JP2002140982A

JP2002140982A - プラズマディスプレイ用発光基板の製造装置および製造方法

Info

Publication number: JP2002140982A
Application number: JP2000334127A
Authority: JP
Inventors: Toshio Yasuda; 登志夫安田; Tokuo Hisada; 徳夫久田; Takashi Yoshiyama; 高史吉山
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 2000-11-01
Filing date: 2000-11-01
Publication date: 2002-05-17

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の蛍光体ペーストを塗布す
るに際し、各色の塗布パターンを均一化でき、塗液のか
すれ等を防止し、所定の凹部に対してのみ確実にペース
トを塗布できるプラズマディスプレイ用発光基板の製造
装置および製造方法を提供する。【解決手段】ノズル孔に対向し、ノズル孔から吐出さ
れる塗液が塗布される複数列のストライプ状の凹部を表
面に有する被塗布基材１、および、塗布ヘッドおよび／
または被塗布基材を塗布方向に相対移動させる第１の移
動手段１３を備えた塗液の塗布装置において、塗布ヘッ
ドが、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の蛍光体ペースト塗液それぞれに
対応して塗布方向に配設され、各塗布ヘッドまたは被塗
布基材の塗布方向への相対移動速度を制御する制御手段
と、各塗布ヘッドと被塗布基材の間隙を変更する第２の
移動制御手段１４を設けたことを特徴とするプラズマデ
ィスプレイ用発光基板の製造装置および製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイ用発光基板の製造方法、および、プラズマディスプ
レイ用発光基板の製造装置に関するものである。特に、
赤色（以下、単にＲと言うこともある。）、緑色（以
下、単にＧと言うこともある。）、青色（以下、単にＢ
と言うこともある。）３色の蛍光体ペーストを吐出する
各々専用の塗布ヘッドを備える１台の塗布装置により塗
布ヘッドから吐出される蛍光体ペーストを被塗布基材上
の筋（ストライプ）状に形成された複数列の各凹部に
Ｒ、Ｇ、Ｂのペーストを塗布し、蛍光体層を形成するプ
ラズマディスプレイ用発光基板の製造方法、および、製
造装置の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、被塗布基材の表面上に形成さ
れた凹部に、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色のペーストを塗布しカラ
ーフィルタを製造する製造方法としては、たとえば特開
平５−１４２４０７号公報に記載のようなものが知られ
ている。

【０００３】しかし、特開平５−１４２４０７号公報に
記載の方法においては、塗布方向にずらして配設された
３色分のノズル（塗布ヘッド）からペーストを同時に吐
出するため、ノズルの配置のずれ分だけは各々の塗布開
始、塗布終了の位置がずれる。このため、画素パターン
形成領域外に塗布されたストライプ状塗液を塗布後に除
去する必要がある。そのために除去工程が増え、かつ高
価な蛍光体を有効に使用できないおそれがある。また、
各ノズルからの塗液の吐出開始、停止を各色の塗布開
始、終了の位置と連動させることもできるが、各色の塗
布開始・終了端を横一線（凹部配列方向）に揃えること
は不可能であるため、各色ごとの塗布状態が不均一にな
るおそれもある。また、塗液がかすれたり、点線状にな
る事を防ぐことが難しい。特に、プラズマディスプレイ
パネルではストライプ状に塗布された蛍光体層の開始、
終了端部が画素パターン形成領域内で横一線に揃わない
ことや、かすれたり、点線状に形成されることは品質に
悪影響を及ぼすおそれがある。

【０００４】また、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の蛍光体ペースト
を塗布する塗布装置および方法としては、先に本出願人
により、特開平１１−２３９７４８手号公報、特開平１
１−２３９７４９号公報に記載の提案もなされている
が、これら提案にも改良の余地が残されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色の蛍光体ペーストを塗布するに際し、各色
の塗布開始・終了端を横一線（凹部配列方向）に一致さ
せ、各色の塗布状態を均一化できるとともに、塗液のか
すれや、塗液が点状に塗布される不都合を防止し、しか
も所定の凹部にのみ確実に塗液を塗布できるプラズマデ
ィスプレイ用発光基板の製造装置および製造方法を提供
することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のプラズマディスプレイ用発光基板の製造装
置は、気体空間、該気体空間に接する塗液貯留部、該塗
液貯留部に貯留された塗液を吐出する複数のノズル孔を
有する筐体からなる塗布ヘッド、設定圧に維持された圧
力を有する気体圧力源、該気体圧力源と前記気体空間と
を連通する気体圧力導通路、該気体圧力導通路に設けら
れ前記気体空間と気体圧力源とを連通、遮断する開閉手
段、前記ノズル孔に対向し、該ノズル孔から吐出される
塗液が塗布される複数列のストライプ状の凹部を表面に
有する被塗布基材、および、前記塗布ヘッドおよび／ま
たは被塗布基材を塗布方向に相対移動させる第１の移動
手段を備えた塗液の塗布装置において、前記塗布ヘッド
が、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）３色の蛍光体
ペーストからなる塗液それぞれに対応して塗布方向に配
設され、前記各塗布ヘッドまたは被塗布基材の塗布方向
への相対移動速度を制御する制御手段と、前記各塗布ヘ
ッドと被塗布基材の間隙を変更する第２の移動手段を設
けたことを特徴とするものからなる。

