JP4744665B2 - 基板検査装置及び基板検査システム - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイに用いられるガラス基板や半導体ウエハなどの被検査体を撮像してその画像をディスプレイ画面上に表示し、この表示画像上から欠陥部分の欠陥情報の登録を行い、被検査体の判定を行う基板検査装置及び基板検査システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイの生産ラインでは、この液晶ディスプレイに用いられるガラス基板のマクロ検査又はミクロ検査が行われている。マクロ検査は、ガラス基板上における欠陥部分として傷、異物、むら、汚れなどをマクロ的に観察するもので、例えばガラス基板に対して斜め方向から照明光を照射し、オペレータの目視によりガラス基板上の欠陥を観察したり、又はガラス基板の全体を撮像してその画像をディスプレイに表示し、この表示画像を目視して観察している。
【０００３】
そして、オペレータの目視によるガラス基板上の欠陥の観察の結果から傷、異物、むら、汚れなどの欠陥部分の情報を取りまとめ、最終的にガラス基板の良否を判定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガラス基板上の欠陥を観察結果から欠陥部分の情報を取りまとめてガラス基板の良否を判定しているが、欠陥部分の種類も傷、異物、むら、汚れなどと多くあり、それに加えて多数のガラス基板のマクロ検査を実施することから欠陥部分の情報量が膨大となる。
【０００５】
このため、１枚１枚のガラス基板の欠陥部分の情報を管理するのが大変であり、かつ自動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板の良否判定を行うことの要求がある。
【０００６】
そこで本発明は、自動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板の良否判定を行い、欠陥部分の情報の管理を容易にできる基板検査装置及び基板検査システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、被検査体を撮像して複数種類の画像データを取得する画像取込部と、前記画像取込部により取得された前記各種類の画像データを画像処理してディスプレイ画面に表示させる画像表示部と、前記ディスプレイ画面に表示される各種類の画像データに対して前記被検査体の欠陥部分の欠陥情報を登録する欠陥登録部と、前記欠陥登録部により登録された前記各種類の画像データに対応する前記欠陥情報に基づいて前記被検査体の良否判定を行なう判定部と、前記各種類の画像データのうち任意の前記画像データに対して、前記欠陥登録部により登録された前記欠陥情報のうち前記判定部によって前記欠陥部分として判定された前記任意の画像データ以外の前記画像データに対応する前記欠陥情報を重ね合わせて前記ディスプレイ画面に合成表示する合成表示部とを具備したことを特徴とする基板検査装置である。
【０００９】
本発明は、被検査体を撮像して複数種類の画像データを取得する画像取込部と、前記画像取込部により取得された前記各種類の画像データを画像処理してディスプレイ画面に表示させる画像表示部と、前記ディスプレイ画面に表示される前記各種類の画像データに対して前記被検査体の欠陥部分の欠陥情報を登録する欠陥登録部と、前記欠陥登録部により登録された前記各種類の画像データに対応する前記欠陥情報に基づいて前記被検査体の良否判定を行なう判定部と、前記各種類の画像データのうち任意の前記画像データに対して、前記欠陥登録部により登録された前記欠陥情報のうち前記判定部によって前記欠陥部分として判定された前記任意の画像データ以外の前記画像データに対応する前記欠陥情報を重ね合わせて前記ディスプレイ画面に合成表示する合成表示部とを具備したことを特徴とする基板検査システムである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１２】
図１は基板検査装置の構成図である。画像取込部１は、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板又は半導体ウエハなどの被検査体を撮像してその画像データを取得するものである。基板ステージ２上には、被検査体としてのガラス基板３が載置されている。この基板ステージ２は、装置制御ユニット４の駆動制御によって、後述するライン状の照明光のライン方向に対して垂直方向に所定の速度で移動するものとなっている。
【００１３】
ガラス基板３は、例えばパーソナルコンピュータに用いる液晶ディスプレイの大きさを６面又は８面取りした大きさである。
【００１４】
基板ステージ２の上方には、ライン照明装置５が配置されている。このライン照明装置５は、移動するガラス基板３に対して斜め方向からライン状の照明光６を照射するものである。又、ガラス基板３からの反射光７の光路上には、ラインセンサ・カメラ８が配置されている。このラインセンサ・カメラ８は、移動するガラス基板３からの反射光７を逐次入射してその画像信号を出力する機能を有している。
【００１５】
画像処理ボード９は、ラインセンサ・カメラ８から出力される画像信号を逐次入力し、１枚のガラス基板３に対する画像の取り込みが終了したところでガラス基板３の全面に対する画像データを作成する機能を有している。
【００１６】
ここで、画像取込部１は、画像データとして複数の画像データ、例えば回折画像データと干渉画像データとを取得する機能を有している。このうち回折画像データは、ガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのガラス基板３の表面上の傷やごみにより生じる散乱光をラインセンサ・カメラ８により捉えて取得されるものである。干渉画像データは、レジストが塗布されたガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのレジスト表面からの反射光とガラス基板３の表面からの反射光との干渉光をラインセンサ・カメラ８により捉えて取得される明暗の画像である。
【００１７】
演算・制御装置１０は、画像取込部１からガラス基板３の画像データ（回折画像データ、干渉画像データ）を受け取り画像処理して画像表示用ディスプレイ１４に表示し、この表示画像上でオペレータにより指示された欠陥部分の欠陥情報を登録し、かつこの登録された欠陥情報を画像データ上に重ね合せて表示し、さらに欠陥情報に基づいてガラス基板３の良否判定を行うという一連の演算・制御する機能を有するもので、ユーザ・インターフェイスとしてのキーボード１１とマウス１２、画像サーバ１３及び画像表示用ディスプレイ１４が接続されている。
【００１８】
図２はかかる演算・制御装置１０の具体的な機能ブロック図である。画像取込部１のラインセンサ・カメラ８から取り込んだ画像データは、画像処理ボード９を介して演算・制御装置１０の画像メモリ１５に記憶（展開）されるようになっている。
【００１９】
画像処理部１６は、画像メモリ１５に記憶された画像データを読み取り、この画像データを画像表示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ１４に表示出力させる機能を有している。
【００２０】
又、この画像処理部１６は、キーボード１１又はマウス１２からの操作信号を受けて、例えば図３に示すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示する機能を有している。
【００２１】
画像保存検索部１７は、画像メモリ１５に記憶された画像データを読み取り、この画像データから画像ファイル１８を作成して画像サーバ１３に保存する機能を有している。
【００２２】
又、この画像保存検索部１７は、キーボード１１又はマウス１２からの検索指示を受けて、複数保存している画像ファイル１８のうち指示された画像ファイル１８を検索し読み出してその画像データを画像メモリ１５に記憶する機能を有している。
【００２３】
