JP2002156642A - 液晶表示装置とその製造方法及び液晶表示方法 - Google Patents

液晶表示装置とその製造方法及び液晶表示方法

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JP2002156642A
JP2002156642A JP2000349292A JP2000349292A JP2002156642A JP 2002156642 A JP2002156642 A JP 2002156642A JP 2000349292 A JP2000349292 A JP 2000349292A JP 2000349292 A JP2000349292 A JP 2000349292A JP 2002156642 A JP2002156642 A JP 2002156642A
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Koichi Matsumoto
公一 松本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】開口率を低下させることなく、印加電圧の低い
中間調領域における液晶の応答を向上させることができ
る液晶表示装置とその製造方法及び液晶表示方法の提
供。 【解決手段】TFT基板1に、互いに略直交する複数の
ゲート線2及び複数のデータ線6と、マトリクス状に配
設されたTFT5と、ゲート線2とデータ線6とで囲ま
れた各々の画素に、画素の略中心を通りゲート線2の長
手方向に延びる画素電極基部7aからデータ線6の方向
に櫛歯状に延びる画素電極7と、画素電極基部7aと重
なるように形成された共通電極配線3aから櫛歯状に延
びる共通電極3とを備え、共通電極配線3a上に各々の
画素を分断する仕切り9を設け、この仕切り9が表示領
域上でジグザグ状に配設されて2つの閉じた領域を形成
し、各々の領域に誘電率異方性の異なる液晶17を注入
することにより、印加電圧の低い中間調領域における応
答の改善を図る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、動画対応の液晶表
示装置とその製造方法及び液晶表示方法に関する。
【0002】
【従来の技術】薄膜トランジスタ(以下、TFTと略記
する)を画素のスイッチング素子として用いるアクティ
ブマトリクス型液晶表示装置は、高品位の画質を有し、
省スペースのデスクトップコンピュータのモニター等と
して幅広く用いられている。一般に、液晶表示装置の動
作モードには、配向した液晶分子のダイレクタの方向を
透明基板に対して垂直な方向に回転させるツイステッド
・ネマティック(Twisted Nematic:TN)方式と、透
明基板に対して平行な方向に回転させるIPS(In-Pla
ne Switching)方式とがある。
【0003】以下、IPS方式の液晶表示装置を例に挙
げて説明する。IPS方式の液晶表示装置は、TFT基
板上に櫛歯状で互いに平行な画素電極と共通電極とを交
互に形成し、これらの電極間に電圧を印加して基板面に
平行な電界を形成することにより、液晶のダイレクタの
向きを変化させることによって透過光量を制御するもの
である。この表示方式ではダイレクタが基板面内で回転
するため、TN方式の場合のようにダイレクタの方向か
ら見たときと基板法線方向から見込んだときで透過光量
と印加電圧との関係が大きく異なってしまうといった問
題は発生せず、非常に広い視角から見て良好な画像を得
ることができる。
【0004】このようなIPS方式では、液晶層をホモ
ジニアス配向とし、互いに偏光軸が直交する2枚の偏光
板で液晶層をはさみ、一方の偏光軸を液晶分子の配向方
向に等しく設定することにより電圧無印加状態で黒表示
とし、画素電極と共通電極との間の電圧印加により液晶
分子を電界の向きにツイスト変形させて白表示とするも
のが一般的であり、この方法は黒表示時の輝度を安定し
て低くすることができることから広く用いられている。
【0005】ここで、従来の液晶表示装置の構造につい
て、図16を参照して説明する。図16は、従来のIP
S液晶表示装置の構造を示す図であり、(a)は平面
図、(b)は(a)のD−D′線における断面図であ
る。従来の液晶表示装置は、TFTが形成されるTFT
基板1とカラーフィルター(Color filter:CF)が形
成されるCF基板11とその間に狭持される液晶17と
で構成され、TFT基板1には、ゲート線2、データ線
6が略直交して形成され、これらの交差部にTFT5が
配置され、各画素には互いに平行な画素電極7及び共通
電極3が交互に形成されている。また、CF基板11上
には、余分な光を遮光するためのブラックマトリクス1
2とRGB3色のカラー表示を行うための色層13とこ
れらを覆う平坦化膜14とが形成されている。
【0006】そして、TFT基板1及びCF基板11の
表面には配向膜18が塗布され、両基板の間には画素電
極7の長手方向に所定の角度をもってホモジニアス配向
された液晶17が狭持されている。また、両基板の外側
には、偏光板16a、16bが貼付され、両偏光板の偏
光軸は互いに直交し、一方の偏光軸は液晶17の配向方
向に平行に設定される。そして、TFT5を介して画素
電極7に電位を与え、画素電極7と共通電極3との間に
電位差を生じさせて横電界を与えることにより、液晶1
7を基板に平行な面内でツイスト変形させて表示を制御
している。
【0007】一般に液晶表示装置では、画素電極7と共
通電極3との間に電圧を印加するか/しないかの状態
(印加電圧のON/OFF状態という)において、各々
の液晶分子が互いに独立して回転するものではなく、互
いの分子が弾性特性に基づいて影響を及ぼしあい、一つ
の液晶分子の回転に引きずられて他の液晶分子が回転す