【０００７】上記各塗布ヘッドには、それぞれに被塗布
基材のストライプ状の凹部の中の代表となる凹部の中央
と、塗布ヘッドのノズル孔の中の代表となるノズル孔の
中央を一致させるための凹部中央検出手段と、塗布方向
に直交する方向に移動する塗布直角方向移動手段、およ
びその移動位置を制御する位置制御手段を設けることが
好ましい。上記凹部中央検出手段を設けることにより、
塗布ヘッドのノズル孔と凹部との中央の位置合せを正確
に制御することができるので、所定の凹部に対して所定
の一色の蛍光体ペーストを確実に塗布することができ
る。また、塗布直角方向移動手段を設ければ、凹部配列
方向に対する塗色パターンを変更することができる。

【０００８】上記代表となる凹部はその配列方向中央の
凹部であることが好ましい。また、上記代表となるノズ
ル孔はその配列方向中央の凹部であることが好ましい。
代表となる凹部およびノズル孔をそれぞれその配列方向
中央に設定すれば、配列方向端部における凹部の中央と
ノズル孔の中央との位置ずれを最小限に抑制することが
できる。

【０００９】また、上記課題を解決するための、本発明
のプラズマディスプレイ用発光基板の製造方法は、気体
空間、該気体空間に接する塗液貯留部、該塗液貯留部に
貯留された塗液を吐出する複数のノズル孔を有する筐体
からなる塗布ヘッド、設定圧に維持された圧力を有する
気体圧力源、該気体圧力源と前記気体空間とを連通する
気体圧力導通路、気体圧力導通路に設けられ前記気体空
間と気体圧力源とを連通、遮断する開閉手段、前記ノズ
ル孔に対向し、該ノズル孔から吐出される塗液が塗布さ
れる複数列のストライプ状の凹部を表面に有する被塗布
基材、および、前記塗布ヘッドおよび／または被塗布基
材を塗布方向に相対移動させる第１の移動手段を備えた
塗液の塗布装置を用いて、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青
色（Ｂ）３色の蛍光体ペーストからなる塗液を塗布する
に際して、各蛍光体色に対応して塗布方向に別個に塗布
ヘッドを配設し、前記各塗布ヘッドを用いて、該各塗布
ヘッドと被塗布基材との相対移動速度を制御しながら塗
液を塗布し、該塗布前および塗布後において前記各塗布
ヘッドと被塗布基材の間隙を変更することを特徴とする
方法からなる。

【００１０】また、上記各塗布ヘッドまたは被塗布基材
を塗布方向に移動する際には、はじめは低速で移動しな
がら塗液の吐出を開始し、その後、たとえば塗液の吐出
量等が安定した後に予め定められた移動速度に昇速し、
凹部の塗布終端部で塗液の吐出を停止した後、塗布ヘッ
ドと被塗布基材の相対移動を停止し、さらに塗布ヘッド
を被塗布基材から離間させることが好ましい。つまり、
凹部の塗布終端部で塗液の吐出を停止した後、塗布ヘッ
ドと被塗布基材の相対移動を停止することで、少なくな
った吐出ペーストを引きずることなく、望ましい位置に
終了端を形成できる。したがって、この停止位置でヘッ
ドからの塗液を完全に断ち切ることができ、その後にヘ
ッドが走行しても塗液が点状にたれ落ちることはない。
さらに、その後に、塗布ヘッドを被塗布基材から離間す
れば、塗布ヘッドと被塗布基材の間に残存するペースト
を引きちぎり、塗液のたれ等を防止することができる。
したがって、所定の凹部に対してのみ確実に塗液を塗布
することができる。

【００１１】また、塗布を開始する際には、予め代表と
なる凹部の中央と代表となるノズル孔の中央とを一致さ
せた後に、塗布ヘッドから塗液の吐出を開始することが
好ましい。

