JP2001305075A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 必要な労力・人手を低減し、不良態様の区別
が容易であり、検査精度が高く、不良の位置情報などを
容易に蓄積・管理することができる、液晶基板の外観検
査装置を提供する。 【解決手段】 この装置は、検査対象となる基板1の主
表面に向けて、それぞれ異なる方向から光を照射する複
数の照射手段としてのリングライト2、ラインライト3
などと、撮影手段としてのCCDカメラ6,7を備え
る。さらにこれらに対する基板1の相対位置を自在に移
動できる位置決め手段として2軸ロボット9と、主表面
のうち部位ごとに、ライトおよびCCDカメラのうち適
切なものを選択して組合せて、画像情報を取得し、不良
箇所を検出容易なように画像処理して表示する表示手段
としてモニタ8を備える。
が容易であり、検査精度が高く、不良の位置情報などを
容易に蓄積・管理することができる、液晶基板の外観検
査装置を提供する。 【解決手段】 この装置は、検査対象となる基板1の主
表面に向けて、それぞれ異なる方向から光を照射する複
数の照射手段としてのリングライト2、ラインライト3
などと、撮影手段としてのCCDカメラ6,7を備え
る。さらにこれらに対する基板1の相対位置を自在に移
動できる位置決め手段として2軸ロボット9と、主表面
のうち部位ごとに、ライトおよびCCDカメラのうち適
切なものを選択して組合せて、画像情報を取得し、不良
箇所を検出容易なように画像処理して表示する表示手段
としてモニタ8を備える。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板の表面の外観
の検査を行なう検査装置に関する。より特定的には、た
とえば、液晶表示装置のガラス基板(以下、「液晶基
板」という。)の表面の外観の検査を行なう検査装置に
関する。
の検査を行なう検査装置に関する。より特定的には、た
とえば、液晶表示装置のガラス基板(以下、「液晶基
板」という。)の表面の外観の検査を行なう検査装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶基板の表面の外観検査は、基
準ライトの下で、オペレータが目視により、当該基板
を、各項目の限度基準のサンプルとなっている液晶基板
と比較するという感応検査で行なっていた。
準ライトの下で、オペレータが目視により、当該基板
を、各項目の限度基準のサンプルとなっている液晶基板
と比較するという感応検査で行なっていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】液晶基板の外観におけ
る不良箇所の位置情報は、工程管理上、きわめて重要な
情報である。そこで、外観検査において、不良箇所が発
見された場合、オペレータによる液晶基板自体へのマー
キングなどは、行われていた。しかし、位置情報の記録
を系統的に行なおうとすると、オペレータの手作業が大
幅に増加し、オペレータにとって時間的にも肉体的にも
負担が大きくなるため、マーキングを行なうのみに留ま
り、その位置情報の資料としての蓄積は行われていなか
った。このように、位置情報を蓄積したり、迅速に活用
したりといったことができていなかったため、工程不具
合や装置不具合の発見が遅れ、その結果、不良品数を増
加させることとなっていた。オペレータがマーキングを
行なった液晶基板についても、そのマーキング結果の管
理は煩雑であり、余分な工数を要していた。
る不良箇所の位置情報は、工程管理上、きわめて重要な
情報である。そこで、外観検査において、不良箇所が発
見された場合、オペレータによる液晶基板自体へのマー
キングなどは、行われていた。しかし、位置情報の記録
を系統的に行なおうとすると、オペレータの手作業が大
幅に増加し、オペレータにとって時間的にも肉体的にも
負担が大きくなるため、マーキングを行なうのみに留ま
り、その位置情報の資料としての蓄積は行われていなか
った。このように、位置情報を蓄積したり、迅速に活用
したりといったことができていなかったため、工程不具
合や装置不具合の発見が遅れ、その結果、不良品数を増
加させることとなっていた。オペレータがマーキングを
行なった液晶基板についても、そのマーキング結果の管
理は煩雑であり、余分な工数を要していた。
【0004】また、この検査自体、オペレータの目視に
よる感応検査であるため、人的要因が大きく、判定結果
は、熟練度、その日の体調などに左右されていた。液晶
基板の外観検査においては、不良の項目によっては、ミ
クロン単位での微小な不良箇所を判別しなければならな
いところ、このような人手による検査では信頼性を上げ
るには限度があった。
よる感応検査であるため、人的要因が大きく、判定結果
は、熟練度、その日の体調などに左右されていた。液晶
基板の外観検査においては、不良の項目によっては、ミ
クロン単位での微小な不良箇所を判別しなければならな
いところ、このような人手による検査では信頼性を上げ
るには限度があった。
【0005】さらに、不良箇所の態様によっては、汚れ
かキズかの区別がつきにくいものもあるため、検査に時
間がかかっており、誤判定も避けられなかった。
かキズかの区別がつきにくいものもあるため、検査に時
間がかかっており、誤判定も避けられなかった。
【0006】一般に、生産途上において、不良の発生原
因を特定するためには、各工程の前後である程度長期間
に渡って、外観検査を行なうことが望まれていたが、従
来のオペレータによる外観検査では、多くの人手が必要
であり、肉体的にも負荷が大きく、十分に実践できてい
なかった。
因を特定するためには、各工程の前後である程度長期間
に渡って、外観検査を行なうことが望まれていたが、従
来のオペレータによる外観検査では、多くの人手が必要
であり、肉体的にも負荷が大きく、十分に実践できてい
なかった。
【0007】そこで、本発明は、必要な労力・人手を低
減し、不良の種類の区別が容易であり、検査精度が高
く、不良の位置情報などを容易に蓄積・管理することが
