JP2011183291A - Nozzle, coating apparatus, coating method, and method for manufacturing display member - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば有機ELやカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルター等のディスプレイ用部材を製造する分野に主として使用されるものであり、詳しくはガラス基板などの被塗布部材表面にストライプ状に所定幅の塗布膜を多数形成できるノズル、塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法の改良に関する。 The present invention is mainly used in the field of producing display members such as organic EL and color filters for color liquid crystal displays. Specifically, the present invention is applied to the surface of a member to be coated such as a glass substrate in a stripe shape with a predetermined width. The present invention relates to an improvement in a nozzle capable of forming a large number of films, a coating apparatus and a coating method, and a method for manufacturing a display member.
従来から知られているように、有機EL、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルター、プラズマディスプレイパネルの背面板には、等ピッチに配置されたポリイミドやブラックマトリックス、ガラス等のバンク間に形成される直線状の溝に、塗布液を充填してストライプ状に塗布膜を形成する工程がある。このようなストライプ状の塗布膜をガラス基板等の被塗布部材上に塗布により形成する手段としては、スクリーン印刷やノズル法がよく知られているが、スクリーン等の副資材が不要で、必要な量だけ高価な塗布液を供給して塗布膜を形成できるノズル法の方が、コスト的に優れており、最近特に注目を集めている。 As is known in the art, on the back plate of organic EL, color filters for color liquid crystal displays, and plasma display panels, straight lines formed between banks of polyimide, black matrix, glass, etc., arranged at equal pitches There is a step of filling the grooves with a coating solution to form a coating film in stripes. As a means for forming such a stripe-shaped coating film on a coated member such as a glass substrate by screen coating or a nozzle method is well known, a secondary material such as a screen is unnecessary and necessary. The nozzle method capable of forming a coating film by supplying a coating solution that is expensive in an amount is superior in cost and has recently attracted particular attention.
ノズル法にも、ストライプの配置ピッチにあわせて設けられた複数の吐出口を有するノズルから、塗布液を間欠的に噴射するインクジェットノズル法や、塗布液を連続して吐出する連続吐出ノズル法がある。インクジェットノズル法は、個々の吐出口での塗布液の吐出を制御できるので、被塗布部材に形成されたいかなるパターン形状にも対応でき、フレキシビリティが高いが、均一性、吐出安定性に課題がある。一方連続吐出ノズル法は、すべての吐出口から同時に塗布液を吐出するので、ストライプ状にしか塗布できないが、逆に均一性、吐出安定性に優れているため、製造工程に広く利用されている。さらにまた連続吐出ノズル法にも、ノズルと被塗布部材間のすきま、すなわちクリアランスを比較的大きくして、ノズルから塗布液をおおよそストライプの幅を有する柱状流(直線棒状)にして吐出し、そのまま被塗布部材に塗布する柱状流法と(例えば特許文献1)、クリアランスを比較的小さくしてノズルの吐出口と被塗布部材間に液溜まりであるビードを形成し、ノズル長手方向のビード幅に相当する幅のストライプ状塗布膜を形成するビード法(例えば特許文献2)がある。ビード法は適用できる塗布液の粘度や塗布膜厚さの範囲が柱状流法よりもはるかに広く、使用しやすいという特長がある。
特許文献2で示されるビード法で使用するノズルは、図5(a)および図6(図5(a)の矢印E方向に見たノズル92の拡大斜視図が示されている)に示すノズル92のように、吐出口95を含む吐出口面94と被塗布部材である基板A間に所望の幅のビードBを容易に形成させるために、吐出口面94が他の部分よりも塗布液吐出方向に突出して、突出部93を形成している。このようなノズル92では図5(a)に示すように、吐出口95から吐出された塗布液は突出部93の吐出口面94のノズル92の長手方向の長さLIまで拡大するので、基板Aに塗布されるストライプ状塗布膜の幅LBは、最小でも長さLIとなる。また吐出口面94と基板A間のすきまであるクリアランスLCが大きくなると、ストライプ状塗布膜の幅LBは吐出口面94のノズル92の長手方向の長さLIよりも拡大することになる。すなわち、ストライプ状塗布膜の幅LBをより小さくしたければ、それに応じて、吐出口面94のノズル92の長手方向の長さLIをより小さくしなければならない。しかしながら、加工上の限界から吐出口面94のノズル92の長手方向の長さLIは100μm以下にするのは困難であるので、特許文献2の手段では、目標とする幅LBが100μm以下の微細なストライプ状塗布膜を形成することは困難である。
また50mPa・s以下の低粘度の塗布液をWet膜厚20μm以下の比較的薄い膜厚、かつ低速度で塗布しようとすると、吐出口95からの塗布液の吐出速度が低くなるので、図5(b)に示すように、吐出された塗布液は、突出部93の吐出口面94を経て、突出部93の傾斜部96の途中まではい上がり、そこから重力で垂れ下がって基板Aに塗布される。その結果、基板Aに塗布されたストライプ状塗布膜の幅LBは、吐出口面94のノズル長手方向長さLIよりも相当大きくなり、幅LBが100μm以下の微細なストライプ状塗布膜を形成することは全く望めない。
Also in the nozzle method, there are an inkjet nozzle method in which a coating liquid is intermittently ejected from a nozzle having a plurality of discharge ports provided in accordance with the arrangement pitch of stripes, and a continuous discharge nozzle method in which the coating liquid is continuously discharged. is there. Since the inkjet nozzle method can control the discharge of the coating liquid at each discharge port, it can cope with any pattern shape formed on the member to be coated and has high flexibility, but there is a problem with uniformity and discharge stability. is there. On the other hand, the continuous discharge nozzle method discharges the coating liquid simultaneously from all the discharge ports, so that it can be applied only in a stripe shape, but on the contrary, it is widely used in the manufacturing process because of its excellent uniformity and discharge stability. . Furthermore, in the continuous discharge nozzle method, the clearance between the nozzle and the member to be coated, that is, the clearance is relatively large, and the coating liquid is ejected from the nozzle in a columnar flow (straight bar shape) having a stripe width. A columnar flow method applied to a member to be coated (for example, Patent Document 1), a bead that is a liquid pool is formed between the nozzle outlet and the member to be coated with a relatively small clearance, and the bead width in the longitudinal direction of the nozzle There is a bead method (for example, Patent Document 2) for forming a stripe-shaped coating film having a corresponding width. The bead method has a feature that the range of the viscosity of the coating solution and the coating film thickness that can be applied is much wider than that of the columnar flow method and is easy to use.
The nozzles used in the bead method disclosed in Patent Document 2 are the nozzles shown in FIGS. 5A and 6 (an enlarged perspective view of the nozzle 92 seen in the direction of arrow E in FIG. 5A is shown). 92, in order to easily form a bead B having a desired width between the discharge port surface 94 including the discharge port 95 and the substrate A which is a member to be coated, the discharge port surface 94 is more coated than the other portion. A protruding portion 93 is formed so as to protrude in the discharge direction. In such a nozzle 92, as shown in FIG. 5A, the coating liquid discharged from the discharge port 95 expands to the length LI in the longitudinal direction of the nozzle 92 of the discharge port surface 94 of the protrusion 93. The width LB of the stripe-shaped coating film applied to A is at least the length LI. When the clearance LC between the discharge port surface 94 and the substrate A increases, the width LB of the stripe-shaped coating film becomes larger than the length LI of the discharge port surface 94 in the longitudinal direction of the nozzle 92. That is, if the width LB of the stripe-shaped coating film is to be made smaller, the length LI of the discharge port surface 94 in the longitudinal direction of the nozzle 92 must be made smaller accordingly. However, since the length LI of the discharge port surface 94 in the longitudinal direction of the nozzle 92 is difficult to be set to 100 μm or less due to processing limitations, the means disclosed in Patent Document 2 has a target width LB of 100 μm or less. It is difficult to form a striped coating film.
Further, when a low-viscosity coating liquid of 50 mPa · s or less is applied at a relatively low film thickness with a Wet film thickness of 20 μm or less and at a low speed, the discharge speed of the coating liquid from the discharge port 95 becomes low. As shown in (b), the discharged coating liquid passes through the discharge port surface 94 of the protruding portion 93 and rises to the middle of the inclined portion 96 of the protruding portion 93, and then hangs down by gravity and is applied to the substrate A. The As a result, the width LB of the stripe-shaped coating film applied to the substrate A is considerably larger than the length LI of the discharge port surface 94 in the nozzle longitudinal direction, and a fine stripe-shaped coating film having a width LB of 100 μm or less is formed. I can't hope for anything.
本発明はかかる状況に鑑みてなされたもので、複数の塗布液の吐出口を有してストライプ状塗布膜を形成するノズルにおいて、塗布液の特性や塗布条件に関わらず、きわめて微細な幅のストライプ状塗布膜を形成することができるノズル、塗布装置および塗布方法を実現させるとともに、低コストで高品質のディスプレイ用部材を製造できるディスプレイ用部材の製造方法を提供することにある。 The present invention has been made in view of such a situation, and in a nozzle that has a plurality of coating liquid discharge ports to form a stripe-shaped coating film, regardless of the characteristics of the coating liquid and the coating conditions, it has a very fine width. An object of the present invention is to provide a manufacturing method of a display member capable of manufacturing a high-quality display member at low cost while realizing a nozzle, a coating apparatus, and a coating method capable of forming a stripe-shaped coating film.