【００１２】上記塗布基材上には、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の
蛍光体ペーストが塗布されるが、本発明においては各色
毎に専用の塗布ヘッドが設けられているので、いずれか
１色の蛍光体ペーストの塗布が終了した後、塗布ヘッド
または被塗布基材を移動し、残りの蛍光体ペーストを順
次塗布すれば、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の蛍光体ペーストを一
枚の被塗布基材に塗布することができる。

【００１３】上記のようなプラズマディスプレイ用発光
基板の製造装置および製造方法によるときは、Ｒ、Ｇ、
Ｂの３色の蛍光体ペースト毎に塗布ヘッドが設けられて
いるので、一台の塗布装置においてそれぞれ異なる３色
の塗液を塗布することができる。また、各塗布ヘッドお
よび／または被塗布基材が塗布方向（被塗布基材の凹部
の延設方向）へ相対移動する際の相対移動速度を制御す
ることができるので、所定の凹部に対して、均一に塗液
を塗布することができるとともに、凹部の塗布始端、終
了端近傍においても、均一に、所定の色の塗液を塗布す
ることができる。たとえば、凹部の塗布始端側では低速
で塗布ヘッドを移動し、ノズル孔からの塗液の吐出状態
が安定した後に塗布ヘッドまたは被塗布基材の移動速度
を昇速し、さらに、凹部の塗布終端において、塗布ヘッ
ドからの塗液の吐出を停止した後、塗布ヘッドまたは被
塗布基材の塗布方向への移動を停止すればよい。また、
本発明においては、所定の凹部への塗液の塗布が終了す
る度に塗布ヘッドが被塗布基材から離間する方向に移動
されるので、ノズル孔からの塗液のたれ等を確実に防止
することができる。したがって、非塗布部等を汚すこと
なく確実に所定の凹部に対してのみ塗液を塗布すること
ができるとともに、高価な塗液のむだ使いを防止するこ
とができる。

【００１４】また、本発明においては、ノズル孔と凹部
の中央とを確実に位置決めした状態で塗液の塗布が開始
されるので、所定の凹部に対してのみ所定の色の塗液を
確実に塗布することができる。

【００１５】そして、本発明においては、各塗布ヘッド
毎に上記のような動作がくり返され、残りの塗液の塗布
が順次行われるので、凹部配列方向における各色の塗布
状態を均一化することができ、高品質のプラズマディス
プレイ用発光基板を得ることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の望ましい実施形
態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一
実施態様に係るプラズマディスプレイ用発光基板の製造
装置の斜視図である。この製造装置は、被塗布基材１の
上面において所定の方向に複数列のストライプ状の塗液
の塗着部を形成する塗布装置である。図１において、塗
布装置は、機台２上にＸ軸方向に延びるＸスライドレー
ル３ａ、３ｂを有している。Ｘスライドレール３ａ、３
ｂ上にはＸ軸方向にスライド走行可能にＸスライドテー
ブル４、５、６が設けられている。Ｘスライドテーブル
４、５、６にはそれぞれのＸスライドテーブルをＸ軸方
向にスライドさせるための駆動装置であるリニアモータ
（図示略）に連結されている。基材１は、機台２上に固
定された吸着テーブル３上に位置決めされ着脱自在に吸
着支持されている。Ｘスライドテーブル４、５、６は機
台２を跨ぐ門構え状の形状をしている。各Ｘスライドテ
ーブルのリニアモータは、各Ｘスライドテーブルの移動
速度を変更するためのＸ軸方向速度制御手段２０、２
１、２２が連結されている。これらにより第１の移動手
段１３が構成されている。

【００１７】また、各Ｘスライドテーブル４、５、６に
は、Ｚスライドテーブル７、８、９が取り付けられてい
る。Ｚスライドテーブル７、８、９は、たとえばレール
とテーブル及びモータからなるＹ軸方向移動機構（図示
略）によりＹ軸方向にスライド可能に構成されている。
さらに、Ｚスライドテーブル７、８、９はＺ軸方向移動
機構によりＺ軸方向に移動可能になっている。Ｚ軸方向
移動機構は、各Ｚスライドテーブル７、８、９およびレ
ールとモータ等から構成されている。Ｚスライドテーブ
ル７はＺ軸駆動モータ１０ａ、１０ｂにより、また、Ｚ
スライドテーブル８はＺ軸駆動モータ１１ａ、１１ｂに
より、さらに、Ｚスライドテーブル９はＺ軸駆動モータ
１２ａ、１２ｂによりＺ軸方向にスライド可能になって
いる。また、Ｚ軸駆動モータ１０ａ、１０ｂはＺ軸方向
位置制御手段２５に、Ｚ軸駆動モータ１１ａ、１１ｂは
Ｚ軸方向位置制御手段２６に、Ｚ軸駆動モータ１２ａ、
１２ｂはＺ軸方向位置制御手段２７にそれぞれ連結され
ている。このようにして、第２の移動制御手段１４が構
成され、各Ｚスライドテーブルに取り付けられる塗布ヘ
ッド５０、５１、５２がＸ、Ｙ、Ｚ軸方向にスライド可
能になっている。なお、Ｙ軸方向の移動機構は、Ｘスラ
イドテーブル４、５、６以外に吸着テーブル３に設けて
もよい。

