JP2001273037A - サーボ制御装置 - Google Patents

サーボ制御装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高いループゲインの設定が可能で、高い応答
性を備えたサーボ制御装置を提供する。 【解決手段】 サーボ制御装置1は、位置制御装置と制
振制御装置2を備える。位置制御装置は、一つの可動部
材4を二つのモータ15,25で駆動するサーボ制御装
置において、同一の位置指令を上位の制御装置から受け
取り、位置検出器18,28からの位置フィードバック
量を差し引いた位置偏差量を処理して速度指令を出力す
る位置制御部11,21と、速度指令を受け取り、速度
検出器17,27からの速度フィードバック量を差し引
いた速度偏差量を処理して電流指令を出力する速度制御
部12,22と、電流指令を受け取り、モータ電流を検
出するセンサからの電流フィードバック量を差し引いた
電流偏差量を処理して電圧指令を出力し、該電圧指令に
よって電流増幅器を動作させる電流制御部13,23を
組みとし、該組みを二つの各モータに対してそれぞれ備
えた構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロボットのアー
ム、工作機械や射出成形機やプレス機械等の駆動機構の
送り軸を駆動制御するサーボ制御装置に関し、特に、一
つの可動部材を2つのモータで制御するタンデム制御に
関する。
【0002】
【従来の技術】ロボットや工作機械や射出成形機やプレ
ス機械等の駆動機構において、移動させようとする可動
部材が大型で、その移動軸を駆動するモータが1つでは
加減速ができない場合や、モータと可動部材間のバック
ラッシュが大きく、可動部材を安定に移動させることが
できない場合等において、指令を2つのモータに与え、
1つの可動部材を2つのモータで駆動するタンデム制御
が行われている。このタンデム制御では、各モータの駆
動軸は可動部材がねじれたりしないように位置制御を行
う必要がある。図6、図7は、1つの可動部材を2つの
モータで駆動する構成例である。図6の示す構成例で
は、2つのモータ15,25で駆動される駆動軸16,
26間に、1つの可動部材4を直線移動可能に設ける。
また、図7の示す構成例では、2つのモータ15,25
で駆動される対向する駆動軸16,26間に、1つの可
動部材4を回転可能に設ける。
【0003】2つのモータ15,25は、タンデム制御
することによって1つの可動部材4を駆動軸方向に移
動、あるいは回転させる。このとき、モータ及び可動部
材の機構部分の機械的特性は、ばね系及び摩擦系を備え
た伝達機構として表すことができる。図6、図7では、
このモータ及び可動部材の伝達機構を、可動部材4が備
えるばね要素41と摩擦要素42で代表して示してい
る。
【0004】従来、位置制御を行うタンデム制御とし
て、トルクタンデム制御とポジションタンデム制御が知
られている。図8はトルクタンデム制御の構成例を示す
ブロック図である。トルクタンデム制御では、一方のモ
ータ15側にのみに位置検出器18を設け、該位置検出
器18で検出した位置フィードバック値を用いて電流指
令を形成し、2つのモータ15.25を制御している。
【0005】また、図9はポジションタンデム制御の構
成例を示すブロック図である。ポジションタンデム制御
は、モータ15及びモータ25の両側に位置検出器18
及び位置検出器28を設け、位置検出器18で検出した
位置フィードバック値を位置制御手段11に負帰還させ
て位置制御を行い、また、位置検出器28で検出した位
置フィードバック値を位置制御手段21に負帰還させて
位置制御を行って、2つのモータ15,25を制御する
ものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来行われているタン
デム制御では、可動部材にねじれや振動が生じたり、高
速での高応答に対応できないという問題がある。トルク
タンデム制御では、2つのモータの内、片側のモータの
みの位置をフィードバックして制御しているため、機構
部分が備えるばね系や摩擦系によって、2つのモータ間
にねじれが生じるという問題が発生する。
【0007】また、ポジションタンデム制御では、2つ
のモータについてそれぞれ位置フィードバック制御を行
うことによって、2つのモータ間のねじれを解消するこ
とができるが、高速で高い応答を得るためにループゲイ