ることにより液晶分子の集団がツイスト変形する。すな
わち、印加電圧のON/OFFに際し、広がり、ねじ
れ、曲がりのそれぞれの歪みに対して弾性定数に応じた
弾性力が作用して変形するものであるが、TFT基板1
とCF基板11に狭持された液晶17は、基板との界面
において各々の基板に接することで固定されていると物
理的にとらえることができるため、基板界面の液晶と弾
性的に繋がっている両基板間内部の液晶の回転が阻害さ
れてしまう。その結果、応答が遅延し、動画を表示しよ
うとしても正しい画像を表示できないという問題があ
る。
【0008】この問題について、図17乃至図19を参
照して説明する。図17は、液晶分子の回転の様子を模
式的に示す図であり、(a)はTFT基板1に形成され
る画素電極7と共通電極3間の液晶17の状態を、
(b)は、TFT基板1とCF基板11間に狭持された
液晶17の状態を示している。また、図18は、画素電
極7と共通電極3間の電圧のON/OFFに対する液晶
の応答を示す図であり、図19は、パネル透過率及び応
答の印加電圧依存性を示す図である。
【0009】図17(a)に示すように、電圧無印加状
態において、液晶分子は画素電極7及び共通電極3の長
手方向に対して角度θだけ傾いた方向に初期配向されて
おり、電圧の印加によって電界の方向(図の場合は時計
回り)に回転する。この液晶分子の挙動を液晶パネルの
断面方向から見ると、(b)に示すように、電圧が印加
されていない初期状態では、TFT基板1からCF基板
11に至る全ての領域で液晶分子は角度θだけ傾いた初
期配向方向を向いており、電圧が印加されると電界の方
向に回転しようとする。しかしながら、TFT基板1と
CF基板11とが液晶と接する界面では、液晶は基板に
固定されているため自由に回転することができず、この
領域の液晶分子の影響により両基板間の液晶層内部の回
転を阻害するような弾性力が作用してしまい、結果的に
液晶は電界強度と基板からの距離に応じた角度に回転
し、図のような回転角度が連続的に変化する分布とな
る。
【0010】この液晶の弾性特性と応答との関係につい
て図18を参照して説明すると、電圧を印加しない黒表
示状態から画素電極7と共通電極3間に電圧を印加する
と、液晶は上述した弾性特性に基づいて徐々に回転し、
やがて透過率が最大の白表示状態となる。そして、電圧
をOFFにすると、液晶は徐々に初期配向状態に戻り、
やがて黒表示状態となる。電圧をONにしたときの透過
率が10%から90%に上昇するまでの時間をτon、電
圧をOFFにしたときの透過率が90%から10%に低
下するまでの時間をτoffとすると、液晶の応答はτon
+τoffで表される。
【0011】ここで、液晶の応答と粘度、セルギャップ
及び印加電圧との関係を考えると、液晶の粘度が大きく
なると液晶は回転しにくくなるため応答が遅くなり、セ
ルギャップが大きくなるとやはりすべての液晶分子が回
転するまでに時間がかかるため、応答は遅くなると考え
られる。また、液晶に印加する電圧が大きくなると液晶
には大きな電界が作用するために回転しやすくなり、応
答は早くなると考えられる。そこで、液晶の回転粘度を
γ1、セルギャップをd、液晶の弾性定数をk、印加電
圧をVとし、上記関係を定性的に表現すると、τonとτ
offは次のような関係を満たすことが知られている。
【0012】 τon ∝ (γ1・d2)/(π・k・V) …(1) τoff ∝ γ1・d2 …(2)
【0013】ここで、式2から分かるように、τoffは
印加電圧Vに依存せず、液晶の回転粘度γ1及びセルギ
ャップdによって一意的に決まるが、τonは印加電圧V
に反比例して変化する。すなわち、印加電圧Vの大きい
白表示状態においては、式1の分母が大きくなり応答は
早くなるが、印加電圧Vの小さい中間調領域においては
分母が小さくなり、応答が遅くなるという問題が生じ
る。この印加電圧Vとパネル透過率及び応答との関係を
図示すると図19のようになる。一般的に白表示領域と
はパネル透過率が90%以上の領域をいい、透過率がそ
れより小さい領域を中間調領域というが、この中間調領
域、特に印加電圧が小さい領域における応答の改善を図
ることがIPS液晶表示装置にとって重要な課題であ
る。
【0014】そこで、このような中間調領域における応
答の改善を図る方法として、本願発明者は特願2000
−203559号において、画素電極7と共通電極3と
の間隔を1画素内で徐々に変化させ、所定の印加電圧に
対して電界が大きくなる領域と小さくなる領域とを混在
させて中間調領域の応答を改善する技術を開示してい
る。この方法について図20を参照して説明する。図2
0は、上記出願に記載した液晶表示装置の1画素の構造
を示す平面図である。
【0015】図20に示すように、上記出願では、交互
に配設される画素電極7と共通電極3とを各々屈曲する
ように形成し、かつ、互いの電極の屈曲角度を変える
(図では画素電極7の屈曲角度を共通電極3の屈曲角度
よりも大きく設定している)ことにより、1画素内で電
極間距離の小さい領域(画素電極7の凸部と共通電極3
の凹部との間)と距離の大きい領域(共通電極3の凸部
と画素電極7の凹部との間)を設け、電極間隔の小さい
領域では小さい電圧でも大きな電界が加わるようにする
ことにより、液晶の応答を早め、結果として中間調領域
における応答を改善している。
【0016】また、上記出願においては、各々の画素内
においてセルギャップが変化するようにTFT基板面又
はCF基板面に凹凸を設け、セルギャップの小さい領域
で式1及び式2のdを小さくすることによりτon、τof
fを小さくし、結果として中間調領域における応答を改
善する方法も記載されている。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】このように画素電極7
