JP2002140982A - Manufacturing device of light emitting substrate for plasma display, and its manufacturing method - Google Patents
Manufacturing device of light emitting substrate for plasma display, and its manufacturing methodInfo
- Publication number
- JP2002140982A JP2002140982A JP2000334127A JP2000334127A JP2002140982A JP 2002140982 A JP2002140982 A JP 2002140982A JP 2000334127 A JP2000334127 A JP 2000334127A JP 2000334127 A JP2000334127 A JP 2000334127A JP 2002140982 A JP2002140982 A JP 2002140982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- coating liquid
- substrate
- coated
- plasma display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイ用発光基板の製造方法、および、プラズマディスプ
レイ用発光基板の製造装置に関するものである。特に、
赤色（以下、単にＲと言うこともある。）、緑色（以
下、単にＧと言うこともある。）、青色（以下、単にＢ
と言うこともある。）３色の蛍光体ペーストを吐出する
各々専用の塗布ヘッドを備える１台の塗布装置により塗
布ヘッドから吐出される蛍光体ペーストを被塗布基材上
の筋（ストライプ）状に形成された複数列の各凹部に
Ｒ、Ｇ、Ｂのペーストを塗布し、蛍光体層を形成するプ
ラズマディスプレイ用発光基板の製造方法、および、製
造装置の改良に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display and an apparatus for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display. In particular,
Red (hereinafter sometimes simply referred to as R), green (hereinafter sometimes simply referred to as G), blue (hereinafter simply referred to as B)
Sometimes I say. A) a plurality of rows of stripes of the phosphor paste discharged from the coating head by one coating device having a dedicated coating head for discharging the phosphor pastes of three colors on the substrate to be coated; The present invention relates to a method for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display in which a paste of R, G, and B is applied to each concave portion to form a phosphor layer, and an improvement of a manufacturing apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、被塗布基材の表面上に形成さ
れた凹部に、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色のペーストを塗布しカラ
ーフィルタを製造する製造方法としては、たとえば特開
平５−１４２４０７号公報に記載のようなものが知られ
ている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of manufacturing a color filter by applying pastes of three colors of R, G and B to concave portions formed on the surface of a substrate to be coated, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei. The one described in JP-A-142407 is known.
【０００３】しかし、特開平５−１４２４０７号公報に
記載の方法においては、塗布方向にずらして配設された
３色分のノズル（塗布ヘッド）からペーストを同時に吐
出するため、ノズルの配置のずれ分だけは各々の塗布開
始、塗布終了の位置がずれる。このため、画素パターン
形成領域外に塗布されたストライプ状塗液を塗布後に除
去する必要がある。そのために除去工程が増え、かつ高
価な蛍光体を有効に使用できないおそれがある。また、
各ノズルからの塗液の吐出開始、停止を各色の塗布開
始、終了の位置と連動させることもできるが、各色の塗
布開始・終了端を横一線（凹部配列方向）に揃えること
は不可能であるため、各色ごとの塗布状態が不均一にな
るおそれもある。また、塗液がかすれたり、点線状にな
る事を防ぐことが難しい。特に、プラズマディスプレイ
パネルではストライプ状に塗布された蛍光体層の開始、
終了端部が画素パターン形成領域内で横一線に揃わない
ことや、かすれたり、点線状に形成されることは品質に
悪影響を及ぼすおそれがある。However, in the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-142407, since the pastes are simultaneously ejected from nozzles (coating heads) of three colors which are arranged shifted in the coating direction, the nozzle arrangement is shifted. The position of the start of application and the end of application are shifted only by the amount. For this reason, it is necessary to remove the stripe-shaped coating liquid applied outside the pixel pattern formation region after application. Therefore, the number of removal steps increases, and there is a possibility that expensive phosphors cannot be used effectively. Also,
The start and stop of application of the coating liquid from each nozzle can be linked to the start and end positions of application of each color. However, it is impossible to align the start and end of application of each color in a horizontal line (concave arrangement direction). Therefore, there is a possibility that the application state of each color becomes non-uniform. In addition, it is difficult to prevent the coating liquid from being blurred or dotted. In particular, in the case of plasma display panels, the start of the phosphor layer coated in stripes,
If the end ends are not aligned in a horizontal line in the pixel pattern formation region, or are blurred or formed in a dotted line, the quality may be adversely affected.
【０００４】また、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の蛍光体ペースト
を塗布する塗布装置および方法としては、先に本出願人
により、特開平１１−２３９７４８手号公報、特開平１
１−２３９７４９号公報に記載の提案もなされている
が、これら提案にも改良の余地が残されている。A coating apparatus and a method for coating phosphor pastes of three colors of R, G and B have been disclosed by the present applicant in Japanese Patent Application Laid-Open Nos.
Although proposals described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-239749 have been made, there is still room for improvement in these proposals.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色の蛍光体ペーストを塗布するに際し、各色
の塗布開始・終了端を横一線（凹部配列方向）に一致さ
せ、各色の塗布状態を均一化できるとともに、塗液のか
すれや、塗液が点状に塗布される不都合を防止し、しか
も所定の凹部にのみ確実に塗液を塗布できるプラズマデ
ィスプレイ用発光基板の製造装置および製造方法を提供
することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to provide R,
When applying the phosphor pastes of three colors of G and B, the start and end of application of each color are aligned with a horizontal line (in the arrangement direction of the concave portions), so that the application state of each color can be made uniform, An object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a light emitting substrate for a plasma display, which can prevent a problem that a coating liquid is applied in a dot shape and can surely apply a coating liquid only to a predetermined concave portion.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のプラズマディスプレイ用発光基板の製造装
置は、気体空間、該気体空間に接する塗液貯留部、該塗
液貯留部に貯留された塗液を吐出する複数のノズル孔を
有する筐体からなる塗布ヘッド、設定圧に維持された圧
力を有する気体圧力源、該気体圧力源と前記気体空間と
を連通する気体圧力導通路、該気体圧力導通路に設けら
れ前記気体空間と気体圧力源とを連通、遮断する開閉手
段、前記ノズル孔に対向し、該ノズル孔から吐出される
塗液が塗布される複数列のストライプ状の凹部を表面に
有する被塗布基材、および、前記塗布ヘッドおよび／ま
たは被塗布基材を塗布方向に相対移動させる第１の移動
手段を備えた塗液の塗布装置において、前記塗布ヘッド
が、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）３色の蛍光体
ペーストからなる塗液それぞれに対応して塗布方向に配
設され、前記各塗布ヘッドまたは被塗布基材の塗布方向
への相対移動速度を制御する制御手段と、前記各塗布ヘ
ッドと被塗布基材の間隙を変更する第２の移動手段を設
けたことを特徴とするものからなる。In order to solve the above-mentioned problems, an apparatus for manufacturing a luminescent substrate for a plasma display according to the present invention comprises a gas space, a coating liquid storage part in contact with the gas space, and a coating liquid storage part in the coating liquid storage part. A coating head composed of a housing having a plurality of nozzle holes for discharging the coating liquid, a gas pressure source having a pressure maintained at a set pressure, a gas pressure conduction path communicating the gas pressure source with the gas space, Opening / closing means which is provided in the gas pressure conducting path and communicates and shuts off the gas space and the gas pressure source, a plurality of rows of stripes facing the nozzle hole and to which a coating liquid discharged from the nozzle hole is applied. In a coating liquid coating apparatus, the coating head includes a substrate to be coated having a concave portion on its surface, and / or a first moving unit that relatively moves the substrate to be coated and / or the substrate to be coated in a coating direction. (R), It is disposed in the coating direction corresponding to each of the coating liquids of the phosphor pastes of three colors (G) and blue (B), and controls the relative movement speed of each of the coating heads or the base material to be coated in the coating direction. And a second moving means for changing a gap between each of the coating heads and the substrate to be coated.
【０００７】上記各塗布ヘッドには、それぞれに被塗布
基材のストライプ状の凹部の中の代表となる凹部の中央
と、塗布ヘッドのノズル孔の中の代表となるノズル孔の
中央を一致させるための凹部中央検出手段と、塗布方向
に直交する方向に移動する塗布直角方向移動手段、およ
びその移動位置を制御する位置制御手段を設けることが
好ましい。上記凹部中央検出手段を設けることにより、
塗布ヘッドのノズル孔と凹部との中央の位置合せを正確
に制御することができるので、所定の凹部に対して所定
の一色の蛍光体ペーストを確実に塗布することができ
る。また、塗布直角方向移動手段を設ければ、凹部配列
方向に対する塗色パターンを変更することができる。In each of the coating heads, the center of a representative recess in the stripe-shaped recess of the substrate to be coated and the center of the representative nozzle hole in the nozzle holes of the coating head are matched. For detecting the center of the concave portion, a moving means in a direction perpendicular to the application direction moving in a direction perpendicular to the application direction, and a position control means for controlling the moving position. By providing the concave center detecting means,
Since the alignment of the center between the nozzle hole of the application head and the recess can be accurately controlled, it is possible to reliably apply the predetermined one color phosphor paste to the predetermined recess. In addition, if the application perpendicular direction moving means is provided, the application color pattern in the concave portion arrangement direction can be changed.