一方、欠陥登録部１９は、キーボード１１又はマウス１２からの操作信号を受け、図３に示すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させて、このポインタ１４ａにより表示画像上で欠陥部分、例えば便宜上付された欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の欠陥部分を指示すると、この指示した欠陥部分の欠陥情報、例えば欠陥種類（傷、異物、むら、汚れ）、欠陥形状及び欠陥位置（座標）を欠陥情報メモリ２０に登録する機能を有している。
【００２４】
この欠陥情報の登録方法は、例えばキーボード１１又はマウス１２からの指示を受けた画像処理部１６によって欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥登録ダイアログウィンドウ情報を読み出して図３に示すように画像表示用ディスプレイ１４に表示する。この登録ダイアログウィンドウ２１の欠陥名称リストボックス２１ａは、欠陥種類として予め分かっている傷、異物、むら、汚れなどが登録されており、キーボード１１又はマウス１２の操作により選択決定されるようになっている。
【００２５】
又、キーボード１１又はマウス１２の操作信号によりポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させることにより、欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の各欠陥部分の形状、欠陥位置（座標）を指示できるようになっている。
【００２６】
従って、欠陥種類（欠陥名称）、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）が指示された後に、登録ダイアログウィンドウ２１上の登録ボタン２１ｂが操作されると、これら欠陥種類（欠陥名称）の選択決定、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）が欠陥情報メモリ２０に登録されるものとなっている。
【００２７】
基板判定部２２は、欠陥情報メモリ２０に登録された欠陥情報を読み込み、この欠陥情報から少なくとも各欠陥種類（欠陥名称）別にその大きさや個数の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板３の良否、例えば良品、廃棄、リワーク（ガラス基板３の表面を削ってレジストをやり直す）を判定する機能を有している。
【００２８】
欠陥情報保存検索部２３は、欠陥情報メモリ２０に登録されている欠陥種類（例えば傷、異物、むら、汚れ）と共に、基板判定部２２でのガラス基板３の判定結果（例えば良品、廃棄、リワーク）を欠陥情報ファイル２４として画像サーバ１３に保存する機能を有している。
【００２９】
又、この欠陥情報保存検索部２３は、キーボード１１又はマウス１２からの検索指示を受けて、複数保存している欠陥情報ファイル２４のうち指示された欠陥情報ファイル２４を検索し読み出してその欠陥情報を欠陥情報メモリ２０に記憶する機能を有している。
【００３０】
上記画像処理部１６は、欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥登録部１９からの欠陥情報又は欠陥情報保存検索部２３から読み出された欠陥情報を、任意の画像データ、例えば回折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データに重ね合せて画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示する合成表示手段としての機能を有している。
【００３１】
次に、上記の如く構成された装置の作用について図４及び図５に示す欠陥管理フローチャートに従って説明する。
【００３２】
画像取込部１における基板ステージ２上にガラス基板３が載置される。このガラス基板３に対して斜め方向からライン照明装置５からのライン状の照明光６が照射されると共に、基板ステージ２が装置制御ユニット４の駆動制御によってライン状の照明光６のライン方向に対して垂直方向に所定の速度で移動する。この状態にラインセンサ・カメラ８は、移動するガラス基板３からの反射光７を逐次入射してその画像信号を出力する。
【００３３】
画像処理ボード９は、ラインセンサ・カメラ８から出力される画像信号を逐次入力し、１枚のガラス基板３に対する画像の取り込みが終了したところでガラス基板３の全面に対する画像データを作成する。
【００３４】
ここで、回折画像データと干渉画像データとの２つの画像データを取得するために、画像取込部１では、ガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのガラス基板３の表面上の傷やごみにより生じる散乱光をラインセンサ・カメラ８により捉えて回折画像データを取得し、又レジストが塗布されたガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのレジスト表面からの反射光とガラス基板３の表面からの反射光との干渉光をラインセンサ・カメラ８により捉えて明暗の干渉画像データを取得する。以下、回折画像データ、干渉画像データとして説明する。
【００３５】
画像取込部１から回折画像データ、続いて干渉画像データが演算・制御装置１０に送られると、この演算・制御装置１０は、ステップ＃１において、回折画像データ、続いて干渉画像データを新規画像データとして取り込み、これら回折画像データ、続いて干渉画像データを画像メモリ１５に記憶（展開）する。
【００３６】
次に、画像保存検索部１７は、ステップ＃２において、画像メモリ１５に記憶された回折画像データ及び干渉画像データを読み取り、これら回折画像データ及び干渉画像データからそれぞれ画像ファイル１８を作成して画像サーバ１３に保存する。
【００３７】
次に、画像処理部１６は、ステップ＃３において、画像メモリ１５に記憶された回折画像データ、干渉画像データを読み取り、これら回折画像データ及び干渉画像データを画像表示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ１４に表示出力する。なお、画像表示用ディスプレイ１４の画面上には、回折画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方を表示させるようにしてよい。
【００３８】
次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃４において、現在、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示されている回折画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方の欠陥情報が欠陥情報ファイル２４に保存されているか否かを判断する。
【００３９】
ここで、現在、画像表示用ディスプレイ画面上に表示されている回折画像データ又は干渉画像データは、いずれも新規の画像であるので、演算・制御装置１０は、ステップ＃６に移り、欠陥情報の入力を行うか否かを判断する。これら回折画像データ又は干渉画像データは、いずれも新規の画像であるので、キーボード１１又はマウス１２から欠陥情報の入力を行う指示が入力される。
【００４０】
次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃７において欠陥情報の保存を行う。このとき、画像処理部１６は、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に回折画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方を表示すると共に、図３に示すようにキーボード１１又はマウス１２の操作により移動可能にポインタ１４ａを表示している。なお、図３は回折画像データ又は干渉画像データのいずれか一方の表示である。
【００４１】
又、キーボード１１又はマウス１２から欠陥登録の指示を受けた画像処理部１６は、欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥登録ダイアログウィンドウ情報を読み出して図３に示すように画像表示用ディスプレイ１４の画面上に欠陥登録ダイアログウィンドウ２１を表示する。
【００４２】
この表示状態に、キーボード１１又はマウス１２の操作によりポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させ、例えば各欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の各欠陥部分の形状、欠陥位置（座標）を指示する。このように画像表示用ディスプレイ１４の画面上でポインタ１４ａを移動させて欠陥部分の形状、欠陥位置を指示すれば、欠陥登録部１９は、それらの座標が回折画像データ上、干渉画像データ上において対応できる。
【００４３】
又、欠陥ラベル「１」については、画像表示用ディスプレイ１４の画面上の欠陥登録ダイアログウィンドウ２１の欠陥名称リストボックス２１ａにおいて欠陥種類としてむらが選択決定され、欠陥ラベル「２」については傷、欠陥ラベル「３」についてはごみが選択決定される。
【００４４】
この後、欠陥種類（欠陥名称）の選択決定、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）が指示された後に、登録ダイアログウィンドウ２１上の登録ボタン２１ｂが操作されると、欠陥登録部１９は、これら欠陥種類（欠陥名称）、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）を欠陥情報メモリ２０に登録する。なお、これら欠陥情報は、回折画像データと干渉画像データとのそれぞれに対して登録される。
【００４５】
このように欠陥情報の入力が終了すると、基板判定部２２は、ステップ＃８において、欠陥情報メモリ２０に登録された欠陥情報を読み込み、この欠陥情報から少なくとも各欠陥種類（欠陥名称）別に例えばその個数の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板３の良否、例えば良品、廃棄、リワーク（ガラス基板３の表面を削ってレジストをやり直す）を判定する。
【００４６】
ここで、ガラス基板３の判定ついて具体的に図５に示す良否判定フローチャートに従って説明する。
【００４７】
先ず、判定前の準備として、事前に基板判定ファイルを作成する。この基板判定ファイルは、欠陥情報を登録する際の欠陥種類（欠陥名称）ごとに判定基準となるデータを設定するものである。
【００４８】
基板判定ファイルにおいて、判定結果は、判定コードを用いる。
【００４９】
良品のガラス基板３の場合の判定コードは良品となる。
【００５０】
総欠陥数判定では、判定コードとして「廃棄」、「リワーク」となり、それぞれの判定個数は例えば「１」「１０」に登録されている。
【００５１】
欠陥種類（欠陥名称）ごとの判定では、傷、異物、むら、汚れに対して判定個数がそれぞれ例えば「１」「５」「５」「３」となり、判定コードがそれぞれ「廃棄」、「リワーク」、「リワーク」、「リワーク」に登録されている。この欠陥種類（欠陥名称）ごとの判定個数は、判定の重要項目ほどその個数を少なくすればよく、判定の重み付けを行うものとなる。上記判定個数例では、傷、汚れ、異物及びむらの順序で重要な判定項目となっている。
【００５２】
このような基板判定ファイルが登録されている基板判定部２２は、ステップ＃２０において、欠陥情報メモリ２０に登録されている欠陥種類（欠陥名称）、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）からなる欠陥情報を読み取り、これら欠陥種類（欠陥名称）を判定コードごとに分けて集計する。この集計の結果、廃棄がｎ個、リワークがｍ個となった。
【００５３】
次に、基板判定部２２は、ステップ＃２１において、ガラス基板３の欠陥総数、すなわち回折画像データ及び干渉画像データの両方から登録された欠陥の総数が基板判定ファイルに登録された判定コード「廃棄」、「リワーク」の各判定個数「１」「１０」に達しているか否かを判定する。
【００５４】
この判定の結果、判定コード「破棄」「リワーク」について、判定個数「１（破棄）」「１０（リワーク）」に達していなければ、基板判定部２２は、ステップ＃２２に移り、欠陥情報メモリ２０に登録されている欠陥情報から各欠陥種類（欠陥名称）ごとに分けてその個数を集計する。この集計の結果、傷がｋ個、異物がｐ個、むらがｑ個、汚れがｒ個となった。
【００５５】
次に、基板判定部２２は、ステップ＃２３において、集計した各欠陥種類（欠陥名称）ごとの個数が基板判定ファイルに登録された判定個数（傷「１（破棄）」、異物「５（リワーク）」、むら「５（リワーク）」、汚れ「３（リワーク）」）に達しているか否かを判定する。
【００５６】
この判定の結果、いずれの欠陥種類（欠陥名称）も判定個数に達していなければ、基板判定部２２は、ステップ＃２４において、判定コードに良品を設定し、次のステップ＃２５において判定コードを基板判定結果とする。
【００５７】
又、いずれか１つの欠陥種類（欠陥名称）でも判定個数に達していれば、基板判定部２２は、ステップ＃２５において、判定コードに「廃棄」又は「リワーク」を設定し、次のステップ＃２５において判定コードを基板判定結果とする。
【００５８】
具体的な判定例を示すと、異物が３個、汚れが３個の場合、汚れが欠陥種類（欠陥名称）ごとの判定個数に達しているので、判定結果は「リワーク」となる。
【００５９】
異物が４個、むらが４個、汚れが２個の場合、判定コード「リワーク」の欠陥が欠陥総数判定の判定個数「１０」に達しているので、判定結果は「リワーク」となる。
【００６０】
異物が２個、むらが２個、汚れが１個の場合、欠陥種類（欠陥名称）、欠陥総数判定のいずれの判定個数「１０」に達していないので、判定結果は「良品」となる。
【００６１】
このようにガラス基板３の良否判定が終了すると、欠陥情報保存検索部２３は、ステップ＃９において、欠陥情報メモリ２０に登録されている欠陥種類（例えば傷、異物、むら、汚れ）と共に、基板判定部２２でのガラス基板３の判定結果（例えば良品、廃棄、リワーク）を欠陥情報ファイル２４として画像サーバ１３に保存する。
【００６２】
そして、画像の取り込み・検索を繰り返さなければ、演算・制御装置１０は、ステップ＃１１において、システム終了を判断する。
【００６３】
一方、キーボード１１又はマウス１２から任意の画像ファイル１８の検索指示が入力されると、画像保存検索部１７は、この検索指示を受けて、複数保存している画像ファイル１８のうち指示された画像ファイル１８を検索し読み出してその画像データ、例えば回折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データを画像メモリ１５に記憶する。
【００６４】
又、キーボード１１又はマウス１２から任意の欠陥情報ファイル２４の検索指示が入力されると、この検索指示を受けて、複数保存している欠陥情報ファイル２４のうち指示された欠陥情報ファイル２４を検索し読み出してその欠陥情報を欠陥情報メモリ２０に記憶する。
【００６５】
このように任意の画像データ及び任意の欠陥情報が読み出されると、画像処理部１６は、上記ステップ＃１において、画像メモリ１５に記憶されている回折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データを読み取り、これら回折画像データ及び干渉画像データを画像表示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ１４に表示出力する。
【００６６】
次に、演算・制御装置１０は、上記ステップ＃４において、現在、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示されている回折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データの欠陥情報が欠陥情報ファイル２４に保存されているか否かを判断する。
【００６７】
ここで、現在、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示されている画像データの欠陥情報は既に欠陥情報ファイル２４に保存されているので、演算・制御装置１０は、ステップ＃５に移って画像合成を行う。
【００６８】
すなわち、画像処理部１６は、欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥情報を、任意の画像データ、例えば回折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データに重ね合せて画像表示用ディスプレイ１４の画面上に合成表示する。
【００６９】
図６は例えば干渉画像データから得られた欠陥情報を回折画像データに重ね合せた合成画像を示す。この合成画像は、干渉画像データから得られた欠陥ラベル「１０」のむらの欠陥情報を、欠陥ラベル「１１」「１２」の傷、異物が現われている回折画像データに重ね合せたものである。なお、欠陥ラベル「１１」「１２」の傷、異物は、欠陥情報の欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）から表示できる。この場合、欠陥ラベルとして回折画像と干渉画像とから得られた欠陥を分類するマークをラベル番号に付記したり、ラベル番号の色を変えることにより、どちらの画像での欠陥かが容易に分かる。
【００７０】
このように上記一実施の形態においては、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板３を撮像して取得された干渉画像データ、回折画像データをディスプレイ画面上に表示し、このディスプレイ画面上の表示画像に対して欠陥部分が指示されると、この欠陥部分の欠陥情報、例えば傷、異物、むら、汚れを登録し、この登録された欠陥情報に基づいてガラス基板３の良否判定を行い、さらに登録された欠陥情報を干渉画像データ又は回折画像データに重ね合せてディスプレイ画面上に表示するようにしたので、自動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板３の良否判定を行うことができ、かつ欠陥部分の情報の管理が容易にできる。
【００７１】
欠陥情報の登録は、登録ダイアログウィンドウ２１の欠陥名称リストボックス２１ａ上で欠陥種類（欠陥名称）を選択決定し、かつキーボード１１又はマウス１２の移動により欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）を指示することにより行えるので、オペレータのディスプレイ画面上に対する対話形式で簡単にかつ短時間で自動的に行える。又、欠陥情報の登録は、例えば傷、異物、むら、汚れなどのガラス基板３の良否判定を行うのに十分な情報を登録できる。
【００７２】
又、欠陥情報の登録は、干渉画像データや回折画像データ自体を加工処理することがないので、登録する情報量を少なくできる。
【００７３】
さらに、登録した欠陥情報から自動的にガラス基板３の良否判定を行うことができ、かつその判定は、欠陥情報から各欠陥種類（欠陥名称）別にその個数の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板３の良否、例えば良品、廃棄、リワークを判定するので、ガラス基板３に対して定量的な判定ができ、その判定結果の信頼性を向上できる。
【００７４】
このガラス基板３の良否判定では、基板判定ファイルにおいて、総欠陥数判定の判定個数、欠陥種類（欠陥名称）ごとの判定個数をユーザ側で任意に変えることができ、これによりガラス基板３の判定に対する重み付けを変えることができる。
【００７５】
又、欠陥情報を取った画像データ以外の画像データに重ね合せてディスプレイ画面上に表示するので、例えば干渉画像データから得られた欠陥情報を回折画像データに重ね合せた合成画像を表示できるので、ガラス基板３の全ての欠陥の状況がディスプレイ画面上で一目で分かる。
【００７６】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく次の通りに変形しとてもよい。
【００７７】
例えば、ガラス基板３の良否判定は、欠陥の形状のうちその大きさ、長さ、幅などによって判定するようにしてもよい。
【００７８】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、各種類の画像データのうち任意の画像データに対して、欠陥登録部により登録された欠陥情報のうち欠陥部分として判定された任意の画像データ以外の画像データに対応する欠陥情報を重ね合わせてディスプレイ画面に合成表示するので、自動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板の良否判定を行い、欠陥部分の情報の管理を容易にでき、かつ被検査体の全ての欠陥の状況がディスプレイ画面上で一目で分かる基板検査装置及び基板検査システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す構成図。
【図２】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における演算・制御装置の具体的な機能ブロック図。
【図３】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における欠陥情報の登録方法を示す図。
【図４】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における欠陥管理フローチャート。
【図５】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるガラス基板の良否判定フローチャート。
【図６】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における欠陥情報を画像データに重ね合せた合成画像を示す図。
【符号の説明】
１：画像取込部
２：基板ステージ
３：ガラス基板
４：装置制御ユニット
５：ライン照明装置
８：ラインセンサ・カメラ
９：画像処理ボード
１０：演算・制御装置
１１：キーボード
１２：マウス
１３：画像サーバ
１４：画像表示用ディスプレイ
１５：画像メモリ
１６：画像処理部
１７：画像保存検索部
１８：画像ファイル
１９：欠陥登録部
２０：欠陥情報メモリ
２１：登録ダイアログウィンドウ
２２：基板判定部
２３：欠陥情報保存検索部
２４：欠陥情報ファイル
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイに用いられるガラス基板や半導体ウエハなどの被検査体を撮像してその画像をディスプレイ画面上に表示し、この表示画像上から欠陥部分の欠陥情報の登録を行い、被検査体の判定を行う基板検査装置及び基板検査システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイの生産ラインでは、この液晶ディスプレイに用いられるガラス基板のマクロ検査又はミクロ検査が行われている。マクロ検査は、ガラス基板上における欠陥部分として傷、異物、むら、汚れなどをマクロ的に観察するもので、例えばガラス基板に対して斜め方向から照明光を照射し、オペレータの目視によりガラス基板上の欠陥を観察したり、又はガラス基板の全体を撮像してその画像をディスプレイに表示し、この表示画像を目視して観察している。
【０００３】
そして、オペレータの目視によるガラス基板上の欠陥の観察の結果から傷、異物、むら、汚れなどの欠陥部分の情報を取りまとめ、最終的にガラス基板の良否を判定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガラス基板上の欠陥を観察結果から欠陥部分の情報を取りまとめてガラス基板の良否を判定しているが、欠陥部分の種類も傷、異物、むら、汚れなどと多くあり、それに加えて多数のガラス基板のマクロ検査を実施することから欠陥部分の情報量が膨大となる。
【０００５】
このため、１枚１枚のガラス基板の欠陥部分の情報を管理するのが大変であり、かつ自動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板の良否判定を行うことの要求がある。
【０００６】
そこで本発明は、自動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板の良否判定を行い、欠陥部分の情報の管理を容易にできる基板検査装置及び基板検査システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、被検査体を撮像して複数種類の画像データを取得する画像取込部と、前記画像取込部により取得された前記各種類の画像データを画像処理してディスプレイ画面に表示させる画像表示部と、前記ディスプレイ画面に表示される各種類の画像データに対して前記被検査体の欠陥部分の欠陥情報を登録する欠陥登録部と、前記欠陥登録部により登録された前記各種類の画像データに対応する前記欠陥情報に基づいて前記被検査体の良否判定を行なう判定部と、前記各種類の画像データのうち任意の前記画像データに対して、前記欠陥登録部により登録された前記欠陥情報のうち前記判定部によって前記欠陥部分として判定された前記任意の画像データ以外の前記画像データに対応する前記欠陥情報を重ね合わせて前記ディスプレイ画面に合成表示する合成表示部とを具備したことを特徴とする基板検査装置である。
【０００９】
本発明は、被検査体を撮像して複数種類の画像データを取得する画像取込部と、前記画像取込部により取得された前記各種類の画像データを画像処理してディスプレイ画面に表示させる画像表示部と、前記ディスプレイ画面に表示される前記各種類の画像データに対して前記被検査体の欠陥部分の欠陥情報を登録する欠陥登録部と、前記欠陥登録部により登録された前記各種類の画像データに対応する前記欠陥情報に基づいて前記被検査体の良否判定を行なう判定部と、前記各種類の画像データのうち任意の前記画像データに対して、前記欠陥登録部により登録された前記欠陥情報のうち前記判定部によって前記欠陥部分として判定された前記任意の画像データ以外の前記画像データに対応する前記欠陥情報を重ね合わせて前記ディスプレイ画面に合成表示する合成表示部とを具備したことを特徴とする基板検査システムである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１２】
図１は基板検査装置の構成図である。画像取込部１は、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板又は半導体ウエハなどの被検査体を撮像してその画像データを取得するものである。基板ステージ２上には、被検査体としてのガラス基板３が載置されている。この基板ステージ２は、装置制御ユニット４の駆動制御によって、後述するライン状の照明光のライン方向に対して垂直方向に所定の速度で移動するものとなっている。
【００１３】
ガラス基板３は、例えばパーソナルコンピュータに用いる液晶ディスプレイの大きさを６面又は８面取りした大きさである。
【００１４】
基板ステージ２の上方には、ライン照明装置５が配置されている。このライン照明装置５は、移動するガラス基板３に対して斜め方向からライン状の照明光６を照射するものである。又、ガラス基板３からの反射光７の光路上には、ラインセンサ・カメラ８が配置されている。このラインセンサ・カメラ８は、移動するガラス基板３からの反射光７を逐次入射してその画像信号を出力する機能を有している。
【００１５】
画像処理ボード９は、ラインセンサ・カメラ８から出力される画像信号を逐次入力し、１枚のガラス基板３に対する画像の取り込みが終了したところでガラス基板３の全面に対する画像データを作成する機能を有している。
【００１６】
ここで、画像取込部１は、画像データとして複数の画像データ、例えば回折画像データと干渉画像データとを取得する機能を有している。このうち回折画像データは、ガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのガラス基板３の表面上の傷やごみにより生じる散乱光をラインセンサ・カメラ８により捉えて取得されるものである。干渉画像データは、レジストが塗布されたガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのレジスト表面からの反射光とガラス基板３の表面からの反射光との干渉光をラインセンサ・カメラ８により捉えて取得される明暗の画像である。
【００１７】
演算・制御装置１０は、画像取込部１からガラス基板３の画像データ（回折画像データ、干渉画像データ）を受け取り画像処理して画像表示用ディスプレイ１４に表示し、この表示画像上でオペレータにより指示された欠陥部分の欠陥情報を登録し、かつこの登録された欠陥情報を画像データ上に重ね合せて表示し、さらに欠陥情報に基づいてガラス基板３の良否判定を行うという一連の演算・制御する機能を有するもので、ユーザ・インターフェイスとしてのキーボード１１とマウス１２、画像サーバ１３及び画像表示用ディスプレイ１４が接続されている。
【００１８】
図２はかかる演算・制御装置１０の具体的な機能ブロック図である。画像取込部１のラインセンサ・カメラ８から取り込んだ画像データは、画像処理ボード９を介して演算・制御装置１０の画像メモリ１５に記憶（展開）されるようになっている。
【００１９】
画像処理部１６は、画像メモリ１５に記憶された画像データを読み取り、この画像データを画像表示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ１４に表示出力させる機能を有している。
【００２０】
又、この画像処理部１６は、キーボード１１又はマウス１２からの操作信号を受けて、例えば図３に示すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示する機能を有している。
【００２１】
画像保存検索部１７は、画像メモリ１５に記憶された画像データを読み取り、この画像データから画像ファイル１８を作成して画像サーバ１３に保存する機能を有している。
【００２２】
又、この画像保存検索部１７は、キーボード１１又はマウス１２からの検索指示を受けて、複数保存している画像ファイル１８のうち指示された画像ファイル１８を検索し読み出してその画像データを画像メモリ１５に記憶する機能を有している。
【００２３】
一方、欠陥登録部１９は、キーボード１１又はマウス１２からの操作信号を受け、図３に示すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させて、このポインタ１４ａにより表示画像上で欠陥部分、例えば便宜上付された欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の欠陥部分を指示すると、この指示した欠陥部分の欠陥情報、例えば欠陥種類（傷、異物、むら、汚れ）、欠陥形状及び欠陥位置（座標）を欠陥情報メモリ２０に登録する機能を有している。
【００２４】
この欠陥情報の登録方法は、例えばキーボード１１又はマウス１２からの指示を受けた画像処理部１６によって欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥登録ダイアログウィンドウ情報を読み出して図３に示すように画像表示用ディスプレイ１４に表示する。この登録ダイアログウィンドウ２１の欠陥名称リストボックス２１ａは、欠陥種類として予め分かっている傷、異物、むら、汚れなどが登録されており、キーボード１１又はマウス１２の操作により選択決定されるようになっている。
【００２５】
又、キーボード１１又はマウス１２の操作信号によりポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させることにより、欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の各欠陥部分の形状、欠陥位置（座標）を指示できるようになっている。
【００２６】
従って、欠陥種類（欠陥名称）、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）が指示された後に、登録ダイアログウィンドウ２１上の登録ボタン２１ｂが操作されると、これら欠陥種類（欠陥名称）の選択決定、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）が欠陥情報メモリ２０に登録されるものとなっている。
【００２７】
基板判定部２２は、欠陥情報メモリ２０に登録された欠陥情報を読み込み、この欠陥情報から少なくとも各欠陥種類（欠陥名称）別にその大きさや個数の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板３の良否、例えば良品、廃棄、リワーク（ガラス基板３の表面を削ってレジストをやり直す）を判定する機能を有している。
【００２８】
欠陥情報保存検索部２３は、欠陥情報メモリ２０に登録されている欠陥種類（例えば傷、異物、むら、汚れ）と共に、基板判定部２２でのガラス基板３の判定結果（例えば良品、廃棄、リワーク）を欠陥情報ファイル２４として画像サーバ１３に保存する機能を有している。
【００２９】
又、この欠陥情報保存検索部２３は、キーボード１１又はマウス１２からの検索指示を受けて、複数保存している欠陥情報ファイル２４のうち指示された欠陥情報ファイル２４を検索し読み出してその欠陥情報を欠陥情報メモリ２０に記憶する機能を有している。
【００３０】
上記画像処理部１６は、欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥登録部１９からの欠陥情報又は欠陥情報保存検索部２３から読み出された欠陥情報を、任意の画像データ、例えば回折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データに重ね合せて画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示する合成表示手段としての機能を有している。
【００３１】
次に、上記の如く構成された装置の作用について図４及び図５に示す欠陥管理フローチャートに従って説明する。
【００３２】
画像取込部１における基板ステージ２上にガラス基板３が載置される。このガラス基板３に対して斜め方向からライン照明装置５からのライン状の照明光６が照射されると共に、基板ステージ２が装置制御ユニット４の駆動制御によってライン状の照明光６のライン方向に対して垂直方向に所定の速度で移動する。この状態にラインセンサ・カメラ８は、移動するガラス基板３からの反射光７を逐次入射してその画像信号を出力する。
【００３３】
画像処理ボード９は、ラインセンサ・カメラ８から出力される画像信号を逐次入力し、１枚のガラス基板３に対する画像の取り込みが終了したところでガラス基板３の全面に対する画像データを作成する。
【００３４】
ここで、回折画像データと干渉画像データとの２つの画像データを取得するために、画像取込部１では、ガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのガラス基板３の表面上の傷やごみにより生じる散乱光をラインセンサ・カメラ８により捉えて回折画像データを取得し、又レジストが塗布されたガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、このときのレジスト表面からの反射光とガラス基板３の表面からの反射光との干渉光をラインセンサ・カメラ８により捉えて明暗の干渉画像データを取得する。以下、回折画像データ、干渉画像データとして説明する。
【００３５】
画像取込部１から回折画像データ、続いて干渉画像データが演算・制御装置１０に送られると、この演算・制御装置１０は、ステップ＃１において、回折画像データ、続いて干渉画像データを新規画像データとして取り込み、これら回折画像データ、続いて干渉画像データを画像メモリ１５に記憶（展開）する。
【００３６】
次に、画像保存検索部１７は、ステップ＃２において、画像メモリ１５に記憶された回折画像データ及び干渉画像データを読み取り、これら回折画像データ及び干渉画像データからそれぞれ画像ファイル１８を作成して画像サーバ１３に保存する。
【００３７】
次に、画像処理部１６は、ステップ＃３において、画像メモリ１５に記憶された回折画像データ、干渉画像データを読み取り、これら回折画像データ及び干渉画像データを画像表示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ１４に表示出力する。なお、画像表示用ディスプレイ１４の画面上には、回折画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方を表示させるようにしてよい。
【００３８】
次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃４において、現在、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示されている回折画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方の欠陥情報が欠陥情報ファイル２４に保存されているか否かを判断する。
【００３９】
ここで、現在、画像表示用ディスプレイ画面上に表示されている回折画像データ又は干渉画像データは、いずれも新規の画像であるので、演算・制御装置１０は、ステップ＃６に移り、欠陥情報の入力を行うか否かを判断する。これら回折画像データ又は干渉画像データは、いずれも新規の画像であるので、キーボード１１又はマウス１２から欠陥情報の入力を行う指示が入力される。
【００４０】
次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃７において欠陥情報の保存を行う。このとき、画像処理部１６は、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に回折画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方を表示すると共に、図３に示すようにキーボード１１又はマウス１２の操作により移動可能にポインタ１４ａを表示している。なお、図３は回折画像データ又は干渉画像データのいずれか一方の表示である。
【００４１】
又、キーボード１１又はマウス１２から欠陥登録の指示を受けた画像処理部１６は、欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥登録ダイアログウィンドウ情報を読み出して図３に示すように画像表示用ディスプレイ１４の画面上に欠陥登録ダイアログウィンドウ２１を表示する。
【００４２】
この表示状態に、キーボード１１又はマウス１２の操作によりポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させ、例えば各欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の各欠陥部分の形状、欠陥位置（座標）を指示する。このように画像表示用ディスプレイ１４の画面上でポインタ１４ａを移動させて欠陥部分の形状、欠陥位置を指示すれば、欠陥登録部１９は、それらの座標が回折画像データ上、干渉画像データ上において対応できる。
【００４３】
又、欠陥ラベル「１」については、画像表示用ディスプレイ１４の画面上の欠陥登録ダイアログウィンドウ２１の欠陥名称リストボックス２１ａにおいて欠陥種類としてむらが選択決定され、欠陥ラベル「２」については傷、欠陥ラベル「３」についてはごみが選択決定される。
【００４４】
この後、欠陥種類（欠陥名称）の選択決定、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）が指示された後に、登録ダイアログウィンドウ２１上の登録ボタン２１ｂが操作されると、欠陥登録部１９は、これら欠陥種類（欠陥名称）、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）を欠陥情報メモリ２０に登録する。なお、これら欠陥情報は、回折画像データと干渉画像データとのそれぞれに対して登録される。
【００４５】
このように欠陥情報の入力が終了すると、基板判定部２２は、ステップ＃８において、欠陥情報メモリ２０に登録された欠陥情報を読み込み、この欠陥情報から少なくとも各欠陥種類（欠陥名称）別に例えばその個数の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板３の良否、例えば良品、廃棄、リワーク（ガラス基板３の表面を削ってレジストをやり直す）を判定する。
【００４６】
ここで、ガラス基板３の判定ついて具体的に図５に示す良否判定フローチャートに従って説明する。
【００４７】
先ず、判定前の準備として、事前に基板判定ファイルを作成する。この基板判定ファイルは、欠陥情報を登録する際の欠陥種類（欠陥名称）ごとに判定基準となるデータを設定するものである。
【００４８】
基板判定ファイルにおいて、判定結果は、判定コードを用いる。
【００４９】
良品のガラス基板３の場合の判定コードは良品となる。
【００５０】
総欠陥数判定では、判定コードとして「廃棄」、「リワーク」となり、それぞれの判定個数は例えば「１」「１０」に登録されている。
【００５１】
欠陥種類（欠陥名称）ごとの判定では、傷、異物、むら、汚れに対して判定個数がそれぞれ例えば「１」「５」「５」「３」となり、判定コードがそれぞれ「廃棄」、「リワーク」、「リワーク」、「リワーク」に登録されている。この欠陥種類（欠陥名称）ごとの判定個数は、判定の重要項目ほどその個数を少なくすればよく、判定の重み付けを行うものとなる。上記判定個数例では、傷、汚れ、異物及びむらの順序で重要な判定項目となっている。
【００５２】
このような基板判定ファイルが登録されている基板判定部２２は、ステップ＃２０において、欠陥情報メモリ２０に登録されている欠陥種類（欠陥名称）、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）からなる欠陥情報を読み取り、これら欠陥種類（欠陥名称）を判定コードごとに分けて集計する。この集計の結果、廃棄がｎ個、リワークがｍ個となった。
【００５３】
次に、基板判定部２２は、ステップ＃２１において、ガラス基板３の欠陥総数、すなわち回折画像データ及び干渉画像データの両方から登録された欠陥の総数が基板判定ファイルに登録された判定コード「廃棄」、「リワーク」の各判定個数「１」「１０」に達しているか否かを判定する。
【００５４】
この判定の結果、判定コード「破棄」「リワーク」について、判定個数「１（破棄）」「１０（リワーク）」に達していなければ、基板判定部２２は、ステップ＃２２に移り、欠陥情報メモリ２０に登録されている欠陥情報から各欠陥種類（欠陥名称）ごとに分けてその個数を集計する。この集計の結果、傷がｋ個、異物がｐ個、むらがｑ個、汚れがｒ個となった。
【００５５】
次に、基板判定部２２は、ステップ＃２３において、集計した各欠陥種類（欠陥名称）ごとの個数が基板判定ファイルに登録された判定個数（傷「１（破棄）」、異物「５（リワーク）」、むら「５（リワーク）」、汚れ「３（リワーク）」）に達しているか否かを判定する。
【００５６】
この判定の結果、いずれの欠陥種類（欠陥名称）も判定個数に達していなければ、基板判定部２２は、ステップ＃２４において、判定コードに良品を設定し、次のステップ＃２５において判定コードを基板判定結果とする。
【００５７】
又、いずれか１つの欠陥種類（欠陥名称）でも判定個数に達していれば、基板判定部２２は、ステップ＃２５において、判定コードに「廃棄」又は「リワーク」を設定し、次のステップ＃２５において判定コードを基板判定結果とする。
【００５８】
具体的な判定例を示すと、異物が３個、汚れが３個の場合、汚れが欠陥種類（欠陥名称）ごとの判定個数に達しているので、判定結果は「リワーク」となる。
【００５９】
異物が４個、むらが４個、汚れが２個の場合、判定コード「リワーク」の欠陥が欠陥総数判定の判定個数「１０」に達しているので、判定結果は「リワーク」となる。
【００６０】
異物が２個、むらが２個、汚れが１個の場合、欠陥種類（欠陥名称）、欠陥総数判定のいずれの判定個数「１０」に達していないので、判定結果は「良品」となる。
【００６１】
このようにガラス基板３の良否判定が終了すると、欠陥情報保存検索部２３は、ステップ＃９において、欠陥情報メモリ２０に登録されている欠陥種類（例えば傷、異物、むら、汚れ）と共に、基板判定部２２でのガラス基板３の判定結果（例えば良品、廃棄、リワーク）を欠陥情報ファイル２４として画像サーバ１３に保存する。
【００６２】
そして、画像の取り込み・検索を繰り返さなければ、演算・制御装置１０は、ステップ＃１１において、システム終了を判断する。
【００６３】
一方、キーボード１１又はマウス１２から任意の画像ファイル１８の検索指示が入力されると、画像保存検索部１７は、この検索指示を受けて、複数保存している画像ファイル１８のうち指示された画像ファイル１８を検索し読み出してその画像データ、例えば回折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データを画像メモリ１５に記憶する。
【００６４】
又、キーボード１１又はマウス１２から任意の欠陥情報ファイル２４の検索指示が入力されると、この検索指示を受けて、複数保存している欠陥情報ファイル２４のうち指示された欠陥情報ファイル２４を検索し読み出してその欠陥情報を欠陥情報メモリ２０に記憶する。
【００６５】
このように任意の画像データ及び任意の欠陥情報が読み出されると、画像処理部１６は、上記ステップ＃１において、画像メモリ１５に記憶されている回折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データを読み取り、これら回折画像データ及び干渉画像データを画像表示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ１４に表示出力する。
【００６６】
次に、演算・制御装置１０は、上記ステップ＃４において、現在、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示されている回折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データの欠陥情報が欠陥情報ファイル２４に保存されているか否かを判断する。
【００６７】
ここで、現在、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示されている画像データの欠陥情報は既に欠陥情報ファイル２４に保存されているので、演算・制御装置１０は、ステップ＃５に移って画像合成を行う。
【００６８】
すなわち、画像処理部１６は、欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥情報を、任意の画像データ、例えば回折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データに重ね合せて画像表示用ディスプレイ１４の画面上に合成表示する。
【００６９】
図６は例えば干渉画像データから得られた欠陥情報を回折画像データに重ね合せた合成画像を示す。この合成画像は、干渉画像データから得られた欠陥ラベル「１０」のむらの欠陥情報を、欠陥ラベル「１１」「１２」の傷、異物が現われている回折画像データに重ね合せたものである。なお、欠陥ラベル「１１」「１２」の傷、異物は、欠陥情報の欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）から表示できる。この場合、欠陥ラベルとして回折画像と干渉画像とから得られた欠陥を分類するマークをラベル番号に付記したり、ラベル番号の色を変えることにより、どちらの画像での欠陥かが容易に分かる。
【００７０】
このように上記一実施の形態においては、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板３を撮像して取得された干渉画像データ、回折画像データをディスプレイ画面上に表示し、このディスプレイ画面上の表示画像に対して欠陥部分が指示されると、この欠陥部分の欠陥情報、例えば傷、異物、むら、汚れを登録し、この登録された欠陥情報に基づいてガラス基板３の良否判定を行い、さらに登録された欠陥情報を干渉画像データ又は回折画像データに重ね合せてディスプレイ画面上に表示するようにしたので、自動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板３の良否判定を行うことができ、かつ欠陥部分の情報の管理が容易にできる。
【００７１】
欠陥情報の登録は、登録ダイアログウィンドウ２１の欠陥名称リストボックス２１ａ上で欠陥種類（欠陥名称）を選択決定し、かつキーボード１１又はマウス１２の移動により欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）を指示することにより行えるので、オペレータのディスプレイ画面上に対する対話形式で簡単にかつ短時間で自動的に行える。又、欠陥情報の登録は、例えば傷、異物、むら、汚れなどのガラス基板３の良否判定を行うのに十分な情報を登録できる。
【００７２】
又、欠陥情報の登録は、干渉画像データや回折画像データ自体を加工処理することがないので、登録する情報量を少なくできる。
【００７３】
さらに、登録した欠陥情報から自動的にガラス基板３の良否判定を行うことができ、かつその判定は、欠陥情報から各欠陥種類（欠陥名称）別にその個数の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板３の良否、例えば良品、廃棄、リワークを判定するので、ガラス基板３に対して定量的な判定ができ、その判定結果の信頼性を向上できる。
【００７４】
このガラス基板３の良否判定では、基板判定ファイルにおいて、総欠陥数判定の判定個数、欠陥種類（欠陥名称）ごとの判定個数をユーザ側で任意に変えることができ、これによりガラス基板３の判定に対する重み付けを変えることができる。
【００７５】
又、欠陥情報を取った画像データ以外の画像データに重ね合せてディスプレイ画面上に表示するので、例えば干渉画像データから得られた欠陥情報を回折画像データに重ね合せた合成画像を表示できるので、ガラス基板３の全ての欠陥の状況がディスプレイ画面上で一目で分かる。
【００７６】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく次の通りに変形しとてもよい。
【００７７】
例えば、ガラス基板３の良否判定は、欠陥の形状のうちその大きさ、長さ、幅などによって判定するようにしてもよい。
【００７８】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、各種類の画像データのうち任意の画像データに対して、欠陥登録部により登録された欠陥情報のうち欠陥部分として判定された任意の画像データ以外の画像データに対応する欠陥情報を重ね合わせてディスプレイ画面に合成表示するので、自動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板の良否判定を行い、欠陥部分の情報の管理を容易にでき、かつ被検査体の全ての欠陥の状況がディスプレイ画面上で一目で分かる基板検査装置及び基板検査システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す構成図。
【図２】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における演算・制御装置の具体的な機能ブロック図。
【図３】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における欠陥情報の登録方法を示す図。
【図４】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における欠陥管理フローチャート。
【図５】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるガラス基板の良否判定フローチャート。
【図６】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態における欠陥情報を画像データに重ね合せた合成画像を示す図。
【符号の説明】
１：画像取込部
２：基板ステージ
３：ガラス基板
４：装置制御ユニット
５：ライン照明装置
８：ラインセンサ・カメラ
９：画像処理ボード
１０：演算・制御装置
１１：キーボード
１２：マウス
１３：画像サーバ
１４：画像表示用ディスプレイ
１５：画像メモリ
１６：画像処理部
１７：画像保存検索部
１８：画像ファイル
１９：欠陥登録部
２０：欠陥情報メモリ
２１：登録ダイアログウィンドウ
２２：基板判定部
２３：欠陥情報保存検索部
２４：欠陥情報ファイル
Claims (8)
- 被検査体を撮像して複数種類の画像データを取得する画像取込部と、
前記画像取込部により取得された前記各種類の画像データを画像処理してディスプレイ画面に表示させる画像表示部と、
前記ディスプレイ画面に表示される各種類の画像データに対して前記被検査体の欠陥部分の欠陥情報を登録する欠陥登録部と、
前記欠陥登録部により登録された前記各種類の画像データに対応する前記欠陥情報に基づいて前記被検査体の良否判定を行なう判定部と、
前記各種類の画像データのうち任意の前記画像データに対して、前記欠陥登録部により登録された前記欠陥情報のうち前記判定部によって前記欠陥部分として判定された前記任意の画像データ以外の前記画像データに対応する前記欠陥情報を重ね合わせて前記ディスプレイ画面に合成表示する合成表示部と、
を具備したことを特徴とする基板検査装置。 - 前記判定部は、前記各種類の画像データに対して登録された前記欠陥部分の前記欠陥情報を重ね合わせ、これら重ね合わされた前記欠陥情報に基づいて前記被検査体の良否判定を行なうことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
- 前記判定部は、前記欠陥登録部により登録された前記欠陥情報から前記欠陥の大きさ叉は前記欠陥の個数を集計し、この集計結果に基づいて前記被検査体の良否判定を行なうことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
- 前記判定部は、前記欠陥登録部により登録された前記欠陥情報を欠陥種類別に集計し、この集計結果に基づいて前記被検査体を良否判定することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
- 前記判定部は、前記欠陥種類別ごとに個数の集計を行い、前記欠陥種類別ごとに判定の重み付けを行なうことを特徴とする請求項４記載の基板検査装置。
- 前記各種類の画像データは、前記画像取込部により取得された前記被検査体の回折画像データ及び干渉画像データのうち少なくとも一方を含み、
前記合成表示部は、前記回折画像データ又は前記干渉画像データの一方に登録された前記欠陥情報を、他方の前記画像データに重ね合わせて表示する、
ことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。 - 前記画像取込部は、前記複数種類の画像データとして回折画像データと干渉画像データとを取得し、
前記判定部は、前記回折画像データと前記干渉画像データとの両方に登録された前記欠陥部分を欠陥種別ごとに分けて集計し、これらの集計結果に基づいて前記被検査体を良品、廃棄、リワークのいずれかに判定する、
ことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。 - 被検査体を撮像して複数種類の画像データを取得する画像取込部と、
前記画像取込部により取得された前記各種類の画像データを画像処理してディスプレイ画面に表示させる画像表示部と、
前記ディスプレイ画面に表示される前記各種類の画像データに対して前記被検査体の欠陥部分の欠陥情報を登録する欠陥登録部と、
前記欠陥登録部により登録された前記各種類の画像データに対応する前記欠陥情報に基づいて前記被検査体の良否判定を行なう判定部と、
前記各種類の画像データのうち任意の前記画像データに対して、前記欠陥登録部により登録された前記欠陥情報のうち前記判定部によって前記欠陥部分として判定された前記任意の画像データ以外の前記画像データに対応する前記欠陥情報を重ね合わせて前記ディスプレイ画面に合成表示する合成表示部と、
を具備したことを特徴とする基板検査システム。
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