JP2002104878A

JP2002104878A - セラミックグリーンシート用スラリー組成物及びグリーンシート

Info

Publication number: JP2002104878A
Application number: JP2000299247A
Authority: JP
Inventors: Yoshitaka Miyake; 祥隆三宅
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Current assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 2000-09-29
Filing date: 2000-09-29
Publication date: 2002-04-10

Abstract

(57)【要約】【課題】強度を維持した状態で、しかも熱圧着時の接
着性が優れ、かつ支持体からの剥離性が良好なセラミッ
クグリーンシート用スラリー組成物及びグリーンシート
を提供する。【解決手段】本発明のセラミックグリーンシート用ス
ラリー組成物は、それぞれのポリビニルアセタール樹脂
の水酸基量の差が５モル％以上、重合度の差が５００以
上であり、混合されたときの見掛けの水酸基量が２０〜
４０モル％、及び見掛けの重合度が３００〜２４００と
なる、水酸基量及び重合度の異なる複数種類のポリビニ
ルアセタール樹脂の混合物と、セラミック粉末、可塑剤
及び有機溶剤とを含有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックグリー
ンシート用スラリー組成物及びそれを用いて得られたグ
リーンシートに関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサーを製造する
場合には、一般に次のような工程を経て製造される。ま
ず、セラミック粉末を有機溶剤中に分散した溶液中にバ
インダー樹脂と可塑剤を加え、ボールミル等の混合装置
により均一に混合し脱泡してスラリー組成物を調整す
る。次いで、このスラリー組成物をドクターブレード、
３本ロールリバースコーター等を用いて、剥離性の支持
体上に塗布し、これを加熱して乾燥した後、支持体から
剥離してグリーンシートを得る。

【０００３】得られた上記グリーンシート上に内部電極
となる導電ペーストをスクリーン印刷等により塗布した
ものを複数枚積み重ね、加熱圧着して積層体を得る。そ
れを所定の形状に切断し、焼成して得たセラミック焼結
体の端面に外部電極を焼結することで積層セラミックコ
ンデンサーが得られる。

【０００４】この種のグリーンシートには、ハンドリン
グ性を良くするために、ポリビニルアセタール樹脂、例
えば、ポリビニルブチラール樹脂を用いることが知られ
ている（例えば、特開平３−１９７５１１号公報、特開
平３−２００８０５号公報、特開平４ー１７５２６１号
公報及び特開平４−１７８４０４号公報参照）。

【０００５】近年、電子機器の小型化に伴い、積層セラ
ミックコンデンサーは小型大容量化が求められている。
その方策として、従来のものに比べてより微細な粒径の
セラミック粉末（例えば粒径が０．５μｍ以下）を用い
て得られる薄層のグリーンシート（例えば５μｍ以下）
を２００層以上積み重ねることが試みられている。

【０００６】ところが、このような薄層のグリーンシー
トを２００層以上に積み重ねるためには、熱圧着時の接
着性もしくは支持体からの剥離性とグリーンシートの強
度が非常に重要となる。例えば、積層時の熱圧着性を向
上させるためには、水酸基量が少ない（アセタール化度
の高い）か、または重合度の低いポリビニルアセタール
樹脂を使用することが有効である。

【０００７】しかし、一方で支持体からのグリーンシー
トの剥離性が悪くなったり、グリーンシートが柔らかく
なるため、また重合度が低いためにグリーンシートの強
度が低下し、剥離工程でその剥離に耐え得るための強度
が足りず、グリーンシートが破れたり、異常に伸びてし
まうという問題があった。

【０００８】また、グリーンシートの支持体からの剥離
性、及び強度を向上させるためには、水酸基量が多い
（アセタール化度の低い）か、または重合度の高いポリ
ビニルアセタール樹脂を使用することが有効であるが、
熱圧着時の接着性が低くなり、積層後のグリーンシート
の剥離等の問題が発生したり、重合度の高いポリビニル
アセタール樹脂を使用した場合はスラリー粘度が高くな
りスラリー化することが困難となったりする。