ンを高めると、ばね要素や摩擦要素によって、両駆動軸
間で干渉が起こり、振動が発生して安定した制御ができ
なくなり、高速での高応答に対応できないという問題が
ある。この問題は、図7に示す回転型のタンデム制御に
おいて、回転精度を高めるために高いループゲインを設
定した場合においても、同様に発生する。
【0008】そこで、本発明は上記の問題点を解決し、
高いループゲインの設定が可能で、高い応答性を備えた
サーボ制御装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、2つのモータ
の速度フィードバック値に基づいて、伝達機構の機械的
特性による相互干渉を抑制するように電流指令を補正す
るものであり、これによって、高いループゲインの設定
を可能として高い応答性を得ることができる。
【0010】本発明のサーボ制御装置は、位置制御装置
と制振制御装置を備えた構成である。位置制御装置は、
一つの可動部材を二つのモータで駆動するサーボ制御装
置において、同一の位置指令を上位の制御装置から受け
取り、機械の位置を検出する位置検出器からの位置フィ
ードバック量を差し引いた位置偏差量を処理して速度指
令を出力する位置制御部と、速度指令を受け取り、モー
タに取り付けられた速度検出器からの速度フィードバッ
ク量を差し引いた速度偏差量を処理して電流指令を出力
する速度制御部と、電流指令を受け取り、モータ電流を
検出するセンサからの電流フィードバック量を差し引い
た電流偏差量を処理して電圧指令を出力し、該電圧指令
によって電流増幅器を動作させる電流制御部を組みと
し、該組みを二つの各モータに対してそれぞれ備えた構
成である。
【0011】また、制振制御装置は、二つのモータの速
度フィードバック量に基づいて、モータ間の干渉を補償
する電流指令補正値を形成する構成である。制振制御装
置で形成した電流指令補正値は、一方のモータの位置制
御装置の電流指令に加え若しくは引き、他方のモータの
位置制御装置の電流指令に引き若しくは加えることによ
って電流指令を補正する。
【0012】制振制御装置は、複数の形態で構成するこ
とができる。制振制御装置の第1の形態は、二つのモー
タの速度フィードバック量の差分を求め、この速度フィ
ードバック偏差を積分して定数倍する第1演算手段と、
速度フィードバック偏差を定数倍する第2演算手段とを
備えた構成とし、第1演算手段及び第2演算手段の出力
の加算値を電流指令補正値とするものである。第1演算
手段は、二つのモータ(駆動軸)間の速度偏差を積分す
ることによって位置偏差を求め、この位置偏差に制御対
象の機械のばね定数に相当する第1の定数を乗じること
によって、機械系のばね補償を行う。第2演算手段は、
二つのモータ(駆動軸)間の速度偏差に制御対象の機械
の摩擦係数に相当する第2の定数を乗じることによっ
て、機械系の摩擦補償を行う。
【0013】制振制御装置の第1の形態は、第1演算手
段及び第2演算手段の出力の加算値を電流指令補正値と
することによって、機械系のばね補償及び機械系の摩擦
補償を行う。制振制御装置の第2の形態は、前記した第
1の形態の第1演算手段が備える演算手段を備え、演算
手段の出力を電流指令補正値とすることによって、機械
系のばね補償を行う。制振制御装置の第3の形態は、前
記した第1の形態の第2演算手段が備える演算手段を備
え、演算手段の出力を電流指令補正値とすることによっ
て、機械系の摩擦補償を行う。制振制御装置の第4の形
態は、第1〜3の各形態において、更に電流指令補正値
の位相を進める位相進め補償手段を備える。位相進め補
償手段は、位置制御装置における電流制御器による遅れ
や検出系の遅れによって生じる補正の遅れを補償するも
のである。
【0014】さらに、本発明のサーボ制御装置は、制振
制御装置のパラメータの適宜を判断する加振測定手段を
備える。制振制御装置のパラメータとしては、第1演算
手段における制御対象の機械のばね定数に相当する第1
の定数、第2演算手段における制御対象の機械の摩擦係
数に相当する第2の定数、位相進め補償手段における進
み量がある。加振測定手段は、周波数を可変とする加振
電流指令を形成し、この加振電流指令を電流制御装置の
何れか一方の組みの電流指令に加算する。この加振電流
指令の加算によって変化するモータの速度フィードバッ
ク量から、干渉の程度を観察する。第1の定数、第2の
定数、及び進み量を変化させながら、速度フィードバッ
