JP2001266125A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
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Abstract
の良否判定を行い、欠陥部分の情報の管理を容易にする
こと。 【解決手段】画像取込部1において液晶ディスプレイに
用いられるガラス基板3を撮像して取得された干渉画像
データ、回折画像データを画像表示用ディスプレイ14
の画面上に表示し、このディスプレイ画面上の表示画像
に対してキーボード11又はマウス12の操作により欠
陥部分が指示されると、この欠陥部分の欠陥情報、例え
ば傷、異物、むら、汚れが欠陥登録部19により欠陥情
報メモリ20に登録され、この登録された欠陥情報に基
づいて基板判定部22によりガラス基板3の良否判定を
行い、さらに画像処理部16によって欠陥情報を干渉画
像データ又は回折画像データに重ね合せてディスプレイ
画面上に表示する。
Description
プレイに用いられるガラス基板や半導体ウエハなどの被
検査体を撮像してその画像をディスプレイ画面上に表示
し、この表示画像上から欠陥部分の欠陥情報の登録を行
い、被検査体の判定を行う基板検査装置に関する。
の液晶ディスプレイに用いられるガラス基板のマクロ検
査又はミクロ検査が行われている。マクロ検査は、ガラ
ス基板上における欠陥部分として傷、異物、むら、汚れ
などをマクロ的に観察するもので、例えばガラス基板に
対して斜め方向から照明光を照射し、オペレータの目視
によりガラス基板上の欠陥を観察したり、又はガラス基
板の全体を撮像してその画像をディスプレイに表示し、
この表示画像を目視して観察している。
板上の欠陥の観察の結果から傷、異物、むら、汚れなど
の欠陥部分の情報を取りまとめ、最終的にガラス基板の
良否を判定する。
基板上の欠陥を観察結果から欠陥部分の情報を取りまと
めてガラス基板の良否を判定しているが、欠陥部分の種
類も傷、異物、むら、汚れなどと多くあり、それに加え
て多数のガラス基板のマクロ検査を実施することから欠
陥部分の情報量が膨大となる。
分の情報を管理するのが大変であり、かつ自動的に欠陥
部分の情報を集計してガラス基板の良否判定を行うこと
の要求がある。
を集計してガラス基板の良否判定を行い、欠陥部分の情
報の管理を容易にできる基板検査装置を提供することを
目的とする。
明は、被検査体を撮像して取得された複数種類の画像デ
ータをディスプレイ画面上に表示する画像表示手段と、
前記ディスプレイ画面上に表示される各種画像に対して
欠陥部分が指示されると、この指示された前記欠陥部分
の欠陥情報を登録する欠陥登録手段と、この欠陥登録手
段により登録された各種画像に対応する前記欠陥情報を
重ね合せて前記ディスプレイ画面上に表示する合成表示
手段と、前記欠陥登録手段により登録された前記欠陥情
報に基づいて前記被検査体の良否判定を行う判定手段と
を具備したことを特徴とする基板検査装置である。
載の基板検査装置において、前記欠陥登録手段は、前記
欠陥部分の少なくとも欠陥種類、欠陥形状及び欠陥位置
を欠陥情報として登録する機能を有することを特徴とす
る。
載の基板検査装置において、前記合成表示手段は、少な
くとも回折画像データ又は干渉画像データにより登録さ
れた前記欠陥情報を重ね合せて前記ディスプレイ画面上
に表示する機能を有することを特徴とする。
載の基板検査装置において、前記判定手段は、前記欠陥
登録手段により登録された前記欠陥情報を前記欠陥種類
別に集計し、この集計結果に基づいて前記被検査体を良
否判定する機能を有することを特徴とする。
いて図面を参照して説明する。
取込部1は、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板
又は半導体ウエハなどの被検査体を撮像してその画像デ
ータを取得するものである。基板ステージ2上には、被
検査体としてのガラス基板3が載置されている。この基
板ステージ2は、装置制御ユニット4の駆動制御によっ
て、後述するライン状の照明光のライン方向に対して垂
