JP2001208857A - 元素分析装置用ｘ線検出器の散乱陽子リムーバ - Google Patents
元素分析装置用ｘ線検出器の散乱陽子リムーバInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 元素分析に悪影響を及ぼす解散乱陽子が、Ｘ
線検出器へ進入しないように、阻止するコンパクトで使
い勝手の良好な散乱陽子リムーバを提供する。 【解決手段】 散乱陽子リムーバ１０は、真空チャンバ
１内に配置されたＸ線検出器５のＸ線導入用のスリーブ
５ａの先端部に装着する。リムーバ１０には、散乱陽子
の進入を磁場で阻止する本体１１と、スリーブ５ａの先
端部への装着用の嵌合筒１２とを設ける。本体１１に
は、相互間にほぼ平行な磁束が生じるように磁極を対向
させて２枚の永久磁石板１４，１４を配置し、それらの
間を貫通して嵌合筒１２に通じる通路１６を設ける。通
路１６の周囲を合成樹脂製の被覆壁で囲こみ、内部に磁
束を通す。通路１６内の磁場で、散乱陽子を偏向させて
Ｘ線検出器内への散乱陽子の進入を阻止する。鉄製のヨ
ーク１５で周辺への磁束の漏洩を抑え、周辺機器へ影響
を除去する。
線検出器へ進入しないように、阻止するコンパクトで使
い勝手の良好な散乱陽子リムーバを提供する。 【解決手段】 散乱陽子リムーバ１０は、真空チャンバ
１内に配置されたＸ線検出器５のＸ線導入用のスリーブ
５ａの先端部に装着する。リムーバ１０には、散乱陽子
の進入を磁場で阻止する本体１１と、スリーブ５ａの先
端部への装着用の嵌合筒１２とを設ける。本体１１に
は、相互間にほぼ平行な磁束が生じるように磁極を対向
させて２枚の永久磁石板１４，１４を配置し、それらの
間を貫通して嵌合筒１２に通じる通路１６を設ける。通
路１６の周囲を合成樹脂製の被覆壁で囲こみ、内部に磁
束を通す。通路１６内の磁場で、散乱陽子を偏向させて
Ｘ線検出器内への散乱陽子の進入を阻止する。鉄製のヨ
ーク１５で周辺への磁束の漏洩を抑え、周辺機器へ影響
を除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、加速器から発射
されたイオンビームを試料に照射し、試料から発生する
Ｘ線をＸ線検出器により検出し、そのスペクトルにより
試料の元素分析を行う装置に関し、特に、この元素分析
装置に用いられるＸ線検出器への散乱陽子の進入を阻止
するための散乱陽子リムーバに係る。
されたイオンビームを試料に照射し、試料から発生する
Ｘ線をＸ線検出器により検出し、そのスペクトルにより
試料の元素分析を行う装置に関し、特に、この元素分析
装置に用いられるＸ線検出器への散乱陽子の進入を阻止
するための散乱陽子リムーバに係る。
【０００２】
【従来の技術】従来、粒子線励起Ｘ線法（Particle Ind
uced X-ray Emission）と称される元素分析法が知られ
ている。この方法は、真空チャンバ内で、陽子、アルフ
ァ粒子、重イオン等のイオンビームを試料に照射するこ
とによって、試料に含まれる元素に固有のエネルギを持
つＸ線（特性Ｘ線）を発生させ、この特性Ｘ線をＸ線検
出器で測定し、そのＸ線スペクトルから試料中の元素を
分析する方法である。この方法においては、イオンビー
ムを試料に照射すると、試料から特性Ｘ線の他に、連続
Ｘ線、散乱陽子が発生する。さらに、試料を透過した陽
子がその進行方向に対向した真空チャンバの内壁面など
の衝突してγ線を発生する。散乱陽子、散乱γ線は、Ｘ
線検出器に進入して特性Ｘ線スペクトルに対してノイズ
となり、正確な分析を阻害する。また、試料中に特定の
元素が多量に存在する場合には、対応する特性Ｘ線が多
量に発生してＸ線検出器に進入する。これがそのＸ線検
出器の検出能を上回る場合には、同様に解析を阻害す
る。
uced X-ray Emission）と称される元素分析法が知られ
