JP2001129962A - Method and apparatus for screen printing - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten the time required for replacing a base and recognizing a reference position mark by a recognition camera. SOLUTION: A controller controls a base conveying loader 30 and a base delivering loader 31, and substantially synchronously conducts conveying of the base 11 onto a support base 40 by the loader 30 and delivering of the base 11 from the base 40 by the loader 31 along a base conveying and delivering direction A. The controller also substantially synchronously conducts supporting of the base 11 to the base 40 in association with the elevating of the base 40 by a support base elevating mechanism 42, positioning of the base 11 on the base 40 by a base control mechanism 55, rising of a movable frame 46 of the mechanism 2 by a movable frame elevating mechanism 47, horizontal moving of a table 20 along a direction of an arrow Y by a table horizontally moving mechanism 22, rising of the frame 46 of the mechanism 42 and positioning of the base 11 to a predetermined recognized position for recognizing a reference position mark by a recognition camera 80 by the horizontal movement of the table 20.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、印刷ペーストをス
クリーンを介して基板上に印刷するためのスクリーン印
刷方法及びスクリーン印刷装置に関し、詳しくは印刷時
間の短縮を図るためのものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screen printing method and a screen printing apparatus for printing a printing paste on a substrate via a screen, and more particularly to reducing a printing time.

【０００２】[0002]

【従来の技術】図８を参照すると、従来、特許第２８５
０１５０号公報には、スクリーン版９１に対して水平移
動及び昇降可能なステージ９２上に、プリント基板９３
を固定させ、該プリント基板９３にスクリーン版９１を
介して、印刷ヘッド９４によって印刷ペーストを印刷す
るスクリーン印刷機９０が記載されている。2. Description of the Related Art Referring to FIG.
No. 0150 discloses a printed circuit board 93 on a stage 92 which can be moved and moved up and down with respect to a screen plate 91.
Is described, and a screen printing machine 90 that prints a printing paste by a print head 94 on the printed board 93 via a screen plate 91 is described.

【０００３】スクリーン印刷機９０において、プリント
基板９３及びスクリーン版９１の位置合わせは、プリン
ト基板９３及びスクリーン版９１のそれぞれに設けられ
た位置決め用マーク９５を、認識用カメラ９６によって
別々に検出し、該検出に基づいてステージ９２及びスク
リーン版９１をそれぞれ水平及び垂直方向に移動させる
ことにより、行われる。In the screen printing machine 90, the positioning of the printed board 93 and the screen plate 91 is performed by separately detecting the positioning marks 95 provided on the printed board 93 and the screen plate 91 by the recognition camera 96, respectively. This is performed by moving the stage 92 and the screen plate 91 in the horizontal and vertical directions based on the detection.

【０００４】また、ステージ９２上へのプリント基板９
３の搬入及び搬出はそれぞれ、図示しないローダ及びア
ンローダによって行われる。ローダ及びアンローダはそ
れぞれ、ステージ９２に搭載された共用の駆動機構（図
示しない）によって駆動される。すなわちローダは、プ
リント基板９３の搬入時、レール９７の図８中右端まで
水平移動されたステージ９２の駆動機構に連結されるこ
とにより、駆動機構に駆動されて作動される。またアン
ローダは、プリント基板９３の搬出時、レール９７の図
８中左端まで水平移動されたステージ９２の駆動機構に
連結されることにより、駆動機構に駆動されて作動され
る。[0004] A printed circuit board 9 is mounted on a stage 92.
The loading and unloading of 3 are performed by a loader and an unloader (not shown), respectively. Each of the loader and the unloader is driven by a common drive mechanism (not shown) mounted on the stage 92. That is, when loading the printed circuit board 93, the loader is connected to the drive mechanism of the stage 92 horizontally moved to the right end of the rail 97 in FIG. When the printed circuit board 93 is carried out, the unloader is connected to the drive mechanism of the stage 92 horizontally moved to the left end of the rail 97 in FIG.

【０００５】また図９を参照すると、特開平１０−４４
３７０号公報には、基板１０１に予め付された位置認識
用マーク（図示しない）を撮像する第１の撮像手段１０
２と、スクリーン１０３に予め付された位置認識用マー
ク（図示しない）を撮像する第２の撮像手段１０４とを
備えたスクリーン印刷機１００が記載されている。スク
リーン印刷機１００は、各撮像手段により得られた位置
情報のズレに基づいて、基板支持テーブル１０５及びス
クリーン支持手段１０６をそれぞれ水平又は垂直方向に
必要量移動させ、基板１０１及びスクリーン１０３の位
置合わせを行う。[0005] Referring to FIG.
No. 370 discloses a first image pickup means 10 for picking up an image of a position recognition mark (not shown) attached to the substrate 101 in advance.
2, a screen printing machine 100 provided with a second image pickup means 104 for picking up a position recognition mark (not shown) attached to the screen 103 in advance. The screen printer 100 moves the substrate support table 105 and the screen support means 106 by a required amount in the horizontal or vertical direction, respectively, based on the displacement of the position information obtained by each imaging means, and aligns the substrate 101 and the screen 103. I do.

【０００６】第１の撮像手段１０２は、基台１０７上に
設置された基板支持テーブル１０５と、スクリーン１０
３を支持するスクリーン支持手段１０６との間に配設さ
れており、カメラ１０８によって基板支持テーブル１０
５上に載置された基板１０１の位置認識用マークを撮像
する。 また第２の撮像手段１０４は、スクリーン支持
手段１０６の上方に配設されており、カメラ１０９によ
ってスクリーン支持手段１０６に支持されたスクリーン
１０３の位置認識用マークを撮像する。The first image pickup means 102 includes a substrate support table 105 installed on a base 107 and a screen 10
3 and a screen supporting means 106 for supporting the substrate supporting table 10 by a camera 108.
An image of the position recognition mark of the substrate 101 placed on the device 5 is taken. The second imaging unit 104 is disposed above the screen support unit 106, and captures a position recognition mark of the screen 103 supported by the screen support unit 106 by the camera 109.

【０００７】更に図１０を参照すると、特開平７−３２
９２７６号公報には、基台（図示しない）に図１０中紙
面に垂直な方向に移動可能に設けられたＸテーブル１１
１上に、Ｙテーブル１１２を図１０中左右方向に移動可
能に支持し、Ｙテーブル１１２上には、第１及び第２の
昇降板１１３，１１４をそれぞれ、図１０中上下方向に
昇降可能に支持したスクリーン印刷装置１１０が記載さ
れている。[0007] Further referring to FIG.
No. 9276 discloses an X table 11 provided on a base (not shown) so as to be movable in a direction perpendicular to the sheet of FIG.
On the Y table 112, a Y table 112 is supported so as to be movable in the horizontal direction in FIG. 10, and on the Y table 112, first and second elevating plates 113 and 114 are respectively movable up and down in FIG. A supported screen printing device 110 is described.

【０００８】Ｘテーブル１１１は、Ｘモータ１１５によ
り移動される。Ｙテーブル１１２は、Ｙモータ１１６に
より移動される。The X table 111 is moved by an X motor 115. The Y table 112 is moved by a Y motor 116.

【０００９】第１の昇降板１１３は、タイミングベルト
１１７を介して連動される一対の送りネジ１１８に、ナ
ット１１９を螺合されることにより、図１０中上下方向
に昇降可能に支持される。第１の昇降板１１３は、第１
のモータ１２０の回転に伴う送りネジ１１８の回転によ
って、送りネジ１１８及びナット１１９間で生じるネジ
作用により、送りネジ１１８に沿ってＹテーブル１１２
に対して図１０中上下方向に昇降される。The first elevating plate 113 is supported so as to be able to move up and down in FIG. 10 by screwing a nut 119 to a pair of feed screws 118 interlocked via a timing belt 117. The first lifting / lowering plate 113 is
The rotation of the feed screw 118 accompanying the rotation of the motor 120 causes the screw action generated between the feed screw 118 and the nut 119 to cause the Y table 112 to move along the feed screw 118.
Is moved up and down in FIG.

【００１０】第２の昇降板１１４は、第１の昇降板１１
３上に立設された一対の昇降ガイド１２１に、ベアリン
グ１２２を介して昇降可能に支持される。第２の昇降板
１１４は、第２のモータ１２３の回転に伴う送りネジ１
２４の回転によって、送りネジ１２４及び送りナット１
２５間で生じるネジ作用により、昇降ガイド１２１に沿
って第１の昇降板１１３に対して図１０中上下方向に昇
降される。第２の昇降板１１４上には、吸着ブロック１
２６が設けられ、吸着ブロック１２６上には、プリント
基板１２７が吸着される。The second lifting plate 114 is provided on the first lifting plate 11.
3 is supported by a pair of elevating guides 121 erected on the upper side 3 via bearings 122 so as to be able to ascend and descend. The second lifting plate 114 is provided with a feed screw 1 associated with the rotation of the second motor 123.
24, the feed screw 124 and the feed nut 1
Due to the screw action generated between the first and second lifts 25, the first lift plate 113 is raised and lowered along the lift guide 121 in the vertical direction in FIG. The suction block 1 is placed on the second lifting plate 114.
The printed board 127 is sucked on the suction block 126.

【００１１】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上述した特許第２８５
０１５０号公報に記載の図８に示すスクリーン印刷機９
０では、ローダ及びアンローダがそれぞれ、ステージ９
２に搭載された共用の駆動機構によって駆動され、ステ
ージ９２へのプリント基板９３の搬入及び搬出が、レー
ル９７の図８中右端部及び左端部において別々に行われ
る。したがって、搬入されるプリント基板９３と搬出さ
れるプリント基板９３とが接触する等の不具合は生じな
い。SUMMARY OF THE INVENTION The aforementioned Japanese Patent No. 285
Screen printing machine 9 shown in FIG.
0, the loader and the unloader
The carriage 97 is driven by a common drive mechanism mounted on the stage 2, and the loading and unloading of the printed circuit board 93 to and from the stage 92 are performed separately at the right end and the left end of the rail 97 in FIG. Therefore, troubles such as the printed board 93 to be carried in and the printed board 93 to be carried out do not occur.

【００１２】しかし、ローダ又はアンローダにステージ
９２の駆動機構を連結させ、又は連結を解除させるため
に時間を要し、プリント基板９３の入れ替えに要する時
間が長くなるという問題があった。また、ステージ９２
がローダとスクリーン９１との間を移動し、認識用カメ
ラ９６による位置認識部がローダとスクリーン９１との
間にあるので、装置の水平面内での設置面積が大きく、
コンパクト化を図ることが困難であるという問題もあっ
た。However, there is a problem that it takes time to connect or disconnect the drive mechanism of the stage 92 to the loader or the unloader, and the time required to replace the printed circuit board 93 becomes long. Also, stage 92
Moves between the loader and the screen 91, and the position recognition unit by the recognition camera 96 is located between the loader and the screen 91, so that the installation area of the apparatus in the horizontal plane is large,
There was also a problem that it was difficult to achieve compactness.

【００１３】また、特開平１０−４４３７０号公報に記
載の図９に示すスクリーン印刷機１００では、基板１０
１及びスクリーン１０３の各位置認識用マークをそれぞ
れ、図９中上下に配置した別々の撮像手段によって撮像
するので、基板１０１の撮像に際して、例えば基板１０
１をスクリーン１０３と垂直方向に重ならない位置に移
動させる必要がない。したがって、装置の水平面内での
設置面積を小さくすることができる。In the screen printer 100 shown in FIG. 9 described in JP-A-10-44370, the substrate 10
Since the position recognition marks on the screen 1 and the screen 103 are respectively imaged by separate image pickup means arranged in the upper and lower directions in FIG.
1 does not need to be moved to a position that does not overlap the screen 103 in the vertical direction. Therefore, the installation area of the device in the horizontal plane can be reduced.