及び共通電極3の屈曲角度を変えたり、1画素内でセル
ギャップに広狭を持たせる等の工夫を施すことによって
中間調領域の応答を早めることはできるが、電極構造を
複雑にすると各々の画素における電極の占める面積が大
きくなり、開口率が低下してしまうという問題がある。
また、TFT基板面又はCF基板面に凹凸を設けてセル
ギャップを変化させると、凹凸の構造物を形成しなけれ
ばならず、製造工程が複雑になってしまうという問題が
生じる。
【0018】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであって、その主たる目的は、開口率を低下させるこ
となく、印加電圧の低い中間調領域における液晶の応答
を向上させることができる液晶表示装置及びその製造方
法を提供することにある。
【0019】
【問題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、マトリクス状に配列された多数の画素を
有する液晶表示装置において、前記画素は、各々性質の
異なる液晶からなる複数の領域を有するものである。
【0020】本発明の液晶表示方法は、マトリクス状に
配列された多数の画素に映像を表示する液晶表示装置に
おいて、液晶が狭持される電極間に与える電圧が同じで
ある場合に異なる応答速度の液晶を互いに異なる領域に
分けて表示するものである。
【0021】また、本発明は、一対の平行に対向する基
板と前記一対の基板間に狭持された液晶とを有し、一方
の基板には、互いに略直交する複数のゲート線及び複数
のデータ線と、前記ゲート線と前記データ線との交点近
傍に配設された薄膜トランジスタと、前記ゲート線と前
記データ線とで囲まれた各々の画素に、前記データ線の
長手方向に交互に延びる画素電極と共通電極とを備え、
前記画素電極と前記共通電極との間に印加する電圧によ
って、前記液晶を前記基板に略平行な面内で回転させる
IPS方式の液晶表示装置において、前記基板の法線方
向から見て、前記各々の画素を複数の領域に分断する仕
切りが、前記一対の基板の双方に当接するように形成さ
れ、前記複数の領域の各々に性質の異なる液晶が注入さ
れているものである。
【0022】本発明においては、前記画素電極及び前記
共通電極の各々に、前記1画素を分けるように画素内を
通り、前記ゲート線の長手方向に延びる基部を備え、前
記基板の法線方向から見て、前記仕切りが前記画素電極
の基部又は前記共通電極の基部の少なくとも一方と平行
に重なって形成されている構成とすることができる。
【0023】また、本発明においては、前記仕切りが、
前記基板の法線方向から見て、前記画素電極又は前記共
通電極の少なくとも一部と相重なるように、前記データ
線の長手方向に延びて形成されている構成とすることも
できる。
【0024】本発明の製造方法は、一対の対向する基板
の一側に、互いに略直交する複数のゲート線及び複数の
データ線と、前記ゲート線と前記データ線との交点近傍
に配置される薄膜トランジスタと、前記ゲート線と前記
データ線と囲まれた各々の画素に交互に配置される画素
電極及び共通電極とを形成し、前記一対の基板の間に液
晶を注入する液晶表示装置の製造方法において、前記一
対の基板の少なくとも一方に、前記基板の法線方向から
見て、前記各々の画素を複数の領域に分断する仕切りを
形成する工程と、前記一対の基板をシールによって貼り
合わせる工程と、前記仕切りによって分断された各々の
領域の前記シールに設けた注入孔から性質の異なる液晶
を各々注入する工程と、前記各々の注入孔を封止する工
程とを含むものである。
【0025】本発明においては、前記各々の画素におけ
る前記仕切りの長手方向を列方向、列方向に直交する方
向を行方向とした場合に、前記仕切りが、前記列方向に
相隣り合う前記画素間で互いに連結されて複数の直線状
の仕切り線を形成し、前記行方向に相隣り合う仕切り線
の両端部が、端部同士で交互に順次接続されて一筆書き
のジグザグ状となり、更に、一筆書きのジグザグ状とな
った仕切り線の両端が前記基板の外周に設けたシール部
に各々接続されて、前記仕切りと前記シール部とによっ
て閉じた2つの領域が形成され、前記2つの領域の各々
のシール部に設けられた注入孔より性質の異なる液晶を
各々注入する構成とすることができる。
【0026】また、本発明においては、前記2つの領域
の前記注入孔を、共に前記基板の一辺に設けて、前記2
つの領域に同時に液晶を注入することが好ましい。
【0027】また、本発明においては、前記性質の異な
る液晶を充填した各々の液晶皿を、所定の間隔をおいて
並設して前記液晶の注入を行う構成とすることができ、
前記液晶の混合物の成分比を、前記複数の前記液晶のフ
ロー粘度を略等しくするように調節して、前記液晶の注
入を行うことが好ましい。
【0028】また、本発明においては、前記性質の異な
る液晶とは、誘電率異方性の異なる液晶、屈折率異方性
の異なる液晶又は弾性特性の異なる液晶のいずれかであ
ることが好ましい。
【0029】本発明は上記構成により、各々の画素内に
誘電率異方性等の性質の異なる複数の液晶が配設される
ため、画素電極と共通電極との間の印加電圧が低い中間
調領域においても誘電率異方性の大きい液晶を注入した
領域で応答時間が短くなり、液晶表示装置全体で応答を
改善することができる。
【0030】
【発明の実施の形態】本発明に係る液晶表示装置は、そ
の好ましい一実施の形態において、マトリクス状に配列
された多数の画素に映像を表示する液晶表示装置におい
て、液晶が狭持される電極間に与える電圧が同じである
場合に異なる応答速度の液晶を互いに異なる領域に分け
て表示するものである。以下に、本発明の実施例につい
て詳細に説明する。
【0031】
【実施例】本発明に係る液晶表示装置は、TFT基板1
に、互いに略直交する複数のゲート線2及び複数のデー
