JP2001208856A - 元素分析装置用ｘ線検出器のアブソーバ - Google Patents
元素分析装置用ｘ線検出器のアブソーバInfo
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- JP2001208856A JP2001208856A JP2000018842A JP2000018842A JP2001208856A JP 2001208856 A JP2001208856 A JP 2001208856A JP 2000018842 A JP2000018842 A JP 2000018842A JP 2000018842 A JP2000018842 A JP 2000018842A JP 2001208856 A JP2001208856 A JP 2001208856A
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- ray
- ray detector
- absorber
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 散乱陽子、γ線、過剰な特性Ｘ線等のＸ線検
出器への進入阻止し、あるいは制限できるコンパクトで
使い勝手の良好なアブソーバを提供する。 【解決手段】 Ｘ線検出器４のＸ線導入用のスリーブ４
ａの先端部に嵌合するようにアブソーバ６を設ける。ア
ブソーバ６には、γ線遮蔽シリンダ７と、それの先端部
に取り付けられるコリメータ８と、それの先端部に取り
付けられるＸ線吸収板９とを具備させる。γ線遮蔽シリ
ンダ７は、基端側がスリーブ３ａの先端部に被挿可能な
ほぼ筒状のコア７ａと、それの外周を被覆する鉛製の被
覆筒７ｂとで構成する。γ線遮蔽シリンダ７の先端に
は、開放部を閉塞するようにコリメータ８を装着する。
コリメータ８の中央には、所定直径の開口８ｃを設け、
スリーブ４ａ内へのＸ線の進入量を調整する。
出器への進入阻止し、あるいは制限できるコンパクトで
使い勝手の良好なアブソーバを提供する。 【解決手段】 Ｘ線検出器４のＸ線導入用のスリーブ４
ａの先端部に嵌合するようにアブソーバ６を設ける。ア
ブソーバ６には、γ線遮蔽シリンダ７と、それの先端部
に取り付けられるコリメータ８と、それの先端部に取り
付けられるＸ線吸収板９とを具備させる。γ線遮蔽シリ
ンダ７は、基端側がスリーブ３ａの先端部に被挿可能な
ほぼ筒状のコア７ａと、それの外周を被覆する鉛製の被
覆筒７ｂとで構成する。γ線遮蔽シリンダ７の先端に
は、開放部を閉塞するようにコリメータ８を装着する。
コリメータ８の中央には、所定直径の開口８ｃを設け、
スリーブ４ａ内へのＸ線の進入量を調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、加速器から発射
されたイオンビームを試料に照射し、試料から発生する
Ｘ線をＸ線検出器により検出し、そのスペクトルにより
試料の元素分析を行う装置に関し、特に、この元素分析
装置に用いられるＸ線検出器への過剰なＸ線、無用なガ
ンマ線や散乱陽子の進入を阻止するためのアブソーバに
係る。
されたイオンビームを試料に照射し、試料から発生する
Ｘ線をＸ線検出器により検出し、そのスペクトルにより
試料の元素分析を行う装置に関し、特に、この元素分析
装置に用いられるＸ線検出器への過剰なＸ線、無用なガ
ンマ線や散乱陽子の進入を阻止するためのアブソーバに
係る。
【０００２】
【従来の技術】従来、粒子線励起Ｘ線法（Particle Ind
uced X-ray Emission）と称される元素分析法が知られ
ている。この方法は、真空チャンバ内で、陽子、アルフ
ァ粒子、重イオン等のイオンビームを試料に照射するこ
とによって、試料に含まれる元素に固有のエネルギを持
つＸ線（特性Ｘ線）を発生させ、この特性Ｘ線をＸ線検
出器で測定し、そのＸ線スペクトルから試料中の元素を
分析する方法である。この方法においては、イオンビー
ムを試料に照射すると、試料から特性Ｘ線の他に、連続
Ｘ線、散乱陽子が発生する。さらに、試料を透過した陽
子がその進行方向に対向した真空チャンバの内壁面など
の衝突してγ線を発生する。散乱陽子、散乱γ線は、Ｘ
線検出器に進入して特性Ｘ線スペクトルに対してノイズ
となり、正確な分析を阻害する。また、試料中に特定の
元素が多量に存在する場合には、対応する特性Ｘ線が多