上記本発明の目的は、以下に述べる手段によって達成される。
(1)本発明になるノズルは、塗布液が供給される塗布液供給口と、塗布液供給口から供給された塗布液をノズル長手方向に拡幅するマニホールドと、マニホールドに連通し塗布液が分配される複数の分岐部と、該分岐部が開口した一端にあって塗布液が外部に吐出される複数の吐出口と、を有するノズルであって、さらに吐出口から吐出される塗布液を塗布液吐出方向に案内する一対の対向平面を備え、該一対の対向平面はノズル長手方向と略直交する方向に平行となるように形成されることを特徴とする。ここで、吐出口から吐出される塗布液を塗布液吐出方向に案内し、前記一対の対向平面のそれぞれと交わる第3の平面を備えることが好ましい。
(2)本発明になる塗布装置は、(1)に記載のノズルと、該ノズルに定量の塗布液を供給する手段を含む塗布液供給手段と、被塗布部材を保持する載置台と、前記ノズルおよび載置台のうちの少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段と、前記ノズルを被塗布部材に近接させる近接手段と、前記ノズルの吐出口を被塗布部材上の任意の場所に位置合わせをする位置合わせ手段と、を備えてストライプ状塗布膜を形成することを特徴とする。
(3)本発明になる塗布方法は、(1)に記載のノズルを被塗布部材に近接させ、塗布液供給装置から前記ノズルに塗布液を供給して前記ノズルの複数の吐出口から塗布液を吐出して、被塗布部材の前記ノズルに対する相対移動を行って、被塗布部材上にストライプ状塗布膜を形成することを特徴とする。
(4)本発明になるディスプレイ用部材の製造方法は、(3)に記載の塗布方法を用いて、ディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。
The object of the present invention is achieved by the means described below.
(1) The nozzle according to the present invention has a coating liquid supply port to which a coating liquid is supplied, a manifold that widens the coating liquid supplied from the coating liquid supply port in the longitudinal direction of the nozzle, and the coating liquid is distributed through the manifold. A nozzle having a plurality of branched portions and a plurality of discharge ports at one end where the branch portions are open and from which the coating liquid is discharged to the outside, and further applying the coating liquid discharged from the discharge ports A pair of opposed planes for guiding in the liquid discharge direction are provided, and the pair of opposed planes are formed so as to be parallel to a direction substantially orthogonal to the nozzle longitudinal direction. Here, it is preferable to provide a third plane that guides the coating liquid ejected from the ejection port in the coating liquid ejection direction and intersects each of the pair of opposed planes.
(2) A coating apparatus according to the present invention includes the nozzle according to (1), a coating liquid supply unit that includes a unit that supplies a fixed amount of coating liquid to the nozzle, a mounting table that holds a member to be coated, A moving means for relatively moving at least one of the nozzle and the mounting table, a proximity means for bringing the nozzle close to the member to be coated, and an ejection port of the nozzle are aligned at an arbitrary position on the member to be coated. And an alignment means for forming a stripe-shaped coating film.
(3) In the coating method according to the present invention, the nozzle described in (1) is brought close to the member to be coated, the coating liquid is supplied from the coating liquid supply device to the nozzle, and the coating liquid is discharged from the plurality of discharge ports of the nozzle. The striped coating film is formed on the member to be coated by discharging the substrate and moving the member to be coated relative to the nozzle.
(4) A method for producing a display member according to the present invention is characterized in that a display member is produced using the coating method described in (3).
本発明になるノズル、塗布装置および塗布方法を用いれば、ノズルの吐出口から吐出される塗布液を塗布液吐出方向に案内する一対の対向平面がノズル長手方向と略直交する方向に平行となるように形成されているので、塗布液はこの一対の対向平面で形成される空間から塗布液吐出方向と塗布方向に流れ出て被塗布部材にストライプ状に塗布される。この作用によって、塗布液の特性や塗布条件に関わらず、吐出口のノズル長手方向の長さにほぼ等しい一対の対向平面の対向間隔の幅にて、ストライプ状の塗布膜を形成することができる。その結果、幅が100μm以下のきわめて微細なストライプ状の塗布膜を、塗布液の特性や塗布条件に関わらず容易に形成することが可能となる。 When the nozzle, the coating apparatus, and the coating method according to the present invention are used, a pair of opposed planes that guide the coating liquid discharged from the nozzle discharge port in the coating liquid discharge direction are parallel to a direction substantially orthogonal to the nozzle longitudinal direction. Thus, the coating liquid flows out from the space formed by the pair of opposed planes in the coating liquid discharge direction and the coating direction, and is applied to the member to be coated in stripes. By this action, a stripe-shaped coating film can be formed with a width of the facing interval between a pair of facing planes that is substantially equal to the length of the ejection port in the longitudinal direction of the nozzle, regardless of the characteristics of the coating solution and the coating conditions. . As a result, it is possible to easily form a very fine stripe-shaped coating film having a width of 100 μm or less regardless of the characteristics of the coating solution and the coating conditions.
本発明になるディスプレイ用部材の製造方法によれば、上記の優れた塗布方法を用いてディスプレイ用部材を製造するのであるから、高精細かつ高品質のディスプレイ用部材を、低コストで製造できる。 According to the method for manufacturing a display member according to the present invention, since the display member is manufactured using the above-described excellent coating method, a high-definition and high-quality display member can be manufactured at a low cost.
本発明にかかるノズル、塗布装置および塗布方法を、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明にかかるストライプ塗布装置の一実施態様を示す斜視図、図2は、図1のノズル30の拡大正面断面図、図3は、図2の矢印E方向から見たノズル30の拡大斜視図、図4は、本発明の別の実施態様例であるノズル100の拡大斜視図である。 A nozzle, a coating apparatus, and a coating method according to the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a perspective view showing an embodiment of a stripe coating apparatus according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged front sectional view of the nozzle 30 of FIG. 1, and FIG. 3 is a nozzle 30 viewed from the direction of arrow E in FIG. FIG. 4 is an enlarged perspective view of a nozzle 100 which is another embodiment of the present invention.
図1を参照すると、塗布液をストライプ状に塗布可能なストライプ塗布装置1が示されている。 Referring to FIG. 1, a stripe coating apparatus 1 capable of coating a coating solution in a stripe shape is shown.
このストライプ塗布装置1は、被塗布部材である基板Aに塗布液を塗布するノズル30と、ノズル30と基板Aが取り付けられて、これらを自在に移動させるXYZステージ10と、ノズル30に塗布液を供給する塗布液供給手段である塗布液供給装置50と、XYZステージ10と塗布液供給装置50の動作を統括的に制御する制御装置80と、より構成されている。 The stripe coating apparatus 1 includes a nozzle 30 that applies a coating solution to a substrate A that is a member to be coated, an XYZ stage 10 that is attached to the nozzle 30 and the substrate A, and that freely moves them, and a coating solution that is applied to the nozzle 30. Coating liquid supply device 50 that is a coating liquid supply means for supplying the liquid, and a control device 80 that comprehensively controls the operation of the XYZ stage 10 and the coating liquid supply device 50.
XYZステージ10の吸着盤14には基板Aが載置され、Z軸リニア駆動装置12にはノズル30が固定保持されている。吸着盤14の上面には図示されていない吸着孔が多数配置されており、図示されていない真空源からの真空圧によって基板Aを吸着保持することができる。この吸着盤14はその中央部で図示しない回転軸を介してX−θ駆動装置16に取り付けられている。X−θ駆動装置16は、ベース26上に固定されており、吸着盤14のX−Y平面内での回転とX方向(基板A長手方向)の往復動を自在に行なうことができる。なおX、Y、Zの方向については、図1に示される通りで、XYZステージ10の左下隅にX、Y、Z各軸の原点Oが設けられているとともに、原点Oでの矢印の方向が正方向である。またX−Y平面内での回転方向がθ方向となっている。
ノズル30を保持するZ軸リニア駆動装置12は、ノズル30をZ方向すなわち上下方向に自在に昇降することができるもので、ブラケット18に固定されている。ブラケット18はさらにY軸リニア駆動装置20に保持されている。Y軸リニア駆動装置20は、ベース26上の一端に配置されている門型ベース28上に固定されており、ブラケット18をY方向に自在に往復動することができる。その結果ブラケット18に固定されているノズル30をY方向にも自在に往復動させることができる。さらに吸着盤14の上方のブラケット18に対応する位置には、CCDカメラ22と高さセンサー24も装着されている。CCDカメラ22は制御装置80に電気的に連結されており、基板Aのアライメントマークの位置を検知して、それを制御装置80に伝え、制御装置80がX−θ駆動装置16やY軸リニア駆動装置20を駆動することによって、ノズル30に対する基板Aの位置合わせやθ方向の相対回転角度設定を行うことができる。一方高さセンサー24は、基板Aの上面の位置を検知、すなわち基板Aの厚さを検知し、それを電気的に接続されている制御装置80に伝える。その信号に基づいて制御装置80がZ軸リニア駆動装置12等を駆動することによって、ノズル30の最下面と基板A上面とのすきま、すなわちクリアランスを所定値に設定することができる。
A substrate A is placed on the suction plate 14 of the XYZ stage 10, and a nozzle 30 is fixedly held on the Z-axis linear drive device 12. A large number of suction holes (not shown) are arranged on the upper surface of the suction disk 14, and the substrate A can be sucked and held by a vacuum pressure from a vacuum source (not shown). The suction disk 14 is attached to the X-θ drive device 16 via a rotation shaft (not shown) at the center. The X-θ drive device 16 is fixed on the base 26 and can freely rotate the suction disk 14 in the XY plane and reciprocate in the X direction (longitudinal direction of the substrate A). Note that the directions of X, Y, and Z are as shown in FIG. 1, and the origin O of each axis of X, Y, and Z is provided at the lower left corner of the XYZ stage 10 and the direction of the arrow at the origin O Is the positive direction. The rotation direction in the XY plane is the θ direction.
The Z-axis linear drive device 12 that holds the nozzle 30 can move the nozzle 30 up and down freely in the Z direction, that is, in the vertical direction, and is fixed to the bracket 18. The bracket 18 is further held by the Y-axis linear drive device 20. The Y-axis linear drive device 20 is fixed on a portal base 28 arranged at one end on the base 26, and can reciprocate the bracket 18 freely in the Y direction. As a result, the nozzle 30 fixed to the bracket 18 can be freely reciprocated in the Y direction. Further, a CCD camera 22 and a height sensor 24 are also mounted at a position corresponding to the bracket 18 above the suction plate 14. The CCD camera 22 is electrically connected to the control device 80, detects the position of the alignment mark on the substrate A, and transmits it to the control device 80. The control device 80 is connected to the X-θ drive device 16 or the Y-axis linear. By driving the driving device 20, the alignment of the substrate A with respect to the nozzle 30 and the relative rotation angle setting in the θ direction can be performed. On the other hand, the height sensor 24 detects the position of the upper surface of the substrate A, that is, detects the thickness of the substrate A, and transmits it to the control device 80 that is electrically connected. Based on the signal, the control device 80 drives the Z-axis linear drive device 12 and the like, whereby the clearance between the lowermost surface of the nozzle 30 and the upper surface of the substrate A, that is, the clearance can be set to a predetermined value.