直方向に所定の速度で移動するものとなっている。
ュータに用いる液晶ディスプレイの大きさを6面又は8
面取りした大きさである。
置5が配置されている。このライン照明装置5は、移動
するガラス基板3に対して斜め方向からライン状の照明
光6を照射するものである。又、ガラス基板3からの反
射光7の光路上には、ラインセンサ・カメラ8が配置さ
れている。このラインセンサ・カメラ8は、移動するガ
ラス基板3からの反射光7を逐次入射してその画像信号
を出力する機能を有している。
ラ8から出力される画像信号を逐次入力し、1枚のガラ
ス基板3に対する画像の取り込みが終了したところでガ
ラス基板3の全面に対する画像データを作成する機能を
有している。
て複数の画像データ、例えば回折画像データと干渉画像
データとを取得する機能を有している。このうち回折画
像データは、ガラス基板3に対して斜め方向から照明光
6を照射し、このときのガラス基板3の表面上の傷やご
みにより生じる散乱光をラインセンサ・カメラ8により
捉えて取得されるものである。干渉画像データは、レジ
ストが塗布されたガラス基板3に対して斜め方向から照
明光6を照射し、このときのレジスト表面からの反射光
とガラス基板3の表面からの反射光との干渉光をライン
センサ・カメラ8により捉えて取得される明暗の画像で
ある。
ガラス基板3の画像データ(回折画像データ、干渉画像
データ)を受け取り画像処理して画像表示用ディスプレ
イ14に表示し、この表示画像上でオペレータにより指
示された欠陥部分の欠陥情報を登録し、かつこの登録さ
れた欠陥情報を画像データ上に重ね合せて表示し、さら
に欠陥情報に基づいてガラス基板3の良否判定を行うと
いう一連の演算・制御する機能を有するもので、ユーザ
・インターフェイスとしてのキーボード11とマウス1
2、画像サーバ13及び画像表示用ディスプレイ14が
接続されている。
な機能ブロック図である。画像取込部1のラインセンサ
・かめら8から取り込んだ画像データは、画像処理ボー
ド9を介して演算・制御装置10の画像メモリ15に記
憶(展開)されるようになっている。
された画像データを読み取り、この画像データを画像表
示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ14
に表示出力させる機能を有している。
1又はマウス12からの操作信号を受けて、例えば図3
に示すようにポインタ14aを画像表示用ディスプレイ
14の画面上で移動表示する機能を有している。
記憶された画像データを読み取り、この画像データから
画像ファイル18を作成して画像サーバ13に保存する
機能を有している。
ド11又はマウス12からの検索指示を受けて、複数保
存している画像ファイル18のうち指示された画像ファ
イル18を検索し読み出してその画像データを画像メモ
リ15に記憶する機能を有している。
又はマウス12からの操作信号を受け、図3に示すよう
にポインタ14aを画像表示用ディスプレイ14の画面
上で移動表示させて、このポインタ14aにより表示画
像上で欠陥部分、例えば便宜上付された欠陥ラベル
「1」「2」又は「3」の欠陥部分を指示すると、この
指示した欠陥部分の欠陥情報、例えば欠陥種類(傷、異
物、むら、汚れ)、欠陥形状及び欠陥位置(座標)を欠
陥情報メモリ20に登録する機能を有している。
ード11又はマウス12からの指示を受けた画像処理部
16によって欠陥情報メモリ20に記憶されている欠陥
登録ダイアログウィンドウ情報を読み出して図3に示す
ように画像表示用ディスプレイ14に表示する。この登
録ダイアログウィンドウ21の欠陥名称リストボックス
21aは、欠陥種類として予め分かっている傷、異物、
むら、汚れなどが登録されており、キーボード11又は
マウス12の操作により選択決定されるようになってい
る。
信号によりポインタ14aを画像表示用ディスプレイ1
4の画面上で移動表示させることにより、欠陥ラベル
「1」「2」又は「3」の各欠陥部分の形状、欠陥位置
(座標)を指示できるようになっている。
の形状及び欠陥位置(座標)が指示された後に、登録ダ
イアログウィンドウ21上の登録ボタン21bが操作さ