タ線6と、マトリクス状に配設されたTFT5と、ゲー
ト線2とデータ線6とで囲まれた各々の画素に、画素の
略中心を通りゲート線2の長手方向に延びる画素電極基
部7aからデータ線6方向に櫛歯状に延びる画素電極7
と、画素電極基部7aと平行に重なるように形成された
共通電極配線3aから櫛歯状に延びる共通電極3とを備
え、例えば、共通電極配線3a又は画素電極基部7a上
に平行に重なるように各々の画素を分断する仕切り9を
設け、この仕切り9が表示領域上でジグザグ状に配設さ
れて2つの閉じた領域を形成し、各々の領域に性質の異
なる液晶17を注入することにより、印加電圧の低い中
間調領域における応答の改善を図るものであり、以下
に、図面を参照して説明する。
【0032】[実施例1]まず、本発明の第1の実施例
に係るIPS方式の液晶表示装置について、図1乃至図
14を参照して説明する。図1乃至図3は、第1の実施
例に係る液晶表示装置の構造を示す図であり、図1
(a)は1画素の平面図、(b)は(a)のA−A′線
における断面図である。図2は、隣り合う4つの画素に
液晶を注入した状態を示す平面図であり、図3は、液晶
パネル全体の構造を示す図である。また、図4乃至図9
は、本実施例に係る液晶表示装置のTFT側基板の製造
工程を模式的に示す図であり、(a)は平面図、(b)
は(a)のB−B′線、ゲート端子、ドレイン端子、C
−C′線における断面図である。また、図10は、液晶
の注入工程を模式的に示す図であり、(a)は斜視図、
(b)は断面図である。更に、図11乃至図14は、本
実施例の効果を示す図であり、図11は、印加電圧とパ
ネル透過率との相関、図12は、印加電圧と応答との相
関、図13及び図14は、各々の誘電率の液晶に対する
透過率及び応答特性を示す図である。
【0033】まず、図1を参照して、本実施例のIPS
液晶表示装置の構成について説明すると、本実施例の液
晶表示装置は、TFTを形成するTFT基板1とCFを
形成するCF基板11とその間に狭持される液晶17と
から構成され、TFT基板1側には、ゲート線2、デー
タ線6が略直交して形成され、これらの交差部にマトリ
クス状にTFT5が配置されて1画素が形成されてい
る。また、各画素には画素の略中心を通りゲート線2の
長手方向に延びる画素電極基部7aからデータ線6の方
向に延びる櫛歯状の画素電極7と、画素電極基部7aと
重なるように配設される共通電極配線3aからデータ線
6の方向に延びる櫛歯状の共通電極3とが形成されてお
り、画素電極7はTFT5のソース電極に接続されてい
る。そして、本実施例では、画素電極基部7a及び共通
電極配線3a上にゲート線2の長手方向に延びる仕切り
9が形成されている。
【0034】一方、CF基板11上には、ゲート線2、
データ線6上およびこれらと画素表示部との間の余分な
光を遮光するためのブラックマトリクス12、RGB3
色のカラー表示を行うための色層13、さらに色層13
を覆うように平坦化膜14が形成されている。
【0035】そして、これらのTFT基板1及びCF基
板11の表面には配向膜18が塗布され、両基板の間の
仕切り9によって分断された領域A及び領域Bには、各
々誘電率異方性の異なる2種類の液晶17がデータ線6
と所定の角度をなすようにホモジニアス配向されて狭持
されている。また、両基板の配向膜形成面と反対の面側
には、偏光板16a、16bが貼付され、両偏光板の偏
光軸は互いに直交し、一方の偏光軸は液晶17の配向方
向に平行になるように設定される。そして、全ての共通
電極3には、共通電極配線3aを通じて一定の共通電位
が供給されており、TFT5を介して画素電極7に電位
を供給し、画素電極7と共通電極3との間に横電界を与
えることにより、液晶17を基板に平行な面内でツイス
ト変形させて表示を制御している。
【0036】このように、本実施例の液晶表示装置で
は、共通電極配線3a又は画素電極基部7a上にゲート
線2の長手方向に延びる仕切り9が形成され、この仕切
り9によって各々の画素に領域A及び領域Bが形成さ
れ、この2つの領域A、Bに誘電率異方性の異なる液晶
を注入することにより、液晶の応答特性を変えることが
できる。例えば、誘電率の大きい液晶を注入した領域A
では、液晶の応答を早くすることができ、結果として中
間調領域における応答を改善することができる。
【0037】この効果について、以下に説明する。一般
的に、液晶が動き出すための最低電圧である閾値電圧V
thは、画素電極7と共通電極3との間隔Lと実効的なセ
ルギャップdと液晶17のツイスト変形弾性定数K22
と液晶17の誘電率異方性Δεと真空の誘電率ε0とπ
を用いて次のように表される。
【0038】 Vth=π・L/d×(K22/ε0Δε)1/2 ・・(3)
【0039】すなわち、電極間隔L及びセルギャップd
を一定とすると誘電率異方性Δεが大きいほど閾値電圧
Vthは小さくなり、液晶17は回転しやすくなる。本実
施例では、領域Aには誘電率異方性Δεが大きい液晶を
注入し、領域Bには誘電率異方性Δεの小さい液晶を注
入しているため、領域Bに比べて領域Aの液晶の閾値電
圧Vthは小さくなる。従って、電圧の小さい中間調領域
でも領域Aの液晶を回転させることができ、図13に示
すように透過率を大きく、かつ、図14に示すように応
答を早くすることができる。
【0040】応答時間(τon)に関して、図12に示す
ように、従来(白抜き四角)は全体的に応答時間が長
く、特に、印加電圧の低い中間調領域(3〜5V程度)
では液晶の弾性作用により応答が遅くなっていたが、本
実施例の構成(黒塗四角)では、誘電率異方性Δεの大
きい液晶を注入した領域AではVthを下げることができ
るため、液晶の応答を早くすることができ、特に、中間
調領域の応答の改善効果が大きく現れていることが分か
る。
【0041】パネル透過率に関しては、図11に示すよ