【０００９】これを改善するために、可塑剤の添加量を
増加することでグリーンシートの熱圧着性を改善するこ
とも考えられるが、可塑剤を過剰に添加すると、焼結時
の収縮率が悪くなったり、グリーンシートで保管した場
合、可塑剤がブリードアウトする等の経時での安定性に
問題があった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題を解
決するもので、その目的とするところは、強度を維持し
た状態で、しかも熱圧着時の接着性が優れ、かつ支持体
からの剥離性が良好なセラミックグリーンシート用スラ
リー組成物及びグリーンシートを提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のセラミックグリ
ーンシート用スラリー組成物は、それぞれのポリビニル
アセタール樹脂の水酸基量の差が５モル％以上、重合度
の差が５００以上であり、混合されたときの見掛けの水
酸基量が２０〜４０モル％、及び見掛けの重合度が３０
０〜２４００となる、水酸基量及び重合度の異なる複数
種類のポリビニルアセタール樹脂の混合物と、セラミッ
ク粉末、可塑剤及び有機溶剤とを含有することを特徴と
するものである。

【００１２】また、本発明のグリーンシートは、請求項
１に記載のセラミックグリーンシート用スラリー組成物
をシート状に賦形し、乾燥して得られたものである。

【００１３】本発明で用いられるポリビニルアセタール
樹脂は、水酸基量及び重合度の異なる複数種類のポリビ
ニルアセタール樹脂が混合されたときの見掛け水酸基量
が２０〜４０モル％となるものである。混合されたポリ
ビニルアセタール樹脂の見掛け水酸基量が２０モル％未
満になると、グリーンシートにした際のシートの柔軟性
が強くなり、支持体からのグリーンシートの剥離性が悪
くなる。逆に見掛け水酸基量が４０モル％を超えると、
支持体からのグリーンシートの剥離性は良好なものの、
熱圧着時の接着性が悪くグリーンシート間で剥離する等
の問題が発生する。

【００１４】ここで記載した水酸基量、アセタール化度
及び見掛けのアセチル化度は、ＪＩＳＫ６７２８
「ポリビニルブチラール試験方法」に記載の方法を応用
することにより計算し得る。尚、本発明ではポリビニル
アセタールの見掛け重合度及び見掛け水酸基量は次の式
により求めたものである。 (A1+B1) ｌｏｇｘ＝A1logA2 + B1logB2 Ｘ：混合されたホ゜リヒ゛ニルアセタール樹脂の見掛け重合度
（見掛け水酸基量）Ａ１：ホ゜リヒ゛ニルアセタール樹脂Ａの混合重量比Ａ２：ホ゜リヒ゛ニルアセタール樹脂Ａの重合度（水酸基量）Ｂ１：ホ゜リヒ゛ニルアセタール樹脂Ｂの混合重量比Ｂ２：ホ゜リヒ゛ニルアセタール樹脂Ｂの重合度（水酸基量）

【００１５】また、水酸基量及び重合度の異なる少なく
と２種類以上のポリビニルアセタール樹脂は、その水酸
基量の差がそれぞれ５モル％以上であることが必要であ
る。水酸基量の差が５モル％未満であると熱圧着性もし
くは支持体からの剥離性、シート強度のバランスが取れ
ないため、どちらかの性能が劣るからである。また、上
記複数種類のポリビニルアセタール樹脂は重合度の差が
５００以上あることが必要である。５００未満であると
熱圧着性とシート強度のバランスが取れず、どちらかが
劣る結果となる。

【００１６】混合された後のポリビニルアセタール樹脂
の見掛け重合度は３００〜２４００の範囲であることが
必要である。見掛け重合度が３００未満ではグリーンシ
ート成形時のシート強度がなく、支持体からの剥離の際
にグリーンシートが切れたり、クラックが入りやすくな
る。逆に重合度が２４００を超えるとスラリーの溶液粘
度が高くなりすぎ分散性が悪く均一なスラリー組成物が
得られない。

【００１７】また、見掛けアセチル基量についても特に
限定はないが２０モル％以下であることが好ましい。見
掛けアセチル基量が２０モル％を超えると樹脂のガラス
転移温度が下がり、柔軟性が強すぎてグリーンシートの
ハンドリング性が悪くなることがあるからである。ま
た、水酸基量及び重合度の異なるポリビニルアセタール
樹脂の混合比は出来上がりのポリビニルアセタール樹脂
の見掛け水酸基量が２０〜４０モル％の範囲であれば特
に限定されるものではない。