れると、これら欠陥種類(欠陥名称)の選択決定、欠陥
部分の形状及び欠陥位置(座標)が欠陥情報メモリ20
に登録されるものとなっている。
登録された欠陥情報を読み込み、この欠陥情報から少な
くとも各欠陥種類(欠陥名称)別にその大きさや個数の
集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板3の良
否、例えば良品、廃棄、リワーク(ガラス基板3の表面
を削ってレジストをやり直す)を判定する機能を有して
いる。
リ20に登録されている欠陥種類(例えば傷、異物、む
ら、汚れ)と共に、基板判定部22でのガラス基板3の
判定結果(例えば良品、廃棄、リワーク)を欠陥情報フ
ァイル24として画像サーバ13に保存する機能を有し
ている。
ボード11又はマウス12からの検索指示を受けて、複
数保存している欠陥情報ファイル24のうち指示された
欠陥情報ファイル24を検索し読み出してその欠陥情報
を欠陥情報メモリ20に記憶する機能を有している。
0に記憶されている欠陥登録部19からの欠陥情報又は
欠陥情報保存検索部23から読み出された欠陥情報を、
任意の画像データ、例えば回折画像データ、干渉画像デ
ータ又は他の画像データに重ね合せて画像表示用ディス
プレイ14の画面上に表示する合成表示手段としての機
能を有している。
ついて図4及び図5に示す欠陥管理フローチャートに従
って説明する。
ガラス基板3が載置される。このガラス基板3に対して
斜め方向からライン照明装置5からのライン状の照明光
6が照射されると共に、基板ステージ2が装置制御ユニ
ット4の駆動制御によってライン状の照明光6のライン
方向に対して垂直方向に所定の速度で移動する。この状
態にラインセンサ・カメラ8は、移動するガラス基板3
からの反射光7を逐次入射してその画像信号を出力す
る。
ラ8から出力される画像信号を逐次入力し、1枚のガラ
ス基板3に対する画像の取り込みが終了したところでガ
ラス基板3の全面に対する画像データを作成する。
との2つの画像データを取得するために、画像取込部1
では、ガラス基板3に対して斜め方向から照明光6を照
射し、このときのガラス基板3の表面上の傷やごみによ
り生じる散乱光をラインセンサ・カメラ8により捉えて
回折画像データを取得し、又レジストが塗布されたガラ
ス基板3に対して斜め方向から照明光6を照射し、この
ときのレジスト表面からの反射光とガラス基板3の表面
からの反射光との干渉光をラインセンサ・カメラ8によ
り捉えて明暗の干渉画像データを取得する。以下、回折
画像データ、干渉画像データとして説明する。
干渉画像データが演算・制御装置10に送られると、こ
の演算・制御装置10は、ステップ#1において、回折
画像データ、続いて干渉画像データを新規画像データと
して取り込み、これら回折画像データ、続いて干渉画像
データを画像メモリ15に記憶(展開)する。
2において、画像メモリ15に記憶された回折画像デー
タ及び干渉画像データを読み取り、これら回折画像デー
タ及び干渉画像データからそれぞれ画像ファイル18を
作成して画像サーバ13に保存する。
おいて、画像メモリ15に記憶された回折画像データ、
干渉画像データを読み取り、これら回折画像データ及び
干渉画像データを画像表示用の映像信号に変換して画像
表示用ディスプレイ14に表示出力する。なお、画像表
示用ディスプレイ14の画面上には、回折画像データ又
は干渉画像データのいずれか一方又は両方を表示させる
ようにしてよい。
4において、現在、画像表示用ディスプレイ14の画面
上に表示されている回折画像データ又は干渉画像データ
のいずれか一方又は両方の欠陥情報が欠陥情報ファイル
24に保存されているか否かを判断する。
面上に表示されている回折画像データ又は干渉画像デー
タは、いずれも新規の画像であるので、演算・制御装置
10は、ステップ#6に移り、欠陥情報の入力を行うか
否かを判断する。これら回折画像データ又は干渉画像デ
ータは、いずれも新規の画像であるので、キーボード1
1又はマウス12から欠陥情報の入力を行う指示が入力
される。
7において欠陥情報の保存を行う。このとき、画像処理
部16は、画像表示用ディスプレイ14の画面上に回折
