JP2002166234A

JP2002166234A - 薄形板状半導体部品の検査分類システム

Info

Publication number: JP2002166234A
Application number: JP2001182320A
Authority: JP
Inventors: Katsuyuki Yagi; 克行八木; Masayuki Honda; 正行本多
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2000-09-22
Filing date: 2001-06-15
Publication date: 2002-06-11
Anticipated expiration: 2021-06-15
Also published as: JP3967892B2

Abstract

(57)【要約】【課題】太陽電池セル３０を検査装置２１のランク結
果に基づいてランク別に分類収納するまでの時間を短縮
して稼働効率を向上する。【解決手段】搬送部２５から取り入れ手段３４によっ
て、ストック部２４のバッファ部３１に太陽電池セル３
０を一時的に収納することができるので、順次搬送され
る太陽電池セル３０を収納部２３に収納する動作と搬送
部２５から取り出す動作とを同時に行うことができる。
これによって太陽電池セル３０を収納部２３に収納する
動作にかかわらず、検査装置２１から太陽電池セル３０
を取り出すことができる。したがって第１の搬送手段２
２および取り入れ手段３４を停止させることなく、太陽
電池セル３０を収納部２３に収納することができ、装置
の稼働率を向上することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池セルまた
は半導体ウエハなどの薄形板状半導体部品を検査分類す
る検査分類システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】図２３は、従来の技術である太陽電池セ
ル１０の検査分類システム１を示す該略図である。薄形
板状半導体部品は、例えば太陽電池セル１０である。検
査分類システム１は、検査手段３、搬送手段４、搬送ロ
ボット５および複数の収納部６を有して構成される。太
陽電池セル１０は、まず検査手段３に搬送され、電圧電
流特性などの特性検査が行われる。検査を終えた太陽電
池セル１０は、搬送手段４に送られ、搬送経路に沿って
順次搬送される。次に太陽電池セル１０は、搬送ロボッ
ト５によって搬送手段４から取り出され収納部６に収納
される。収納部６は、太陽電池セル１０を水平に重ねた
状態で複数枚積載される。

【０００３】図２４は、収納部６に収納される太陽電池
セル１０の動作を示すフローチャートである。ステップ
ｃ０では、収納部６が、太陽電池セル１０を収納可能な
状態で待機する。太陽電池セル１０が収納部６に収納さ
れると、ステップｃ１に進む。ステップｃ１では、収納
部６が、収納部６に積載される太陽電池セル１０の総枚
数Ｎｘを、カウンタによってカウントし、ステップｃ２
に進む。

【０００４】ステップｃ２では、収納部６が、収納され
る総枚数Ｎｘと所定の枚数Ｃｏｎｓｔとを比較し、総枚
数Ｎｘが所定の一定枚数Ｃｏｎｓｔを超えたか否かを判
断する。総枚数Ｎｘが所定の枚数Ｃｏｎｓｔを超えない
場合、ステップｃ０に戻り、収納部６は積載待機状態に
なる。また総枚数Ｎｘが所定の一定枚数Ｃｏｎｓｔを超
えた場合、ステップｃ３に進む。

【０００５】ステップｃ３では、収納部６が、通報ブザ
ーを鳴らすかまたはランプの点灯し、作業者に総枚数Ｎ
ｘが所定の一定枚数Ｃｏｎｓｔを超えたことを通報し、
ステップｃ４に進む。ステップｃ４では、作業者が収納
部６に積載された太陽電池セル１０を手作業で取り出
し、通い箱に梱包しなおす。このような取り出しおよび
梱包作業が完了すると、収納部６における太陽電池セル
１０の収納動作が終了する。次に収納部６は、ステップ
ｃ０に進み、再び待機状態になる。

【０００６】図２５は、太陽電池セル１０の動きを説明
する検査分類システム１の斜視図である。搬送手段４を
一列で移動する太陽電池セル１０は、搬送ロボット５に
よって搬送手段４から取り出され、検査手段３の測定結
果に応じて、ランク毎に各収納部６に収納される。たと
えば検査手段３によって、ランクＡと判定された太陽電
池セル１０は、収納部６Ａに収納される。

【０００７】また搬送ロボット５は、太陽電池セル１０
を一枚づつ収納部６に搬送し、水平にして上に順に積層
して収納部６に配置する。このように、太陽電池セル１
０は、検査手段３の測定結果毎に分類されて各収納部６
に収納される。収納部６に太陽電池セル１０が一定枚数
収納されると、収納部６に収納された太陽電池セル１０
を取り出す作業が行われる。

【０００８】また収納部６に収められた太陽電池セル１
０は、次工程へ搬送されるときには、製品形状に合った
通い箱７に再度入れ換えられる。太陽電池セル１０は、
手作業で複数枚束状にされ、表裏をスポンジ材で満たし
て梱包される。次工程には通い箱７ごと搬送される。

【０００９】図２６は、従来の検査分類システム１にお
いて搬送される太陽電池セル１０の動きを示すフローチ
ャートである。ステップｄ０では、検査分類工程の前工
程を終えた太陽電池セル１０が、検査分類システム１に
投入され、ステップｄ１に進む。

【００１０】ステップｄ１では、太陽電池セル１０が検
査手段３に搬送され、太陽電池セル１０のランクが判定
される。ランクが判定されると、ステップｄ２に進む。
ステップｄ２では、太陽電池セル１０は、検査手段３に
よって得られたランクに基づいて各収納部６に収納さ
れ、ステップｄ３に進む。

【００１１】ステップｄ３では、収納部６に収納される
太陽電池セル１０の枚数Ｎｘが所定枚数Ｃｏｎｓｔを超
えた場合、作業者が手作業で収納部６から太陽電池セル
１０を取り出し、太陽電池セル１０を製品形状に合った
通い箱７に収納して梱包する。次にステップｄ４に進
み、通い箱７に収納された複数枚の太陽電池セル１０
は、次工程に通い箱７ごと搬送される。ステップｄ４
で、検査分類システムにおける太陽電池セル１０の搬送
が終了する。

【００１２】図２７（１）は、従来の通い箱７を示す平
面図であり、図２７（２）は、図２７（１）の切断面線
ＸＶＩ−ＸＶＩで切断したときの断面図である。通い箱
７は、上蓋がなく、上部に開口を有して箱状に形成され
る。また複数の太陽電池セル１０を所定の枚数毎に立位
状態に納められるようにするために、通い箱７の内部を
分割する仕切板８が形成される。仕切板８の高さは、通
い箱７の底部から通い箱７に収納される立位状態の太陽
電池セル１０の上部まで延びて形成される。

【００１３】図２８は、従来のランク判定の流れを示す
ブロック図である。従来の検査分類システム１は、検査
分類システム全体を制御し、太陽電池セル１０の搬送お
よび検査実施命令を行うシーケンサであるＣＰＵ１００
（Central Processing Unit）と、電圧電流特性の測定
を行うテスタ１０１とテスタ１０１の測定結果に基づい
て、各ランクに分類するパーソナルコンピュータ１０２
（以下パソコンと記す）とを有する。

【００１４】ＣＰＵ１００は、直接テスタ１０１へ測定
開始命令１０３を与える。測定開始命令１０３が与えら
れたテスタ１０１は、太陽電池セル１０の電圧電流特性
の測定を実施１０４する。テスタ１０１は、測定実施後
に測定によって得られた生データ１０５をデータ収集用
のパソコン１０２に与える。パソコン１０２は、生デー
タ１０５を基に、測定値を算出１０６し、ランクを判定
１０７する。パソコン１０２は、ランク判定結果をテス
タ１０１に与える。

【００１５】テスタ１０１は、パソコン１０２からラン
ク判定結果が与えられると、与えられたランク判定結果
をＣＰＵ１００に伝える。ＣＰＵ１００は、与えられた
ランク判定結果に基づいて、太陽電池セル１０をランク
ごとに分類して収納部６に搬送するように搬送ロボット
に命令を与える。

【００１６】図２９は、テスタ１０１からの生データ１
０５に基づいて算出した、電圧電流特性を示すグラフで
ある。太陽電池セル１０の電圧電流特性は、日本工業規
格（以下ＪＩＳと記す）の結晶系太陽電池セルの出力測
定方法（ＪＩＳＣ８９１３）に規定される４端子法
に基づいて測定される。図２９のグラフから太陽電池セ
ル１０の性能を示す短絡電流Ｉｓｃ、開放電圧Ｖｏｃお
よび最大電力Ｐｍを得ることができる。電圧電流特性の
グラフは、縦軸を電流軸Ｉとし、横軸を電圧軸Ｖとす
る。ＪＩＳの規定では、この電圧電流特性を示すグラフ
に３０点以上の測定点をプロットすることが規定され
る。

【００１７】上述の規定に従うように、テスタ１０１が
太陽電池セル１０を測定する。パソコン１０２は、テス
タ１０１からの生データから、電流軸Ｉの両側に位置す
る２つの測定点Ａ，Ｂを通る直線式を求め、この直線式
と電流軸Ｉとの交点Ｃの電流を短絡電流Ｉｓｃとして算
出する。またパソコン１０２は、テスタ１０１からの生
データから、電圧軸Ｖの両側に位置する２つの測定点
Ｅ，Ｆを通る直線式を求め、この直線式と電圧軸Ｖとの
交点Ｇの電圧を開放電圧Ｖｏｃとして算出する。

【００１８】図３０は、パソコン１０２が最大出力Ｐｍ
を算出する手順を示すフローチャートである。ステップ
ｅ１では、パソコン１０２が、テスタ１０１によって測
定された生データから、複数の測定点を取得し、ステッ
プｅ２に進む。ステップｅ２では、パソコン１０２が複
数の測定点の中から、電流と電圧との積が最大になる最
大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）を求め、ステップｅ３に進
む。

【００１９】ステップｅ３では、パソコン１０２が、最
大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）を含む前後３点（Ｖｉ−１，
Ｉｉ−１），（Ｖｉ，Ｉｉ），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）
について、電圧を２次変数とするラグランジェの２次補
間式を求める。次にこの２次補間式から電流と電圧との
積が最大となる電力を最大電力Ｐｍとして算出する。こ
のような短絡電流Ｉｓｃ、開放電圧Ｖｏｃおよび最大電
力Ｐｍは、擬似太陽光が照射された状態、いわゆる明測
定で測定された生データから求められる。実際の生産ラ
インにおいても、上述のような短絡電流Ｉｓｃ、開放電
圧Ｖｏｃおよび最大電力Ｐｍを求める方法が検査装置に
よって行われる。

【００２０】図３１は、テスタ１０１によって得られた
太陽電池セル１０の電圧電流特性を示すグラフである。
図３１から推測される電圧値と電流値との積が最大であ
る最大電力Ｐｍの座標は、最大出力電圧Ｖｐｍが、約
０．４８０Ｖであり、最大出力電流Ｉｐｍが、約４．４
３Ａである。したがって図３１のグラフから読み取れる
最大電力Ｐｍは約２．１２Ｗである。次の表１は、図３
１に示すグラフの測定点の中から電圧値と電流値との積
が最大となる最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）と、その前後
の測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋
１）とを示す。

【００２１】

【表１】

【００２２】また図３２は、表１の電圧と電流との関係
を示すグラフであり、図３２（１）は、電圧電流特性を
示し、図３２（２）は、電圧電力特性を示す。表１に示
す測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ，Ｉｉ），
（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）からラグランジェの２次補間式
を用いて計算することで、最大電力Ｐｍを得る。表１の
測定点をラグランジェの２次補間式に基づいて計算する
と、最大出力電圧Ｖｐｍは、０．４８２１Ｖであり、最
大出力電流Ｉｐｍは、４．４６８７Ａである。したがっ
て最大電力Ｐｍは２．１５４５Ｗとなる。

【００２３】図３３は、擬似太陽光が照射されていない
状態での電圧電流特性を示すグラフである。擬似太陽光
が照射されていない状態、いわゆる暗測定でも明測定と
同レンジの電圧走査を行い、測定結果として測定点を取
得する。テスタ１０１が暗測定を行い、複数の測定点を
得た後、パソコン１０２が任意の電圧における電流Ｉｄ
を算出する。