できる、外観検査装置を提供することを目的とする。
減し、不良の種類の区別が容易であり、検査精度が高
く、不良の位置情報などを容易に蓄積・管理することが
できる、外観検査装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に基づく外観検査装置は、検査対象となる基
板の主表面に向けて、それぞれ異なる方向から光を照射
する複数の照射手段と、上記主表面を撮影する撮影手段
と、上記照射手段および上記撮影手段に対する上記基板
の相対位置を自在に移動できる位置決め手段と、上記主
表面のうち部位ごとに、上記照射手段および上記撮影手
段のうち所望のものを選択して組合せて、画像情報を取
得し、上記画像情報を不良箇所検出可能なように表示す
る表示手段とを備える。
め、本発明に基づく外観検査装置は、検査対象となる基
板の主表面に向けて、それぞれ異なる方向から光を照射
する複数の照射手段と、上記主表面を撮影する撮影手段
と、上記照射手段および上記撮影手段に対する上記基板
の相対位置を自在に移動できる位置決め手段と、上記主
表面のうち部位ごとに、上記照射手段および上記撮影手
段のうち所望のものを選択して組合せて、画像情報を取
得し、上記画像情報を不良箇所検出可能なように表示す
る表示手段とを備える。
【0009】上記構成を採用することにより、照射手段
および撮影手段の検査部位に応じた適切な組合せによっ
て、所望の不良箇所を検査するに適した画像情報を取得
でき、表示手段によって表示させて、外観検査を行なえ
るため、外観検査に要する労力を大幅に低減でき、ま
た、検査そのものの精度を上げることもできる。
および撮影手段の検査部位に応じた適切な組合せによっ
て、所望の不良箇所を検査するに適した画像情報を取得
でき、表示手段によって表示させて、外観検査を行なえ
るため、外観検査に要する労力を大幅に低減でき、ま
た、検査そのものの精度を上げることもできる。
【0010】上記発明において好ましくは、上記画像情
報の取得を、上記主表面の分割した領域ごとに行ない、
取得した上記画像情報を、上記主表面ごとに統合して記
録し、管理する、画像情報管理手段を備える。この構成
を採用することにより、一度に画像情報を取得しきれな
い程度に広い面積の主表面を有する基板についても問題
なく検査を行なうことができ、得られた画像情報は、主
表面ごとにまとめられて管理されるため、後々の参考情
報としての利用が容易となる。
報の取得を、上記主表面の分割した領域ごとに行ない、
取得した上記画像情報を、上記主表面ごとに統合して記
録し、管理する、画像情報管理手段を備える。この構成
を採用することにより、一度に画像情報を取得しきれな
い程度に広い面積の主表面を有する基板についても問題
なく検査を行なうことができ、得られた画像情報は、主
表面ごとにまとめられて管理されるため、後々の参考情
報としての利用が容易となる。
【0011】上記発明において好ましくは、上記不良箇
所に対して、上記照射手段の組合せを変えてそれぞれ光
を照射したときに、得られる上記画像情報の違いから、
上記不良箇所の種類を判別可能とする照射変更手段を備
える。この構成を採用することにより、不良箇所の不良
の種類が目視では判別しにくいものである場合にも、照
射変更手段によって照射手段の組合せを変更すること
で、判別可能とすることができる。
所に対して、上記照射手段の組合せを変えてそれぞれ光
を照射したときに、得られる上記画像情報の違いから、
上記不良箇所の種類を判別可能とする照射変更手段を備
える。この構成を採用することにより、不良箇所の不良
の種類が目視では判別しにくいものである場合にも、照
射変更手段によって照射手段の組合せを変更すること
で、判別可能とすることができる。
【0012】上記発明において好ましくは、上記画像情
報の取得の際に、上記画像情報に基づく画像を表示する
画面上のオペレータの位置指定操作により、上記不良箇
所に対応した位置にマーキングを行なうことのできる1
以上のマーキング手段を備える。この構成を採用するこ
とにより、オペレータは画像を見ながら操作を行なうだ
けで、マーキングを行なうことができ、少ない労力で効
率良くマーキングを行なうことができる。
報の取得の際に、上記画像情報に基づく画像を表示する
画面上のオペレータの位置指定操作により、上記不良箇
所に対応した位置にマーキングを行なうことのできる1
以上のマーキング手段を備える。この構成を採用するこ
とにより、オペレータは画像を見ながら操作を行なうだ
けで、マーキングを行なうことができ、少ない労力で効
率良くマーキングを行なうことができる。
【0013】上記発明において好ましくは、上記マーキ
ングにおいて、オペレータが不良項目を選択することに
よって、上記不良項目に対応した種類の上記マーキング
手段を選択するマーキング選択手段を備える。この構成
を採用することにより、不良箇所の種類によって色分け
などしてマーキングを行なうことができ、後々の不良サ
ンプルの整理・活用に便利となる。
ングにおいて、オペレータが不良項目を選択することに
よって、上記不良項目に対応した種類の上記マーキング
手段を選択するマーキング選択手段を備える。この構成
を採用することにより、不良箇所の種類によって色分け
などしてマーキングを行なうことができ、後々の不良サ
ンプルの整理・活用に便利となる。
【0014】上記発明において好ましくは、上記マーキ
ングを行なった位置の情報から、上記不良箇所の位置情
報を取得し、取得した上記位置情報を管理する位置情報
管理手段を備える。この構成を採用することにより、不
良発生箇所に関する情報の蓄積・管理を、余分な労力を
必要とせずに、マーキングを行なうだけで自動的に行う
ことができる。
ングを行なった位置の情報から、上記不良箇所の位置情
報を取得し、取得した上記位置情報を管理する位置情報
管理手段を備える。この構成を採用することにより、不
良発生箇所に関する情報の蓄積・管理を、余分な労力を
必要とせずに、マーキングを行なうだけで自動的に行う
ことができる。