ク量の変化を観察することによって、最適値を確認する
ことができる。
【0015】加振測定手段の一形態は、周波数を可変と
するサインスイープ電流指令を形成する手段と、サイン
スイープ電流指令を電流制御装置の指定された一方の組
みの電流指令に加算する手段と、サインスイープ電流指
令の周波数と、指定された速度フィードバック量を出力
する手段とを備える。サインスイープ電流指令の周波数
を変化させながら、速度フィードバック量の変化を観察
することによって、制振制御装置のパラメータの適性・
不適性を判断することができる。加振測定手段におい
て、サインスイープ電流指令形成手段の一形態は、サン
プリング周期毎に、サンプリング周期毎に増加するカウ
ント値を該サンプリング周期の値に乗算することにより
周波数を可変とする。なお、本発明のサーボ制御装置に
おいて、位置検出器は、機械あるいはモータに取り付け
ることができ、モータで駆動される機械部分の位置を検
出し、位置フィードバック量として出力する。
【0016】本発明のサーボ制御装置によれば、制振制
御装置を備えることによって、高いループゲインの設定
及び高い応答性を実現することができる。また、本発明
のサーボ制御装置によれば、加振測定手段を備えること
によって、2つのモータ間及び駆動軸間の干渉の程度に
確認、制振制御装置による非干渉の効果の確認を行うこ
とができる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。図1は本発明のサーボ制
御装置を説明するための概略ブロック図である。サーボ
制御装置1は、第1のモータ15及び第2のモータ25
の2つのモータによって、1つの可動部材4を駆動する
駆動機構において、各モータ15,25にそれぞれ設け
た位置制御装置、及び制振制御装置2によってタンデム
制御する。
【0018】第1のモータ15に対する位置制御装置
は、位置制御部11、速度制御部12、電流制御部1
3、電流増幅器14を備え、更に、第1のモータ15に
は速度フィードバック量(速度FB1)を検出する速度
検出器17を備え、第1のモータ側の可動部材4には位
置フィードバック量(位置FB1)を検出する位置検出
器18を備える。また、第2のモータ25に対する位置
制御装置は、位置制御部21、速度制御部22、電流制
御部23、電流増幅器24を備え、更に、第2のモータ
25には速度フィードバック量(速度FB2)を検出す
る速度検出器27を備え、第2のモータ側の可動部材4
には位置フィードバック量(位置FB2)を検出する位
置検出器28を備える。位置検出器18、及び位置検出
器28は両方共もしくはいずれか一方のみが可動部材4
の剛性等の条件によっては可動部材4には取り付けられ
ず、モータ内部に設置される場合もある。
【0019】位置制御部11,21は、指令分配器3で
分配された同一の位置指令を上位の制御装置から受け取
り、位置検出器18,28で検出された位置フィードバ
ック量(位置FB1,位置FB2)をそれぞれ差し引い
て得た位置偏差量を処理して速度指令を出力する。速度
制御部12,22は、位置制御部11,21からそれぞ
れ速度指令を受け取り、モータに取り付けられた速度検
出器17,27で検出された速度フィードバック量(速
度FB1,速度FB2)を差し引いて得た速度偏差量を
処理して電流指令を出力する。
【0020】電流制御部13,23は、速度制御部1
2,22からそれぞれ電流指令を受け取り、モータ電流
を検出するセンサ(図示していない)からの電流フィー
ドバック量を差し引いて得た電流偏差量(電流FB1,
電流FB2)を処理して電圧指令を出力する。電流増幅
器14,24は、電流制御部13,23からそれぞれ電
圧指令を受け取って、各モータ15,25を駆動する駆
動電流を形成し、各モータ15,25を駆動する。
【0021】制振制御装置2は、速度検出器17,27
で検出された速度フィードバック量(速度FB1,速度
FB2)の偏差に基づいて、モータ間の干渉を補償する
電流指令補正値を形成し、この電流指令補正値を、一方
のモータの位置制御装置の電流指令に加え若しくは引
き、他方のモータの位置制御装置の電流指令に引き若し
くは加えることによって電流指令を補正する。したがっ
て、二つのモータの位置制御装置に対して、電流指令補
正値を符号を逆にして加算する。これは、電流指令補正
値を速度フィードバック量(速度FB1,速度FB2)
の偏差に基づいて形成することによるものである。