量に発生してＸ線検出器に進入する。これがそのＸ線検
出器の検出能を上回る場合には、同様に解析を阻害す
る。そこで、従来は、Ｘ線検出器のＸ線受け入れ用のス
リーブの開口の向きを調整したり、このスリーブの先端
部に鉛板を巻き付けたり等の方法で、ノイズの発生を防
止している。
uced X-ray Emission）と称される元素分析法が知られ
ている。この方法は、真空チャンバ内で、陽子、アルフ
ァ粒子、重イオン等のイオンビームを試料に照射するこ
とによって、試料に含まれる元素に固有のエネルギを持
つＸ線（特性Ｘ線）を発生させ、この特性Ｘ線をＸ線検
出器で測定し、そのＸ線スペクトルから試料中の元素を
分析する方法である。この方法においては、イオンビー
ムを試料に照射すると、試料から特性Ｘ線の他に、連続
Ｘ線、散乱陽子が発生する。さらに、試料を透過した陽
子がその進行方向に対向した真空チャンバの内壁面など
の衝突してγ線を発生する。散乱陽子、散乱γ線は、Ｘ
線検出器に進入して特性Ｘ線スペクトルに対してノイズ
となり、正確な分析を阻害する。また、試料中に特定の
元素が多量に存在する場合には、対応する特性Ｘ線が多
量に発生してＸ線検出器に進入する。これがそのＸ線検
出器の検出能を上回る場合には、同様に解析を阻害す
る。そこで、従来は、Ｘ線検出器のＸ線受け入れ用のス
リーブの開口の向きを調整したり、このスリーブの先端
部に鉛板を巻き付けたり等の方法で、ノイズの発生を防
止している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のＸ線検出器
のノイズ防止方法は、手間がかかり、また調整に熟練を
要するという問題点がある。そこで本発明は、解析を阻
害する散乱陽子、γ線、過剰な特性Ｘ線等が、Ｘ線検出
器へ進入することがないように、その進入を阻止し、あ
るいは制限することができるコンパクトで使い勝手の良
好なアブソーバを提供することを課題としている。
のノイズ防止方法は、手間がかかり、また調整に熟練を
要するという問題点がある。そこで本発明は、解析を阻
害する散乱陽子、γ線、過剰な特性Ｘ線等が、Ｘ線検出
器へ進入することがないように、その進入を阻止し、あ
るいは制限することができるコンパクトで使い勝手の良
好なアブソーバを提供することを課題としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明においては、分析
用真空チャンバ内に所定の方向に先端が開放するように
配置されたＸ線検出器のＸ線導入用のスリーブの先端部
外周に嵌合するようにアブソーバを構成する。アブソー
バには、γ線遮蔽シリンダと、このシリンダの先端部に
取り付けられるコリメータと、このコリメータの先端部
に取り付けられるＸ線吸収板とを具備させる。γ線遮蔽
シリンダは、基端側がスリーブの先端部に被挿可能なほ
ぼ筒状のアルミニウム製コアと、それの外周を被覆する
鉛製の被覆筒とで構成する。γ線遮蔽シリンダの先端に
は、開放部を閉塞するようにステンレススチール製のコ
リメータを装着する。コリメータの中央には、所定直径
の開口を設け、スリーブ内へのＸ線の進入量を調整す
る。コリメータ上には、必要に応じ、開口を閉塞するよ
うに合成樹脂製のＸ線吸収板を取り付け、スリーブ内へ
のＸ線の進入量を調整すると共に、無用のガンマ線、散
乱陽子の進入を阻止する。また、発明においては、上記
アブソーバをスリーブの先端部に着脱自在に構成するこ
とにより、使い勝手を向上させた。さらに、発明におい
ては、Ｘ線吸収板の厚さ及び又は開口の直径の異なるコ
リメータを複数用意し、選択的にγ線遮蔽シリンダの先
端部に着脱自在に構成することにより、例えば元素の重
さに応じて容易に交換できるようにした。
用真空チャンバ内に所定の方向に先端が開放するように
配置されたＸ線検出器のＸ線導入用のスリーブの先端部
外周に嵌合するようにアブソーバを構成する。アブソー
バには、γ線遮蔽シリンダと、このシリンダの先端部に
取り付けられるコリメータと、このコリメータの先端部
に取り付けられるＸ線吸収板とを具備させる。γ線遮蔽
シリンダは、基端側がスリーブの先端部に被挿可能なほ
ぼ筒状のアルミニウム製コアと、それの外周を被覆する
鉛製の被覆筒とで構成する。γ線遮蔽シリンダの先端に
は、開放部を閉塞するようにステンレススチール製のコ
リメータを装着する。コリメータの中央には、所定直径
の開口を設け、スリーブ内へのＸ線の進入量を調整す