【００１４】しかし、各撮像手段の基準位置での光軸に
極僅かでもズレがあると、検出精度を高める上で極めて
大きな問題となり、正確な検出位置を得られないという
問題があった。また、撮像手段によりマークを正確に検
出しても、実際の位置合わせにおいて、基板及びスクリ
ーンをマーク検出位置から垂直方向に移動させる動作が
あるので、軸が垂直方向に対して極僅かでもずれている
と正確に位置合わせができない。更に、撮像手段の進退
時間が必要なので、作業時間が長くなるという問題があ
った。However, if the optical axis at the reference position of each image pickup means is slightly deviated, there is a serious problem in improving the detection accuracy, and there has been a problem that an accurate detection position cannot be obtained. Further, even if the mark is accurately detected by the image pickup means, there is an operation of moving the substrate and the screen in the vertical direction from the mark detection position in the actual alignment, so that the axis is displaced by a very small amount with respect to the vertical direction. Position cannot be adjusted correctly. Further, there is a problem that the working time becomes longer because the moving time of the imaging means is required.

【００１５】更に、特開平７−３２９２７６号公報に記
載の図１０に示すスクリーン印刷装置１１０では、第１
の昇降板１１３を昇降させる機構と、第２の昇降板１１
４を昇降させる機構とが別機構であり、かつ、プリント
基板１２７の吸着ブロック１２６、第２の昇降板１１４
及びその昇降機構がそれぞれ、第１の昇降板１１３上に
載った構成である。このため、重量が嵩んで昇降動作の
際の慣性が大きくなり、ハンチングが大きく現れるとい
う問題があった。ハンチングが大きく現れると、ハンチ
ングが収まるまで待つ必要があり、印刷完了までの所要
時間が長くなるという問題があった。また、２つの昇降
機構による誤差が相乗され、位置合わせ精度が低いとい
う問題があった。Further, in the screen printing apparatus 110 shown in FIG. 10 described in Japanese Patent Laid-Open No. 7-329276, the first
Mechanism for raising and lowering the lifting plate 113 of the
4 is a different mechanism from the suction block 126 of the printed circuit board 127, and the second lifting plate 114.
And its lifting mechanism are mounted on a first lifting plate 113, respectively. For this reason, there is a problem in that the weight is large and the inertia at the time of the ascent / descent operation is increased, and hunting appears significantly. If hunting appears significantly, it is necessary to wait until the hunting stops, and there is a problem that the time required to complete printing becomes long. In addition, there is a problem that an error caused by the two lifting mechanisms is multiplied and the positioning accuracy is low.

【００１６】本発明は、基板の入れ替え及び認識カメラ
による基準位置マークの認識等に要する時間を短縮する
ことができ、これにより印刷時間の短縮を図ることがで
き、高い位置合わせ精度が得られ、装置の小型化を図れ
るスクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置を提供す
ることを目的としている。According to the present invention, the time required for exchanging substrates and recognizing a reference position mark by a recognition camera and the like can be reduced, whereby the printing time can be reduced, and high alignment accuracy can be obtained. It is an object of the present invention to provide a screen printing method and a screen printing device that can reduce the size of the device.

【００１７】[0017]

【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、下
記構成により達成される。 支持台に支持された基板に、スクリーンテーブル部
に支持されたスクリーンを介して、印刷ヘッド部によっ
て印刷ペーストを印刷するスクリーン印刷方法におい
て、テーブル部に対して昇降可能な可動フレームに昇降
可能に支持された支持台上に、基板搬入手段により、基
板を所定の基板搬入搬出方向に沿って搬入させるととも
に、基板搬入手段による基板の搬入に略同期して、基板
搬出手段により、支持台上の基板を前記基板搬入搬出方
向に沿って搬出させる基板搬入搬出工程と、基板を搬入
された支持台を、支持台昇降手段によって可動フレーム
に対して昇降させることにより、基板を支持台に支持さ
せるとともに、基板規制手段によって支持台上で位置決
めし、更にこれらに略同期して、可動フレームを可動フ
レーム昇降手段によってテーブル部に対して上昇させる
とともに、テーブル部をテーブル部水平移動手段によっ
て基板搬入搬出方向に対して略直交する方向に沿って水
平移動させることにより、支持台上の基板を所定の位置
に位置させる基板位置決め工程と、基板搬入搬出方向に
沿う認識カメラの水平移動、及びテーブル部水平移動手
段による基板搬入搬出方向と略直交する方向に沿うテー
ブル部の水平移動に伴って、基板に予め付与された基準
位置マークを認識カメラに認識させる基板基準位置マー
ク認識工程と、基板搬入搬出方向、及び基板搬入搬出方
向と略直交する方向に沿う認識カメラの水平移動に伴っ
て、スクリーンに予め付与された基準位置マークを認識
カメラに認識させるスクリーン基準位置マーク認識工程
と、認識カメラによって認識された前記各基準位置マー
クの位置に基づいて、テーブル部を、テーブル部水平移
動手段によって基板搬入搬出方向に対して略直交する方
向に沿って水平移動させ、またスクリーンを支持するス
クリーンテーブル部を、スクリーンテーブル部水平移動
手段によって基板搬入搬出方向に沿って移動させるとと
もに、スクリーンテーブル部回転手段によって支持台上
の基板と略平行な水平面内で回転させることにより、基
板及びスクリーンの相対的な位置合わせを行う位置補正
工程と、スクリーンテーブル部の上方に配置された印刷
ヘッド部により、スクリーンテーブル部に支持されたス
クリーンを介して、印刷ペーストを基板上に印刷する印
刷工程とを有することを特徴とするスクリーン印刷方
法。The above object of the present invention is achieved by the following constitution. In a screen printing method for printing a print paste by a print head unit on a substrate supported by a support table through a screen supported by a screen table unit, the screen unit is supported by a movable frame that can move up and down with respect to the table unit. The substrate is loaded on the support table by the substrate loading means in a predetermined substrate loading / unloading direction, and substantially in synchronization with the loading of the substrate by the substrate loading means, A substrate loading and unloading step of unloading the substrate along the substrate loading and unloading direction, and the support table into which the substrate has been loaded is raised and lowered with respect to the movable frame by the support table lifting means, thereby supporting the substrate on the support table. The movable frame is positioned by the movable frame elevating means by positioning the movable frame on the support table by the substrate regulating means and further substantially in synchronization with the positioning. The table on the support table is positioned at a predetermined position by raising the table relative to the table section and horizontally moving the table section by a table section horizontal moving means in a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction. The substrate positioning step, the horizontal movement of the recognition camera along the substrate loading / unloading direction, and the horizontal movement of the table unit along the direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction by the table unit horizontal moving means, the substrate unit is provided in advance with the substrate. A board reference position mark recognition step for causing the recognition camera to recognize the reference position mark, and a reference previously given to the screen in accordance with the horizontal movement of the recognition camera along the board loading / unloading direction and the direction substantially perpendicular to the board loading / unloading direction. A screen reference position mark recognition step for causing the recognition camera to recognize the position mark; and each of the screen marks recognized by the recognition camera. Based on the position of the semi-position mark, the table section is horizontally moved by the table section horizontal moving means in a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction, and the screen table section supporting the screen is moved to the screen table section. A position at which the substrate and the screen are relatively aligned by being moved in a substrate loading / unloading direction by the horizontal moving means and rotated in a horizontal plane substantially parallel to the substrate on the support table by the screen table rotating means. A screen printing step comprising: a correction step; and a printing step of printing a printing paste on a substrate by a print head unit disposed above the screen table unit through a screen supported by the screen table unit. Method.

【００１８】 支持台に支持された基板に、スクリー
ンテーブル部に支持されたスクリーンを介して、印刷ヘ
ッド部によって印刷ペーストを印刷するスクリーン印刷
装置において、装置フレームに水平移動可能に支持され
たテーブル部と、テーブル部を、基板搬入搬出方向に対
して略直交する方向に沿って水平移動させるテーブル部
水平移動手段と、テーブル部に昇降可能に支持された可
動フレームと、可動フレームに昇降可能に支持された支
持台と、支持台の上方に配置され、スクリーンを支持す
るスクリーンテーブル部と、スクリーンテーブル部の上
方に配置され、スクリーンテーブル部に支持されたスク
リーンを介して、印刷ペーストを基板上に印刷する印刷
ヘッド部と、基板を、所定の基板搬入搬出方向に沿って
支持台上に搬入させる基板搬入手段と、支持台上の基板
を、前記基板搬入搬出方向に沿って搬出させる基板搬出
手段と、テーブル部に設けられ、可動フレームをテーブ
ル部に対して昇降させる可動フレーム昇降手段と、可動
フレームに設けられ、支持台を可動フレームに対して昇
降させる支持台昇降手段と、 基板を支持台上で位置決
めする基板規制手段と、スクリーンテーブル部を、基板
搬入搬出方向に沿って水平移動させるスクリーンテーブ
ル部水平移動手段と、スクリーンテーブル部を、支持台
に支持された基板と略平行な水平面内で回転させるスク
リーンテーブル部回転手段と、基板搬入搬出方向、及び
基板搬入搬出方向と略直交する方向に沿って水平移動可
能に設けられ、基板及びスクリーンにそれぞれ予め付与
された基準位置マークを認識可能な認識カメラと、前記
各手段及び認識カメラを制御する制御手段とを備え、制
御手段は、基板搬入手段による支持台上への基板の搬
入、及び基板搬出手段による支持台上からの基板の搬出
を、所定の基板搬入搬出方向に沿って略同期して行わ
せ、また制御手段は、支持台昇降手段による支持台の昇
降動作に伴う支持台への基板の支持、基板規制手段によ
る支持台上での基板の位置決め、可動フレーム昇降手段
による可動フレームの上昇、テーブル部水平移動手段に
よる基板搬入搬出方向に対して略直交する方向に沿うテ
ーブル部の水平移動、及び認識カメラによる基準位置マ
ーク認識を行う所定の位置への、可動フレームの上昇並
びにテーブル部の水平移動に伴う基板の位置決めを、略
同期して行わせ、更に制御手段は、認識カメラによって
認識された基板及びスクリーンの各基準位置マークの位
置に基づいて、テーブル部水平移動手段、スクリーンテ
ーブル部水平移動手段、及びスクリーンテーブル部回転
手段を略同期して制御し、基板及びスクリーンの相対的
な位置合わせを行わせることを特徴とするスクリーン印
刷装置。In a screen printing apparatus for printing a print paste by a print head unit on a substrate supported by a support table via a screen supported by a screen table unit, a table unit supported to be horizontally movable on an apparatus frame. A table section horizontal moving means for horizontally moving the table section along a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction, a movable frame supported up / down by the table section, and a movable frame supported by the movable frame. A support table, a screen table section disposed above the support table and supporting the screen, and a print paste disposed on the screen table section and passing the print paste onto the substrate via the screen supported by the screen table section. The print head unit to be printed and the substrate are loaded on the support table along a predetermined substrate loading / unloading direction. A substrate carrying-in unit, a substrate carrying-out unit that carries out the substrate on the support table in the substrate carrying-in / out direction, a movable frame elevating unit that is provided on the table unit, and moves the movable frame up and down with respect to the table unit; A support table elevating means provided on the frame for raising and lowering the support table with respect to the movable frame; a substrate regulating means for positioning the substrate on the support table; and a screen for horizontally moving the screen table section along the substrate loading / unloading direction. Table section horizontal moving means, screen table section rotating means for rotating the screen table section in a horizontal plane substantially parallel to the substrate supported by the support base, substrate loading / unloading direction, and direction substantially orthogonal to the substrate loading / unloading direction A recognition card that is provided so as to be able to move horizontally along the screen and that can recognize reference position marks that have been previously given to the substrate and the screen, respectively. Camera, and control means for controlling each of the means and the recognition camera, the control means, the loading of the substrate on the support by the substrate loading means, and the unloading of the substrate from the support by the substrate unloading means, The control is performed substantially in synchronism along the predetermined substrate loading / unloading direction, and the control means supports the substrate on the support with the elevating operation of the support by the support elevating means, and the support on the support by the substrate regulating means. A predetermined position for positioning the substrate, raising the movable frame by the movable frame lifting / lowering means, horizontally moving the table portion along a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction by the table horizontal movement means, and recognizing the reference position mark by the recognition camera. The position of the substrate in accordance with the elevation of the movable frame and the horizontal movement of the table section is moved substantially synchronously, and the control means is recognized by the recognition camera. Based on the position of each reference position mark on the substrate and the screen, the table section horizontal moving means, the screen table section horizontal moving means, and the screen table section rotating means are controlled substantially synchronously, and the relative position between the substrate and the screen is adjusted. A screen printing device.