【００１８】このようなポリビニルアセタール樹脂は、
ポリビニルアルコールの水溶液に各種アルデヒドを添加
し、公知の方法でアセタール化反応を行うことによって
合成することができる。用いられるポリビニルアルコー
ルは、重合度が２００〜３５００、ケン化度が７５〜９
９．８モル％のものが好ましい。重合度が２００未満で
はポリビニルアルコールの合成が難しくなり、逆に重合
度が３５００を超えると、これを水溶液とした時にその
粘度が高くなり過ぎてアセタール化反応が困難となる。

【００１９】また、ケン化度が７５モル％未満では水へ
の溶解性が十分でなく、逆にケン化度が９９．８モル％
を超えると、ポリビニルアルコールの合成が難しくなる
からである。

【００２０】ポリビニルアルコールのアセタール化に用
いるアルデヒドとしては、特に限定されるものではない
が、例えばホルムアルデヒド（パラホルムアルデヒドを
含む）、アセトアルデヒド（パラアセトアルデヒドを含
む）、プロピオンアルデヒド、ブチルアルデヒド、アミ
ルアルデヒド、ヘキシルアルデヒド、ヘプチルアルデヒ
ド、２−エチルヘキシルアルデヒド、シクロヘキシルア
ルデヒド、フルフラール、グリオキザール、グルタルア
ルデヒド、ベンズアルデヒド、２−メチルベンズアルデ
ヒド、３−メチルベンズアルデヒド、４−メチルベンズ
アルデヒド、ｐ−ヒドロキシベンズアルデヒド、ｍ−ヒ
ドロキシベンズアルデヒド、フェニルアセトアルデヒ
ド、β−フェニルプロピオンアルデヒド等が挙げられ、
これらのアルデヒドが単独で或いは二種以上を組み合わ
せて用いられる。特に、アセトアルデヒド及び／または
ブチルアルデヒドでアセタール化したものが好ましい。

【００２１】本発明で用いられるポリビニルアセタール
樹脂の製造方法の一例を具体的に説明する。まず、上記
ポリビニルアルコールを水に溶解させる。次に、塩酸の
ような酸触媒の存在で、前記のアセタール化度を与える
ように、所定量のアルデヒド、好ましくはアセトアルデ
ヒド及び／またはブチルアルデヒドと反応させた後、水
酸化ナトリウム等のアルカリで中和し、水洗、乾燥を行
う。こうして、本発明に用いられるポリビニルアセター
ル樹脂が得られる。

【００２２】本発明のセラミックグリーンシート用スラ
リー組成物は、上記特定の異なる見掛け水酸基量と見掛
け重合度を有する２種類以上のポリビニルアセタール樹
脂の混合物と、セラミック粉末、可塑剤と有機溶剤とを
配合し、これを常法により混合することにより調整され
る。

【００２３】ポリビニルアセタール樹脂は、セラミック
スラリー中に３〜１５重量％の範囲で配合するのが好ま
しい。ポリビニルアセタール樹脂の配合量が１５重量％
を超えると、セラミックスラリーの粘度が高くなり過ぎ
て分散性が低下し、また得られたグリーンシートを焼成
する際にシートの収縮率が大きくなる。逆に、樹脂の配
合量が３重量％未満では、セラミック粉末全体に分散さ
れるポリビニルアセタール樹脂の量が不十分となり、得
られるグリーンシートの柔軟性が不充分で、焼結後にク
ラック等が発生し易くなる。

【００２４】セラミック粉末としては、従来よりセラミ
ックグリーンシートを製造するのに用いられるセラミッ
ク粉末が使用される。このようなセラミック粉末として
は、例えば、アルミナ、ジルコニア、ケイ酸アルミニウ
ム、酸化チタン、酸化亜鉛、チタン酸バリウム、マグネ
シア、サイアロン、スピネルムライト、結晶化ガラス、
炭化ケイ酸、窒化ケイ酸、窒化アルミニウム等の粉末が
挙げられ、これらのセラミック粉末が単独或いは二種以
上組み合わせて用いられる。また、これらのセラミック
粉末に、ＭｇＯ−ＳｉＯ2 −ＣａＯ系、Ｂ２Ｏ３−Ｓｉ
Ｏ２系、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系、ＣａＯ−Ｓｉ
Ｏ２−ＭｇＯ−Ｂ２Ｏ３系またはＰｂＯ−ＳｉＯ２−Ｂ
２Ｏ３−ＣａＯ系等のガラスフリットを添加してもよ
い。