【００１８】図２は、図１に示した塗布装置の塗布ヘッ
ド５０、５１、５２への塗液の供給制御装置の概略縦断
面図である。図２において、各塗布ヘッドは、筐体３１
からなり、筐体３１の下面板３２には、多数個の塗液を
吐出するノズル孔１８ａが、一列に所定の間隔をもって
穿設されている。筐体３１の内部の空間３３は、塗液３
０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂが貯留される塗液貯留部３４とそ
の上部に位置する気体空間３５を有している。本実施態
様においては、塗布ヘッド５０内には、塗液３０Ｒ（赤
色）、塗布ヘッド５１内には塗液３０Ｇ（緑色）、塗布
ヘッド５２内には塗液３０Ｂ（青色）が貯留されてい
る。

【００１９】筐体３１の上面板３６には、気体圧力導通
孔３７が設けられ、気体圧力導通孔３７には、管路から
なる気体圧力導通路３８の一端が連結されている。気体
圧力導通路３８の他端は、各ペーストを吐出する設定圧
に維持された圧力を有する気体圧力源４０Ｒ、４０Ｇ、
４０Ｂに連結されている。気体圧力導通路３８には、方
向切替弁からなる開閉手段３９Ｒ、３９Ｇ、３９Ｂが設
けられ、開閉手段３９Ｒ、３９Ｇ、３９Ｂの開閉切り替
えにより、気体空間３５と気体圧力源４０Ｒ、４０Ｇ、
４０Ｂとの連通と遮断が行われる。開閉手段３９Ｒ、３
９Ｇ、３９Ｂは各塗布ヘッドののノズル孔１８ａの位置
と基板１の相対位置を検出し、各開閉手段のタイミング
を制御する図示しない位置検出、吐出制御手段にて各々
開閉のタイミングを制御されるようになっている。

【００２０】図３は、図１に示した塗布装置をＹ軸方向
から見た塗布ヘッド５０、５１、５２の周辺をあらわし
ている。Ｚスライドテーブル７、８、９に取り付けられ
ているカメラ５５にて基材１の選択した凹部６０を撮像
し、画像位置処理部５６を介してＹ軸位置制御部５７に
てＹ軸方向移動機構を駆動し、凹部６０中央とノズル孔
１８ａの中央がほぼ一致するよう制御される。ここで、
予め画像処理のカーソル５８とノズル孔１８ａを一致さ
せてある。そして、図４に示すように基板１の凹部６０
の画像と画像処理のカーソル５８の中央との差異ΔＹを
補正するようになっている。このようにして凹部中央検
出手段、塗布直角方向移動手段が構成されている。

【００２１】また、図４に示すように基材１上には、隔
壁５９が所定のピッチで形成されており、各隔壁５９の
間にペースト状の塗液が塗布される凹部６０が形成され
るようになっている。本実施態様においては、図５に示
すように同一色の塗液が凹部２つおきに塗布されるよう
になっている。このため、ノズル１８ａのピッチは隔壁
５９ピッチの３倍となるように設定されている。

【００２２】次に、本発明に係るプラズマディスプレイ
用発光基板の製造装置を用いたプラズマディスプレイ用
発光基板の製造方法について説明する。図６は、横軸に
時間をとり、縦軸に、気体圧力源４０Ｒ、４０Ｇ、４０
Ｂの設定圧の状態Ａ、Ｅ、Ｉ、開閉手段３９Ｒ、３９
Ｇ、３９Ｂの開閉状態Ｂ、Ｆ、Ｊ、塗布ヘッド５０、５
１、５２のＸ軸方向の移動速度の状態Ｃ、Ｇ、Ｋ、およ
び、塗布ヘッド５０、５１、５２のＺ軸方向の移動の状
態Ｄ、Ｈ、Ｌを示した塗布装置の制御状態を示すチャー
トである。Ａ〜Ｄは塗布ヘッド５０による塗液３０Ｒの
塗布を、Ｅ〜Ｈは塗布ヘッド５１による塗液３０Ｇの塗
布を、Ｉ〜Ｌは塗布ヘッド５２による塗液３０Ｂの塗布
を表している。