【００１９】 前記支持台は、可動フレームに固定さ
れたガイド軸に昇降可能に支持されており、また前記支
持台昇降手段は、外周面にボールネジを形成されたボー
ルネジ軸、並びに支持台に設けられ、ボールネジ軸を螺
合されるボールネジナットからなるボールネジ機構、及
びボールネジ機構のボールネジ軸を回転させる支持台昇
降用モータを、可動フレームに備えてなり、更に前記可
動フレーム昇降手段は、支持台昇降手段と共用のボール
ネジ軸、並びにボールネジ軸を螺合され、テーブル部に
回転自在に支持されたボールネジナットからなるボール
ネジ機構、及びボールネジ機構のボールネジナットを回
転させる可動フレーム昇降用モータを、テーブル部に備
えてなることを特徴とする前記記載のスクリーン印刷
装置。The support base is supported by a guide shaft fixed to a movable frame so as to be able to move up and down. The support base elevating means is provided on a ball screw shaft having a ball screw formed on an outer peripheral surface, and on the support base. A ball screw mechanism comprising a ball screw nut to which a ball screw shaft is screwed, and a support base elevating motor for rotating the ball screw shaft of the ball screw mechanism, provided on a movable frame, and the movable frame elevating means comprises a support base elevating means A ball screw mechanism including a ball screw shaft shared with the ball screw shaft, a ball screw nut screwed with the ball screw shaft and rotatably supported by the table portion, and a motor for moving the movable frame for moving the ball screw nut of the ball screw mechanism are provided on the table portion. The screen printing apparatus as described above, comprising:

【００２０】 支持台上に進退可能に設けられ、基板
搬入手段によって支持台上に搬入される基板の前端部に
係合することにより、基板を支持台上における所定の位
置で停止させる基板ストッパと、基板ストッパに設けら
れ、支持台上の基板の有無を検出する基板検出センサと
を備え、制御手段は、基板検出センサからの基板検出信
号に基づいて、基板搬入手段及び基板搬出手段を制御す
ることを特徴とする前記又は記載のスクリーン印刷
装置。A substrate stopper which is provided on the support table so as to be able to advance and retreat, and which stops the substrate at a predetermined position on the support table by engaging with a front end of the substrate carried into the support table by the substrate carrying means; A substrate detection sensor provided on the substrate stopper to detect the presence or absence of a substrate on the support base, and the control unit controls the substrate loading unit and the substrate unloading unit based on a substrate detection signal from the substrate detection sensor. The screen printing apparatus according to the above or the above, wherein

【００２１】 前記基板ストッパにおける基板との係
合面には、緩衝材が設けられることを特徴とする前記
記載のスクリーン印刷装置。[0021] The screen printing apparatus as described above, wherein a buffer material is provided on an engagement surface of the substrate stopper with the substrate.

【００２２】[0022]

【作用】本発明に係るスクリーン印刷方法においては、
最初に、基板搬入搬出工程において、テーブル部に対し
て昇降可能な可動フレームに昇降可能に支持された支持
台上に、基板搬入手段により、基板を所定の基板搬入搬
出方向に沿って搬入させる。また、基板搬入手段による
基板の搬入に略同期して、基板搬出手段により、支持台
上の基板を前記基板搬入搬出方向に沿って搬出させる。In the screen printing method according to the present invention,
First, in a substrate loading / unloading step, a substrate is loaded by a substrate loading unit along a predetermined substrate loading / unloading direction on a support table supported on a movable frame that can be raised and lowered with respect to the table unit. Substantially in synchronization with the loading of the substrate by the substrate loading means, the substrate on the supporting table is unloaded along the substrate loading and unloading direction by the substrate unloading means.

【００２３】次に、基板位置決め工程において、基板を
搬入された支持台を、支持台昇降手段によって可動フレ
ームに対して上昇させることにより、基板を支持台に支
持させるとともに、基板規制手段によって支持台上で位
置決めする。更にこれらに略同期して、可動フレームを
可動フレーム昇降手段によってテーブル部に対して上昇
させるとともに、テーブル部をテーブル部水平移動手段
によって基板搬入搬出方向に対して略直交する方向に沿
って水平移動させる。これにより、支持台上の基板を所
定の位置に位置させる。Next, in the substrate positioning step, the support table into which the substrate is loaded is raised with respect to the movable frame by the support table elevating means so that the substrate is supported by the support table and the support table is controlled by the substrate control means. Position on top. Further, in substantially synchronism therewith, the movable frame is raised with respect to the table by the movable frame elevating means, and the table is horizontally moved along the direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction by the table horizontal moving means. Let it. As a result, the substrate on the support table is positioned at a predetermined position.

【００２４】基板基準位置マーク認識工程においては、
基板搬入搬出方向に沿う認識カメラの水平移動、及びテ
ーブル部水平移動手段による基板搬入搬出方向と略直交
する方向に沿うテーブル部の水平移動に伴って、基板に
予め付与された基準位置マークを認識カメラに認識させ
る。In the substrate reference position mark recognition step,
With the horizontal movement of the recognition camera along the board loading / unloading direction and the horizontal movement of the table section along the direction substantially perpendicular to the board loading / unloading direction by the table section horizontal movement means, the reference position mark previously assigned to the board is recognized. Make the camera recognize.

【００２５】スクリーン基準位置マーク認識工程におい
ては、基板搬入搬出方向、及び基板搬入搬出方向と略直
交する方向に沿う認識カメラの水平移動に伴って、スク
リーンに予め付与された基準位置マークを認識カメラに
認識させる。In the screen reference position mark recognizing step, the reference position mark previously attached to the screen is recognized by the recognition camera in accordance with the horizontal movement of the recognition camera along the substrate loading / unloading direction and the direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction. To be recognized.

【００２６】位置補正工程においては、認識カメラによ
って認識された前記各基準位置マークの位置に基づい
て、テーブル部を、テーブル部水平移動手段によって基
板搬入搬出方向に対して略直交する方向に沿って水平移
動させる。また、スクリーンを支持するスクリーンテー
ブル部を、スクリーンテーブル部水平移動手段によって
基板搬入搬出方向に沿って移動させるとともに、スクリ
ーンテーブル部回転手段によって支持台上の基板と略平
行な水平面内で回転させる。これにより、基板及びスク
リーンの相対的な位置合わせを行う。In the position correcting step, the table section is moved by the table section horizontal moving means in a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction based on the positions of the respective reference position marks recognized by the recognition camera. Move horizontally. The screen table section supporting the screen is moved in the substrate loading / unloading direction by the screen table section horizontal moving means, and rotated in a horizontal plane substantially parallel to the substrate on the support base by the screen table section rotating means. As a result, relative positioning between the substrate and the screen is performed.

【００２７】印刷工程においては、スクリーンテーブル
部の上方に配置された印刷ヘッド部により、スクリーン
テーブル部に支持されたスクリーンを介して、印刷ペー
ストを基板上に印刷する。In the printing step, the print paste is printed on a substrate by a print head disposed above the screen table through a screen supported by the screen table.

【００２８】本発明に係るスクリーン印刷装置におい
て、制御手段は、基板搬入手段による支持台上への基板
の搬入、及び基板搬出手段による支持台上からの基板の
搬出を、所定の基板搬入搬出方向に沿って略同期して行
わせる。In the screen printing apparatus according to the present invention, the control means controls the loading of the substrate onto the support table by the substrate loading means and the removal of the substrate from the support table by the substrate loading means in a predetermined substrate loading / unloading direction. Are performed substantially synchronously along the line.

【００２９】また制御手段は、支持台昇降手段による支
持台の昇降動作に伴う支持台への基板の支持、基板規制
手段による支持台上での基板の位置決め、可動フレーム
昇降手段による可動フレームの上昇、テーブル部水平移
動手段による基板搬入搬出方向に対して略直交する方向
に沿うテーブル部の水平移動、及び認識カメラによる基
準位置マーク認識を行う所定の位置への、可動フレーム
の上昇並びにテーブル部の水平移動に伴う基板の位置決
めを、略同期して行わせる。Further, the control means includes support of the substrate on the support table in accordance with the elevating operation of the support table by the support table elevating means, positioning of the substrate on the support table by the substrate regulating means, and raising of the movable frame by the movable frame elevating means. The horizontal movement of the table section along a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction by the table horizontal movement means, and the movement of the movable frame to the predetermined position where the recognition camera recognizes the reference position mark, and the movement of the table section The positioning of the substrate accompanying the horizontal movement is performed substantially synchronously.

【００３０】更に制御手段は、認識カメラによって認識
された基板及びスクリーンの各基準位置マークの位置に
基づいて、テーブル部水平移動手段、スクリーンテーブ
ル部水平移動手段、及びスクリーンテーブル部回転手段
を略同期して制御し、基板及びスクリーンの相対的な位
置合わせを行わせる。Further, the control means substantially synchronizes the table section horizontal moving means, the screen table section horizontal moving means, and the screen table section rotating means based on the positions of the reference position marks on the substrate and the screen recognized by the recognition camera. To control the relative alignment between the substrate and the screen.

【００３１】本発明に係るスクリーン印刷装置におい
て、支持台昇降手段は、ボールネジ機構のボールネジ軸
を支持台昇降用モータによって回転させることにより、
ボールネジ軸と、ボールネジ軸を螺合されるボールネジ
機構のボールネジナットとの間にネジ作用を生じさせ
る。これにより支持台昇降手段は、可動フレームに固定
されたガイド軸に沿って、支持台を可動フレームに対し
て昇降させる。In the screen printing apparatus according to the present invention, the support platform elevating means rotates the ball screw shaft of the ball screw mechanism by the support platform elevating motor.
A screw action is generated between the ball screw shaft and a ball screw nut of a ball screw mechanism to which the ball screw shaft is screwed. Thereby, the support base elevating means raises and lowers the support base with respect to the movable frame along the guide shaft fixed to the movable frame.

【００３２】また可動フレーム昇降手段は、テーブル部
に回転自在に支持されたボールネジ機構のボールネジナ
ットを、可動フレーム昇降用モータによって回転させる
ことにより、ボールネジナットと、支持台昇降手段と共
用のボールネジ軸との間にネジ作用を生じさせる。これ
により可動フレーム昇降手段は、可動フレームをテーブ
ル部に対して昇降させる。The movable frame elevating means rotates the ball screw nut of the ball screw mechanism rotatably supported on the table by a movable frame elevating motor, so that the ball screw nut and the ball screw shaft shared with the support base elevating means are used. And a screw action is generated. Thereby, the movable frame lifting / lowering means raises / lowers the movable frame with respect to the table section.

【００３３】換言すると、ボールネジ機構のボールネジ
軸は、支持台昇降手段の支持台昇降用モータによって回
転されることにより、ボールネジ機構のボールネジナッ
トとの間でネジ作用を生じ、支持台をガイド軸に沿っ
て、可動フレームに対して昇降させる。また、ボールネ
ジ機構のボールネジ軸は、可動フレーム昇降手段の可動
フレーム昇降用モータによるボールネジ機構のボールネ
ジナットの回転により、ボールネジナットとの間でネジ
作用を生じてテーブル部に対して昇降され、可動フレー
ムをガイド軸とともに昇降させる。In other words, when the ball screw shaft of the ball screw mechanism is rotated by the support base elevating motor of the support base elevating means, a screw action is generated between the ball screw nut and the ball screw nut of the ball screw mechanism. Along with the movable frame. Further, the ball screw shaft of the ball screw mechanism is raised and lowered with respect to the table by generating a screw action with the ball screw nut by rotation of the ball screw nut of the ball screw mechanism by the movable frame lifting motor of the movable frame lifting means. Up and down together with the guide shaft.