【0022】次に、制振制御装置の構成例について図2
のブロック図を用いて説明する。なお、図2ではサーボ
制御装置の一部のみを示している。図2において、制振
制御装置2は、第1演算手段(2a,2b)と第2演算
手段2cと位相進め補償手段2dを備える。第1演算手
段は、二つのモータの速度フィードバック量の差分(速
度FB1−速度FB2)を求め、この速度フィードバッ
ク偏差を積分する積分器2aと、積分値を定数倍する定
数倍器2bを備える。積分器2aは、二つのモータ(駆
動軸)間の速度偏差(速度FB1−速度FB2)を積分
して位置偏差を求める。定数倍器2bは、位置偏差に制
御対象の機械のばね定数に相当する第1の定数K1を乗
じることによって、機械系のばね補償を行う。
【0023】第2演算手段は、速度フィードバック偏差
(速度FB1−速度FB2)を定数倍する定数倍器2c
を備える。定数倍器2cは、二つのモータ(駆動軸)間
の速度偏差(速度FB1−速度FB2)に制御対象の機
械の摩擦係数に相当する第2の定数K2を乗じることに
よって、機械系の摩擦補償を行う。なお、第1の定数K
1及び第2の定数K2は、演算手段のゲインに対応す
る。位相進め補償手段2dは、第1演算手段及び第2演
算手段の出力の加算値を電流指令補正値とし、この電流
指令補正値の位相を進めて電流指令補正値を形成する。
位相進め補償手段2dは、位置制御装置における電流制
御器による遅れや検出系の遅れによって生じる補正の遅
れを補償する。
【0024】位相進め補償手段2dは、以下の式で表さ
れる伝達関数G(s)の特性の位相進み補償要素を適用
することができる。 G(s)=(1+Ts)/(1+αTs) …(1) なお、sはラプラス変換の微分演算子を表し、変数Tと
αとの間には以下の式(2),(3)で表される関係が
ある。 最大位相進み周波数 w=1/(T・α1/2) …(2) 最大位相進み量 Φ=arctan((α−1)/(2・α1/2)…(3) ここで、wの単位はrad/secであり、Φの単位はdegと
している。位相進め補償手段2dによる進み量は、T,
αをパラメータ値として変更することができる。
【0025】なお、第1演算手段(2a,2b)と第2
演算手段2cは、それぞれ単独で用いる構成、あるいは
両演算手段を加算する構成のいずれの構成とすることも
できる。また、位相進め補償手段2dは、第1演算手段
(2a,2b)あるいは第2演算手段2c、又は第1演
算手段と第2演算手段の組み合わせに対して、附加する
構成とすることも附加しない構成とすることもできる。
したがって、制振制御装置2は、第1演算手段における
制御対象の機械のばね定数に相当する第1の定数K1、
第2演算手段における制御対象の機械の摩擦係数に相当
する第2の定数K2、及び位相進め補償手段における進
み量にかかるパラメータ値T,α等の各パラメータがあ
る。
【0026】本発明のサーボ制御装置は、制振制御装置
2が備えるパラメータが適値であるか否かの判断を行う
加振測定手段を備える。図3は、サーボ制御装置におけ
る加振測定手段の接続状態を説明するためのブロック図
である。サーボ制御装置1は、図1で示した構成におい
て、電流制御部13,23に入力段に対していずれか一
方を切換接続可能に接続する。加振測定手段3は、周波
数を可変とする加振電流指令を形成し、この加振電流指
令を何れか一方の電流制御部の電流指令に加算する。こ
の加振電流指令は、可動部材及びモータが振動した状態
を擬似的に発生させる。制振制御装置は、この擬似的に
発生させた振動状態を、モータの速度フィードバック量
から観察し、2つのモータ間(駆動軸間)の干渉の程度
を観察する。これによって、制振制御装置のパラメータ
が適値であるか否かの判断し、最適値を確認する。ま
た、制振制御装置のパラメータ(第1の定数K1、第2
の定数K2、及び進み量)を変えて、モータの速度フィ
ードバック量を観察することによって、制振制御装置の
パラメータの適値を求めることができる。
【0027】次に、加振測定手段の構成例について図4
のブロック図を用いて説明する。なお、図4ではサーボ
制御装置の一部のみを示している。図4において、加振
測定手段3は、サインスイープ電流指令演算器3aと切
換スイッチ3bを備える。サインスイープ電流指令演算
器3aは、周波数を可変とするサインスイープ電流指令
を形成するものである。
【0028】サインスイープ電流指令Tは、例えば以下