【0015】上記発明において好ましくは、上記マーキ
ングにより、上記不良箇所の位置情報を取得し、選択さ
れた上記不良項目の種類から、上記不良箇所の不良内容
情報を取得し、取得した上記位置情報および上記不良内
容情報を管理する不良関連情報管理手段を備える。この
構成を採用することにより、余分な労力を必要とせず
に、マーキングを行なうだけで自動的に位置情報および
不良内容情報がセットで蓄積され、管理することができ
る。
ングにより、上記不良箇所の位置情報を取得し、選択さ
れた上記不良項目の種類から、上記不良箇所の不良内容
情報を取得し、取得した上記位置情報および上記不良内
容情報を管理する不良関連情報管理手段を備える。この
構成を採用することにより、余分な労力を必要とせず
に、マーキングを行なうだけで自動的に位置情報および
不良内容情報がセットで蓄積され、管理することができ
る。
【0016】上記発明において好ましくは、事前に認識
させた上記基板のパターン情報を、上記画像情報に組合
せることで、上記不良箇所を抽出し、強調することによ
って認識可能とする、不良箇所強調手段を備える。この
構成を採用することにより、オペレータにとって、不良
箇所を発見することがきわめて容易になり、検査にかか
る負担を低減できる。また、判別が容易になるため、見
落としなどの少ない信頼性の高い検査が可能となる。
させた上記基板のパターン情報を、上記画像情報に組合
せることで、上記不良箇所を抽出し、強調することによ
って認識可能とする、不良箇所強調手段を備える。この
構成を採用することにより、オペレータにとって、不良
箇所を発見することがきわめて容易になり、検査にかか
る負担を低減できる。また、判別が容易になるため、見
落としなどの少ない信頼性の高い検査が可能となる。
【0017】上記発明において好ましくは、上記画像情
報に基づく画像を表示する画面において、上記不良箇所
の寸法測定を行なえる寸法測定手段を備える。この構成
を採用することにより、画面上で寸法を測定できるた
め、オペレータは、不良箇所の寸法測定を容易かつ円滑
に行なうことができ、不良品か良品か修正可能品かの判
別を正確に行なうことができる。
報に基づく画像を表示する画面において、上記不良箇所
の寸法測定を行なえる寸法測定手段を備える。この構成
を採用することにより、画面上で寸法を測定できるた
め、オペレータは、不良箇所の寸法測定を容易かつ円滑
に行なうことができ、不良品か良品か修正可能品かの判
別を正確に行なうことができる。
【0018】
【発明の実施の形態】(実施の形態1) (構成)図1に、本実施の形態における外観検査装置を
示す。この外観検査装置は、図1(a)に示す作業部
と、図1(b)に示す表示部とからなる。図1(a)に
示すように、この外観検査装置は、検査対象となる基板
1の主表面に光を照射する複数の照射手段として、上方
向から照射するリングライト2と、横方向から照射する
ラインライト3と、基板1を載置するステージ12を介
して基板1の裏面から照射するバックライト4と、CC
Dカメラに設けられ、CCDカメラの撮影方向と同軸方
向に照射する同軸ライト5とを備えている。また、基板
1の主表面を撮影する撮影手段として、基板1の上方
に、低倍率のCCDカメラ6と、高倍率のCCDカメラ
7とを備えている。CCDカメラ6,7の2本を用いる
代りに、ズーム機能付の1本のCCDカメラで代用して
もよい。基板1の主表面の外観検査は、これらのCCD
カメラによって画像を取得して行なわれるが、その際に
は、不良箇所の態様や位置によって、最適な倍率が選択
可能なように構成されている。
示す。この外観検査装置は、図1(a)に示す作業部
と、図1(b)に示す表示部とからなる。図1(a)に
示すように、この外観検査装置は、検査対象となる基板
1の主表面に光を照射する複数の照射手段として、上方
向から照射するリングライト2と、横方向から照射する
ラインライト3と、基板1を載置するステージ12を介
して基板1の裏面から照射するバックライト4と、CC
Dカメラに設けられ、CCDカメラの撮影方向と同軸方
向に照射する同軸ライト5とを備えている。また、基板
1の主表面を撮影する撮影手段として、基板1の上方
に、低倍率のCCDカメラ6と、高倍率のCCDカメラ
7とを備えている。CCDカメラ6,7の2本を用いる
代りに、ズーム機能付の1本のCCDカメラで代用して
もよい。基板1の主表面の外観検査は、これらのCCD
カメラによって画像を取得して行なわれるが、その際に
は、不良箇所の態様や位置によって、最適な倍率が選択
可能なように構成されている。
【0019】さらに、この外観検査装置は、複数の照射
手段および複数の撮影手段に対する基板1の相対位置
を、事前登録またはジョイスティックなどによる遠隔操
作によって自在に移動できる位置決め手段として、2軸
ロボット9を備える。
手段および複数の撮影手段に対する基板1の相対位置
を、事前登録またはジョイスティックなどによる遠隔操
作によって自在に移動できる位置決め手段として、2軸
ロボット9を備える。
【0020】さらに、図1(b)に示すように、この外
観検査装置は、オペレータが不良箇所の検出を行なえる
ように、CCDカメラ6,7で取得した画像情報を表示
する表示手段として、モニタ8を備えている。また、こ
の外観検査装置では、照射変更手段として、照射手段の
うち照射を行なうものの選択を変更できる機構を備えて
いる。
観検査装置は、オペレータが不良箇所の検出を行なえる
ように、CCDカメラ6,7で取得した画像情報を表示
する表示手段として、モニタ8を備えている。また、こ
の外観検査装置では、照射変更手段として、照射手段の
うち照射を行なうものの選択を変更できる機構を備えて
いる。
【0021】不良の種類にそれぞれ対応する、照射手段
と撮影手段の組合せの一例を、表1に示す。このような
組合せの情報は、事前登録しておくことが好ましい。
と撮影手段の組合せの一例を、表1に示す。このような
組合せの情報は、事前登録しておくことが好ましい。
【0022】
【表1】
【0023】なお、CCDカメラ6,7による画像情報