【０００８】上記代表となる凹部はその配列方向中央の
凹部であることが好ましい。また、上記代表となるノズ
ル孔はその配列方向中央の凹部であることが好ましい。
代表となる凹部およびノズル孔をそれぞれその配列方向
中央に設定すれば、配列方向端部における凹部の中央と
ノズル孔の中央との位置ずれを最小限に抑制することが
できる。It is preferable that the representative concave portion is a central concave portion in the arrangement direction. Preferably, the representative nozzle hole is a concave portion at the center in the arrangement direction.
If the representative concave portion and the nozzle hole are respectively set at the center in the arrangement direction, it is possible to minimize the displacement between the center of the concave portion and the center of the nozzle hole at the end portion in the arrangement direction.
【０００９】また、上記課題を解決するための、本発明
のプラズマディスプレイ用発光基板の製造方法は、気体
空間、該気体空間に接する塗液貯留部、該塗液貯留部に
貯留された塗液を吐出する複数のノズル孔を有する筐体
からなる塗布ヘッド、設定圧に維持された圧力を有する
気体圧力源、該気体圧力源と前記気体空間とを連通する
気体圧力導通路、気体圧力導通路に設けられ前記気体空
間と気体圧力源とを連通、遮断する開閉手段、前記ノズ
ル孔に対向し、該ノズル孔から吐出される塗液が塗布さ
れる複数列のストライプ状の凹部を表面に有する被塗布
基材、および、前記塗布ヘッドおよび／または被塗布基
材を塗布方向に相対移動させる第１の移動手段を備えた
塗液の塗布装置を用いて、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青
色（Ｂ）３色の蛍光体ペーストからなる塗液を塗布する
に際して、各蛍光体色に対応して塗布方向に別個に塗布
ヘッドを配設し、前記各塗布ヘッドを用いて、該各塗布
ヘッドと被塗布基材との相対移動速度を制御しながら塗
液を塗布し、該塗布前および塗布後において前記各塗布
ヘッドと被塗布基材の間隙を変更することを特徴とする
方法からなる。According to another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display, comprising: a gas space; a coating liquid storage portion in contact with the gas space; and a coating liquid stored in the coating liquid storage portion. Coating head composed of a housing having a plurality of nozzle holes for discharging air, a gas pressure source having a pressure maintained at a set pressure, a gas pressure conduction path communicating the gas pressure source with the gas space, and a gas pressure conduction path An opening / closing means for communicating and blocking the gas space and the gas pressure source provided on the surface thereof, and a plurality of rows of stripe-shaped concave portions opposed to the nozzle holes to which a coating liquid discharged from the nozzle holes is applied. Red (R), green (G) using a coating liquid coating apparatus including a substrate to be coated and a first moving unit that relatively moves the coating head and / or the substrate to be coated in a coating direction. , Blue (B) fireflies of three colors When applying the coating liquid composed of the body paste, a coating head is separately arranged in the coating direction corresponding to each phosphor color, and using each of the coating heads, the coating head and the base material to be coated are used. The method comprises applying a coating liquid while controlling the relative movement speed, and changing the gap between each of the coating heads and the substrate to be coated before and after the coating.
【００１０】また、上記各塗布ヘッドまたは被塗布基材
を塗布方向に移動する際には、はじめは低速で移動しな
がら塗液の吐出を開始し、その後、たとえば塗液の吐出
量等が安定した後に予め定められた移動速度に昇速し、
凹部の塗布終端部で塗液の吐出を停止した後、塗布ヘッ
ドと被塗布基材の相対移動を停止し、さらに塗布ヘッド
を被塗布基材から離間させることが好ましい。つまり、
凹部の塗布終端部で塗液の吐出を停止した後、塗布ヘッ
ドと被塗布基材の相対移動を停止することで、少なくな
った吐出ペーストを引きずることなく、望ましい位置に
終了端を形成できる。したがって、この停止位置でヘッ
ドからの塗液を完全に断ち切ることができ、その後にヘ
ッドが走行しても塗液が点状にたれ落ちることはない。
さらに、その後に、塗布ヘッドを被塗布基材から離間す
れば、塗布ヘッドと被塗布基材の間に残存するペースト
を引きちぎり、塗液のたれ等を防止することができる。
したがって、所定の凹部に対してのみ確実に塗液を塗布
することができる。When moving the coating head or the substrate to be coated in the coating direction, the coating liquid is first discharged while moving at a low speed, and thereafter, for example, the discharge amount of the coating liquid is stabilized. After that, the speed is increased to a predetermined moving speed,
After the discharge of the coating liquid is stopped at the coating end portion of the concave portion, it is preferable that the relative movement between the coating head and the substrate to be coated is stopped, and the coating head is further separated from the substrate to be coated. That is,
After the discharge of the coating liquid is stopped at the application end portion of the concave portion, the relative movement between the coating head and the substrate to be coated is stopped, so that the end end can be formed at a desired position without dragging the reduced discharge paste. Therefore, the coating liquid from the head can be completely cut off at the stop position, and the coating liquid does not drop in a dotted shape even if the head subsequently runs.
Further, thereafter, if the coating head is separated from the substrate to be coated, the paste remaining between the coating head and the substrate to be coated can be torn off, and dripping of the coating liquid can be prevented.
Therefore, it is possible to reliably apply the coating liquid only to the predetermined concave portion.
【００１１】また、塗布を開始する際には、予め代表と
なる凹部の中央と代表となるノズル孔の中央とを一致さ
せた後に、塗布ヘッドから塗液の吐出を開始することが
好ましい。When the application is started, it is preferable that the center of the representative recess is made to coincide with the center of the representative nozzle hole in advance, and then the application head starts discharging the coating liquid.
【００１２】上記塗布基材上には、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の
蛍光体ペーストが塗布されるが、本発明においては各色
毎に専用の塗布ヘッドが設けられているので、いずれか
１色の蛍光体ペーストの塗布が終了した後、塗布ヘッド
または被塗布基材を移動し、残りの蛍光体ペーストを順
次塗布すれば、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の蛍光体ペーストを一
枚の被塗布基材に塗布することができる。The phosphor paste of three colors of R, G, and B is applied on the coating substrate. In the present invention, a dedicated coating head is provided for each color. After the application of the phosphor pastes of the colors, the application head or the substrate to be applied is moved, and the remaining phosphor pastes are sequentially applied. It can be applied to a substrate to be coated.
【００１３】上記のようなプラズマディスプレイ用発光
基板の製造装置および製造方法によるときは、Ｒ、Ｇ、
Ｂの３色の蛍光体ペースト毎に塗布ヘッドが設けられて
いるので、一台の塗布装置においてそれぞれ異なる３色
の塗液を塗布することができる。また、各塗布ヘッドお
よび／または被塗布基材が塗布方向（被塗布基材の凹部
の延設方向）へ相対移動する際の相対移動速度を制御す
ることができるので、所定の凹部に対して、均一に塗液
を塗布することができるとともに、凹部の塗布始端、終
了端近傍においても、均一に、所定の色の塗液を塗布す
ることができる。たとえば、凹部の塗布始端側では低速
で塗布ヘッドを移動し、ノズル孔からの塗液の吐出状態
が安定した後に塗布ヘッドまたは被塗布基材の移動速度
を昇速し、さらに、凹部の塗布終端において、塗布ヘッ
ドからの塗液の吐出を停止した後、塗布ヘッドまたは被
塗布基材の塗布方向への移動を停止すればよい。また、
本発明においては、所定の凹部への塗液の塗布が終了す
る度に塗布ヘッドが被塗布基材から離間する方向に移動
されるので、ノズル孔からの塗液のたれ等を確実に防止
することができる。したがって、非塗布部等を汚すこと
なく確実に所定の凹部に対してのみ塗液を塗布すること
ができるとともに、高価な塗液のむだ使いを防止するこ
とができる。According to the apparatus and method for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display as described above, R, G,
Since a coating head is provided for each of the phosphor pastes of the three colors B, it is possible to apply three different color coating liquids with one coating apparatus. In addition, since the relative movement speed when each coating head and / or the substrate to be coated relatively moves in the coating direction (the direction in which the concave portion of the substrate to be coated extends) can be controlled, the relative moving speed of the predetermined concave portion can be controlled. In addition, the coating liquid can be uniformly applied, and the coating liquid of a predetermined color can be uniformly applied even near the application start end and the end end of the concave portion. For example, the coating head is moved at a low speed on the coating start end side of the concave portion, and after the discharge state of the coating liquid from the nozzle hole is stabilized, the moving speed of the coating head or the substrate to be coated is increased, and further, the coating end portion of the concave portion is coated. In the method, after the discharge of the coating liquid from the coating head is stopped, the movement of the coating head or the substrate to be coated in the coating direction may be stopped. Also,
In the present invention, the coating head is moved in a direction away from the substrate to be coated each time the application of the coating liquid to the predetermined concave portion is completed, so that the coating liquid dripping from the nozzle hole is reliably prevented. be able to. Therefore, the coating liquid can be surely applied only to the predetermined concave portion without soiling the non-applied portion and the like, and wasteful use of the expensive coating liquid can be prevented.
