JP2001208856A - 元素分析装置用x線検出器のアブソーバ - Google Patents
元素分析装置用x線検出器のアブソーバInfo
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- JP2001208856A JP2001208856A JP2000018842A JP2000018842A JP2001208856A JP 2001208856 A JP2001208856 A JP 2001208856A JP 2000018842 A JP2000018842 A JP 2000018842A JP 2000018842 A JP2000018842 A JP 2000018842A JP 2001208856 A JP2001208856 A JP 2001208856A
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- ray
- ray detector
- absorber
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 散乱陽子、γ線、過剰な特性X線等のX線検
出器への進入阻止し、あるいは制限できるコンパクトで
使い勝手の良好なアブソーバを提供する。 【解決手段】 X線検出器4のX線導入用のスリーブ4
aの先端部に嵌合するようにアブソーバ6を設ける。ア
ブソーバ6には、γ線遮蔽シリンダ7と、それの先端部
に取り付けられるコリメータ8と、それの先端部に取り
付けられるX線吸収板9とを具備させる。γ線遮蔽シリ
ンダ7は、基端側がスリーブ3aの先端部に被挿可能な
ほぼ筒状のコア7aと、それの外周を被覆する鉛製の被
覆筒7bとで構成する。γ線遮蔽シリンダ7の先端に
は、開放部を閉塞するようにコリメータ8を装着する。
コリメータ8の中央には、所定直径の開口8cを設け、
スリーブ4a内へのX線の進入量を調整する。
出器への進入阻止し、あるいは制限できるコンパクトで
使い勝手の良好なアブソーバを提供する。 【解決手段】 X線検出器4のX線導入用のスリーブ4
aの先端部に嵌合するようにアブソーバ6を設ける。ア
ブソーバ6には、γ線遮蔽シリンダ7と、それの先端部
に取り付けられるコリメータ8と、それの先端部に取り
付けられるX線吸収板9とを具備させる。γ線遮蔽シリ
ンダ7は、基端側がスリーブ3aの先端部に被挿可能な
ほぼ筒状のコア7aと、それの外周を被覆する鉛製の被
覆筒7bとで構成する。γ線遮蔽シリンダ7の先端に
は、開放部を閉塞するようにコリメータ8を装着する。
コリメータ8の中央には、所定直径の開口8cを設け、
スリーブ4a内へのX線の進入量を調整する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、加速器から発射
されたイオンビームを試料に照射し、試料から発生する
X線をX線検出器により検出し、そのスペクトルにより
試料の元素分析を行う装置に関し、特に、この元素分析
装置に用いられるX線検出器への過剰なX線、無用なガ
ンマ線や散乱陽子の進入を阻止するためのアブソーバに
係る。
されたイオンビームを試料に照射し、試料から発生する
X線をX線検出器により検出し、そのスペクトルにより
試料の元素分析を行う装置に関し、特に、この元素分析
装置に用いられるX線検出器への過剰なX線、無用なガ
ンマ線や散乱陽子の進入を阻止するためのアブソーバに
係る。
【0002】
【従来の技術】従来、粒子線励起X線法(Particle Ind
uced X-ray Emission)と称される元素分析法が知られ
ている。この方法は、真空チャンバ内で、陽子、アルフ
ァ粒子、重イオン等のイオンビームを試料に照射するこ
とによって、試料に含まれる元素に固有のエネルギを持
つX線(特性X線)を発生させ、この特性X線をX線検
出器で測定し、そのX線スペクトルから試料中の元素を
分析する方法である。この方法においては、イオンビー
ムを試料に照射すると、試料から特性X線の他に、連続
X線、散乱陽子が発生する。さらに、試料を透過した陽
子がその進行方向に対向した真空チャンバの内壁面など
の衝突してγ線を発生する。散乱陽子、散乱γ線は、X
線検出器に進入して特性X線スペクトルに対してノイズ