【００３４】本発明に係るスクリーン印刷装置におい
て、支持台上に進退可能に設けられた基板ストッパは、
基板搬入手段によって支持台上に搬入される基板の前端
部に係合することにより、基板を支持台上における所定
の位置で停止させる。基板ストッパに設けられた基板検
出センサは、支持台上の基板の有無を検出する。制御手
段は、基板検出センサからの基板検出信号に基づいて、
基板搬入手段及び基板搬出手段を制御する。In the screen printing apparatus according to the present invention, the substrate stopper provided on the support table so as to be able to advance and retreat is
The substrate is stopped at a predetermined position on the support base by engaging with the front end of the substrate carried on the support base by the substrate transfer means. A substrate detection sensor provided on the substrate stopper detects the presence or absence of the substrate on the support table. The control means, based on the board detection signal from the board detection sensor,
It controls the substrate carrying-in means and the substrate carrying-out means.

【００３５】本発明に係るスクリーン印刷装置におい
て、支持台上に進退可能に設けられた基板ストッパは、
基板搬入手段によって支持台上に搬入される基板の前端
部に係合することにより、基板を支持台上における所定
の位置で停止させる。この際、基板ストッパは、基板と
の係合面に設けられた緩衝材を介して、基板の前端部に
係合する。In the screen printing apparatus according to the present invention, the substrate stopper provided on the support table so as to be able to advance and retreat is
The substrate is stopped at a predetermined position on the support base by engaging with the front end of the substrate carried on the support base by the substrate transfer means. At this time, the substrate stopper engages with the front end of the substrate via a buffer provided on the engagement surface with the substrate.

【００３６】[0036]

【発明の実施の形態】以下図示実施形態により、本発明
を説明する。図１は、本発明の一実施形態であるスクリ
ーン印刷装置を示す概略平面図であり、図２は、同スク
リーン印刷装置の内部を正面から見た図、図３は、同ス
クリーン印刷装置の開蓋状態の正面図、図４は同スクリ
ーン印刷装置の右側面図である。また図５は、図１のス
クリーン印刷装置のテーブル部水平移動機構、支持台昇
降機構、及び可動フレーム昇降機構を示す正面図であ
り、図６は、図５の右側面図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the illustrated embodiments. FIG. 1 is a schematic plan view showing a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view of the inside of the screen printing apparatus as viewed from the front, and FIG. FIG. 4 is a right side view of the same screen printing apparatus. FIG. 5 is a front view showing a table section horizontal moving mechanism, a support base elevating mechanism, and a movable frame elevating mechanism of the screen printing apparatus of FIG. 1, and FIG. 6 is a right side view of FIG.

【００３７】図１〜図６を参照すると、スクリーン印刷
装置１０は、支持台４０に支持された基板１１に、スク
リーンテーブル部６０に支持されたスクリーン１２を介
して、印刷ヘッド部７０によって印刷ペースト（図示し
ない）を印刷する。支持台４０は、テーブル部２０に対
して略垂直方向（図５中矢印Ｚ方向）に沿って昇降可能
な可動フレーム４６に、略垂直方向（図５中矢印Ｚ方
向）に沿って昇降可能に支持される。Referring to FIGS. 1 to 6, the screen printing apparatus 10 includes a print head 70 on a substrate 11 supported by a support table 40 via a screen 12 supported by a screen table 60. (Not shown) is printed. The support table 40 can be moved up and down along a substantially vertical direction (arrow Z direction in FIG. 5) on a movable frame 46 that can move up and down substantially vertically (arrow Z direction in FIG. 5) with respect to the table section 20. Supported.

【００３８】テーブル部２０は、装置フレーム１３に、
テーブル部ガイド２１を介して水平移動可能に支持され
る。テーブル部２０は、テーブル部水平移動機構２２に
よって、支持台４０への基板搬入搬出方向Ａ（図１中矢
印Ｘ方向に沿う矢印Ａ方向）に対して略直交する方向
（図１中矢印Ｙ方向、図５中紙面に垂直な方向）に沿っ
て水平移動される。The table section 20 is provided on the device frame 13.
It is supported via a table guide 21 so as to be horizontally movable. The table unit 20 is moved by the table unit horizontal moving mechanism 22 in a direction (along arrow Y in FIG. 1) substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction A (direction of arrow A along arrow X in FIG. 1). 5 (in a direction perpendicular to the plane of FIG. 5).

【００３９】図５及び図６を参照すると、テーブル部水
平移動機構２２は、外周面にボールネジを形成されたボ
ールネジ軸２３、並びにテーブル部２０の下面に設けら
れ、ボールネジ軸２３を螺合されるボールネジナット２
４からなるボールネジ機構、及びボールネジ機構のボー
ルネジ軸２３を回転させるテーブル部水平移動用モータ
２５を有する。テーブル部水平移動機構２２は、テーブ
ル部水平移動用モータ２５によってボールネジ機構のボ
ールネジ軸２３を回転させることにより、ボールネジ軸
２３及びボールネジナット２４間でネジ作用を生じさ
せ、テーブル部２０をテーブル部ガイド２１に沿って矢
印Ｙ方向に水平移動させる。Referring to FIG. 5 and FIG. 6, the table section horizontal moving mechanism 22 is provided on a ball screw shaft 23 having a ball screw formed on the outer peripheral surface, and on the lower surface of the table section 20, and is screwed with the ball screw shaft 23. Ball screw nut 2
And a table section horizontal movement motor 25 for rotating the ball screw shaft 23 of the ball screw mechanism. The table section horizontal movement mechanism 22 rotates the ball screw shaft 23 of the ball screw mechanism by the table section horizontal movement motor 25 to generate a screw action between the ball screw shaft 23 and the ball screw nut 24, and to move the table section 20 to the table section guide. It is moved horizontally along arrow 21 in the direction of arrow Y.

【００４０】図１及び図２を参照すると、テーブル部２
０の図１中右側には、基板搬入用ローダ３０が、支持台
４０との間での基板１１の乗り継ぎに必要な最小限の隙
間を以って、近接して設けられる。基板搬入用ローダ３
０は、印刷前の基板１１（以下、印刷前基板１１とい
う）を、基板搬入搬出方向Ａに沿って支持台４０上に搬
入させる。Referring to FIG. 1 and FIG.
On the right side of FIG. 1 in FIG. 1, a substrate loading loader 30 is provided close to the support table 40 with a minimum gap required for connecting the substrate 11 to the support table 40. Loader 3 for loading substrate
No. 0 causes the substrate 11 before printing (hereinafter, referred to as the pre-printing substrate 11) to be loaded onto the support 40 along the substrate loading / unloading direction A.

【００４１】テーブル部２０の図１中左側には、基板搬
出用ローダ３１が、支持台４０との間での基板１１の乗
り継ぎに必要な最小限の隙間を以って、近接して設けら
れる。基板搬出用ローダ３１は、支持台４０上の印刷済
の基板１１（以下、印刷済基板１１という）を、基板搬
入搬出方向Ａに沿って搬出させる。On the left side of the table section 20 in FIG. 1, a substrate unloading loader 31 is provided close to the support table 40 with a minimum gap required for connecting the substrate 11 to the support table 40. . The substrate carrying-out loader 31 carries out the printed substrate 11 on the support table 40 (hereinafter, referred to as a printed substrate 11) along the substrate carrying-in / carrying-out direction A.

【００４２】図５及び図６に示すように、支持台４０
は、テーブル部２０の昇降ガイド２６に矢印Ｚ方向に沿
って昇降可能に挿通されたガイド軸２７に、支持台昇降
ガイド４１を介して矢印Ｚ方向に沿って昇降可能に支持
される。支持台４０は、支持台昇降機構４２によって支
持台昇降ガイド４１を介してガイド軸２７に沿って矢印
Ｚ方向に沿って昇降可能である。As shown in FIG. 5 and FIG.
Is supported by a guide shaft 27 which is inserted into the elevating guide 26 of the table section 20 so as to be able to move up and down along the arrow Z direction via a support base elevating guide 41 so as to be able to move up and down along the arrow Z direction. The support table 40 can be moved up and down along the guide shaft 27 in the direction of the arrow Z by the support table elevating mechanism 42 via the support table elevating guide 41.

【００４３】支持台昇降機構４２は、外周面にボールネ
ジを形成されたボールネジ軸４３、並びに支持台４０に
設けられ、ボールネジ軸４３を螺合されるボールネジナ
ット４４からなるボールネジ機構、及びボールネジ機構
のボールネジ軸４３を回転させる支持台昇降用モータ４
５を、可動フレーム４６に備えてなる。The support base elevating mechanism 42 includes a ball screw shaft 43 having a ball screw formed on the outer peripheral surface, a ball screw nut 44 provided on the support base 40 and screwed with the ball screw shaft 43, and a ball screw mechanism of the ball screw mechanism. Support base elevating motor 4 for rotating ball screw shaft 43
5 is provided on a movable frame 46.

【００４４】支持台昇降機構４２は、支持台昇降用モー
タ４５によってボールネジ機構のボールネジ軸４３を回
転させることにより、ボールネジ軸４３及びボールネジ
ナット４４間でネジ作用を生じ、支持台昇降ガイド４１
に固定された支持台４０を、ガイド軸２７に沿って可動
フレーム４６に対して矢印Ｚ方向に沿って昇降させる。
支持台昇降機構４２は、支持台４０を可動フレーム４６
に対して矢印Ｚ方向に沿って上昇させることにより、基
板搬入用ローダ３０及び後述する基板搬送機構５１によ
って支持台４０上の所定の基板支持位置に搬入された基
板１１を、支持台４０に支持させる。The support base elevating mechanism 42 rotates the ball screw shaft 43 of the ball screw mechanism by the support base elevating motor 45, thereby generating a screw action between the ball screw shaft 43 and the ball screw nut 44, and the support base elevating guide 41.
Is moved up and down along the guide shaft 27 with respect to the movable frame 46 in the arrow Z direction.
The support base elevating mechanism 42 moves the support base 40 to the movable frame 46.
The substrate 11 loaded into a predetermined substrate support position on the support table 40 by the substrate loader 30 and a substrate transport mechanism 51 described below is supported by the support table 40 by raising the substrate 11 along the arrow Z direction. Let it.

【００４５】可動フレーム４６は、図５中左右両端部
を、ガイド軸２７の図５中下端部に固定される。可動フ
レーム４６は、可動フレーム昇降機構４７による昇降ガ
イド２６に対するガイド軸２７の矢印Ｚ方向に沿う昇降
に伴って、支持台４０上の基板１１への印刷が行われる
所定の高さ位置（以下、上昇位置という）と、支持台４
０上への基板１１の搬入及び搬出が行われる所定の高さ
位置（以下、下降位置という）との間で、矢印Ｚ方向に
沿って昇降される。The left and right ends of the movable frame 46 in FIG. 5 are fixed to the lower end of the guide shaft 27 in FIG. The movable frame 46 is moved up and down along the arrow Z direction of the guide shaft 27 with respect to the elevating guide 26 by the movable frame elevating mechanism 47, and a predetermined height position (hereinafter, referred to as “printing” on the substrate 11 on the support base 40). Raised position) and support 4
The substrate 11 is moved up and down along a direction indicated by an arrow Z between a predetermined height position (hereinafter, referred to as a descending position) at which the substrate 11 is carried in and carried out on the zero.