再びノズル30を見ると、塗布液供給装置50に連なる供給ホース68とノズル30が常時接続されており、これによりノズル30へは塗布液供給装置50から塗布液を供給することができる。ノズル30へ供給された塗布液は、ノズル30の内部通路を経て基板Aに向かってノズル30より吐出される。 When the nozzle 30 is viewed again, the supply hose 68 connected to the coating liquid supply device 50 and the nozzle 30 are always connected, so that the coating liquid can be supplied from the coating liquid supply device 50 to the nozzle 30. The coating solution supplied to the nozzle 30 is discharged from the nozzle 30 toward the substrate A through the internal passage of the nozzle 30.
なお、塗布液供給装置50は、供給ホース68の上流側に、フィルター56、供給バルブ52、シリンジポンプ60、吸引バルブ54、吸引ホース70、タンク72を備えている。タンク72には塗布液74が蓄えられており、圧空源76に連結されて任意の大きさの背圧を塗布液74に付加することができる。タンク72内の塗布液74は、吸引ホース70を通じてシリンジポンプ60に供給される。シリンジポンプ60では、シリンジ62、ピストン64が本体66に取り付けられている。ここでピストン64は図示しない駆動源によって上下方向に自在に往復動できる。シリンジポンプ60は、一定の内径を有するシリンジ62内に塗布液74を充填し、それをピストン64により押し出して、ノズル30に一定容量の塗布液を供給できる定容量間欠供給型のポンプである。シリンジ62内に塗布液74を充填するときは、吸引バルブ54を開、供給バルブ52を閉として、ピストン64を下方に移動させる。またシリンジ62内に充填された塗布液をノズル30に向かって供給するときは、吸引バルブ54を閉、供給バルブ52を開とし、ピストン64を上方に移動させることで、ピストン64でシリンジ62内部の塗布液74を押し上げ排出する。 The coating liquid supply device 50 includes a filter 56, a supply valve 52, a syringe pump 60, a suction valve 54, a suction hose 70, and a tank 72 on the upstream side of the supply hose 68. A coating liquid 74 is stored in the tank 72 and is connected to a pressure air source 76 so that an arbitrary back pressure can be applied to the coating liquid 74. The coating liquid 74 in the tank 72 is supplied to the syringe pump 60 through the suction hose 70. In the syringe pump 60, a syringe 62 and a piston 64 are attached to the main body 66. Here, the piston 64 can freely reciprocate in the vertical direction by a driving source (not shown). The syringe pump 60 is a constant-capacity intermittent supply type pump that can fill a syringe 62 having a constant inner diameter with a coating liquid 74, push it out by a piston 64, and supply a fixed volume of coating liquid to the nozzle 30. When filling the syringe 62 with the coating liquid 74, the suction valve 54 is opened, the supply valve 52 is closed, and the piston 64 is moved downward. When supplying the coating liquid filled in the syringe 62 toward the nozzle 30, the suction valve 54 is closed, the supply valve 52 is opened, and the piston 64 is moved upward, so that the piston 64 moves inside the syringe 62. The coating liquid 74 is pushed up and discharged.
上記のように、制御信号にて動作するX−θ駆動装置16、Y軸リニア駆動装置20、Z軸リニア駆動装置12、塗布液供給装置50、等はすべて制御装置80に電気的に接続されている。そして、制御装置80に組み込まれた自動運転プログラムにしたがって制御指令信号が各機器に送信されて、あらかじめ定められた動作を行う。なお条件変更時は操作盤82に適宜変更パラメータを入力すれば、それが制御装置80に伝達されて、運転動作の変更が実現できる。特に塗布液供給装置50の中では、シリンジポンプ60、供給バルブ52、吸引バルブ54が電気的に接続されており、制御装置80にその電気的信号を取り込んだり、制御装置80からの指令により、塗布液74をノズル30に供給したりする等の任意の動作をさせることができる。制御装置80を用いれば、ストライプ塗布装置1の動作を自在に制御できるので、与えられた塗布条件下での塗布を自在に行うことができる。 As described above, the X-θ drive device 16, the Y-axis linear drive device 20, the Z-axis linear drive device 12, the coating liquid supply device 50, etc. that are operated by the control signal are all electrically connected to the control device 80. ing. And a control command signal is transmitted to each apparatus according to the automatic driving program incorporated in the control apparatus 80, and predetermined operation | movement is performed. When changing the conditions, if a change parameter is appropriately input to the operation panel 82, the change parameter is transmitted to the control device 80, and the change of the driving operation can be realized. In particular, in the coating liquid supply device 50, the syringe pump 60, the supply valve 52, and the suction valve 54 are electrically connected, and the electrical signal is taken into the control device 80, or by a command from the control device 80, Arbitrary operations such as supplying the coating liquid 74 to the nozzle 30 can be performed. By using the control device 80, the operation of the stripe coating apparatus 1 can be freely controlled, so that coating under given coating conditions can be performed freely.
次に、ストライプ塗布装置1を構成する一要素であるノズル30については、図2、図3を用いて詳細に説明する。 Next, the nozzle 30 which is one element constituting the stripe coating apparatus 1 will be described in detail with reference to FIGS.
図2(a)は、図1にあるノズル30をY方向、すなわち基板Aの短辺方向ならびにノズル30の長手方向(X方向)に直交する方向、に見た中央部の断面を拡大して示しており、図2(b)は、斜線で示す塗布液74をノズル30でクリアランスLCだけ離れた基板Aにストライプ状に塗布している状況を示している。また、図3は、図2の矢印E方向から見てノズル30の吐出口42近傍を拡大して立体的に示している。ノズル30は、図2(a)で紙面に垂直な方向、すなわち図1のY方向に移動し、これが塗布方向となる。そしてノズル30を構成する本体32の中央部に、ノズル30の長手方向に伸びるマニホールド34が形成されている。このマニホールド34の中央部上方には、塗布液供給口36が設けられている。塗布液供給口36は、図1の供給ホース68と接続している。この塗布液供給口36を介して、塗布液供給装置50から塗布液74をマニホールド34に供給することができ、塗布液74をマニホールド34内に充満させることができる。マニホールド34の下方の下板部38には、複数の分岐部40が流路としてマニホールド34と連通して形成されている。この分岐部40のマニホールド34とは逆側の一端が吐出口面45でノズル30の外部に開口して吐出口42を形成する。したがって吐出口42は、塗布液供給装置50と流体的に連通しているので、塗布液供給装置50から塗布液74が供給されれば、吐出口42から塗布液74は図2(a)の下向き方向(Z方向)に吐出される。この方向が塗布液吐出方向となる。 2A is an enlarged cross-sectional view of the central portion of the nozzle 30 shown in FIG. 1 viewed in the Y direction, that is, the direction perpendicular to the short side direction of the substrate A and the longitudinal direction of the nozzle 30 (X direction). FIG. 2B shows a situation in which the coating liquid 74 indicated by oblique lines is applied in stripes to the substrate A separated by the clearance LC by the nozzle 30. FIG. 3 is an enlarged view of the vicinity of the discharge port 42 of the nozzle 30 as viewed from the direction of arrow E in FIG. The nozzle 30 moves in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 2A, that is, the Y direction in FIG. 1, and this is the coating direction. A manifold 34 extending in the longitudinal direction of the nozzle 30 is formed at the center of the main body 32 constituting the nozzle 30. A coating liquid supply port 36 is provided above the center of the manifold 34. The coating liquid supply port 36 is connected to the supply hose 68 of FIG. The coating liquid 74 can be supplied from the coating liquid supply device 50 to the manifold 34 through the coating liquid supply port 36, and the coating liquid 74 can be filled in the manifold 34. A plurality of branch portions 40 are formed in the lower plate portion 38 below the manifold 34 so as to communicate with the manifold 34 as flow paths. One end of the branching portion 40 opposite to the manifold 34 opens to the outside of the nozzle 30 at the discharge port surface 45 to form a discharge port 42. Accordingly, since the discharge port 42 is in fluid communication with the coating liquid supply device 50, when the coating liquid 74 is supplied from the coating liquid supply device 50, the coating liquid 74 is discharged from the discharge port 42 as shown in FIG. It is discharged in the downward direction (Z direction). This direction is the coating liquid discharge direction.