となり、正確な分析を阻害する。また、試料中に特定の
元素が多量に存在する場合には、対応する特性X線が多
量に発生してX線検出器に進入する。これがそのX線検
出器の検出能を上回る場合には、同様に解析を阻害す
る。そこで、従来は、X線検出器のX線受け入れ用のス
リーブの開口の向きを調整したり、このスリーブの先端
部に鉛板を巻き付けたり等の方法で、ノイズの発生を防
止している。
uced X-ray Emission)と称される元素分析法が知られ
ている。この方法は、真空チャンバ内で、陽子、アルフ
ァ粒子、重イオン等のイオンビームを試料に照射するこ
とによって、試料に含まれる元素に固有のエネルギを持
つX線(特性X線)を発生させ、この特性X線をX線検
出器で測定し、そのX線スペクトルから試料中の元素を
分析する方法である。この方法においては、イオンビー
ムを試料に照射すると、試料から特性X線の他に、連続
X線、散乱陽子が発生する。さらに、試料を透過した陽
子がその進行方向に対向した真空チャンバの内壁面など
の衝突してγ線を発生する。散乱陽子、散乱γ線は、X
線検出器に進入して特性X線スペクトルに対してノイズ
となり、正確な分析を阻害する。また、試料中に特定の
元素が多量に存在する場合には、対応する特性X線が多
量に発生してX線検出器に進入する。これがそのX線検
出器の検出能を上回る場合には、同様に解析を阻害す
る。そこで、従来は、X線検出器のX線受け入れ用のス
リーブの開口の向きを調整したり、このスリーブの先端
部に鉛板を巻き付けたり等の方法で、ノイズの発生を防
止している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のX線検出器
のノイズ防止方法は、手間がかかり、また調整に熟練を
要するという問題点がある。そこで本発明は、解析を阻
害する散乱陽子、γ線、過剰な特性X線等が、X線検出
器へ進入することがないように、その進入を阻止し、あ
るいは制限することができるコンパクトで使い勝手の良
好なアブソーバを提供することを課題としている。
のノイズ防止方法は、手間がかかり、また調整に熟練を
要するという問題点がある。そこで本発明は、解析を阻
害する散乱陽子、γ線、過剰な特性X線等が、X線検出
器へ進入することがないように、その進入を阻止し、あ
るいは制限することができるコンパクトで使い勝手の良
好なアブソーバを提供することを課題としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明においては、分析
用真空チャンバ内に所定の方向に先端が開放するように
配置されたX線検出器のX線導入用のスリーブの先端部
外周に嵌合するようにアブソーバを構成する。アブソー
バには、γ線遮蔽シリンダと、このシリンダの先端部に
取り付けられるコリメータと、このコリメータの先端部
に取り付けられるX線吸収板とを具備させる。γ線遮蔽
シリンダは、基端側がスリーブの先端部に被挿可能なほ
ぼ筒状のアルミニウム製コアと、それの外周を被覆する
鉛製の被覆筒とで構成する。γ線遮蔽シリンダの先端に
は、開放部を閉塞するようにステンレススチール製のコ
リメータを装着する。コリメータの中央には、所定直径
の開口を設け、スリーブ内へのX線の進入量を調整す
る。コリメータ上には、必要に応じ、開口を閉塞するよ
うに合成樹脂製のX線吸収板を取り付け、スリーブ内へ
のX線の進入量を調整すると共に、無用のガンマ線、散
乱陽子の進入を阻止する。また、発明においては、上記
アブソーバをスリーブの先端部に着脱自在に構成するこ
とにより、使い勝手を向上させた。さらに、発明におい
ては、X線吸収板の厚さ及び又は開口の直径の異なるコ
リメータを複数用意し、選択的にγ線遮蔽シリンダの先
端部に着脱自在に構成することにより、例えば元素の重
さに応じて容易に交換できるようにした。
用真空チャンバ内に所定の方向に先端が開放するように
配置されたX線検出器のX線導入用のスリーブの先端部
外周に嵌合するようにアブソーバを構成する。アブソー
バには、γ線遮蔽シリンダと、このシリンダの先端部に
取り付けられるコリメータと、このコリメータの先端部
に取り付けられるX線吸収板とを具備させる。γ線遮蔽
シリンダは、基端側がスリーブの先端部に被挿可能なほ