【００２３】図６において、工程は左から右方向に順次
移行する。代表例として、塗布ヘッド５０による塗液３
０Ｒの塗布について説明する。まず塗布ヘッド５０のＸ
軸方向への移動が開始される（移動開始時点６１）。こ
の移動は徐々に昇速しながら行われ速度がＶ₁(Ｒ）に達
し、塗布ヘッド５０が凹部６０の塗布始端に到達する
と、開閉手段３９Ｒが開とされる（開閉手段開時点６
２）。そして塗布ヘッド５０からの塗液３０Ｒの吐出が
安定した時点において速度Ｖ₂(Ｒ）に昇速する（移動速
度変更時点６３）。塗布ヘッド５０を速度Ｖ₂(Ｒ）でＸ
軸方向に移動しながら塗液３０Ｒを凹部６０に塗布し、
凹部６０の塗布終端の直前で開閉手段３９Ｒが閉とされ
る（開閉手段閉時点６４）。開閉手段３９Ｒが閉とされ
ると、塗布ヘッド５０の移動速度はＶ₃(Ｒ）に降速され
（第２の移動速度変更時点（移動停止時点）６５）。さ
らに、塗布ヘッド５０を速度Ｖ₃(Ｒ）で移動しながら、
該塗布ヘッド５０をＺ軸方向に移動し基材１から離間さ
せる（Ｚ軸方向の移動開始時点６６）。この状態におい
て塗布ヘッド５０による塗液３０Ｒの塗布が終了する。
そして、塗布ヘッド５０をＸ軸方向に速度Ｖ₄(Ｒ）で移
動させ基材１上から待避させ（待避移動開始時点６
７）、所定の位置で待避移動を停止する（待避移動停止
時点６８）。

【００２４】上記のように塗布ヘッド５０による塗液３
０Ｒの塗布動作及び待避動作が完了すると（Ａ〜Ｄ）、
塗布ヘッド５１による塗液３０Ｇの塗布及び待避動作が
実行され（Ｅ〜Ｈ）、引き続き塗布ヘッド５１による塗
液３０Ｂの塗布、待避動作が実施される（Ｉ〜Ｌ）。な
お、図６において７１、８１は時点６１に対応し、７
２、８２は時点６２に対応し、以下同様にして７８、８
８は時点６８に対応している。

【００２５】３色の塗液の塗布を終了したのち、各塗布
ヘッドを各スタート位置に戻し、塗布完了した被塗布基
材１を、図示しない移載機で払いだし、一連の動作を終
了する。

【００２６】本実施態様のようなプラズマディスプレイ
用発光基板の製造装置および製造方法によるときは、塗
液３０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂの３色の蛍光体ペースト毎に
専用の塗布ヘッド５０、５１、５２が設けられているの
で、一台の塗布装置においてそれぞれ異なる３色の塗液
を順次塗布することができる。また、各塗布ヘッドが塗
布方向、つまり被塗布基板の凹部６０の延設方向へ相対
移動する際の相対移動速度を制御することができるの
で、所定の凹部６０に対して均一に塗液を塗布すること
ができる。つまり、凹部６０の塗布始端、終了端近傍に
おいても、均一に、所定の色の塗液を塗布することがで
きる。たとえば、凹部６０の塗布始端側では低速で塗布
ヘッドを移動し、ノズル孔１８ａからの塗液の吐出状態
が安定した後に各塗布ヘッドの移動速度を昇速し、さら
に、凹部６０の塗布終端において、塗布ヘッドからの塗
液の吐出を停止した後、塗布ヘッドの塗布方向への移動
を停止すれば所定の凹部６０に対してのみ所定の色の塗
液を塗布することができる。また、本発明においては、
所定の凹部６０への塗液の塗布が終了する度に各塗布ヘ
ッドが被塗布基材から離間する方向に移動されるので、
ノズル孔１８ａからの塗液のたれ等を確実に防止するこ
とができる。したがって、非塗布部等を汚すことなく確
実に所定の凹部６０に対してのみ各塗液を塗布すること
ができるとともに、高価な塗液のむだ使いを防止するこ
とができる。

【００２７】また、本発明においては、ノズル孔１８ａ
と凹部６０の中央とを確実に位置決めした状態で塗液の
塗布が開始されるので、所定の凹部６０に対してのみ所
定の色の塗液を確実に塗布することができる。