の取得は、基板1の全体について一度に行われるのでは
なく、1枚の基板1の領域ごとに分割して行われる。図
2に、基板1の領域ごとに分割した例を示す。領域の分
割にあたっては、基板1の本来持つパターンに沿って行
なってもよいが、製造工程の都合上、特定の領域の特定
の不良を特に重点的に検査したいときには、そのような
事情を考慮して行なってもよい。図2の例では、領域1
01〜107に分割しているが、これら各領域で特に重
点的に検査すべき不良の種類があらかじめわかっている
ので、表2に示すように、領域101〜107の各々に
対応して使用すべき照射手段および撮影手段が決められ
ている。
の取得は、基板1の全体について一度に行われるのでは
なく、1枚の基板1の領域ごとに分割して行われる。図
2に、基板1の領域ごとに分割した例を示す。領域の分
割にあたっては、基板1の本来持つパターンに沿って行
なってもよいが、製造工程の都合上、特定の領域の特定
の不良を特に重点的に検査したいときには、そのような
事情を考慮して行なってもよい。図2の例では、領域1
01〜107に分割しているが、これら各領域で特に重
点的に検査すべき不良の種類があらかじめわかっている
ので、表2に示すように、領域101〜107の各々に
対応して使用すべき照射手段および撮影手段が決められ
ている。
【0024】
【表2】
【0025】図3に、この外観検査装置の構成の概略を
示す。この外観検査装置は、分割した領域ごとに取得し
た画像情報を、1つの主表面ごとに統合して記録し、管
理する画像情報管理手段として、パーソナルコンピュー
タ13を備えている。
示す。この外観検査装置は、分割した領域ごとに取得し
た画像情報を、1つの主表面ごとに統合して記録し、管
理する画像情報管理手段として、パーソナルコンピュー
タ13を備えている。
【0026】最適な画像情報を取得するための、照射手
段および撮影手段の切替については、その切替手順を事
前登録することで、切替が迅速に行なわれるように構成
されている。
段および撮影手段の切替については、その切替手順を事
前登録することで、切替が迅速に行なわれるように構成
されている。
【0027】この外観検査装置は、寸法測定手段とし
て、モニタ8の画面上にカーソル10を配置しており、
カーソル10によって画面上で寸法を容易に測定できる
ようになっている。また、オペレータの操作で、不良箇
所に対応した位置にマーキングを行なうマーキング手段
として、マーキング部11を備える。図4に示すよう
に、マーキング部11は、複数のマーカ21と、マーカ
スライド部22と、マーカXYロボット23と、シリン
ダ24とを含む。複数のマーカ21はそれぞれ異なる複
数の色のものを含み、マーキング選択手段として、オペ
レータの操作でモニタ8上で不良項目を選択すること
で、対応する色のマーカ21を選択して使用できる機構
となっている。具体的には、マーカXYロボット23と
によって選択すべきマーカ21をシリンダ24の延長上
に移動させ、シリンダ24がそのマーカ21を押出すこ
とによってマーカスライド部22に沿ってマーカ21が
送り出され、基板1の主表面にマーキングがなされる。
て、モニタ8の画面上にカーソル10を配置しており、
カーソル10によって画面上で寸法を容易に測定できる
ようになっている。また、オペレータの操作で、不良箇
所に対応した位置にマーキングを行なうマーキング手段
として、マーキング部11を備える。図4に示すよう
に、マーキング部11は、複数のマーカ21と、マーカ
スライド部22と、マーカXYロボット23と、シリン
ダ24とを含む。複数のマーカ21はそれぞれ異なる複
数の色のものを含み、マーキング選択手段として、オペ
レータの操作でモニタ8上で不良項目を選択すること
で、対応する色のマーカ21を選択して使用できる機構
となっている。具体的には、マーカXYロボット23と
によって選択すべきマーカ21をシリンダ24の延長上
に移動させ、シリンダ24がそのマーカ21を押出すこ
とによってマーカスライド部22に沿ってマーカ21が
送り出され、基板1の主表面にマーキングがなされる。
【0028】(作用・効果)たとえば、主表面上にキズ
と汚れとがある場合、両者の区別は、そのままモニタ8
に映したとしても、目視では困難である場合が多い。す
なわち、図5(a)に示すように、リングライト2とラ
インライト3とを同時に基板1の主表面に照射した場
合、図5(b)に示すように、キズ31と汚れ32と
は、モニタ8上では、両方とも画像として表示されるも
のの、いずれがキズでいずれが汚れか見分けがつかな
い。そこで、個々の不良箇所に対しては、上述した照射
変更手段によって、複数の照射手段のうち、一部を選択
して光を照射することで、その不良箇所の画像を浮き上
がらせることができる。具体的には、キズ31と汚れ3
2との判別を行なうために、図5(c)に示すように、
リングライト2の照射を止め、ラインライト3のみの照
射とする。すると、図5(d)に示すように、キズ31
は画像から見えなくなり、汚れ32の画像のみが浮き上
がる。このようにして、キズ31と汚れ32との判別を
行なうことが可能となる。
と汚れとがある場合、両者の区別は、そのままモニタ8
に映したとしても、目視では困難である場合が多い。す
なわち、図5(a)に示すように、リングライト2とラ
インライト3とを同時に基板1の主表面に照射した場
合、図5(b)に示すように、キズ31と汚れ32と
は、モニタ8上では、両方とも画像として表示されるも
のの、いずれがキズでいずれが汚れか見分けがつかな
い。そこで、個々の不良箇所に対しては、上述した照射
変更手段によって、複数の照射手段のうち、一部を選択
して光を照射することで、その不良箇所の画像を浮き上
がらせることができる。具体的には、キズ31と汚れ3
2との判別を行なうために、図5(c)に示すように、
リングライト2の照射を止め、ラインライト3のみの照
射とする。すると、図5(d)に示すように、キズ31
は画像から見えなくなり、汚れ32の画像のみが浮き上
がる。このようにして、キズ31と汚れ32との判別を