ぼ筒状のアルミニウム製コアと、それの外周を被覆する
鉛製の被覆筒とで構成する。γ線遮蔽シリンダの先端に
は、開放部を閉塞するようにステンレススチール製のコ
リメータを装着する。コリメータの中央には、所定直径
の開口を設け、スリーブ内へのX線の進入量を調整す
る。コリメータ上には、必要に応じ、開口を閉塞するよ
うに合成樹脂製のX線吸収板を取り付け、スリーブ内へ
のX線の進入量を調整すると共に、無用のガンマ線、散
乱陽子の進入を阻止する。また、発明においては、上記
アブソーバをスリーブの先端部に着脱自在に構成するこ
とにより、使い勝手を向上させた。さらに、発明におい
ては、X線吸収板の厚さ及び又は開口の直径の異なるコ
リメータを複数用意し、選択的にγ線遮蔽シリンダの先
端部に着脱自在に構成することにより、例えば元素の重
さに応じて容易に交換できるようにした。
【0005】
【発明の実施の形態】図面を参照して本発明の実施の形
態を説明する。図1は本発明に係る元素分析装置におけ
る真空チャンバの概略構成を示す平面図、図2は本発明
に係るX線検出器用アブソーバの断面図である。
態を説明する。図1は本発明に係る元素分析装置におけ
る真空チャンバの概略構成を示す平面図、図2は本発明
に係るX線検出器用アブソーバの断面図である。
【0006】図1において、真空チャンバ1内には、イ
オンビーム導入管2、ターゲットフレーム3、重元素用
のX線検出器4、軽元素用X線検出器5が設けられてい
る。ビーム導入管2は、図示しない加速器に接続され、
ビームコリメータを介してイオンビームを真空チャンバ
1内に導く。ビーム導入管2の先端に対向するようにタ
ーゲットフレーム3が設けられている。ターゲットフレ
ーム3は、複数の試料Sを保持しており、遠隔操作によ
り移動自在である。ターゲットフレーム3を移動するこ
とにより、イオンビームを照射する試料Sを任意に変え
ることができる。
オンビーム導入管2、ターゲットフレーム3、重元素用
のX線検出器4、軽元素用X線検出器5が設けられてい
る。ビーム導入管2は、図示しない加速器に接続され、
ビームコリメータを介してイオンビームを真空チャンバ
1内に導く。ビーム導入管2の先端に対向するようにタ
ーゲットフレーム3が設けられている。ターゲットフレ
ーム3は、複数の試料Sを保持しており、遠隔操作によ
り移動自在である。ターゲットフレーム3を移動するこ
とにより、イオンビームを照射する試料Sを任意に変え
ることができる。
【0007】図1,図2に示すように、重元素用X線検
出器4は、X線導入用のスリーブ4aを有し、その開放
した先端をターゲットフレーム3上の所定の試料Sに向
けて配置されている。スリーブ4aの先端部には、元素
解析を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性X線等が、
X線検出器へ進入しないように、その進入を阻止し、あ
るいは制限するためのアブソーバ6が取り付けられてい
る。
出器4は、X線導入用のスリーブ4aを有し、その開放
した先端をターゲットフレーム3上の所定の試料Sに向
けて配置されている。スリーブ4aの先端部には、元素
解析を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性X線等が、
X線検出器へ進入しないように、その進入を阻止し、あ
るいは制限するためのアブソーバ6が取り付けられてい
る。
【0008】図2に示すように、アブソーバ6は、スリ
ーブ4aの先端部外周を被覆するγ線遮蔽シリンダ7
と、γ線遮蔽シリンダ7の先端に装着されるコリメータ
8と、このコリメータ8の開口を閉塞するようにコリメ
ータ8上に取り付けられるX線吸収板9とを具備する。
ーブ4aの先端部外周を被覆するγ線遮蔽シリンダ7
と、γ線遮蔽シリンダ7の先端に装着されるコリメータ
8と、このコリメータ8の開口を閉塞するようにコリメ
ータ8上に取り付けられるX線吸収板9とを具備する。
【0009】γ線遮蔽シリンダ7は、ほぼ筒状のアルミ
ニウム製コア7aの外周を鉛製の被覆筒7bで被覆して
成り、スリーブ4aに対して着脱自在である。
ニウム製コア7aの外周を鉛製の被覆筒7bで被覆して
成り、スリーブ4aに対して着脱自在である。
【0010】γ線遮蔽シリンダ7の先端部には、その開