【００２８】そして、本発明においては、各塗布ヘッド
毎に上記のような動作がくり返され、１色の塗液の塗布
が終了すると残りの塗液の塗布が順次行われるので、凹
部配列方向における各色の塗布状態を均一化することが
でき、高品質のプラズマディスプレイ用発光基板を得る
ことができる。

【００２９】図７は本発明の別の実施態様に係るプラズ
マディスプレイ用発光基板の製造装置の斜視図である。
図７において、製造装置は、機台２３０上にＸ軸方向に
延びるＸスライドレール２３５ａ、２３５ｂを有し、Ｘ
スライドレール２３５ａ、２３５ｂに沿ってその上をＸ
軸方向にスライド走行可能にＸスライドテーブル２３１
が設けられている。Ｘスライドテーブル２３１はＸ軸方
向にスライドさせるための駆動装置である図示しないリ
ニアモータを有する。基材１は、Ｘスライドテーブル２
３１上に位置決めされ着脱自在に吸着支持される。ガン
トリー２３２、２３３、２３４は機台２３０を跨ぐ門構
え状の形状をしており、機台２３０に固定されている。
各ガントリー２３２、２３３、２３４には、塗布ヘッド
１５０、１５１、１５２が設けられている。ガントリー
２３２、２３３、２３４には各塗布ヘッドをそれぞれＹ
軸方向に移動可能とする図示しないＹ軸方向移動機構が
取り付けられている。さらに、Ｚ軸スライドテーブル２
０７、２０８、２０９はＺ軸方向移動機構によりＺ軸方
向に移動可能になっている。Ｚ軸方向移動機構は、各Ｚ
軸スライドテーブル２０７、２０８、２０９およびレー
ル、モータ等から構成されている。Ｚ軸スライドテーブ
ル２０７はＺ軸駆動モータ２１０ａ、２１０ｂにより、
Ｚ軸スライドテーブル２０８はＺ軸駆動モータ２１１
ａ、２１１ｂにより、Ｚ軸スライドテーブル２０９はＺ
軸駆動モータ２１２ａ、２１２ｂにより、Ｚ軸方向にス
ライド可能に構成されている。モータ２１０ａ、２１０
ｂはＺ軸方向位置制御手段２２５に、モータ２１１ａ、
２１１ｂはＺ軸方向位置制御手段２２６に、モータ２１
２ａ、２１２ｂはＺ軸方向位置制御手段２２７にそれぞ
れ連結されている。また、各Ｚ軸スライドテーブルには
それぞれＲ、Ｇ、Ｂのペースト吐出専用の塗布ヘッド１
５０、１５１、１５２が取り付けられている。

【００３０】Ｘ軸のリニアモータは、Ｘスライドテーブ
ル２３１の各移動速度を変更するためのＸ軸方向速度制
御手段２４０に連結されている。Ｘ軸方向速度制御手段
２４０はＸスライドテーブルの移動速度を各塗布ヘッド
１５０、１５１、１５２ごとの塗布にあわせた速度制御
が可能になっている。

【００３１】図７の塗布装置の場合、基材１を吸着した
Ｘスライドテーブル２３１が移動し塗液の塗布が行われ
る。なお、図７の装置は、１色塗布する毎に後退して次
の色の塗布開始位置をあわせる必要がある。本実施態様
においても、塗液のかすれ等を防止しつつ、各色の塗布
状態を均一化することができ、所定の凹部６０に対して
のみ塗液を塗布するこができる。基本的な動作は図６に
示す動作に準ずる。