【００１４】また、本発明においては、ノズル孔と凹部
の中央とを確実に位置決めした状態で塗液の塗布が開始
されるので、所定の凹部に対してのみ所定の色の塗液を
確実に塗布することができる。Further, in the present invention, since the application of the coating liquid is started in a state where the nozzle hole and the center of the concave portion are securely positioned, the coating liquid of the predetermined color is surely applied only to the predetermined concave portion. Can be applied.
【００１５】そして、本発明においては、各塗布ヘッド
毎に上記のような動作がくり返され、残りの塗液の塗布
が順次行われるので、凹部配列方向における各色の塗布
状態を均一化することができ、高品質のプラズマディス
プレイ用発光基板を得ることができる。In the present invention, the above operation is repeated for each coating head, and the coating of the remaining coating liquid is performed sequentially, so that the coating state of each color in the concave arrangement direction is made uniform. Thus, a high-quality light-emitting substrate for a plasma display can be obtained.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の望ましい実施形
態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一
実施態様に係るプラズマディスプレイ用発光基板の製造
装置の斜視図である。この製造装置は、被塗布基材１の
上面において所定の方向に複数列のストライプ状の塗液
の塗着部を形成する塗布装置である。図１において、塗
布装置は、機台２上にＸ軸方向に延びるＸスライドレー
ル３ａ、３ｂを有している。Ｘスライドレール３ａ、３
ｂ上にはＸ軸方向にスライド走行可能にＸスライドテー
ブル４、５、６が設けられている。Ｘスライドテーブル
４、５、６にはそれぞれのＸスライドテーブルをＸ軸方
向にスライドさせるための駆動装置であるリニアモータ
（図示略）に連結されている。基材１は、機台２上に固
定された吸着テーブル３上に位置決めされ着脱自在に吸
着支持されている。Ｘスライドテーブル４、５、６は機
台２を跨ぐ門構え状の形状をしている。各Ｘスライドテ
ーブルのリニアモータは、各Ｘスライドテーブルの移動
速度を変更するためのＸ軸方向速度制御手段２０、２
１、２２が連結されている。これらにより第１の移動手
段１３が構成されている。Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an apparatus for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display according to an embodiment of the present invention. The manufacturing apparatus is an application apparatus that forms a plurality of rows of coating portions of a stripe-shaped coating liquid in a predetermined direction on an upper surface of a substrate 1 to be applied. In FIG. 1, the coating apparatus has X slide rails 3 a and 3 b extending on the machine base 2 in the X-axis direction. X slide rails 3a, 3
X slide tables 4, 5, and 6 are provided on b to be slidable in the X-axis direction. The X slide tables 4, 5, and 6 are connected to linear motors (not shown), which are driving devices for sliding the respective X slide tables in the X axis direction. The base material 1 is positioned on a suction table 3 fixed on a machine base 2 and is detachably supported by suction. The X slide tables 4, 5, and 6 have a gate-like shape that straddles the machine base 2. The linear motor of each X slide table is provided with X axis direction speed control means 20, 2 for changing the moving speed of each X slide table.
1, 22 are connected. These constitute the first moving means 13.
【００１７】また、各Ｘスライドテーブル４、５、６に
は、Ｚスライドテーブル７、８、９が取り付けられてい
る。Ｚスライドテーブル７、８、９は、たとえばレール
とテーブル及びモータからなるＹ軸方向移動機構（図示
略）によりＹ軸方向にスライド可能に構成されている。
さらに、Ｚスライドテーブル７、８、９はＺ軸方向移動
機構によりＺ軸方向に移動可能になっている。Ｚ軸方向
移動機構は、各Ｚスライドテーブル７、８、９およびレ
ールとモータ等から構成されている。Ｚスライドテーブ
ル７はＺ軸駆動モータ１０ａ、１０ｂにより、また、Ｚ
スライドテーブル８はＺ軸駆動モータ１１ａ、１１ｂに
より、さらに、Ｚスライドテーブル９はＺ軸駆動モータ
１２ａ、１２ｂによりＺ軸方向にスライド可能になって
いる。また、Ｚ軸駆動モータ１０ａ、１０ｂはＺ軸方向
位置制御手段２５に、Ｚ軸駆動モータ１１ａ、１１ｂは
Ｚ軸方向位置制御手段２６に、Ｚ軸駆動モータ１２ａ、
１２ｂはＺ軸方向位置制御手段２７にそれぞれ連結され
ている。このようにして、第２の移動制御手段１４が構
成され、各Ｚスライドテーブルに取り付けられる塗布ヘ
ッド５０、５１、５２がＸ、Ｙ、Ｚ軸方向にスライド可
能になっている。なお、Ｙ軸方向の移動機構は、Ｘスラ
イドテーブル４、５、６以外に吸着テーブル３に設けて
もよい。Also, Z slide tables 7, 8, 9 are attached to the X slide tables 4, 5, 6, respectively. The Z slide tables 7, 8, 9 are configured to be slidable in the Y axis direction by, for example, a Y axis direction moving mechanism (not shown) including a rail, a table, and a motor.
Further, the Z slide tables 7, 8, 9 can be moved in the Z axis direction by a Z axis direction moving mechanism. The Z-axis direction moving mechanism includes the Z slide tables 7, 8, 9 and rails, a motor, and the like. The Z slide table 7 is driven by Z-axis drive motors 10a and 10b,
The slide table 8 is slidable in the Z-axis direction by Z-axis drive motors 11a and 11b, and the Z slide table 9 is slidable in the Z-axis direction by Z-axis drive motors 12a and 12b. Further, the Z-axis drive motors 10a and 10b are provided to the Z-axis direction position control means 25, the Z-axis drive motors 11a and 11b are provided to the Z-axis direction position control means 26, and the Z-axis drive motors 12a and 12a.
Reference numerals 12b are connected to the Z-axis direction position control means 27, respectively. Thus, the second movement control means 14 is configured, and the coating heads 50, 51, 52 attached to the respective Z slide tables are slidable in the X, Y, Z axis directions. The moving mechanism in the Y-axis direction may be provided on the suction table 3 in addition to the X slide tables 4, 5, and 6.
【００１８】図２は、図１に示した塗布装置の塗布ヘッ
ド５０、５１、５２への塗液の供給制御装置の概略縦断
面図である。図２において、各塗布ヘッドは、筐体３１
からなり、筐体３１の下面板３２には、多数個の塗液を
吐出するノズル孔１８ａが、一列に所定の間隔をもって
穿設されている。筐体３１の内部の空間３３は、塗液３
０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂが貯留される塗液貯留部３４とそ
の上部に位置する気体空間３５を有している。本実施態
様においては、塗布ヘッド５０内には、塗液３０Ｒ（赤
色）、塗布ヘッド５１内には塗液３０Ｇ（緑色）、塗布
ヘッド５２内には塗液３０Ｂ（青色）が貯留されてい
る。FIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view of a control device for supplying a coating liquid to the coating heads 50, 51 and 52 of the coating device shown in FIG. In FIG. 2, each coating head is provided with a housing 31.
In the lower surface plate 32 of the housing 31, a plurality of nozzle holes 18a for discharging a large number of coating liquids are formed in a line at predetermined intervals. The space 33 inside the housing 31 is
It has a coating liquid storage section 34 for storing 0R, 30G, and 30B, and a gas space 35 located above the coating liquid storage section 34. In the present embodiment, a coating liquid 30R (red) is stored in the coating head 50, a coating liquid 30G (green) is stored in the coating head 51, and a coating liquid 30B (blue) is stored in the coating head 52. .
【００１９】筐体３１の上面板３６には、気体圧力導通
孔３７が設けられ、気体圧力導通孔３７には、管路から
なる気体圧力導通路３８の一端が連結されている。気体
圧力導通路３８の他端は、各ペーストを吐出する設定圧
に維持された圧力を有する気体圧力源４０Ｒ、４０Ｇ、
４０Ｂに連結されている。気体圧力導通路３８には、方
向切替弁からなる開閉手段３９Ｒ、３９Ｇ、３９Ｂが設
けられ、開閉手段３９Ｒ、３９Ｇ、３９Ｂの開閉切り替
えにより、気体空間３５と気体圧力源４０Ｒ、４０Ｇ、
４０Ｂとの連通と遮断が行われる。開閉手段３９Ｒ、３
９Ｇ、３９Ｂは各塗布ヘッドののノズル孔１８ａの位置
と基板１の相対位置を検出し、各開閉手段のタイミング
を制御する図示しない位置検出、吐出制御手段にて各々
開閉のタイミングを制御されるようになっている。A gas pressure passage 37 is provided in the upper surface plate 36 of the housing 31. One end of a gas pressure passage 38 formed of a pipe is connected to the gas pressure passage 37. The other ends of the gas pressure passages 38 are gas pressure sources 40R, 40G having a pressure maintained at a set pressure for discharging each paste.