【００２４】

【発明が解決しようとする課題】このような上述の従来
の装置では、収納部６に所定の枚数の太陽電池セル１０
が蓄積されたときには、蓄積された太陽電池セル１０を
入れ換える作業を手作業で行わなければならない。この
作業が行われるとき搬送ロボット５は、収納部６に太陽
電池セル１０を搬送することができないため、次に当該
収納部６へ収納されるべき太陽電池セル１０は、待機し
なければならない。つまり太陽電池セル１０の入れ換え
作業が完了するまで、搬送手段４を一旦停止する必要が
ある。搬送手段４を停止することによって検査分類作業
の稼働率が低下するという問題がある。

【００２５】また収納部６に収められる太陽電池セル１
０を、次工程へ搬送するには、通い箱７に手作業で再度
複数枚を束状にし、表裏をスポンジ材で梱包して入れ換
えなければならない。したがって次工程に移るまでに必
要な工程が増え、作業時間が長くなるという問題があ
る。

【００２６】したがって本発明の目的は、薄形板状半導
体部品を測定結果に基づいて各収納部に収納するまでの
時間を短縮するとともに、収納される薄形板状半導体部
品の取り出しおよび交換に要する時間を短縮して、稼動
率を向上する薄形板状半導体部品の検査分類システムを
提供することである。

【００２７】

【課題を解決するための手段】本発明は、薄形板状半導
体部品を検査してランクを判定する検査装置と、検査装
置によって判定されたランクに基づいて、薄形板状半導
体部品を対応する収納部に分類して収納する分類装置
と、前記検査装置と前記分類装置とを統括的に制御する
制御装置とを有する薄形板状半導体部品の検査分類シス
テムであって、検査装置は、薄形板状半導体部品を測定
する測定手段と、測定結果に基づいてランクを判定する
判定手段とを有し、分類装置は、収納部ごとに設けら
れ、収納前の薄形板状半導体部品を保持するストック部
と、測定後の薄形板状半導体部品を、検査装置によって
判定されたランクに対応するストック部に取り入れる取
り入れ手段とストック部に保持された薄形板状半導体部
品を収納部に収納する収納手段とを有することを特徴と
する薄形板状半導体部品の検査分類システムである。

【００２８】本発明に従えば、測定後の薄形板状半導体
部品は、取り入れ手段によって測定手段からストック部
に取り入れられ、収納部に収納される前に一時的にスト
ック部に保持される。ストック部に保持された薄形板状
半導体部品は、収納手段によって収納部に収納される。
これによって取り入れ手段と収納手段とは、独立かつ同
時に動作することができる。

【００２９】したがって収納手段に収納される薄形板状
半導体部品が、所定枚数を超えて、収納部から取り出さ
れる時でも、取り入れ手段が検査装置から薄形板状半導
体部品を取り出し、ストック部に取り入れることができ
る。これによって薄形板状半導体部品の搬送を、収納部
に収納された薄形板状半導体を入れ換えるときも、取り
入れ手段を停止する必要がなく検査分類システムの検査
分類速度を向上することができる。

【００３０】また取り入れ手段は、一枚の薄形板状半導
体部品を搬送するので、複数枚同時に搬送する場合に比
べて、薄形板状半導体部品を確実に搬送することがで
き、薄形板状半導体部品の破損を防止してストック部に
搬送することができる。

【００３１】また薄形板状半導体部品は、ランクごとに
ストック部に保持される。したがって検査装置から取り
出される薄形板状半導体部品が各ストック部に分散され
て保持されるので、ストック部から収納部に搬送する収
納手段の動作速度を取り出し手段に比べて低速にするこ
とができる。収納手段は低速で動作することによって、
把持不良をなくし、正確な位置決めが必要とされる収納
部への収納を容易に行うことができる。また収納手段
が、複数枚同時に薄形板状半導体部品を搬送することに
よって、稼働率を低下することなく薄形板状半導体部品
を収納部に収納することができる。

【００３２】また本発明は、前記判定手段は、制御装置
と測定手段とに電気的に接続され、制御装置から測定実
施命令が入力されると、測定実施命令を測定手段に出力
し、測定手段から薄形板状半導体部品の測定結果が入力
されると、測定結果からランクを判定し、そのランク判
定の結果を制御装置に出力することを特徴とする。

【００３３】本発明に従えば、薄形板状半導体部品のラ
ンク判定結果を、判定手段が直接制御装置に伝えること
によって、従来の技術のように判定手段の判定結果を、
テスタを介することなく、制御装置に伝えることができ
る。これによって伝達時間を短くしてランク判定結果を
制御装置に伝えることができる。たとえば判定手段はパ
ーソナルコンピュータであり、たとえば測定手段はテス
タである。

【００３４】したがって制御装置と測定手段との間に判
定手段を介在させることによって、制御装置および測定
手段のいずれかを取り替えた場合においても、判定手段
がさまざまなインターフェイスを有するので、制御装置
と判定手段との接続または判定手段と測定手段との接続
を容易に行うことができる。

【００３５】また本発明は、前記判定手段は、前記測定
手段から得られる測定結果と、検査分類システムの装置
情報とを記憶および管理し、前記測定結果に基づいて、
薄形板状半導体部品のランクを判定することを特徴とす
る。

【００３６】本発明に従えば、装置情報は、たとえば、
起動時刻、停止時刻、運転開示時刻、エラー発声時刻、
エラー復帰時刻などの装置の稼動状況を表すデータであ
る。このような装置情報を判定手段が記憶管理すること
ができる。装置情報および薄形板状半導体部品の測定結
果を同時に記憶管理することによって、装置情報の変化
と製造される薄形板状半導体部品のランク判定との関連
性を容易に確認することができる。これによって薄形板
状半導体部品の製造において、ランク低下の悪影響とな
る装置情報を見つけ、改善することによって、より高品
質の薄形板状半導体部品を製造することができる。

【００３７】また制御装置に装置情報を記憶する判定手
段とは別の管理機器を設置することを無くし、１つの手
段によって検査分類システム全体の管理を容易に行うこ
とができる。特に判定手段にパソコンを用いることによ
って、装置データの加工および表示を容易に行うことが
でき、利用者がシステム全体をさらに容易に管理するこ
とができる。

【００３８】また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽
電池セルであって、前記測定手段は太陽電池セルの電圧
電流特性を測定し、測定結果として３つ以上の測定点を
得て、前記判定手段は、前記３つ以上の測定点に基づい
て、電圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電圧軸
との交点を開放電圧値Ｖｏｃとすることを特徴とする。

【００３９】また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽
電池セルであって、前記測定手段は太陽電池セルの電圧
電流特性を測定し、測定結果として３つ以上の測定点を
得て、前記判定手段は、前記３つ以上の測定点に基づい
て、電圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電流軸
との交点を短絡電流値Ｉｓｃとすることを特徴とする。

【００４０】本発明に従えば、３つ以上の測定点を用い
て、開放電圧Ｖｏｃおよび短絡電流Ｉｓｃを求めるの
で、測定結果を補正してより正確な電圧電流特性を得る
ことができる。また電気的ノイズなどによって異常な測
定結果である測定点が得られても、３つ以上の複数の測
定点を利用するので、異常な測定点を除いて正確な電圧
電流特性を得ることができる。

【００４１】また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽
電池セルであって、前記測定手段は太陽電池セルの電圧
電流特性を測定し、測定結果として複数の測定点を得
て、前記判定手段は、前記複数の測定点の中から電圧値
と電流値との積が最大である最大測定点を求め、最大測
定点近傍の複数の測定点のうち、各測定点の差分値に基
づいて異常な測定点を判別し、この異常な測定点を除去
した残りの測定点から近似曲線を求め、近似曲線上の電
圧値と電流値とが最大となる位置を最大電力Ｐｍとする
ことを特徴とする。

【００４２】本発明に従えば、判定手段が最大測定点を
求め、最大測定点近傍の予め設定される３つ以上の複数
の点から最大測定点まで隣り合う測定点同士の各差分値
を比較することによって差分値が異常となる測定点を取
り除くことができる。したがって電気的ノイズなどによ
って、異常な測定点が得られても、その異常な測定点を
取り除くことによって、より正確な近似曲線を得ること
ができ、正確な最大電力を得ることができる。

【００４３】表２は、表１に示す測定結果を得た太陽電
池セル１０を用いて測定を行い、電気的ノイズが発生し
ている場合の電圧値と電流値との積が最大となる測定点
Ｄ１（Ｖｉ，Ｉｉ）と、その前後の測定点（Ｖｉ−１，
Ｉｉ−１），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）とを示す。

【００４４】

【表２】

【００４５】図３４は、表２の電圧と電流との関係を示
すグラフであり、図３４（１）は、電圧電流特性を示
し、図３４（２）は、電圧電力特性を示す。前述の従来
の技術のラグランジュの２次補間式を用いた場合、最大
出力電圧Ｖｐｍは、約０．４７９７Ｖであり、最大出力
電流Ｉｐｍは、４．９２０２Ａである。したがって最大
電力Ｐｍは２．３６０１Ｗとなる。電気的ノイズが発生
していない正常時の最大電力は、表１に示すように、
２．１５４５Ｗであるのに対して、電気的ノイズが発生
した場合の最大電力は、表２に示すように、２．３６０
１Ｗである。このように従来の技術の最大電力測定法で
は、約１０パーセントの測定誤差が発生するという問題
がある。本発明に従えばこのような電気的ノイズなどに
よる異常な測定点を除去して近似曲線を得ることができ
るので、電気的ノイズなどの影響を減少させることがで
きる。

【００４６】また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽
電池セルであって、前記測定手段は、光を照射しない暗
測定時に、予め定める電圧の近傍で電圧走査を行い、電
圧電流測定を行うことを特徴とする。

【００４７】本発明に従えば、暗測定時に測定手段が一
部の範囲の電圧走査を行う。これによって電圧走査を行
う範囲を減少させることができ、電圧走査に費やす時間
を減少させることができる。これによって薄形板状半導
体部品の検査工程に費やす検査時間を減少させることが
でき、検査分類システムの単位時間あたりの検査分類数
を向上することができる。

【００４８】また本発明は、各ストック部は複数枚の薄
形板状半導体部品を保持し、ストック部が保持する薄形
板状半導体部品が所定枚数を超えた場合、複数の薄形板
状半導体部品は、収納手段によってまとめて収納部に収
納されることを特徴とする。

【００４９】本発明に従えば、ストック部に保持される
複数の薄形板状半導体部品は、複数枚まとめられて収納
部に収納される。したがって一度の搬送動作によって複
数枚の薄形板状半導体部品を収納部に同時に搬送するこ
とができ、単位時間あたりの搬送量を増加させることが
できる。またストック部が保持する薄形板状半導体部品
が所定枚数を超えた場合に収納手段が搬送するので、一
度に搬送する薄形板状半導体部品の枚数を一定にするこ
とができ、収納部への収納を容易に行うことができる。

【００５０】また本発明は、前記収納部は、検査分類シ
ステムから着脱可能に設けられ、前記収納部に収容され
る薄形板状半導体部品が所定枚数を超えた場合、検査分
類システムから払い出されることを特徴とする。

【００５１】本発明に従えば、収納部に収容される薄形
板状半導体部品が、所定枚数を超えた場合、検査分類シ
ステムから払い出される。このとき薄形板状半導体部品
が収納されていない別の収納部が検査装置に取り付けら
れることによって、収納手段は、新しく取り付けられた
収納部に薄形板状半導体部品を収納することができる。
これによって収納部に収納された薄形板状半導体部品を
取り出す作業は、収納手段の収納作業とは独立して行う
ことができる。したがって収納部から薄形板状半導体部
品を取り出す作業が行われている間も、一時停止するこ
となく別の収納部に薄形板状半導体部品を収納すること
ができる。これによって収納手段が停止することなく、
収納動作を継続することができるので、薄形板状半導体
部品の単位時間あたりの搬送量を向上することができ
る。

