JP2001355568A - 半導体製造装置用ポンプ - Google Patents
半導体製造装置用ポンプInfo
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Abstract
に循環輸送することができ、しかも設置スペースを大幅
に削減する。 【解決手段】 液体流入路2及び流出路3とを備えた仕
切壁1の両側部に固定連設されたケーシング6,17内
に互いに対向させてベローズ7,18を設け、一方のベ
ローズ7をエアシリンダ部14を介して駆動伸縮可能に
して往復動ポンプ部4を構成する一方、他方のベローズ
17側にポンプ部4から吐出される液体を一時的に貯溜
可能な液室20aと気体が封入される空気室20bとを
形成して、ポンプ部4のポンプ作用室9aから吐出され
る液体の吐出圧による脈動を吸収させるようにしてい
る。
Description
けるICや液晶の表面洗浄等の各種処理に用いられる薬
液の循環輸送などに適用される半導体製造装置用ポンプ
に関するものである。
ば特開平3−179184号公報に開示されているよう
な構成のベローズ式あるいはダイヤフラム式往復動ポン
プが一般に用いられていた。この従来の往復動ポンプの
構成を図3に基づいて簡単に説明する。図3に示されて
いるものは、空気駆動型のベローズ式ポンプであって、
液体の流入路50及び流出路51を備えたポンプヘッド
構成壁52の両側に固定連設された筒状ケーシング53
A,53B内にそれぞれ、同一方向に伸縮変形可能な一
対のベローズ54A,54Bを対向状態に配設し、これ
ら一対のベローズ54A,54Bの開口周縁部54a,
54bを環状固定板56A,56Bを介して上記ポンプ
ヘッド構成壁52に気密状に固定することによりポンプ
室59内をポンプ作用室57a,57bとポンプ作動室
58a,58bとに密封区画してなる一対のポンプ部6
0A,60Bが構成されている。
るベローズ54A,54Bは上記ポンプヘッド構成壁5
2を貫通して設けられた円周方向に複数本の連結ロッド
55を介して、一方のベローズ54Aまたは54Bが縮
小動作するとき他方のベローズ54Bまたは54Aが伸
長動作するように連動連結されている。また、上記一対
のポンプ部60A,60Bにおけるポンプ作用室57
a,57bにそれぞれ開口するように形成された吸入口
61a,61b及び吐出口62a,62bはそれぞれ上
記流入路50及び流出路51に連通されているととも
に、これら各吸入口61a,61b及び吐出口62a,
62bにはそれぞれ、吸入用逆止弁63a,63b及び
吐出用逆止弁64a,64bが設けられている。さら
に、上記筒状ケーシング53A,53Bの底板部53
a,53bには上記一対のポンプ部60A,60Bにお
けるポンプ作動室58a,58bに所定時間毎に加圧空
気を交互に供給する空気口65a,65bが形成されて
いる。
においては、コンプレッサーなどの加圧空気供給装置
(図示省略)から送給される加圧空気を所定時間毎に交
互に上記空気口65a,65bを通して一対のポンプ部
60A,60Bのポンプ作動室58a,58bに供給す
ることにより、上記ベローズ54A,54Bを連結ロッ
ド55を介して可逆的に伸縮変形駆動させて一対のポン
プ部60A,60Bの吸入工程と吐出工程とを交互に行
なわせ、これによって、上記流入路50からポンプ作用
室57a、57bに流入される液体を流出路51へほぼ
連続的に吐出させるといったポンプ作用が行なわれる。
な従来の往復動ポンプでは、一対のベローズあるいはダ
イヤフラム等のポンプ作用体が交互に作動されるもので
あるから、作動切替え時に液体の吐出が瞬間的に停止す
るために、脈動が発生する。このような脈動が発生する
と、流速の大幅な変化および圧力の変化を伴うことにな
り、半導体製造装置の処理液の循環輸送においてはその
清浄度が損なわれて所定の処理精度の面で大きな問題と
なっていた。
下をなくするために、ポンプによる液体輸送配管の下流
側配管部に、例えばベローズを利用したアキュムレータ
等の脈動抑制装置を配設する手段を採用したものも従来