ている。この方法は、真空チャンバ内で、陽子、アルフ
ァ粒子、重イオン等のイオンビームを試料に照射するこ
とによって、試料に含まれる元素に固有のエネルギを持
つＸ線（特性Ｘ線）を発生させ、この特性Ｘ線をＸ線検
出器で測定し、そのＸ線スペクトルから試料中の元素を
分析する方法である。この方法においては、イオンビー
ムを試料に照射すると、試料から特性Ｘ線の他に、連続
Ｘ線、散乱陽子が発生する。さらに、試料を透過した陽
子がその進行方向に対向した真空チャンバの内壁面など
の衝突してγ線を発生する。散乱陽子、散乱γ線は、Ｘ
線検出器に進入して特性Ｘ線スペクトルに対してノイズ
となり、正確な分析を阻害する。また、試料中に特定の
元素が多量に存在する場合には、対応する特性Ｘ線が多
量に発生してＸ線検出器に進入する。これがそのＸ線検
出器の検出能を上回る場合には、同様に解析を阻害す
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、解析
を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性Ｘ線等のうち、
特に散乱陽子が、Ｘ線検出器へ進入することがないよう
に、その進入を阻止することができるコンパクトで使い
勝手の良好な散乱陽子リムーバを提供することを課題と
している。
を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性Ｘ線等のうち、
特に散乱陽子が、Ｘ線検出器へ進入することがないよう
に、その進入を阻止することができるコンパクトで使い
勝手の良好な散乱陽子リムーバを提供することを課題と
している。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明においては、分析
用真空チャンバ１内に配置されたＸ線検出器５のＸ線導
入用のスリーブ５ａの先端部に装着できるように散乱陽
子リムーバ１０を構成する。散乱陽子リムーバ１０に
は、Ｘ線検出器５内への散乱陽子の進入を磁場により阻
止する本体１１と、Ｘ線検出器５のＸ線導入用のスリー
ブ５ａの先端部に装着するための嵌合筒１２とを具備さ
せる。本体１１には、相互間にほぼ平行な磁束が生じる
ように磁極を対向させて配置された２枚の永久磁石板１
４，１４と、この２枚の永久磁石板１４の間を貫通して
嵌合筒１２に通じ、周囲を合成樹脂製の被覆壁で囲まれ
内部に磁束を通すことができる通路１６と、この通路１
６の両端を開口させて永久磁石板１４の外周を被覆する
鉄製のヨーク１５とを具備させる。そして、本体の通路
１６内の磁場で、散乱陽子を偏向させてＸ線検出器内へ
の散乱陽子の進入を阻止する。永久磁石板１４は、ヨー
ク１５で周囲を被覆されているので、周辺への磁束の漏
洩が抑えられ、周辺機器へ悪影響を与えることがない。
また、本発明においては、対向一対の永久磁石板１４の
相互間隔を保つように永久磁石板の間に相互間隔をおい
て合成樹脂製の一対の第１のスペーサ１３ａを配置し、
かつ永久磁石板の各対向面を被覆するように合成樹脂製
の一対の第２のスペーサ１３ｂを配置することにより、
通路１６の被覆壁を形成し、偏向された散乱陽子が通路
１６の内面に衝突するときの２次放射線の発生を防止す
る。また、本発明においては、永久磁石板１４の外周を
被覆する鉄製のヨーク１５前面を合成樹脂製の被覆板１
７で被覆することにより、ヨーク１５前面への散乱陽子
の衝突による２次放射線の発生を防止する。また、本発
明においては、Ｘ線検出器５のＸ線導入用のスリーブ５
ａの先端部に、γ線を遮蔽すると共にＸ線の進入量を制
限するためのアブソーバ６を装着し、このアブソーバ６
に嵌合筒１２を嵌合させてＸ線導入用のスリーブ５ａの
先端部に散乱陽子リムーバ１０を装着できるようにし
た。さらに、本発明においては、アブソーバ６を、Ｘ線