【００５２】また本発明は、所定枚数の薄形板状半導体
部品が収容されて払い出された収納部が、同一ランクの
薄型板状半導体部品をまとめて次の工程に搬送するため
の箱として用いられることを特徴とする。

【００５３】本発明に従えば、収納部ごと薄形板状半導
体部品を、次の製造工程に搬送することができる。した
がって収納部から別の箱に薄形板状半導体部品を移し換
える作業工程を省くことができる。また収納部によって
薄形板状半導体部品を保護して、次工程に搬送すること
ができる。

【００５４】また本発明は、前記分類装置は、検査後の
薄形板状半導体部品を一時的に保持する搬送部と、検査
装置から搬送部に順次搬送する第１の搬送手段とを有
し、前記ストック部は、収納部毎に設けられ、収納前の
薄形板状半導体部品を保持するバッファ部と、バッファ
部と収納部との間に設けられ、収納前の薄形板状半導体
部品を一時的に収納する一時収納部と、バッファ部から
一時収納部へ薄形板状半導体部品を搬送する第２の搬送
手段と、一時収納部から収納部へ薄形板状半導体部品を
収納する収納手段とを備えることを特徴とする。

【００５５】本発明に従えば、搬送部から取り入れ手段
によって薄形板状半導体部品をストック部のバッファ部
に一時的に収納することができるので、順次搬送される
薄形板状半導体部品を収納部に収納する動作と搬送部か
ら薄形板状半導体部品を取り出す動作とを同時に行うこ
とができる。これによって薄形板状半導体部品を収納部
に収納する動作にかかわらず搬送部から薄形板状半導体
部品を取り出すことができる。したがって収納手段およ
び取り入れ手段を停止させることなく、薄形板状半導体
部品を収納部に収納することができ、装置の稼働率を向
上することができる。

【００５６】さらにストック部２４が、バッファ部と一
時収容部とを有し、バッファ部から一時収容部に第２の
搬送手段によって搬送する。したがって取り入れ手段が
薄形板状半導体部品をストック部に取り入れる部分と、
収納手段が薄形板状半導体部品をストック部から取り出
す部分とを異なる位置に設けることができるので、収納
手段と取り入れ手段とが接触することを防止することが
できる。

【００５７】また本発明は、薄形板状半導体部品は、略
鉛直な立位状態で収納部に収納されることを特徴とす
る。

【００５８】本発明に従えば、薄形板状半導体部品は、
立位状態で収納部に収納されるので、薄形板状半導体部
品が、寝た状態で積層して収納される場合に比べて、接
触する面積が少なく、部品表面が損傷する可能性を少な
くすることができる。

【００５９】また本発明は、前記第２の搬送手段には、
薄形板状半導体部品に所定以上の負荷がかかったことを
検出する過負荷検出手段が設けられることを特徴とす
る。

【００６０】本発明に従えば、バッファ部から一時収納
部へ搬送するとき、過負荷検出手段が設けられるので、
搬送時に異常な負荷が生じたときに、即座に第２の搬送
手段を停止することができる。

【００６１】また本発明は、前記一時収納部は、薄形板
状半導体部品を水平状態から立位状態に反転させる反転
手段を有することを特徴とする。

【００６２】本発明に従えば、一時収納部の有する反転
手段によって、薄形板状半導体部品を立位状態に保持す
ることができる。したがって収納手段に、薄形板状半導
体部品を反転させる機構を設ける必要がない。

【００６３】また本発明は、前記収納手段は、反転手段
によって立てられた複数の薄形板状半導体部品を立位状
態で保持し、収納部へ搬送するハンドを有することを特
徴とする。

【００６４】本発明に従えば、薄形板状半導体部品を収
納部へ搬送するハンドは複数同時に搬送するので、収納
動作時間を短縮することができる。またハンドは、立位
状態に収納される薄形板状半導体部品を、立位状態に保
持して搬送するので複雑な動作を必要とせず、容易かつ
確実に収納部に搬送することができる。

【００６５】また本発明は、前記ハンドは、立位状態に
ある薄形板状半導体部品に平行に配置される側壁と、こ
の側壁の底部に略垂直に連なる底壁とを有する一対の保
持部材を有し、この保持部材を立位状態にある薄形板状
半導体部品の両側に配置し、互いに近接させて薄型板状
半導体部品の下に底壁を配置させ、ハンドを上昇させる
ことによって、薄形板状半導体部品を立位状態に保持し
て搬送することを特徴とする。

【００６６】本発明に従えば、一対の保持部材に薄形板
状半導体部品を立位状態で乗載して、取り出すことが可
能であり、薄形板状半導体部品の表面を損傷することな
く搬送することができる。また薄形板状半導体部品を乗
載して搬送するので、薄形板状半導体部品を挟持して搬
送する場合に比べて、搬送時に薄形板状半導体部品に負
荷がかからず薄形板状半導体部品の破損を防止すること
ができる。

【００６７】また本発明は、前記収納部には、上部に開
口が形成され、底部には弾発性を有する緩衝部材が設け
られることを特徴とする。

【００６８】本発明に従えば、収納部には、緩衝材が設
けられるので、収納している薄形板状半導体部品が衝撃
によって破損する可能性を低下させることができる。

【００６９】また本発明は、前記収納部の両側壁には、
上下方向に伸び、薄形板状半導体部品を立位状態に保持
する複数対の支持部材が設けられ、前記緩衝部材は収納
部の底部両側に配置され、底部中央に溝が設けられるこ
とを特徴とする。

【００７０】本発明に従えば、収納部は、底部両側に緩
衝部材が配置され、底部中央部に溝が設けられる。収納
部の両側部に支持部材が形成されている。したがって薄
形板状半導体部品を保持するための充分な隙間が底部お
よび側部に形成され、ハンドによる薄形板状半導体部品
の収納および取り出しを容易に行うことができる。

【００７１】また本発明は、前記収納部は、次工程に薄
形板状半導体部品を搬送するための箱として用いられる
ことを特徴とする。

【００７２】本発明に従えば収納部ごと次工程に搬送す
ることができるので、次工程に搬送するための通い箱と
して利用できる。したがって収納部から通い箱に薄形板
状半導体部品を移し換える作業工程を省くことができ
る。

【００７３】また本発明は、前記第１の搬送手段または
前記第２の搬送手段は、前ステージと後ステージと、薄
形板状半導体部品を乗載し、前ステージから後ステージ
へ搬送する搬送ステージとを備え、搬送ステージは、前
ステージの下から上昇することによって前ステージ上か
ら搬送ステージ上に薄形板状半導体部品を移し換え、前
ステージ上から後ステージ上へ移動し、後ステージの上
方から下方に、搬送ステージが下降することによって、
搬送ステージ上から後ステージ上に薄形板状半導体部品
を移し換え、後ステージの下方から前ステージの下方に
移動するとき、前ステージ側へ移動するにつれて下方に
傾斜するように移動することを特徴とする。

【００７４】図３５は、従来のウォーキング搬送動作を
示す図である。図３５（１）のように搬送ステージ１３
は、前ステージ１１の下方から上昇し、前ステージ１１
に待機中の太陽電池セル１０を持ち上げ、前ステージ１
１から離脱させて搬送ステージ１３に乗載する。太陽電
池セル１０を乗載した搬送ステージ１３は、図３５
（２）、図３５（３）のように後ステージ１２へ水平移
動する。

【００７５】次に図３５（４）のように搬送ステージ１
３が、後ステージ１２の上方から下降することによっ
て、後ステージ１２に太陽電池セル１０を載置する。太
陽電池セル１０を載置した搬送ステージ１３は、後ステ
ージ１２の下方に移動した後、前ステージへ水平移動
し、再び前ステージ１１の下方に達する。このような動
作を繰り返すことによって、前ステージ１１に待機する
太陽電池セル１０を後ステージ１２に搬送することがで
きる。

【００７６】このように従来の搬送ステージでは、前ス
テージおよび後ステージの下の領域において、直角に曲
がりながら、移動するため無駄な動きがあった。

【００７７】これに対し、本発明では、搬送ステージが
後ステージの下方から前ステージの下方に移動するとき
に、前ステージ側に移動するにつれて下方に傾斜するよ
うに移動する。したがって後ステージの下方に移動して
前ステージの下方に移動するときに比べて、搬送ステー
ジの移動する距離が短くなり、動作時間を短縮すること
ができる。

【００７８】

【発明の実施の形態】本発明は、太陽電池セルまたは半
導体ウエハなどの薄形板状半導体部品を測定結果に応じ
てランク別に分類収納を行う薄形板状半導体部品の検査
分類システム２０である。ランクはたとえば薄形板状半
導体部品の電気的性能である。薄形板状半導体部品は、
生産される薄形板状半導体部品の性能に基づいて、複数
の段階に判定される。

【００７９】図１は、本発明の実施の一形態である薄形
板状半導体部品の検査分類システム２０を示すブロック
図である。本実施の形態での薄形板状半導体部品は、矩
形板状の太陽電池セル３０である。検査分類システム２
０は、太陽電池セル３０のランクを判定する検査装置２
１と、ランク判定結果に基づいて、太陽電池セル３０を
分類する分類装置３００と、検査分類システム２０を統
括的に制御する図示しない制御装置とを有する。また分
類装置３００は、第１の搬送手段２２、搬送部２５、取
り入れ手段３４、複数の収納部２３および収納部２３の
数に応じた複数のストック部２４とを含んで構成され
る。

【００８０】また検査装置２１は、太陽電池セル３０の
電圧電流特性を測定する測定手段と、測定手段によって
得られる測定結果に応じて、複数のランクを判定する判
定手段とを有する。測定手段はたとえばテスタであり、
判定手段は、たとえばパソコンである。

【００８１】検査装置２１は、順次搬送される太陽電池
セル３０を検査し、ランク別に判定する。第１の搬送手
段２２は、検査装置２１によって判定された太陽電池セ
ル３０を所定の搬送経路に沿って、搬送部２５に順次搬
送する。搬送部２５は、太陽電池セル３０を一時的に保
持する。搬送部２５に搬送された太陽電池セル３０は、
取り入れ手段３４によって、各ランクに応じたストック
部２４に取り入れられる。複数のストック部２４は、バ
ッファ部３１、スライド部３２および一時収容部３３を
それぞれ有している。

【００８２】図２は、検査分類システム２０の搬送動作
を示すフローチャートである。ステップｆ０では、スト
ック部２４が、太陽電池セル３０を積載可能な状態で待
機し、取り入れ手段３４によって、太陽電池セル３０が
積載されると、ステップｆ１に進む。ステップｆ１で
は、太陽電池セル３０がストック部２４に積載される。
ストック部２４は、カウンタによって、ストック部２４
に積載される太陽電池セル３０の総枚数Ｂｘをカウント
し、ステップｆ２に進む。

【００８３】ステップｆ２では、ストック部２４が、ス
トック部２４に積載される総枚数Ｂｘと所定の一定枚数
Ｃｏｎｓｔ１とを比較し、総枚数Ｂｘが所定の第１の一
定枚数Ｃｏｎｓｔ１を超えたか否かを判断する。総枚数
Ｂｘが所定の第１の一定枚数Ｃｏｎｓｔ１を超えない場
合、ステップｆ０に戻り、ストック部２４は再び積載待
機状態になる。また総枚数Ｂｘが所定の第１の一定枚数
Ｃｏｎｓｔ１を超えた場合、ステップｆ３に進む。

【００８４】ステップｆ３では、バッファ部３１に保持
された複数の太陽電池セル３０が、収納手段３５によっ
て、収納部２３に収納される。また収納部２３は、収納
部２３に収納される太陽電池セル３０の総枚数Ｎｘをカ
ウントし、ステップｆ４に進む。ステップｆ４では、収
納部２３に収納される総枚数Ｎｘと所定の第２の一定枚
数Ｃｏｎｓｔ２とを比較し、総枚数Ｎｘが所定の第２の
一定枚数Ｃｏｎｓｔ２を超えたか否かを判断する。総枚
数Ｎｘが所定の第２の一定枚数Ｃｏｎｓｔ２を超えない
場合、ステップｆ３に戻り、収納部２３は収納待機状態
になる。また総枚数Ｎｘが所定の第２の一定枚数Ｃｏｎ
ｓｔ２を超えた場合、収納部２３が太陽電池セル３０で
満杯状態となり、ステップｆ５に進む。