【００３２】

【実施例】Ｘ軸方向長さが３００ｍｍ、ピッチ２２０μ
ｍ、高さ１５０μｍ、幅６０μｍのリブ（隔壁）９６１
本が形成されたガラス基板上に、赤色（Ｒ）、緑色
（Ｇ）、青色（Ｂ）の各蛍光体を含有するペースト状の
塗液（粘度約３０Ｐａ・ｓ）を、ノズル孔径１５０μ
ｍ、孔数３２０の塗布ヘッド５０、５１、５２を用いて
図１および図２及び図３に示した装置にて、図６を用い
て説明した手法に従い、次の条件で、各蛍光体ペストを
ストライプ状に塗布した。圧力設定値Ｐ＝３００ＫＰ
ａ、速度Ｖ₁(Ｒ）＝Ｖ₁(Ｇ）＝Ｖ₁(Ｂ）＝２０ｍｍ／ｓ
ｅｃ、速度Ｖ₂(Ｒ）＝Ｖ₂(Ｇ）＝Ｖ₂(Ｂ）＝８０ｍｍ／
ｓｅｃ、速度Ｖ₃(Ｒ）＝Ｖ₃(Ｇ）＝Ｖ₃(Ｂ）＝０ｍｍ／
ｓｅｃ、Ｖ₄(Ｒ）＝Ｖ₄(Ｇ）＝Ｖ₄(Ｂ）＝６０ｍｍ／ｓ
ｅｃ、塗布時の基板とノズルの間隙Ｚ₁(Ｒ）＝Ｚ₁(Ｇ）
＝Ｚ₁(Ｂ）＝０．３ｍｍ、離間時の基板とノズルの間隙
Ｚ₂(Ｒ）＝Ｚ₂(Ｇ）＝Ｚ₂(Ｂ）＝１０ｍｍその結果、
Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の蛍光体ペーストとも正確にノズルから
ストライプ状凹部にペーストを塗布でき、且つ、各ペー
ストの塗布開始、終了端を横１線に揃えることができ、
かすれや点線状になることもなくきれいに塗布すること
ができた。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のプラズマ
ディスプレイ用発光基板の製造装置および製造方法によ
るときは、塗布装置１台で１枚の基材に３色の蛍光体を
順次塗布することができるため、従来各ペースト色毎に
必要であった塗布装置が不要となりコストダウンが図れ
る。また、各蛍光体ペーストの塗布ヘッド毎に基材と塗
布ヘッドの相対移動速度、基材とノズルの離間、接近を
制御できる事から各蛍光体ペーストの塗布開始、終了端
の制御が容易となり塗布端を揃えることができ各色の塗
布状態を均一化することができる。また、かすれの発生
や点線状にペーストが付着することを防止できる。ま
た、各蛍光体のペーストは微妙にチキソ性や、粘度が異
なり塗布の条件も異なるため各塗布ヘッド毎にきめの細
かい制御を行うことで高品質の蛍光体層を得られる。さ
らに、基板の搬入、位置だし、吸着、吸着解除、搬出が
１回で済むことから基材の損傷も少なくなり、かつ周辺
の基材搬出入のロボットも最低限で済みコストダウンを
達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係るプラズマディスプレ
イ用発光基板の製造装置の斜視図である。