行なうことが可能となる。
【0029】従来、不良箇所があった場合、その態様
が、不良品か良品か修正可能品かの判別が行われていた
が、この判別は、不良の発生している大きさによって、
判別されている。従来は、判別のために工数を増やせな
かったため、オペレータが、限度サンプルと基板1とを
見比べて目視で判定していたが、この外観検査装置にお
いては、寸法測定手段としてのカーソル10によって画
面上で寸法を測定できるようになっているため、オペレ
ータは、不良箇所の寸法を容易に測定でき、不良品か良
品か修正可能品かの判別を正確に行なうことができる。
が、不良品か良品か修正可能品かの判別が行われていた
が、この判別は、不良の発生している大きさによって、
判別されている。従来は、判別のために工数を増やせな
かったため、オペレータが、限度サンプルと基板1とを
見比べて目視で判定していたが、この外観検査装置にお
いては、寸法測定手段としてのカーソル10によって画
面上で寸法を測定できるようになっているため、オペレ
ータは、不良箇所の寸法を容易に測定でき、不良品か良
品か修正可能品かの判別を正確に行なうことができる。
【0030】また、オペレータは、操作により、マーキ
ング部11によって、不良箇所にマーキングを行なうこ
とができる。特に、マーカ21の複数の色のそれぞれに
意味を持たせておけば、オペレータがモニタ8の画面上
で不良項目を選択することで、その不良項目に対応する
色のマーカ21が自動的に選択され、マーキングが行わ
れる。この選択およびマーキングは、具体的には、マー
カスライド部22が移動し、シリンダ24でマーカ21
を押出すことで、行われる。このように、色分けしてマ
ーキングを行なえるので、マーキングされた基板1を見
れば、どの種類の不良がどこに発生しているかが一目瞭
然となる。
ング部11によって、不良箇所にマーキングを行なうこ
とができる。特に、マーカ21の複数の色のそれぞれに
意味を持たせておけば、オペレータがモニタ8の画面上
で不良項目を選択することで、その不良項目に対応する
色のマーカ21が自動的に選択され、マーキングが行わ
れる。この選択およびマーキングは、具体的には、マー
カスライド部22が移動し、シリンダ24でマーカ21
を押出すことで、行われる。このように、色分けしてマ
ーキングを行なえるので、マーキングされた基板1を見
れば、どの種類の不良がどこに発生しているかが一目瞭
然となる。
【0031】(実施の形態2) (構成)本実施の形態における外観検査装置の構成は、
基本的に、実施の形態1におけるものと同じであるが、
以下の構成要素が付加されている。すなわち、パーソナ
ルコンピュータ13は、マーキングを行なった位置の情
報から、不良箇所の位置情報を取得し、その位置情報を
蓄積・管理する、位置情報管理手段を兼ねている。ある
いは、より好ましくは、パーソナルコンピュータ13に
設けられるのは、位置情報管理手段にとどまらず、オペ
レータがマーキングの際に選択した不良項目の種類か
ら、その不良箇所におけるキズ、汚れなどといった不良
の種類に関する情報(以下、「不良内容情報」とい
う。)をも取得し、位置情報と不良内容情報とをセット
にして、蓄積・管理する不良関連情報管理手段としても
よい。
基本的に、実施の形態1におけるものと同じであるが、
以下の構成要素が付加されている。すなわち、パーソナ
ルコンピュータ13は、マーキングを行なった位置の情
報から、不良箇所の位置情報を取得し、その位置情報を
蓄積・管理する、位置情報管理手段を兼ねている。ある
いは、より好ましくは、パーソナルコンピュータ13に
設けられるのは、位置情報管理手段にとどまらず、オペ
レータがマーキングの際に選択した不良項目の種類か
ら、その不良箇所におけるキズ、汚れなどといった不良
の種類に関する情報(以下、「不良内容情報」とい
う。)をも取得し、位置情報と不良内容情報とをセット
にして、蓄積・管理する不良関連情報管理手段としても
よい。
【0032】(作用・効果)外観検査装置が、位置情報
管理手段を備える場合、オペレータが、不良項目を選択
し、マーキングを行なうと、自動的にパーソナルコンピ
ュータによって、その位置情報が取得され、蓄積・管理
される。また、不良関連情報管理手段を備える場合、そ
の位置情報および不良内容情報がセットで蓄積・管理さ
れる。したがって、従来、オペレータの手作業で検査お
よびマーキングを行なっていたときには、煩雑ゆえに十
分徹底して行われていなかった不良発生箇所に関する情
報の蓄積・管理を、余分な労力を必要とせずに自動的に
行うことができる。このように蓄積された情報を分析す
れば、工程改善に大いに貢献することが期待される。
管理手段を備える場合、オペレータが、不良項目を選択
し、マーキングを行なうと、自動的にパーソナルコンピ
ュータによって、その位置情報が取得され、蓄積・管理
される。また、不良関連情報管理手段を備える場合、そ
の位置情報および不良内容情報がセットで蓄積・管理さ
れる。したがって、従来、オペレータの手作業で検査お
よびマーキングを行なっていたときには、煩雑ゆえに十
分徹底して行われていなかった不良発生箇所に関する情
報の蓄積・管理を、余分な労力を必要とせずに自動的に
行うことができる。このように蓄積された情報を分析す
れば、工程改善に大いに貢献することが期待される。
【0033】(実施の形態3) (構成)本実施の形態における外観検査装置の構成は、
基本的に、実施の形態1または2におけるものと同じで
あるが、以下の構成要素が付加されている。すなわち、
パーソナルコンピュータ13は、不良箇所強調手段とし
て、基板1に本来存在するパターンの情報(以下「パタ
ーン情報」という。)を事前に認識することができ、事
前に認識させたパターン情報と、撮影手段によって取得
した画像情報とを組合せることで、画像情報の中から、
不良箇所である可能性の高い箇所を抽出し、2値化など
の方法によって浮かび上がらせることによって強調する
ことができるように構成されている。
基本的に、実施の形態1または2におけるものと同じで
あるが、以下の構成要素が付加されている。すなわち、