【００８５】ステップｆ５では、収納部２３が検査分類
システム２０から払い出される。収納部２３は、同一の
ランクの太陽電池セル３０を収納する。太陽電池セル３
０は、収納部２３ごと次の工程に搬送される。このよう
に収納部２３は、次工程に太陽電池セル３０を搬送する
ための箱である通い箱となる。

【００８６】また太陽電池セル３０が収納されていな
い、別の収納部２３が検査分類システム２０に取り付け
られる。収納手段３５は、新しく取り付けられた別の収
納部２３に太陽電池セル３０を収納する。これによって
再び収納部２３に太陽電池セル３０が収納可能な状態に
なり、ステップｆ６に進み、検査分類システム２０によ
る太陽電池セル３０の搬送動作が終了する。次に動作は
再びステップｆ０に進み、ストック部２４が、太陽電池
セル３０を積載可能な状態で待機する。また検査装置２
１から太陽電池セル３０をストック部２４に搬送する取
り入れ手段３４と、ストック部２４から収納部２３に搬
送する収納手段３５とは、独立して動くことができる。

【００８７】図３は、検査分類システム２０の主要な部
分を示す斜視図である。ストック部２４の動作について
説明する。太陽電池セル３０は、搬送部２５から取り入
れ手段３４によって取り出され、一挙に各ストック部２
４にあるバッファ部３１に取り入れられる。バッファ部
３１は、収納前の太陽電池セル３０を水平状態で積載し
て保持する。バッファ部３１に取り入れられた太陽電池
セル３０は、所定の枚数になると第２の搬送手段である
スライドユニット３６によってスライド部３２を通過
し、一時収容部３３に搬送される。一時収容部３３は、
バッファ部３１と収容部２３との間に設けられ、搬送さ
れた太陽電池セル３０を反転させて立位状態に保持す
る。立位状態に保持された複数枚の太陽電池セル３０
は、立位状態を保ったまま収納手段３５によって搬送さ
れ、立位状態を保ったまま収納部２３に収納される。

【００８８】収納部２３は、太陽電池セル３０で満杯と
なると、検査分類システム２０から取り外される。収納
部２３に収納される太陽電池セル３０は、収納部２３ご
と次の製造工程に搬送される。

【００８９】図４は、検査分類システムに搬送される太
陽電池セル３０の動きを示すフローチャートである。ス
テップｇ０では、検査分類工程の前工程を終えた太陽電
池セル３０が検査分類システム２０に投入され、ステッ
プｇ１に進む。

【００９０】ステップｇ１では、太陽電池セル３０が検
査装置２１に搬送され、太陽電池セル３０のランクが判
定される。ランクが判定されると、ステップｇ２に進
む。ステップｇ２では、太陽電池セル３０は、取り入れ
手段３４によってストック部２４に搬送される。このと
き太陽電池セル３０は、検査装置２１によって判定され
たランクに基づいて、各ストック部２４に振り分けられ
る。したがって太陽電池セル３０は、ランクごとに分類
されて各ストック部２４に保持される。ストック部２４
に収納される太陽電池セル３１の総数Ｂｘが所定枚数Ｃ
ｏｎｓｔ１を超えた場合、ステップｇ３に進む。

【００９１】ステップｇ３では、収納手段３５によっ
て、順次太陽電池セル３０が収容部２３に収納され、複
数枚の太陽電池セル３０が収納部２３に収納される。ま
た収納部２３は、前述したように、次工程に太陽電池セ
ル３０を搬送するための通い箱となる。収納部２３に収
納される太陽電池セル３０が所定枚数Ｃｏｎｓｔ２を超
えた場合、ステップｇ４に進み、太陽電池セル３０は、
次の工程に収納部２３ごと搬送され、検査分類システム
２０における太陽電池セル３０の一連の動きが終了す
る。

【００９２】図５は、検査装置２１の構成を示すブロッ
ク図である。検査装置２１は、順次搬送される太陽電池
セル３０を検査し、ランク別に判定する。検査装置２１
は、測定手段であるテスタ２７とシュミレータランプ２
５とシャッター手段と判定手段であるパソコン２８とを
有する。

【００９３】検査装置２１は、太陽電池セル３０にコン
タクトプローブ２６を接触させ、シュミレータランプ２
５によって光を照射およびシャッター手段によって光を
遮断したときの電圧電流特性をテスタ２７によって測定
し、測定された測定結果をパソコン２８によって判定お
よび保存する。またこれらの動作は制御装置であるＣＰ
Ｕ２９の命令によって行われる。ＣＰＵ２９は、たとえ
ばシーケンサであって、検査装置２１および分類装置３
００を統括的に制御する。

【００９４】図６は、テスタ２７の測定回路を簡略化し
て示す回路図である。太陽電池セル３０は、日本工業規
格の結晶系太陽電池セルの出力測定方法（ＪＩＳＣ
８９１３）に規定される４端子法で計測される。電流測
定用端子および電圧測定用端子の一端部をＸＹレコーダ
２００に接続する。また太陽電池セル３０は、バイアス
電源２０１から電圧が印加される。バイアス電源２０１
は、太陽電池セル３０に加える電圧を走査して印加する
ことができる。太陽電池セル３０に加える電圧を走査し
て与え、電圧電流特性曲線をＸＹレコーダ２００によっ
て記録する。

【００９５】図７は、テスタ２７の測定回路を簡略化し
て示す他の回路図である。太陽電池セル３０は、バイア
ス電源２０１から電圧が印加される。バイアス電源２０
１から太陽電池セル３０に加える電圧を段階的に変化さ
せ、そのときの電圧電流測定値を電流測定器２０２およ
び電圧測定器２０３を用いて測定する。この測定値を基
に電圧電流特性曲線を描く。

【００９６】図８は、太陽電池セル３０のランク判定の
流れを示すブロック図である。検査分類システム２０
は、検査分類システム全体を制御し、太陽電池セル１０
の搬送命令および検査実施命令を行うＣＰＵ２９と、電
圧電流特性測定を行うテスタ２７とテスタ２７の測定結
果に基づいて、各ランクに判定するパソコン２８とを有
する。検査装置２１は、このようなテスタ２７とパソコ
ン２８とを有する。

【００９７】ＣＰＵ２９は、パソコン２８へ測定実施命
令２０４を与える。測定実施命令２０４が与えられたパ
ソコン２８は、太陽電池セル３０の電圧電流測定の測定
実施命令２０５をテスタ２７に伝える。測定実施命令２
０５を受けたテスタ２７は、太陽電池セル３０の電圧電
流測定を実施２０６する。テスタ２７は、測定実施後に
測定によって得られた生データ２０７をパソコン２８に
与える。パソコン２８は、生データ２０７を基に、測定
値を算出２０８し、ランクを判定２０９する。ランクを
判定したパソコン２８は、ランク判定結果２１１を直接
ＣＰＵ２９に与える。ＣＰＵ２９は、このランク判定結
果に基づいて、太陽電池セル３０をランクごとに分類し
て収納部２３に搬送するように取り入れ手段３４に命令
を与える。

【００９８】またＣＰＵ２９は、装置情報２１２をパソ
コン２８に与えることができる。したがってパソコン２
８は、測定結果とともに検査分類システムの装置情報を
記憶および管理することができ、パソコン２８とＣＰＵ
２９との間で相互にデータの送受信を簡単に行うことが
できる。これによって検査分類システムの管理を容易に
行うことができる。パソコン２８は、表示手段および記
憶手段を有し、表示手段によって、測定結果および装置
情報を利用者に確認させることができる。また記憶手段
によって、測定結果およびＣＰＵ２９によって管理され
る膨大な装置情報を記憶し、測定結果および装置情報を
収集および管理することができる。ここで装置情報と
は、たとえば検査分類システムの起動時刻、停止時刻、
運転開始時刻、エラー発生時刻、エラー復帰時刻および
エラー発生内容などの各装置の稼動状況を表すデータで
ある。またさらにシステムの周囲の温度および周囲の光
量などの稼働環境をあらわすデータを記憶してもよい。
たとえば温度および検査分類システム周囲の光量に基づ
いて、測定手段から得られる測定値を補正することによ
って、より正確なランク判定を行うことができる。

【００９９】またテスタ２７を介さずに、パソコン２８
とＣＰＵ２９とが直接接続されるので、膨大なデータ量
を有する装置情報をパソコン２８とＣＰＵ２９との間
で、送受信することができ、テスタ２７に電気通信によ
る負荷が加わることを防止することができる。

【０１００】またテスタ２８とＣＰＵ２９とをパソコン
２８を介して接続することによって、拡張性を向上さ
せ、簡単に接続することができる。たとえばインターフ
ェイスの異なる別のテスタに取り替えた場合において
も、パソコン２８を介してＣＰＵ２９に接続されるの
で、別のテスタのインターフェイスに応じて、パソコン
の接続部分を取り替えることによって、容易に別のテス
タを検査分類システムに用いることができる。

【０１０１】また装置情報および薄形板状半導体部品の
測定結果を同時に関連させて記憶管理してもよい。これ
によって装置情報の変化と製造される薄形板状半導体部
品のランク判定との関連性を容易に確認することができ
る。これによって薄形板状半導体部品の製造において、
ランク低下の悪影響となる装置情報を見つけ、改善する
ことによって、より高品質の薄形板状半導体部品を製造
することができる。

【０１０２】図９は、検査装置２１の太陽電池セル３０
の検査の流れを示す図である。太陽電池セル３０が検査
装置２１に搬送されると太陽電池セル３０のランク判定
動作が開始される。ステップａ１では、ＣＰＵ２９が、
コンタクトプローブ２６を太陽電池セル３０に接触させ
るとともに、シャッターを開いて、シュミレータランプ
２５の光を太陽電池セル３０に照射させる。

【０１０３】ステップａ２では、テスタ２７によってシ
ュミレータランプ２５照射時の電圧電流特性を測定す
る。ステップａ３では、ＣＰＵ２９の命令によってシュ
ミレータランプ２５を塞ぐシャッターが閉鎖するととも
に、ステップａ２で得られた測定結果がテスタ２７から
パソコン２８に転送され保存される。またシャッターが
完全に閉鎖する。

【０１０４】ステップａ４では、テスタ２７によってシ
ュミレータランプ２５無照射時の電圧電流特性を測定す
る。ステップａ５では、ＣＰＵ２９によってコンタクト
プローブ２６と太陽電池セル３０との接触が解除される
とともに、ステップａ４で得られた測定結果がテスタ２
７からパソコン２８に転送される。パソコン２８は、ス
テップａ２およびステップａ４で得られた２回の測定結
果を取得した後に、計算および判定を行って、太陽電池
セル３０の電気的特性が計測され、ランク判定が行われ
る。

【０１０５】ステップａ６では、ランク判定された太陽
電池セル３０が、取り入れ手段３４によって搬送部２５
に送られる。したがって測定の異なる２つの条件による
それぞれの測定について実測とデータ転送が行われ、機
械的動作と並列して別の処理を行うことができる。すな
わちランプ２５およびプローブ２６の機械的準備動作を
行っている間に、電気的な処理たとえばテスタ２７が測
定結果をパソコン２８に転送する動作を行うことができ
る。

【０１０６】図１０は、テスタ２７によって得られた測
定点を基にした、太陽電池セル３０の電圧電流特性を示
すグラフである。パソコン２８は、電気的ノイズによっ
てテスタ２７の測定結果が変化した場合、測定結果を補
正し、太陽電池セル３０のランクをより正確に判定す
る。