導入用のスリーブ５ａの先端部を被覆する鉛製の被覆筒
を含むγ線遮蔽シリンダ７と、それの先端の開放部を閉
塞するように装着され、中央に所定直径の開口８ｃを備
え、スリーブ５ａ内へのＸ線の進入量を調整するための
ステンレススチール製のコリメータ８とを具備させて構
成し、嵌合筒１２をγ線遮蔽シリンダ７の外周に嵌合す
るように装着して散乱陽子リムーバ１０を構成した。
用真空チャンバ１内に配置されたＸ線検出器５のＸ線導
入用のスリーブ５ａの先端部に装着できるように散乱陽
子リムーバ１０を構成する。散乱陽子リムーバ１０に
は、Ｘ線検出器５内への散乱陽子の進入を磁場により阻
止する本体１１と、Ｘ線検出器５のＸ線導入用のスリー
ブ５ａの先端部に装着するための嵌合筒１２とを具備さ
せる。本体１１には、相互間にほぼ平行な磁束が生じる
ように磁極を対向させて配置された２枚の永久磁石板１
４，１４と、この２枚の永久磁石板１４の間を貫通して
嵌合筒１２に通じ、周囲を合成樹脂製の被覆壁で囲まれ
内部に磁束を通すことができる通路１６と、この通路１
６の両端を開口させて永久磁石板１４の外周を被覆する
鉄製のヨーク１５とを具備させる。そして、本体の通路
１６内の磁場で、散乱陽子を偏向させてＸ線検出器内へ
の散乱陽子の進入を阻止する。永久磁石板１４は、ヨー
ク１５で周囲を被覆されているので、周辺への磁束の漏
洩が抑えられ、周辺機器へ悪影響を与えることがない。
また、本発明においては、対向一対の永久磁石板１４の
相互間隔を保つように永久磁石板の間に相互間隔をおい
て合成樹脂製の一対の第１のスペーサ１３ａを配置し、
かつ永久磁石板の各対向面を被覆するように合成樹脂製
の一対の第２のスペーサ１３ｂを配置することにより、
通路１６の被覆壁を形成し、偏向された散乱陽子が通路
１６の内面に衝突するときの２次放射線の発生を防止す
る。また、本発明においては、永久磁石板１４の外周を
被覆する鉄製のヨーク１５前面を合成樹脂製の被覆板１
７で被覆することにより、ヨーク１５前面への散乱陽子
の衝突による２次放射線の発生を防止する。また、本発
明においては、Ｘ線検出器５のＸ線導入用のスリーブ５
ａの先端部に、γ線を遮蔽すると共にＸ線の進入量を制
限するためのアブソーバ６を装着し、このアブソーバ６
に嵌合筒１２を嵌合させてＸ線導入用のスリーブ５ａの
先端部に散乱陽子リムーバ１０を装着できるようにし
た。さらに、本発明においては、アブソーバ６を、Ｘ線
導入用のスリーブ５ａの先端部を被覆する鉛製の被覆筒
を含むγ線遮蔽シリンダ７と、それの先端の開放部を閉
塞するように装着され、中央に所定直径の開口８ｃを備
え、スリーブ５ａ内へのＸ線の進入量を調整するための
ステンレススチール製のコリメータ８とを具備させて構
成し、嵌合筒１２をγ線遮蔽シリンダ７の外周に嵌合す
るように装着して散乱陽子リムーバ１０を構成した。
【０００５】
【発明の実施の形態】図面を参照して本発明の実施の形
態を説明する。図１は本発明に係る元素分析装置におけ
る真空チャンバの概略構成を示す平面図、図２は本発明
に係るＸ線検出器用アブソーバの断面図である。
態を説明する。図１は本発明に係る元素分析装置におけ
る真空チャンバの概略構成を示す平面図、図２は本発明
に係るＸ線検出器用アブソーバの断面図である。
【０００６】図１において、真空チャンバ１内には、イ
オンビーム導入管２、ターゲットフレーム３、重元素用
のＸ線検出器４、軽元素用Ｘ線検出器５が設けられてい
る。ビーム導入管２は、図示しない加速器に接続され、
ビームコリメータを介してイオンビームを真空チェンバ
１内に導く。ビーム導入管２の先端に対向するようにタ
ーゲットフレーム３が設けられている。ターゲットフレ
ーム３は、複数の試料Ｓを保持しており、遠隔操作によ
り移動自在である。ターゲットフレーム３を移動するこ
とにより、イオンビームを照射する試料Ｓを任意に変え
ることができる。