さらに、吐出口42の両隣に連なって一対の対向平面44A、Bが、塗布液吐出方向に外面46から長さLAだけ伸びて形成されている。この一対の対向平面44A、Bは、ノズル30の長手方向(X方向)と直交する方向、すなわちY方向に略平行となっており、ギャップLSの間隔だけ離れて空間Sを形成している。一対の対向平面44A、Bのノズル長手方向側には、それぞれ最下端面49A、B、傾斜部47A、B、外面46が連なって形成されている。また一対の対向平面44A、Bと最下端面49A、Bをそれぞれ接続する稜線部分が最下端部48A、Bとなっている。最下端面49A、Bは、吐出口42を含む吐出口面45と略平行に構成されている。一対の対向平面44A、Bは、吐出口42から吐出される塗布液74を一旦は塗布液吐出方向に案内し、塗布液74が空間Sを満たすと、塗布液吐出方向に加えて、Y方向である塗布方向にも塗布液を流し出すという機能を備えている。吐出口42はノズル30の長手方向にピッチLRで複数個設けられているので、一対の対向平面44A、Bやそれに連なる最下端部48A、B、最下端面49A、B、傾斜部47A、Bも同じくノズル30の長手方向にピッチLRで複数組設けられることになる。 Further, a pair of opposed flat surfaces 44A and B are formed adjacent to both sides of the discharge port 42 so as to extend from the outer surface 46 by a length LA in the coating liquid discharge direction. The pair of opposed flat surfaces 44A and 44B are substantially parallel to the direction orthogonal to the longitudinal direction (X direction) of the nozzle 30, that is, the Y direction, and form a space S separated by a gap LS. On the nozzle longitudinal direction side of the pair of opposed flat surfaces 44A and 44B, bottom end surfaces 49A and 49B, inclined portions 47A and 47B, and an outer surface 46 are formed in a row. Further, the ridge line portions connecting the pair of opposing flat surfaces 44A and 44B and the lowermost end surfaces 49A and 49B are the lowermost end portions 48A and 48B. The lowermost end surfaces 49 </ b> A and 49 </ b> B are configured to be substantially parallel to the discharge port surface 45 including the discharge port 42. The pair of opposed flat surfaces 44A and 44B guide the coating liquid 74 discharged from the discharge port 42 once in the coating liquid discharging direction, and when the coating liquid 74 fills the space S, in addition to the coating liquid discharging direction, the Y direction A function of pouring out the coating solution also in the coating direction is provided. Since a plurality of discharge ports 42 are provided at a pitch LR in the longitudinal direction of the nozzle 30, a pair of opposing flat surfaces 44A and B, and lowermost end portions 48A and B, lowermost end surfaces 49A and B, and inclined portions 47A and B connected thereto. Similarly, a plurality of sets are provided at a pitch LR in the longitudinal direction of the nozzle 30.
以上の構成から、吐出口42から吐出された塗布液74は、一対の対向平面44A、Bに案内された後に、一対の対向平面44A、B間に形成される空間Sから塗布液吐出方向と塗布方向上流側および下流側の合計3方向に流れていくことができる。一対の対向平面44A、B間に形成される空間Sから流れ出てくる塗布液74が、ノズル30に対して相対移動する基板A上に塗布されると、基板A上にストライプ状塗布膜の形成が行われる。 With the above configuration, the coating liquid 74 discharged from the discharge port 42 is guided to the pair of opposed planes 44A and 44B, and then the coating liquid is discharged from the space S formed between the pair of opposed planes 44A and 44B. It can flow in a total of three directions, upstream and downstream in the coating direction. When the coating liquid 74 flowing out from the space S formed between the pair of opposing flat surfaces 44A and 44B is applied onto the substrate A that moves relative to the nozzle 30, a stripe-shaped coating film is formed on the substrate A. Is done.
次に図2(b)を用いて、ノズル30でストライプ状の塗布膜が形成される状況をさらに詳しく説明する。まず静止している基板Aの上方に、最下端面49A、BがクリアランスLCだけ離れて位置するようにノズル30が近接して静置される。続いて吐出口42から塗布液74が吐出され、吐出された塗布液74は一対の対向平面44A、Bで塗布液吐出方向に案内される。案内された塗布液74が一対の対向平面44A、B間に形成される空間Sに充満すると、この空間Sから塗布液74が塗布液吐出方向と塗布方向上流側および下流側の合計3方向に流れ出た後、基板Aに向かってビードBを形成する。この時形成されるビードBはノズル30と基板Aが静止しているために、ノズル長手方向(X方向)には最下端面49A、B全面まで拡がり、ノズル30側では長さLE(最下端面49A、Bが占める領域のノズル30の長手方向の長さ)、基板A上では長さLEよりも少し大きな幅LBとなる。このようにビードBを形成した状態で、吐出口42から塗布液74を吐出し続け、さらにノズル30か基板Aのいずれか一方または両方を塗布方向に相対移動させる、たとえば図2(b)の基板Aを紙面に垂直方向で手前側に移動させると、基板A上に最初のほんのわずかだけ幅が長さLEよりも少し大きな幅LBのストライプ状の塗布膜が形成される。さらに塗布を続けると、一対の対向平面44A、B間に形成される空間Sに満たされている塗布液74は、基板Aがノズル30に対して相対的に移動しているため、塗布液吐出方向である下側よりも塗布方向下流側、すなわち基板Aの移動方向側(紙面に垂直方向で手前側)に多く空間Sから流れ出ていき、結果として塗布厚さに相当する量の塗布液74が基板A上に塗布される。この時、基板Aの移動方向から、塗布方向上流側(紙面に垂直方向で奥側)には空間Sからは塗布液は流れ出ていかない。 Next, with reference to FIG. 2B, the situation where a stripe-shaped coating film is formed by the nozzle 30 will be described in more detail. First, above the stationary substrate A, the nozzle 30 is placed in close proximity so that the lowermost end surfaces 49A, B are positioned by a clearance LC. Subsequently, the coating liquid 74 is discharged from the discharge port 42, and the discharged coating liquid 74 is guided in the coating liquid discharge direction by the pair of opposed flat surfaces 44A and 44B. When the guided coating liquid 74 fills the space S formed between the pair of opposed flat surfaces 44A and 44B, the coating liquid 74 from the space S extends in a total of three directions including the coating liquid discharge direction, the upstream side and the downstream side in the coating direction. After flowing out, a bead B is formed toward the substrate A. Since the nozzle 30 and the substrate A are stationary, the bead B formed at this time extends to the entire bottom surface 49A, B in the longitudinal direction of the nozzle (X direction), and the length LE (bottom) on the nozzle 30 side. The length in the longitudinal direction of the nozzle 30 in the region occupied by the end faces 49A, B) is a width LB slightly larger than the length LE on the substrate A. In the state where the bead B is formed in this way, the coating liquid 74 is continuously discharged from the discharge port 42, and either one or both of the nozzle 30 and the substrate A is relatively moved in the coating direction. For example, as shown in FIG. When the substrate A is moved to the near side in the direction perpendicular to the paper surface, a stripe-shaped coating film having a width LB that is slightly larger than the length LE is formed on the substrate A at the beginning. When the coating is further continued, the coating liquid 74 filled in the space S formed between the pair of opposed flat surfaces 44A and 44B is moved relative to the nozzle 30. Flows out of the space S more downstream than the lower side in the coating direction, that is, in the moving direction side of the substrate A (the front side in the direction perpendicular to the paper surface), and as a result, an amount of the coating liquid 74 corresponding to the coating thickness. Is applied onto the substrate A. At this time, the coating liquid does not flow out of the space S from the moving direction of the substrate A to the upstream side in the coating direction (the back side perpendicular to the paper surface).
さて、一対の対向平面44A、B間に形成される空間Sの塗布方向下流側から主に流れ出る塗布液74によって、ビードBは引っ張られる形になるためにビードB内部には負圧が発生し、そのためにビードBはノズル30の長手方向には、最下端面49A、Bと傾斜部47A、Bが交わる稜線のある両端の位置から最下端部48A、Bの位置まで縮小して、図2(b)に示すようにノズル30側では一対の対向平面44A、B間のギャップLSの幅となる。この時基板A上には、幅が一対の対向平面44A、B間のギャップLSよりも少し大きな幅LBのストライプ状の塗布膜が形成され、この状態が塗布終了まで続く。すなわち塗布開始直後の1mm以下のほんのわずかの区間だけ長さLEよりも少し大きな幅LBで、それ以降の塗布終了部までの区間では対向平面44A、B間のギャップLSよりも少し大きな幅LBで、ストライプ状の塗布膜が形成されることになる。この場合、クリアランスLCを小さくしていくと、ストライプ状塗布膜の幅LBはさらに一対の対向平面44A、B間のギャップLSに近づく。 The bead B is pulled by the coating liquid 74 that mainly flows from the downstream side in the coating direction of the space S formed between the pair of opposed flat surfaces 44A and 44B, so that a negative pressure is generated inside the bead B. Therefore, the bead B is reduced in the longitudinal direction of the nozzle 30 from the position of both ends where the ridgeline where the lowermost end surfaces 49A, B and the inclined portions 47A, B intersect to the position of the lowermost end portions 48A, B, FIG. As shown in (b), on the nozzle 30 side, the width of the gap LS between the pair of opposed flat surfaces 44A and 44B is obtained. At this time, a stripe-shaped coating film having a width LB slightly larger than the gap LS between the pair of opposed flat surfaces 44A and 44B is formed on the substrate A, and this state continues until the end of coating. That is, the width LB is slightly larger than the length LE for a very small section of 1 mm or less immediately after the start of coating, and the width LB is slightly larger than the gap LS between the opposing flat surfaces 44A and B in the section to the subsequent coating end portion. Thus, a stripe-shaped coating film is formed. In this case, as the clearance LC is reduced, the width LB of the stripe-shaped coating film further approaches the gap LS between the pair of opposed flat surfaces 44A and B.
すなわち、図5、図6に示すような吐出口95からそのまま塗布液が吐出されて基板Aに塗布される従来型のノズル92では、吐出口95のノズル92の長手方向の長さLJよりも大きな吐出口面94のノズル92の長手方向の長さLI(図2、図3のノズル30では最下端面49A、Bのノズル30の長手方向(X方向)の長さLEに相当)が最小の塗布できるストライプ幅であったものが、本発明のノズル30では吐出口42から塗布液74を案内し、合計3方向に塗布液が流れ出る一対の対向平面44A、Bを設けているために、吐出口42のノズル30の長手方向の長さLDに等しい一対の対向平面44A、B間のギャップLSを塗布可能な最小のストライプ幅にすることができる。 That is, in the conventional nozzle 92 in which the coating liquid is directly discharged from the discharge port 95 as shown in FIGS. 5 and 6 and applied to the substrate A, the length LJ of the discharge port 95 in the longitudinal direction of the nozzle 92 is longer than that. The length LI of the large discharge port surface 94 in the longitudinal direction of the nozzle 92 (corresponding to the length LE in the longitudinal direction (X direction) of the bottom end surface 49A, B of the nozzle 30 in FIGS. 2 and 3) is minimum. In the nozzle 30 of the present invention, the nozzle 30 of the present invention guides the coating liquid 74 from the discharge port 42, and is provided with a pair of opposed flat surfaces 44A and 44B from which the coating liquid flows in a total of three directions. The gap LS between the pair of opposing flat surfaces 44A and B equal to the length LD in the longitudinal direction of the nozzle 30 of the discharge port 42 can be set to the minimum stripe width that can be applied.