【０１０７】テスタ２７は、太陽電池セル３０を測定
し、通常２００点以上の測定点を得る。パソコン２８
は、テスタ２７からの測定結果から近似曲線を描く。具
体的には電流軸Ｉをまたいで、両側に位置する３つ以
上、かつ前後均等数の測定点Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２
（図１０では４つ）から最小二乗法に基づく一次近似式
を求める。次にこの一次近似式と電流軸Ｉとの交点Ｃを
求め、この交点Ｃの電流を短絡電流Ｉｓｃとする。

【０１０８】また電圧軸Ｖをまたいで、両側に位置する
３つ以上、かつ前後均等数の測定点Ｅ１，Ｅ２，Ｆ１，
Ｆ２（図１０では４つ）から最小二乗法に基づく一次近
似式を求める。次にこの一次近似式と電圧軸Ｖとの交点
Ｇを求め、この交点Ｇの電圧を開放電圧Ｖｏｃとする。

【０１０９】図１１は、パソコン２８が最大出力Ｐｍを
算出する手順を示すフローチャートである。テスタ２７
が、太陽電池セル３０を測定し、測定結果をパソコン２
８に伝達する。パソコン２８は、テスタ２７からの生デ
ータが与えられると、最大出力Ｐｍの算出が開始され
る。

【０１１０】ステップｈ１では、パソコン２８が、テス
タ２７からの生データから、測定結果として複数の測定
点を取得し、ステップｈ２に進む。ステップｈ２では、
パソコン２８が複数の測定点の中から、電流と電圧との
積が最大になる最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）を求め、ス
テップｈ３に進む。

【０１１１】ステップｈ３では、パソコン２８が、最大
測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）を含み、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，
Ｉｉ）の前後の点（Ｖｉ−２，Ｉｉ−２），（Ｖｉ−
１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ，Ｉｉ），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋
１），（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）について、隣り合う測定
点の差分値を求める。次に、各測定点間の差分値の平均
を計算し、平均電圧差分値ＶＤおよび平均電流差分値Ｉ
Ｄを求め、ステップｈ４に進む。

【０１１２】ステップｈ４では、パソコン２８が、平均
電圧差分値ＶＤおよび平均電流差分値ＩＤと隣り合う測
定点の各差分値とを比較する。パソコン２８は、平均電
圧差分値ＶＤおよび平均電流差分値ＩＤと隣り合う測定
点の各差分値とが予め定める所定の誤差範囲から外れて
いる測定点を除く。

【０１１３】本実施の形態では、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，
Ｉｉ）の直前から任意数前の測定点たとえば２つの測定
点（Ｖｉ−２，Ｉｉ−２），（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），
（Ｖｉ，Ｉｉ）を用いて、差分平均値ＶＤ，ＩＤを求め
る。パソコン２８は、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直
後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）と最大測定点Ｄ（Ｖ
ｉ，Ｉｉ）との差分値が、平均差分値ＶＤ，ＩＤの任意
の数であるＸパーセント以下か否かを調べ、Ｘパーセン
トを超える場合は、測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）とし
て採用し、Ｘパーセント以下なら、最大測定点Ｄ（Ｖ
ｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）を除
去する。同様に、次の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）に
ついても、採用するか除去するかを計算し、ステップｈ
５に進む。

【０１１４】ステップｈ５では、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，
Ｉｉ）の後の測定点で採用される測定点（Ｖｉ＋ｎ，Ｉ
ｉ＋ｎ）を決定し、決定した場合、ステップｈ６に進
む。

【０１１５】ステップｈ６では、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，
Ｉｉ）の後に採用される測定点（Ｖｉ＋ｎ，Ｉｉ＋ｎ）
と最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）と最大測定点Ｄ（Ｖｉ，
Ｉｉ）の直前の測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１）とを利用
して、最大出力Ｐｍを算出する。

【０１１６】もし最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の
測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）が除去され、その点の後
の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）が採用された場合は、
最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直前の測定点（Ｖｉ−
１，Ｉｉ−１）と、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）と、最
大測定点Ｄの２つ後の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）と
の３点を利用して、電圧を２次変数とするラグランジェ
の２次補間式を求める。次に、この２次補間式から電流
と電圧との積が最大となる電力を最大電力Ｐｍとして算
出する。上述の短絡電流Ｉｓｃ、開放電圧Ｖｏｃおよび
最大電力Ｐｍは、擬似太陽光が照射された状態、いわゆ
る明測定で測定された生データから求められる。また本
実施例において、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも前
の測定点とは、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも電流
値が高い測定点であり、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よ
りも後の測定点とは、電流値が低い測定点である。

【０１１７】また前後が逆になってもよい。すなわち最
大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも前の測定点を、最大測
定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも電流値が低い測定点とし、
最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも後の測定点を、電流
値が高い測定点としてもよい。

【０１１８】表３は、電気的ノイズが発生している場合
の電圧値と電流値との積が最大となる最大測定点Ｄ２
（Ｖｉ，Ｉｉ）と、その前後の４つの測定点（Ｖｉ−
２，Ｉｉ−２），（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ＋
１，Ｉｉ＋１），（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）と各測定点の
差分値とを示す。

【０１１９】

【表３】

【０１２０】前述に示す表１のように、正常測定時に
は、測定点の差分値がある程度一定になる。電気的ノイ
ズが発生する場合は、表３に示すように電圧または電流
のどちらかの差分値が極端に小さくなるか、または差分
の正負が逆転する。

【０１２１】たとえば、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）
と最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ
＋１，Ｉｉ＋１）との電圧の差分値が、平均電圧差分値
に比べて小さく測定されている。最大測定点Ｄ２（Ｖ
ｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）が、
電気的ノイズによって異常な値を示している。本実施の
形態の太陽電池セルの検査分類システムは、上述の手順
に従って、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定
点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）を除去し、最大電力Ｐｍを測
定することができる。

【０１２２】図１２は、表３の電圧と電流との関係を示
すグラフであり、図１２（１）は、電圧電流特性を示
し、図１２（２）は、電圧電力特性を示す。パソコン２
８は、電圧電流特性を、表３の電気的ノイズによって異
常な値を示した測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）を除去し
て、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）の直前の測定点（Ｖ
ｉ−１，Ｉｉ−１）と、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）
と、最大測定点Ｄの２つ後の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋
２）とを利用して、電圧を２次変数とするラグランジェ
の２次補間式として求める。

【０１２３】電気的ノイズが発生していない正常測定時
の最大電力は、前述の表１に示すように、２．１５４５
Ｗである。また電気的ノイズが発生した場合において、
本実施例に示す測定方法で、電気的ノイズによる異常な
測定結果を除去した場合の最大電力Ｐｍは、表３および
図１２に示すように、２．１５０５Ｗである。

【０１２４】また正常測定時の最大出力電圧Ｖｐｍは、
約０．４８２１Ｖであり、最大出力電流Ｉｐｍは、４．
４６８７Ａである。また電気的ノイズが発生した場合に
おいて、本実施例に示す測定方法で、電気的ノイズによ
る異常な測定結果を除去した場合の最大出力電圧Ｖｐｍ
は、約０．４８２１Ｖであり、最大出力電流Ｉｐｍは、
４．４６１１Ａである。このように本実施例に示す算出
法を、パソコン２８が行うことによって電気的ノイズが
発生した状態でも、正常測定時との誤差を少なくして、
測定結果を得ることができる。

【０１２５】図１３は、擬似太陽光が照射されていない
状態での電圧電流特性を示すグラフである。任意の電圧
における電流Ｉｄを得る場合は、擬似太陽光を照射する
明測定と同レンジの電圧走査を行わず、必要な任意の電
圧での測定点を得ることによって任意の電圧における電
流Ｉｄを得る。また図１３に示すように必要な任意電圧
の前後数点（図１３では２点）の走査を行い、複数の測
定点を得て、この複数の測定点から近似曲線を描き、任
意の電圧における電流Ｉｄを得てもよい。

【０１２６】図１４は、ストック部２４を示す正面図で
ある。ストック部２４のバッファ部３１、スライド部３
２および一時収容部３３は、水平方向に直線上に並んで
配置され、太陽電池セル３０は、バッファ部３１から一
時収納部３３にスライドユニット３６によって搬送され
る。

【０１２７】具体的には、第１の搬送手段２２によって
搬送された太陽電池セル３０は、取り入れ手段３４によ
って、バッファ部３１に水平状態で積載される。太陽電
池セル３０は、バッファ部３１に所定の枚数積載される
と、スライドユニット３６によって、スライド部３２を
通過し、一時収納部３３に収納される。このように取り
入れ手段３４によって、直接一時収納部３３に収納する
のでなく、バッファ部とスライドユニット３６を設け、
取り入れ手段３４は、第１の搬送手段２２からバッファ
部３１に取り出すように構成することによって、スライ
ドユニット３６によって、バッファ部から一時収納部３
３に搬送作業を行っている間にも取り入れ手段３４で取
り入れ作業を行うことができる。これによって従来作業
のように第１の搬送手段２２を一旦停止することが防が
れ、稼動率が向上する。

【０１２８】一時収納部３３は、太陽電池セル３０を水
平状態から立位状態に反転する反転手段３７を有し、反
転手段３７によって複数の太陽電池セル３０は、立位状
態で保持される。

【０１２９】図１５は、一時収容部３３を示す斜視図で
ある。一時収納部３３は略Ｕ字状に形成され、回転軸５
０まわりに９０度回転可能に設けられる。さらに詳しく
説明すると、回転軸５０は、スライドユニット３６の延
びる方向であるスライド方向に対して垂直に延び、この
回転軸５０に平行に一時収納部３３の基部５１が設けら
れる。また基部５１の両端部から垂直に一対の側部保持
部５２が立ち上がる。この一対の側部保持部５２には、
内側に収納溝５３がそれぞれ形成される。この一対の収
納溝５３は、基部５１から所定の間隔をあけた位置から
先端まで延びて形成される。

【０１３０】収納前には、一時収納部３３は、略Ｕ字状
の上部である側部保持部５２の一端をスライド部３２に
向けて水平状態に倒れており、この状態でスライドユニ
ット３６によって太陽電池セル３０が挿入され、収納溝
５３間に保持される。その後、一時収納部３３が反転す
ることによって、収納溝５３に保持された太陽電池セル
３０は立位状態に保持される。このとき、収納溝５３
は、基部５１まで形成されていないので太陽電池セル３
０は、基部５１から間隔をあけて立位状態に保持され
る。これによって、収納手段３５による太陽電池セル３
０の取り出しがより容易に行える。

【０１３１】また図１４に示すように一時収納部３３に
は、一時収納部３３を水平方向に倒す復帰ばね４５が接
続される。復帰バネ４５は、引っ張りバネであり、一時
収納部３３の側部保持部５２と一時収納部以外の固定し
た場所に接続される。これによって一時収納部３３が立
位状態に保持されるときに、復帰バネ４５の弾性回復力
によって一時収納部３３には、水平状態に復帰しようと
する力が発生する。

【０１３２】第２の搬送手段であるスライドユニット３
６は、バッファ部３１から一時収納部３３にわたって水
平に配置され、横移動ベルト３８を駆動するモータ４２
と横移動ベルト３８に固定される乗載台３９とを有し、
モータ４２によって乗載台３９は、バッファ部３１から
一時収納部３３にわたって進む方向である前方Ａおよび
反対に進む方向である後方Ｂに移動可能で、往復移動す
ることができる。

【０１３３】乗載台３９は、太陽電池セル３０を乗載す
る乗載台５４、横移動ベルト３８に取り付けられ、乗載
台５４を昇降させるシリンダ４０、シリンダ４０に固定
され前方Ａ（図１４の左方）に水平に突出する押し棒４
１とを有する。

【０１３４】乗載台３９は、通常はバッファ部３１の下
方に待機しており、バッファ部３１に所定枚数の太陽電
池セル３０が積載されると、まずシリンダ４０によって
乗載台５４を上昇させ、乗載台５４上に太陽電池セル３
０を積載する。その後、一時収納部３３に向けて水平移
動する。