オンビーム導入管２、ターゲットフレーム３、重元素用
のＸ線検出器４、軽元素用Ｘ線検出器５が設けられてい
る。ビーム導入管２は、図示しない加速器に接続され、
ビームコリメータを介してイオンビームを真空チェンバ
１内に導く。ビーム導入管２の先端に対向するようにタ
ーゲットフレーム３が設けられている。ターゲットフレ
ーム３は、複数の試料Ｓを保持しており、遠隔操作によ
り移動自在である。ターゲットフレーム３を移動するこ
とにより、イオンビームを照射する試料Ｓを任意に変え
ることができる。
【０００７】図１，図２に示すように、重元素用Ｘ線検
出器４は、Ｘ線導入用のスリーブ４ａを有し、その開放
した先端をターゲットフレーム３上の所定の試料Ｓに向
けて配置されている。スリーブ４ａの先端部には、元素
解析を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性Ｘ線等が、
Ｘ線検出器へ進入しないように、その進入を阻止し、あ
るいは制限するためのアブソーバ６が取り付けられてい
る。
出器４は、Ｘ線導入用のスリーブ４ａを有し、その開放
した先端をターゲットフレーム３上の所定の試料Ｓに向
けて配置されている。スリーブ４ａの先端部には、元素
解析を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性Ｘ線等が、
Ｘ線検出器へ進入しないように、その進入を阻止し、あ
るいは制限するためのアブソーバ６が取り付けられてい
る。
【０００８】図２に示すように、アブソーバ６は、スリ
ーブ４ａの先端部外周を被覆するγ線遮蔽シリンダ７
と、γ線遮蔽シリンダ７の先端に装着されるコリメータ
８と、このコリメータ８の開口を閉塞するようにコリメ
ータ８上に取り付けられるＸ線吸収板９とを具備する。
ーブ４ａの先端部外周を被覆するγ線遮蔽シリンダ７
と、γ線遮蔽シリンダ７の先端に装着されるコリメータ
８と、このコリメータ８の開口を閉塞するようにコリメ
ータ８上に取り付けられるＸ線吸収板９とを具備する。
【０００９】γ線遮蔽シリンダ７は、ほぼ筒状のアルミ
ニウム製コア７ａの外周を鉛製の被覆筒７ｂで被覆して
成り、スリーブ４ａに対して着脱自在である。
ニウム製コア７ａの外周を鉛製の被覆筒７ｂで被覆して
成り、スリーブ４ａに対して着脱自在である。
【００１０】γ線遮蔽シリンダ７の先端部には、その開
放部を閉塞するようにコリメータ８が装着される。コリ
メータ８は、ステンレススチール製で、シリンダ７の開
放部に着脱自在に嵌合する嵌合部８ａと、シリンダ７の
先端面に当接する鍔部８ｂとを備え、中央には所定直径
の開口８ｃが形成されている。開口８ｃは、それの直径
の大きさによりスリーブ４ａ内へのＸ線の進入量を調整
する。特性Ｘ線の発生量に応じて、適宜取り替えできる
ように、開口８ｃの直径の異なるものを数種類用意して
おくのが好都合である。
放部を閉塞するようにコリメータ８が装着される。コリ
メータ８は、ステンレススチール製で、シリンダ７の開
放部に着脱自在に嵌合する嵌合部８ａと、シリンダ７の
先端面に当接する鍔部８ｂとを備え、中央には所定直径
の開口８ｃが形成されている。開口８ｃは、それの直径
の大きさによりスリーブ４ａ内へのＸ線の進入量を調整
する。特性Ｘ線の発生量に応じて、適宜取り替えできる
ように、開口８ｃの直径の異なるものを数種類用意して
おくのが好都合である。
【００１１】Ｘ線吸収板９は、コリメータ８の開口８ｃ
を閉塞するように、コリメータ８の外側面に取り付けら
れる。Ｘ線吸収板９は、Ｘ線の透過量を調整し、無用の
ガンマ線、散乱陽子の進入を阻止することができるポリ
カーボネート等の合成樹脂製の薄板である。例えば、ポ
リカーボネート製のＸ線吸収板９では、厚さ300μmでAl
元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収し、厚さ500μmでK