【００２５】特に、薄層のグリーンシート（例えば５μ
ｍ以下）を得るために、より微細な粒径のセラミック粉
末（例えば粒径が０．５μｍ以下）を用いるのが好まし
い。上記のセラミック粉末は、セラミックスラリー組成
物中に３０〜８０重量％の範囲で配合するのが好まし
い。セラミック粉末の配合量が８０重量％を超えると、
セラミックスラリー組成物の粘度が高くなり過ぎて混練
性が低下する。逆に、セラミック粉末の配合量が３０重
量％未満では、セラミックスラリー組成物の粘度が低く
なり過ぎてシートを成形する際のハンドリング性が悪く
なる。

【００２６】可塑剤としては、ポリビニルアセタール樹
脂との相溶性に優れているものであれば、任意の可塑剤
を用いることができる。例えば、フタル酸ジブチル、フ
タル酸ジオクチル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ブ
チルベンジル等のフタル酸エステル系、リン酸トリクレ
ジル、リン酸トリブチル、リン酸トリエチル等のリン酸
エステル系、リシノール酸メチルアセチル、セバシン酸
ジブチル、アジピン酸ジオクチル等の樹脂酸エステル
系、ブチルフタリルグリコレート、トリエチレングリコ
ール−２−エチルブチレート等のグリコール誘導体等が
挙げられ、これらの可塑剤が単独或いは二種以上を組み
合わせて用いられる。

【００２７】上記可塑剤は、セラミックスラリー組成物
中に０．１〜１０重量％の範囲で配合することが好まし
い。可塑剤の配合量が１０重量％を超えると、シートを
成形する際のハンドリング性が悪くなる。逆に、可塑剤
の配合量が０．１重量％未満では、可塑剤を配合したこ
とによるシートの柔軟性が充分に得られない。

【００２８】有機溶剤は、ポリビニルアセタール樹脂を
溶解し、セラミックスラリー組成物に適度な混練性を与
えるもので、セラミックスラリー組成物中に２０〜８０
重量％の範囲で使用するのが好ましい。有機溶剤として
は、例えば、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン
類、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−
ブロパノール、ｎ−ブタノール等のアルコール類、トル
エン、キシレン等の芳香族炭化水素類等が挙げられ、こ
れらの溶剤が単独或いは二種以上組み合わせて用いられ
る。

【００２９】尚、本発明のスラリー組成物には、目的を
達成し得る範囲内で、必要に応じて、潤滑剤、分散剤、
解膠剤、濡れ剤、帯電防止剤、消泡剤などを含有させて
もよい。

【００３０】こうして得られたセラミックグリーンシー
ト用スラリー組成物は、必要に応じて脱泡した後、剥離
性のポリエステルフィルム、鋼板のプレート等の支持体
上に塗布され、加熱、乾燥により有機溶剤が除去され、
その後支持体から剥離されグリーンシートが得られる。

【００３１】このグリーンシートを用いて積層セラミッ
クコンデンサーを得るには、グリーンシート上に内部電
極となる導電ペーストをスクリーン印刷等により塗布し
たものを複数枚積み重ね、加熱圧着して積層体を得る。
この積層体を所定の形状及び寸法に切断した後、高温
（例えば６００℃程度）に加熱してバインダー樹脂をほ
ぼ完全に分解し、さらに高温（例えば１３５０℃程度）
に加熱してセラミック粉末を焼結し、次いで得られたセ
ラミック焼結体の端面に外部電極を焼結することで積層
セラミックコンデンサーが得られる。