【０１３５】乗載台３９が、一時収納部３３に移動する
ことによって、太陽電池セル３０は、一時収納部３３の
収納溝５３に挿入される。太陽電池セル３０を挿入した
乗載台３９は、一時収納部３３の下方へ下降することに
よって、複数の太陽電池セル３０を一時収納部３３に配
置することができる。

【０１３６】一時収納部３３の反転手段３７は、一時収
納部３３に設けられたギア４４、受け棒４３、および乗
載台３９に設けられる押し棒４１を含んで構成される。
回転ギア４４は、一時収納部３３の回転軸５０と同軸に
固定される。また回転ギア４４に噛合する受け棒ギア６
６を一端に有する受け棒４３が、一時収納部３３の下方
かつ後方Ｂに突出し、受け棒ギア６６の回転中心まわり
に回転可能に支持される。また乗載台３９には、一時収
納部３３側に水平に突出して押し棒４１が設けられる。

【０１３７】乗載台３９は一時収納部３３に太陽電池セ
ル３０を収納したあと、一時収納部３３の下方へ下降す
る。下降した乗載台３９によって、太陽電池セル３０が
前方Ａ（図１４の左方）にさらに移動する。すると押し
棒４１が、一時収納部３３の下方に設けられる受け棒４
３を押圧し、これによって、受け棒４３は、受け棒ギア
６６とともに回転する。受け棒ギア６６は、一時収納部
３３の回転ギア４４に噛合しているので、受け棒４３が
回転することによって、一時収納部３３は、９０度反転
し、立位状態になる。このようにして一時収納部３３に
挿入されている太陽電池セル３０は、立位状態となる。

【０１３８】収納手段である搬送ロボット３５によって
一時収納部３３から太陽電池セル３０が取り出されると
受け棒４３と押し棒４１が当接した状態の乗載台３９
は、さらに下降し、受け棒４３と押し棒４１の当接状態
が解除される。当接状態が解除されると、復帰ばね４５
によって一時収納部３３は、水平状態に復帰する。また
受け棒４３との押圧状態が解除された乗載台３９は、バ
ッファ部３１側に水平に移動し、バッファ部３１下方で
待機する。バッファ部３１に積載される太陽電池セル３
０が所定の枚数に達したときに、再びバッファ部３１上
方へ上昇し、太陽電池セル３０を一時収納部３３に搬送
する。

【０１３９】またスライドユニット３６には、太陽電池
セル３０に所定以上の負荷がかかったことを検出する過
負荷検出手段４６が設けられる。過負荷検出手段４６
は、図１４に示すように過負荷検出部４７、光センサ４
８、光発生部５６および過負荷検出ばね４９を有して構
成される。

【０１４０】過負荷検出部４７は、乗載台３９の上部に
形成される乗載台５４の後方部に設けられ、乗載台５４
を軸として前後に揺動可能に支持されている。過負荷検
出ばね４９は、乗載台５４と過負荷検出部４６とを接続
している。光発生部５６の光路５７は、太陽電池セル３
０を乗載した乗載台３９が水平移動する方向と平行に延
び、光センサ４８で受光される。

【０１４１】また前記過負荷検出部４７には、光路５７
が通過する光通過孔５５が形成される。したがって通常
は、光が光通過孔５５を通って光センサ４８に到達し、
光センサ４８が受光している状態にある。

【０１４２】スライドユニット３６が移動中に衝突する
などして負荷が作用すると、過負荷検出部４６が傾き、
これによって、光通過孔５５が変位し、光路５７が遮蔽
される。光路５７が遮蔽されると、光センサ４８が受光
せず、スライドユニット３６に過負荷がかかったことを
検出することができる。過負荷検出手段４６によってス
ライドユニット３６に過負荷が加わっていることが検出
されると即座に搬送を中止し、太陽電池セル３０の破損
を低減することができる。

【０１４３】前記収納手段である搬送ロボット３５は、
反転手段３７によって立てられた複数の薄形板状半導体
部品３０を立位状態で保持し、収納部２３へ搬送するハ
ンド５８を有する。本実施の形態では、ハンド５８は、
ＸＹＺ方向へ移動可能なロボットハンドである。

【０１４４】図１６は、ハンド５８を示す正面図であ
る。ハンド５８は、略Ｌ字状に形成される一対の保持部
材６１Ａ，６１Ｂを有する。保持部材６１Ａ，６１Ｂ
は、立位状態にある太陽電池セル３０に平行に配置され
る側壁５９Ａ，５９Ｂを有し、またこの側壁５９Ａ，５
９Ｂの底部に略垂直に連なる底壁６０Ａ，６０Ｂ有す
る。互いの側壁６０Ａ，６０Ｂは、対向して配置され
る。

【０１４５】ハンド５８は、さらにハンド部ばね６３、
大シリンダ６４、小シリンダ６５を有して構成される。
ハンド部ばね６３は、一対の保持部材６１Ａ，６１Ｂを
近接する方向にばね付勢する。一方の保持部材６１Ｂの
上部には、大シリンダ６４および小シリンダ６５が設置
され、大シリンダ６４によって一方の保持部材６１Ａを
大きく、小シリンダ６５によって他方の保持部材６１Ｂ
を小さく変位動作することができる。この変位動作によ
って互いの保持部材６１Ａ，６１Ｂを近接および離反さ
せることができる。またハンド部ばね６３によってがた
つくことなく保持部材６１Ａ，６１Ｂの変位動作を行う
ことができる。

【０１４６】一方の保持部材６１Ａの底壁６０Ａの中央
部には、切欠きが形成され、他方の保持部材６１Ｂの底
壁６０Ｂは、前記切欠きに挿入可能に形成される。した
がって、互いの底壁６０Ａ，６０Ｂが係合して、太陽電
池セル３０を乗載するための底面の幅を調整可能に形成
する。

【０１４７】図１７は、収納手段である搬送ロボットの
ハンド５８の取り入れ動作を示す正面図であり、図１８
は、ハンド５８の収納動作を示すフローチャートであ
る。これらの図を参照して、まずハンド５８による取り
入れ動作について説明する。

【０１４８】ステップｂ１では、ハンド５８が、図１７
（１）に示すように一時収納部３３に立位状態で保持さ
れる太陽電池セル３０の上方に移動する。ステップｂ２
では、ハンド５８が、図１７（２）に示すように、保持
部材６１Ａ，６１Ｂを大きく離反した状態で下降し、保
持部材６１Ａ，６１Ｂの間に太陽電池セル３０を入れ
る。このとき保持部材６１Ａ，６１Ｂは太陽電池セル３
０の両側に配置され、底壁６０は、太陽電池セル３０の
下方に配置される。

【０１４９】ステップｂ３では、図１７（３）に示すよ
うにハンド５８が、水平方向に前方Ａに微動する。複数
の太陽電池セル３０は、ハンド５８の側壁５９Ｂに当接
し、前後方向のばらつきが整えられ、他方の保持部材６
１Ｂの側壁５９Ｂ側に寄せられる。ステップｂ４では、
図１７（４）に示すように、大シリンダ６４によって一
方の保持部材６１Ａが他方の保持部材６１Ｂに大きく近
接し、底部６１Ａ，６１Ｂが係合する。これによって太
陽電池セル３０は、互いの保持部材６１Ａ，６１Ｂの側
壁５９と底壁６０で囲まれた空間に配置される。このと
き一方の保持部材６１Ａと他方の保持部材６１Ｂとの対
向する距離は長いので、互いの太陽電池セル３０の間隔
は広く保持される。

【０１５０】ステップｂ５では、図１７（５）に示すよ
うにハンド５８が一旦微上昇する。これによって太陽電
池セル３０は、衝撃を受けることなく底壁６０に乗載さ
れる。ステップｂ６では、図１７（６）に示すように太
陽電池セル３０から持ち上げられた状態で小シリンダ６
５によって他方の保持部材６１Ｂが一方の保持部材にさ
らに微小距離だけ近接する。これによって互いの太陽電
池セル３０の間隔が狭くなり、ハンド５８は、太陽電池
セル３０が揺動することなく搬送することができる。

【０１５１】ステップｂ７では、ハンド５８が一時収納
部３３から上昇する。次に、ステップｂ８では、ハンド
５８が収納部２３の収納位置上方に移動する。

【０１５２】ハンド５８は、上述のようなハンドリング
取り出しを行うことによって、太陽電池セル３０に大き
な衝撃を与えることなく、整えた状態で取り出すことが
できる。これによって太陽電池セル３０を破損すること
なく確実に収納部２３へ搬送することができる。

【０１５３】ここで、収納部２３について説明する。図
１９（１）は、収納部２３の形状を示す平面図であり、
図１９（２）は、図１２（１）のＸ−Ｘ切断面線で破断
した断面図である。

【０１５４】図１９（２）に示すように収納部２３は、
箱状であり、上部に開口７１が形成され、底部両側には
弾発性を有する緩衝部材７２が設けられ、底部中央には
溝部７３が形成される。また収納部２３の両側壁には、
上下方向に延び、太陽電池セル３０を立位状態に保持す
る複数対の支持部材７２が設けられる。

【０１５５】図２０は、ハンド５８による収納動作を示
す平面図であり、図２１は、図２０の断面図である。再
び図１８のフローチャートおよび図２０、図２１を参照
して、搬送ロボット３５による太陽電池セル３０の収納
動作について説明する。

【０１５６】ステップｂ９では、図２０（１）、図２１
（１）に示すように太陽電池セル３０を乗載したハンド
５８が、収納部２３の上方から下降する。これによって
ハンド５８に保持された太陽電池セル３０が、一対の支
持部材７２間に挿入される。このように、支持部材７２
は、両側から突出して設けられ、中央には設けられない
ので、ハンド５８の可動範囲が充分に確保される。

【０１５７】ステップｂ１０では、図２０（２）に示す
ように保持部材６１Ａ，６１Ｂの間隔を少し広げて、ハ
ンド５８を緩く解放（小アンチャック）する。これによ
って、各太陽電池セル３０間の間隔が広がる。ステップ
ｂ１１では、図２１（３）に示すように、ハンド５８が
さらに下方へ微動する。これによって、太陽電池セル３
０が収納部２３底部の底部の緩衝部材７２上に乗載さ
れ、太陽電池セル３０を収納することができる。

【０１５８】ステップｂ１２では、図２０（４）に示す
ように、大シリンダ６４によって一方の保持部材６１Ａ
の間隔を大きく退避させ、ハンド５８を解放（大アンチ
ャック）する。これによって太陽電池セル３０は、確実
に収納部２３に収納される。ステップｂ１３では、図２
０（５）に示すように、保持部材６１Ｂが太陽電池セル
３０に接触しない位置に配置される。ステップｂ１４で
は、図２１（６）に示すように、ハンド５８は、上昇し
て収納部２３から離脱する。

【０１５９】したがって、ハンド５８は、上述のような
ハンドリングを行うことによって、太陽電池セル３０に
大きな衝撃を与えることなく、整えた状態で確実に収納
部２３に収納することができる。また収納部２３および
仕切部材７２によって、太陽電池セル３０を保持するこ
とができ、かつ充分な隙間が形成されるので、ハンド５
８の稼働範囲が充分に確保され、太陽電池セル３０の収
納および取り出しが高速で行えるとともに、太陽電池セ
ル３０にハンド５８が接触することによる破損が低減さ
れる。

【０１６０】収納部２３は、次工程に太陽電池セル３０
を搬送するための箱として用いられる。本実施の形態で
は、収納部２３の材質は、発砲ポリプロピレン素材から
なっている。また図２１に示すように収納部２３には、
上部に取り付けられる蓋７４を有し、蓋７４の内側に
は、弾発性を有するスポンジ材７５が取り付けられる。
これによって、蓋７４を閉めることによって、スポンジ
材７４が太陽電池セル３０を軽く押さえて太陽電池セル
３０を固定することができる。したがって、前記蓋７
４、収納部２３の形状および、収納部２３の材質によっ
て、搬送時の衝撃を吸収して太陽電池セル３０の破損を
防止して搬送することができる。