パーソナルコンピュータ13は、不良箇所強調手段とし
て、基板1に本来存在するパターンの情報(以下「パタ
ーン情報」という。)を事前に認識することができ、事
前に認識させたパターン情報と、撮影手段によって取得
した画像情報とを組合せることで、画像情報の中から、
不良箇所である可能性の高い箇所を抽出し、2値化など
の方法によって浮かび上がらせることによって強調する
ことができるように構成されている。
【0034】(作用・効果)不良箇所の像のみを抽出し
て、浮かび上がらせることによって強調できるため、オ
ペレータにとって、モニタ8の画面を見て、不良箇所を
発見することがきわめて容易になり、検査にかかる負担
を低減できる。また、判別が容易になる結果、見落とし
などの少ない信頼性の高い検査が可能となる。
て、浮かび上がらせることによって強調できるため、オ
ペレータにとって、モニタ8の画面を見て、不良箇所を
発見することがきわめて容易になり、検査にかかる負担
を低減できる。また、判別が容易になる結果、見落とし
などの少ない信頼性の高い検査が可能となる。
【0035】さらに、不良箇所強調手段で導き出された
画像を基に、パーソナルコンピュータ13によって自動
的に解析を行ない、自動的に判定を行なう機構をもた
せ、基板1を自動的に供給・排出する機構をもたせれ
ば、オペレータが介在しなくても、自動的に基板1の外
観検査が可能となる。
画像を基に、パーソナルコンピュータ13によって自動
的に解析を行ない、自動的に判定を行なう機構をもた
せ、基板1を自動的に供給・排出する機構をもたせれ
ば、オペレータが介在しなくても、自動的に基板1の外
観検査が可能となる。
【0036】なお、今回開示した上記実施の形態はすべ
ての点で例示であって制限的なものではない。本発明の
範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって
示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での
すべての変更を含むものである。
ての点で例示であって制限的なものではない。本発明の
範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって
示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での
すべての変更を含むものである。
【0037】
【発明の効果】本発明によれば、不良箇所に応じた適切
な照射手段および撮影手段の組合せによって、画像情報
を取得でき、表示手段によって表示された画像情報に基
づいて、外観検査を行なえるため、外観検査に要する労
力を大幅に低減することができる。また、不良の種類の
識別や寸法測定も画面を見ながら行なえるため、オペレ
ータにかける負担を大幅に軽減できる。
な照射手段および撮影手段の組合せによって、画像情報
を取得でき、表示手段によって表示された画像情報に基
づいて、外観検査を行なえるため、外観検査に要する労
力を大幅に低減することができる。また、不良の種類の
識別や寸法測定も画面を見ながら行なえるため、オペレ
ータにかける負担を大幅に軽減できる。
【図1】 本発明に基づく外観検査装置の(a)は作業
部、(b)は表示部の正面図である。
部、(b)は表示部の正面図である。
【図2】 本発明に基づく外観検査装置における検査対
象の領域の分割の例を示した図である。
象の領域の分割の例を示した図である。
【図3】 本発明に基づく外観検査装置の概略構成図で
ある。
ある。
【図4】 本発明に基づく外観検査装置のマーキング手
段の構造の説明図である。
段の構造の説明図である。
【図5】 (a)〜(d)は、本発明に基づく外観検査
装置における不良種類の判別方法の説明図である。
装置における不良種類の判別方法の説明図である。
1 基板、2 リングライト、3 ラインライト、4
バックライト、5 同軸ライト、6,7 CCDカメ
ラ、8 モニタ、9 2軸ロボット、10 カーソル、
11 マーキング部、12 ステージ、13 パーソナ
ルコンピュータ、21 マーカ、22 マーカスライド
部、24 シリンダ、31 キズ、32汚れ、101,
102,103,104,105,106,107 領
域。
バックライト、5 同軸ライト、6,7 CCDカメ
ラ、8 モニタ、9 2軸ロボット、10 カーソル、
11 マーキング部、12 ステージ、13 パーソナ
ルコンピュータ、21 マーカ、22 マーカスライド
部、24 シリンダ、31 キズ、32汚れ、101,
102,103,104,105,106,107 領
域。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA49 BB01 BB22 CC25 FF02 FF04 FF61 GG16 GG17 HH14 HH15 JJ03 JJ05 JJ26 MM03 MM07 MM24 QQ04 QQ13 QQ25 QQ32 RR08 SS13 2G051 AA73 AB01 AB02 AB03 BA01 CA03 CA04 CA07 DA07 DA15 EA11 EA14 EA20 EC01 ED14 FA10 2H088 FA12 FA16 FA17 FA24 MA16
Claims (9)
- 【請求項1】 検査対象となる基板の主表面に向けて、
それぞれ異なる方向から光を照射する複数の照射手段
と、 前記主表面を撮影する撮影手段と、 前記照射手段および前記撮影手段に対する前記基板の相
対位置を自在に移動できる位置決め手段と、 前記主表面のうち部位ごとに、前記照射手段および前記
撮影手段のうち所望のものを選択して組合せて、画像情
報を取得し、前記画像情報を不良箇所検出可能なように
表示する表示手段とを備える、外観検査装置。 - 【請求項2】 前記画像情報の取得を、前記主表面の分
割した領域ごとに行ない、取得した前記画像情報を、前
記主表面ごとに統合して記録し、管理する、画像情報管
理手段を備える、請求項1に記載の外観検査装置。 - 【請求項3】 前記不良箇所に対して、前記照射手段の