うに、1種類の液晶(Δε8)のみで構成される従来例
(白抜き四角)では印加電圧の低い中間調領域(3〜5
V程度)では液晶の回転が阻害されるためパネル透過率
が小さくなり、高い印加電圧(約6.0V)で透過率が
ピークとなるが、本実施例の構成(黒塗四角)では、画
素内に2種類の液晶(Δε8及びΔε13)が注入され
ており、領域Aの液晶(Δε13)は誘電率が大きくV
thが小さいため、図13に示すように中間調領域でも液
晶を回転させることができ、パネル透過率を大きくする
ことができる。また、パネル透過率のピークも低電圧側
(約5.4V)にシフトさせることができ、液晶表示装
置の低駆動電圧化を図ることができるという効果もあ
る。
【0042】なお、図11及び図12のデータ取得に際
して、液晶のパラメータとしては、Δn(屈折率異方
性)=0.076、γ1(液晶の回転粘度)=133
(mPa・s)、K11(液晶のスプレイ変形弾性定
数)=8.9(PN)、K22(液晶のツイスト変形弾
性定数)=6.1(PN)、K33(液晶のベント変形
弾性定数)=13.6(PN)を用いて計算を行った。
また、図13及び図14には参考として誘電率異方性Δ
εが8、11、13の各々の液晶について、セルギャッ
プ4.5μm、電極間隔10μm、電極幅4μmの条件
の下での印加電圧と相対透過率及びτonとの相関を示し
ており、図から分かるように、誘電率異方性が大きくな
ると、透過率のピークが低電圧側にシフトし、応答時間
も短くなることが分かる。
【0043】次に、このような液晶表示装置のTFT基
板の製造方法について、図4乃至図9を参照して説明す
る。まず、図4(a)に示すように、TFT基板1上に
Cr等の金属をスパッタ法等により堆積した後、レジス
トを塗布し、公知のフォトリソグラフィー技術を用いて
露光、現像を行い、所定の形状のレジストパターンを形
成する。そして、このレジストパターンをマスクとして
露出したCrをエッチング除去し、ゲート電極2と共通
電極配線3a及び共通電極3を形成する。このとき、共
通電極配線3aは画素の中央を横断するように形成し、
共通電極配線3aからデータ線6の長手方向に櫛歯状の
共通電極3が形成されるようにする。なお、本実施例で
は共通電極3を複数の屈曲部を有する形状としている
が、共通電極3の形状は屈曲形状に限定されるものでは
なく、直線的に延びる形状でもよい。図4(b)は、図
4(a)のB−B′部とC−C′部の両断面と、図4
(a)には図示しないTFT基板外周部に形成されるゲ
ート端子部とドレイン端子部とを図示している。
【0044】次に、図5に示すように、シリコン酸化膜
4a等の絶縁膜をCVD法等を用いて堆積した後、シリ
コン窒化膜4b、非晶質シリコン(a−Si)5a及び
n型非晶質シリコン(n+a−Si)5bをプラズマC
VD法等を用いて連続して成膜し、その上に形成したレ
ジストパターンをマスクとしてドライエッチングを行
い、露出したa−Si5a及びn+a−Si5bを除去
してTFT5の半導体層を形成する。
【0045】次に、図6に示すように、Cr等の金属を
スパッタ法等を用いて堆積した後、所定の形状のレジス
トパターンを形成し、このレジストパターンをマスクと
してウェット及びドライエッチングを行い、データ線
6、ソース/ドレイン電極、画素電極7を形成する。こ
こで、画素電極7は共通電極配線3a上に設けた画素電
極基部7aから共通電極3と交互に櫛歯が延びるように
形成している。
【0046】この画素電極基部7aは共通電極配線3a
と相重なるように形成することが好ましく、相重なるよ
うに形成することにより、基板の法線方向から見た電極
の占有面積を小さくすることができ、開口率を極力大き
くすることができる。また、画素電極7は共通電極3と
同様に複数の屈曲部を有する形状としているが、画素電
極7はこの形状に限定されるものではなく、直線的に延
びる形状としても良い。その後、図6(b)のB−B′
断面図に示すように、Crからなるソース/ドレイン電
極をマスクとしてチャネルドライエッチングを行い、T
FT5領域の露出したn+a−Si5bを除去する。
【0047】次に、図7に示すように、シリコン窒化膜
等からなるパッシベーション膜8をプラズマCVD法等
を用いて堆積し、その上に形成したレジストパターンを
マスクとして、ゲート端子及びドレイン端子のパッシベ
ーション膜8、ゲート端子のシリコン窒化膜4b及びシ
リコン酸化膜4aをウェット又はドライエッチングによ
り除去し、ゲート端子及びドレイン端子の金属膜を露出
させる。
【0048】そして、図8に示すように、ITO(Indi
um Thin Oxide)等をスパッタ法等を用いて堆積した
後、所定のレジストパターンを形成し、これをマスクと
して露出したITOをウェットエッチングにより除去
し、ゲート端子及びドレイン端子の露出した金属膜上に
ITOからなる電極端子10を形成する。その後、所定
の条件でアニールを行う。
【0049】従来のTFT基板1の製造方法では次に配
向膜18を塗布するが、本実施例では、更に、画素領域
を共通電極配線3a又は画素電極基部7a上で分断する
仕切り9を形成することを特徴としており、図9に示す
ように、柱材料として用いるアクリル系樹脂等の絶縁性
の樹脂を基板全面に所定の膜厚で堆積し、共通電極配線
3a(画素電極基部7a)上に重なって所定の幅で樹脂
が残るようにエッチングして仕切り9を形成する。そし
て、この仕切り9を焼成により固化した後、TFT基板
1とCF基板11に配向膜18を塗布し、両基板を張り
合わせる。
【0050】ここで、この仕切り9は1画素内で液晶を
2つの領域に分断する目的で形成するため、その高さは
セルギャップよりもやや高くなるように設定し、両基板
の張り合わせの段階で多少潰されて両基板に当接させる
ことにより、後の工程で注入する2種類の液晶が混ざり