から知られているが、この場合は、ポンプとアキュムレ
ータ等の脈動抑制装置との併設であるために、大きな場
所を要する上に、両者間に亘って複雑な配管も必要とな
り、設備コストが増大する。特に、半導体製造装置用の
処理液の循環輸送にあたっては、両者間の配管として耐
食性、耐熱性などに優れたPTFEやPFA等の弗素樹
脂製チューブが使用されることが多いが、この弗素樹脂
製チューブに小さな脈動や大きな脈動が繰り返し作用す
ると、該チューブが疲労し、短期間のうちに破れて液漏
れを生じるなどの危険性があり、安全性の面で好ましく
ない。また、弗素樹脂製チューブ及び該チューブとポン
プや脈動抑制装置との接続ポイントで圧力ロスが生じ、
その圧力ロスを見込んだ大きな容量をもつポンプを用い
る必要があることから、両者を含めて設備がより大型化
し占有設置スペースが一層大きくなるという問題があっ
た。
たもので、脈動の発生を抑制し液体を連続してスムース
に循環輸送することができ、しかも、配管構成の簡略化
と全体の小型化により設置スペースを大幅に削減するこ
とができる半導体製造装置用ポンプを提供することを主
たる目的としている。
吐出圧の変動にかかわらず脈動幅を小さく抑えることが
できるようにする点にある。
るために、請求項1に記載の発明に係る半導体製造装置
用ポンプは、液体の流入路及び流出路とを備えた仕切壁
と、この仕切壁の一側部に固定連設されたケーシング内
を往復運動するポンプ作用体とこのポンプ作用体を駆動
往復運動させるエアシリンダ部と上記ポンプ作用体の往
復運動に伴って交互に開閉作動して液体の吸入作用およ
び吐出作用を行なう逆止弁が設けられたポンプ作用室と
を備えてなる往復動ポンプ部と、上記仕切壁の他側部に
固定連設されたケーシング内に上記往復動ポンプ部のポ
ンプ作用体に対向して配設され該ポンプ作用体の往復運
動方向に往復運動可能な往復動体とこの往復動体の一側
に形成されて上記往復動ポンプ部のポンプ作用室から吐
出用逆止弁を経て吐出される液体を一時的に貯溜可能な
液室と上記往復動体の他側に液室に対し隔離形成されて
脈動抑制用の気体が封入される気室とを備え、上記往復
動体の往復運動に伴う上記液室の容量変化により上記往
復動ポンプ部のポンプ作用室から吐出される液体の吐出
圧による脈動を吸収させるように構成した脈動抑制部
と、を具備していることを特徴とするものである。
ンダ部を介して仕切壁一側部の往復動ポンプ部における
ポンプ作用体を駆動往復運動させると、ポンプ作用室内
の吸入用逆止弁と吐出用逆止弁とが交互に開閉作動して
液体の流入路からポンプ作用室への液体の吸入とポンプ
作用室内から流出路への液体の吐出とが反復され所定の
ポンプ作用が行なわれる。このとき、上記往復動ポンプ
部におけるポンプ作用室から上記吐出用逆止弁を経て吐
出される液体は仕切壁他側部の脈動抑制部における液室
を通って流出路へ流出され、この際、その吐出液体の吐
出圧の脈動の山部においては脈動抑制部における往復動
体が液室容量を増大する方向に運動して圧力を吸収し、
かつ、脈動の谷部においては上記往復動体が液室容量を
減少する方向に運動して吐出液体の圧力が上がって脈動
を吸収することになって、液体を脈動なく連続してスム
ースに流出させることが可能となる。
ンプにおいて、往復動ポンプ部と脈動抑制部とが一体化
されて、両者間を接続するための外部配管が不要である
ために、全体の低コスト化及び小型化が図れて設置スペ
ースの大幅な削減が可能であるばかりでなく、外部配管
の省略によって長期間に使用によっても配管が破れるな
どして液漏れを発生するなどの危険性がなくなり、ま
た、圧力ロスも非常に少ないので、ポンプ容量も小さく
てよく、より一層の小型化を図れ、ポンプの設置占有面
積の縮小を達成することが可能である。
て、上記往復動ポンプ部におけるポンプ作用体及び脈動
抑制部における往復動体としては、脈動の発生を一層抑
えることと、応答性のよいポンプ作用を行なわせること
から、請求項2に記載のように、ベローズもしくはダイ