組合せを変えてそれぞれ光を照射したときに、得られる
前記画像情報の違いから、前記不良箇所の種類を判別可
能とする照射変更手段を備える、請求項1または2に記
載の外観検査装置。 - 【請求項4】 前記画像情報の取得の際に、前記画像情
報に基づく画像を表示する画面上のオペレータの位置指
定操作により、前記不良箇所に対応した位置にマーキン
グを行なうことのできる1以上のマーキング手段を備え
る、請求項1から3のいずれかに記載の外観検査装置。 - 【請求項5】 前記マーキングにおいて、オペレータが
不良項目を選択することによって、前記不良項目に対応
した種類の前記マーキング手段を選択するマーキング選
択手段を備える、請求項4に記載の外観検査装置。 - 【請求項6】 前記マーキングを行なった位置の情報か
ら、前記不良箇所の位置情報を取得し、取得した前記位
置情報を管理する位置情報管理手段を備える、請求項4
または5に記載の外観検査装置。 - 【請求項7】 前記マーキングにより、前記不良箇所の
位置情報を取得し、選択された前記不良項目の種類か
ら、前記不良箇所の不良内容情報を取得し、取得した前
記位置情報および前記不良内容情報を管理する不良関連
情報管理手段を備える、請求項5に記載の外観検査装
置。 - 【請求項8】 事前に認識させた前記基板のパターン情
報を、前記画像情報に組合せることで、前記不良箇所を
抽出し、強調することによって認識可能とする、不良箇
所強調手段を備える、請求項1から7のいずれかに記載
の外観検査装置。 - 【請求項9】 前記画像情報に基づく画像を表示する画
面において、前記不良箇所の寸法測定を行なえる寸法測
定手段を備える、請求項1から8のいずれかに記載の外
観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000121034A JP2001305075A (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000121034A JP2001305075A (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 外観検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001305075A true JP2001305075A (ja) | 2001-10-31 |
Family
ID=18631749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000121034A Withdrawn JP2001305075A (ja) | 2000-04-21 | 2000-04-21 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001305075A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006194657A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Yokogawa Electric Corp | 擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置 |
KR100779135B1 (ko) * | 2005-09-26 | 2007-11-23 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 액정패널 검사장치 |
KR101010497B1 (ko) * | 2008-05-21 | 2011-01-21 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | 기판 처리 시스템, 검사 장치 및 검사 방법 |
JP2011203132A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Seiko Epson Corp | 外観検査装置 |
JP2011220806A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Japan Electronic Materials Corp | 微細部品外観自動検査装置 |
US8289389B2 (en) | 2005-12-29 | 2012-10-16 | Lg Display Co., Ltd. | Visual inspector for inspecting flat panel display device and visual inspecting method using the same |
KR20140139929A (ko) * | 2013-05-28 | 2014-12-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법 |
JP2018185310A (ja) * | 2017-04-25 | 2018-11-22 | イーメージ ヴィジョン ピーティーイー. エルティーディー.Emage Vision Pte. Ltd. | 眼内レンズ検査 |
JPWO2020121917A1 (ja) * | 2018-12-13 | 2020-06-18 | ||
CN113984785A (zh) * | 2021-10-21 | 2022-01-28 | 上海帆声图像科技有限公司 | 模组外观复判检测设备 |
US11710225B2 (en) | 2021-06-08 | 2023-07-25 | Fujifilm Business Innovation Corp. | Surface inspection apparatus, non-transitory computer readable medium storing program, and surface inspection method |
