JP2001226196A - テルビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶およびその製造方法 - Google Patents

テルビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶およびその製造方法

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single crystal
garnet single
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aluminum garnet
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Hiroshi Machida
博 町田
Ivanovich Chani Valery
バレリー・イバノビッチ・チャニ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 一定形状の良質結晶であり、かつルツボ内の
融液の結晶化率が大きい状態で成長したテルビウム・ア
ルミニウム・ガーネット単結晶およびその製造方法を得
る。 【解決手段】 ルツボ3の下端にノズルを設け坩堝内の
融液をノズル先端から引き下げ結晶化させる、結晶引き
下げ法において、融液6全体が結晶化でき、且つ全体が
均一な結晶の得られるテルビウム・アルミニウム・ガー
ネット単結晶の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光アイソレータ用
ファラデー回転子として好適な、テルビウム・アルミニ
ウム・ガーネット単結晶およびその製造方法に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】テルビウム・アルミニウム・ガーネット
(略称:TAG)単結晶の育成に関しては、過冷却状態
のルツボ内融液に基板結晶を着け、その表面に膜状に結
晶を成長させる溶液成長法(略称:LPE法)での作製
が知られているが、実用的なバルク状結晶は作製されて
いなかった。
【0003】図2は、Tb−Alでの状態
図である。図2のTb−Al での状態図か
らも、融液組成と同一の結晶組成を得ることの困難であ
ることが報告されている(参照;Cryst. Res. Techno
l., 34(1999)5-6, p 615-619)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】即ち、テルビウム・ア
ルミニウム・ガーネット単結晶の製造方法として最も一
般的に用いられている回転引き上げ法(略称:CZ法)
では、結晶育成が進むに従って融液組成が変化し、結晶
の成長速度が小さくなることから、引き上げ速度を小さ
くすること及び融液の過冷却度を大きくすることが必要
である。
【0005】このことは、一定形状の良質結晶を安定に
育成することが困難な条件となる。通常、このような結
晶成長では、ルツボ内の融液の結晶化率が小さく、融液
の約30%以下が結晶化できるに留まる。
【0006】従って、本発明の目的は、一定形状の良質
結晶であって、かつルツボ内の融液の結晶化率が大きい
状態で成長したテルビウム・アルミニウム・ガーネット
単結晶およびその製造方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明では、引き下げ法
によりテルビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶を
製造している。引き下げ法とは、ルツボ底の中央にノズ
ルを設け、その先端から流出する融液に種結晶を着け、
ノズル先端の外形にほぼ等しい断面形状を持つファイバ
ー状の単結晶を得る方法である。
【0008】結晶が細いことから、熱歪みの小さい良質
結晶が得易いこと、冷却速度が大きいことから添加物の