元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収し、厚さ1000μmでS
e元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収する。従って、厚
さが各々異なるＸ線吸収板９を取り付けた複数種類のコ
リメータ８を用意し、試料Ｓが含有する元素に応じて適
宜取り替えられるようにするのが好都合である。
を閉塞するように、コリメータ８の外側面に取り付けら
れる。Ｘ線吸収板９は、Ｘ線の透過量を調整し、無用の
ガンマ線、散乱陽子の進入を阻止することができるポリ
カーボネート等の合成樹脂製の薄板である。例えば、ポ
リカーボネート製のＸ線吸収板９では、厚さ300μmでAl
元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収し、厚さ500μmでK
元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収し、厚さ1000μmでS
e元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収する。従って、厚
さが各々異なるＸ線吸収板９を取り付けた複数種類のコ
リメータ８を用意し、試料Ｓが含有する元素に応じて適
宜取り替えられるようにするのが好都合である。
【００１２】ビーム導入管２を介して試料Ｓにイオンビ
ームを照射すると、試料Ｓから連続Ｘ線、特性Ｘ線、散
乱陽子が発生し、また試料Ｓを透過した陽子がその進行
方向に対向したチャンバ１の内壁面などに衝突してγ線
を発生する。散乱γ線は、γ線遮蔽シリンダ７によりＸ
線検出器４内への進入を阻止される。また、コリメータ
８は、Ｘ線検出器４内へ入射するＸ線量を調整し、その
量が検出能を超えない範囲に制限し、さらに小径の開口
８ｃにより、γ線、散乱陽子の進入を妨げる。Ｘ線吸収
板９を装着する場合には、これにより一定範囲のＸ線を
吸収してＸ線検出器４内へ入射するＸ線量を調整すると
共に、γ線の進入をより確実に阻止することができる。
ームを照射すると、試料Ｓから連続Ｘ線、特性Ｘ線、散
乱陽子が発生し、また試料Ｓを透過した陽子がその進行
方向に対向したチャンバ１の内壁面などに衝突してγ線
を発生する。散乱γ線は、γ線遮蔽シリンダ７によりＸ
線検出器４内への進入を阻止される。また、コリメータ
８は、Ｘ線検出器４内へ入射するＸ線量を調整し、その
量が検出能を超えない範囲に制限し、さらに小径の開口
８ｃにより、γ線、散乱陽子の進入を妨げる。Ｘ線吸収
板９を装着する場合には、これにより一定範囲のＸ線を
吸収してＸ線検出器４内へ入射するＸ線量を調整すると
共に、γ線の進入をより確実に阻止することができる。
【００１３】図１、図３において、軽元素用Ｘ線検出器
５は、Ｘ線導入用のスリーブ５ａの開放した先端をター
ゲットフレーム３上の所定の試料に向けて、軽元素用Ｘ
線検出器４のスリーブ４ａとは異なる角度で配置されて
いる。スリーブ５ａの先端部には、散乱陽子リムーバ１
０が取り付けられている。
５は、Ｘ線導入用のスリーブ５ａの開放した先端をター
ゲットフレーム３上の所定の試料に向けて、軽元素用Ｘ
線検出器４のスリーブ４ａとは異なる角度で配置されて
いる。スリーブ５ａの先端部には、散乱陽子リムーバ１
０が取り付けられている。
【００１４】散乱陽子リムーバ１０は、軽元素の解析を
阻害する散乱陽子がＸ線検出器５へ進入するのを阻止す
るためのもので、図３に示すように、Ｘ線吸収板９を装
着しない上記のアブソーバ６に重ねてスリーブ５ａに取
り付けられる。散乱陽子リムーバ１０は、本体１１と、
嵌合筒１２とを具備する。嵌合筒１２は、アルミニウム
製であり、アブソーバ６のγ線遮蔽シリンダ７の外周に
嵌合する。