の式で表される指令電流を用いることができる。 T=A・sin(2π・f) …(4) f=β・n・t …(5) ここで、Aは電流指令の最大値、tはサンプリング周
期、nは外部信号でカウントを開始し、サンプリング周
波数毎に増加するカウント数、βは定数、fは周波数
(Hz)である。したがって、周波数fは、サンプリン
グ周波数毎に増加する。なお、サインスイープ電流指令
Tは、周波数fが所定の周波数に達した場合に停止する
よう設定しておく。
【0029】切換スイッチ3bは、サインスイープ電流
指令Tをいずれの電流制御部側に加えるか、及び速度フ
ィードバック量をいずれのモータ側から出力させるかを
選択する。例えば、サインスイープ電流指令Tを第1の
モータ15側の電流制御部13側に加えた場合には、第
2のモータ25側の速度フィードバック量を出力し、サ
インスイープ電流指令Tを第2のモータ25側の電流制
御部23側に加えた場合には、第1のモータ15側の速
度フィードバック量を出力する。この切換スイッチ3b
によるサインスイープ電流指令Tの入力と速度フィード
バック量の出力の切換えによって、2つのモータ(駆動
軸)の一方を擬似的に加振し、加振されない側のモータ
(駆動軸)の速度フィードバック量を測定することがで
き、これによって、制振制御装置の干渉補償の程度を観
察することができる。
【0030】また、加振測定手段3は、速度フィードバ
ック量と共に、加振周波数fを出力し、加振周波数fの
変化に対する速度フィードバック量の変化状態を観察す
ることができる。なお、加振測定手段3は、デジタル量
あるいはD/A変換したアナログ量の何れの信号形態で
も出力することができる。
【0031】図5は、本発明のサーボ制御装置及び従来
のサーボ制御装置による実験結果の一例である。なお、
図5において、縦軸は速度検出値とサインスイープ電流
指令の周波数を表し、横軸は時間を表している。速度検
出値の振幅値が大きいほど干渉による影響が大きいこと
を表している。図5(a)は、本発明のサーボ制御装置
による実験結果であり、図5(b)は、従来のサーボ制
御装置による実験結果である。図5(a)及び図5
(b)の比較によれば、本発明のサーボ制御装置の速度
検出値の振幅は、従来のサーボ制御装置の振幅値と比較
して小さく抑えられており、干渉による影響が抑制され
ていることを確認することができる。
【0032】本発明の実施の形態によれば、制振制御装
置によって、1つの駆動系を共通の位置指令を用いて、
2つのモータで制御するタンデム制御において、ばね要
素や摩擦要素などのモータ間の干渉を抑制し、振動を抑
制することができる。また、本発明の実施の形態によれ
ば、加振測定装置によって、モータ間の干渉抑制の効果
を確認し、また、制振制御装置のパラメータの調整を行
うことができる。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高いループゲインの設定が可能で、高い応答性を備えた
サーボ制御装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のサーボ制御装置を説明するための概略
ブロック図である。
【図2】本発明のサーボ制御装置が備える制振制御装置
の構成例を説明するためのブロック図である。
【図3】サーボ制御装置における加振測定手段の接続状
態を説明するためのxブロック図である。
【図4】加振測定手段の構成例を説明するためのブロッ
ク図である。
【図5】本発明のサーボ制御装置及び従来のサーボ制御
装置による実験結果の一例である。
【図6】1つの可動部材を2つのモータで駆動する構成
例を示す図である。
【図7】1つの可動部材を2つのモータで駆動する構成
例を示す図である。
【図8】トルクタンデム制御の構成例を示すブロック図
である。
【図9】ポジションタンデム制御の構成例を示すブロッ
ク図である。
【符号の説明】
1 サーボ制御装置 2 制振制御装置 3 加振測定手段 4 可動部材 11,21 位置制御手段 12,22 速度制御手段 13,23 電流制御手段 14,24 電流増幅器 15,25 モータ 16,26 駆動軸 17,27 速度検出器 18,28 位置検出器 2a 積分手段 2b,2c 定数倍器 2d 位相進め補償手段 3a サインスイープ電流指令演算器 3b 切換スイッチ 41 ばね要素 42 摩擦要素