る。コリメータ上には、必要に応じ、開口を閉塞するよ
うに合成樹脂製のＸ線吸収板を取り付け、スリーブ内へ
のＸ線の進入量を調整すると共に、無用のガンマ線、散
乱陽子の進入を阻止する。また、発明においては、上記
アブソーバをスリーブの先端部に着脱自在に構成するこ
とにより、使い勝手を向上させた。さらに、発明におい
ては、Ｘ線吸収板の厚さ及び又は開口の直径の異なるコ
リメータを複数用意し、選択的にγ線遮蔽シリンダの先
端部に着脱自在に構成することにより、例えば元素の重
さに応じて容易に交換できるようにした。
【０００５】
【発明の実施の形態】図面を参照して本発明の実施の形
態を説明する。図１は本発明に係る元素分析装置におけ
る真空チャンバの概略構成を示す平面図、図２は本発明
に係るＸ線検出器用アブソーバの断面図である。
態を説明する。図１は本発明に係る元素分析装置におけ
る真空チャンバの概略構成を示す平面図、図２は本発明
に係るＸ線検出器用アブソーバの断面図である。
【０００６】図１において、真空チャンバ１内には、イ
オンビーム導入管２、ターゲットフレーム３、重元素用
のＸ線検出器４、軽元素用Ｘ線検出器５が設けられてい
る。ビーム導入管２は、図示しない加速器に接続され、
ビームコリメータを介してイオンビームを真空チャンバ
１内に導く。ビーム導入管２の先端に対向するようにタ
ーゲットフレーム３が設けられている。ターゲットフレ
ーム３は、複数の試料Ｓを保持しており、遠隔操作によ
り移動自在である。ターゲットフレーム３を移動するこ
とにより、イオンビームを照射する試料Ｓを任意に変え
ることができる。
オンビーム導入管２、ターゲットフレーム３、重元素用
のＸ線検出器４、軽元素用Ｘ線検出器５が設けられてい
る。ビーム導入管２は、図示しない加速器に接続され、
ビームコリメータを介してイオンビームを真空チャンバ
１内に導く。ビーム導入管２の先端に対向するようにタ
ーゲットフレーム３が設けられている。ターゲットフレ
ーム３は、複数の試料Ｓを保持しており、遠隔操作によ
り移動自在である。ターゲットフレーム３を移動するこ
とにより、イオンビームを照射する試料Ｓを任意に変え
ることができる。
【０００７】図１，図２に示すように、重元素用Ｘ線検
出器４は、Ｘ線導入用のスリーブ４ａを有し、その開放
した先端をターゲットフレーム３上の所定の試料Ｓに向
けて配置されている。スリーブ４ａの先端部には、元素
解析を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性Ｘ線等が、
Ｘ線検出器へ進入しないように、その進入を阻止し、あ
るいは制限するためのアブソーバ６が取り付けられてい
る。
出器４は、Ｘ線導入用のスリーブ４ａを有し、その開放
した先端をターゲットフレーム３上の所定の試料Ｓに向
けて配置されている。スリーブ４ａの先端部には、元素
解析を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性Ｘ線等が、
Ｘ線検出器へ進入しないように、その進入を阻止し、あ
るいは制限するためのアブソーバ６が取り付けられてい
る。
【０００８】図２に示すように、アブソーバ６は、スリ
ーブ４ａの先端部外周を被覆するγ線遮蔽シリンダ７
と、γ線遮蔽シリンダ７の先端に装着されるコリメータ
８と、このコリメータ８の開口を閉塞するようにコリメ
ータ８上に取り付けられるＸ線吸収板９とを具備する。
ーブ４ａの先端部外周を被覆するγ線遮蔽シリンダ７
と、γ線遮蔽シリンダ７の先端に装着されるコリメータ
８と、このコリメータ８の開口を閉塞するようにコリメ
ータ８上に取り付けられるＸ線吸収板９とを具備する。
【０００９】γ線遮蔽シリンダ７は、ほぼ筒状のアルミ
ニウム製コア７ａの外周を鉛製の被覆筒７ｂで被覆して
成り、スリーブ４ａに対して着脱自在である。
ニウム製コア７ａの外周を鉛製の被覆筒７ｂで被覆して
成り、スリーブ４ａに対して着脱自在である。
【００１０】γ線遮蔽シリンダ７の先端部には、その開
放部を閉塞するようにコリメータ８が装着される。コリ
メータ８は、ステンレススチール製で、シリンダ７の開
放部に着脱自在に嵌合する嵌合部８ａと、シリンダ７の
先端面に当接する鍔部８ｂとを備え、中央には所定直径
の開口８ｃが形成されている。開口８ｃは、それの直径
の大きさによりスリーブ４ａ内へのＸ線の進入量を調整
する。特性Ｘ線の発生量に応じて、適宜取り替えできる