実効偏析係数が1に近いこと等の特徴から、現在、Nd
ドープYAl12(略称:YAG)、Al
/YAG共晶体、シリコン等、多くの結晶作製に用いら
れている(参照;例1: 特願平10−98327号、
出願人、科学技術振興事業団、例2:J .of Crystal Gr
owth, 204(1999)155-162)。
【0009】引き下げ法において、TAG融液からTA
G単結晶を作製する場合、育成結晶の一部は、透明結晶
が得られるが、その他の部分は、結晶中にインクルージ
ョン等を含み、融液全体を単結晶育成することは困難で
あった。
【0010】融液各成分の実効偏析係数がほぼ1となる
引き下げ法を用いた場合でも、融液組成に一致した単結
晶作製が難しいことから、アルミニウムガーネット構造
においてTbが8配位の位置に安定に存在できないと考
えられる。そこで、結晶成長に伴って融液組成の変化し
ない融液を得る手段として、REAl12融液
(REは希土類元素である)を加えて育成することを行
った。
【0011】希土類元素REとしてLu、Yb、Tm、
Erのいずれか一つ以上を加えることで、アルミニウム
ガーネット結晶が安定成長することが分かった。なお、
各元素について添加量と結晶性の関係を調べ、各々に結
晶成長が安定し良質結晶が得られる適正値の存在するこ
とが分かった。Tb量に対するLuの適正添加量は4〜
15%、Ybについては7〜16%、Tmについては9
〜18%、そしてErについては10〜20%の範囲で
あることが、育成結晶の形状および結晶性の観察から判
断された。
【0012】アルミニウムガーネット構造を安定に保つ
のに、8配位原子のイオン半径の適正値が存在すると考
えられる。即ち、Tbイオン半径(R8:約100p
m)は、その適正値に比べ大きく、ガーネット構造が不
安定になると思われる。ガーネット構造において、イオ
ン半径の異なる8配位希土類元素の偏析係数は、そのイ
オン半径によって異なり、イオン半径に対する融液から
結晶中への各元素の偏析係数の関係は、上に凸の二次関
数に類似している(参照;Materials Science and Engi
neering,R20(1997)281-338)。
【0013】アルミニウムガーネット構造に対してTb
イオンと同等の偏析係数を持ち、イオン半径がTbイオ
ンより小さい希土類元素REを選定し、TbAl
12にREAl12を加えることで、アルミニウ
ムガーネット構造を安定に保つことが可能になると考え
られる。結果として、Lu、Yb、Tm、Erを選定
し、REAl12の組成で適量を加えることで、
融液組成と同等の組成を持つ単結晶が得られ、実効偏析
係数1が実現された。
【0014】なお、各元素について添加量が適量に対し
て少ない場合は、ガーネット構造とペロブスカイト構造
の複数の結晶相の存在が確認され、また添加量が多い場
合は、結晶組成および格子定数が一定で無く、結晶形状
制御が不安定になり、良質単結晶を得ることが困難であ
った。
【0015】即ち、本発明は、化学式を(Tb、RE
1−XAl12とし、前記化学式の中で、希
土類元素REをLu、Yb、Tm、Erのいずれか一つ
以上であり、xの範囲を0.8≦x≦0.96とするテル
ビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶である。
【0016】また、本発明は、前記テルビウム・アルミ
ニウム・ガーネット単結晶において、希土類元素REを
Luとし、化学式の中で、xの範囲を0.85≦x≦0.
96とするテルビウム・アルミニウム・ガーネット単結
晶である。
【0017】また、本発明は、前記テルビウム・アルミ
ニウム・ガーネット単結晶において、希土類元素REを
Ybとし、化学式の中で、xの範囲を0.85≦x≦0.
93とするテルビウム・アルミニウム・ガーネット単結
晶である。
【0018】また、本発明は、前記テルビウム・アルミ
ニウム・ガーネット単結晶において、希土類元素REを
Tmとし、化学式の中で、xの範囲を0.85≦x≦0.