阻害する散乱陽子がＸ線検出器５へ進入するのを阻止す
るためのもので、図３に示すように、Ｘ線吸収板９を装
着しない上記のアブソーバ６に重ねてスリーブ５ａに取
り付けられる。散乱陽子リムーバ１０は、本体１１と、
嵌合筒１２とを具備する。嵌合筒１２は、アルミニウム
製であり、アブソーバ６のγ線遮蔽シリンダ７の外周に
嵌合する。
【００１５】図５乃至図７に示すように、散乱陽子リム
ーバ１０の本体１１は、相互間に合成樹脂製のスペーサ
１３を介在させて、２枚の強力な永久磁石板１４を対向
配置し、その周囲を軟鉄製のヨーク１５でカバーして成
る。スペーサ１３は、一対の永久磁石板１４の間隔を保
ち、その間にＸ線の通路１６を形成すると共に、この通
路６に永久磁石板１４が直接露出しないように被覆する
被覆壁を構成するもので、各一対の第１スペーサ１３ａ
と第２スペーサ１３ｂとから成る。第１スペーサ１３ａ
は、一対の永久磁石板１４の間隔を保ち、隙間を形成す
るためのもので、一対が相互間隔をおいて配置され、両
者の隙間に通路１６が形成される。通路１６には、ほぼ
平行な磁束の磁場が形成される。第２スペーサ１３ｂ
は、一対の永久磁石板１４の対向する面を被覆するよう
に配置される。
ーバ１０の本体１１は、相互間に合成樹脂製のスペーサ
１３を介在させて、２枚の強力な永久磁石板１４を対向
配置し、その周囲を軟鉄製のヨーク１５でカバーして成
る。スペーサ１３は、一対の永久磁石板１４の間隔を保
ち、その間にＸ線の通路１６を形成すると共に、この通
路６に永久磁石板１４が直接露出しないように被覆する
被覆壁を構成するもので、各一対の第１スペーサ１３ａ
と第２スペーサ１３ｂとから成る。第１スペーサ１３ａ
は、一対の永久磁石板１４の間隔を保ち、隙間を形成す
るためのもので、一対が相互間隔をおいて配置され、両
者の隙間に通路１６が形成される。通路１６には、ほぼ
平行な磁束の磁場が形成される。第２スペーサ１３ｂ
は、一対の永久磁石板１４の対向する面を被覆するよう
に配置される。
【００１６】ヨーク１５は、永久磁石板１４の周囲への
漏洩磁場を抑えるためのもので、上下左右前後の６枚の
矩形鉄板１５ａ〜１５ｆから成り、永久磁石板１４の全
周を被覆している。前後の鉄板１５ｅ，１５ｆの中央に
は、通路１６に対応する位置に開口１５ｇ，１５ｈが形
成されている。このヨーク１５により、その表面付近で
の漏洩磁場を数ガウスに抑えることができる。また、前
方鉄板１５ｅの前面には、散乱陽子の衝突によるγ線の
発生を防止するための合成樹脂板１７が貼り付けられて
いる。合成樹脂板１７は、開口１５ｇに対応する開口１
７ａを有する。
漏洩磁場を抑えるためのもので、上下左右前後の６枚の
矩形鉄板１５ａ〜１５ｆから成り、永久磁石板１４の全
周を被覆している。前後の鉄板１５ｅ，１５ｆの中央に
は、通路１６に対応する位置に開口１５ｇ，１５ｈが形
成されている。このヨーク１５により、その表面付近で
の漏洩磁場を数ガウスに抑えることができる。また、前
方鉄板１５ｅの前面には、散乱陽子の衝突によるγ線の
発生を防止するための合成樹脂板１７が貼り付けられて
いる。合成樹脂板１７は、開口１５ｇに対応する開口１
７ａを有する。
【００１７】軽元素の分析においては、散乱陽子の吸収
のために、Ｘ線吸収板９を装着したアブソーバ６を用い
た場合、軽元素から発生する特性Ｘ線のエネルギが低い
ために、これがＸ線吸収板９に吸収されてしまう。散乱
陽子リムーバ１０は、低エネルギの特性Ｘ線の進入を阻
害せずに、散乱陽子の進入のみを阻止する。即ち、通路
１６内に進入した散乱陽子は、永久磁石板１４による磁
場のために進路を偏向され、Ｘ線検出器５へ到達しな
い。永久磁石板１４は、その全周をヨーク１５に被覆さ
れて漏洩する磁束が極めて少ないので、例えばＸ線検出
器５の検出用半導体等に対する悪影響は生じない。
のために、Ｘ線吸収板９を装着したアブソーバ６を用い