40B. Opening / closing means 39R, 39G, 39B comprising direction switching valves are provided in the gas pressure conducting path 38, and the gas space 35 and the gas pressure sources 40R, 40G,
Communication with 40B and interruption are performed. Opening / closing means 39R, 3
9G and 39B detect the position of the nozzle hole 18a of each coating head and the relative position of the substrate 1, and control the timing of each opening / closing means. It has become.
【００２０】図３は、図１に示した塗布装置をＹ軸方向
から見た塗布ヘッド５０、５１、５２の周辺をあらわし
ている。Ｚスライドテーブル７、８、９に取り付けられ
ているカメラ５５にて基材１の選択した凹部６０を撮像
し、画像位置処理部５６を介してＹ軸位置制御部５７に
てＹ軸方向移動機構を駆動し、凹部６０中央とノズル孔
１８ａの中央がほぼ一致するよう制御される。ここで、
予め画像処理のカーソル５８とノズル孔１８ａを一致さ
せてある。そして、図４に示すように基板１の凹部６０
の画像と画像処理のカーソル５８の中央との差異ΔＹを
補正するようになっている。このようにして凹部中央検
出手段、塗布直角方向移動手段が構成されている。FIG. 3 shows the periphery of the coating heads 50, 51, and 52 when the coating apparatus shown in FIG. 1 is viewed from the Y-axis direction. A camera 55 attached to the Z slide tables 7, 8, 9 captures an image of the selected concave portion 60 of the substrate 1, and a Y-axis direction moving mechanism is provided by a Y-axis position controller 57 via an image position processor 56. Is controlled so that the center of the concave portion 60 and the center of the nozzle hole 18a substantially coincide with each other. here,
The cursor 58 for image processing and the nozzle hole 18a are matched in advance. Then, as shown in FIG.
The difference .DELTA.Y between the image of the image processing and the center of the cursor 58 for image processing is corrected. In this way, the concave center detecting means and the application perpendicular direction moving means are constituted.
【００２１】また、図４に示すように基材１上には、隔
壁５９が所定のピッチで形成されており、各隔壁５９の
間にペースト状の塗液が塗布される凹部６０が形成され
るようになっている。本実施態様においては、図５に示
すように同一色の塗液が凹部２つおきに塗布されるよう
になっている。このため、ノズル１８ａのピッチは隔壁
５９ピッチの３倍となるように設定されている。As shown in FIG. 4, partitions 59 are formed on the substrate 1 at a predetermined pitch, and recesses 60 to which a paste-like coating liquid is applied are formed between the partitions 59. It has become so. In the present embodiment, as shown in FIG. 5, a coating liquid of the same color is applied to every third concave portion. For this reason, the pitch of the nozzles 18a is set to be three times the pitch of the partition walls 59.
【００２２】次に、本発明に係るプラズマディスプレイ
用発光基板の製造装置を用いたプラズマディスプレイ用
発光基板の製造方法について説明する。図６は、横軸に
時間をとり、縦軸に、気体圧力源４０Ｒ、４０Ｇ、４０
Ｂの設定圧の状態Ａ、Ｅ、Ｉ、開閉手段３９Ｒ、３９
Ｇ、３９Ｂの開閉状態Ｂ、Ｆ、Ｊ、塗布ヘッド５０、５
１、５２のＸ軸方向の移動速度の状態Ｃ、Ｇ、Ｋ、およ
び、塗布ヘッド５０、５１、５２のＺ軸方向の移動の状
態Ｄ、Ｈ、Ｌを示した塗布装置の制御状態を示すチャー
トである。Ａ〜Ｄは塗布ヘッド５０による塗液３０Ｒの
塗布を、Ｅ〜Ｈは塗布ヘッド５１による塗液３０Ｇの塗
布を、Ｉ〜Ｌは塗布ヘッド５２による塗液３０Ｂの塗布
を表している。Next, a method for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display using the apparatus for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display according to the present invention will be described. FIG. 6 shows time on the horizontal axis and gas pressure sources 40R, 40G, 40 on the vertical axis.
State A, E, I of set pressure B, opening / closing means 39R, 39
G, 39B open / close states B, F, J, coating heads 50, 5
1 shows the control states of the coating apparatus showing the states C, G, and K of the movement speeds in the X-axis direction of the X-axis direction and the states D, H, and L of the movements of the coating heads 50, 51, and 52 in the Z-axis direction. It is a chart. A to D represent the application of the coating liquid 30R by the coating head 50, E to H represent the application of the coating liquid 30G by the coating head 51, and I to L represent the application of the coating liquid 30B by the coating head 52.
【００２３】図６において、工程は左から右方向に順次
移行する。代表例として、塗布ヘッド５０による塗液３
０Ｒの塗布について説明する。まず塗布ヘッド５０のＸ
軸方向への移動が開始される（移動開始時点６１）。こ
の移動は徐々に昇速しながら行われ速度がＶ1(Ｒ）に達
し、塗布ヘッド５０が凹部６０の塗布始端に到達する
と、開閉手段３９Ｒが開とされる（開閉手段開時点６
２）。そして塗布ヘッド５０からの塗液３０Ｒの吐出が
安定した時点において速度Ｖ2(Ｒ）に昇速する（移動速
度変更時点６３）。塗布ヘッド５０を速度Ｖ2(Ｒ）でＸ
軸方向に移動しながら塗液３０Ｒを凹部６０に塗布し、
凹部６０の塗布終端の直前で開閉手段３９Ｒが閉とされ
る（開閉手段閉時点６４）。開閉手段３９Ｒが閉とされ
ると、塗布ヘッド５０の移動速度はＶ3(Ｒ）に降速され
（第２の移動速度変更時点（移動停止時点）６５）。さ
らに、塗布ヘッド５０を速度Ｖ3(Ｒ）で移動しながら、
該塗布ヘッド５０をＺ軸方向に移動し基材１から離間さ
せる（Ｚ軸方向の移動開始時点６６）。この状態におい
て塗布ヘッド５０による塗液３０Ｒの塗布が終了する。
そして、塗布ヘッド５０をＸ軸方向に速度Ｖ4(Ｒ）で移
動させ基材１上から待避させ（待避移動開始時点６
７）、所定の位置で待避移動を停止する（待避移動停止
時点６８）。In FIG. 6, the process sequentially moves from left to right. As a typical example, the coating liquid 3 by the coating head 50
The application of 0R will be described. First, the X of the coating head 50
The movement in the axial direction is started (movement start time point 61). This movement is performed while gradually increasing the speed, and when the speed reaches V 1 (R) and the coating head 50 reaches the coating start end of the concave portion 60, the opening / closing means 39R is opened (opening time of opening / closing means 6).
2). Then, when the discharge of the coating liquid 30R from the coating head 50 is stabilized, the speed is increased to the speed V 2 (R) (moving speed changing point 63). Apply the coating head 50 at the speed V 2 (R)
Applying the coating liquid 30R to the recess 60 while moving in the axial direction,
The opening / closing means 39R is closed immediately before the application end of the recess 60 (opening / closing means closing time 64). When the opening / closing means 39R is closed, the moving speed of the coating head 50 is reduced to V 3 (R) (second moving speed changing time point (moving stop time point) 65). Further, while moving the coating head 50 at the speed V 3 (R),
The coating head 50 is moved in the Z-axis direction to be separated from the substrate 1 (at the time of starting movement 66 in the Z-axis direction). In this state, the application of the application liquid 30R by the application head 50 ends.
Then, the coating head 50 is moved in the X-axis direction at a speed V 4 (R) to be evacuated from the substrate 1 (at the time of starting the evacuating movement 6).
7), the escaping movement is stopped at a predetermined position (at the time of stopping the escaping movement 68).
【００２４】上記のように塗布ヘッド５０による塗液３
０Ｒの塗布動作及び待避動作が完了すると（Ａ〜Ｄ）、
塗布ヘッド５１による塗液３０Ｇの塗布及び待避動作が
実行され（Ｅ〜Ｈ）、引き続き塗布ヘッド５１による塗
液３０Ｂの塗布、待避動作が実施される（Ｉ〜Ｌ）。な
お、図６において７１、８１は時点６１に対応し、７
２、８２は時点６２に対応し、以下同様にして７８、８
８は時点６８に対応している。The coating liquid 3 by the coating head 50 as described above
When the 0R coating operation and the retraction operation are completed (A to D),
The application of the coating liquid 30G by the application head 51 and the retreat operation are performed (E to H), and the application of the coating liquid 30B and the retraction operation by the coating head 51 are subsequently performed (I to L). In FIG. 6, 71 and 81 correspond to the time point 61,
2, 82 correspond to time point 62, and so on.