ヤフラムから構成することが望ましく、また、上記の仕
切壁、往復動ポンプ部及び脈動抑制部におけるケーシン
グ、往復動ポンプ部における吸入用及び吐出用逆止弁の
可動弁体並びに往復動ポンプ部におけるポンプ作用体及
び脈動抑制部における往復動体の構成材料としては、半
導体製造装置用の処理液の循環輸送という耐蝕性及び耐
熱性などが要求される使用条件から考えて、請求項3に
記載のように、PTFEあるいはPFA等の弗素樹脂材
料を用いることが望ましい。
項1〜3のいずれかに記載の半導体製造装置用ポンプに
おいて、上記脈動抑制部に、上記液室内に挿入されて往
復動体の往復運動に応動可能な操作杆と、この操作杆に
操作されて上記気室に通じる給排気通路を液室の容量が
所定範囲を越えて増大したときは給気口に、かつ、液室
の容量が所定範囲を越えて減少したときは排気口に選択
的に連通させる弁体とを備えた給排気用切換弁機構とを
装着したものであり、このような構成を採用した請求項
4に記載の発明によれば、上述したような脈動抑制を伴
うポンプ動作において、上記往復動ポンプ部の吐出圧の
変動で液室容量の増大が所定範囲を越えると、給排気弁
機構によって気室内への給気が行なわれて封入圧が上昇
され、往復動体の運動が制約され、また、液室容量の減
少が所定範囲を越えると、給排気弁機構によって気室内
からの排気が行なわれて封入圧が下降され、往復動体の
運動が制約される。その結果、往復動ポンプ部からの吐
出圧の変動にかかわらず往復動体の運動が一定範囲内に
制約されて脈動幅を小さく抑えることができる。
にもとづいて説明する。図1は本発明に係る半導体製造
装置用ポンプの実施の形態として適用した空気駆動型ベ
ローズ式ポンプの全体縦断正面図であり、同図におい
て、1は液体の流入路2及び流出路3が形成された仕切
壁で、この仕切壁1の両側に往復動ポンプ部4と脈動抑
制部5とを対向して一体に配設してなる。
底筒状ケーシング6内にその筒軸線方向に沿って伸縮変
形可能なポンプ作用体となる有底筒状のベローズ7が配
設されており、このベローズ7の開口周縁部7aを環状
固定板8により上記仕切壁1の一側面に気密状に押圧固
定することにより、ケーシング6の内部空間をベローズ
7内のポンプ作用室9aとベローズ7外のポンプ作動室
9bとに密閉区画されている。上記有底筒状ケーシング
6の底壁部6aの外側には連結部材10を介して上記ベ
ローズ7の閉鎖端部材7bに固定連結されたピストン体
11を摺動可能に内蔵するシリンダ体12が固定されて
おり、このシリンダ体12および上記ケーシング6の底
壁部6aに形成した空気孔13a,13bを通して、コ
ンプレッサーなどの加圧空気供給装置(図示省略)から
送給される加圧空気をシリンダ体11の内部または上記
ポンプ作動室9bに供給することによって、上記ベロー
ズ7を駆動伸縮させるエアシリンダ部14が構成されて
いる。
口するように形成された吸入口15a及び吐出口15b
は上記流入路2及び流出路3に連通されているととも
に、これら吸入口15a及び吐出口15bにはそれぞ
れ、可動弁体16a1とスプリング16a2及び可動弁
体16b1とスプリング16b2とからなり、上記ベロ
ーズ7の駆動伸縮に伴って交互に開閉作動される吸入用
逆止弁16a及び吐出用逆止弁16bが設けられてお
り、以上の各構成要素によって上記ポンプ部4が構成さ
れている。
状ケーシング6と同軸状に固定連設された有底筒状ケー
シング17内にも上記ポンプ部4における有底筒状ベロ
ーズ7に対向させて、その筒軸線方向に沿っての伸縮変
形により往復運動可能な往復動体となる有底筒状のベロ
ーズ18が配設されており、このベローズ18の開口周
縁部18aを環状固定板19により上記仕切壁1の他側
面に気密状に押圧固定することにより、ケーシング17
の内部空間がベローズ18内で上記ポンプ部4における
吐出用逆止弁16b及び上記仕切壁1の肉厚内に貫設し
た連通路21を経て吐出される液体を一時的に貯溜する
液室20aとベローズ18外で脈動抑制用の空気が封入
される空気室20bとに隔離形成されている。
の中央部に位置させて液室20aの容量の増大方向、つ