た場合、軽元素から発生する特性Ｘ線のエネルギが低い
ために、これがＸ線吸収板９に吸収されてしまう。散乱
陽子リムーバ１０は、低エネルギの特性Ｘ線の進入を阻
害せずに、散乱陽子の進入のみを阻止する。即ち、通路
１６内に進入した散乱陽子は、永久磁石板１４による磁
場のために進路を偏向され、Ｘ線検出器５へ到達しな
い。永久磁石板１４は、その全周をヨーク１５に被覆さ
れて漏洩する磁束が極めて少ないので、例えばＸ線検出
器５の検出用半導体等に対する悪影響は生じない。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、本発明においては、元素
の解析を阻害する散乱陽子が、Ｘ線検出器へ進入しない
ように、これを有効に阻止することができるコンパクト
で使い勝手の良好な散乱陽子リムーバを提供することが
できる。
の解析を阻害する散乱陽子が、Ｘ線検出器へ進入しない
ように、これを有効に阻止することができるコンパクト
で使い勝手の良好な散乱陽子リムーバを提供することが
できる。
【図１】本発明に係る元素分析装置における真空チャン
バの概略構成を示す平面図である。
バの概略構成を示す平面図である。
【図２】本発明に係るＸ線検出器用アブソーバの断面図
である。
である。
【図３】本発明に係るＸ線検出器用散乱陽子リムーバの
一部を切り欠いた正面図である。
一部を切り欠いた正面図である。
【図４】本発明に係るＸ線検出器用散乱陽子リムーバの
側面図である。
側面図である。
【図５】図３におけるV−V断面図である。
【図６】図４におけるVI−VI断面図である。
【図７】図４におけるVII−VII断面図である。
１ 真空チャンバ ２ ビーム導入管 ３ ターゲットフレーム ４ 重元素用Ｘ線検出器 ４ａ Ｘ線導入スリーブ ５ 軽元素用Ｘ線検出器 ５ａ Ｘ線導入スリーブ ６ アブソーバ ７ γ線遮蔽シリンダ ７ａ コア ７ｂ 被覆筒 ８ コリメータ ８ａ 嵌合部 ８ｂ 鍔部 ８ｃ 開口 ９ Ｘ線吸収板 １０ 散乱陽子リムーバ １１ 本体 １２ 嵌合筒 １３ スペーサ １３ａ 第１スペーサ １３ｂ 第２スペーサ １４ 永久磁石 １５ ヨーク １５ａ〜１５ｆ 鉄板 １５ｇ 開口 １５ｈ 開口 １６ 通路 １７ 合成樹脂板 １７ａ 開口
Claims (5)
- 【請求項１】 加速器から発射されたイオンビームを試
料に照射し、試料から発生するＸ線のスペクトルにより
元素分析を行う装置に用いられるＸ線検出器の散乱陽子
リムーバであって、 前記Ｘ線検出器内への散乱陽子の進入を磁場により阻止
する本体と、前記Ｘ線検出器のＸ線導入用のスリーブの
先端部に装着するための嵌合筒とを具備し、 前記本体は、相互間にほぼ平行な磁束が生じるように磁
極を対向させて配置された２枚の永久磁石板と、この２
枚の永久磁石板の間を貫通して前記嵌合筒に通じ周囲を
合成樹脂製の被覆壁で囲まれ内部に前記磁束を通す通路
と、この通路の両端を開口させて前記永久磁石板の外周
を被覆する鉄製のヨークとを具備し、 前記本体の通路内の磁場で散乱陽子を偏向させて前記Ｘ
線検出器内への散乱陽子の進入を阻止することを特徴と
する元素分析装置用Ｘ線検出器の散乱陽子リムーバ。 - 【請求項２】 前記対向一対の永久磁石板の相互間隔を
保つように永久磁石板の間に相互間隔をおいて配置され
た合成樹脂製の一対の第１のスペーサと、前記永久磁石
板の各対向面を被覆するように配置された合成樹脂製の
一対の第２のスペーサとにより前記被覆壁が形成され、
この被覆壁に包囲された空間に前記Ｘ線の通路が形成さ
れることを特徴とする請求項１に記載の元素分析装置用
Ｘ線検出器の散乱陽子リムーバ。 - 【請求項３】 前記永久磁石板の外周を被覆する鉄製の
ヨーク前面が合成樹脂製の被覆板で被覆されていること
を特徴とする請求項１に記載の元素分析装置用Ｘ線検出