ように、開口８ｃの直径の異なるものを数種類用意して
おくのが好都合である。
放部を閉塞するようにコリメータ８が装着される。コリ
メータ８は、ステンレススチール製で、シリンダ７の開
放部に着脱自在に嵌合する嵌合部８ａと、シリンダ７の
先端面に当接する鍔部８ｂとを備え、中央には所定直径
の開口８ｃが形成されている。開口８ｃは、それの直径
の大きさによりスリーブ４ａ内へのＸ線の進入量を調整
する。特性Ｘ線の発生量に応じて、適宜取り替えできる
ように、開口８ｃの直径の異なるものを数種類用意して
おくのが好都合である。
【００１１】Ｘ線吸収板９は、コリメータ８の開口８ｃ
を閉塞するように、コリメータ８の外側面に取り付けら
れる。Ｘ線吸収板９は、Ｘ線の透過量を調整し、無用の
ガンマ線、散乱陽子の進入を阻止することができるポリ
カーボネート等の合成樹脂製の薄板である。例えば、ポ
リカーボネート製のＸ線吸収板９では、厚さ300μmでAl
元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収し、厚さ500μmでK
元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収し、厚さ1000μmでS
e元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収する。従って、厚
さが各々異なるＸ線吸収板９を取り付けた複数種類のコ
リメータ８を用意し、試料Ｓが含有する元素に応じて適
宜取り替えられるようにするのが好都合である。
を閉塞するように、コリメータ８の外側面に取り付けら
れる。Ｘ線吸収板９は、Ｘ線の透過量を調整し、無用の
ガンマ線、散乱陽子の進入を阻止することができるポリ
カーボネート等の合成樹脂製の薄板である。例えば、ポ
リカーボネート製のＸ線吸収板９では、厚さ300μmでAl
元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収し、厚さ500μmでK
元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収し、厚さ1000μmでS
e元素以下の軽元素の特性Ｘ線を吸収する。従って、厚
さが各々異なるＸ線吸収板９を取り付けた複数種類のコ
リメータ８を用意し、試料Ｓが含有する元素に応じて適
宜取り替えられるようにするのが好都合である。
【００１２】ビーム導入管２を介して試料Ｓにイオンビ
ームを照射すると、試料Ｓから連続Ｘ線、特性Ｘ線、散
乱陽子が発生し、また試料Ｓを透過した陽子がその進行
方向に対向したチャンバ１の内壁面などに衝突してγ線
を発生する。散乱γ線は、γ線遮蔽シリンダ７によりＸ
線検出器４内への進入を阻止される。また、コリメータ
８は、Ｘ線検出器４内へ入射するＸ線量を調整し、その
量が検出能を超えない範囲に制限し、さらに小径の開口
８ｃにより、γ線、散乱陽子の進入を妨げる。Ｘ線吸収
板９を装着する場合には、これにより一定範囲のＸ線を
吸収してＸ線検出器４内へ入射するＸ線量を調整すると
共に、γ線の進入をより確実に阻止することができる。
ームを照射すると、試料Ｓから連続Ｘ線、特性Ｘ線、散
乱陽子が発生し、また試料Ｓを透過した陽子がその進行
方向に対向したチャンバ１の内壁面などに衝突してγ線
を発生する。散乱γ線は、γ線遮蔽シリンダ７によりＸ
線検出器４内への進入を阻止される。また、コリメータ
８は、Ｘ線検出器４内へ入射するＸ線量を調整し、その
量が検出能を超えない範囲に制限し、さらに小径の開口
８ｃにより、γ線、散乱陽子の進入を妨げる。Ｘ線吸収
板９を装着する場合には、これにより一定範囲のＸ線を
吸収してＸ線検出器４内へ入射するＸ線量を調整すると
共に、γ線の進入をより確実に阻止することができる。
【００１３】図１、図３において、軽元素用Ｘ線検出器
５は、Ｘ線導入用のスリーブ５ａの開放した先端をター
ゲットフレーム３上の所定の試料に向けて、軽元素用Ｘ
線検出器４のスリーブ４ａとは異なる角度で配置されて
いる。スリーブ５ａの先端部には、散乱陽子リムーバ１
０が取り付けられている。
５は、Ｘ線導入用のスリーブ５ａの開放した先端をター
ゲットフレーム３上の所定の試料に向けて、軽元素用Ｘ
線検出器４のスリーブ４ａとは異なる角度で配置されて
いる。スリーブ５ａの先端部には、散乱陽子リムーバ１
０が取り付けられている。
【００１４】散乱陽子リムーバ１０は、軽元素の解析を