まりベローズ18の伸張方向に向いた筒形連結部材22
がスプリング23の弾性力によって押付けられており、
以上の各構成要素によって、ベローズ18の伸縮変形に
伴う液室20aの容量変化により上記ポンプ部4のポン
プ作用室9aから吐出される液体の吐出圧による脈動を
吸収させる上記脈動抑制部5が構成されている。
状ケーシング17の底壁部17a外面には給排気用切換
弁機構24が装備されている。この給排気用切換弁機構
24は図2に示すように構成されている。図2におい
て、25は有底筒形のケーシングで、このケーシング2
5内に収容されたシリンダ部26内にはその軸線方向に
沿って摺動変位可能にスライド弁体27が嵌合されてい
る。28は上記有底筒状ケーシング17の底壁部17a
に形成した孔17bを貫通して上記空気室20b内に挿
入された操作杆であり、その一端部が上記スライド弁体
27の一端に同軸状に連結されており、かつ、この操作
杆28の他端側の連結つば部28aが上記筒形連結部材
22内の基準位置に連結されている。
グ17の底壁部17a側寄り位置に給気口29が形成さ
れているとともに、他側寄り位置に排気口30が形成さ
れている。上記給気口29は、移送液体の最大圧力値以
上の圧力の空気を供給するようになされており、また、
排気口30は大気に開放されている。これら給気口29
および排気口30に対応して上記シリンダ部26の周壁
にポート31,32が形成されている。33aは上記ケ
ーシング25の周壁に形成された給排気用通路で、上記
空気室20bとシリンダ部26内とを連通するものであ
る。33bは上記給排気用通路33aを介して空気室2
0bとつば部28aとシリンダ部26とケーシング25
で囲まれた領域を連通させる通路である。この通路33
bによりスライド弁体27に作用する空気室20b内の
空気圧の影響を打ち消すことができ、移送液体の圧力を
正確にスライド弁体27に伝えることが可能となる。
所定間隔を隔てて3つの摺動用つば部27a,27b,
27cが形成されており、中央つば部27bと一端側つ
ば部27cとの間が給気用空間S1に構成され、中央つ
ば部27bと他端側つば部27aとの間が排気用空間S
2に構成されている。このスライド弁体27はポンプ吐
出圧の変動により、液室20aの容量増大が所定範囲A
を越えると、変位して給排気用通路33aを空間S1に
連通させ、かつ、液室20aの容量減少が所定範囲Bを
越えると、上記給排気用通路33aを空間S2に連通さ
せるように構成されている。34は上記ケーシング25
内に設置されてスライド弁体27に上方へのばね力を付
勢して該スライド弁体27を基準位置に保持させるばね
部材である。
用ポンプにおいて、上記ポンプ部4におけるベローズ
7、脈動抑制部5におけるベローズ18、仕切壁1、両
ケーシング6,17、吸入用逆止弁16a及び吐出用逆
止弁16bの可動弁体16a1,16b1は、耐蝕性及
び耐熱製に優れたPTFEやPFA等の弗素樹脂材料か
ら構成されており、両ケーシング6,17の外面にはア
ルミのテフロン(登録商標)コート(つまり弗素樹脂コ
ート)が施されている。また、上記ポンプ部4及び脈動
抑制部5における環状固定板8,19はガラス繊維入り
不飽和ポリエステル等のFRP製である。さらに、図1
中、35a,35bは上記ポンプ部4におけるエアシリ
ンダ部14に取り付けられた近接センサであって、コン
プレッサーなどの加圧空気供給装置(図示省略)から送
給される加圧空気のシリンダ体11内部への供給と上記
ポンプ作動室9bへの供給とを自動的に切り替えるもの
である。
の動作について説明する。コンプレッサーなどの加圧空
気供給装置(図示省略)から送給される加圧空気をエア
シリンダ部14のシリンダ体11の内部に供給してベロ
ーズ7を図1のx方向に伸長動作させると、流入路2内
の移送液体が吸入用逆止弁16aを経てポンプ作用室9
a内に吸入され、次いで、上記加圧空気をエアシリンダ
部14のポンプ作動室9b内に供給してベローズ7を図
1のy方向に収縮動作させると、ポンプ作用室9a内に