【０１６１】搬送ロボット３５は、図１６に示すよう
に、アーム部７０に、下降時に負荷がかかったときに
は、下降動作を即座に停止させる機構を有している。具
体的には、過負荷センサ６７、ガイド６８、アーム部ば
ね６９を有して構成される。過負荷センサ６７は、アー
ム部７０の上下方向の加速度を検出する。また過負荷セ
ンサ６７は、ガイド６８に導かれて上下方向に変位し、
より検出感度を高めるためにアーム部ばね６９によって
ハンド５８と上下方向に接合されている。

【０１６２】ハンド５８下降時に、たとえば収納部２３
の側壁に衝突するなどの負荷がかかったときには、アー
ム部７０全体が負荷によって上昇するため、アーム部７
０に取り付けられた過負荷センサ６７が過負荷を検出し
て、即座に搬送ロボットを停止させることができる。

【０１６３】検査装置２１から第１の搬送手段２２へ移
し換える装置は、ウォーキング搬送を行う。ウォーキン
グ搬送装置は、検査装置２１側に設けられる前ステージ
８１と第１の搬送手段２２側に設けられる後ステージ８
２と、太陽電池セル３０を乗載し、前ステージ８１から
後ステージへ８２搬送する搬送ステージ８３とを備えて
いる。

【０１６４】図２２は、搬送ステージ８３のウォーキン
グ搬送動作を示す概略図である。搬送ステージ８３は、
図２２（１）、図２２（２）に示すように前ステージ８
１の下から上昇することによって前ステージ上８１から
搬送ステージ８３上に太陽電池セル３０を移し換え、図
２２（３）に示すように、前ステージ８１上から後ステ
ージ８２上へ移動する。

【０１６５】次に搬送ステージ８３が、図２２（４）に
示すように後ステージ８２の上方から下方に、下降する
ことによって、搬送ステージ８３上から後ステージ８２
上に太陽電池セル３０を移し換える。

【０１６６】その後搬送ステージは、図２２（５）に示
すように後ステージ８２の下方から前ステージ８１の下
方に移動するとき、前ステージ８１側へ移動するにつれ
て下方に傾斜するように移動する。

【０１６７】すなわち搬送ステージ８３が後ステージ８
２の下方から前ステージ８１の下方に移動するときに、
前ステージ８１側に移動するにつれて下方に傾斜するよ
うに移動するので、図３５で説明した従来技術のように
後ステージ８２の下方に移動して前ステージ８１の下方
に移動するときに比べて、搬送ステージ８３の移動する
距離が短くなり、動作時間を短縮することができる。こ
のようなウォーキング搬送装置は、上記以外に、例えば
前工程から搬送手段によって搬送されてきた太陽電池セ
ル３０を検査装置２１に移し換えるとき、またはバッフ
ァ部３１から一時収納部３３に搬送する第２の搬送手段
などに適用することができる。

【０１６８】本実施の形態の検査分類システムに従え
ば、パソコン２８によって莫大なデータ量を有する装置
情報を容易に管理することができる。また装置情報を伝
達するときに、テスタを介しないので、装置情報の転送
速度を向上させることができる。

【０１６９】またストック部２４を設けることによっ
て、連続して円滑に、収納部２３に太陽電池セルを搬送
することができる。また収納部２３が通い箱となるの
で、従来のように、収納部２３から通い箱に太陽電池セ
ルを入れ換える作業を省略することができる。これによ
って入れ換え作業に費やす時間を省略し、単位時間あた
りに検査分類することができる太陽電池セルを増加する
ことができる。

【０１７０】また本実施例に示す測定方法を行うことに
よって、電気的ノイズが発生した状態でも、正常測定時
との誤差を少なくして、信頼性の高い測定結果を得るこ
とができる。

【０１７１】また本発明の薄形板状半導体部品は、矩形
板状の太陽電池セルに限らず、円板上であってもよく、
複数の電気特性を持つ薄形板状の半導体部品であればよ
い。また近似方法も最小二乗法またはラグランジュの２
次補間式以外の他の近似式または補間式を用いてもよ
い。

【０１７２】また本発明の薄形板状半導体部品は、矩形
板状の太陽電池セル３０だけに限らず、円板状の半導体
ウエハであってもよい。またこのような上述の各構成
は、本発明の例示に過ぎず、発明の範囲内において構成
を変更することができる。

【０１７３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、薄形板状
半導体部品を収納部に収納する収納手段にかかわらず、
測定手段から薄形板状半導体部品を取り出すことができ
る。したがって収納手段によって薄形板状半導体部品の
収納が行われている場合においても、測定手段から薄形
板状半導体部品の取り出しを行うことができる。したが
って搬送を一旦停止することなく、薄形板状半導体部品
の搬送を連続して、円滑に行うことができる。これによ
って検査分類システムの単位時間に検査分類することが
できる薄形板状半導体部品の数を増やし、検査分類速度
を向上することができる。

【０１７４】また本発明によれば、薄形板状半導体部品
のランク判定結果を、判定手段が直接制御装置に伝える
ことによって、従来の技術のようにテスタを介在するこ
となく、伝達時間を短くしてランク判定結果を制御装置
に伝えることができる。たとえば判定手段はパーソナル
コンピュータであり、たとえば測定手段はテスタであ
る。

【０１７５】したがって制御装置と測定手段との間に判
定手段を介在させることによって、制御装置および測定
手段のいずれかを取り替えた場合においても、判定手段
がさまざまなインターフェイスを有するので、制御装置
と判定手段との接続または判定手段と測定手段との接続
を容易に行うことができる。

【０１７６】また本発明によれば、装置情報および薄形
板状半導体部品の測定結果を同時に記憶管理することに
よって、装置情報の変化と製造される薄形板状半導体部
品のランク判定との関連性を容易に確認することができ
る。これによって薄形板状半導体部品の製造において、
ランク低下の悪影響となる装置情報を見つけ、改善する
ことによって、より高品質の薄形板状半導体部品を製造
することができる。

【０１７７】また制御装置に装置情報を記憶する判定手
段とは別の管理機器を設置することを無くし、１つの手
段によって検査分類システム全体の管理を容易に行うこ
とができる。特に判定手段にパソコンを用いることによ
って、装置データの加工および表示を容易に行うことが
でき、利用者がシステム全体をさらに容易に管理するこ
とができる。

【０１７８】また本発明によれば、３つ以上の測定点を
用いて、開放電圧Ｖｏｃおよび短絡電流Ｉｓｃを求める
ので、測定結果を補正して正確な電圧電流特性を得るこ
とができる。また電気的ノイズなどによって異常な測定
結果である測定点が得られても、３つ以上の複数の測定
点を利用するので、異常な測定点を除いて正確な電圧電
流特性を得ることができる。

【０１７９】また本発明によれば、判定手段が最大測定
点を求め、最大点よりも予め設定される３つ以上の複数
の点から最大測定点まで隣り合う測定点同士の各差分を
比較することによって差分値が異常となる測定点を取り
除くことができる。したがって電気的ノイズなどによっ
て、異常な測定点が得られても、その異常な測定点を取
り除くことによって、より正確な近似曲線を得ることが
でき、正確な最大電力を得ることができる。

【０１８０】また本発明によれば、暗測定時に測定手段
が一部の範囲の電圧走査を行う。これによって電圧走査
を行う範囲を減少させることができ、電圧走査に費やす
時間を減少させることができる。これによって薄形板状
半導体部品の検査工程に費やす検査時間を減少させるこ
とができ、検査分類システムの単位時間あたりの検査分
類数を向上することができる。

【０１８１】また本発明によれば、ストック部に保持さ
れる複数の薄形板状半導体部品は、複数枚まとめられて
収納部に収納される。したがって一度の搬送動作によっ
て複数枚の薄形板状半導体部品を収納部に同時に搬送す
ることができ、単位時間あたりの搬送量を増加させるこ
とができる。またストック部が保持する薄形板状半導体
部品が所定枚数を超えた場合に収納手段が搬送するの
で、一度に搬送する薄形板状半導体部品の枚数を一定に
することができ、収納部への収納を容易に行うことがで
きる。

【０１８２】また本発明によれば、収納部に収容される
薄形板状半導体部品が、所定枚数を超えた場合、検査分
類システムから払い出される。このとき薄形板状半導体
部品が収納されていない別の収納部が検査装置に取り付
けられることによって、収納手段は、新しく取り付けら
れた収納部に薄形板状半導体部品を収納することができ
る。これによって収納部に収納された薄形板状半導体部
品を取り出す作業は、収納手段の収納作業とは独立して
行うことができる。したがって収納部から薄形板状半導
体部品を取り出す作業が行われている間も、一時停止す
ることなく別の収納部に薄形板状半導体部品を収納する
ことができる。これによって収納手段が停止することな
く、収納動作を継続することができるので、薄形板状半
導体部品の単位時間あたりの搬送量を向上することがで
きる。

【０１８３】また本発明によれば、収納部ごと薄形板状
半導体部品を、次の製造工程に搬送することができる。
したがって収納部から別の箱に薄形板状半導体部品を移
し換える作業工程を省くことができる。また収納部によ
って薄形板状半導体部品を保護して、次工程に搬送する
ことができる。

【０１８４】また本発明によれば、搬送部から取り入れ
手段によって薄形板状半導体部品をストック部のバッフ
ァ部に一時的に収納することができるので、順次搬送さ
れる薄形板状半導体部品を収納部に収納する動作と搬送
部から薄形板状半導体部品を取り出す動作とを同時に行
うことができる。これによって薄形板状半導体部品を収
納部に収納する動作にかかわらず搬送部から薄形板状半
導体部品を取り出すことができる。したがって収納手段
および取り入れ手段を停止させることなく、薄形板状半
導体部品を収納部に収納することができ、装置の稼働率
を向上することができる。

【０１８５】さらにストック部２４が、バッファ部と一
時収容部とを有し、バッファ部から一時収容部に第２の
搬送手段によって搬送する。したがって取り入れ手段が
薄形板状半導体部品をストック部に取り入れる部分と、
収納手段が薄形板状半導体部品をストック部から取り出
す部分とを異なる位置に設けることができるので、収納
手段と取り入れ手段とが接触することを防止することが
できる。

【０１８６】これによって薄形板状半導体部品の搬送手
段による搬送を連続して円滑に行うことができる。

【０１８７】また本発明によれば、薄形板状半導体部品
を積載して収納する場合に比べて、接触する面積が少な
く、厚み方向側の面が損傷する可能性を少なくすること
ができるので、薄形板状半導体部品が損傷することを防
止することができる。

【０１８８】また本発明によれば、バッファ部から一時
収納部へ搬送するときに過負荷検出手段が設けられるの
で、過負荷時には、即座に第２の搬送手段を停止し、搬
送時の薄形板状半導体部品の破損を防止することができ
る。

【０１８９】また本発明よれば、薄形板状半導体部品を
反転する手段と搬送する手段とに分かれているのでより
確実に薄形板状半導体部品を搬送および反転することが
できる。

【０１９０】また本発明によれば、薄形板状半導体部品
を収納部へ搬送するハンドは複数同時に搬送するので、
収納動作時間を短縮することができ、装置の稼動率を向
上することができる。またハンドは、立位状態に収納さ
れる薄形板状半導体部品を、立位状態に保持して搬送す
るので複雑な動作を必要とせず、容易かつ確実に収納部
に搬送することができ、短時間かつ容易に収納部に薄形
板状半導体部品を立位状態で収納部に納めることができ
る。

【０１９１】また本発明によれば、薄形板状半導体部品
を一対の保持部材に倒立状態で乗載して、バッファ部か
ら収納部に搬送するので、薄形板状半導体部品の表面を
損傷することなく搬送することができる。また多数の薄
形板状半導体部品を積載して搬送する場合に比べて一つ
の薄形板状半導体部品にかかる負荷を少なくして搬送す
ることができる。したがって、薄形板状半導体部品を損
傷することなく搬送することができる。