91とするテルビウム・アルミニウム・ガーネット単結
晶である。
【0019】また、本発明は、前記テルビウム・アルミ
ニウム・ガーネット単結晶において、希土類元素REを
Erとし、化学式の中で、xの範囲を0.8≦x≦0.9
とするテルビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶で
ある。
【0020】また、本発明は、ルツボ下端にノズルを設
けルツボ内の融液をノズル先端から引き下げ結晶化させ
るテルビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶の製造
方法である。
【0021】また、本発明は、先に記載したいずれかに
記載のテルビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶を
主成分とする単結晶を製造するテルビウム・アルミニウ
ム・ガーネット単結晶の製造方法である。
【0022】
【実施例】本発明の実施例によるテルビウム・アルミニ
ウム・ガーネット単結晶およびその製造方法について、
以下に説明する。
【0023】(実施例1)図1は、本発明の実施例によ
るテルビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶の結晶
引き下げ法の説明図である。純度99.99%の酸化テ
ルビウム(化学式:Tb)原料と、純度99.99
9%の酸化アルミニウム(化学式:Al )と純度9
9.99%の酸化ルテチウム(化学式:Lu)原料
を用い、Lu 原料の添加量を0〜20%の範囲で
各々の原料調合物を調整した。
【0024】この調合物を湿式混合し乾燥したものを最
終原料とし、Irルツボに投入し、図1に示すような通
常の結晶引下げ炉を用いてファイバー状結晶を育成し
た。ルツボ形状は、直径約15mm、高さ約45mm
で、ルツボ底の形状は約45°傾斜しており、先端に5
00〜600μmのノズルが開いており、先端の平坦な
部分は約直径2mmである。
【0025】即ち、ノズル先端から流出する融液に種結
晶先端を着け、種結晶を0.5〜1.0mm/minの速
度で引き下げながらファイバー状の結晶を育成した。育
成はAr雰囲気で行い、ガス流量は0.002m/m
inとした。
【0026】Lu添加量では、4〜15%の範囲
で良質の結晶を得ることができた。特に、7〜12%の
範囲では、結晶形状制御性および結晶性ともに良質で、
ルツボ内の融液全体を結晶化でき、全体が透明な結晶が
得られた。
【0027】Lu添加量が4%未満の場合、結晶
外形の制御は安定するが、結晶は単一相でなく、不透明
となり、逆にLu添加量が15%を超える場合
は、結晶形状が一定で無く、直径変動が大きく、透明な
部分は観察されなかった。
【0028】(実施例2)純度99.99%の酸化テル
ビウム(化学式:Tb)原料と、純度99.999
%の酸化アルミニウム(化学式:Al)と純度9
9.99%の酸化イットリビウム(化学式:Yb)
原料を用い、Yb原料の添加量を0〜25%の範
囲で各々の原料調合物を調整した。この調合物を湿式混
合し乾燥したものを最終原料とし、Irルツボに投入
し、実施例1と同様の手段および条件で結晶を育成し
た。
【0029】Yb添加量では、7〜16%の範囲
で、ほぼ良質の結晶を得ることができた。特に、9〜1
4%の範囲では、結晶形状制御性および結晶性ともに良
質で、ルツボ内融液全体を結晶化でき、全体が透明な結
晶が得られた。
【0030】添加量と結晶育成状況の関係は、実施例1
のLuの場合と同様の傾向を示した。即ち、Yb
添加量が7%未満の場合、結晶外形の制御は安定
するが、結晶は単一相でなく、不透明となり、逆にYb
添加量が16%を超える場合は、結晶形状が一定
でなく、直径変動が大きく、透明な部分は観察されなか
った。
【0031】(実施例3)直径純度99.99%の酸化
テルビウム(化学式:Tb)原料と、純度99.9
99%の酸化アルミニウム(化学式:Al)と純度
99.99%の酸化トリウム(化学式:Tm)原料
を用い、Tm原料の添加量を0〜25%の範囲で
各々の原料調合物を調整した。この調合物を湿式混合し
乾燥したものを最終原料とし、Irルツボに投入し、実
施例1と同様の手段および条件で結晶を育成した。
【0032】Tm添加量では、9〜18%の範囲
で、ほぼ良質の結晶を得ることができた。特に、11〜
16%の範囲では、結晶形状制御性および結晶性ともに
良質で、ルツボ内融液全体を結晶化でき、全体が透明な
結晶が得られた。
【0033】Tm添加量と結晶育成状況の関係
は、実施例1のLuの場合と同様の傾向を示し
た。即ち、Tm添加量が9%未満の場合、結晶外
形の制御は安定するが、結晶は単一相でなく、不透明と