放部を閉塞するようにコリメータ8が装着される。コリ
メータ8は、ステンレススチール製で、シリンダ7の開
放部に着脱自在に嵌合する嵌合部8aと、シリンダ7の
先端面に当接する鍔部8bとを備え、中央には所定直径
の開口8cが形成されている。開口8cは、それの直径
の大きさによりスリーブ4a内へのX線の進入量を調整
する。特性X線の発生量に応じて、適宜取り替えできる
ように、開口8cの直径の異なるものを数種類用意して
おくのが好都合である。
放部を閉塞するようにコリメータ8が装着される。コリ
メータ8は、ステンレススチール製で、シリンダ7の開
放部に着脱自在に嵌合する嵌合部8aと、シリンダ7の
先端面に当接する鍔部8bとを備え、中央には所定直径
の開口8cが形成されている。開口8cは、それの直径
の大きさによりスリーブ4a内へのX線の進入量を調整
する。特性X線の発生量に応じて、適宜取り替えできる
ように、開口8cの直径の異なるものを数種類用意して
おくのが好都合である。
【0011】X線吸収板9は、コリメータ8の開口8c
を閉塞するように、コリメータ8の外側面に取り付けら
れる。X線吸収板9は、X線の透過量を調整し、無用の
ガンマ線、散乱陽子の進入を阻止することができるポリ
カーボネート等の合成樹脂製の薄板である。例えば、ポ
リカーボネート製のX線吸収板9では、厚さ300μmでAl
元素以下の軽元素の特性X線を吸収し、厚さ500μmでK
元素以下の軽元素の特性X線を吸収し、厚さ1000μmでS
e元素以下の軽元素の特性X線を吸収する。従って、厚
さが各々異なるX線吸収板9を取り付けた複数種類のコ
リメータ8を用意し、試料Sが含有する元素に応じて適
宜取り替えられるようにするのが好都合である。
を閉塞するように、コリメータ8の外側面に取り付けら
れる。X線吸収板9は、X線の透過量を調整し、無用の
ガンマ線、散乱陽子の進入を阻止することができるポリ
カーボネート等の合成樹脂製の薄板である。例えば、ポ
リカーボネート製のX線吸収板9では、厚さ300μmでAl
元素以下の軽元素の特性X線を吸収し、厚さ500μmでK
元素以下の軽元素の特性X線を吸収し、厚さ1000μmでS
e元素以下の軽元素の特性X線を吸収する。従って、厚
さが各々異なるX線吸収板9を取り付けた複数種類のコ
リメータ8を用意し、試料Sが含有する元素に応じて適
宜取り替えられるようにするのが好都合である。
【0012】ビーム導入管2を介して試料Sにイオンビ
ームを照射すると、試料Sから連続X線、特性X線、散
乱陽子が発生し、また試料Sを透過した陽子がその進行
方向に対向したチャンバ1の内壁面などに衝突してγ線
を発生する。散乱γ線は、γ線遮蔽シリンダ7によりX
線検出器4内への進入を阻止される。また、コリメータ
8は、X線検出器4内へ入射するX線量を調整し、その
量が検出能を超えない範囲に制限し、さらに小径の開口
8cにより、γ線、散乱陽子の進入を妨げる。X線吸収
板9を装着する場合には、これにより一定範囲のX線を
吸収してX線検出器4内へ入射するX線量を調整すると
共に、γ線の進入をより確実に阻止することができる。
ームを照射すると、試料Sから連続X線、特性X線、散
乱陽子が発生し、また試料Sを透過した陽子がその進行
方向に対向したチャンバ1の内壁面などに衝突してγ線
を発生する。散乱γ線は、γ線遮蔽シリンダ7によりX
線検出器4内への進入を阻止される。また、コリメータ
8は、X線検出器4内へ入射するX線量を調整し、その
量が検出能を超えない範囲に制限し、さらに小径の開口
8cにより、γ線、散乱陽子の進入を妨げる。X線吸収
板9を装着する場合には、これにより一定範囲のX線を
吸収してX線検出器4内へ入射するX線量を調整すると
共に、γ線の進入をより確実に阻止することができる。
【0013】図1、図3において、軽元素用X線検出器
5は、X線導入用のスリーブ5aの開放した先端をター
ゲットフレーム3上の所定の試料に向けて、軽元素用X
線検出器4のスリーブ4aとは異なる角度で配置されて
いる。スリーブ5aの先端部には、散乱陽子リムーバ1
0が取り付けられている。
5は、X線導入用のスリーブ5aの開放した先端をター
ゲットフレーム3上の所定の試料に向けて、軽元素用X
線検出器4のスリーブ4aとは異なる角度で配置されて
いる。スリーブ5aの先端部には、散乱陽子リムーバ1