この作用は塗布速度が高くても小さくても、また塗布液の特性に関係なく働く。例えば、50mPa・s以下の低粘度の塗布液をWet膜厚20μm以下の比較的薄い膜厚、かつ低速度で塗布しようとすると、従来ノズル92では、吐出口95からの塗布液の吐出速度が低くなるので、図5(b)に示すように、吐出された塗布液は、突出部93の吐出口面94を経て、突出部93の傾斜部96の途中まではい上がり、その結果、ストライプ状塗布膜の幅LBは、吐出口面94のノズル92の長手方向長さLIよりも相当大きくなっていた。それに対し本発明のノズル30では、吐出口42からの塗布液74の吐出速度に関係なく、空間Sより塗布方向下流側にそのまま塗布液が流れ出て基板Aの方に向かうのであるから、吐出口42のノズル30の長手方向の長さLDに等しい一対の対向平面44A、B間のギャップLSの幅のストライプ状塗布膜を形成できる。 This effect works regardless of the characteristics of the coating solution, whether the coating speed is high or small. For example, when a low viscosity coating liquid of 50 mPa · s or less is applied at a relatively thin film thickness of 20 μm or less and at a low speed, the conventional nozzle 92 has a discharge speed of the coating liquid from the discharge port 95. Therefore, as shown in FIG. 5B, the discharged coating liquid passes through the discharge port surface 94 of the protruding portion 93 and rises to the middle of the inclined portion 96 of the protruding portion 93. The width LB of the coating film was considerably larger than the longitudinal length LI of the nozzle 92 of the discharge port surface 94. On the other hand, in the nozzle 30 of the present invention, the coating liquid flows out from the space S to the downstream side in the coating direction and travels toward the substrate A regardless of the discharge speed of the coating liquid 74 from the discharge port 42. A stripe-shaped coating film having a width of the gap LS between the pair of opposed flat surfaces 44A and B equal to the length LD in the longitudinal direction of the 42 nozzles 30 can be formed.
従来ノズル92の吐出口面94のノズル92の長手方向の長さLIや本発明の最下端面49A、Bのノズル30の長手方向の長さLEは、吐出口面94や最下端面49A、Bを形成する部分の剛性を確保するために、吐出口のノズル長手方向長さよりも少なくとも20μm以上大きくする必要がある。したがって、本発明のノズル30は従来のノズルよりも少なくとも20μm以上小さな微細なストライプ幅の塗布膜を形成することができるといえる。
次に図4を見ると、本発明になるノズルの別の実施態様例であるノズル100が、吐出口42近傍を拡大して立体的に示されている。ノズル100は、一対の対向平面44A、Bのそれぞれと交わる第3の平面41を備えている他は、ノズル30と全く同じである。第3の平面41は吐出口42の直下になく、吐出口42よりも塗布方向(Y方向)上流側の吐出口面45上に連なってあることが好ましい。このような構成であれば、吐出口42から吐出された塗布液74が一対の対向平面44A、B間に形成される空間Sから、確実に塗布方向(Y方向)の下流側に流れ出て、塗布方向の上流側には絶対に流れ出ないので、より安定したビードBの縮小が行われる。その結果一対の対向平面44A、B間のギャップLSを最小とする微細な幅のストライプ状の塗布膜を、基板A上に容易にしかも安定して形成することができる。
The length LI of the discharge port surface 94 of the conventional nozzle 92 in the longitudinal direction of the nozzle 92 and the bottom end surface 49A of the present invention, and the length LE of the nozzle 30 of the B in the longitudinal direction LE are the discharge port surface 94 and the bottom end surface 49A. In order to secure the rigidity of the portion where B is formed, it is necessary to make it at least 20 μm larger than the length of the discharge port in the longitudinal direction of the nozzle. Therefore, it can be said that the nozzle 30 of the present invention can form a coating film having a fine stripe width that is at least 20 μm smaller than the conventional nozzle.
Next, when FIG. 4 is seen, the nozzle 100 which is another example of the embodiment of the nozzle according to the present invention is three-dimensionally shown by enlarging the vicinity of the discharge port 42. The nozzle 100 is exactly the same as the nozzle 30 except that it includes a third plane 41 that intersects each of the pair of opposed planes 44A and 44B. It is preferable that the third plane 41 is not directly under the discharge port 42 but is continuous with the discharge port surface 45 upstream of the discharge port 42 in the application direction (Y direction). With such a configuration, the coating liquid 74 discharged from the discharge port 42 surely flows out from the space S formed between the pair of opposed flat surfaces 44A and B to the downstream side in the coating direction (Y direction) Since it never flows out upstream in the coating direction, the bead B can be more stably reduced. As a result, it is possible to easily and stably form a stripe-shaped coating film having a fine width that minimizes the gap LS between the pair of opposing flat surfaces 44A and B on the substrate A.
なおノズル30の吐出口42の形状については、塗布液74の吐出方向(図2の矢印E方向)から見て、円形、矩形、長穴形状等いかなるものであっても良い。吐出口42のノズル30のノズル長手方向(X方向)の長さLDと、一対の対向平面44A、B間のギャップLSは略同一であることが好ましいが、ギャップLSの方を大きくしても良い。また、ノズル30の最下端面49A、Bのノズル30の長手方向(X方向)の長さLEは、上記したように一対の対向平面44A、B間のギャップLSより20〜100μm長いことが好ましい。これによって一対の対向平面44A、Bの平行度を維持する剛性を得ることができる。吐出口42を含む吐出口面45からノズル30の最下端面49A、Bまでの長さLaは、10〜100μmであることが好ましい。この範囲未満であると上記したようなビードB内部に負圧を発生させてビードBを縮小させるのに必要な空間Sを充分に形成することができず、この範囲を越えると一対の対向平面44A、Bの平行度を維持する剛性を確保できない。長さLaが10〜100μmであるなら、吐出口面45と外面46は同一平面上に含まれていてもよいし、そうでなくてもよい。傾斜部47A、Bの塗布液74の吐出方向(Z方向)に対する角度φ1は、いかなる角度であってもよいが、好ましくは−10〜90度、より好ましくは0〜45度にする。角度φ1=90度は、換言するとノズル30の最下端面49A、Bが、下板部38の外面46と同一平面であることを表す。 The shape of the discharge port 42 of the nozzle 30 may be any shape such as a circular shape, a rectangular shape, or a long hole shape when viewed from the discharge direction of the coating liquid 74 (the direction of arrow E in FIG. 2). It is preferable that the length LD in the nozzle longitudinal direction (X direction) of the nozzle 30 of the discharge port 42 and the gap LS between the pair of opposed planes 44A and 44B are substantially the same, but even if the gap LS is made larger. good. Further, the length LE in the longitudinal direction (X direction) of the nozzles 30 at the lowermost end surfaces 49A and B of the nozzle 30 is preferably 20 to 100 μm longer than the gap LS between the pair of opposed planes 44A and B as described above. . As a result, it is possible to obtain rigidity that maintains the parallelism of the pair of opposed flat surfaces 44A and 44B. The length La from the discharge port surface 45 including the discharge port 42 to the lowermost end surfaces 49A, B of the nozzle 30 is preferably 10 to 100 μm. If it is less than this range, a negative pressure is generated in the bead B as described above, and the space S necessary for reducing the bead B cannot be sufficiently formed. The rigidity which maintains the parallelism of 44A and B cannot be secured. If the length La is 10 to 100 μm, the discharge port surface 45 and the outer surface 46 may or may not be included on the same plane. The angle φ1 of the inclined portions 47A and B with respect to the discharge direction (Z direction) of the coating liquid 74 may be any angle, but is preferably −10 to 90 degrees, more preferably 0 to 45 degrees. In other words, the angle φ1 = 90 degrees represents that the lowermost end surfaces 49A and 49B of the nozzle 30 are flush with the outer surface 46 of the lower plate portion 38.
吐出口面45の塗布方向(Y方向)長さLHは、吐出口42の塗布方向(Y方向)長さLFより50〜500μm長いことが好ましい。この範囲未満であると吐出口面45を形成する加工難易度が高くなり、この範囲を越えるとビードBの容量が大きくなって内部に発生する負圧の大きさはほとんど向上しないので、ビードBの縮小効果が限定される。またノズル30の最下端面49A、Bの塗布方向(Y方向)長さLGは、吐出口面45の塗布方向(Y方向)長さLH以下であることが好ましい。この関係によって、吐出口面45の塗布方向(Y方向)両隣に連なる傾斜部43は塗布液吐出方向に対する角度φ2を有することになる。角度φ2は、0〜80度が好ましい。 The application direction (Y direction) length LH of the discharge port surface 45 is preferably 50 to 500 μm longer than the application direction (Y direction) length LF of the discharge port 42. If it is less than this range, the processing difficulty for forming the discharge port surface 45 becomes high, and if it exceeds this range, the capacity of the bead B increases and the magnitude of the negative pressure generated inside hardly increases. The reduction effect is limited. In addition, the application direction (Y direction) length LG of the lowermost end surfaces 49A and 49B of the nozzle 30 is preferably equal to or less than the application direction (Y direction) length LH of the discharge port surface 45. Due to this relationship, the inclined portion 43 connected to both sides of the discharge port surface 45 in the application direction (Y direction) has an angle φ2 with respect to the application liquid discharge direction. The angle φ2 is preferably 0 to 80 degrees.