なり、逆にTm添加量が18%を超える場合は、
結晶形状が一定でなく、直径変動が大きく、透明な部分
は観察されなかった。
【0034】(実施例4)直径純度99.99%の酸化
テルビウム(化学式:Tb)原料と、純度99.9
99%の酸化アルミニウム(化学式:Al)と純度
99.99%の酸化エルビウム(化学式:Er)原
料を用い、Er原料の添加量を0〜25%の範囲
で各々の原料調合物を調整した。この調合物を湿式混合
し乾燥したものを最終原料とし、Irルツボに投入し、
実施例1と同様の手段および条件で結晶を育成した。
【0035】Er添加量では、10〜20%の範
囲で、ほぼ良質の結晶を得ることができた。特に、12
〜18%の範囲では、結晶形状制御性および結晶性とも
に良質で、ルツボ内融液全体を結晶化でき、全体が透明
な結晶が得られた。Er 添加量と結晶育成状況の
関係は、実施例1のLuの場合と同様の傾向を示
した。
【0036】即ち、Er添加量が10%未満の場
合、結晶外形の制御は安定するが、結晶は単一相でな
く、不透明となり、逆にEr添加量が20%を超
える場合は、結晶形状が一定でなく、直径変動が大きく
透明な部分は観察されなかった。
【0037】以上、説明したように、本発明によれば、
通常の育成方法では作製困難であったテルビウム・アル
ミニウム・ガーネット構造を持つアルミニウムガーネッ
ト単結晶の作製が可能となった。更に、可視光波長域光
アイソレータの回転子として特性の優れるTAG系単結
晶が比較的容易に得られることから、可視光波長域用の
アイソレータが実用化ができることが示された等、多く
の重大な効果が認められた。
【0038】
【発明の効果】以上、本発明によれば、一定形状の良質
結晶であり、かつルツボ内の融液の結晶化率が大きい状
態で成長したテルビウム・アルミニウム・ガーネット単
結晶およびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例による結晶引き下げ法の説明
図。
【図2】Tb−Al状態図。
【符号の説明】
1 石英管 2 保温筒 3 ルツボ(Ir) 4 ルツボ支持治具 5 誘導加熱用コイル 6 融液 7 育成結晶 8 矢印:結晶育成方向(引き下げ方向)

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 化学式を(Tb、RE1−X
    12とし、前記化学式の中の希土類元素REが、
    Lu,Yb,Tm,Erのいずれか一つ以上であり、x
    の範囲を0.8≦x≦0.96とすることを特徴とするテ
    ルビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶。
  2. 【請求項2】 前記テルビウム・アルミニウム・ガーネ
    ット単結晶において、希土類元素REをLuとし、化学
    式の中で、xの範囲を0.85≦x≦0.96とすること
    を特徴とする請求項1記載のテルビウム・アルミニウム
    ・ガーネット単結晶。
  3. 【請求項3】 前記テルビウム・アルミニウム・ガーネ
    ット単結晶において、希土類元素REをYbとし、化学
    式の中で、xの範囲を0.85≦x≦0.93とすること
    を特徴とする請求項1記載のテルビウム・アルミニウム
    ・ガーネット単結晶。
  4. 【請求項4】 前記テルビウム・アルミニウム・ガーネ
    ット単結晶において、希土類元素REをTmとし、化学
    式の中で、xの範囲を0.85≦x≦0.91とすること
    を特徴とする請求項1記載のテルビウム・アルミニウム
    ・ガーネット単結晶。
  5. 【請求項5】 前記テルビウム・アルミニウム・ガーネ
    ット単結晶において、希土類元素REをErとし、化学
    式の中で、xの範囲を0.8≦x≦0.9とすることを特
    徴とする請求項1記載のテルビウム・アルミニウム・ガ
    ーネット単結晶。
  6. 【請求項6】 ルツボ下端にノズルを設けルツボ内の融
    液をノズル先端から引き下げ結晶化させることを特徴と
    するテルビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶の製
    造方法。
  7. 【請求項7】 請求項1ないし5のいずれかに記載のテ
    ルビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶を主成分と
    する単結晶を製造することを特徴とする請求項6に記載
    のテルビウム・アルミニウム・ガーネット単結晶の製造
    方法。
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