0が取り付けられている。
【0014】散乱陽子リムーバ10は、軽元素の解析を
阻害する散乱陽子がX線検出器5へ進入するのを阻止す
るためのもので、限定された領域内に封じ込められた強
力な磁場の中を特定X線と散乱陽子とを通過させ、、磁
場により散乱陽子の進路のみを屈曲させる。散乱陽子リ
ムーバ10は、図3に示すように、X線吸収板9を装着
しない上記のアブソーバ6に重ねてスリーブ5aに取り
付けられる。散乱陽子リムーバ10は、本体11と、嵌
合筒12とを具備する。嵌合筒12は、アルミニウム製
であり、アブソーバ6のγ線遮蔽シリンダ7の外周に嵌
合する。
阻害する散乱陽子がX線検出器5へ進入するのを阻止す
るためのもので、限定された領域内に封じ込められた強
力な磁場の中を特定X線と散乱陽子とを通過させ、、磁
場により散乱陽子の進路のみを屈曲させる。散乱陽子リ
ムーバ10は、図3に示すように、X線吸収板9を装着
しない上記のアブソーバ6に重ねてスリーブ5aに取り
付けられる。散乱陽子リムーバ10は、本体11と、嵌
合筒12とを具備する。嵌合筒12は、アルミニウム製
であり、アブソーバ6のγ線遮蔽シリンダ7の外周に嵌
合する。
【0015】図5乃至図7に示すように、散乱陽子リム
ーバ10の本体11は、相互間に合成樹脂製のスペーサ
13を介在させて、2枚の強力な永久磁石板14を対向
配置し、その周囲を軟鉄製のヨーク15でカバーして成
る。スペーサ13は、一対の永久磁石板14の間隔を保
ち、その間にX線の通路16を形成すると共に、この通
路6に永久磁石板14が直接露出しないように被覆する
ためのもので、各一対の第1スペーサ13aと第2スペ
ーサ13bとから成る。第1スペーサ13aは、一対の
永久磁石板14の間隔を保ち、その間にX線の通路16
を形成するためのもので、一対が相互間隔をおいて配置
され、両者の隙間に通路16が形成される。通路16に
は平行磁場が形成される。第2スペーサ13bは、一対
の永久磁石板14の対向する面を被覆するように配置さ
れる。
ーバ10の本体11は、相互間に合成樹脂製のスペーサ
13を介在させて、2枚の強力な永久磁石板14を対向
配置し、その周囲を軟鉄製のヨーク15でカバーして成
る。スペーサ13は、一対の永久磁石板14の間隔を保
ち、その間にX線の通路16を形成すると共に、この通
路6に永久磁石板14が直接露出しないように被覆する
ためのもので、各一対の第1スペーサ13aと第2スペ
ーサ13bとから成る。第1スペーサ13aは、一対の
永久磁石板14の間隔を保ち、その間にX線の通路16
を形成するためのもので、一対が相互間隔をおいて配置
され、両者の隙間に通路16が形成される。通路16に
は平行磁場が形成される。第2スペーサ13bは、一対
の永久磁石板14の対向する面を被覆するように配置さ
れる。
【0016】ヨーク15は、永久磁石板14の周囲への
漏洩磁場を抑えるためのもので、上下左右前後の6枚の
矩形鉄板15a〜15fから成り、永久磁石板14の全
周を被覆している。前後の鉄板15a、15bの中央に
は、通路16に対応する位置に開口15g,15hが形
成されている。このヨーク15により、その表面付近で
の漏洩磁場を数ガウスに抑えることができる。また、前
方鉄板15eの前面には、散乱陽子の衝突によるγ線の
発生を防止するための合成樹脂板17が貼り付けられて
いる。合成樹脂板17は、開口15gに対応する開口1
7aを有する。
漏洩磁場を抑えるためのもので、上下左右前後の6枚の
矩形鉄板15a〜15fから成り、永久磁石板14の全
周を被覆している。前後の鉄板15a、15bの中央に
は、通路16に対応する位置に開口15g,15hが形
成されている。このヨーク15により、その表面付近で
の漏洩磁場を数ガウスに抑えることができる。また、前
方鉄板15eの前面には、散乱陽子の衝突によるγ線の
発生を防止するための合成樹脂板17が貼り付けられて
いる。合成樹脂板17は、開口15gに対応する開口1
7aを有する。
【0017】軽元素の分析においては、散乱陽子の吸収
のために、X線吸収板9を装着したアブソーバ6を用い
た場合、軽元素から発生する特性X線のエネルギが低い
ために、これがX線吸収板9に吸収されてしまう。散乱
陽子リムーバ10は、低エネルギの特性X線の進入を阻