阻害する散乱陽子がＸ線検出器５へ進入するのを阻止す
るためのもので、限定された領域内に封じ込められた強
力な磁場の中を特定Ｘ線と散乱陽子とを通過させ、、磁
場により散乱陽子の進路のみを屈曲させる。散乱陽子リ
ムーバ１０は、図３に示すように、Ｘ線吸収板９を装着
しない上記のアブソーバ６に重ねてスリーブ５ａに取り
付けられる。散乱陽子リムーバ１０は、本体１１と、嵌
合筒１２とを具備する。嵌合筒１２は、アルミニウム製
であり、アブソーバ６のγ線遮蔽シリンダ７の外周に嵌
合する。
阻害する散乱陽子がＸ線検出器５へ進入するのを阻止す
るためのもので、限定された領域内に封じ込められた強
力な磁場の中を特定Ｘ線と散乱陽子とを通過させ、、磁
場により散乱陽子の進路のみを屈曲させる。散乱陽子リ
ムーバ１０は、図３に示すように、Ｘ線吸収板９を装着
しない上記のアブソーバ６に重ねてスリーブ５ａに取り
付けられる。散乱陽子リムーバ１０は、本体１１と、嵌
合筒１２とを具備する。嵌合筒１２は、アルミニウム製
であり、アブソーバ６のγ線遮蔽シリンダ７の外周に嵌
合する。
【００１５】図５乃至図７に示すように、散乱陽子リム
ーバ１０の本体１１は、相互間に合成樹脂製のスペーサ
１３を介在させて、２枚の強力な永久磁石板１４を対向
配置し、その周囲を軟鉄製のヨーク１５でカバーして成
る。スペーサ１３は、一対の永久磁石板１４の間隔を保
ち、その間にＸ線の通路１６を形成すると共に、この通
路６に永久磁石板１４が直接露出しないように被覆する
ためのもので、各一対の第１スペーサ１３ａと第２スペ
ーサ１３ｂとから成る。第１スペーサ１３ａは、一対の
永久磁石板１４の間隔を保ち、その間にＸ線の通路１６
を形成するためのもので、一対が相互間隔をおいて配置
され、両者の隙間に通路１６が形成される。通路１６に
は平行磁場が形成される。第２スペーサ１３ｂは、一対
の永久磁石板１４の対向する面を被覆するように配置さ
れる。
ーバ１０の本体１１は、相互間に合成樹脂製のスペーサ
１３を介在させて、２枚の強力な永久磁石板１４を対向
配置し、その周囲を軟鉄製のヨーク１５でカバーして成
る。スペーサ１３は、一対の永久磁石板１４の間隔を保
ち、その間にＸ線の通路１６を形成すると共に、この通
路６に永久磁石板１４が直接露出しないように被覆する
ためのもので、各一対の第１スペーサ１３ａと第２スペ
ーサ１３ｂとから成る。第１スペーサ１３ａは、一対の
永久磁石板１４の間隔を保ち、その間にＸ線の通路１６
を形成するためのもので、一対が相互間隔をおいて配置
され、両者の隙間に通路１６が形成される。通路１６に
は平行磁場が形成される。第２スペーサ１３ｂは、一対
の永久磁石板１４の対向する面を被覆するように配置さ
れる。
【００１６】ヨーク１５は、永久磁石板１４の周囲への
漏洩磁場を抑えるためのもので、上下左右前後の６枚の
矩形鉄板１５ａ〜１５ｆから成り、永久磁石板１４の全
周を被覆している。前後の鉄板１５ａ、１５ｂの中央に
は、通路１６に対応する位置に開口１５ｇ，１５ｈが形
成されている。このヨーク１５により、その表面付近で
の漏洩磁場を数ガウスに抑えることができる。また、前
方鉄板１５ｅの前面には、散乱陽子の衝突によるγ線の
発生を防止するための合成樹脂板１７が貼り付けられて
いる。合成樹脂板１７は、開口１５ｇに対応する開口１
７ａを有する。
漏洩磁場を抑えるためのもので、上下左右前後の６枚の
矩形鉄板１５ａ〜１５ｆから成り、永久磁石板１４の全
周を被覆している。前後の鉄板１５ａ、１５ｂの中央に
は、通路１６に対応する位置に開口１５ｇ，１５ｈが形
成されている。このヨーク１５により、その表面付近で
の漏洩磁場を数ガウスに抑えることができる。また、前
方鉄板１５ｅの前面には、散乱陽子の衝突によるγ線の
発生を防止するための合成樹脂板１７が貼り付けられて
いる。合成樹脂板１７は、開口１５ｇに対応する開口１
７ａを有する。
【００１７】軽元素の分析においては、散乱陽子の吸収
のために、Ｘ線吸収板９を装着したアブソーバ６を用い
た場合、軽元素から発生する特性Ｘ線のエネルギが低い
ために、これがＸ線吸収板９に吸収されてしまう。散乱
陽子リムーバ１０は、低エネルギの特性Ｘ線の進入を阻
害せずに、散乱陽子の進入のみを阻止する。即ち、通路
１６内に進入した散乱陽子は、永久磁石板１４による磁
場のために進路を偏向され、Ｘ線検出器５へ到達しな
い。永久磁石板１４は、その全周をヨーク１５に被覆さ