【００３２】

【作用】バインダー樹脂として、上述した５モル％以上
の水酸基量の異なる２種類以上のポリビニルアセタール
樹脂を混合し、混合した後の見掛け水酸基量が２０〜４
０モル％で、かつ重合度の差が５００以上となるポリビ
ニルアセタール樹脂、即ち同一可塑剤との相溶性の異な
るポリビニルアセタール樹脂を用いることで、水酸基量
の少ない、または重合度の低いポリビニルアセタール樹
脂で熱圧着性の機能を持たせ、水酸基量の多い、または
重合度の高いポリビニルアセタール樹脂で、支持体から
の剥離性、シート強度の機能を持たせたスラリー組成物
が得られ、薄層のグリーンシートを使用して２００層以
上の多層の積層体を得ることができる。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例及び比較例
を挙げる。（実施例１）ポリビニルアセタール樹脂の製造重合度３００、ケン化度９８モル％のポリビニルアルコ
ール１９３ｇを純水２９００ｇに加え、９０℃の温度で
約２時間攪拌して溶解した。この溶液を２８℃に冷却
し、これに濃度３５重量％の塩酸２０ｇとｎ−ブチルア
ルデヒド１１５ｇとを添加し、液温を２０℃に下げてこ
の温度を維持してアセタール化反応を行い、反応生成物
を析出させた。その後、液温を３０℃に５時間維持して
反応を完了させ、常法により中和、水洗及び乾燥を経
て、ポリビニルアセタール樹脂の白色粉末を得た。得ら
れたポリビニルアセタール樹脂をＤＭＳＯ−ｄ６（ジメ
チルスルホキサイド）に溶解し、¹³Ｃ−ＮＭＲ（核磁気
共鳴スペクトル）を用いてアセタール化度を測定したと
ころ、水酸基量は３０モル％、ブチラール化度は６８モ
ル％であった。

【００３４】重合度１０００、ケン化度９８モル％のポ
リビニルアルコール２００ｇを純水１４００ｇに加え、
９０℃の温度で約２時間攪拌して溶解した。この溶液を
２８℃に冷却し、これに濃度３５重量％の塩酸２１６ｇ
とｎ−ブチルアルデヒド１２８ｇとを添加し液温を２０
℃に下げてこの温度を維持してアセタール化反応を行
い、反応生成物を析出させた。その後液温を３０℃に５
時間維持して反応を完了させ、常法により中和、水洗及
び乾燥を経て、ポリビニルアセタール樹脂の白色粉末を
得た。得られたポリビニルアセタール樹脂をＤＭＳＯ−
ｄ６（ジメチルスルホキサイド）に溶解し、¹³Ｃ−ＮＭ
Ｒ（核磁気共鳴スペクトル）を用いてアセタール化度を
測定したところ、水酸基量は２１モル％、ブチラール化
度は７７モル％であった。

【００３５】スラリー組成物の製造重合度３００、水酸基量３０モル％の上記ポリビニルア
セタール樹脂と、重合度１０００、水酸基量２１モル％
のポリビニルアセタール樹脂とを重量比１：１で混合し
見掛け重合度５５０、見掛け水酸基量２５．１モル％と
したポリビニルアセタール樹脂１０重量部を、トルエン
３０重量部とエタノール１５重量部との混合溶剤に加え
攪拌溶解した。この樹脂溶液に、可塑剤としてジブチル
フタレート５重量部を加え攪拌溶解した。こうして得ら
れた樹脂溶液に、セラミック粉末としてチタン酸バリウ
ム粉末（平均粒径０．４μｍ）１００重量部を加え、ボ
ールミルで３６時間混合してチタン酸バリウム粉末を分
散させたスラリー組成物を得た。

【００３６】グリーンシートの製造上記スラリー組成物を、離型処理したポリエステルフィ
ルム上に約６μｍに塗布し、常温で３０分間風乾し、さ
らに熱風乾燥機で６０〜８０℃で１５時間乾燥して有機
溶剤を乾燥させ、厚さ３μｍの薄層のグリーンシートを
得た。

【００３７】（実施例２〜７、比較例１〜５）ポリビニ
ルアルコールの重合度、ケン化度、アルデヒドの種類、
アセタール化度、水酸基量、混合比及びセラミック粉末
の平均粒径、可塑剤を表１に示すように変更した以外は
実施例１と同様の方法により、スラリー組成物及びグリ
ーンシートを製造した。