一対の対向平面44A、Bの長さLAは、好ましくは0〜2000μm、より好ましくは20〜500μmである。ここでLA=0とは、ノズル30の最下端面49A、Bと下板部38の外面46が同一平面内に存在することを表す。長さLAが上記の範囲であると、塗布開始直後からストライプ状塗布膜の形成が可能となるが、2000μmより大きいと、ノズル30の形状加工難度が増大する。最下端面49A、Bのノズル30の長手方向(X方向)の長さLEは好ましくは30〜300μm、より好ましくは40〜200μm、塗布方向(Y方向)の長さLGは好ましくは10〜500μm、より好ましくは20〜200μmである。また吐出口面45の塗布方向(Y方向)長さLHは好ましくは60〜700μm、より好ましくは70〜600μmである。吐出口42のノズル30の長手方向(X方向)の長さLDと塗布方向(Y方向)長さLFは好ましくは10〜200μm、より好ましくは20〜100μmである。この範囲内であると、分岐部40から吐出口42間を塗布液74が通過する際に異物等による詰まり故障を回避しやすく、また塗布液74を安定して吐出させるための適度な流速を得ることが可能となる。一対の対向平面44A、B間のギャップLSは好ましくは10〜200μm、より好ましくは20〜100μmである。 The length LA of the pair of opposed flat surfaces 44A and B is preferably 0 to 2000 μm, more preferably 20 to 500 μm. Here, LA = 0 indicates that the lowermost end surfaces 49A and 49B of the nozzle 30 and the outer surface 46 of the lower plate portion 38 exist in the same plane. When the length LA is within the above range, a stripe-shaped coating film can be formed immediately after the start of coating. However, when the length LA is larger than 2000 μm, the shape processing difficulty of the nozzle 30 increases. The length LE in the longitudinal direction (X direction) of the nozzles 30 of the lowermost end surfaces 49A and B is preferably 30 to 300 μm, more preferably 40 to 200 μm, and the length LG in the coating direction (Y direction) is preferably 10 to 500 μm. More preferably, it is 20-200 micrometers. The length LH in the application direction (Y direction) of the discharge port surface 45 is preferably 60 to 700 μm, more preferably 70 to 600 μm. The length LD in the longitudinal direction (X direction) and the length LF in the application direction (Y direction) of the nozzle 30 of the discharge port 42 are preferably 10 to 200 μm, more preferably 20 to 100 μm. Within this range, it is easy to avoid clogging failure due to foreign matter or the like when the coating liquid 74 passes between the branching portion 40 and the discharge port 42, and an appropriate flow rate for stably discharging the coating liquid 74 is set. Can be obtained. The gap LS between the pair of opposing flat surfaces 44A and B is preferably 10 to 200 μm, more preferably 20 to 100 μm.
次に、ストライプ塗布装置1を用いた塗布液74の被塗布部材である基板Aへのストライプ塗布方法について、図1を用いて説明する。まず準備作業として、図1のタンク72からノズル30まで塗布液74はすでに充満されており、タンク72以降のノズル30までの残留空気を排出する作業も既に終了している。この時の塗布液供給装置50の状態は、シリンジ62に塗布液74が充填、吸引バルブ54は閉、供給バルブ52は開、そしてピストン64は最下端の位置にあり、いつでも塗布液74をノズル30に供給できるようになっている。また吸着盤14、ノズル30もそれぞれ初期位置で待機している。すなわち吸着盤14はX方向には原点位置、X−Y平面内の回転方向(θ方向)には吸着盤14の長手側端部がX方向と平行になるように配置されている。ノズル30はY方向には原点位置、Z方向には最も高い位置に配置されている。 Next, a stripe coating method for the substrate A that is a member to be coated with the coating liquid 74 using the stripe coating apparatus 1 will be described with reference to FIG. First, as a preparatory work, the coating liquid 74 is already filled from the tank 72 to the nozzle 30 in FIG. 1, and the work for discharging the residual air to the nozzle 30 after the tank 72 has already been completed. At this time, the coating liquid supply device 50 is in a state where the syringe 62 is filled with the coating liquid 74, the suction valve 54 is closed, the supply valve 52 is opened, and the piston 64 is at the lowermost position. 30 can be supplied. The suction plate 14 and the nozzle 30 are also waiting at the initial positions. That is, the suction disk 14 is arranged so that the origin position is in the X direction and the longitudinal end of the suction disk 14 is parallel to the X direction in the rotation direction (θ direction) in the XY plane. The nozzle 30 is arranged at the origin position in the Y direction and at the highest position in the Z direction.
続いてストライプ塗布装置1の動作開始信号が操作盤82から制御装置80に伝えられると、吸着盤14の表面に図示しないリフトピンが上昇し、図示しない移載装置から被塗布部材である基板Aがリフトピン上部に載置される。そしてリフトピンを下降させて基板Aを吸着盤14上に載置し、同時に吸着保持する。次いで高さセンサー24によって基板Aの高さを検知するとともに、CCDカメラ22で2ヶ所設けられているアライメントマークを検知して、アライメントマークで定められた塗布方向とY方向が一致するようにX−θ駆動装置16を駆動して吸着盤14をθ方向に回転させる。次いで予め定めた基板Aの塗布開始位置直上にノズル30の吐出口42が位置するように、X−θ駆動装置16を駆動して吸着盤14をX方向に移動させるとともに、Y軸リニア装置20を駆動してノズル30をY方向に移動させる。ノズル30が基板A上の塗布開始位置直上に来たら停止させるとともに、測定した基板Aの高さに応じて基板Aとノズル30の最下端面49A、Bとの間のすきまが所定のクリアランスLCの値になるように、Z軸リニア駆動装置12を駆動してノズル30をZ方向に下降停止させる。基板Aとノズル30の間のすきまがクリアランスLCで静止している状態で、塗布液供給装置50のシリンジポンプ60を駆動してピストン64を上側に所定速度で上昇させて、塗布液74をノズル30に供給する。供給された塗布液74がノズル30の吐出口42から吐出され、ノズル30の最下端面49A、Bと基板Aとの間にビードBが形成されたら、Y軸リニア駆動装置20を駆動して一定速度でノズル30をY方向に移動開始し、塗布液74の基板Aへの塗布を始めて、ストライプ状塗布膜を形成する。基板Aの塗布終了位置がノズル30の吐出口42の位置に来たら、シリンジポンプ60のピストン64を停止させて塗布液74の供給を停止し、続いてZ軸リニア駆動装置12を駆動して、ノズル30を上昇させる。これによってノズル30と基板Aとの間に形成されたビードBが断ち切られ、ストライプ状の塗布が終了する。塗布終了後もY軸リニア駆動装置20は動き続け、終点位置に来たらノズル30は一旦停止し、今度は初期位置に向かって逆方向にY軸リニア駆動装置20を駆動してノズル30を移動させる。続いてX−θ駆動装置16を駆動して吸着盤14をX方向に移動させるとともに、Y軸リニア装置20を駆動してノズル30をY方向に移動させ、基板Aの次の塗布開始位置上にノズル30の吐出口42が来るようにする。これらの動作と並行して、供給バルブ52を閉、吸引バルブ54は開としてから、ピストン64を一定速度で下降させ、タンク72の塗布液74をシリンジ62に充填する。充填完了後、ピストン64を停止させ、吸引バルブ54を閉、供給バルブ52を開として、ノズル30が基板Aの塗布開始位置上に来るのを待ち、同じ動作を繰り返して次のストライプ状の塗布膜を形成する。 Subsequently, when an operation start signal of the stripe coating device 1 is transmitted from the operation panel 82 to the control device 80, lift pins (not shown) rise on the surface of the suction plate 14, and the substrate A as a member to be coated is transferred from the transfer device (not shown). Placed on top of lift pins. Then, the lift pins are lowered and the substrate A is placed on the suction disk 14 and simultaneously held by suction. Next, the height sensor 24 detects the height of the substrate A, and the CCD camera 22 detects two alignment marks, so that the coating direction determined by the alignment mark matches the Y direction. The -θ drive device 16 is driven to rotate the suction disk 14 in the θ direction. Next, the X-θ driving device 16 is driven to move the suction plate 14 in the X direction so that the ejection port 42 of the nozzle 30 is positioned immediately above the predetermined coating start position of the substrate A, and the Y-axis linear device 20 is moved. To move the nozzle 30 in the Y direction. When the nozzle 30 comes just above the coating start position on the substrate A, the nozzle 30 is stopped, and the clearance between the substrate A and the lowermost end surfaces 49A and 49B of the nozzle 30 is set to a predetermined clearance LC according to the measured height of the substrate A. The Z-axis linear drive device 12 is driven so that the nozzle 30 is lowered and stopped in the Z direction. In a state where the clearance between the substrate A and the nozzle 30 is stationary at the clearance LC, the syringe pump 60 of the coating liquid supply device 50 is driven to raise the piston 64 upward at a predetermined speed, so that the coating liquid 74 is moved to the nozzle. 30. When the supplied coating liquid 74 is discharged from the discharge port 42 of the nozzle 30 and a bead B is formed between the lowermost end surfaces 49A and 49B of the nozzle 30 and the substrate A, the Y-axis linear drive device 20 is driven. The nozzle 30 is started to move in the Y direction at a constant speed, and the application of the coating liquid 74 to the substrate A is started to form a stripe-shaped coating film. When the application end position of the substrate A comes to the position of the discharge port 42 of the nozzle 30, the piston 64 of the syringe pump 60 is stopped to stop the supply of the application liquid 74, and then the Z-axis linear drive device 12 is driven. The nozzle 30 is raised. As a result, the bead B formed between the nozzle 30 and the substrate A is cut off, and the striped application is completed. The Y-axis linear drive device 20 continues to move even after the application is completed, and once the nozzle 30 reaches the end point position, the nozzle 30 temporarily stops, and this time, the Y-axis linear drive device 20 is driven in the opposite direction toward the initial position to move the nozzle 30. Let Subsequently, the X-θ drive device 16 is driven to move the suction plate 14 in the X direction, and the Y-axis linear device 20 is driven to move the nozzle 30 in the Y direction so that the next coating start position on the substrate A is reached. The discharge port 42 of the nozzle 30 is made to come next. In parallel with these operations, after the supply valve 52 is closed and the suction valve 54 is opened, the piston 64 is lowered at a constant speed, and the application liquid 74 in the tank 72 is filled in the syringe 62. After the completion of filling, the piston 64 is stopped, the suction valve 54 is closed, the supply valve 52 is opened, and it waits for the nozzle 30 to be on the coating start position of the substrate A, and the same operation is repeated to apply the next stripe-shaped coating. A film is formed.