【００４６】図６に示すように、可動フレーム昇降機構
４７は、支持台昇降機構４２と共用のボールネジ軸４
３、並びにボールネジ軸４３を螺合され、テーブル部２
０に回転自在に支持されたボールネジナット４８からな
るボールネジ機構、及びボールネジ機構のボールネジナ
ット４８を回転させる可動フレーム昇降用モータ４９
を、テーブル部２０に備えてなる。可動フレーム昇降用
モータ４９は、ボールネジ機構のボールネジナット４８
を、ボールネジナット４８に固定されたタイミングプー
リ４８ａ及びタイミングプーリ４８ａに巻回されたタイ
ミングベルト５０を介して回転させる。As shown in FIG. 6, the movable frame lifting mechanism 47 includes a ball screw shaft 4 shared with the support base lifting mechanism 42.
3 and the ball screw shaft 43 are screwed into the
The ball screw mechanism comprises a ball screw nut 48 rotatably supported at 0, and a movable frame elevating motor 49 for rotating the ball screw nut 48 of the ball screw mechanism.
Is provided in the table section 20. The movable frame lifting / lowering motor 49 includes a ball screw nut 48 of a ball screw mechanism.
Is rotated via a timing pulley 48a fixed to the ball screw nut 48 and a timing belt 50 wound around the timing pulley 48a.

【００４７】可動フレーム昇降機構４７は、可動フレー
ム昇降用モータ４９によってボールネジ機構のボールネ
ジナット４８を回転させることにより、ボールネジ軸４
３及びボールネジナット４８間にネジ作用を生じさせ
る。これにより可動フレーム昇降機構４７は、ボールネ
ジ軸４３をテーブル部２０に対して矢印Ｚ方向に沿って
昇降させ、可動フレーム４６をガイド軸２７とともに、
上昇位置及び下降位置間で矢印Ｚ方向に沿って、テーブ
ル部２０に対して昇降させる。The movable frame raising / lowering mechanism 47 rotates the ball screw nut 48 of the ball screw mechanism by means of the movable frame lifting / lowering motor 49 so that the ball screw shaft 4 is rotated.
A screw action occurs between the ball screw 3 and the ball screw nut 48. Thereby, the movable frame lifting mechanism 47 raises and lowers the ball screw shaft 43 with respect to the table section 20 along the arrow Z direction, and moves the movable frame 46 together with the guide shaft 27,
The table 20 is moved up and down along the arrow Z direction between the ascending position and the descending position.

【００４８】なお上述のように、ボールネジ機構のボー
ルネジ軸４３及びガイド軸２７はそれぞれ、支持台昇降
機構４２と可動フレーム昇降機構４７とで共用される。As described above, the ball screw shaft 43 and the guide shaft 27 of the ball screw mechanism are shared by the support base lifting mechanism 42 and the movable frame lifting mechanism 47, respectively.

【００４９】すなわちボールネジ軸４３は、支持台昇降
用モータ４５の作動に伴って回転されることにより、支
持台昇降機構４２のボールネジナット４４との間でネジ
作用を生じ、支持台４０を支持台昇降ガイド４１を介し
てガイド軸２７に沿って昇降させる。またボールネジ軸
４３は、可動フレーム昇降用モータ４９の作動に伴う可
動フレーム昇降機構４７のボールネジナット４８の回転
により、ボールネジナット４８との間でネジ作用を生
じ、可動フレーム４６をガイド軸２７とともに昇降させ
る。That is, when the ball screw shaft 43 is rotated by the operation of the support base elevating motor 45, a screw action is generated between the ball screw shaft 43 and the ball screw nut 44 of the support base elevating mechanism 42. It is moved up and down along the guide shaft 27 via the elevating guide 41. In addition, the ball screw shaft 43 generates a screw action with the ball screw nut 48 by the rotation of the ball screw nut 48 of the movable frame lifting mechanism 47 accompanying the operation of the movable frame lifting motor 49, and moves the movable frame 46 together with the guide shaft 27. Let it.

【００５０】支持台４０は、基板１１を、図５中上面に
おける所定の基板支持位置に突設された複数の支持ピン
４０ａ上に、支持台昇降機構４２による上昇動作に伴っ
て支持する。The support 40 supports the substrate 11 on a plurality of support pins 40a projecting from a predetermined substrate support position on the upper surface in FIG.

【００５１】図１〜図６を参照すると、支持台４０の各
支持ピン４０ａ上に支持される基板１１は、基板搬入用
ローダ３０によって支持台４０に搬入された後、支持台
４０上を基板搬送機構５１によって搬送され、所定の基
板支持位置において、基板ストッパ５２によって停止さ
せられるとともに、基板規制機構５５によって位置決め
される。Referring to FIGS. 1 to 6, the substrate 11 supported on each support pin 40 a of the support table 40 is loaded into the support table 40 by the substrate loader 30, and then moved on the support table 40. The wafer is transported by the transport mechanism 51, stopped at a predetermined substrate support position by the substrate stopper 52, and positioned by the substrate regulating mechanism 55.

【００５２】基板搬送機構５１は、ベルトコンベヤから
なり、装置フレーム１３におけるテーブル部２０の上部
に設けられる。基板搬送機構５１は、基板搬入用ローダ
３０によって支持台４０上に搬入された基板１１を、所
定の基板支持位置まで搬送する。The substrate transport mechanism 51 is composed of a belt conveyor, and is provided above the table section 20 in the apparatus frame 13. The substrate transport mechanism 51 transports the substrate 11 loaded on the support table 40 by the substrate loading loader 30 to a predetermined substrate support position.

【００５３】基板ストッパ５２は、支持台４０における
基板支持位置に進退可能に設けられており、進出した状
態で、基板搬送機構５１によって搬送される基板１１の
前端部に係合することにより、基板１１を基板支持位置
に停止させる。基板ストッパ５２には、基板１１を検出
する基板検出センサ５３が設けられており、支持台４０
の基板支持位置における基板１１の有無を検出する。ま
た、基板ストッパ５２における基板１１に係合する面に
は、緩衝材５４が設けられる。緩衝材５４は、搬入され
る基板１１の慣性力を減衰させ、基板１１の振動を極め
て短時間（０．１秒以内）で止める。The substrate stopper 52 is provided so as to be able to advance and retreat at a substrate support position on the support table 40. When the substrate stopper 52 is in the advanced state, it engages with the front end of the substrate 11 transported by the substrate transport mechanism 51, and thereby the substrate stopper 52 11 is stopped at the substrate supporting position. The substrate stopper 52 is provided with a substrate detection sensor 53 for detecting the substrate 11.
The presence or absence of the substrate 11 at the substrate support position is detected. A buffer 54 is provided on a surface of the substrate stopper 52 that engages with the substrate 11. The buffer member 54 attenuates the inertial force of the substrate 11 carried in, and stops the vibration of the substrate 11 in a very short time (within 0.1 second).

【００５４】基板規制機構５５は、支持台４０における
基板支持位置に、矢印Ｙ方向に沿って進退可能に設けら
れた規制部材５５ａを有する。基板規制機構５５は、規
制部材５５ａを支持台４０上に進出させることにより、
支持台４０で基板ストッパ５２によって停止された基板
１１を、所定の側に押圧して位置決めする。The substrate regulating mechanism 55 has a regulating member 55a provided at a substrate supporting position on the support table 40 so as to be able to advance and retreat along the arrow Y direction. The board regulating mechanism 55 causes the regulating member 55a to advance on the support table 40,
The substrate 11 stopped by the substrate stopper 52 on the support base 40 is pressed to a predetermined side and positioned.

【００５５】図１に示すように、スクリーンテーブル部
６０は、装置フレーム１３における支持台４０の上方に
配置されており、クランプ６４によってスクリーン１２
を把持し、略水平な状態に保持する。スクリーンテーブ
ル部６０は、スクリーンテーブル部水平移動機構６１に
より矢印Ｘ方向に沿って水平移動されるとともに、スク
リーンテーブル部回転機構６２により支持台４０に支持
された基板１１と略平行な水平面内で回転される。As shown in FIG. 1, the screen table section 60 is disposed above the support table 40 in the apparatus frame 13, and is clamped by the clamp 64.
And hold it in a substantially horizontal state. The screen table unit 60 is horizontally moved in the arrow X direction by the screen table unit horizontal movement mechanism 61, and is rotated in a horizontal plane substantially parallel to the substrate 11 supported by the support base 40 by the screen table unit rotation mechanism 62. Is done.

【００５６】図１を参照すると、スクリーンテーブル部
水平移動機構６１は、外周面にボールネジを形成された
ボールネジ軸（図示しない）、並びにスクリーンテーブ
ル部６０に設けられ、ボールネジ軸を螺合されるボール
ネジナット（図示しない）からなるボールネジ機構（図
示しない）、及びボールネジ機構のボールネジ軸を回転
させるスクリーンテーブル部水平移動用モータ６３を備
える。Referring to FIG. 1, a screen table section horizontal movement mechanism 61 is provided on a ball screw shaft (not shown) having a ball screw formed on the outer peripheral surface, and a ball provided on the screen table section 60 and screwed with the ball screw shaft. A ball screw mechanism (not shown) composed of a screw nut (not shown), and a screen table horizontal movement motor 63 for rotating a ball screw shaft of the ball screw mechanism are provided.

【００５７】スクリーンテーブル部水平移動機構６１
は、スクリーンテーブル部水平移動用モータ６３によっ
てボールネジ機構のボールネジ軸を回転させることによ
り、ボールネジ軸及びボールネジナット間でネジ作用を
生じさせ、スクリーンテーブル部６０を矢印Ｘ方向に沿
って水平移動させる。Screen table section horizontal moving mechanism 61
Rotates the ball screw shaft of the ball screw mechanism by the screen table section horizontal movement motor 63 to generate a screw action between the ball screw axis and the ball screw nut, thereby moving the screen table section 60 horizontally along the arrow X direction.

【００５８】図１〜図４を参照すると、印刷ヘッド部７
０は、装置フレーム１３におけるスクリーンテーブル部
６０の上方に配置されており、印刷ヘッドフレーム７１
及び印刷用スキージ７２を備える。印刷ヘッド部７０
は、印刷ヘッド部水平移動機構７３によって矢印Ｙ方向
に沿って水平移動される。Referring to FIGS. 1 to 4, the print head 7
0 is disposed above the screen table section 60 in the apparatus frame 13 and the print head frame 71
And a printing squeegee 72. Print head unit 70
Is horizontally moved in the arrow Y direction by the print head horizontal movement mechanism 73.

【００５９】印刷ヘッド部水平移動機構７３は、外周面
にボールネジを形成されたボールネジ軸７４、並びに印
刷ヘッドフレーム７１に設けられ、ボールネジ軸７４を
螺合されるボールネジナット７５からなるボールネジ機
構、及びボールネジ機構のボールネジ軸７４を回転させ
る印刷ヘッド部水平移動用モータ７６を備えてなる。印
刷ヘッド部水平移動機構７３は、印刷ヘッド部水平移動
用モータ７６によってボールネジ機構のボールネジ軸７
４を回転させることにより、ボールネジ軸７４及びボー
ルネジナット７５間でネジ作用を生じさせ、印刷ヘッド
フレーム７１及び印刷ヘッド部７０を矢印Ｙ方向に沿っ
て水平移動させる。The print head unit horizontal movement mechanism 73 includes a ball screw shaft 74 having a ball screw formed on the outer peripheral surface thereof, a ball screw nut 75 provided on the print head frame 71 and screwed with the ball screw shaft 74, and A print head unit horizontal movement motor 76 for rotating a ball screw shaft 74 of the ball screw mechanism is provided. The print head unit horizontal movement mechanism 73 is driven by a ball screw shaft 7 of a ball screw mechanism by a print head unit horizontal movement motor 76.
By rotating 4, a screw action is generated between the ball screw shaft 74 and the ball screw nut 75, and the print head frame 71 and the print head unit 70 are horizontally moved along the arrow Y direction.