8 corresponds to time point 68.
【００２５】３色の塗液の塗布を終了したのち、各塗布
ヘッドを各スタート位置に戻し、塗布完了した被塗布基
材１を、図示しない移載機で払いだし、一連の動作を終
了する。After the application of the three color coating liquids is completed, the respective coating heads are returned to the respective start positions, and the coated substrate 1 is discharged by a transfer machine (not shown), thereby completing a series of operations. .
【００２６】本実施態様のようなプラズマディスプレイ
用発光基板の製造装置および製造方法によるときは、塗
液３０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂの３色の蛍光体ペースト毎に
専用の塗布ヘッド５０、５１、５２が設けられているの
で、一台の塗布装置においてそれぞれ異なる３色の塗液
を順次塗布することができる。また、各塗布ヘッドが塗
布方向、つまり被塗布基板の凹部６０の延設方向へ相対
移動する際の相対移動速度を制御することができるの
で、所定の凹部６０に対して均一に塗液を塗布すること
ができる。つまり、凹部６０の塗布始端、終了端近傍に
おいても、均一に、所定の色の塗液を塗布することがで
きる。たとえば、凹部６０の塗布始端側では低速で塗布
ヘッドを移動し、ノズル孔１８ａからの塗液の吐出状態
が安定した後に各塗布ヘッドの移動速度を昇速し、さら
に、凹部６０の塗布終端において、塗布ヘッドからの塗
液の吐出を停止した後、塗布ヘッドの塗布方向への移動
を停止すれば所定の凹部６０に対してのみ所定の色の塗
液を塗布することができる。また、本発明においては、
所定の凹部６０への塗液の塗布が終了する度に各塗布ヘ
ッドが被塗布基材から離間する方向に移動されるので、
ノズル孔１８ａからの塗液のたれ等を確実に防止するこ
とができる。したがって、非塗布部等を汚すことなく確
実に所定の凹部６０に対してのみ各塗液を塗布すること
ができるとともに、高価な塗液のむだ使いを防止するこ
とができる。According to the apparatus and method for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display as in this embodiment, dedicated coating heads 50, 51 and 52 are provided for each of the three color phosphor pastes of the coating liquids 30R, 30G and 30B. Since it is provided, three different colors of coating liquids can be sequentially applied to one coating device. In addition, since the relative movement speed when each coating head relatively moves in the coating direction, that is, in the extending direction of the concave portion 60 of the substrate to be coated, can be controlled, so that the coating liquid is uniformly applied to the predetermined concave portion 60. can do. That is, the coating liquid of the predetermined color can be uniformly applied even near the application start end and the end end of the concave portion 60. For example, the coating head is moved at a low speed on the coating start end side of the concave portion 60, and the moving speed of each coating head is increased after the discharge state of the coating liquid from the nozzle hole 18a is stabilized. If the discharge of the coating liquid from the coating head is stopped and then the movement of the coating head in the coating direction is stopped, the coating liquid of the predetermined color can be applied only to the predetermined recess 60. In the present invention,
Each time the application of the coating liquid to the predetermined recess 60 is completed, each coating head is moved in a direction away from the substrate to be coated,
It is possible to reliably prevent the coating liquid from dripping from the nozzle holes 18a. Therefore, it is possible to reliably apply each coating liquid only to the predetermined concave portion 60 without soiling the non-applied portion and the like, and it is possible to prevent wasteful use of expensive coating liquid.
【００２７】また、本発明においては、ノズル孔１８ａ
と凹部６０の中央とを確実に位置決めした状態で塗液の
塗布が開始されるので、所定の凹部６０に対してのみ所
定の色の塗液を確実に塗布することができる。In the present invention, the nozzle hole 18a
Since the application of the coating liquid is started in a state where the and the center of the concave portion 60 are reliably positioned, the coating liquid of a predetermined color can be reliably applied only to the predetermined concave portion 60.
【００２８】そして、本発明においては、各塗布ヘッド
毎に上記のような動作がくり返され、１色の塗液の塗布
が終了すると残りの塗液の塗布が順次行われるので、凹
部配列方向における各色の塗布状態を均一化することが
でき、高品質のプラズマディスプレイ用発光基板を得る
ことができる。In the present invention, the above operation is repeated for each coating head, and when the coating of one color is completed, the remaining coating liquid is sequentially applied. In this case, the application state of each color can be made uniform, and a high-quality light emitting substrate for a plasma display can be obtained.
【００２９】図７は本発明の別の実施態様に係るプラズ
マディスプレイ用発光基板の製造装置の斜視図である。
図７において、製造装置は、機台２３０上にＸ軸方向に
延びるＸスライドレール２３５ａ、２３５ｂを有し、Ｘ
スライドレール２３５ａ、２３５ｂに沿ってその上をＸ
軸方向にスライド走行可能にＸスライドテーブル２３１
が設けられている。Ｘスライドテーブル２３１はＸ軸方
向にスライドさせるための駆動装置である図示しないリ
ニアモータを有する。基材１は、Ｘスライドテーブル２
３１上に位置決めされ着脱自在に吸着支持される。ガン
トリー２３２、２３３、２３４は機台２３０を跨ぐ門構
え状の形状をしており、機台２３０に固定されている。
各ガントリー２３２、２３３、２３４には、塗布ヘッド
１５０、１５１、１５２が設けられている。ガントリー
２３２、２３３、２３４には各塗布ヘッドをそれぞれＹ
軸方向に移動可能とする図示しないＹ軸方向移動機構が
取り付けられている。さらに、Ｚ軸スライドテーブル２
０７、２０８、２０９はＺ軸方向移動機構によりＺ軸方
向に移動可能になっている。Ｚ軸方向移動機構は、各Ｚ
軸スライドテーブル２０７、２０８、２０９およびレー
ル、モータ等から構成されている。Ｚ軸スライドテーブ
ル２０７はＺ軸駆動モータ２１０ａ、２１０ｂにより、
Ｚ軸スライドテーブル２０８はＺ軸駆動モータ２１１
ａ、２１１ｂにより、Ｚ軸スライドテーブル２０９はＺ
軸駆動モータ２１２ａ、２１２ｂにより、Ｚ軸方向にス
ライド可能に構成されている。モータ２１０ａ、２１０
ｂはＺ軸方向位置制御手段２２５に、モータ２１１ａ、
２１１ｂはＺ軸方向位置制御手段２２６に、モータ２１
２ａ、２１２ｂはＺ軸方向位置制御手段２２７にそれぞ
れ連結されている。また、各Ｚ軸スライドテーブルには
それぞれＲ、Ｇ、Ｂのペースト吐出専用の塗布ヘッド１
５０、１５１、１５２が取り付けられている。FIG. 7 is a perspective view of an apparatus for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display according to another embodiment of the present invention.
In FIG. 7, the manufacturing apparatus has X slide rails 235a and 235b extending in the X-axis direction
X along the slide rails 235a and 235b
X slide table 231 so that it can slide in the axial direction
Is provided. The X slide table 231 has a linear motor (not shown) that is a driving device for sliding in the X axis direction. Substrate 1 is X slide table 2
It is positioned on 31 and is detachably supported by suction. The gantry 232, 233, or 234 has a gate-like shape that straddles the machine base 230, and is fixed to the machine base 230.
Each gantry 232, 233, 234 is provided with a coating head 150, 151, 152. Gantries 232, 233 and 234 each have a coating head Y
A Y-axis direction moving mechanism (not shown) that is movable in the axial direction is attached. Furthermore, Z-axis slide table 2
Reference numerals 07, 208 and 209 can be moved in the Z-axis direction by a Z-axis direction moving mechanism. The Z-axis direction moving mechanism
It is composed of axis slide tables 207, 208, 209, rails, motors and the like. The Z-axis slide table 207 is driven by Z-axis drive motors 210a and 210b.
The Z-axis slide table 208 has a Z-axis drive motor 211.
a, 211b, the Z-axis slide table 209
The shaft driving motors 212a and 212b are configured to be slidable in the Z-axis direction. Motors 210a, 210
b indicates to the Z-axis direction position control means 225, the motor 211a,
211b is a motor 21
2a and 212b are connected to the Z-axis direction position control means 227, respectively. Each Z-axis slide table has a coating head 1 dedicated to R, G, and B paste discharge.
50, 151 and 152 are attached.