なお塗布終了後にノズル30が初期位置に戻り、基板Aでの予定の塗布が完了している場合は、基板Aの吸着を解除し、リフトピンを上昇させて基板Aを持ち上げる。この時図示されない移載装置によって基板Aの下面が保持され、次の工程に基板Aを搬送する。これと並行して、供給バルブ52を閉、吸引バルブ54は開としてから、ピストン64を一定速度で下降させ、タンク72の塗布液74をシリンジ62に充填する。充填完了後、ピストン64を停止させ、吸引バルブ54を閉、供給バルブ52を開として、次の基板Aが来るのを待ち、同じ動作を繰り返す。なおシリンジポンプ60への塗布液74の充填については、随時行えばよく、1〜N(整数)回の塗布ごとに行ってもよいし、1〜N枚の基板への塗布が完了した時点で行ってもよい。
また上記の塗布方法では、基板Aは隔壁等のパターンが形成されていない基板Aでの実施態様例を示したが、基板Aがストライプ状に複数の隔壁が形成されたパターン基板であってもよい。
When the application is completed, the nozzle 30 returns to the initial position, and when the planned application on the substrate A is completed, the adsorption of the substrate A is released, the lift pins are raised, and the substrate A is lifted. At this time, the lower surface of the substrate A is held by a transfer device (not shown), and the substrate A is transported to the next step. In parallel with this, the supply valve 52 is closed and the suction valve 54 is opened, and then the piston 64 is lowered at a constant speed to fill the syringe 62 with the coating liquid 74 in the tank 72. After the completion of filling, the piston 64 is stopped, the suction valve 54 is closed, the supply valve 52 is opened, the next substrate A is waited for, and the same operation is repeated. The filling of the application liquid 74 into the syringe pump 60 may be performed at any time, and may be performed every 1 to N (integer) application, or when application to 1 to N substrates is completed. You may go.
In the above coating method, the substrate A is an example of an embodiment in which the substrate A is not formed with a pattern such as a partition. However, even if the substrate A is a patterned substrate in which a plurality of partitions are formed in stripes. Good.
なお、本発明はいかなる塗布液にも適用できるが、粘度が0.5〜100mPa・sの塗布液にその有効性が如実に現れるので、それに適用することがより好ましい。さらに塗布条件としては、塗布速度は1mm/s〜500mm/s、より好ましくは10mm/s〜350mm/sである。クリアランスLCは好ましくは10〜300μm、より好ましくは20〜150μmである。塗布厚さも特に限定されないが、より薄い方がその効力を一層発揮するので、Wet厚さで好ましくは1〜20μm、より好ましくは2〜10μmである。 Although the present invention can be applied to any coating solution, its effectiveness clearly appears in a coating solution having a viscosity of 0.5 to 100 mPa · s, and it is more preferable to apply it. Furthermore, as application conditions, the application speed is 1 mm / s to 500 mm / s, more preferably 10 mm / s to 350 mm / s. The clearance LC is preferably 10 to 300 μm, more preferably 20 to 150 μm. The coating thickness is not particularly limited, but the thinner one exerts its effectiveness further. Therefore, the wet thickness is preferably 1 to 20 μm, more preferably 2 to 10 μm.
また上記実施態様例では間欠型の定容量ポンプとしてシリンジポンプ60を使用したが、定容量の塗布液の供給が行われるのならこれに限定されることはなく、ベロフラム型ポンプ(商品名CTポンプ)、ダイヤフラムポンプ、チュービングポンプ、ギアポンプ等が好適に用いられる。 In the above embodiment, the syringe pump 60 is used as an intermittent constant volume pump. However, the present invention is not limited to this as long as a constant volume of coating liquid is supplied. ), Diaphragm pumps, tubing pumps, gear pumps and the like are preferably used.
なおストライプ塗布装置1については、構成を変えて、ノズル30を固定、基板AをY方向に移動させてストライプ状に塗布できるようにしてもよい。 The stripe coating apparatus 1 may be configured to change the configuration so that the nozzle 30 is fixed and the substrate A is moved in the Y direction so as to be applied in a stripe shape.
以下実施例により本発明を具体的に説明する。
370×470mmで厚さ0.7mmの無アルカリガラス基板に、厚さ2μmで幅が30μm、基板短辺方向の長さ350mmのポリイミド膜がバンクとして基板長辺方向にピッチ100μmで4609本配置されている有機ELのパターン基板を用意した。なおポリイミド膜は基板中央にあり、基板短辺方向の両側10mm、基板長手方向の両側5mmがストライプ状のポリイミド膜のない非製品領域であった。さらに隔壁としてのポリイミド膜の間にはITO透明電極が陽極としてガラス基板上に0.1μm、その上に正孔注入輸送層が0.2μm形成されていた。正孔注入輸送層はポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸が混合されたものを主成分とするものであった。
The present invention will be specifically described below with reference to examples.
On a non-alkali glass substrate having a thickness of 370 × 470 mm and a thickness of 0.7 mm, 4609 polyimide films having a thickness of 2 μm, a width of 30 μm, and a length of 350 mm in the short side direction of the substrate are arranged as a bank at a pitch of 100 μm in the long side direction of the substrate An organic EL pattern substrate was prepared. The polyimide film was in the center of the substrate, and 10 mm on both sides in the short-side direction of the substrate and 5 mm on both sides in the long-side direction of the substrate were non-product regions without a striped polyimide film. Further, between the polyimide films as the partition walls, an ITO transparent electrode was formed as an anode on a glass substrate with a thickness of 0.1 μm, and a hole injecting and transporting layer was formed thereon with a thickness of 0.2 μm. The hole injecting and transporting layer was mainly composed of a mixture of polyethylene dioxythiophene and polystyrene sulfonic acid.
次に隔壁間の正孔注入輸送層の上にR、G、Bの発光材をストライプ状に塗布すべく、RGB発光材を準備した。RGB発光材はいずれもポリフェニレンビニレン系高分子であり、R発光材は固形分濃度1%で粘度が2mPa・s、G発光材は固形分濃度0.5%で粘度が1.5mPa・s、B発光材は固形分濃度1%で粘度が1mPa・sであった。図1に示すストライプ塗布装置1でストライプ状の塗布を行うべく、専用のノズル30を準備した。 Next, RGB light emitting materials were prepared in order to apply R, G, and B light emitting materials in stripes on the hole injecting and transporting layer between the barrier ribs. Each of the RGB light emitting materials is a polyphenylene vinylene polymer, the R light emitting material has a solid content concentration of 1% and a viscosity of 2 mPa · s, the G light emitting material has a solid content concentration of 0.5% and a viscosity of 1.5 mPa · s, The B light emitting material had a solid content concentration of 1% and a viscosity of 1 mPa · s. A dedicated nozzle 30 was prepared in order to perform striped coating with the stripe coating apparatus 1 shown in FIG.
このノズル30には、ノズル30の長手方向の長さLD=60μmで、塗布方向長さLF=80μmの矩形状の吐出口42が、ピッチLR=300μmで512個配置されていた。さらにノズル30の最下端面49A、Bのノズル30の長手方向長さLE=100μm、塗布方向長さLG=180μm、吐出口面45の塗布方向長さLH=380μm、一対の対向平面44A、Bの長さLA=300μm、吐出口面45から最下端面49A、Bまでの長さLa=100μm、φ1=20度、φ2=45度であった。なお、一対の対向平面44A、B間のギャップLSは、吐出口42のノズル30の長手方向の長さLDと同じ60μmであった。このノズル30をストライプ塗布装置1に取り付け、上記のR発光材をタンク72からノズル30まで充填した。上記のポリイミドのストライプ膜が形成された基板を吸着盤14に吸着後、基板上のアライメントマークをCCDカメラ22で検知して、ノズル30を基板の塗布開始位置の直上に配置した。 In the nozzle 30, 512 rectangular discharge ports 42 having a length LD in the longitudinal direction of the nozzle 30 of 60 μm and a coating direction length LF of 80 μm were arranged at a pitch LR = 300 μm. Furthermore, the lowermost end surface 49A of the nozzle 30 and the longitudinal length LE of the nozzle 30 of B = 100 μm, the application direction length LG = 180 μm, the application direction length LH = 380 μm of the discharge port surface 45, a pair of opposed flat surfaces 44A, B Length LA = 300 μm, length La from the discharge port surface 45 to the bottom end surface 49A, B = 100 μm, φ1 = 20 degrees, and φ2 = 45 degrees. The gap LS between the pair of opposed flat surfaces 44A and B was 60 μm, which is the same as the length LD of the discharge port 42 in the longitudinal direction of the nozzle 30. The nozzle 30 was attached to the stripe coating apparatus 1 and the above R light emitting material was filled from the tank 72 to the nozzle 30. After the substrate on which the polyimide stripe film was formed was adsorbed to the adsorbing plate 14, the alignment mark on the substrate was detected by the CCD camera 22, and the nozzle 30 was placed immediately above the application start position of the substrate.
なお塗布開始位置は、X方向には、原点に一番近い基板のバンク間の溝が、ノズル30の一番原点に近い吐出口と一致する位置、Y方向には原点に一番近い基板端部から5mmの位置であった。また吐出口42が直線状に連なる方向と、ポリイミド膜がストライプとなって伸びる方向が直交するように基板AのX−Y平面内の回転角度をX−θ駆動装置16により調整をした。高さセンサー24で測定した基板Aの高さに基づいて、最下端面49A、Bと基板Aとの間のすきまであるクリアランスLC=30μmとなるように、Z軸リニア駆動装置12を駆動してノズル30を下降させた。 The application start position is the position in the X direction where the groove between the banks of the substrate closest to the origin coincides with the discharge port closest to the origin of the nozzle 30, and the substrate end closest to the origin in the Y direction. The position was 5 mm from the part. Further, the rotation angle in the XY plane of the substrate A was adjusted by the X-θ drive device 16 so that the direction in which the discharge ports 42 are connected in a straight line and the direction in which the polyimide film extends as a stripe are orthogonal. Based on the height of the substrate A measured by the height sensor 24, the Z-axis linear drive device 12 is driven so that the clearance LC = 30 μm is provided to the clearance between the lowermost end surfaces 49A, 49B and the substrate A. The nozzle 30 was lowered.