吸入された移送液体が吐出用逆止弁16bを経て吐出さ
れるといったように、エアシリンダ部14を介して往復
動ポンプ部4におけるベローズ7を駆動伸縮変形させる
ことにより、上記吸入用逆止弁16aの可動弁体16a
と吐出用逆止弁16bの可動弁体16b1とが交互に開
閉作動して流入路2からポンプ作用室9aへの液体の吸
入とポンプ作用室9a内から流出路3への液体の吐出と
が反復され所定のポンプ作用が行なわれる。このような
往復動ポンプ部4の作動により移送液体が所定の部位に
向けて送給されると、ポンプ吐出圧は山部と谷部との繰
り返しによる脈動を発生する。
ンプ作用室9a内から吐出用逆止弁16bを経て吐出さ
れる移送液体は連通路21を通って脈動抑制部5におけ
る液室20a内に送られて該液室3に一時的に貯溜され
たのち流出路3へと流出される。このとき、移送液体の
吐出圧が吐出圧曲線の山部にある場合、移送液体は液室
20aの容量を増大するようにベローズ18を伸張変形
させるので、その圧力が吸収される。この時、液室20
aから流出される移送液体の流量はポンプ部4から送給
されてくる流量よりも少なくなる。
の谷部にさしかかると、上記ベローズ18の伸張変形に
ともない圧縮された空気室20b内の封入圧よりも移送
液体の圧力が低くなるので、ベローズ18は収縮変形す
る。この時、ポンプ部4から液室20a内に流入する移
送液体の流量よりも液室20aから流出する流量が多く
なる。この繰り返し動作、つまり液室20aの容量変化
によって上記脈動が吸収され抑制される。
ポンプ部4からの吐出圧が上昇変動すると、移送液体に
よって液室20aの容量が増大し、ベローズ18が大き
く伸張変形することになる。このベローズ18の伸張変
形量が所定範囲Aを越えると、操作杆28を介してスラ
イド弁体27が外方に摺動変位して、給排気通路33a
が空間S1を介して給気口29に連通される。このた
め、給気口29から高い空気圧が上記空間S1および通
路33aを経て空気室20bに供給されて該空気室20
bの封入圧が高められることになり、これによって、ベ
ローズ18の伸張変形量が制約されて液室20aの容量
が過度に増大することが抑えられる。
すると、移送液体によって液室20aの容量が減少し、
ベローズ18が大きく収縮変形することになる。このベ
ローズ18の収縮変形量が所定範囲Bを越えると、操作
杆28を介してスライド弁体27が内方に摺動変位し
て、給排気通路33aが空間S2を介して排気口30に
連通される。このため、上記空気室20b内の封入空気
aが給排気通路33aおよび空間S2を経て排気口30
から大気に排出されて該空気室20bの封入圧が下げら
れることになり、これによって、ベローズ18の収縮変
形量が制約されて液室20aの容量が過度に減少するこ
とが抑えられる。その結果、上記ポンプ部4のポンプ作
用室9aからの吐出圧の変動にかかわらず、脈動を効率
的に吸収して脈動幅を小さく抑えることができる。
プにおいて、往復動ポンプ部4と脈動抑制部5とが一体
化されて、両者4,5間を接続するための弗素樹脂製チ
ューブ等の外部配管が不要であるために、ポンプ全体の
低コスト化及び小型化が図れて設置スペースの大幅な削
減が可能であるばかりでなく、外部配管の省略によって
長期間の使用によっても配管が破れるなどして液漏れを
発生するなどの危険性がなくなり、また、圧力ロスの要
因となる箇所も非常に少ないので、ポンプ容量を小さく
して全体をより一層小型化し、設置占有面積の縮小を達
成することが可能である。
おけるポンプ作用体及び脈動抑制部5における往復動体
として共にベローズ7,18を使用したものについて説
明したが、これらはダイヤフラムであっても、ピストン
状のものであってもよい。
排気用切換弁機構24を脈動抑制部5の外側に設けるこ
とによって、たとえ該給排気用切換弁機構24が故障等
しても、ポンプ側はなんら分解等することなく、この給
排気用切換弁機構24のみを対象とした補修や部品交換
などのメンテナンスを容易に行なうことが可能で、特に
強酸性や強アルカリ性の薬液を取り扱う半導体製造装置