器の散乱陽子リムーバ。 - 【請求項４】 前記Ｘ線検出器のＸ線導入用のスリーブ
の先端部にγ線を遮蔽すると共にＸ線の進入量を制限す
るためのアブソーバが装着され、 前記嵌合部が、前記アブソーバを介在させて前記Ｘ線導
入用のスリーブの先端部に装着されることを特徴とする
請求項１に記載の元素分析装置用Ｘ線検出器の散乱陽子
リムーバ。 - 【請求項５】 前記アブソーバが、前記Ｘ線導入用のス
リーブの先端部を被覆するように装着される鉛製の被覆
筒を含むγ線遮蔽シリンダと、 前記γ線遮蔽シリンダの先端の開放部を閉塞するように
装着され、中央に所定直径の開口を備え、前記スリーブ
内へのＸ線の進入量を調整するためのステンレススチー
ル製のコリメータとを具備し、 前記嵌合部が、前記γ線遮蔽シリンダの外周に嵌合する
ように装着されることを特徴とする請求項４に記載の元
素分析装置用Ｘ線検出器の散乱陽子リムーバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000018843A JP2001208857A (ja) | 2000-01-27 | 2000-01-27 | 元素分析装置用ｘ線検出器の散乱陽子リムーバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000018843A JP2001208857A (ja) | 2000-01-27 | 2000-01-27 | 元素分析装置用ｘ線検出器の散乱陽子リムーバ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001208857A true JP2001208857A (ja) | 2001-08-03 |
Family
ID=18545633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000018843A Pending JP2001208857A (ja) | 2000-01-27 | 2000-01-27 | 元素分析装置用ｘ線検出器の散乱陽子リムーバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001208857A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010203805A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Wakasawan Energ Kenkyu Center | ビーム量測定機能に優れたイオンビーム分析装置 |
| WO2023210633A1 (ja) * | 2022-04-28 | 2023-11-02 | 株式会社堀場製作所 | 放射線検出装置及び放射線検出器 |
-
2000
- 2000-01-27 JP JP2000018843A patent/JP2001208857A/ja active Pending
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|---|---|---|---|---|
| JP2010203805A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Wakasawan Energ Kenkyu Center | ビーム量測定機能に優れたイオンビーム分析装置 |
| WO2023210633A1 (ja) * | 2022-04-28 | 2023-11-02 | 株式会社堀場製作所 | 放射線検出装置及び放射線検出器 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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