-
2000
- 2000-04-21 JP JP2000121034A patent/JP2001305075A/ja not_active Withdrawn
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006194657A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Yokogawa Electric Corp | 擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置 |
JP4513962B2 (ja) * | 2005-01-12 | 2010-07-28 | 横河電機株式会社 | 擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置 |
KR100779135B1 (ko) * | 2005-09-26 | 2007-11-23 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 액정패널 검사장치 |
US8289389B2 (en) | 2005-12-29 | 2012-10-16 | Lg Display Co., Ltd. | Visual inspector for inspecting flat panel display device and visual inspecting method using the same |
KR101201322B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2012-11-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | 평판표시장치용 육안 검사장비 및 검사 방법 |
KR101010497B1 (ko) * | 2008-05-21 | 2011-01-21 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | 기판 처리 시스템, 검사 장치 및 검사 방법 |
JP2011203132A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Seiko Epson Corp | 外観検査装置 |
JP2011220806A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Japan Electronic Materials Corp | 微細部品外観自動検査装置 |
KR20140139929A (ko) * | 2013-05-28 | 2014-12-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법 |
KR102063680B1 (ko) | 2013-05-28 | 2020-02-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법 |
JP2018185310A (ja) * | 2017-04-25 | 2018-11-22 | イーメージ ヴィジョン ピーティーイー. エルティーディー.Emage Vision Pte. Ltd. | 眼内レンズ検査 |
JPWO2020121917A1 (ja) * | 2018-12-13 | 2020-06-18 | ||
CN113196041A (zh) * | 2018-12-13 | 2021-07-30 | 富士胶片株式会社 | 损伤图制作辅助装置、损伤图制作辅助方法、损伤图制作辅助程序及损伤图制作辅助*** |
EP3896435A4 (en) * | 2018-12-13 | 2022-01-26 | FUJIFILM Corporation | DEVICE FOR DAMAGE GENERATING ASSISTANT, METHOD FOR DAMAGE GENERATING SUPPORT, DAMAGE GENERATING SUPPORT PROGRAM AND DAMAGE GENERATING SUPPORT SYSTEM |
JP7429648B2 (ja) | 2018-12-13 | 2024-02-08 | 富士フイルム株式会社 | 損傷図作成支援装置、損傷図作成支援方法、損傷図作成支援プログラム及び損傷図作成支援システム |
US11959862B2 (en) | 2018-12-13 | 2024-04-16 | Fujifilm Corporation | Damage figure creation supporting apparatus, damage figure creation supporting method, damage figure creation supporting program, and damage figure creation supporting system |
CN113196041B (zh) * | 2018-12-13 | 2024-06-11 | 富士胶片株式会社 | 损伤图制作辅助装置、损伤图制作辅助方法、损伤图制作辅助程序及损伤图制作辅助*** |
US11710225B2 (en) | 2021-06-08 | 2023-07-25 | Fujifilm Business Innovation Corp. | Surface inspection apparatus, non-transitory computer readable medium storing program, and surface inspection method |
CN113984785A (zh) * | 2021-10-21 | 2022-01-28 | 上海帆声图像科技有限公司 | 模组外观复判检测设备 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070703 |