れて漏洩する磁束が極めて少ないので、例えばＸ線検出
器５の検出用半導体等に対する悪影響は生じない。
のために、Ｘ線吸収板９を装着したアブソーバ６を用い
た場合、軽元素から発生する特性Ｘ線のエネルギが低い
ために、これがＸ線吸収板９に吸収されてしまう。散乱
陽子リムーバ１０は、低エネルギの特性Ｘ線の進入を阻
害せずに、散乱陽子の進入のみを阻止する。即ち、通路
１６内に進入した散乱陽子は、永久磁石板１４による磁
場のために進路を偏向され、Ｘ線検出器５へ到達しな
い。永久磁石板１４は、その全周をヨーク１５に被覆さ
れて漏洩する磁束が極めて少ないので、例えばＸ線検出
器５の検出用半導体等に対する悪影響は生じない。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、本発明においては、元素
の解析を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性Ｘ線等
が、Ｘ線検出器へ進入しないように、これを阻止し、あ
るいは制限することができるコンパクトで使い勝手の良
好なアブソーバを提供することができる。
の解析を阻害する散乱陽子、γ線、過剰な特性Ｘ線等
が、Ｘ線検出器へ進入しないように、これを阻止し、あ
るいは制限することができるコンパクトで使い勝手の良
好なアブソーバを提供することができる。
【図１】本発明に係る元素分析装置における真空チャン
バの概略構成を示す平面図である。
バの概略構成を示す平面図である。
【図２】本発明に係るＸ線検出器用アブソーバの断面図
である。
である。
【図３】本発明に係るＸ線検出器用散乱陽子リムーバの
一部を切り欠いた正面図である。
一部を切り欠いた正面図である。
【図４】本発明に係るＸ線検出器用散乱陽子リムーバの
側面図である。
側面図である。
【図５】図３におけるV−V断面図である。
【図６】図４におけるVI−VI断面図である。
【図７】図４におけるVII−VII断面図である。
１ 真空チャンバ ２ ビーム導入管 ３ ターゲットフレーム ４ 重元素用Ｘ線検出器 ４ａ Ｘ線導入スリーブ ５ 軽元素用Ｘ線検出器 ５ａ Ｘ線導入スリーブ ６ アブソーバ ７ γ線遮蔽シリンダ ７ａ コア ７ｂ 被覆筒 ８ コリメータ ８ａ 嵌合部 ８ｂ 鍔部 ８ｃ 開口 ９ Ｘ線吸収板 １０ 散乱陽子リムーバ １１ 本体 １２ 嵌合筒 １３ スペーサ １３ａ 第１スペーサ １３ｂ 第２スペーサ １４ 永久磁石 １５ ヨーク １５ａ〜１５ｆ 鉄板 １５ｇ 開口 １５ｈ 開口 １６ 通路 １７ 合成樹脂板 １７ａ 開口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G001 AA03 BA05 CA01 DA06 EA06 FA12 GA01 JA04 JA14 KA01 NA16 NA17 SA01 SA02 SA04 2G088 EE29 EE30 FF03 FF15 GG21 JJ16 JJ17 JJ18 JJ29 JJ30 JJ37 LL02 LL06 LL08 LL15
Claims (5)
- 【請求項１】 加速器から発射されたイオンビームを試
料に照射し、試料から発生するＸ線のスペクトルにより
元素分析を行う装置に用いられるＸ線検出器のアブソー
バであって、 分析用真空チャンバ内に、所定の方向に先端が開放する
ように配置された前記Ｘ線検出器のＸ線導入用のスリー
ブの先端部外周を被覆するように取り付けられる鉛製の
被覆筒を含むγ線遮蔽シリンダと、 前記γ線遮蔽シリンダの先端の開放部を閉塞するように
装着され、中央に所定直径の開口を備え、前記スリーブ
内へのＸ線の進入量を調整するための金属製のコリメー
タとを具備することを特徴とするＸ線検出器のアブソー
バ。 - 【請求項２】 前記コリメータの前記開口を閉塞するよ
うにコリメータ上に取り付けられ、前記スリーブ内への
Ｘ線の進入量を調整し、無用のガンマ線、散乱陽子の進
入を阻止するための所定厚さの合成樹脂製のＸ線吸収板
をさらに具備することを特徴とする請求項１に記載のＸ
線検出器のアブソーバ。 - 【請求項３】 前記γ線遮蔽シリンダが、ほぼ筒状の金
属製コアの外周を鉛製の被覆筒で被覆して成ることを特
徴とする請求項１又は２に記載のＸ線検出器のアブソー
バ。 - 【請求項４】 前記スリーブの先端部に着脱自在である
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線検出器の