画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方
を表示すると共に、図3に示すようにキーボード11又
はマウス12の操作により移動可能にポインタ14aを
表示している。なお、図3は回折画像データ又は干渉画
像データのいずれか一方の表示である。
陥登録の指示を受けた画像処理部16は、欠陥情報メモ
リ20に記憶されている欠陥登録ダイアログウィンドウ
情報を読み出して図3に示すように画像表示用ディスプ
レイ14の画面上に欠陥登録ダイアログウィンドウ21
を表示する。
ス12の操作によりポインタ14aを画像表示用ディス
プレイ14の画面上で移動表示させ、例えば各欠陥ラベ
ル「1」「2」又は「3」の各欠陥部分の形状、欠陥位
置(座標)を指示する。このように画像表示用ディスプ
レイ14の画面上でポインタ14aを移動させて欠陥部
分の形状、欠陥位置を指示すれば、欠陥登録部19は、
それらの座標が回折画像データ上、干渉画像データ上に
おいて対応できる。
示用ディスプレイ14の画面上の欠陥登録ダイアログウ
ィンドウ21の欠陥名称リストボックス21aにおいて
欠陥種類としてむらが選択決定され、欠陥ラベル「2」
については傷、欠陥ラベル「3」についてはごみが選択
決定される。
定、欠陥部分の形状及び欠陥位置(座標)が指示された
後に、登録ダイアログウィンドウ21上の登録ボタン2
1bが操作されると、欠陥登録部19は、これら欠陥種
類(欠陥名称)、欠陥部分の形状及び欠陥位置(座標)
を欠陥情報メモリ20に登録する。なお、これら欠陥情
報は、回折画像データと干渉画像データとのそれぞれに
対して登録される。
基板判定部22は、ステップ#8において、欠陥情報メ
モリ20に登録された欠陥情報を読み込み、この欠陥情
報から少なくとも各欠陥種類(欠陥名称)別に例えばそ
の個数の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基
板3の良否、例えば良品、廃棄、リワーク(ガラス基板
3の表面を削ってレジストをやり直す)を判定する。
に図5に示す良否判定フローチャートに従って説明す
る。
定ファイルを作成する。この基板判定ファイルは、欠陥
情報を登録する際の欠陥種類(欠陥名称)ごとに判定基
準となるデータを設定するものである。
判定コードを用いる。
良品となる。
棄」、「リワーク」となり、それぞれの判定個数は例え
ば「1」「10」に登録されている。
傷、異物、むら、汚れに対して判定個数がそれぞれ例え
ば「1」「5」「5」「3」となり、判定コードがそれ
ぞれ「廃棄」、「リワーク」、「リワーク」、「リワー
ク」に登録されている。この欠陥種類(欠陥名称)ごと
の判定個数は、判定の重要項目ほどその個数を少なくす
ればよく、判定の重み付けを行うものとなる。上記判定
個数例では、傷、汚れ、異物及びむらの順序で重要な判
定項目となっている。
いる基板判定部22は、ステップ#20において、欠陥
情報メモリ20に登録されている欠陥種類(欠陥名
称)、欠陥部分の形状及び欠陥位置(座標)からなる欠
陥情報を読み取り、これら欠陥種類(欠陥名称)を判定
コードごとに分けて集計する。この集計の結果、廃棄が
n個、リワークがm個となった。
において、ガラス基板3の欠陥総数、すなわち回折画像
データ及び干渉画像データの両方から登録された欠陥の
総数が基板判定ファイルに登録された判定コード「廃
棄」、「リワーク」の各判定個数「1」「10」に達し
ているか否かを判定する。
ワーク」について、判定個数「1(破棄)」「10(リ
ワーク)」に達していなければ、基板判定部22は、ス
テップ#22に移り、欠陥情報メモリ20に登録されて
いる欠陥情報から各欠陥種類(欠陥名称)ごとに分けて
その個数を集計する。この集計の結果、傷がk個、異物
がp個、むらがq個、汚れがr個となった。
において、集計した各欠陥種類(欠陥名称)ごとの個数
が基板判定ファイルに登録された判定個数(傷「1(破
棄)」、異物「5(リワーク)」、むら「5(リワー
ク)」、汚れ「3(リワーク)」)に達しているか否か
を判定する。
名称)も判定個数に達していなければ、基板判定部22
