動
部80を介して相互に連結されている。この傾動部80
は、テーブル51とエンド部材54の傾きを調整するも
ので、ボディ本体53とエンド部材54とを2軸のまわ
りに傾動可能に連結するためのジョイントリング81
と、ボディ本体53内に設けられた、エンド部材54の
傾きを原点位置に復帰させるための流体圧駆動の第2シ
リンダ機構86とを備えている。
【0031】上記ジョイントリング81は、図4に示す
ように、中心に中空部81aを有する実質的に円環状の
もので、上記ボディ本体53と、該ボディ本体53の一
端側に設けた凹溝57の一対の溝壁57a,57aと対
向する位置において、一対の第1軸82,82によりボ
ディ本体53に対して2方向に傾動可能に相互に連結さ
れ、また、上記エンド部材54と、上記溝壁57a,5
7aに対して90度回転させて配置した該エンド部材5
4の一対の立壁56,56と対向する位置において、一
対の第2軸83,83により上記第1軸82と異なる2
方向に傾動可能に相互に傾動されている。上記第1軸8
2と第2軸83とは、上記第1実施例と同様に、それぞ
れの軸線が相互に直交するように取付けられていて、ボ
ディ本体53に対するジョイントリング81の傾動方向
と、ジョイントリング81に対するエンド部材54の傾
動方向とが相互に直交する構成となっている。これによ
り、エンド部材54とボディ本体53とを2軸のまわり
に傾動可能に連結している。
【0032】なお、この実施例においては、ボディ本体
53の溝壁57a及びエンド部材54の立壁56には、
第1軸82または第2軸83を回転可能に取付けるため
の軸受け58,59がそれぞれ設けられていて、これら
第1軸82及び第2軸83は溝壁57a及び立壁56に
対しては回転可能に取付けられているが、一方で、第1
軸82及び第2軸83はジョイントリング81に対して
は位置不動に固定されている。
【0033】上記第2シリンダ機構86は、ボディ本体
53の凹溝57の溝底の中央に、その大部分が突出し、
且つ、その突出した部分の先端側が上記ジョイントリン
グ81の中空部81a内に挿入される状態に配設された
もので、ボディ本体53に設けたシリンダ孔88と、該
シリンダ孔88に摺動自在に挿入された、このシリンダ
機構のピストンを兼ねる圧接部材87と、上記圧接部材
87を押圧するスプリング89と、シリンダ孔88の圧
力室88a内に対する圧縮流体の給排に供する給排ポー
ト90とを備えている。
【0034】この第2シリンダ機構86は、給排ポート
90を通して圧縮流体をシリンダ孔88の圧力室88a
内に供給することによりピストンを兼ねる圧接部材87
を、上記ジョイントリング81の中空部81a内を通し
て駆動、動作させるが、その動作によって圧接部材87
を上記エンド部材54の調心部材60に押圧することに
より、ボディ本体53に対するエンド部材54の傾きを
その原点に復帰させ、且つ固定することができるように
なっている。
【0035】上記構成を有するコンプライアンスユニッ
トは、基本的に上記第1実施例と同様の効果を得ること
ができるが、第1実施例のもの比べて、緩衝用に用いる
シリンダ機構(第1実施例の第1シリンダ機構6)を備
えていない分その構成が簡単であり、また一層の小形化
を図ることができる。
【0036】
【発明の効果】以上に詳述したように、本発明のコンプ
ライアンスユニットによれば、ボディ本体とエンド部材
またはテーブルとの間に、エンド部材またはテーブルと
を2軸のまわりに傾動可能に連結する中空状のジョイン
トリングを介在させ、このジョイントリングの中空部を
通して、ボディ本体に設けたシリンダの駆動によりエン
ド部材またはテーブルを圧接する圧接部材を動作させる
構成を備えているため、ジョイントリングの中空部を有
効利用したスペースの省略を図ることができ、これによ
り、コンプライアンスユニット全体を小形化することが
可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るコンプライアンスユニットの第1
実施例を示す縦断正面図である。
【図2】同横断平面図である。
【図3】本発明に係るコンプライアンスユニットの第2
実施例を示す縦断正面である。
【図4】同分解斜視図である。
【符号の説明】
1,51 テーブル 2,52 ボディ 3,53 ボディ本体 4,54 エンド部材 20,80 傾動部 21,81 ジョイントリング 27a 圧接部 87 圧接部材 22,82 第1軸 23,83 第2軸

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】テーブルの一端側に設けられたボディが、
    該テーブルに対してそのボディの中心軸線に直交するX
    Y平面に沿うコンプライアンス機能を備えたコンプライ
    アンスユニットにおいて、 上記ボディが、上記コンプライアンス機能を有するボデ
    ィ本体と、該ボディ本体の他端側に設けられたエンド部
    材とを有し、上記ボディ本体とエンド部材またはテーブ
    ルとの間に、ボディの中心軸線と直交し、且つ互いに直
    交する2軸のまわりに傾動可能に構成した、テーブルの
    傾きを調整する傾動部を備えていて、 上記傾動部が、ボディ本体とエンド部材またはテーブル
    との間に、これらボディ本体とエンド部材またはテーブ
    ルとを上記2軸のまわりに傾動可能に連結するための中
    空状のジョイントリングを介在させ、ボディ本体に設け
    たシリンダ機構の駆動により、テーブルの傾きを原点に
    復帰させるためにエンド部材またはテーブルを圧接する
    圧接部材が、ジョイントリングの中空内を通して動作す
    る構成を有している、ことを特徴とするコンプライアン
    スユニット。
  2. 【請求項2】請求項1に記載のコンプライアンスユニッ
    トにおいて、ジョイントリングを、ボディ本体に対し
    て、ボディ本体の中心軸線と直交する第1軸のまわりに
    傾動可能に連結すると共に、エンド部材またはテーブル
    とジョイントリングとを第1軸と直交する第2軸のまわ
    りに傾動可能に連結したもの。
  3. 【請求項3】請求項1または2に記載のコンプライアン
    スユニットにおいて、ボディとエンド部材との間にボデ
    ィの中心軸線方向への緩衝機構を備えているもの。
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