用のポンプとして有用である。さらに、給排気用切換弁
機構24として、上記実施の形態のように、スライド弁
体27を使用した筒形の弁機構を用いる場合は、コンパ
クト化が図れるとともに、空気室20bとの連通構造も
簡単になるという利点がある。
明によれば、往復動ポンプ部と脈動抑制部とが一体化さ
れて、両者間を接続するためのチューブなどの外部配管
を不要としているために、全体の低コスト化及び小型化
が図れて設置スペースの大幅な削減を達成できるばかり
でなく、外部配管の省略に伴い長期間の使用によっても
配管が破れて液漏れを発生するなどの危険性がなく、使
用上の安全性を確保でき、また、圧力ロスも非常に少な
いので、その分だけポンプ容量を小さくしてより一層の
小型化を図れ、ポンプの設置占有面積の縮小を達成する
ことができるという効果を奏する。
記効果に加えて、往復動ポンプ部からの吐出圧の変動に
かかわらず往復動体の運動が一定範囲内に制約されて脈
動幅を一層小さく抑えることができる。
形態として適用した空気駆動型ベローズ式ポンプの全体
縦断正面図である。
る。
図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 液体の流入路及び流出路とを備えた仕切
壁と、 この仕切壁の一側部に固定連設されたケーシング内を往
復運動するポンプ作用体とこのポンプ作用体を駆動往復
運動させるエアシリンダ部と上記ポンプ作用体の往復運
動に伴って交互に開閉作動して液体の吸入作用および吐
出作用を行なう逆止弁が設けられたポンプ作用室とを備
えてなる往復動ポンプ部と、 上記仕切壁の他側部に固定連設されたケーシング内に上
記往復動ポンプ部のポンプ作用体に対向して配設され該
ポンプ作用体の往復運動方向に往復運動可能な往復動体
とこの往復動体の一側に形成されて上記往復動ポンプ部
のポンプ作用室から吐出用逆止弁を経て吐出される液体
を一時的に貯溜可能な液室と上記往復動体の他側に液室
に対し隔離形成されて脈動抑制用の気体が封入される気
室とを備え、上記往復動体の往復運動に伴う上記液室の
容量変化により上記往復動ポンプ部のポンプ作用室から
吐出される液体の吐出圧による脈動を吸収させるように
構成した脈動抑制部と、を具備していることを特徴とす
る半導体製造装置用ポンプ。 - 【請求項2】 上記往復動ポンプ部におけるポンプ作用
体及び脈動抑制部における往復動体が、ベローズもしく
はダイヤフラムから構成されている請求項1に記載の半
導体製造装置用ポンプ。 - 【請求項3】 上記の仕切壁、往復動ポンプ部及び脈動
抑制部におけるケーシング、往復動ポンプ部における吸
入用及び吐出用逆止弁の可動弁体並びに往復動ポンプ部
におけるポンプ作用体及び脈動抑制部における往復動体
が、PTFEあるいはPFA等の弗素樹脂材料から構成
されている請求項1または2に記載の半導体製造装置用
ポンプ。 - 【請求項4】 上記脈動抑制部には、上記液室内に挿入
されて往復動体の往復運動に応動可能な操作杆と、この
操作杆に操作されて上記気室に通じる給排気通路を液室
の容量が所定範囲を越えて増大したときは給気口に、か
つ、液室の容量が所定範囲を越えて減少したときは排気
口に選択的に連通させる弁体とを備えた給排気用切換弁
機構が装着されている請求項1ないし3に記載の半導体
製造装置用ポンプ。
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---|---|---|---|
JP2001135971A JP3931048B2 (ja) | 2001-05-07 | 2001-05-07 | 半導体製造装置用ポンプ |
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003227467A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-15 | Yodogawa Kasei Kk | フッ素系樹脂多層積層ポリイミドフィルムを用いた小型定量ポンプ用ダイヤフラム |