害せずに、散乱陽子の進入のみを阻止する。即ち、通路
16内に進入した散乱陽子は、永久磁石板14による磁
場のために進路を偏向され、X線検出器5へ到達しな
い。永久磁石板14は、その全周をヨーク15に被覆さ
れて漏洩する磁束が極めて少ないので、例えばX線検出
器5の検出用半導体等に対する悪影響は生じない。
のために、X線吸収板9を装着したアブソーバ6を用い
た場合、軽元素から発生する特性X線のエネルギが低い
ために、これがX線吸収板9に吸収されてしまう。散乱
陽子リムーバ10は、低エネルギの特性X線の進入を阻
害せずに、散乱陽子の進入のみを阻止する。即ち、通路
16内に進入した散乱陽子は、永久磁石板14による磁
場のために進路を偏向され、X線検出器5へ到達しな
い。永久磁石板14は、その全周をヨーク15に被覆さ
れて漏洩する磁束が極めて少ないので、例えばX線検出
器5の検出用半導体等に対する悪影響は生じない。
【0018】
【発明の効果】以上のように、本発明においては、元素
の解析を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性X線等
が、X線検出器へ進入しないように、これを阻止し、あ
るいは制限することができるコンパクトで使い勝手の良
好なアブソーバを提供することができる。
の解析を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性X線等
が、X線検出器へ進入しないように、これを阻止し、あ
るいは制限することができるコンパクトで使い勝手の良
好なアブソーバを提供することができる。
【図1】本発明に係る元素分析装置における真空チャン
バの概略構成を示す平面図である。
バの概略構成を示す平面図である。
【図2】本発明に係るX線検出器用アブソーバの断面図
である。
である。
【図3】本発明に係るX線検出器用散乱陽子リムーバの
一部を切り欠いた正面図である。
一部を切り欠いた正面図である。
【図4】本発明に係るX線検出器用散乱陽子リムーバの
側面図である。
側面図である。
【図5】図3におけるV−V断面図である。
【図6】図4におけるVI−VI断面図である。
【図7】図4におけるVII−VII断面図である。
1 真空チャンバ 2 ビーム導入管 3 ターゲットフレーム 4 重元素用X線検出器 4a X線導入スリーブ 5 軽元素用X線検出器 5a X線導入スリーブ 6 アブソーバ 7 γ線遮蔽シリンダ 7a コア 7b 被覆筒 8 コリメータ 8a 嵌合部 8b 鍔部 8c 開口 9 X線吸収板 10 散乱陽子リムーバ 11 本体 12 嵌合筒 13 スペーサ 13a 第1スペーサ 13b 第2スペーサ 14 永久磁石 15 ヨーク 15a〜15f 鉄板 15g 開口 15h 開口 16 通路 17 合成樹脂板 17a 開口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G001 AA03 BA05 CA01 DA06 EA06 FA12 GA01 JA04 JA14 KA01 NA16 NA17 SA01 SA02 SA04 2G088 EE29 EE30 FF03 FF15 GG21 JJ16 JJ17 JJ18 JJ29 JJ30 JJ37 LL02 LL06 LL08 LL15
Claims (5)
- 【請求項1】 加速器から発射されたイオンビームを試
料に照射し、試料から発生するX線のスペクトルにより
元素分析を行う装置に用いられるX線検出器のアブソー
バであって、 分析用真空チャンバ内に、所定の方向に先端が開放する
ように配置された前記X線検出器のX線導入用のスリー
ブの先端部外周を被覆するように取り付けられる鉛製の
被覆筒を含むγ線遮蔽シリンダと、 前記γ線遮蔽シリンダの先端の開放部を閉塞するように
装着され、中央に所定直径の開口を備え、前記スリーブ
内へのX線の進入量を調整するための金属製のコリメー
タとを具備することを特徴とするX線検出器のアブソー
バ。 - 【請求項2】 前記コリメータの前記開口を閉塞するよ
うにコリメータ上に取り付けられ、前記スリーブ内への
X線の進入量を調整し、無用のガンマ線、散乱陽子の進
入を阻止するための所定厚さの合成樹脂製のX線吸収板
をさらに具備することを特徴とする請求項1に記載のX