合うことを防ぐようにしている。また、この仕切り9の
幅は、開口率を低下させないために共通電極配線3a又
は画素電極基部7aからはみ出さず、かつ、所定の強度
を有する幅に設定することが好ましく、例えば、5μm
程度に設定することができる。
【0051】この仕切り9を、図2及び図3に示すよう
に、ゲート線2の長手方向に隣り合う画素間で連結する
ように形成し、かつ、液晶パネル22のゲート線2の方
向の端部で上下の仕切り9を左右交互につなげ合うこと
により、1本の連続した形状とすることができる。そし
て、この仕切り9の両端部を液晶パネル22の外周のシ
ール部23に接続することにより、各々の画素を分断す
る2つの閉じた領域(領域A及び領域B)が形成され
る。更に、各々の領域にシール部23に形成した液晶注
入孔20a、20bを設け、誘電率異方性等が異なる液
晶を注入することによって、図2及び図3に示すような
液晶表示装置が形成される。
【0052】なお、液晶の注入は、図10に示すよう
に、2つの液晶皿21a、21bを平行して設置して各
々の液晶皿21a、21bに誘電率異方性の異なる液晶
を満たし、液晶パネル22の2つの液晶注入孔20a及
び20bが各々の液晶に接するように液晶パネル22を
設置し、毛管現象を利用して液晶を吸い上げることによ
り行う。この液晶注入に際して、2つの液晶皿21a、
21bを所定の間隔をあけて設置することによって、各
々の液晶が液晶皿21a、21bと液晶パネル22との
隙間を伝って相混ざり合うことを防止することができ
る。
【0053】なお、本実施例では、1画素内で液晶17
を分断する仕切り9をTFT基板1側に形成する例につ
いて説明したが、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、1画素内で液晶17を分断するように仕切り
9を設ければよい。例えば、仕切り9をCF基板11
側、又は両方の基板に形成することもできる。仕切り9
の作り易さから考えるとCF基板11側に形成する方が
好ましいが、位置精度を高めるためにはTFT基板1側
に形成することが好ましく、液晶パネルの構造、画素サ
イズ等を勘案して適宜選択することができる。また、仕
切り9の材料として柱材料として用いるアクリル樹脂を
例に示したが、絶縁性、加工性、液晶表示装置の各構成
物との相性のよい材料であればどのような材料を用いて
も良いことは明らかである。
【0054】[実施例2]次に、本発明の第2の実施例
に係るIPS方式の液晶表示装置について、図15を参
照して説明する。図15は、第2の実施例に係る液晶表
示パネルの構造を示す図である。なお、本実施例は、仕
切り9の形状及び液晶の注入方法に関して記載するもの
であり、仕切り9の製造方法等は前記した第1の実施例
と同様である。
【0055】前記した第1の実施例では、仕切り9をゲ
ート線2方向に延在するように形成し、ゲート線2の長
手方向の端部において左右交互に連結し、液晶注入孔2
0a、20bを液晶パネル22の一辺に形成する構造に
ついて記載したが、本発明においては、仕切り9は各々
の画素を複数の領域に分断し、各々の領域に液晶を注入
することができる構造であればよい。そこで、本実施例
では、図15に示すように、仕切り9をデータ線6の長
手方向に延びるように形成し、液晶パネル22のデータ
線6の長手方向に各々ある対向する辺の各々に液晶注入
孔20a、20bを設けている。
【0056】このように、液晶注入孔20a、20bを
液晶パネル22の異なる辺に設けることにより液晶の注
入は2回に分けて行わなければならないが、液晶注入孔
20a、20bから各々の画素までの液晶の注入経路を
前記した第1の実施例よりも単純にすることができ、液
晶の注入が容易になるという効果がある。また、第1の
実施例では、2つの領域に同時に液晶を注入するため
に、各々の液晶の粘度が略等しいものを用いることが好
ましく、混合物の成分比等を調整することにより液晶の
粘度の均一化を図る方がよいが、本実施例では2つの液
晶の注入を別々の工程で行うために、各々の液晶の粘度
に差があっても良く、更に、粘度が大きい液晶を使用し
なければならない場合等は本構造の方が好ましい。
【0057】なお、第1及び第2の実施例に共通する事
項であるが、液晶の粘度が大きく注入が困難な場合に
は、液晶を加温して注入することもできる。一般的に、
液晶は温度が10℃上がるごとに粘度は0.7倍程度に
下がるものであり、例えば、液晶の温度を60〜70度
程度に加温すると、常温に比べて40℃程度の温度差が
生じるため、液晶の粘度も0.7の4乗、すなわち1/
4程度に下げることが可能であり、液晶の注入が非常に
容易になる。なお、液晶の温度が100℃以上になると
配向膜18から不純物がしみ出してしまう等の問題が生
じるため温度は100℃以下に設定しなければならな
い。
【0058】また、図3及び図15の構造では、各々の
画素を略等しい面積に等分するように仕切り9を形成し
たが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
特定の印加電圧領域の応答を早めたい場合には領域Aと
領域Bの面積を意識的に変えることもできる。その場
合、仕切りによって開口率が低下することを防止するた
めに、基板の法線方向から見て、仕切り9は画素電極7
又は共通電極3と相重なるように配置することが好まし
く、例えば、仕切り9をデータ線6の方向に延びるよう
に形成し、かつ、櫛歯状の画素電極7又は共通電極3と
相重なるように配置することが好ましい。
【0059】更に、上記第1及び第2の実施例では、領
域A及び領域Bに注入する特性の異なる液晶の例として
誘電率異方性の異なる液晶を記載したが、誘電率異方性
の他に、屈折率異方性や弾性特性等の異なる液晶を用い