【００６０】印刷ヘッド部７０は、印刷ヘッド部水平移
動機構７３による矢印Ｙ方向に沿う水平移動に伴って、
スクリーンテーブル部６０に支持されたスクリーン１２
上で、印刷用スキージ７２によって印刷ペーストをスキ
ージすることにより、印刷ペーストをスクリーン１２を
介して基板１１上に印刷する。The print head unit 70 is moved horizontally by the print head unit horizontal movement mechanism 73 along the arrow Y direction.
Screen 12 supported by screen table unit 60
The printing paste is printed on the substrate 11 via the screen 12 by squeezing the printing paste with the printing squeegee 72.

【００６１】認識カメラ８０は、矢印Ｘ方向及び矢印Ｙ
方向に沿って水平移動可能に設けられており、基板１１
及びスクリーン１２にそれぞれ予め付与された基準位置
マーク（図示しない）を認識可能である。認識カメラ８
０は、カメラＸ軸移動用モータ８１によるカメラＸ軸８
２の回転に伴うネジ作用により、矢印Ｘ方向に沿って移
動される。また認識カメラ８０は、カメラＹ軸移動用モ
ータ８３によるカメラＹ軸８４の回転に伴うネジ作用に
より、矢印Ｙ方向に沿って移動される。The recognition camera 80 is moved in the directions indicated by arrows X and Y
The substrate 11 is provided so as to be horizontally movable along the direction.
And a reference position mark (not shown) assigned in advance to the screen 12. Recognition camera 8
0 is the camera X axis 8 by the camera X axis moving motor 81
Due to the screw action accompanying the rotation of No. 2, it is moved along the arrow X direction. The recognition camera 80 is moved in the direction of the arrow Y by a screw action caused by the rotation of the camera Y-axis 84 by the camera Y-axis movement motor 83.

【００６２】すなわち認識カメラ８０は、基板１１の基
準位置マークの認識を、テーブル部２０がテーブル部水
平移動機構２２によってスクリーン１２直下から外れた
所定の位置（図１中、二点鎖線で示す位置、以下、認識
位置という）に水平移動された状態で、矢印Ｘ方向に沿
う水平移動、及びテーブル部水平移動機構２２による矢
印Ｙ方向に沿うテーブル部２０の水平移動に伴って行
う。また認識カメラ８０は、スクリーン１２の基準位置
マークの認識を、矢印Ｘ方向及び矢印Ｙ方向に沿う移動
に伴って行う。That is, the recognition camera 80 recognizes the reference position mark on the substrate 11 at a predetermined position where the table section 20 is displaced from immediately below the screen 12 by the table section horizontal movement mechanism 22 (the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 1). (Hereinafter, referred to as a recognition position) when the horizontal movement along the arrow X direction and the horizontal movement of the table unit 20 along the arrow Y direction by the table unit horizontal movement mechanism 22 are performed. In addition, the recognition camera 80 performs recognition of the reference position mark on the screen 12 with movement along the arrow X direction and the arrow Y direction.

【００６３】上述した各構成要素はそれぞれ、図示しな
い制御装置によって制御される。すなわち制御装置は、
基板ストッパ５２に設けられた基板検出センサ５３から
の信号に基づいて、基板搬入用ローダ３０及び基板搬出
用ローダ３１を制御する。これにより制御装置は、基板
搬入用ローダ３０による支持台４０上への基板１１の搬
入、及び基板搬出用ローダ３１による支持台４０上から
の基板１１の搬出を、基板搬入搬出方向Ａに沿って略同
期して行わせる。Each of the above-described components is controlled by a control device (not shown). That is, the control device
The substrate loader 30 and the substrate unloader 31 are controlled based on a signal from a substrate detection sensor 53 provided on the substrate stopper 52. Accordingly, the control device causes the substrate loading loader 30 to load the substrate 11 onto the support table 40 and the substrate loading loader 31 to transport the substrate 11 from the support table 40 along the substrate loading / unloading direction A. Let them be performed almost synchronously.

【００６４】また制御装置は、支持台昇降機構４２によ
る支持台４０の昇降動作に伴う支持台４０への基板１１
の支持、基板規制機構５５による支持台４０上での基板
１１の位置決め、可動フレーム昇降機構４７による可動
フレーム４６の上昇、テーブル部水平移動機構２２によ
る矢印Ｙ方向に沿うテーブル部２０の水平移動、及び可
動フレーム４６の上昇並びにテーブル部２０の水平移動
による認識位置への基板１１の位置決めを、略同期して
行わせる。Further, the control device controls the substrate 11 on the support table 40 as the support table 40 is raised and lowered by the support table lifting mechanism 42.
, The positioning of the substrate 11 on the support table 40 by the substrate regulating mechanism 55, the raising of the movable frame 46 by the movable frame elevating mechanism 47, the horizontal movement of the table 20 along the arrow Y direction by the table horizontal moving mechanism 22, In addition, the movement of the movable frame 46 and the positioning of the substrate 11 at the recognition position by the horizontal movement of the table section 20 are performed substantially synchronously.

【００６５】更に制御装置は、認識カメラ８０によって
認識された基板１１及びスクリーン１２の各基準位置マ
ークの位置に基づいて、基板１１及びスクリーン１２の
相対的な位置合わせを行うための位置補正量を求める。
そして制御装置は、求められた位置補正量に基づいて、
テーブル部水平移動機構２２、スクリーンテーブル部水
平移動機構６１、及びスクリーンテーブル部回転機構６
２を制御し、基板１１及びスクリーン１２の相対的な位
置合わせを行わせる。Further, based on the position of each reference position mark of the substrate 11 and the screen 12 recognized by the recognition camera 80, the control device calculates a position correction amount for performing relative positioning of the substrate 11 and the screen 12. Ask.
Then, the control device, based on the obtained position correction amount,
Table section horizontal movement mechanism 22, screen table section horizontal movement mechanism 61, and screen table section rotation mechanism 6
2 to control the relative positioning of the substrate 11 and the screen 12.

【００６６】本実施形態の作用を説明する。スクリーン
印刷装置１０において、制御装置は、可動フレーム４６
を可動フレーム昇降機構４７によって下降位置に位置さ
せた状態で、基板検出センサ５３からの信号に基づい
て、基板搬入用ローダ３０及び基板搬出用ローダ３１を
制御する。これにより、支持台４０上の印刷済基板１１
の搬出、及び支持台４０上への印刷前基板１１の搬入を
行う。すなわち基板搬出用ローダ３１が、支持台４０上
の印刷済基板１１を、基板搬入搬出方向Ａに沿って搬出
させ、基板検出センサ５３が基板１１を検出しなくなる
と、基板搬入用ローダ３０が、支持台４０上に基板搬入
搬出方向Ａに沿って印刷前基板１１を搬入させる。The operation of the present embodiment will be described. In the screen printing device 10, the control device includes the movable frame 46.
The substrate loading loader 30 and the substrate loading loader 31 are controlled based on a signal from the substrate detection sensor 53 in a state where is moved to the lowered position by the movable frame lifting mechanism 47. As a result, the printed substrate 11 on the support 40 is
Is carried out, and the pre-printing substrate 11 is carried onto the support base 40. That is, when the substrate unloading loader 31 unloads the printed substrate 11 on the support table 40 in the substrate loading and unloading direction A, and the substrate detection sensor 53 stops detecting the substrate 11, the substrate unloading loader 30 The pre-printed substrate 11 is loaded onto the support 40 along the substrate loading / unloading direction A.

【００６７】次に制御装置は、支持台昇降機構４２、基
板規制機構５５、可動フレーム昇降機構４７、及びテー
ブル部水平移動機構２２を、略同期して作動させる。こ
れにより、支持台４０上の印刷前基板１１を認識位置に
短時間で移動させ、位置決めさせる。Next, the control device operates the support base elevating mechanism 42, the board regulating mechanism 55, the movable frame elevating mechanism 47, and the table section horizontal moving mechanism 22 substantially in synchronization. Thereby, the pre-printing substrate 11 on the support 40 is moved to the recognition position in a short time and positioned.

【００６８】すなわち支持台昇降機構４２が、印刷前基
板１１を搬入された支持台４０を、可動フレーム４６に
対して上昇させることにより、基板１１を支持台４０の
各支持ピン４０ａに支持させるとともに、基板規制機構
５５が、基板１１を支持台４０上で位置決めする。更に
これらに略同期して、可動フレーム昇降機構４７が可動
フレーム４６を上昇位置まで上昇させるとともに、テー
ブル部水平移動機構２２が、テーブル部２０を矢印Ｙ方
向に沿って水平移動させる。これにより、支持台４０上
の基板１１は認識位置に短時間で移動される。That is, the support platform elevating mechanism 42 raises the support platform 40 into which the pre-printed substrate 11 is loaded with respect to the movable frame 46 so that the substrate 11 is supported by the support pins 40 a of the support platform 40. Then, the substrate regulating mechanism 55 positions the substrate 11 on the support 40. Further, substantially in synchronism therewith, the movable frame lifting mechanism 47 raises the movable frame 46 to the raised position, and the table section horizontal movement mechanism 22 horizontally moves the table section 20 in the arrow Y direction. Thus, the substrate 11 on the support 40 is moved to the recognition position in a short time.

【００６９】基板１１が認識位置にある状態で、制御装
置は、認識カメラ８０を、矢印Ｘ方向に沿って水平移動
させるとともに、テーブル部水平移動機構２２によっ
て、テーブル部２０を矢印Ｙ方向に沿って水平移動させ
る。これにより認識カメラ８０は、基板１１の基準位置
マークを認識する。認識された基準位置マークの位置
は、認識カメラ８０から制御装置に電気信号として入力
される。While the substrate 11 is at the recognition position, the control device moves the recognition camera 80 horizontally in the direction of the arrow X, and moves the table section 20 in the direction of the arrow Y by the table section horizontal movement mechanism 22. To move horizontally. Thereby, the recognition camera 80 recognizes the reference position mark on the substrate 11. The position of the recognized reference position mark is input from the recognition camera 80 to the control device as an electric signal.

【００７０】また制御装置は、認識カメラ８０を、矢印
Ｘ方向及び矢印Ｙ方向に沿って水平移動させ、認識カメ
ラ８０にスクリーン１２の基準位置マークを認識させ
る。認識された基準位置マークの位置は、認識カメラ８
０から制御装置に電気信号として入力される。The controller moves the recognition camera 80 horizontally in the directions of the arrows X and Y to cause the recognition camera 80 to recognize the reference position mark on the screen 12. The position of the recognized reference position mark is indicated by the recognition camera 8.
0 is input to the control device as an electric signal.

【００７１】そして制御装置は、認識カメラ８０により
認識された基板１１及びスクリーン１２の各基準位置マ
ークの位置に基づいて、テーブル部水平移動機構２２、
スクリーンテーブル部水平移動機構６１、及びスクリー
ンテーブル部回転機構６２を略同期して制御し、基板１
１及びスクリーン１２の相対的な位置合わせを短時間で
行う。Based on the positions of the respective reference position marks on the substrate 11 and the screen 12 recognized by the recognition camera 80, the control device controls the table section horizontal moving mechanism 22,
The screen table section horizontal movement mechanism 61 and the screen table section rotation mechanism 62 are controlled substantially in synchronization with each other, and
1 and the screen 12 are relatively positioned in a short time.

【００７２】すなわちテーブル部水平移動機構２２が、
テーブル部２０を矢印Ｙ方向に沿って水平移動させる。
また、スクリーン１２を支持するスクリーンテーブル部
６０を、スクリーンテーブル部水平移動機構６１が、矢
印Ｘ方向に沿って移動させるとともに、スクリーンテー
ブル部水平回転機構６２が、支持台４０上の基板１１と
略平行な水平面内で回転させる。これにより、基板１１
及びスクリーン１２が相対的に短時間で位置合わせされ
る。That is, the table section horizontal moving mechanism 22
The table unit 20 is moved horizontally along the arrow Y direction.
Also, the screen table section horizontal movement mechanism 61 moves the screen table section 60 supporting the screen 12 along the arrow X direction, and the screen table section horizontal rotation mechanism 62 is substantially the same as the substrate 11 on the support base 40. Rotate in a parallel horizontal plane. Thereby, the substrate 11
And the screen 12 is aligned in a relatively short time.