【００３０】Ｘ軸のリニアモータは、Ｘスライドテーブ
ル２３１の各移動速度を変更するためのＸ軸方向速度制
御手段２４０に連結されている。Ｘ軸方向速度制御手段
２４０はＸスライドテーブルの移動速度を各塗布ヘッド
１５０、１５１、１５２ごとの塗布にあわせた速度制御
が可能になっている。The X-axis linear motor is connected to an X-axis direction speed control means 240 for changing each moving speed of the X slide table 231. The X-axis direction speed control means 240 is capable of controlling the moving speed of the X slide table in accordance with the application of each of the application heads 150, 151 and 152.
【００３１】図７の塗布装置の場合、基材１を吸着した
Ｘスライドテーブル２３１が移動し塗液の塗布が行われ
る。なお、図７の装置は、１色塗布する毎に後退して次
の色の塗布開始位置をあわせる必要がある。本実施態様
においても、塗液のかすれ等を防止しつつ、各色の塗布
状態を均一化することができ、所定の凹部６０に対して
のみ塗液を塗布するこができる。基本的な動作は図６に
示す動作に準ずる。In the case of the coating apparatus shown in FIG. 7, the X slide table 231 on which the substrate 1 is adsorbed moves to apply the coating liquid. Note that the apparatus shown in FIG. 7 needs to be retracted each time one color is applied to adjust the application start position of the next color. Also in the present embodiment, the coating state of each color can be made uniform while preventing the coating liquid from being blurred or the like, and the coating liquid can be applied only to the predetermined recess 60. The basic operation conforms to the operation shown in FIG.
【００３２】[0032]
【実施例】Ｘ軸方向長さが３００ｍｍ、ピッチ２２０μ
ｍ、高さ１５０μｍ、幅６０μｍのリブ（隔壁）９６１
本が形成されたガラス基板上に、赤色（Ｒ）、緑色
（Ｇ）、青色（Ｂ）の各蛍光体を含有するペースト状の
塗液（粘度約３０Ｐａ・ｓ）を、ノズル孔径１５０μ
ｍ、孔数３２０の塗布ヘッド５０、５１、５２を用いて
図１および図２及び図３に示した装置にて、図６を用い
て説明した手法に従い、次の条件で、各蛍光体ペストを
ストライプ状に塗布した。圧力設定値Ｐ＝３００ＫＰ
ａ、速度Ｖ1(Ｒ）＝Ｖ1(Ｇ）＝Ｖ1(Ｂ）＝２０ｍｍ／ｓ
ｅｃ、速度Ｖ2(Ｒ）＝Ｖ2(Ｇ）＝Ｖ2(Ｂ）＝８０ｍｍ／
ｓｅｃ、速度Ｖ3(Ｒ）＝Ｖ3(Ｇ）＝Ｖ3(Ｂ）＝０ｍｍ／
ｓｅｃ、Ｖ4(Ｒ）＝Ｖ4(Ｇ）＝Ｖ4(Ｂ）＝６０ｍｍ／ｓ
ｅｃ、塗布時の基板とノズルの間隙Ｚ1(Ｒ）＝Ｚ1(Ｇ）
＝Ｚ1(Ｂ）＝０．３ｍｍ、離間時の基板とノズルの間隙
Ｚ2(Ｒ）＝Ｚ2(Ｇ）＝Ｚ2(Ｂ）＝１０ｍｍその結果、
Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の蛍光体ペーストとも正確にノズルから
ストライプ状凹部にペーストを塗布でき、且つ、各ペー
ストの塗布開始、終了端を横１線に揃えることができ、
かすれや点線状になることもなくきれいに塗布すること
ができた。Example: X-axis length is 300mm, pitch is 220μ
m, height 150 μm, width 60 μm rib (partition) 961
A paste-like coating liquid (viscosity of about 30 Pa · s) containing each of red (R), green (G), and blue (B) phosphors is placed on the glass substrate on which the book is formed, with a nozzle hole diameter of 150 μm.
1, 2 and 3 using the coating heads 50, 51, and 52 having the number of m and the number of holes of 320, according to the method described with reference to FIG. Was applied in the form of stripes. Pressure setting value P = 300KP
a, Speed V 1 (R) = V 1 (G) = V 1 (B) = 20 mm / s
ec, speed V 2 (R) = V 2 (G) = V 2 (B) = 80 mm /
sec, speed V 3 (R) = V 3 (G) = V 3 (B) = 0 mm /
sec, V 4 (R) = V 4 (G) = V 4 (B) = 60 mm / s
ec, gap between substrate and nozzle during coating Z 1 (R) = Z 1 (G)
= Z 1 (B) = 0.3 mm, gap Z 2 (R) = Z 2 (G) = Z 2 (B) = 10 mm between the substrate and the nozzle at the time of separation.
R, G, and B phosphor pastes can be accurately applied to the stripe-shaped recesses from the nozzles from the nozzles, and the start and end of application of each paste can be aligned with one horizontal line.
The coating could be applied neatly without becoming blurred or dotted.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のプラズマ
ディスプレイ用発光基板の製造装置および製造方法によ
るときは、塗布装置１台で１枚の基材に３色の蛍光体を
順次塗布することができるため、従来各ペースト色毎に
必要であった塗布装置が不要となりコストダウンが図れ
る。また、各蛍光体ペーストの塗布ヘッド毎に基材と塗
布ヘッドの相対移動速度、基材とノズルの離間、接近を
制御できる事から各蛍光体ペーストの塗布開始、終了端
の制御が容易となり塗布端を揃えることができ各色の塗
布状態を均一化することができる。また、かすれの発生
や点線状にペーストが付着することを防止できる。ま
た、各蛍光体のペーストは微妙にチキソ性や、粘度が異
なり塗布の条件も異なるため各塗布ヘッド毎にきめの細
かい制御を行うことで高品質の蛍光体層を得られる。さ
らに、基板の搬入、位置だし、吸着、吸着解除、搬出が
１回で済むことから基材の損傷も少なくなり、かつ周辺
の基材搬出入のロボットも最低限で済みコストダウンを
達成することができる。As described above, according to the manufacturing apparatus and the manufacturing method of the light emitting substrate for a plasma display of the present invention, the phosphor of three colors is sequentially applied to one base material by one application apparatus. This eliminates the need for a coating device that has been conventionally required for each paste color, thereby reducing costs. In addition, since the relative movement speed of the base material and the coating head and the separation and approach of the base material and the nozzle can be controlled for each phosphor paste application head, it is easy to control the start and end of application of each phosphor paste. The edges can be aligned, and the application state of each color can be made uniform. Further, it is possible to prevent the occurrence of blurring and the adhesion of the paste in a dotted line shape. In addition, since the pastes of the respective phosphors have slightly different thixotropic properties and different viscosities and different application conditions, a high-quality phosphor layer can be obtained by performing fine control for each application head. In addition, substrate loading, positioning, suction, suction release, and unloading can be performed only once, which reduces damage to the substrate and minimizes the cost of robots for loading and unloading peripheral substrates, thereby achieving cost reduction. Can be.
【図１】本発明の一実施態様に係るプラズマディスプレ
イ用発光基板の製造装置の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an apparatus for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示した製造装置の各塗布ヘッドへの塗液
の供給制御装置の概略縦断面図である。FIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view of a control device for supplying a coating liquid to each coating head of the manufacturing apparatus shown in FIG.
【図３】図１に示した製造装置をＹ軸方向から見た各塗
布ヘッドの周辺をあらわしている概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing the periphery of each coating head when the manufacturing apparatus shown in FIG. 1 is viewed from the Y-axis direction.
【図４】凹部の画像と画像処理のカーソルの概略図であ
る。FIG. 4 is a schematic diagram of an image of a concave portion and a cursor for image processing.
【図５】ノズル孔と、隔壁により形成される凹部との位
置関係を示す概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing a positional relationship between a nozzle hole and a recess formed by a partition.
【図６】図１の製造装置の制御状態を説明するチャート
図である。FIG. 6 is a chart illustrating a control state of the manufacturing apparatus of FIG. 1;
【図７】本発明の別の実施態様に係るプラズマディスプ
レイ用発光基板の製造装置の斜視図である。FIG. 7 is a perspective view of an apparatus for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display according to another embodiment of the present invention.