【図２】図１に示した製造装置の各塗布ヘッドへの塗液
の供給制御装置の概略縦断面図である。

【図３】図１に示した製造装置をＹ軸方向から見た各塗
布ヘッドの周辺をあらわしている概略図である。

【図４】凹部の画像と画像処理のカーソルの概略図であ
る。

【図５】ノズル孔と、隔壁により形成される凹部との位
置関係を示す概略図である。

【図６】図１の製造装置の制御状態を説明するチャート
図である。

【図７】本発明の別の実施態様に係るプラズマディスプ
レイ用発光基板の製造装置の斜視図である。

【符号の説明】

１被塗布基材２、２３０機台３吸着テーブル３ａ、３ｂ、２３５ａ、２３６ｂＸスライドレール４、５、６、２３１Ｘスライドテーブル７、８、９、２０７、２０８、２０９Ｚスライドテー
ブル１０ａ、１０ｂ、１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ、２
１０ａ、２１０ｂ、２１１ａ、２１１ｂ、２１２ａ、２
１２ｂＺ軸駆動モータ１３第１の移動手段１４第２の移動手段１８ａノズル孔２０、２１、２２、２４０Ｘ軸方向速度制御手段２５、２６、２７、２２５、２２６、２２７Ｚ軸方向
位置制御手段３０Ｒ赤色の塗液３０Ｇ緑色の塗液３０Ｂ青色の塗液３１筐体３２下面板３３空間３４塗液貯留部３５気体空間３６上面板３７気体圧力導通孔３８気体圧力導通路３９Ｒ、３９Ｇ、３９Ｂ開閉手段４０Ｒ、４０Ｇ、４０Ｂ気体圧力源５０、５１、５２、１５０、１５１、１５２塗布ヘッ
ド５５カメラ５６画像位置処理部５７Ｙ軸位置制御部５８カーソル５９隔壁６０凹部６１、７１、８１Ｘ軸方向の移動開始時点６２、７２、８２開閉手段開時点６３、７３、８３Ｘ軸方向の移動速度変更時点６４、７４、８４開閉手段閉時点６５、７５、８５Ｘ軸方向の移動速度変更時点６６、７６、８６Ｚ軸方向の移動開始時点６７、７７、８７待避移動開始時点６８、７８、８８待避移動停止時点２３２、２３３、２３４ガントリー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｂ５Ｃ０９４ (72)発明者吉山高史滋賀県大津市園山１丁目１番１号東レ株式会社滋賀事業場内Ｆターム(参考） 4D075 AC08 AC09 AC73 AC88 AC93 AC94 CB08 DA06 DB13 DC24 EA14 4F033 AA01 BA03 CA04 DA00 EA03 4F041 AA05 BA13 BA22 BA36 BA38 5C028 FF16 5C040 FA01 FA02 GG09 JA13 MA02 MA23 MA26 5C094 AA42 AA43 AA55 BA31 CA19 CA24 FA02 GB01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】気体空間、該気体空間に接する塗液貯留
部、該塗液貯留部に貯留された塗液を吐出する複数のノ
ズル孔を有する筐体からなる塗布ヘッド、設定圧に維持
された圧力を有する気体圧力源、該気体圧力源と前記気
体空間とを連通する気体圧力導通路、該気体圧力導通路
に設けられ前記気体空間と気体圧力源とを連通、遮断す
る開閉手段、前記ノズル孔に対向し、該ノズル孔から吐
出される塗液が塗布される複数列のストライプ状の凹部
を表面に有する被塗布基材、および、前記塗布ヘッドお
よび／または被塗布基材を塗布方向に相対移動させる第
１の移動手段を備えた塗液の塗布装置において、前記塗
布ヘッドが、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）３色
の蛍光体ペーストからなる塗液それぞれに対応して塗布
方向に配設され、前記各塗布ヘッドまたは被塗布基材の
塗布方向への相対移動速度を制御する制御手段と、前記
各塗布ヘッドと被塗布基材の間隙を変更する第２の移動
制御手段を設けたことを特徴とするプラズマディスプレ
イ用発光基板の製造装置。
【請求項２】前記塗布ヘッド毎に被塗布基材のストラ
イプ状の凹部の中の代表となる凹部の中央とノズル孔の
中の代表となるノズル孔の中央を一致させるための凹部
中央検出手段と塗布直角方向移動手段と位置制御手段を
備えた請求項１に記載のプラズマディスプレイ用発光基
板の製造装置。
【請求項３】前記代表となる凹部がその配列方向中央
の凹部であり、前記代表となるノズル孔がその配列方向
中央のノズル孔である請求項２のプラズマディスプレイ
用発光基板。
【請求項４】気体空間、該気体空間に接する塗液貯留
部、該塗液貯留部に貯留された塗液を吐出する複数のノ
ズル孔を有する筐体からなる塗布ヘッド、設定圧に維持
された圧力を有する気体圧力源、該気体圧力源と前記気
体空間とを連通する気体圧力導通路、気体圧力導通路に
設けられ前記気体空間と気体圧力源とを連通、遮断する
開閉手段、前記ノズル孔に対向し、該ノズル孔から吐出
される塗液が塗布される複数列のストライプ状の凹部を
表面に有する被塗布基材、および、前記塗布ヘッドおよ
び／または被塗布基材を塗布方向に相対移動させる第１
の移動手段を備えた塗液の塗布装置を用いて、赤色
（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）３色の蛍光体ペースト
からなる塗液を塗布するに際して、各蛍光体色に対応し
て塗布方向に別個に塗布ヘッドを配設し、前記各塗布ヘ
ッドを用いて、該各塗布ヘッドと被塗布基材との相対移
動速度を所定のパターンに制御しながら塗液を塗布し、
該塗布前および塗布後において前記各塗布ヘッドと被塗
布基材の間隙を変更することを特徴とするプラズマディ
スプレイ用発光基板の製造方法。
【請求項５】塗布の開始時に前記各塗布ヘッドまたは
被塗布基材の相対移動速度を低速で移動しながら塗液の
吐出を開始し、塗液の吐出が安定した後予め設定された
移動速度に昇速し、凹部の塗布終端部で塗液の吐出を停
止した後、前記各塗布ヘッドと被塗布基材の相対移動を
停止し、さらに、該各塗布ヘッドを被塗布基材から離間
させる請求項３に記載のプラズマディスプレイ用発光基
板の製造方法。
【請求項６】前記ストライプ状の凹部の中の代表とな
る凹部の中央とノズル孔の中の代表となるノズル孔の中
央を一致させた後、前記塗布ヘッドから塗液の吐出を開
始する、請求項４または５に記載のプラズマディスプレ
イ用発光基板の製造方法。
【請求項７】前記代表となる凹部がその配列方向中央
の凹部であり、前記代表となるノズル孔がその配列方向
中央のノズル孔である請求項６のプラズマディスプレイ
用発光基板の製造方法。
【請求項８】いずれか１色の蛍光体ペーストの塗布が
終了した後、残りの蛍光体ペーストを順次塗布する請求
項４ないし７のいずれかに記載のプラズマディスプレイ
用発光基板の製造方法。