は、ステップ#24において、判定コードに良品を設定
し、次のステップ#25において判定コードを基板判定
結果とする。
でも判定個数に達していれば、基板判定部22は、ステ
ップ#25において、判定コードに「廃棄」又は「リワ
ーク」を設定し、次のステップ#25において判定コー
ドを基板判定結果とする。
れが3個の場合、汚れが欠陥種類(欠陥名称)ごとの判
定個数に達しているので、判定結果は「リワーク」とな
る。
合、判定コード「リワーク」の欠陥が欠陥総数判定の判
定個数「10」に達しているので、判定結果は「リワー
ク」となる。
合、欠陥種類(欠陥名称)、欠陥総数判定のいずれの判
定個数「10」に達していないので、判定結果は「良
品」となる。
すると、欠陥情報保存検索部23は、ステップ#9にお
いて、欠陥情報メモリ20に登録されている欠陥種類
(例えば傷、異物、むら、汚れ)と共に、基板判定部2
2でのガラス基板3の判定結果(例えば良品、廃棄、リ
ワーク)を欠陥情報ファイル24として画像サーバ13
に保存する。
なければ、演算・制御装置10は、ステップ#11にお
いて、システム終了を判断する。
任意の画像ファイル18の検索指示が入力されると、画
像保存検索部17は、この検索指示を受けて、複数保存
している画像ファイル18のうち指示された画像ファイ
ル18を検索し読み出してその画像データ、例えば回折
画像データ、干渉画像データ又は他の画像データを画像
メモリ15に記憶する。
意の欠陥情報ファイル24の検索指示が入力されると、
この検索指示を受けて、複数保存している欠陥情報ファ
イル24のうち指示された欠陥情報ファイル24を検索
し読み出してその欠陥情報を欠陥情報メモリ20に記憶
する。
陥情報が読み出されると、画像処理部16は、上記ステ
ップ#1において、画像メモリ15に記憶されている回
折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データを読
み取り、これら回折画像データ及び干渉画像データを画
像表示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ
14に表示出力する。
プ#4において、現在、画像表示用ディスプレイ14の
画面上に表示されている回折画像データ、干渉画像デー
タ又は他の画像データの欠陥情報が欠陥情報ファイル2
4に保存されているか否かを判断する。
4の画面上に表示されている画像データの欠陥情報は既
に欠陥情報ファイル24に保存されているので、演算・
制御装置10は、ステップ#5に移って画像合成を行
う。
モリ20に記憶されている欠陥情報を、任意の画像デー
タ、例えば回折画像データ、干渉画像データ又は他の画
像データに重ね合せて画像表示用ディスプレイ14の画
面上に合成表示する。
欠陥情報を回折画像データに重ね合せた合成画像を示
す。この合成画像は、干渉画像データから得られた欠陥
ラベル「10」のむらの欠陥情報を、欠陥ラベル「1
1」「12」の傷、異物が現われている回折画像データ
に重ね合せたものである。なお、欠陥ラベル「11」
「12」の傷、異物は、欠陥情報の欠陥部分の形状及び
欠陥位置(座標)から表示できる。この場合、欠陥ラベ
ルとして回折画像と干渉画像とから得られた欠陥を分類
するマークをラベル番号に付記したり、ラベル番号の色
を変えることにより、どちらの画像での欠陥かが容易に
分かる。
液晶ディスプレイに用いられるガラス基板3を撮像して
取得された干渉画像データ、回折画像データをディスプ
レイ画面上に表示し、このディスプレイ画面上の表示画
像に対して欠陥部分が指示されると、この欠陥部分の欠
陥情報、例えば傷、異物、むら、汚れを登録し、この登
録された欠陥情報に基づいてガラス基板3の良否判定を
行い、さらに登録された欠陥情報を干渉画像データ又は
回折画像データに重ね合せてディスプレイ画面上に表示
するようにしたので、自動的に欠陥部分の情報を集計し
てガラス基板3の良否判定を行うことができ、かつ欠陥
部分の情報の管理が容易にできる。
ドウ21の欠陥名称リストボックス21a上で欠陥種類
(欠陥名称)を選択決定し、かつキーボード11又はマ