【００７３】この状態で、制御装置は、印刷ヘッド部７
０の印刷用スキージ７２によって印刷ペーストをスキー
ジすることにより、印刷ペーストをスクリーン１２を介
して基板１１上に印刷する。In this state, the control device operates the print head unit 7
The print paste is printed on the substrate 11 via the screen 12 by squeezing the print paste with the 0 printing squeegee 72.

【００７４】印刷終了後、制御装置は、可動フレーム４
６を可動フレーム昇降機構４７によって下降位置まで下
降させ、基板検出センサ５３からの信号に基づいて、再
び基板搬入用ローダ３０及び基板搬出用ローダ３１を制
御する。これにより、支持台４０上の印刷済基板１１を
基板搬入搬出方向Ａに沿って搬出させるとともに、支持
台４０上に基板搬入搬出方向Ａに沿って印刷前基板１１
を搬入させる。以後、上述したのと同様の動作を繰り返
し、基板１１の印刷を順次行う。After the printing is completed, the control device sets the movable frame 4
6 is lowered by the movable frame raising / lowering mechanism 47 to the lowered position, and the substrate loading loader 30 and the substrate loading loader 31 are controlled again based on a signal from the substrate detection sensor 53. As a result, the printed substrate 11 on the support 40 is unloaded along the substrate loading / unloading direction A, and the printed substrate 11 is loaded onto the support 40 along the substrate loading / unloading direction A.
Is brought in. Thereafter, the same operation as described above is repeated, and printing of the substrate 11 is sequentially performed.

【００７５】図７は、スクリーン印刷方法の各工程を示
すフローチャートである。以下、図７を参照して、上記
スクリーン印刷装置１０によるスクリーン印刷方法につ
いて、各工程毎に順を追って説明する。FIG. 7 is a flowchart showing each step of the screen printing method. Hereinafter, with reference to FIG. 7, a screen printing method by the screen printing apparatus 10 will be described step by step for each process.

【００７６】最初に、基板搬入搬出工程において、基板
搬入用ローダ３０により、支持台４０上に基板搬入搬出
方向Ａに沿って印刷前基板１１を搬入させるとともに、
基板搬出用ローダ３１により、基板搬入用ローダ３０に
よる印刷前基板１１の搬入直前に、支持台４０上の印刷
済基板１１を、基板搬入搬出方向Ａに沿って搬出させ
る。First, in the substrate loading / unloading step, the pre-printing substrate 11 is loaded into the support table 40 by the substrate loading loader 30 along the substrate loading / unloading direction A,
The printed board 11 on the support table 40 is unloaded in the board loading and unloading direction A by the board unloading loader 31 immediately before the unloaded board 11 is loaded by the board unloading loader 30.

【００７７】次に、基板位置決め工程において、印刷前
基板１１を搬入された支持台４０を、支持台昇降機構４
２によって可動フレーム４６に対して上昇させることに
より、基板１１を支持台４０に支持させるとともに、基
板１１を基板規制機構５５によって支持台４０上で位置
決めする。更にこれらに略同期して、可動フレーム４６
を可動フレーム昇降機構４７によって上昇させるととも
に、テーブル部２０をテーブル部水平移動機構２２によ
って矢印Ｙ方向に沿って水平移動させる。これにより、
支持台４０上の基板１１を、認識カメラ８０による基準
位置マーク認識を行う所定の認識位置に短時間で位置決
めする。Next, in the board positioning step, the support board 40 into which the pre-printed board 11 has been loaded is moved to the support board elevating mechanism 4.
By raising the movable frame 46 with respect to the movable frame 46, the substrate 11 is supported on the support table 40, and the substrate 11 is positioned on the support table 40 by the substrate control mechanism 55. Further, substantially in synchronization with these, the movable frame 46
Is raised by the movable frame lifting mechanism 47, and the table unit 20 is horizontally moved in the arrow Y direction by the table unit horizontal movement mechanism 22. This allows
The substrate 11 on the support base 40 is positioned in a short time at a predetermined recognition position where the recognition camera 80 performs reference position mark recognition.

【００７８】基板基準位置マーク認識工程においては、
矢印Ｘ方向に沿う認識カメラ８０の水平移動、及びテー
ブル部水平移動機構２２による矢印Ｙ方向に沿うテーブ
ル部２０の水平移動に伴って、認識位置にある基板１１
の基準位置マークを、認識カメラ８０に認識させる。In the substrate reference position mark recognition step,
With the horizontal movement of the recognition camera 80 along the arrow X direction and the horizontal movement of the table unit 20 along the arrow Y direction by the table unit horizontal movement mechanism 22, the substrate 11 at the recognition position is
Is recognized by the recognition camera 80.

【００７９】スクリーン基準位置マーク認識工程におい
ては、矢印Ｘ方向及び矢印Ｙ方向に沿う認識カメラ８０
の水平移動に伴って、スクリーン１２の基準位置マーク
を、認識カメラ８０に認識させる。本工程は、通常、ス
クリーンを着脱させなければ、初回工程のみ実施すれば
よく、毎回の生産動作の中で実施する必要はないが、ラ
イン全体の生産動作に余裕がある場合には、毎回の生産
動作の信頼性を確保するために、毎回実施してもよい。In the screen reference position mark recognition step, the recognition camera 80 along the arrow X direction and the arrow Y direction
With the horizontal movement, the recognition camera 80 recognizes the reference position mark on the screen 12. Normally, this step only needs to be performed in the first step unless the screen is attached or detached, and need not be performed in each production operation. It may be performed every time to ensure the reliability of the production operation.

【００８０】位置補正工程においては、認識カメラ８０
によって認識された前記各基準位置マークの位置に基づ
いて、テーブル部水平移動機構２２、スクリーンテーブ
ル部水平移動機構６１、及びスクリーンテーブル部回転
機構６２を制御装置によって制御し、基板１１及びスク
リーン１２の相対的な位置合わせを短時間で行う。In the position correcting step, the recognition camera 80
The table unit horizontal moving mechanism 22, the screen table unit horizontal moving mechanism 61, and the screen table unit rotating mechanism 62 are controlled by the control device based on the positions of the respective reference position marks recognized by the control unit. Perform relative positioning in a short time.

【００８１】すなわち、テーブル部水平移動機構２２に
よって、テーブル部２０を矢印Ｙ方向に沿って水平移動
させる。また、スクリーン１２を支持するスクリーンテ
ーブル部６０を、スクリーンテーブル部水平移動機構６
１によって矢印Ｘ方向に沿って移動させるとともに、ス
クリーンテーブル部水平回転機構６２によって支持台４
０上の基板１１と略平行な水平面内で回転させる。これ
により、基板１１及びスクリーン１２の相対的な位置合
わせを短時間で行う。That is, the table section 20 is horizontally moved by the table section horizontal moving mechanism 22 along the arrow Y direction. Further, the screen table unit 60 supporting the screen 12 is moved by the screen table unit horizontal moving mechanism 6.
1 along the direction of the arrow X, and the support table 4
The substrate 11 is rotated in a horizontal plane substantially parallel to the substrate 11 above. Thereby, the relative positioning of the substrate 11 and the screen 12 is performed in a short time.

【００８２】印刷工程においては、印刷ヘッド部７０の
印刷用スキージ７２によって印刷ペーストをスキージす
ることにより、印刷ペーストをスクリーン１２を介して
基板１１上に印刷する。印刷工程終了後、再び基板搬入
搬出工程に戻り、以後同様の過程を繰り返す。In the printing step, the printing paste is printed on the substrate 11 through the screen 12 by squeezing the printing paste by the printing squeegee 72 of the print head unit 70. After the printing process is completed, the process returns to the substrate loading / unloading process, and the same process is repeated thereafter.

【００８３】以上のように上記実施形態によれば、制御
装置は、基板検出センサ５３からの信号に基づいて、基
板搬入用ローダ３０及び基板搬出用ローダ３１を制御
し、基板搬入用ローダ３０による支持台４０上への基板
１１の搬入、及び基板搬出用ローダ３１による支持台４
０上からの基板１１の搬出を、基板搬入搬出方向Ａに沿
って略同期して行わせる。As described above, according to the above-described embodiment, the control device controls the substrate loading loader 30 and the substrate loading loader 31 based on the signal from the substrate detection sensor 53, and controls the substrate loading loader 30. Loading of the substrate 11 onto the support 40 and support 4 by the substrate unloader 31
The transfer of the substrate 11 from above 0 is performed substantially synchronously along the substrate loading / unloading direction A.

【００８４】また制御装置は、支持台昇降機構４２によ
る支持台４０の昇降動作に伴う支持台４０への基板１１
の支持、基板規制機構５５による支持台４０上での基板
１１の位置決め、可動フレーム昇降機構４７による支持
台昇降機構４２の可動フレーム４６の上昇、テーブル部
水平移動機構２２による矢印Ｙ方向に沿うテーブル部２
０の水平移動、及び支持台昇降機構４２の可動フレーム
４６の上昇並びにテーブル部２０の水平移動による、認
識カメラ８０による基準位置マーク認識を行う所定の認
識位置への基板１１の位置決めを、略同期して行わせ
る。Further, the control device controls the substrate 11 on the support table 40 in accordance with the elevating operation of the support table 40 by the support table elevating mechanism 42.
, The positioning of the substrate 11 on the support table 40 by the substrate control mechanism 55, the raising of the movable frame 46 of the support table lifting mechanism 42 by the movable frame lifting mechanism 47, the table along the arrow Y direction by the table horizontal movement mechanism 22. Part 2
The positioning of the substrate 11 at a predetermined recognition position where the recognition camera 80 performs the reference position mark recognition by the horizontal movement of 0, the raising of the movable frame 46 of the support platform elevating mechanism 42, and the horizontal movement of the table unit 20 are substantially synchronized. And let them do it.

【００８５】更に制御装置は、認識カメラ８０によって
認識された基板１１及びスクリーン１２の各基準位置マ
ークの位置に基づいて、テーブル部水平移動機構２２、
スクリーンテーブル部水平移動機構６１、及びスクリー
ンテーブル部回転機構６２を略同期して制御し、基板１
１及びスクリーン１２の相対的な位置合わせを行わせ
る。Further, based on the positions of the reference position marks on the substrate 11 and the screen 12 recognized by the recognition camera 80, the control device controls the table section horizontal moving mechanism 22,
The screen table section horizontal movement mechanism 61 and the screen table section rotation mechanism 62 are controlled substantially in synchronization with each other, and
1 and the screen 12 are relatively aligned.

【００８６】したがって、基板１１の入れ替え及び認識
カメラ８０による基準位置マークの認識に要する時間を
大幅に短縮することができる。これにより、印刷時間の
大幅な短縮を図ることができる。Therefore, the time required for replacing the substrate 11 and recognizing the reference position mark by the recognition camera 80 can be greatly reduced. As a result, the printing time can be significantly reduced.