１ 被塗布基材 ２、２３０ 機台 ３ 吸着テーブル ３ａ、３ｂ、２３５ａ、２３６ｂ Ｘスライドレール ４、５、６、２３１ Ｘスライドテーブル ７、８、９、２０７、２０８、２０９ Ｚスライドテー
ブル １０ａ、１０ｂ、１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ、２
１０ａ、２１０ｂ、２１１ａ、２１１ｂ、２１２ａ、２
１２ｂ Ｚ軸駆動モータ １３ 第１の移動手段 １４ 第２の移動手段 １８ａ ノズル孔 ２０、２１、２２、２４０ Ｘ軸方向速度制御手段 ２５、２６、２７、２２５、２２６、２２７ Ｚ軸方向
位置制御手段 ３０Ｒ 赤色の塗液 ３０Ｇ 緑色の塗液 ３０Ｂ 青色の塗液 ３１ 筐体 ３２ 下面板 ３３ 空間 ３４ 塗液貯留部 ３５ 気体空間 ３６ 上面板 ３７ 気体圧力導通孔 ３８ 気体圧力導通路 ３９Ｒ、３９Ｇ、３９Ｂ 開閉手段 ４０Ｒ、４０Ｇ、４０Ｂ 気体圧力源 ５０、５１、５２、１５０、１５１、１５２ 塗布ヘッ
ド ５５ カメラ ５６ 画像位置処理部 ５７ Ｙ軸位置制御部 ５８ カーソル ５９ 隔壁 ６０ 凹部 ６１、７１、８１ Ｘ軸方向の移動開始時点 ６２、７２、８２ 開閉手段開時点 ６３、７３、８３ Ｘ軸方向の移動速度変更時点 ６４、７４、８４ 開閉手段閉時点 ６５、７５、８５ Ｘ軸方向の移動速度変更時点 ６６、７６、８６ Ｚ軸方向の移動開始時点 ６７、７７、８７ 待避移動開始時点 ６８、７８、８８ 待避移動停止時点 ２３２、２３３、２３４ ガントリーDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate to be coated 2, 230 Machine base 3 Suction table 3a, 3b, 235a, 236b X slide rail 4, 5, 6, 231 X slide table 7, 8, 9, 207, 208, 209 Z slide table 10a, 10b , 11a, 11b, 12a, 12b, 2
10a, 210b, 211a, 211b, 212a, 2
12b Z-axis drive motor 13 First moving means 14 Second moving means 18a Nozzle hole 20, 21, 22, 240 X-axis direction speed control means 25, 26, 27, 225, 226, 227 Z-axis direction position control means 30R Red coating liquid 30G Green coating liquid 30B Blue coating liquid 31 Housing 32 Bottom plate 33 Space 34 Coating liquid storage 35 Gas space 36 Top plate 37 Gas pressure communication hole 38 Gas pressure communication path 39R, 39G, 39B Open / Close Means 40R, 40G, 40B Gas pressure source 50, 51, 52, 150, 151, 152 Coating head 55 Camera 56 Image position processing unit 57 Y-axis position control unit 58 Cursor 59 Partition wall 60 Recess 61, 71, 81 X-axis direction Movement start time 62, 72, 82 Opening / closing means opening time 63, 73, 83 Movement speed change time in the X-axis direction 64, 74, 84 Closing time of the opening / closing means 65, 75, 85 Changing the moving speed in the X-axis direction 66, 76, 86 Starting moving in the Z-axis direction 67, 77, 87 Starting moving in the evacuation movement 68, 78, 88 Stopping in the evacuation movement 232, 233, 234 Gantry
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｂ ５Ｃ０９４ (72)発明者 吉山 高史 滋賀県大津市園山１丁目１番１号 東レ株 式会社滋賀事業場内 Ｆターム(参考） 4D075 AC08 AC09 AC73 AC88 AC93 AC94 CB08 DA06 DB13 DC24 EA14 4F033 AA01 BA03 CA04 DA00 EA03 4F041 AA05 BA13 BA22 BA36 BA38 5C028 FF16 5C040 FA01 FA02 GG09 JA13 MA02 MA23 MA26 5C094 AA42 AA43 AA55 BA31 CA19 CA24 FA02 GB01 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01J 11/02 H01J 11/02 B 5C094 (72) Inventor Takashi Yoshiyama 1-1-1 Sonoyama, Otsu City, Shiga Prefecture No.F-term in Toga Corporation Shiga Plant (reference) 4D075 AC08 AC09 AC73 AC88 AC93 AC94 CB08 DA06 DB13 DC24 EA14 4F033 AA01 BA03 CA04 DA00 EA03 4F041 AA05 BA13 BA22 BA36 BA38 5C028 FF16 5C040 FA01 FA02 GG09 A42 MA02 AA55 BA31 CA19 CA24 FA02 GB01
Claims (8)
部、該塗液貯留部に貯留された塗液を吐出する複数のノ
ズル孔を有する筐体からなる塗布ヘッド、設定圧に維持
された圧力を有する気体圧力源、該気体圧力源と前記気
体空間とを連通する気体圧力導通路、該気体圧力導通路
に設けられ前記気体空間と気体圧力源とを連通、遮断す
る開閉手段、前記ノズル孔に対向し、該ノズル孔から吐
出される塗液が塗布される複数列のストライプ状の凹部
を表面に有する被塗布基材、および、前記塗布ヘッドお
よび／または被塗布基材を塗布方向に相対移動させる第
１の移動手段を備えた塗液の塗布装置において、前記塗
布ヘッドが、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）３色
の蛍光体ペーストからなる塗液それぞれに対応して塗布
方向に配設され、前記各塗布ヘッドまたは被塗布基材の
塗布方向への相対移動速度を制御する制御手段と、前記
各塗布ヘッドと被塗布基材の間隙を変更する第２の移動
制御手段を設けたことを特徴とするプラズマディスプレ
イ用発光基板の製造装置。1. A coating head comprising a housing having a gas space, a coating liquid storage part in contact with the gas space, and a plurality of nozzle holes for discharging the coating liquid stored in the coating liquid storage part. A gas pressure source having a predetermined pressure, a gas pressure passage communicating the gas pressure source with the gas space, an opening / closing means provided in the gas pressure passage, communicating with the gas space and the gas pressure source, and shutting off; A substrate to be coated having a plurality of rows of stripe-shaped concave portions on the surface facing the nozzle hole and to which the coating liquid discharged from the nozzle hole is to be coated, and a coating direction of the coating head and / or the substrate to be coated. In the coating apparatus for coating liquid provided with a first moving means for relatively moving the coating liquid, the coating head applies a coating liquid comprising phosphor pastes of three colors of red (R), green (G) and blue (B). Correspondingly arranged in the application direction, A control means for controlling a relative moving speed of each coating head or a substrate to be coated in a coating direction, and a second movement control means for changing a gap between each coating head and the substrate to be coated are provided. For manufacturing a light emitting substrate for a plasma display.
イプ状の凹部の中の代表となる凹部の中央とノズル孔の
中の代表となるノズル孔の中央を一致させるための凹部
中央検出手段と塗布直角方向移動手段と位置制御手段を
備えた請求項１に記載のプラズマディスプレイ用発光基
板の製造装置。2. A recess center detecting means for matching the center of a representative recess in a stripe-shaped recess of a substrate to be coated with the center of a representative nozzle hole in a nozzle hole for each coating head. The apparatus for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display according to claim 1, further comprising: means for moving in a direction perpendicular to the coating and position control means.
の凹部であり、前記代表となるノズル孔がその配列方向
中央のノズル孔である請求項２のプラズマディスプレイ
用発光基板。3. The light emitting substrate for a plasma display according to claim 2, wherein the representative concave portion is a central concave portion in the arrangement direction, and the representative nozzle hole is a central nozzle hole in the arrangement direction.
部、該塗液貯留部に貯留された塗液を吐出する複数のノ
ズル孔を有する筐体からなる塗布ヘッド、設定圧に維持
された圧力を有する気体圧力源、該気体圧力源と前記気
体空間とを連通する気体圧力導通路、気体圧力導通路に
設けられ前記気体空間と気体圧力源とを連通、遮断する
開閉手段、前記ノズル孔に対向し、該ノズル孔から吐出
される塗液が塗布される複数列のストライプ状の凹部を
表面に有する被塗布基材、および、前記塗布ヘッドおよ
び／または被塗布基材を塗布方向に相対移動させる第１
の移動手段を備えた塗液の塗布装置を用いて、赤色
（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）３色の蛍光体ペースト
からなる塗液を塗布するに際して、各蛍光体色に対応し
て塗布方向に別個に塗布ヘッドを配設し、前記各塗布ヘ
ッドを用いて、該各塗布ヘッドと被塗布基材との相対移
動速度を所定のパターンに制御しながら塗液を塗布し、
該塗布前および塗布後において前記各塗布ヘッドと被塗
布基材の間隙を変更することを特徴とするプラズマディ
スプレイ用発光基板の製造方法。4. A coating head comprising a gas space, a coating liquid storage portion in contact with the gas space, and a housing having a plurality of nozzle holes for discharging the coating liquid stored in the coating liquid storage portion. Gas pressure source having a predetermined pressure, a gas pressure passage communicating the gas pressure source with the gas space, an opening / closing means provided in the gas pressure passage to communicate with and shut off the gas space and the gas pressure source, and the nozzle A substrate to be coated having a plurality of rows of stripe-shaped concave portions on the surface thereof, to which the coating liquid discharged from the nozzle holes is applied, facing the holes, and the coating head and / or the substrate to be coated are coated in the coating direction. First to move relatively
When applying a coating liquid composed of three phosphor pastes of red (R), green (G), and blue (B) using a coating liquid coating apparatus provided with a moving means for each of the phosphor colors. A coating head is separately arranged in the coating direction, and the coating liquid is coated while controlling the relative moving speed between each coating head and the substrate to be coated in a predetermined pattern by using each of the coating heads,
A method of manufacturing a light emitting substrate for a plasma display, wherein a gap between each of the coating heads and the substrate to be coated is changed before and after the coating.