続いてシリンジポンプ60のピストン64を、供給速度0.95μl/sとなるように一定速度で上昇させてノズル30よりR発光材の吐出を開始し、この吐出開始より0.2秒後にY軸リニア駆動装置20を駆動開始して、ノズル30をY方向に66mm/sで移動開始した。そして基板短辺方向の塗布開始位置から360mmの位置でシリンジポンプ60のピストン64を停止させるとともに、塗布開始位置から365mmの位置でZ軸リニア駆動装置12を駆動して、ノズル30を上昇させた。これらの動作によって基板A端部から5mmの塗布開始位置から70μm幅でWet厚さ0.4μmの360mm長のストライプ状塗布膜が512本形成され、ポリイミド膜のバンク間にすべてR発光材が充填され、バンク上に乗り上げる物や、充填されていない部分もなかった。 Subsequently, the piston 64 of the syringe pump 60 is raised at a constant speed so that the supply speed becomes 0.95 μl / s, and discharge of the R light emitting material is started from the nozzle 30. The drive of the linear drive device 20 was started and the movement of the nozzle 30 in the Y direction was started at 66 mm / s. Then, the piston 64 of the syringe pump 60 was stopped at a position 360 mm from the application start position in the short side direction of the substrate, and the Z-axis linear drive device 12 was driven at a position 365 mm from the application start position to raise the nozzle 30. . With these operations, 512 stripe-shaped coating films with a width of 70 μm and a wet thickness of 0.4 μm are formed from the coating start position of 5 mm from the edge of the substrate A, and R light emitting material is filled between the polyimide film banks. There were no items on the bank or any unfilled parts.
なお塗布方向にはバンクの前後に5mmずつ、バンクパターンのない基板上にも幅が65μmのストライプ状の塗布膜が形成された。次にノズル30の塗布開始位置を負のX方向に153.6mmだけ移動させて、同様の塗布を行い、さらにノズル30の塗布開始位置を正のX方向に153.6mmだけ移動させて同様の塗布を繰り返し、合計1536本のストライプ状塗布膜を形成し、予定していたポリイミド膜のバンク間にR発光材を全て充填した。R発光材の塗布が完了した基板を取り出し、ホットプレートで120℃、10分の乾燥を行った。 In the coating direction, a stripe-shaped coating film having a width of 65 μm was formed on a substrate without a bank pattern by 5 mm before and after the bank. Next, the application start position of the nozzle 30 is moved by 153.6 mm in the negative X direction to perform the same application, and the application start position of the nozzle 30 is further moved by 153.6 mm in the positive X direction. The coating was repeated to form a total of 1536 striped coating films, and all the R light emitting materials were filled between the banks of the polyimide film that had been planned. The substrate on which the application of the R light emitting material was completed was taken out and dried on a hot plate at 120 ° C. for 10 minutes.
引き続いてG発光材、B発光材についても同様のストライプ塗布を行った。G発光材についてはR発光材のすぐ隣のバンク間に塗布できるように位置決めをし、シリンジポンプ60のストライプ塗布時の吐出速度が1.9μl/sである他は、すべてR発光材と同じ条件にて塗布と乾燥を行った。B発光材については、R発光材とG発光材の間のバンク間に塗布できるように位置決めをし、R発光材とすべて同じ条件に塗布と乾燥を行った。以上の塗布と乾燥を行った結果、R、G、B発光材ともに、基板端部から5mmの塗布開始位置から、4nm厚さ、70μm幅で360mm長のストライプ状塗布膜が、それぞれ1536本形成され、すべてのポリイミド膜のバンク間がR、G、B発光材が規則正しく充填された。なお、厚さむらは、R、G、B発光材ともに、塗布開始部および終了部から5mm除外した製品領域で、±5%以下で、非常に良好であった。 Subsequently, the same stripe coating was applied to the G light emitting material and the B light emitting material. The G light emitting material is positioned so that it can be applied between the banks immediately adjacent to the R light emitting material, and is the same as the R light emitting material except that the discharge speed when applying the stripe of the syringe pump 60 is 1.9 μl / s. Application and drying were performed under conditions. The B light-emitting material was positioned so that it could be applied between the banks between the R light-emitting material and the G light-emitting material. As a result of the above application and drying, 1536 striped coating films each having a thickness of 4 nm, a width of 70 μm, and a length of 360 mm were formed from the coating start position 5 mm from the edge of the substrate for each of the R, G, and B light emitting materials. Then, the R, G, and B light emitting materials were regularly filled between the banks of all the polyimide films. The thickness unevenness of the R, G, and B light emitting materials was very good at ± 5% or less in the product region excluding 5 mm from the coating start and end portions.
そして最後に塗布したRGB発光材と隔壁の上を覆うように陰電極を蒸着して有機EL素子を作成した。この有機EL素子をさらに後工程で所定の処理をして表示装置に形成したところ、RGBの色が基板全面にわたって均一で、品質的に申し分ないものであった。 And the negative electrode was vapor-deposited so that the RGB light-emitting material and the partition which were apply | coated last may be covered, and the organic EL element was created. When this organic EL element was further processed in a subsequent process to form a display device, the RGB color was uniform over the entire surface of the substrate, and the quality was satisfactory.
本発明は、有機EL、カラーフィルター、プラズマディスプレイ等の基板上に面にストライプ状の塗布膜を形成する各種ディスプレイ用部材の製造に利用可能である。 INDUSTRIAL APPLICATION This invention can be utilized for manufacture of the member for various displays which forms a striped coating film in the surface on substrates, such as organic EL, a color filter, a plasma display.
1 ストライプ塗布装置
10 XYZステージ
12 Z軸リニア駆動装置
14 吸着盤
16 X−θ駆動装置
18 ブラケット
20 Y軸リニア駆動装置
22 CCDカメラ
24 高さセンサー
26 ベース
28 門型ベース
30 ノズル
32 本体
34 マニホールド
36 塗布液供給口
38 下板部
40 分岐部
41 第3の平面
42 吐出口
43 傾斜部
44A、B 一対の対向平面
45 吐出口面
46 外面
47A、B 傾斜部
48A、B 最下端部
49A、B 最下端面
50 塗布液供給装置
52 供給バルブ
54 吸引バルブ
56 フィルター
60 シリンジポンプ
62 シリンジ
64 ピストン
66 本体
68 供給ホース
70 吸引ホース
72 タンク
74 塗布液
76 圧空源
80 制御装置
82 操作盤
92 ノズル
93 突出部
94 吐出口面
95 吐出口
96 傾斜部
100 ノズル
A 基板
B ビード
LA 一対の対向平面44A、Bの長さ
La 吐出口面45から最下端面49までの長さ
LB ストライプ状塗布膜の幅
LC クリアランス
LD 吐出口42のノズル30の長手方向(X方向)の長さ
LE 最下端面49A、Bのノズル30の長手方向(X方向)の長さ
LF 吐出口42の塗布方向(Y方向)長さ
LG 最下端面49A、Bの塗布方向(Y方向)長さ
LH 吐出口面45の塗布方向(Y方向)長さ
LI 吐出口面94のノズル92の長手方向の長さ
LJ 吐出口95のノズル92の長手方向の長さ
LR ピッチ
LS 一対の対向平面44A、B間のギャップ
S 一対の対向平面44A、B間に形成される空間
θ X−Y平面内の回転方向
φ1 傾斜部47A、Bの塗布液吐出方向に対する角度
φ2 傾斜部43の塗布液吐出方向に対する角度
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Stripe coating apparatus 10 XYZ stage 12 Z-axis linear drive device 14 Suction board 16 X-theta drive device 18 Bracket 20 Y-axis linear drive device 22 CCD camera 24 Height sensor 26 Base 28 Gate type base 30 Nozzle 32 Main body 34 Manifold 36 Coating liquid supply port 38 Lower plate portion 40 Branch portion 41 Third plane 42 Discharge port 43 Inclined portion 44A, B A pair of opposed flat surfaces 45 Discharge port surface 46 Outer surface 47A, B Inclined portion 48A, B Bottom end portion 49A, B Lower end surface 50 Coating liquid supply device 52 Supply valve 54 Suction valve 56 Filter 60 Syringe pump 62 Syringe 64 Piston 66 Main body 68 Supply hose 70 Suction hose 72 Tank 74 Coating liquid 76 Pressure air source 80 Controller 82 Operation panel 92 Nozzle 93 Protrusion 94 Discharge port surface 95 Discharge port 96 Inclined portion 100 Nozzle A Substrate B Bead LA Length La of a pair of opposed planes 44A, B Length LB from discharge port surface 45 to bottom end surface 49 Width of striped coating film LC Clearance LD Longitudinal direction of nozzle 30 of discharge port 42 (X direction) ) Length LE of the lowermost end surfaces 49A and B of the nozzle 30 in the longitudinal direction (X direction) LF The application direction (Y direction) length of the discharge port 42 LG The application direction of the lowermost end surfaces 49A and B (Y direction) ) Length LH Application direction (Y direction) length LI of discharge port surface 45 Length LJ of discharge port surface 94 in the longitudinal direction of nozzle 92 Length JL of discharge port 95 in the longitudinal direction LR Pitch LS Gaps between planes 44A and B S Space formed between a pair of opposed planes 44A and B θ Rotation direction φ1 in inclined plane φ1 Inclined portion 47A, angle B of coating liquid discharge direction φ2 Application liquid of inclined portion 43 To discharge direction Angle
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010050344A JP2011183291A (en) | 2010-03-08 | 2010-03-08 | Nozzle, coating apparatus, coating method, and method for manufacturing display member |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013202507A (en) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Toray Eng Co Ltd | Stripe coating method |
CN108580111A (en) * | 2018-07-04 | 2018-09-28 | 张家港康得新光电材料有限公司 | Alignment Coating Equipment and coating method |
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- 2010-03-08 JP JP2010050344A patent/JP2011183291A/en active Pending
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