【０１９２】また本発明によれば、収納部には、緩衝材
が設けられるので、収納している薄形板状半導体部品が
衝撃によって破損する可能性を低下させることができ
る。

【０１９３】また本発明によれば、収納部および仕切部
材によって、薄形板状半導体部品を保持しかつ、充分な
隙間が形成されるので、自動および手動の両方において
薄形板状半導体部品の収納および取り出しが容易に行う
ことができる。すなわち、ハンドの稼働範囲が充分に確
保され、薄形板状半導体部品の収納および取り出しが高
速で行えるとともに、薄形板状半導体部品にハンドが接
触することによる破損が低減される。

【０１９４】また本発明によれば、収納部から別の箱に
薄形板状半導体部品を移し換える作業工程を省略するこ
とができる。したがって作業時間を短縮して次工程に移
ることができる。

【０１９５】また本発明によれば、搬送ステージの移動
する距離が短くして、搬送ステージの動作時間を短縮す
ることができる。したがって、搬送ステージのサイクル
動作を短縮して、単位時間当たりに搬送できる薄形板状
半導体部品を多くすることができ、装置の稼動率を向上
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態である薄形板状半導体部
品の検査分類システム２０を示すブロック図である。

【図２】検査分類システム２０の搬送動作を示すフロー
チャートである。

【図３】検査分類システム２０の主要な部分を示す斜視
図である。

【図４】検査分類システムに搬送される太陽電池セル３
０の動きを示すフローチャートである。

【図５】検査装置２１の構成を示すブロック図である。

【図６】テスタ２７の測定回路を簡略化して示す回路図
である。

【図７】テスタ２７の測定回路を簡略化して示す他の回
路図である。

【図８】太陽電池セル３０のランク判定の流れを示すブ
ロック図である。

【図９】検査装置２１の太陽電池セル３０の検査の流れ
を示す図である。

【図１０】テスタ２７によって得られた測定点を基にし
た、太陽電池セル３０の電圧電流特性を示すグラフであ
る。

【図１１】パソコン２８が最大出力Ｐｍを算出する手順
を示すフローチャートである。

【図１２】表３の電圧と電流との関係を示すグラフであ
る。

【図１３】擬似太陽光が照射されていない状態での電圧
電流特性を示すグラフである。

【図１４】ストック部２４を示す正面図である。

【図１５】一時収納部３３を示す斜視図である。

【図１６】ハンド５８を示す正面図である。

【図１７】搬送ロボットのハンド５８の取り出し動作を
示す正面図である。

【図１８】ハンド５８の収納動作を示すフローチャート
である。

【図１９】収納部２３の形状を示す平面図である。

【図２０】ハンド５８による収納動作を示す平面図であ
る。

【図２１】図２０の断面図である。

【図２２】搬送ステージ８３のウォーキング搬送動作を
示す概略図である。

【図２３】従来の技術の太陽電池セル１０の検査分類シ
ステム１を示す概略図である。

【図２４】収納部６に収納される太陽電池セル１０の動
作を示すフローチャートである。

【図２５】太陽電池セル１０の動きを説明する検査分類
システム１の斜視図である。

【図２６】従来の検査分類システムにおいて搬送される
太陽電池セル１０の動きを示すフローチャートである。

【図２７】従来の通い箱７を示す平面図である。

【図２８】従来のランク判定の流れを示すブロック図で
ある。

【図２９】テスタ１０１からの生データ１０５に基づい
て算出した、電圧電流特性を示すグラフである。

【図３０】パソコン１０２が最大出力Ｐｍを算出する手
順を示すフローチャートである。

【図３１】テスタ１０１によって得られた太陽電池セル
の電圧電流特性を示すグラフである。

【図３２】表１の電圧と電流との関係を示すグラフであ
る。

【図３３】擬似太陽光が照射されていない状態での電圧
電流特性を示すグラフである。

【図３４】表２の電圧と電流との関係を示すグラフであ
る。

【図３５】従来の搬送ステージ１３のウォーキング搬送
動作を示す概略図である。

【符号の説明】

２０薄形板状半導体部品の検査分類システム２１検査装置２２第１の搬送手段２３収納部２４ストック部２５搬送部３１バッファ部３２スライド部３３一時収納部３４取り入れ手段３５収納手段３６スライドユニット３７反転手段３００分類装置

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０１Ｒ 31/26 Ｇ０１Ｒ 31/26 ＦＨ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 ＡＦターム(参考） 2G003 AA05 AA10 AB01 AF06 AG11 AH01 AH04 3F022 AA08 EE01 EE05 FF01 LL15 MM03 MM13 MM17 NN26 QQ07 QQ12 3F079 AD06 AD17 CA37 CB21 DA25 DA30 DA33 EA06 EA16 5F031 CA02 CA05 DA17 FA01 FA02 FA18 FA20 MA33 PA03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】薄形板状半導体部品を検査してランクを
判定する検査装置と、検査装置によって判定されたラン
クに基づいて、薄形板状半導体部品を対応する収納部に
分類して収納する分類装置と、前記検査装置と前記分類
装置とを統括的に制御する制御装置とを有する薄形板状
半導体部品の検査分類システムであって、検査装置は、薄形板状半導体部品を測定する測定手段
と、測定結果に基づいてランクを判定する判定手段とを
有し、分類装置は、収納部ごとに設けられ、収納前の薄形板状半導体部品を
保持するストック部と、測定後の薄形板状半導体部品を、検査装置によって判定
されたランクに対応するストック部に取り入れる取り入
れ手段とストック部に保持された薄形板状半導体部品を
収納部に収納する収納手段とを有することを特徴とする
薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項２】前記判定手段は、制御装置と測定手段と
に電気的に接続され、制御装置から測定実施命令が入力されると、測定実施命
令を測定手段に出力し、測定手段から薄形板状半導体部品の測定結果が入力され
ると、測定結果からランクを判定し、そのランク判定の
結果を制御装置に出力することを特徴とする請求項１記
載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項３】前記判定手段は、前記測定手段から得ら
れる測定結果と、検査分類システムの装置情報とを記憶
および管理し、前記測定結果に基づいて、薄形板状半導
体部品のランクを判定することを特徴とする請求項１ま
たは２記載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項４】薄形板状半導体部品は太陽電池セルであ
って、前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、
測定結果として３つ以上の測定点を得て、前記判定手段は、前記３つ以上の測定点に基づいて、電
圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電圧軸との交
点を開放電圧値Ｖｏｃとすることを特徴とする請求項１
〜３のいずれか１つに記載の薄形板状半導体部品の検査
分類システム。
【請求項５】薄形板状半導体部品は太陽電池セルであ
って、前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、
測定結果として３つ以上の測定点を得て、前記判定手段は、前記３つ以上の測定点に基づいて、電
圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電流軸との交
点を短絡電流値Ｉｓｃとすることを特徴とする請求項１
〜４のいずれか１つに記載の薄形板状半導体部品の検査
分類システム。
【請求項６】薄形板状半導体部品は太陽電池セルであ
って、前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、
測定結果として複数の測定点を得て、前記判定手段は、前記複数の測定点の中から電圧値と電
流値との積が最大である最大測定点を求め、最大測定点近傍の複数の測定点のうち、各測定点の差分
値に基づいて異常な測定点を判別し、この異常な測定点
を除去した残りの測定点から近似曲線を求め、近似曲線
上の電圧値と電流値とが最大となる位置を最大電力Ｐｍ
とすることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに
記載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項７】薄形板状半導体部品は太陽電池セルであ
って、前記測定手段は、光を照射しない暗測定時に、予
め定める電圧の近傍で電圧走査を行い、電圧電流測定を
行うことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記
載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項８】各ストック部は複数枚の薄形板状半導体
部品を保持し、ストック部が保持する薄形板状半導体部
品が所定枚数を超えた場合、複数の薄形板状半導体部品
は、収納手段によってまとめて収納部に収納されること
を特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の薄形
板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項９】前記収納部は、検査分類システムから着
脱可能に設けられ、前記収納部に収容される薄形板状半
導体部品が所定枚数を超えた場合、検査分類システムか
ら払い出されることを特徴とする請求項１〜８のいずれ
か１つに記載の薄形板状半導体部品の検査分類システ
ム。
【請求項１０】所定枚数の薄形板状半導体部品が収容
されて払い出された収納部が、同一ランクの薄型板状半
導体部品をまとめて次の工程に搬送するための箱として
用いられることを特徴とする請求項９記載の薄型板状半
導体部品の検査分類システム。
【請求項１１】前記分類装置は、検査後の薄形板状半
導体部品を一時的に保持する搬送部と、検査装置から搬送部に順次搬送する第１の搬送手段とを
有し、前記ストック部は、収納部毎に設けられ、収納前の薄形
板状半導体部品を保持するバッファ部と、バッファ部と収納部との間に設けられ、収納前の薄形板
状半導体部品を一時的に収納する一時収納部と、バッファ部から一時収納部へ薄形板状半導体部品を搬送
する第２の搬送手段と、一時収納部から収納部へ薄形板状半導体部品を収納する
収納手段とを備えることを特徴とする請求項１〜１０の
いずれか１つに記載の薄形板状半導体部品の検査分類シ
ステム。
【請求項１２】薄形板状半導体部品は、略鉛直な立位
状態で収納部に収納されることを特徴とする請求項１〜
１１のいずれか１つに記載の薄形板状半導体部品の検査
分類システム。
【請求項１３】前記第２の搬送手段には、薄形板状半
導体部品に所定以上の負荷がかかったことを検出する過
負荷検出手段が設けられることを特徴とする請求項１１
または１２記載の薄形板状半導体部品の検査分類システ
ム。
【請求項１４】前記一時収納部は、薄形板状半導体部
品を水平状態から立位状態に反転させる反転手段を有す
ることを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１つに
記載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項１５】前記収納手段は、反転手段によって立
てられた複数の薄形板状半導体部品を立位状態で保持
し、収納部へ搬送するハンドを有することを特徴とする
請求項１４記載の薄形板状半導体部品の検査分類システ
ム。
【請求項１６】前記ハンドは、立位状態にある薄形板
状半導体部品に平行に配置される側壁と、この側壁の底
部に略垂直に連なる底壁とを有する一対の保持部材を有
し、この保持部材を立位状態にある薄形板状半導体部品
の両側に配置し、互いに近接させて薄型板状半導体部品
の下に底壁を配置させ、ハンドを上昇させることによっ
て、薄形板状半導体部品を立位状態に保持して搬送する
ことを特徴とする請求項１５記載の薄形板状半導体部品
の検査分類システム。
【請求項１７】前記収納部には、上部に開口が形成さ
れ、底部には弾発性を有する緩衝部材が設けられること
を特徴とする請求項１〜１６のいずれか１つに記載の薄
形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項１８】前記収納部の両側壁には、上下方向に
伸び、薄形板状半導体部品を立位状態に保持する複数対
の支持部材が設けられ、前記緩衝部材は収納部の底部両
側に配置され、底部中央に溝が設けられることを特徴と
する請求項１７記載の薄形板状半導体部品の検査分類シ
ステム。
【請求項１９】前記収納部は、次工程に薄形板状半導
体部品を搬送するための箱として用いられることを特徴
とする請求項１〜１８のいずれか１つに記載の薄形板状
半導体部品の検査分類システム。
【請求項２０】前記第１の搬送手段または前記第２の
搬送手段は、前ステージと後ステージと、薄形板状半導
体部品を乗載し、前ステージから後ステージへ搬送する
搬送ステージとを備え、搬送ステージは、前ステージの下から上昇することによ
って前ステージ上から搬送ステージ上に薄形板状半導体
部品を移し換え、前ステージ上から後ステージ上へ移動
し、後ステージの上方から下方に、搬送ステージが下降
することによって、搬送ステージ上から後ステージ上に
薄形板状半導体部品を移し換え、後ステージの下方から
前ステージの下方に移動するとき、前ステージ側へ移動
するにつれて下方に傾斜するように移動することを特徴
とする請求項１１〜１９のいずれか１つに記載の薄形板
状半導体部品の検査分類システム。