【００３８】スラリー組成物の剥離性、接着性、及びグ
リーンシートのシート強度、柔軟性の性能評価結果を表
２に示す。なお、該性能評価は下記基準により行った。（１）剥離性１０ｃｍ角に切断したグリーンシートをＰＥＴ上に１０
枚重ね、７０℃、圧力１５０Kg/ cm²、１０分間の熱圧
条件で積層したのち、グリーンシートをＰＥＴから剥離
した際の剥離状態を目視を主体とする官能試験によって
以下の３段階で評価した。 ○：ＰＥＴへの付着グリーンシートがなく、かつ、グリ
ーンシートの切れやクラックが全くない。 △：ＰＥＴへの付着グリーンシートが一部認められ、ま
たは、グリーンシートの切れ、クラックが一部認められ
た。 ×：ＰＥＴへの付着グリーンシートがかなり多く認めら
れ、または、グリーンシートの切れ、クラックがかなり
多く認められた。

【００３９】（２）接着性（グリーンシート）１０ｃｍ角に切断したグリーンシートを２００枚重ね、
７０℃、圧力１５０Kg/cm²、１０分間の熱圧条件で積層
したのち、グリーンシートの層間の接着性を目視を主体
とする官能試験によって以下の３段階で評価した。 ○：全く層間剥離が認められず、強固に接着している。 △：層間剥離が一部認められた。 ×：層間剥離がかなり多く認められた。（３）シート強度引っ張り速度１０ｍｍ／ｍｉｎで２０℃における破断時
の応力を測定した（島津オートグラフ使用）。（４）柔軟性グリーンシートの柔軟性を手触りにより調べ、○（良
好）、△（良）、×（悪い）の３水準で評価した。以上
の性能評価結果を表２に示す。

【００４０】

【表１】

【００４１】

【表２】

【００４２】比較例１、２のものは、ポリビニルアセタ
ール樹脂が１種類だけであり、比較例３〜５のものは、
ポリビニルアセタール樹脂は混合されて使用されている
もののその混合されるポリビニルアセタール樹脂の水酸
基量の差が０であり、比較例３のものは重合度の差が小
さいため剥離性、接着性、シート強度、柔軟性の性能を
満足する結果にはならなかった。一方、実施例１〜７の
ものは、本発明の範囲内で水酸基量、重合度を制御して
いるため、剥離性、接着性、シート強度、柔軟性のいず
れにも優れたグリーンシートが得られた。

【００４３】

【発明の効果】本発明のセラミックグリーンシート用ス
ラリー組成物によると、強度を維持した状態で熱圧着時
の接着性に優れ、且つ、支持体からの剥離性がよく、柔
軟性をバランス良く保つグリーンシートを得ることがで
きる。また、本発明のセラミックグリーンシート用スラ
リー組成物を用いたグリーンシートは、厚みが５μｍ以
下の均一な薄層グリーンシートを２００層以上に安定し
て積み重ねることが可能である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｃ０８Ｌ 29/14 Ｃ０４Ｂ 35/00 １０８Ｆターム(参考） 4F071 AA30 AA81 AB29 AC10 AE04 AH12 BB02 BC01 4G030 AA10 AA16 CA08 GA14 GA20 PA22 4J002 BE06W BE06X DE076 DE096 DE106 DE136 DE146 DE186 DF016 DJ006 DJ036 DL006 DM006 EH097 EH147 EW047 FD027 GQ00 HA05 HA08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】それぞれのポリビニルアセタール樹脂の
水酸基量の差が５モル％以上、重合度の差が５００以上
であり、混合されたときの見掛けの水酸基量が２０〜４
０モル％、及び見掛けの重合度が３００〜２４００とな
る、水酸基量及び重合度の異なる複数種類のポリビニル
アセタール樹脂の混合物と、セラミック粉末、可塑剤及
び有機溶剤とを含有することを特徴とするセラミックグ
リーンシート用スラリー組成物。
【請求項２】請求項１記載のセラミックグリーンシート
用スラリー組成物をシート状に賦形し、乾燥して得られ
たグリーンシート。