フロントページの続き Fターム(参考) 3F059 AA01 CA06 FA03 FB28 FB30 FC02 FC03 FC11 FC14 5H303 AA01 AA10 BB01 BB07 BB11 DD01 EE03 EE07 EE09 FF09 GG06 HH04 JJ01 KK03 KK17 LL03 5H550 AA18 BB05 BB10 DD01 EE10 GG01 GG03 GG05 GG10 JJ03 JJ04 JJ11 JJ22 JJ24 JJ25 KK10 LL01 LL22 LL36 5H572 AA14 BB04 BB06 BB08 DD01 EE03 GG01 GG02 GG04 GG08 HC07 JJ03 JJ04 JJ11 JJ22 JJ24 JJ25 KK10 LL01 LL22 LL33

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一つの可動部材を二つのモータで駆動す
    るサーボ制御装置において、同一の位置指令を上位の制
    御装置から受け取り、機械の位置を検出する位置検出器
    からの位置フィードバック量を差し引いた位置偏差量を
    処理して速度指令を出力する位置制御部と、前記速度指
    令を受け取り、モータに取り付けられた速度検出器から
    の速度フィードバック量を差し引いた速度偏差量を処理
    して電流指令を出力する速度制御部と、前記電流指令を
    受け取り、モータ電流を検出するセンサからの電流フィ
    ードバック量を差し引いた電流偏差量を処理して電圧指
    令を出力し、該電圧指令によって電流増幅器を動作させ
    る電流制御部を組みとし、該組みを二つの各モータに対
    してそれぞれ備えた位置制御装置と、前記二つのモータ
    の速度フィードバック量に基づいて、モータ間の干渉を
    補償する電流指令補正値を形成する制振制御装置を備
    え、前記電流指令補正値を、一方のモータの位置制御装
    置の電流指令に加え若しくは引き、他方のモータの位置
    制御装置の電流指令に引き若しくは加える、サーボ制御
    装置。
  2. 【請求項2】 前記制振制御装置は、二つのモータの速
    度フィードバック量の差分を求め、前記速度フィードバ
    ック偏差を積分して定数倍する第1演算手段と、前記速
    度フィードバック偏差を定数倍する第2演算手段とを備
    え、第1演算手段及び第2演算手段の出力の加算値を電
    流指令補正値とする、請求項1記載のサーボ制御装置。
  3. 【請求項3】 前記制振制御装置は、二つのモータの速
    度フィードバック量の差分を求め、該速度フィードバッ
    ク偏差を積分して定数倍する演算手段を備え、該演算手
    段の出力を電流指令補正値とする、請求項1記載のサー
    ボ制御装置。
  4. 【請求項4】 前記制振制御装置は、二つのモータの速
    度フィードバック量の差分を求め、該速度フィードバッ
    ク偏差を定数倍する演算手段を備え、該演算手段の出力
    を電流指令補正値とする、請求項1記載のサーボ制御装
    置。
  5. 【請求項5】 前記制振制御装置は、前記電流指令補正
    値の位相を進める位相進め補償手段を備える、請求項
    2,3,又は4記載のサーボ制御装置。
  6. 【請求項6】 周波数を可変とする加振電流指令を形成
    し、電流制御装置の何れか一方の組みの電流指令に加算
    し、モータの速度フィードバック量の変化から制振制御
    装置のパラメータの適宜を判断する加振測定手段を備え
    る、請求項1,2,3,4,又は5記載のサーボ制御装
    置。
  7. 【請求項7】 前記加振測定手段は、周波数を可変とす
    るサインスイープ電流指令を形成する手段と、前記サイ
    ンスイープ電流指令を電流制御装置の指定された一方の
    組みの電流指令に加算する手段と、前記サインスイープ
    電流指令の周波数と、指定された速度フィードバック量
    を出力する手段とを備える、請求項6記載のサーボ制御
    装置。
  8. 【請求項8】 前記サインスイープ電流指令形成手段
    は、サンプリング周期毎に、サンプリング周期毎に増加
    するカウント値を該サンプリング周期の値に乗算するこ
    とにより周波数を可変とする、請求項7記載のサーボ制
    御装置。
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