EP1426619A2 (en) * | 2002-12-03 | 2004-06-09 | Nippon Pillar Packing Co., Ltd. | A pump |
WO2007049503A1 (ja) | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Nitto Kohki Co., Ltd. | 低振動ポンプ |
US7407708B2 (en) | 2001-09-18 | 2008-08-05 | Entegris, Inc. | High-strength, chemically resistant laminar film with limited extractables |
CN103452791A (zh) * | 2013-09-16 | 2013-12-18 | 宁波富斯乐机械制造有限公司 | 一种用于高压清洗机的柱塞泵 |
JP2015117669A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | 株式会社タクミナ | 往復動ポンプ |
CN107429684A (zh) * | 2015-04-07 | 2017-12-01 | 株式会社易威奇 | 双联往复运动泵 |
CN108266310A (zh) * | 2018-03-04 | 2018-07-10 | 太原理工大学 | 一种阀式配流径向柱塞乳化液马达 |
CN108266372A (zh) * | 2018-03-04 | 2018-07-10 | 太原理工大学 | 一种阀式配流径向柱塞乳化液泵 |
JP2021170455A (ja) * | 2020-04-15 | 2021-10-28 | 大崎電気工業株式会社 | 計器の端子接続構造 |
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2001
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Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7407708B2 (en) | 2001-09-18 | 2008-08-05 | Entegris, Inc. | High-strength, chemically resistant laminar film with limited extractables |
JP2003227467A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-15 | Yodogawa Kasei Kk | フッ素系樹脂多層積層ポリイミドフィルムを用いた小型定量ポンプ用ダイヤフラム |
EP1426619A2 (en) * | 2002-12-03 | 2004-06-09 | Nippon Pillar Packing Co., Ltd. | A pump |
EP1426619A3 (en) * | 2002-12-03 | 2005-09-14 | Nippon Pillar Packing Co., Ltd. | A pump |
US7134850B2 (en) | 2002-12-03 | 2006-11-14 | Nippon Pillar Packing Co., Ltd. | Fitted assembly bellows pump |
WO2007049503A1 (ja) | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Nitto Kohki Co., Ltd. | 低振動ポンプ |
US8162635B2 (en) | 2005-10-25 | 2012-04-24 | Nitto Kohki Co., Ltd. | Low vibration pump |
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