被塗布基材の相対移動速度を低速で移動しながら塗液の
吐出を開始し、塗液の吐出が安定した後予め設定された
移動速度に昇速し、凹部の塗布終端部で塗液の吐出を停
止した後、前記各塗布ヘッドと被塗布基材の相対移動を
停止し、さらに、該各塗布ヘッドを被塗布基材から離間
させる請求項３に記載のプラズマディスプレイ用発光基
板の製造方法。5. At the start of coating, the coating liquid discharge is started while the relative moving speed of each of the coating heads or the substrate to be coated is moving at a low speed, and a predetermined moving speed after the discharge of the coating liquid is stabilized. After stopping the discharge of the coating liquid at the coating end portion of the concave portion, the relative movement between the respective coating heads and the substrate to be coated is stopped, and further, the respective coating heads are separated from the substrate to be coated. A method for manufacturing the light emitting substrate for a plasma display according to claim 3.
る凹部の中央とノズル孔の中の代表となるノズル孔の中
央を一致させた後、前記塗布ヘッドから塗液の吐出を開
始する、請求項４または５に記載のプラズマディスプレ
イ用発光基板の製造方法。6. After the center of a representative recess in the stripe-shaped recess matches the center of a representative nozzle hole in the nozzle hole, discharge of the coating liquid from the coating head is started. A method for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display according to claim 4.
の凹部であり、前記代表となるノズル孔がその配列方向
中央のノズル孔である請求項６のプラズマディスプレイ
用発光基板の製造方法。7. The method for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display according to claim 6, wherein the representative concave portion is a central concave portion in the arrangement direction, and the representative nozzle hole is a central nozzle hole in the arrangement direction.
終了した後、残りの蛍光体ペーストを順次塗布する請求
項４ないし７のいずれかに記載のプラズマディスプレイ
用発光基板の製造方法。8. The method for manufacturing a light emitting substrate for a plasma display according to claim 4, wherein after the application of the phosphor paste of any one color is completed, the remaining phosphor pastes are sequentially applied.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000334127A JP2002140982A (en) | 2000-11-01 | 2000-11-01 | Manufacturing device of light emitting substrate for plasma display, and its manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000334127A JP2002140982A (en) | 2000-11-01 | 2000-11-01 | Manufacturing device of light emitting substrate for plasma display, and its manufacturing method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002140982A true JP2002140982A (en) | 2002-05-17 |
Family
ID=18810103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000334127A Pending JP2002140982A (en) | 2000-11-01 | 2000-11-01 | Manufacturing device of light emitting substrate for plasma display, and its manufacturing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002140982A (en) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004158454A (en) * | 2002-11-04 | 2004-06-03 | Lg Electron Inc | Phosphor inspection instrument and inspection method of plasma display panel |
| JP2006159183A (en) * | 2004-11-04 | 2006-06-22 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for arranging ink jet printing head support part |
| KR100803147B1 (en) | 2007-04-04 | 2008-02-14 | 세메스 주식회사 | Slit coater and method of coating a process solution on a substrate using the same |
| US7535546B2 (en) | 2003-05-14 | 2009-05-19 | Seiko Epson Corporation | Liquid droplet discharging method, and liquid droplet discharging apparatus |
| US7625064B2 (en) * | 2004-09-08 | 2009-12-01 | Seiko Epson Corporation | Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic equipment |
| JP2010149104A (en) * | 2008-11-27 | 2010-07-08 | Toray Ind Inc | Coating method of coating liquid, method of manufacturing plasma display member and coating apparatus of coating liquid |
| CN104722444A (en) * | 2013-12-23 | 2015-06-24 | 昆山国显光电有限公司 | Coating device |
| CN105188957A (en) * | 2013-03-15 | 2015-12-23 | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 | Methods and devices for jetting viscous medium on workpieces |
| US9808822B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-11-07 | Mycronic AB | Methods and devices for jetting viscous medium on workpieces |
-
2000
- 2000-11-01 JP JP2000334127A patent/JP2002140982A/en active Pending
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004158454A (en) * | 2002-11-04 | 2004-06-03 | Lg Electron Inc | Phosphor inspection instrument and inspection method of plasma display panel |
| US7535546B2 (en) | 2003-05-14 | 2009-05-19 | Seiko Epson Corporation | Liquid droplet discharging method, and liquid droplet discharging apparatus |
| US7625064B2 (en) * | 2004-09-08 | 2009-12-01 | Seiko Epson Corporation | Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic equipment |
| US7857421B2 (en) | 2004-09-08 | 2010-12-28 | Seiko Epson Corporation | Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic equipment |
| US8147032B2 (en) | 2004-09-08 | 2012-04-03 | Seiko Epson Corporation | Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic equipment |
| JP2006159183A (en) * | 2004-11-04 | 2006-06-22 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for arranging ink jet printing head support part |
| KR100803147B1 (en) | 2007-04-04 | 2008-02-14 | 세메스 주식회사 | Slit coater and method of coating a process solution on a substrate using the same |
| JP2010149104A (en) * | 2008-11-27 | 2010-07-08 | Toray Ind Inc | Coating method of coating liquid, method of manufacturing plasma display member and coating apparatus of coating liquid |
| CN105188957B (en) * | 2013-03-15 | 2018-04-06 | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 | Method and apparatus for being injected in resisting medium on workpiece |
| CN105188957A (en) * | 2013-03-15 | 2015-12-23 | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 | Methods and devices for jetting viscous medium on workpieces |
| CN107115999A (en) * | 2013-03-15 | 2017-09-01 | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 | Method and apparatus for being injected in resisting medium on workpiece |
| US9808822B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-11-07 | Mycronic AB | Methods and devices for jetting viscous medium on workpieces |
| US10239084B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-03-26 | Mycronic AB | Methods and devices for jetting viscous medium on workpieces |
| CN107115999B (en) * | 2013-03-15 | 2019-11-15 | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 | Method and apparatus for being injected in resisting medium on workpiece |
| US10549306B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-02-04 | Mycronic AB | Methods and devices for jetting viscous medium on workpieces |
| CN104722444A (en) * | 2013-12-23 | 2015-06-24 | 昆山国显光电有限公司 | Coating device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1184887B1 (en) | Manufacturing method for a plasma display panel, a plasma display panel and a phosphor ink applying device | |
| KR100980903B1 (en) | Liquid droplet spraying apparatus and method for manufacturing applied object | |
| TWI460020B (en) | Smearing and smearing method | |
| JPH0992134A (en) | Nozzle application method and device | |
| JP2002140982A (en) | Manufacturing device of light emitting substrate for plasma display, and its manufacturing method | |
| JP2002086044A (en) | Coating method and coating tool, and manufacturing method and equipment for display member and plasma display | |
| JP2013208521A (en) | Method for applying coating liquid and method for producing member for display | |
| JP2002153792A (en) | Paste coating machine | |
| JP2008080188A (en) | Coating method and coating apparatus, and method for manufacturing display component | |
| JP2008229565A (en) | Coating apparatus | |
| JP2000102759A (en) | Coating method and coating device as well as production of plasma display and member for display and apparatus for production thereof | |
| JP2007232268A (en) | Pressure-reduced dryer and manufacturing process of coated object | |
| JP4743957B2 (en) | Coating liquid coating method and apparatus, and plasma display member manufacturing apparatus and manufacturing method | |
| JP4403802B2 (en) | Paste applicator | |
| JP2002136908A (en) | Method and apparatus for applying coating solution, and apparatus and method for manufacturing plasma display member | |
| KR20070055328A (en) | Liquid material applying apparatus and liquid material applying method | |
| JP2012192332A (en) | Coating apparatus, coating method, and method for manufacturing display member | |
| JP4821134B2 (en) | Patent application title: APPARATUS AND APPARATUS AND METHOD FOR COATING LIQUID USING THE SAME | |
| JP2001118501A (en) | Color plasma display panel, and method and apparatus for forming fluorescent layer provided in the display panel | |
| WO2014069277A1 (en) | Stripe-painting method and stripe-painting device | |
| JPH10113595A (en) | Coating device | |
| JP2001000904A (en) | Method and apparatus for application, plasma display, and method and apparatus for producing member for display | |
| JP2008080227A (en) | Nozzle, coating device, coating method, and manufacturing method of component for plasma display | |
| JP2011183291A (en) | Nozzle, coating apparatus, coating method, and method for manufacturing display member | |
| JP2007203139A (en) | Application method of coating liquid and coating device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071025 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20090324 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090403 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20090731 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |