JP2001229577A - 光記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高記録密度化を図るとともに、安定して確実
な記録再生を行う。 【解決手段】 ディスク基板２の第１及び第２の信号記
録層３，４が形成される側に、記録トラックに沿って、
ランド部６及びグルーブ部７を形成する。このとき、ラ
ンド部６を、グルーブ部７よりも幅広に形成する。そし
て、これらランド部６及びグルーブ部７の位置で、記録
トラックに沿って記録再生を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に信号記録
層を備え、この信号記録層に対して光ビームを照射する
ことにより、情報信号の記録及び／又は再生が行われる
光記録媒体に関する。

【０００２】

【従来の技術】光記録媒体は、信号記録層を備えて円板
状に形成されてなり、この信号記録層に対して光ビーム
を照射することによって、情報信号の記録及び／又は再
生（以下、記録再生という。）が行われる記録媒体であ
る。

【０００３】このような光記録媒体としては、例えば、
いわゆるコンパクトディスク・レコーダブルシステムに
用いられて、情報信号の追記が可能な光ディスクＣＤ−
Ｒ（CD-Recordable）がある。ＣＤ−Ｒは、情報信号が
記録される信号記録層が有機色素系の材料により形成さ
れており、光ビームを照射することによって記録マーク
を書き込み、この記録マークの有無により信号記録層の
反射率を変化させることにより記録が行われるととも
に、信号反射層の反射率を検出して記録マークの有無を
検出することにより記録された信号の再生が行われる。

【０００４】また、光記録媒体としては、例えば、ミニ
ディスク（ＭＤ：Mini Disc）やＭＯ（Magneto-Optica
l）ディスク等のように、磁気光学効果を利用して信号
記録層に対する記録再生を行う光磁気ディスクや、ＣＤ
−ＲＷ（CD-Rewritable）等のように、信号記録層の相
変化を利用して記録信号の書き換えが可能な相変化型光
ディスクなどが実用化されている。

【０００５】さらに、光記録媒体としては、例えば、従
来から広く用いられているＣＤ（Compact Disc）やＣＤ
−ＲＯＭ（CD-Read Only Memory）等のように、記録す
る情報信号に対応した凹凸パターンがディスク基板上に
予め形成されてなる再生専用光ディスクがある。このよ
うな再生専用光ディスクでは、ディスク基板上に光反射
層を備え、照射した光ビームの反射光を検出することに
より凹凸パターンを検出して、記録された信号を再生す
る。すなわち、ディスク基板上に形成された凹凸パター
ンが情報信号を記録する信号記録層としての機能を有し
ている。

【０００６】ところで、上述したような光記録媒体にお
いては、光ビームを記録トラックに沿って照射するトラ
ッキングサーボを実現するために、この記録トラックに
沿って所定の溝形状を形成するという方法が提案され、
実用化されている。このような溝形状は、スパイラル状
或いは同心円状に形成され、光ビームの照射側から見た
凹部及び凸部がそれぞれランド部及びグルーブ部と称さ
れている。そして、例えば、光ビームの照射側から見て
凸となるグルーブ部に沿って記録トラックを形成し、こ
の記録トラックに対して情報信号の記録再生が行われ
る。

【０００７】また、記録再生の分野においては、記録媒
体や記録再生装置の小型軽量化や大容量化が強く望まれ
ており、これに伴って、光記録媒体の高記録密度化を達
成することが重要となってきている。そこで、光記録媒
体では、上述したように記録トラックに沿って形成され
た溝形状のうち、その凹凸の一方だけに対して記録再生
を行うだけでなく、ランド部とグルーブ部との両方に対
して記録再生を行う、いわゆるランドグルーブ記録方式
が提案されている。

【０００８】また、光記録媒体では、高記録密度化を達
成するために、例えば、磁気超解像方式により記録再生
を行うことが提案されている。磁気超解像方式では、光
記録媒体の信号記録層として、情報信号に応じた磁気信
号が記録される第１の磁性層と、光ビームが照射されて
昇温されることにより、第１の磁性層に記録された磁気
信号が転写される第２の磁性層とを備えて形成される。
そして、再生時には、第２の磁性層に転写された磁気信
号を読みとるように構成されている。これにより、光ビ
ームのスポット径よりも小さな磁気信号を第１の磁性層
に記録した場合であっても、第２の磁性層に転写された
磁気信号だけを検出することができ、高密度に記録され
た磁気信号を確実に再生可能とされている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したラ
ンドグルーブ記録方式では、ランド部及びグルーブ部の
両方で同様な記録再生特性が得られるように、これらラ
ンド部とグルーブ部との幅を、それぞれ記録再生に用い
る光ビームのスポット径と同程度に形成されている。

【００１０】しかしながら、例えば上述した磁気超解像
方式のように、信号記録層に記録された記録マークを光
ビームのスポット径よりも小さくした場合には、ランド
グルーブ記録方式を適用してランド部とグルーブ部との
両方に記録すると、これらランド部及びグルーブ部で記
録再生特性が異なったものになってしまうという問題が
あった。そのため、ランドグルーブ記録方式において、
記録トラックを狭く形成し、信号記録層に記録する情報
信号の大きさを光ビームのスポット径よりも小さくする
ことにより、さらなる高密度化を進める場合に、安定し
て確実な記録再生を行うことが極めて困難になってしま
う。

【００１１】そこで、本発明は、ランドグルーブ記録方
式において、さらなる高記録密度化を進めた場合であっ
ても、安定して確実な記録再生を行うことが可能な光記
録媒体を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明に係る光記録媒体
は、基板上に信号記録層を備え、この信号記録層に対し
て光ビームを照射することにより、情報信号の記録及び
／又は再生が行われる光記録媒体である。上記信号記録
層には、上記光ビームのスポット径よりも小さい幅で、
上記光ビームが照射される側から見て凹となる部分であ
るランド部と、凸となる部分であるグルーブ部とが記録
トラックに沿って形成され、上記ランド部及びグルーブ
部の両方に対して情報信号の記録及び／又は再生が行わ
れる。そして、上記ランド部は、上記グルーブ部よりも
幅広に形成されている。

【００１３】以上のように構成された光記録媒体は、記
録トラックに記録された情報信号の記録再生特性を、ラ
ンド部とグルーブ部とにおいて同程度とすることができ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下で
は、本発明を適用した光記録媒体の例として、図１及び
図２に示すように、磁気超解像方式により記録再生が行
われる光磁気ディスク１について説明する。ただし、本
発明は、磁気超解像方式により記録再生が行われる光記
録媒体への適用に限定されるものではなく、信号記録層
に対して光ビームを照射することにより情報信号の記録
再生が行われる光記録媒体に対して広く適用することが
できる。

【００１５】具体的には、例えば、信号記録層が有機色
素系の材料により形成されてなる追記型の光ディスク、
磁気光学効果を利用して信号記録層に対する記録再生を
行う光磁気ディスク、信号記録層の相変化を利用して記
録再生を行う相変化型光ディスク、ディスク基板上に形
成された凹凸パターンが情報信号を記録する信号記録層
としての機能を有している再生専用の光ディスクなどに
対して適用することができる。

【００１６】また、以下では、本発明を適用した光記録
媒体の例として、磁気光学効果を利用した磁気超解像方
式により信号記録層に対する記録再生が行われる光磁気
ディスク１について説明するが、本発明は、例えば、相
変化型光ディスクにおいて、透過光量の熱分布を応用し
た超解像方式の光記録媒体にも適用することができる。

【００１７】本発明を適用した光磁気ディスク１は、図
１及び図２に示すように、例えばポリメチルメタクリレ
ート（ＰＭＭＡ）やポリカーボネート（ＰＣ）等の樹脂
材料によって略円板状に成形されてなるディスク基板２
を備える。また、ディスク基板２上には、例えばＧｄＦ
ｅＣｏにより形成された第１の信号記録層３と、例えば
ＴｂＦｅＣｏにより形成された第２の信号記録層４と、
紫外線硬化樹脂等がスピンコートされてなる保護層５と
が順に形成されている。なお、図１は、光磁気ディスク
１の概略を示す斜視図であり、図２は、光磁気ディスク
１の積層構造を概略的に示す要部拡大断面図である。

【００１８】また、ディスク基板２には、その中心部に
センター穴２ａが形成されている。光磁気ディスク１
は、記録再生装置により記録再生が行われる際に、セン
ター穴２ａ近傍で記録再生装置の回転駆動機構に対して
支持固定され、所定の速度で回転駆動される。また、デ
ィスク基板２は、記録再生に用いられる光ビームに対し
て透光性を有している。そして、ディスク基板２の各層
が積層されていない側の主面１ｂから光ビームが入射さ
れる。

【００１９】また、ディスク基板２には、各層が積層さ
れていない側の主面２ｃに、案内溝としての凹凸形状が
所定の凹凸パターンで形成されている。この凹凸パター
ンは、ディスク基板２の主面２ｃ上で、スパイラル状又
は同心円状に形成されており、光ビームが入射される側
から見て凹となる部分がランド部６とされ、凸となる部
分がグルーブ部７とされている。光磁気ディスク１にお
いては、これらランド部６及びグルーブ部７の溝形状に
沿って記録トラックが形成されており、この記録トラッ
クに沿って、第１及び第２の信号記録層３，４に対する
記録再生が行われるように構成されている。

【００２０】また、ランド部６及びグルーブ部７は、第
１の及び第２の信号記録層３，４に対する記録再生時に
照射される光ビームのスポット径よりも小さい幅で形成
されている。具体的には、例えば、ディスク基板２の厚
さが１．２ｍｍである光磁気ディスク１に対して、この
ディスク基板２側から照射する光ビームの波長を６８０
ｎｍとし、開口数ＮＡが０．５５である対物レンズを用
いるとすると、信号記録面となる第１及び第２の信号記
録層３，４上に照射される光ビームのスポット径は、直
径が０．９μｍ程度となる。この場合に、ランド部６及
びグルーブ部７は、例えば、それぞれ０．７２５μｍ及
び０．５８８μｍ程度に形成する。

【００２１】一般に、光記録媒体に対して記録再生する
ために用いる光ビームのスポット径は、この光ビームの
波長λを対物レンズの開口数ＮＡで除した値に比例する
関係を有する。光ビームの波長λは、例えば、情報信号
を記録する信号記録層の材料や半導体レーザ素子の発信
特性に依存しており、対物レンズの開口数ＮＡは、例え
ば、光ビームの透過層となるディスク基板の厚さや、対
物レンズを搭載した光学ヘッドと光記録媒体との記録再
生時における距離などによって規制される。そのため、
記録再生に用いることができる光ビームの波長λや対物
レンズの開口数ＮＡには限界があり、光ビームのスポッ
ト径を小さくすることには限界がある。したがって、信
号記録層に記録する記録マークの大きさを小さく形成す
ることには限界があり、高記録密度化を達成することが
困難であった。

【００２２】しかしながら、本発明を適用した光磁気デ
ィスク１においては、ランド部６及びグルーブ部７が光
ビームのスポット径よりも小さい幅で形成されているこ
とにより、第２の信号記録層４に記録される磁気信号を
小さくすることができる。すなわち、第２の信号記録層
４に記録される磁気信号のトラック方向の幅は、ランド
部６及びグルーブ部７の幅によって規制されることか
ら、これらランド部６及びグルーブ部７の幅を狭くする
ことにより、磁気信号を高密度に形成することができ、
ひいては光磁気ディスク１の高記録密度化・大容量化を
達成することが可能となる。

【００２３】ところで、光磁気ディスク１では、ランド
部６の幅が、グルーブ部７の幅よりも広く形成されてい
る。これにより、詳細を後述するように、記録トラック
に記録する記録マークの記録再生特性を同等とすること
ができ、安定して確実な記録再生動作を行うことが可能
となる。

【００２４】なお、これらランド部６及びグルーブ部７
は、所定の周期で蛇行（ウォブリング）して形成し、こ
のウォブリングにウォブル信号が予め記録された構成と
してもよい。ウォブル信号としては、例えば、記録トラ
ックの絶対時間情報やアドレス情報などを含むセクタ情
報をＦＭ変調した信号などであればよい。光磁気ディス
ク１では、このようにランド部６及びグルーブ部７の凹
凸形状に記録されたウォブル信号を検出しながら記録再
生を行うとすることによって、記録再生ヘッドが任意の
記録トラックにアクセスすることを容易にすることがで
きる。

【００２５】第１及び第２の信号記録層３，４は、光磁
気ディスク１において信号記録層としての機能を有して
おり、いわゆる磁気超解像方式によって情報信号の記録
再生が行われる。すなわち、記録時には、記録再生装置
によって情報信号に応じた外部磁界が印加されることに
よって、この情報信号に応じた磁気信号が第２の信号記
録層４に記録マークとして記録される。そして、再生時
には、光ビームが照射されて第１の信号記録層３におけ
る所定の領域が昇温されることにより、この領域で第２
の信号記録層４に記録された磁気信号が第１の信号記録
層３に転写され、転写された磁気信号を磁気ヘッドによ
って検出される。

【００２６】すなわち、光磁気ディスク１においては、
第２の信号記録層４が、情報信号に応じて記録される磁
気信号を保持する記録状態保持層としての機能を有して
おり、第１の信号記録層３が、再生時に第２の信号記録
層４に保持された磁気信号を転写されて読みとられる再
生層としての機能を有している。光磁気ディスク１は、
このように磁気超解像方式によって情報信号の記録再生
が行われるように構成されていることにより、第２の信
号記録層４に微小な磁気信号を形成して高記録密度化・
大容量化を達成することができるとともに、再生時には
第１の信号記録層３に転写された磁気信号を確実に且つ
安定して読みとることが可能となる。

【００２７】なお、光磁気ディスク１では、第１の信号
記録層３と第２の信号記録層４との間に、これら第１及
び第２の信号記録層４間の磁気的な結合状態を制御する
目的で、例えばＧｄＦｅにより形成された中間層が形成
されていてもよい。また、第２の信号記録層４と保護層
５との間に、記録再生に用いる光ビームの利用効率を向
上させたり、光ビームが照射されることにより生じる熱
を拡散させる目的で、例えば、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ
等により形成された光反射層が形成されていてもよい。
また、光磁気ディスク１においては、各層の間に、誘電
体層などが形成されていてもよい。

【００２８】以上で説明したような本発明を適用した光
磁気ディスク１を製造する際には、その原盤となるスタ
ンパを用いて射出成形などを行うことにより、ランド部
６及びグルーブ部７が形成されたディスク基板２を作製
し、このディスク基板２上に、第１の信号記録層３、第
２の信号記録層４、及び保護層５を順次薄膜形成する。
以下では、ディスク基板２を作製する際に用いられるス
タンパを作製するレーザカッティング装置の一例につい
て説明する。

【００２９】図３に示すレーザカッティング装置２０
は、ガラス基板２１の上に塗布されたフォトレジスト層
２２を露光して潜像を形成するための装置である。この
レーザカッティング装置２０でフォトレジスト層２２に
潜像を形成する際に、フォトレジスト層２２が塗布され
たガラス基板２１は、移動光学テーブル上に設けられた
回転駆動装置に取り付けられる。そして、フォトレジス
ト層２２を露光する際に、ガラス基板２１は、フォトレ
ジスト層２２の全面にわたって、ディスク基板１に形成
するランド部６及びグルーブ部７の凹凸パターン（スパ
イラル状又は同心円状）に対応したパターンで露光がな
されるように、図中矢印Ａに示すように回転駆動装置に
よって回転駆動されるとともに、光学移動テーブルによ
って径方向に平行移動される。

【００３０】このレーザカッティング装置２０は、レー
ザ光を出射する光源２３と、光源２３から出射されたレ
ーザ光の光強度を調整するための電気光学変調器（ＥＯ
Ｍ：Electro Optical Modulator）２４と、電気光学変
調器２４から出射されたレーザ光を反射光と透過光とに
分割するビームスプリッタ２５と、ビームスプリッタ２
５を透過してきたレーザ光を検出するフォトディテクタ
（ＰＤ：Photo Detector）２６と、電気光学変調器２４
に対して信号電界を印加して当該電気光学変調器２４か
ら出射されるレーザ光強度を調整するオートパワーコン
トローラ（ＡＰＣ：Auto Power Controller）２７とを
備えている。

【００３１】このレーザカッティング装置２０におい
て、光源２３から出射されたレーザ光は、先ず、オート
パワーコントローラ２７から印加される信号電界によっ
て駆動される電気光学変調器２４によって、所定の光強
度とされる。

【００３２】なお、光源２３には、任意のものが使用可
能であるが、比較的に短波長のレーザ光を出射するもの
が好ましい。具体的には、例えば、波長λが４１３ｎｍ
のレーザ光を出射するＫｒレーザや、波長λが４４２ｎ
ｍのレーザ光を出射するＨｅ−Ｃｄレーザなどが、光源
２３として好適である。

【００３３】そして、電気光学変調器２４から出射され
たレーザ光は、ビームスプリッタ２５によって反射光と
透過光とに分けられる。なお、ビームスプリッタ２５に
よって反射されたレーザ光は、フォトレジスト層２２を
露光する露光ビームとなる。

【００３４】ここで、ビームスプリッタ２５を透過した
レーザ光は、フォトディテクタ２６によって、その光強
度が検出され、当該光強度に応じた信号がフォトディテ
クタ２６からオートパワーコントローラ２７に送られ
る。そして、フォトディテクタ２６から送られてきた信
号に応じて、オートパワーコントローラ２７は、フォト
ディテクタ２６によって検出される光強度が所定のレベ
ルにて一定となるように、電気光学変調器２４に対して
印加する信号電界を調整する。これにより、電気光学変
調器２４から出射するレーザ光の光強度が一定となるよ
うに、自動光量制御（ＡＰＣ：Auto Power Control）が
施され、ノイズの少ない安定したレーザ光が得られる。

【００３５】一方、ビームスプリッタ２５によって反射
されてなる露光ビームは、当該露光ビームを光強度変調
するための変調光学系３１に導かれ、当該変調光学系３
１によって光強度変調が施される。

【００３６】変調光学系３１に入射した露光ビームは、
集光レンズ３２によって集光された上で音響光学変調器
（ＡＯＭ：Acousto Optical Modulator）３３に入射
し、この音響光学変調器３３によって、所望する露光パ
ターンに対応するように光強度変調される。そして、音
響光学変調器３３によって光強度変調された露光ビーム
は、コリメートレンズ３４によって平行光とされた上
で、変調光学系３１から出射される。

【００３７】ここで、音響光学変調器３３には、当該音
響光学変調器３３を駆動するための駆動用ドライバ３５
が取り付けられている。そして、フォトレジスト層２２
の露光時には、所望する露光パターンに応じた信号Ｓ１
が駆動用ドライバ３５に入力され、当該信号Ｓ１に応じ
て駆動用ドライバ３５によって音響光学変調器３３が駆
動され、露光ビームに対して光強度変調が施される。

【００３８】具体的には、一定の深さのグルーブ部７に
対応した凹凸パターンの潜像をフォトレジスト層２２に
形成する場合に、一定レベルのＤＣ信号が駆動用ドライ
バ３５に入力され、当該ＤＣ信号に応じて駆動用ドライ
バ３５によって音響光学変調器３３が駆動される。これ
により、所望する凹凸パターンに対応するように、露光
ビームに対して光強度変調が施される。

【００３９】以上のようにして、露光ビームは変調光学
系３１によって光強度変調が施される。そして、変調光
学系３１から出射された露光ビームは、ミラー３６によ
って反射され、移動光学テーブル上に水平且つ平行に導
かれる。

【００４０】そして、移動光学テーブル上に水平且つ平
行に導かれた露光ビームは、偏向光学系３７によって光
学偏向が施される。ここで、偏向光学系３７は、露光ビ
ームに対して光学偏向を施すためのものである。すなわ
ち、本発明を適用した光磁気ディスク１のディスク基板
２に形成されるランド部６及びグルーブ部７に対応した
潜像を形成するときは、この偏向光学系３７によって、
ランド部６及びグルーブ部７の凹凸形状に対応するよう
に露光ビームに光学偏向を施し、当該光学偏向を施した
露光ビームによりフォトレジスト層２２を露光するよう
にする。

【００４１】すなわち、変調光学系３１から出射され偏
向光学系３７に入射した露光ビームは、ウェッジプリズ
ム３８を介して音響光学偏向器（ＡＯＤ：Acousto Opti
calDeflector）３９に入射し、この音響光学偏向器３９
によって、所望する露光パターンに対応するように光学
偏向が施される。そして、音響光学偏向器３９によって
光学偏向が施された露光ビームは、ウエッジプリズム４
０を介して偏向光学系３７から出射される。

【００４２】ここで、音響光学偏向器３９には、当該音
響光学偏向器３９を駆動するための駆動用ドライバ４１
が取り付けられている。そして、フォトレジスト層２２
の露光時には、所望する露光パターンに応じた信号Ｓ２
が駆動用ドライバ４１に入力され、当該信号Ｓ２に応じ
て駆動用ドライバ４１によって音響光学偏向器３９が駆
動され、露光ビームに対して光学偏向が施される。

【００４３】そして、このような偏向光学系３７によっ
て、光学偏向が施された露光ビームは、拡大レンズ４２
によって所定のビーム径とされた上でミラー４３によっ
て反射されて対物レンズ４４へと導かれ、当該対物レン
ズ４４によってフォトレジスト層２２上に集光される。
これにより、フォトレジスト層２２が露光され、フォト
レジスト層２２に潜像が形成されることとなる。

【００４４】このとき、フォトレジスト層２２が塗布さ
れているガラス基板２１は、上述したように、フォトレ
ジスト層２２の全面にわたって所望のパターンでの露光
がなされるように、図中矢印Ａに示すように回転駆動装
置によって回転駆動されるとともに、移動光学テーブル
によって平行移動される。この結果、露光ビームの照射
軌跡に応じた潜像が、フォトレジスト層２２の全面にわ
たって形成されることとなる。

【００４５】つぎに、本発明を適用した光磁気ディスク
１の製造方法について、具体的な例を挙げて詳細に説明
する。

【００４６】本発明を適用した光磁気ディスク１を作製
する際は、先ず、原盤工程として、ディスク基板２に形
成されるランド部６及びグルーブ部７に対応した凹凸パ
ターンを有するスタンパを作製する。

【００４７】この原盤工程においては、先ず、表面を研
磨した円盤状のガラス基板を洗浄し乾燥させ、その後、
このガラス基板上に感光材料であるフォトレジスト層を
塗布する。次に、このフォトレジスト層を上述したレー
ザカッティング装置２０によって露光し、ディスク基板
２に形成されるランド部６及びグルーブ部７に対応した
潜像をフォトレジスト層に形成する。

【００４８】このとき、記録する信号に対応するよう
に、レーザカッティング装置２０の偏向光学系３７によ
り、露光ビームに対して光学偏向を施す。これにより、
ランド部６及びグルーブ部７に対応した潜像が、フォト
レジスト層に形成されることとなる。

【００４９】なお、フォトレジスト層を露光して、ラン
ド部６及びグルーブ部７対応した潜像を形成する際は、
フォトレジスト層が塗布形成されているガラス基板を、
所定の回転速度にて回転駆動させるとともに、所定の速
度にて径方向に平行移動させる。具体的には、例えば、
ガラス基板の回転速度と径方向への移動速度とを調整す
ることにより、ランド部６及びグルーブ部７でのトラッ
クピッチが１．３μｍ程度となるように設定する。

【００５０】そして、以上のようにしてフォトレジスト
層に潜像を形成した後、このフォトレジスト層が塗布さ
れている面が上面となるようにして、ガラス基板を現像
機のターンテーブル上に載置する。そして、当該ターン
テーブルを回転させることによりガラス基板を回転させ
ながら、フォトレジスト層上に現像液を滴下して現像処
理を施して、ガラス基板上にランド部６及びグルーブ部
７に対応した凹凸パターンを形成する。

【００５１】次に、この凹凸パターン上に無電界メッキ
法によりＮｉ等からなる導電化膜を形成し、その後、導
電化膜が形成されたガラス基板を電鋳装置に取り付け、
電気メッキ法により導電化膜上にＮｉ等からなるメッキ
層を、３００±５μｍ程度の厚さとなるように形成す
る。その後、このメッキ層を剥離し、剥離したメッキを
アセトン等を用いて洗浄し、凹凸パターンが転写された
面に残存しているフォトレジスト層を除去する。

【００５２】以上の工程により、ガラス基板上に形成さ
れていた凹凸パターンが転写されたメッキからなる光記
録媒体製造用原盤、すなわち、ランド部６及びグルーブ
部７に対応した凹凸パターンが形成されたスタンパが完
成する。

【００５３】次に、転写工程として、フォトポリマー法
（いわゆる２Ｐ法）により、スタンパの表面形状が転写
されてなるディスク基板２を作製する。

【００５４】具体的には、先ず、スタンパの凹凸パター
ンが形成された面上にフォトポリマーを平滑に塗布して
フォトポリマー層を形成し、次に、当該フォトポリマー
層に泡やゴミが入らないようにしながら、フォトポリマ
ー層上にベースプレートを密着させる。ここで、ベース
プレートには、例えば、１．２ｍｍ厚のポリメチルメタ
クリレートからなるベースプレートを使用する。

【００５５】その後、紫外線を照射してフォトポリマー
を硬化させ、その後、スタンパを剥離することにより、
このスタンパの表面形状が転写されてなるディスク基板
２を作製する。

【００５６】なお、ここでは、スタンパに形成された凹
凸パターンがより正確にディスク基板２に転写されるよ
うに、２Ｐ法を用いてディスク基板２を作製する例を挙
げたが、ディスク基板２を量産するような場合には、ポ
リメチルメタクリレートやポリカーボネート等の透明樹
脂を用いて射出成形することによって作製するようにし
てもよいことは言うまでもない。

【００５７】次に、成膜工程として、スタンパの表面形
状が転写されてなるディスク基板２の上に、第１の信号
記録層３、第２の信号記録層４、及び保護層５を順次薄
膜形成する。具体的には、例えば、先ず、ディスク基板
２の凹凸パターンが形成された面上に、所定のターゲッ
ト材を用いてスパッタリングを行うことによって、Ｇｄ
ＦｅＣｏにより形成されてなる第１の信号記録層３と、
ＴｂＦｅＣｏにより形成されてなる第２の信号記録層４
とを薄膜状に形成する。その後、第２の信号記録層４の
上に紫外線硬化樹脂をスピンコート法により塗布し、当
該紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させるこ
とにより、保護層５を形成する。

【００５８】以上の工程により、本発明を適用した光磁
気ディスク１が完成する。すなわち、上述したようにし
て、ディスク基板２に形成されるランド部６及びグルー
ブ部７に対応した凹凸パターンが形成されたスタンパを
用いることにより、本発明を適用した光磁気ディスク１
を作製することができる。

【００５９】＜実験例＞以下では、上述した光磁気ディ
スク１を実際に作製し、その記録再生特性を測定した結
果について説明する。

【００６０】実験例１ 先ず、実験例１としては、ディスク基板２におけるグル
ーブ部７の深さを７０ｎｍとし、ランド部６及びグルー
ブ部７の幅の比を僅かずつ変えて、複数の光磁気ディス
ク１を作製した。このとき、ディスク基板２は、上述し
たようにしてスタンパを用いて２Ｐ法により１．２ｍｍ
の厚さで作製し、ランド部６及びグルーブ部７の幅は、
それぞれ、０．７μｍ程度及び０．６μｍ程度となるよ
うにして作製した。

【００６１】なお、ランド部６及びグルーブ部７の幅の
比を測定するに際しては、これらランド部６及びグルー
ブ部７の幅に応じて、照射した光ビームが反射して戻っ
てくる反射光の光量が変化することから、この反射光の
光量比をランド部６及びグルーブ部７の幅の比とした。
ただし、例えば、各種の光学顕微鏡や電子顕微鏡などに
より、直接ランド部６及びグルーブ部７の幅を測定し、
比を算出してもよい。

【００６２】そして、以上のように作製した複数の光磁
気ディスク１のランド部６及びグルーブ部７に対して、
波長λが６８０ｎｍである光ビームを開口数ＮＡが０．
５５である対物レンズにより照射することによって記録
再生を行い、ランド部６及びグルーブ部７における再生
時のＣＮ比をそれぞれ測定した。

【００６３】実験例２ 次に、実験例２として、ディスク基板２におけるグルー
ブ部７の深さを６０ｎｍとした他は、上述した実験例１
と同様にして複数の光磁気ディスク１を作製した。そし
て、これら複数の光磁気ディスク１に対して、実験例１
の場合と同様にして記録再生を行い、再生時のＣＮ比を
ランド部６及びグルーブ部７でそれぞれ測定した。

【００６４】実験例３ 次に、実験例３として、ディスク基板２におけるグルー
ブ部７の深さを５０ｎｍとした他は、上述した実験例１
と同様にして複数の光磁気ディスク１を作製した。そし
て、これら複数の光磁気ディスク１に対して、実験例１
の場合と同様にして記録再生を行い、再生時のＣＮ比を
ランド部６及びグルーブ部７でそれぞれ測定した。

【００６５】以上のようにして実験例１乃至実験例３で
測定した結果を、図４に示す。図４に示す結果から明ら
かであるように、グルーブ部７の幅に対するランド部６
の幅の比を大きくしてゆく、すなわち、ランド部６がグ
ルーブ部７よりも幅広となるにつれて、ランド部６での
ＣＮ比が向上し、グルーブ部７でのＣＮ比が劣化するこ
とが分かる。したがって、ランド部６及びグルーブ部７
での記録再生特性を同等とするためには、これらランド
部６及びグルーブ部７の幅を、ランド部６及びグルーブ
部７とでＣＮ比の曲線が交差する点に設定することが最
適となる。

【００６６】このように、ランド部６及びグルーブ部７
とでＣＮ比の曲線が交差する点は、グルーブ部７の深さ
に関わらず、幅の比が１．０以上の位置にあることが分
かる。したがって、本発明を適用した光磁気ディスク１
のように、ランド部６の幅をグルーブ部７の幅よりも広
く形成することによって、これらランド部６及びグルー
ブ部７における記録再生特性を同等とすることができ、
ランド部６とグルーブ部７とのどちらの位置にある記録
トラックに対しても良好な記録再生を行うことが可能で
あることが明らかである。

【００６７】実験例４ 次に、実験例４では、グルーブ部７の幅に対するランド
部６の幅の比を１．０とし、ディスク基板２におけるグ
ルーブ部７の深さを６０ｎｍとした他は、上述した実験
例１と同様にして光磁気ディスク１を作製した。そし
て、この光磁気ディスク１のランド部６とグルーブ部７
とに対して、波長λが６８０ｎｍである光ビームを開口
数ＮＡが０．５５である対物レンズにより照射すること
によって、記録再生を行った。このとき、記録時におけ
る光ビームの照射パワーと、再生時における光ビームの
照射パワーとを変化させて、再生時におけるバイトエラ
ーレートを、ランド部６及びグルーブ部７でそれぞれ測
定した。ランド部６におけるバイトエラーレートの測定
結果を図５に示し、グルーブ部７における測定結果を図
６に示す。

【００６８】実験例５ 次に、実験例５では、グルーブ部７の幅に対するランド
部６の幅の比を１．０５とした他は、上述した実験例４
と同様にして光磁気ディスク１を作製し、記録再生を行
った。このとき、記録時における光ビームの照射パワー
と、再生時における光ビームの照射パワーとを変化させ
て、再生時におけるバイトエラーレートを、ランド部６
及びグルーブ部７でそれぞれ測定した。ランド部６にお
けるバイトエラーレートの測定結果を図７に示し、グル
ーブ部７における測定結果を図８に示す。

【００６９】実験例６ 次に、実験例６では、グルーブ部７の幅に対するランド
部６の幅の比を１．１０とした他は、上述した実験例４
と同様にして光磁気ディスク１を作製し、記録再生を行
った。このとき、記録時における光ビームの照射パワー
と、再生時における光ビームの照射パワーとを変化させ
て、再生時におけるバイトエラーレートを、ランド部６
及びグルーブ部７でそれぞれ測定した。ランド部６にお
けるバイトエラーレートの測定結果を図９に示し、グル
ーブ部７における測定結果を図１０に示す。

【００７０】図５乃至図１０に示す実験例４乃至実験例
６の結果から明らかであるように、ランド部６とグルー
ブ部７との幅が同等である実験例４の場合には、これら
ランド部６とグルーブ部７とにおけるバイトエラーレー
ト特性が大きく異なり、同等の記録再生特性を得ること
ができないことが分かる。また、図７及び図８に示すよ
うに、ランド部６及びグルーブ部７の幅の比を１．０５
として、ランド部６を幅広に形成した場合には、これら
ランド部６及びグルーブ部７で同等のバイトエラーレー
ト特性が得られ、ランド部６及びグルーブ部７の位置で
それぞれ同等の記録再生特性を得ることができることが
分かる。

【００７１】また、図９及び図１０に示すように、ラン
ド部６の幅をグルーブ部７に比して幅広に形成しすぎた
場合にも、これらランド部６とグルーブ部７とにおける
バイトエラーレート特性が大きく異なる結果となり、同
等の記録再生特性を得ることが困難であることが分か
る。

【００７２】

【発明の効果】以上で説明したように、本発明に係る光
記録媒体は、ランド部がグルーブ部よりも幅広に形成さ
れていることにより、これらランド部及びグルーブ部の
幅が記録再生に用いる光ビームのスポット径よりも小さ
い場合であっても、記録トラックに記録された情報信号
の記録再生特性を、ランド部とグルーブ部とにおいて同
程度とすることができる。これにより、記録トラックに
対して情報信号を高密度に記録することができ、大容量
化を果たすことが可能となるとともに、安定して確実な
記録再生を行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した光記録媒体の一構成例として
示す光磁気ディスクの概略斜視図である。

【図２】同光磁気ディスクの積層構造を示す要部拡大断
面図である。

【図３】同光磁気ディスクを製造する際に用いるレーザ
カッティング装置を示す概略構成図である。

【図４】同光磁気ディスクのランド部及びグルーブ部の
幅を変えた場合における再生時のＣＮ比を測定した結果
を示す図である。

【図５】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明するた
めの図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を１．
００としたときのランド部におけるバイトエラーレート
特性を示す図である。

【図６】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明するた
めの図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を１．
００としたときのグルーブ部におけるバイトエラーレー
ト特性を示す図である。

【図７】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明するた
めの図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を１．
０５としたときのランド部におけるバイトエラーレート
特性を示す図である。

【図８】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明するた
めの図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を１．
０５としたときのグルーブ部におけるバイトエラーレー
ト特性を示す図である。

【図９】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明するた
めの図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を１．
１０としたときのランド部におけるバイトエラーレート
特性を示す図である。

【図１０】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明する
ための図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を
１．１０としたときのグルーブ部におけるバイトエラー
レート特性を示す図である。

【符号の説明】

１ 光磁気ディスク、２ ディスク基板、３ 第１の信
号記録層、４ 第２の信号記録層、５ 保護層、６ ラ
ンド部、７ グルーブ部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 千葉 良久 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 竹本 宏之 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 5D029 WA27 WA29 WB11 WC10 WD10 5D075 EE03 FF12 FG18 5D090 AA01 BB10 CC01 CC04 FF15 GG07

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に信号記録層を備え、この信号記
   録層に対して光ビームを照射することにより、情報信号
   の記録及び／又は再生が行われる光記録媒体であって、 上記信号記録層には、上記光ビームのスポット径よりも
   小さい幅で、上記光ビームが照射される側から見て凹と
   なる部分であるランド部と、凸となる部分であるグルー
   ブ部とが記録トラックに沿って形成され、 上記ランド部及びグルーブ部の両方に対して情報信号の
   記録及び／又は再生が行われるとともに、 上記ランド部は、上記グルーブ部よりも幅広に形成され
   ていることを特徴とする光記録媒体。
2. 【請求項２】 上記信号記録層は、情報信号に応じた磁
   気信号が記録される第１の磁性層と、光ビームが照射さ
   れて昇温されることにより、上記第１の磁性層に記録さ
   れた磁気信号が転写される第２の磁性層とを備えること
   を特徴とする請求項１記載の光記録媒体。