線検出器のアブソーバ。 - 【請求項3】 前記γ線遮蔽シリンダが、ほぼ筒状の金
属製コアの外周を鉛製の被覆筒で被覆して成ることを特
徴とする請求項1又は2に記載のX線検出器のアブソー
バ。 - 【請求項4】 前記スリーブの先端部に着脱自在である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のX線検出器の
アブソーバ。 - 【請求項5】 前記X線吸収板を備えた前記コリメータ
は、当該X線吸収板の厚さ及び又は前記開口の直径の異
なるものが複数設けられ、選択的に前記γ線遮蔽シリン
ダの先端部に着脱自在に構成されていることを特徴とす
る請求項1に記載のX線検出器のアブソーバ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000018842A JP2001208856A (ja) | 2000-01-27 | 2000-01-27 | 元素分析装置用x線検出器のアブソーバ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2000018842A JP2001208856A (ja) | 2000-01-27 | 2000-01-27 | 元素分析装置用x線検出器のアブソーバ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001208856A true JP2001208856A (ja) | 2001-08-03 |
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ID=18545632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000018842A Pending JP2001208856A (ja) | 2000-01-27 | 2000-01-27 | 元素分析装置用x線検出器のアブソーバ |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001208856A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004019061A1 (ja) * | 2002-08-21 | 2004-03-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | 放射線検出器 |
WO2013105519A1 (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-18 | 独立行政法人放射線医学総合研究所 | 放射性物質検出装置、放射線源位置可視化システム、および放射性物質検出方法 |
-
2000
- 2000-01-27 JP JP2000018842A patent/JP2001208856A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN100346174C (zh) * | 2002-08-21 | 2007-10-31 | 浜松光子学株式会社 | 放射线检测器 |
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JP5400988B1 (ja) * | 2012-01-13 | 2014-01-29 | 独立行政法人放射線医学総合研究所 | 放射性物質検出装置、放射線源位置可視化システム、および放射性物質検出方法 |
US9488602B2 (en) | 2012-01-13 | 2016-11-08 | National Institutes For Quantum And Radiological Science And Technology | Radioactive substance detection device, radiation source location visibility system, and radioactive substance detection method |
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