ても同様の効果を得ることができる。また、仕切り9に
よって分離形成される領域も2つに限定されるものでは
なく、3つ以上の領域を形成しても良い。
【0060】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の液晶表示
装置の構成によれば、各々の画素に液晶を分断する仕切
りを設け、仕切りで分断された各々の領域に誘電率異方
性の異なる液晶を注入することによって、開口率を低下
させることなく、印加電圧の小さい中間調領域における
液晶の応答を早めて動画像を正しく表示することができ
る。また、液晶表示装置の低駆動電圧化を図ることもで
き、データ線を駆動するドライバに安価なものを用いる
ことができ、コストを低減できる。
【0061】また、複数の液晶注入孔を液晶パネルの一
辺に設けることにより液晶の注入を一度に行うようにす
れば、複数種の液晶を用いることによる工数の増加を抑
えることができる。更に、液晶を適度に加温することに
よって液晶の粘度を下げ、液晶の注入を容易にすること
ができ、本発明による製造コストの増加を抑えることも
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置の構
造を示す図であり、(a)は1画素の平面図、(b)は
(a)のA−A′線における断面図である。
【図2】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置の隣
接する4画素の平面図である。
【図3】本発明の第1の実施例に係る液晶表示パネルの
構造を示す平面図である。
【図4】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置のT
FT基板の製造方法を示す工程図であり、(a)は平面
図、(b)は断面図である。
【図5】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置のT
FT基板の製造方法を示す工程図であり、(a)は平面
図、(b)は断面図である。
【図6】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置のT
FT基板の製造方法を示す工程図であり、(a)は平面
図、(b)は断面図である。
【図7】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置のT
FT基板の製造方法を示す工程図であり、(a)は平面
図、(b)は断面図である。
【図8】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置のT
FT基板の製造方法を示す工程図であり、(a)は平面
図、(b)は断面図である。
【図9】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置のT
FT基板の製造方法を示す工程図であり、(a)は平面
図、(b)は断面図である。
【図10】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置の
液晶注入工程を模式的に示す図であり、(a)は斜視
図、(b)は断面図である。
【図11】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置の
効果を示す図であり、透過率の印加電圧依存性を示すも
のである。
【図12】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置の
効果を示す図であり、応答の印加電圧依存性を示すもの
である。
【図13】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置に
用いる液晶の透過率特性を示す図である。
【図14】本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置に
用いる液晶の応答特性を示す図である。
【図15】本発明の第2の実施例に係る液晶表示パネル
の構造を示す平面図である。
【図16】従来の液晶表示パネルの構造を示す図であ
り、(a)は平面図、(b)は(a)のD−D′線にお
ける断面図である。
【図17】従来の液晶表示装置の液晶の回転方向を示す
図であり、(a)は上面から見た図、(b)は断面方向
から見た図である。
【図18】液晶表示装置の応答を示す図である。
【図19】従来の液晶表示装置の透過率及び応答特性を
示す図である。
【図20】従来の液晶表示パネルの構造を示す平面図で
ある。
【符号の説明】
1 TFT基板 2 ゲート線 3 共通電極 4 層間絶縁膜 4a シリコン酸化膜 4b シリコン窒化膜 5 TFT 5a a−Si 5b n+a−Si 6 データ線 7 画素電極 8 パッシベーション膜 9 仕切り 10 端子電極 11 CF基板 12 ブラックマトリクス 13 色層 14 平坦化膜 15 導電膜 16a、16b 偏光膜 17 液晶 18 配向膜 19 開口部領域 20a 液晶注入孔 20b 液晶注入孔 21a 液晶皿 21b 液晶皿 22 液晶パネル 23 シール部

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】マトリクス状に配列された多数の画素を有
    する液晶表示装置において、前記画素は、各々性質の異
    なる液晶からなる複数の領域を有することを特徴とする
    液晶表示装置。
  2. 【請求項2】マトリクス状に配列された多数の画素に映
    像を表示する液晶表示装置において、液晶が狭持される
    電極間に与える電圧が同じである場合に異なる応答速度
    の液晶を互いに異なる領域に分けて表示することを特徴
    とする液晶表示方法。
  3. 【請求項3】一対の平行に対向する基板と前記一対の基