アブソーバ。 - 【請求項５】 前記Ｘ線吸収板を備えた前記コリメータ
は、当該Ｘ線吸収板の厚さ及び又は前記開口の直径の異
なるものが複数設けられ、選択的に前記γ線遮蔽シリン
ダの先端部に着脱自在に構成されていることを特徴とす
る請求項１に記載のＸ線検出器のアブソーバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000018842A JP2001208856A (ja) | 2000-01-27 | 2000-01-27 | 元素分析装置用ｘ線検出器のアブソーバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000018842A JP2001208856A (ja) | 2000-01-27 | 2000-01-27 | 元素分析装置用ｘ線検出器のアブソーバ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001208856A true JP2001208856A (ja) | 2001-08-03 |
Family
ID=18545632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000018842A Pending JP2001208856A (ja) | 2000-01-27 | 2000-01-27 | 元素分析装置用ｘ線検出器のアブソーバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001208856A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004019061A1 (ja) * | 2002-08-21 | 2004-03-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | 放射線検出器 |
| WO2013105519A1 (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-18 | 独立行政法人放射線医学総合研究所 | 放射性物質検出装置、放射線源位置可視化システム、および放射性物質検出方法 |
-
2000
- 2000-01-27 JP JP2000018842A patent/JP2001208856A/ja active Pending
Cited By (6)
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| WO2004019061A1 (ja) * | 2002-08-21 | 2004-03-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | 放射線検出器 |
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| CN100346174C (zh) * | 2002-08-21 | 2007-10-31 | 浜松光子学株式会社 | 放射线检测器 |
| WO2013105519A1 (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-18 | 独立行政法人放射線医学総合研究所 | 放射性物質検出装置、放射線源位置可視化システム、および放射性物質検出方法 |
| JP5400988B1 (ja) * | 2012-01-13 | 2014-01-29 | 独立行政法人放射線医学総合研究所 | 放射性物質検出装置、放射線源位置可視化システム、および放射性物質検出方法 |
| US9488602B2 (en) | 2012-01-13 | 2016-11-08 | National Institutes For Quantum And Radiological Science And Technology | Radioactive substance detection device, radiation source location visibility system, and radioactive substance detection method |
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