ウス12の移動により欠陥部分の形状及び欠陥位置(座
標)を指示することにより行えるので、オペレータのデ
ィスプレイ画面上に対する対話形式で簡単にかつ短時間
で自動的に行える。又、欠陥情報の登録は、例えば傷、
異物、むら、汚れなどのガラス基板3の良否判定を行う
のに十分な情報を登録できる。
回折画像データ自体を加工処理することがないので、登
録する情報量を少なくできる。
ラス基板3の良否判定を行うことができ、かつその判定
は、欠陥情報から各欠陥種類(欠陥名称)別にその個数
の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板3の
良否、例えば良品、廃棄、リワークを判定するので、ガ
ラス基板3に対して定量的な判定ができ、その判定結果
の信頼性を向上できる。
定ファイルにおいて、総欠陥数判定の判定個数、欠陥種
類(欠陥名称)ごとの判定判定個数をユーザ側で任意に
変えることができ、これによりガラス基板3の判定に対
する重み付けを変えることができる。
像データに重ね合せてディスプレイ画面上に表示するの
で、例えば干渉画像データから得られた欠陥情報を回折
画像データに重ね合せた合成画像を表示できるので、ガ
ラス基板3の全ての欠陥の状況がディスプレイ画面上で
一目で分かる。
されるものでなく次の通りに変形しとてもよい。
の形状のうちその大きさ、長さ、幅などによって判定す
るようにしてもよい。
動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板の良否判定
を行い、欠陥部分の情報の管理を容易にできる基板検査
装置を提供できる。
示す構成図。
おける演算・制御装置の具体的な機能ブロック図。
おける欠陥情報の登録方法を示す図。
おける欠陥管理フローチャート。
おけるガラス基板の良否判定フローチャート。
おける欠陥情報を画像データに重ね合せた合成画像を示
す図。
Claims (4)
- 【請求項1】 被検査体を撮像して取得された複数種類
の画像データをディスプレイ画面上に表示する画像表示
手段と、 前記ディスプレイ画面上に表示される各種画像に対して
欠陥部分が指示されると、この指示された前記欠陥部分
の欠陥情報を登録する欠陥登録手段と、 この欠陥登録手段により登録された各種画像に対応する
前記欠陥情報を重ね合せて前記ディスプレイ画面上に表
示する合成表示手段と、 前記欠陥登録手段により登録された前記欠陥情報に基づ
いて前記被検査体の良否判定を行う判定手段と、を具備
したことを特徴とする基板検査装置。 - 【請求項2】 前記欠陥登録手段は、前記欠陥部分の少
なくとも欠陥種類、欠陥形状及び欠陥位置を欠陥情報と
して登録する機能を有することを特徴とする請求項1記
載の基板検査装置。 - 【請求項3】 前記合成表示手段は、少なくとも回折画
像データ又は干渉画像データにより登録された前記欠陥
情報を重ね合せて前記ディスプレイ画面上に表示する機
能を有することを特徴とする請求項1記載の基板検査装
置。 - 【請求項4】 前記判定手段は、前記欠陥登録手段によ
り登録された前記欠陥情報を前記欠陥種類別に集計し、
この集計結果に基づいて前記被検査体を良否判定する機
能を有することを特徴とする請求項1記載の基板検査装
置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2000072848A JP4744665B2 (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | 基板検査装置及び基板検査システム |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000072848A JP4744665B2 (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | 基板検査装置及び基板検査システム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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