    板間に狭持された液晶とを有し、一方の基板には、互い
    に略直交する複数のゲート線及び複数のデータ線と、前
    記ゲート線と前記データ線との交点近傍に配設された薄
    膜トランジスタと、前記ゲート線と前記データ線とで囲
    まれた各々の画素に、前記データ線の長手方向に交互に
    延びる画素電極と共通電極とを備え、前記画素電極と前
    記共通電極との間に印加する電圧によって、前記液晶を
    前記基板に略平行な面内で回転させるIPS方式の液晶
    表示装置において、 前記基板の法線方向から見て、前記各々の画素を複数の
    領域に分断する仕切りが、前記一対の基板の双方に当接
    するように形成され、前記複数の領域の各々に性質の異
    なる液晶が注入されていることを特徴とする液晶表示装
    置。
  4. 【請求項4】前記性質の異なる液晶とは、誘電率異方性
    の異なる液晶、屈折率異方性の異なる液晶又は弾性特性
    の異なる液晶のいずれかであることを特徴とする請求項
    1又は3に記載の液晶表示装置。
  5. 【請求項5】前記画素電極及び前記共通電極の各々に、
    前記1画素を分けるように画素内を通り、前記ゲート線
    の長手方向に延びる基部を備え、前記基板の法線方向か
    ら見て、前記仕切りが前記画素電極の基部又は前記共通
    電極の基部の少なくとも一方と平行に重なって形成され
    ていることを特徴とする請求項3又は4に記載の液晶表
    示装置。
  6. 【請求項6】前記仕切りが、前記基板の法線方向から見
    て、前記画素電極又は前記共通電極の少なくとも一部と
    相重なるように、前記データ線の長手方向に延びて形成
    されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の液
    晶表示装置。
  7. 【請求項7】前記複数の領域の容積が略等しくなるよう
    に、前記仕切りが配設されていることを特徴とする請求
    項3乃至6のいずれか一に記載の液晶表示装置。
  8. 【請求項8】前記仕切りが、前記一対の基板のギャップ
    を定める柱と同一の材料又はアクリル系樹脂により形成
    されていることを特徴とする請求項3乃至7のいずれか
    一に記載の液晶表示装置。
  9. 【請求項9】一対の対向する基板の一側に、互いに略直
    交する複数のゲート線及び複数のデータ線と、前記ゲー
    ト線と前記データ線との交点近傍に配置される薄膜トラ
    ンジスタと、前記ゲート線と前記データ線と囲まれた各
    々の画素に交互に配置される画素電極及び共通電極とを
    形成し、前記一対の基板の間に液晶を注入する液晶表示
    装置の製造方法において、 前記一対の基板の少なくとも一方に、前記基板の法線方
    向から見て、前記各々の画素を複数の領域に分断する仕
    切りを形成する工程と、前記一対の基板をシールによっ
    て貼り合わせる工程と、前記仕切りによって分断された
    各々の領域の前記シールに設けた注入孔から性質の異な
    る液晶を各々注入する工程と、前記各々の注入孔を封止
    する工程とを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造
    方法。
  10. 【請求項10】前記各々の画素における前記仕切りの長
    手方向を列方向、列方向に直交する方向を行方向とした
    場合に、 前記仕切りが、前記列方向に相隣り合う前記画素間で互
    いに連結されて複数の直線状の仕切り線を形成し、前記
    行方向に相隣り合う仕切り線の両端部が、端部同士で交
    互に順次接続されて一筆書きのジグザグ状となり、更
    に、一筆書きのジグザグ状となった仕切り線の両端が前
    記基板の外周に設けたシール部に各々接続されて、前記
    仕切りと前記シール部とによって閉じた2つの領域が形
    成され、前記2つの領域の各々のシール部に設けられた
    注入孔より性質の異なる液晶を各々注入することを特徴
    とする請求項9記載の液晶表示装置の製造方法。
  11. 【請求項11】前記性質の異なる液晶とは、誘電率異方
    性の異なる液晶、屈折率異方性の異なる液晶又は弾性特
    性の異なる液晶のいずれかであることを特徴とする請求
    項9又は10に記載の液晶表示装置の製造方法。
  12. 【請求項12】前記2つの領域の前記注入孔を、共に前
    記基板の一辺に設けて、前記2つの領域に同時に液晶を
    注入することを特徴とする請求項9乃至11のいずれか
    一に記載の液晶表示装置の製造方法。
  13. 【請求項13】前記性質の異なる液晶を充填した各々の
    液晶皿を、所定の間隔をおいて並設して前記液晶の注入
    を行うことを特徴とする請求項9乃至12のいずれか一
    に記載の液晶表示装置の製造方法。
  14. 【請求項14】前記液晶の混合物の成分比を、前記複数
    の前記液晶のフロー粘度を略等しくするように調節し
    て、前記液晶の注入を行うことを特徴とする請求項9乃
    至13のいずれか一に記載の液晶表示装置の製造方法。
  15. 【請求項15】前記液晶を所定の温度に加温し、前記液
    晶のフロー粘度を下げた状態で前記液晶の注入を行うこ
    とを特徴とする請求項9乃至14のいずれか一に記載の
    液晶表示装置の製造方法。
  16. 【請求項16】前記液晶を略60〜70℃の温度に加温
    することを特徴とする請求項15記載の液晶表示装置の
    製造方法。
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