【００８７】また、支持台昇降機構４２と可動フレーム
昇降機構４７とで、ボールネジ機構のボールネジ軸４３
及びガイド軸２７がそれぞれ共用される。すなわちボー
ルネジ軸４３は、支持台昇降用モータ４５の作動に伴っ
て回転されることにより、支持台昇降機構４２のボール
ネジナット４４との間でネジ作用を生じ、支持台４０を
支持台昇降ガイド４１を介してガイド軸２７に沿って、
可動フレーム４６に対して昇降させる。またボールネジ
軸４３は、可動フレーム昇降用モータ４９の作動に伴う
可動フレーム昇降機構４７のボールネジナット４８の回
転により、ボールネジナット４８との間でネジ作用を生
じてテーブル部２０に対して昇降され、可動フレーム４
６をガイド軸２７とともに昇降させる。Further, the support base elevating mechanism 42 and the movable frame elevating mechanism 47 form a ball screw shaft 43 of a ball screw mechanism.
And the guide shaft 27 are shared. That is, the ball screw shaft 43 is rotated with the operation of the motor 45 for raising and lowering the support base, so that a screw action is generated between the ball screw nut 44 of the support base raising and lowering mechanism 42 and the support base 40 is moved to the support base lift guide 41. Along the guide shaft 27 through
The movable frame 46 is moved up and down. Further, the ball screw shaft 43 is raised and lowered with respect to the table 20 by generating a screw action with the ball screw nut 48 by the rotation of the ball screw nut 48 of the movable frame lifting mechanism 47 accompanying the operation of the movable frame lifting motor 49, Movable frame 4
6 is moved up and down together with the guide shaft 27.

【００８８】したがって、昇降させる部分の重量を小さ
くすることができ、従来の特開平７−３２９２７６号公
報に記載の図１０に示すスクリーン印刷装置１１０のよ
うに、重量が嵩んで慣性が大きくなるようなことはな
く、支持台４０及び可動フレーム４６の昇降に伴うハン
チングが大きく現れるという問題も生じない。これによ
り、例えばハンチングが収まるまで待つ必要がなく、印
刷完了までの所要時間を大幅に短縮することができる。
また、昇降装置の軽量化により、移動速度の高速化が図
れる。Therefore, it is possible to reduce the weight of the portion to be raised and lowered, and to increase the weight and increase the inertia as in the screen printing apparatus 110 shown in FIG. 10 described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-329276. There is no problem, and there is no problem that hunting caused by elevating the support table 40 and the movable frame 46 appears greatly. Thus, for example, it is not necessary to wait until the hunting stops, and the time required until printing is completed can be greatly reduced.
Further, the moving speed can be increased by reducing the weight of the lifting device.

【００８９】更に支持台４０上には、基板ストッパ５２
が進退可能に設けられており、基板ストッパ５２は、基
板搬入用ローダ３０によって支持台４０上に搬入される
印刷前基板１１の前端部に係合することにより、基板１
１を支持台４０上における所定の基板支持位置で停止さ
せる。更に基板ストッパ５２には、支持台４０上の基板
１１の有無を検出する基板検出センサ５３が設けられ
る。制御装置は、基板検出センサ５３からの基板検出信
号に基づいて、基板搬入用ローダ３０及び基板搬出用ロ
ーダ３１を制御する。したがって、基板１１の入れ替え
に際して、搬入される印刷前基板１１と搬出される印刷
済基板１１との接触等を確実に防止することができ、基
板１１の搬入と搬出とを略同期させることが可能とな
る。Further, a substrate stopper 52 is provided on the support table 40.
The substrate stopper 52 engages with the front end of the pre-printed substrate 11 loaded onto the support table 40 by the substrate loading loader 30, so that the substrate 1 can be moved back and forth.
1 is stopped at a predetermined substrate support position on the support base 40. Further, the substrate stopper 52 is provided with a substrate detection sensor 53 for detecting the presence or absence of the substrate 11 on the support base 40. The control device controls the substrate loader 30 and the substrate loader 31 based on the substrate detection signal from the substrate detection sensor 53. Therefore, when the substrate 11 is replaced, contact between the unprinted substrate 11 to be carried in and the printed substrate 11 to be carried out can be reliably prevented, and the carrying in and out of the substrate 11 can be substantially synchronized. Becomes

【００９０】[0090]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、基板搬入
手段により、基板を所定の基板搬入搬出方向に沿って支
持台上に搬入させるとともに、基板搬入手段による基板
の搬入に略同期して、基板搬出手段により、支持台上の
基板を前記基板搬入搬出方向に沿って搬出させる基板搬
入搬出工程と、基板を搬入された支持台を、支持台昇降
手段によって可動フレームに対して上昇させることによ
り、基板を支持台に支持させるとともに、基板規制手段
によって支持台上で位置決めし、更にこれらに略同期し
て、可動フレームを可動フレーム昇降手段によってテー
ブル部に対して上昇させるとともに、テーブル部をテー
ブル部水平移動手段によって基板搬入搬出方向に対して
略直交する方向に沿って水平移動させることにより、支
持台上の基板を所定の位置に位置させる基板位置決め工
程と、基板搬入搬出方向に沿う認識カメラの水平移動、
及びテーブル部水平移動手段による基板搬入搬出方向と
略直交する方向に沿うテーブル部の水平移動に伴って、
基板に予め付与された基準位置マークを認識カメラに認
識させる基板基準位置マーク認識工程と、基板搬入搬出
方向、及び基板搬入搬出方向と略直交する方向に沿う認
識カメラの水平移動に伴って、スクリーンに予め付与さ
れた基準位置マークを認識カメラに認識させるスクリー
ン基準位置マーク認識工程と、認識カメラによって認識
された前記各基準位置マークの位置に基づいて、テーブ
ル部を、テーブル部水平移動手段によって基板搬入搬出
方向に対して略直交する方向に沿って水平移動させ、ま
たスクリーンを支持するスクリーンテーブル部を、スク
リーンテーブル部水平移動手段によって基板搬入搬出方
向に沿って移動させるとともに、スクリーンテーブル部
回転手段によって支持台上の基板と略平行な水平面内で
回転させることにより、基板及びスクリーンの相対的な
位置合わせを行う位置補正工程と、スクリーンテーブル
部の上方に配置された印刷ヘッド部７０により、スクリ
ーンテーブル部に支持されたスクリーンを介して、印刷
ペーストを基板上に印刷する印刷工程とを有する。した
がって、基板の入れ替え及び認識カメラによる基準位置
マークの認識に要する時間を短縮することができる。こ
れにより、印刷時間の短縮を図ることができる。As described above, according to the present invention, the substrate is loaded into the support table along the predetermined substrate loading / unloading direction by the substrate loading unit, and is substantially synchronized with the loading of the substrate by the substrate loading unit. A substrate loading / unloading step of unloading the substrate on the support table along the substrate loading / unloading direction by the substrate transporting means, and raising the support table loaded with the substrate with respect to the movable frame by the support table lifting / lowering means. In this way, the substrate is supported on the support table, and is positioned on the support table by the substrate restricting means. Further, substantially in synchronization with these, the movable frame is raised with respect to the table section by the movable frame elevating means. Is horizontally moved in a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction by the table horizontal movement means, so that the substrate on the support table is A substrate positioning step to position the position, the horizontal movement of the recognition camera along the substrate carry-out direction,
With the horizontal movement of the table section along a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction by the table section horizontal moving means,
A board reference position mark recognition step of causing the recognition camera to recognize a reference position mark previously given to the board, and a board loading / unloading direction, and along with the horizontal movement of the recognition camera along a direction substantially orthogonal to the board loading / unloading direction, the screen A screen reference position mark recognizing step of recognizing a reference position mark given in advance to a recognition camera; and, based on a position of each of the reference position marks recognized by the recognition camera, the table unit is moved by a table unit horizontal moving unit. The screen table section supporting the screen is horizontally moved along a direction substantially perpendicular to the loading / unloading direction, and the screen table section supporting the screen is moved along the substrate loading / unloading direction by the screen table section horizontal moving means. To rotate in a horizontal plane approximately parallel to the substrate on the support base. And a print head unit 70 disposed above the screen table unit applies a printing paste to the substrate via a screen supported by the screen table unit by a position correction step of performing relative alignment between the substrate and the screen. And a printing step of printing on the paper. Therefore, it is possible to reduce the time required for replacing the substrate and recognizing the reference position mark by the recognition camera. As a result, the printing time can be reduced.

【００９１】本発明によれば、制御手段は、基板搬入手
段による支持台上への基板の搬入、及び基板搬出手段に
よる支持台上からの基板の搬出を、所定の基板搬入搬出
方向に沿って略同期して行わせる。また制御手段は、支
持台昇降手段による支持台の昇降動作に伴う支持台への
基板の支持、基板規制手段による支持台上での基板の位
置決め、可動フレーム昇降手段による可動フレームの昇
降、テーブル部水平移動手段による基板搬入搬出方向に
対して略直交する方向に沿うテーブル部の水平移動、及
び認識カメラによる基準位置マーク認識を行う所定の位
置への、可動フレームの昇降並びにテーブル部の水平移
動に伴う基板の位置決めを、略同期して行わせる。更に
制御手段は、認識カメラによって認識された基板及びス
クリーンの各基準位置マークの位置に基づいて、テーブ
ル部水平移動手段、スクリーンテーブル部水平移動手
段、及びスクリーンテーブル部回転手段を制御し、基板
及びスクリーンの相対的な位置合わせを行わせる。した
がって、基板の入れ替え及び認識カメラによる基準位置
マークの認識に要する時間を短縮することができる。こ
れにより、印刷時間の短縮を図ることができる。According to the present invention, the control means controls the loading of the substrate onto the support table by the substrate loading means and the removal of the substrate from the support table by the substrate loading means along the predetermined substrate loading / unloading direction. Let them be performed almost synchronously. Further, the control means includes support of the substrate on the support table in accordance with the elevating operation of the support table by the support table elevating means, positioning of the substrate on the support table by the substrate regulating means, elevating and lowering of the movable frame by the movable frame elevating means, For horizontal movement of the table section along a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction by the horizontal movement means, and for raising / lowering the movable frame and horizontal movement of the table section to a predetermined position where the recognition position recognition is performed by the recognition camera. The accompanying positioning of the substrate is performed substantially synchronously. Further, the control unit controls the table unit horizontal moving unit, the screen table unit horizontal moving unit, and the screen table unit rotating unit based on the position of each reference position mark of the substrate and the screen recognized by the recognition camera, and Causes relative screen alignment. Therefore, it is possible to reduce the time required for replacing the substrate and recognizing the reference position mark by the recognition camera. As a result, the printing time can be reduced.

【００９２】また支持台は、可動フレームに固定された
ガイド軸に昇降可能に支持される。支持台昇降手段は、
外周面にボールネジを形成されたボールネジ軸、並びに
支持台に設けられ、ボールネジ軸を螺合されるボールネ
ジナットからなるボールネジ機構、及びボールネジ機構
のボールネジ軸を回転させる支持台昇降用モータを、可
動フレームに備えてなる。更に可動フレーム昇降手段
は、支持台昇降手段と共用のボールネジ軸、並びにボー
ルネジ軸を螺合される雌ネジを形成され、テーブル部に
回転自在に支持されたボールネジナットからなるボール
ネジ機構、及びボールネジ機構のボールネジナットを回
転させる可動フレーム昇降用モータを、テーブル部に備
えてなる。ボールネジ機構のボールネジ軸及びガイド軸
はそれぞれ、支持台昇降機構と可動フレーム昇降機構と
で共用される。したがって、昇降させる部分の重量を小
さくして慣性を小さくすることができ、支持台及び可動
フレームの昇降に伴うハンチングを最小限に抑えること
ができる。これにより、例えばハンチングが収まるまで
待つ必要がなく、印刷完了までの所要時間を大幅に短縮
することができる。The support table is supported by a guide shaft fixed to the movable frame so as to be able to move up and down. The support base elevating means,
A ball screw mechanism having a ball screw formed with a ball screw on the outer peripheral surface, a ball screw mechanism provided on the support table, and a ball screw nut including a ball screw nut to which the ball screw axis is screwed, and a support table elevating motor for rotating the ball screw shaft of the ball screw mechanism are movable frame. Be prepared for. Further, the movable frame lifting / lowering means is formed with a ball screw shaft shared with the support base lifting / lowering means, and a female screw screwed with the ball screw shaft, and a ball screw mechanism comprising a ball screw nut rotatably supported on the table portion, and a ball screw mechanism. And a movable frame lifting / lowering motor for rotating the ball screw nut. The ball screw shaft and the guide shaft of the ball screw mechanism are shared by the support base lifting mechanism and the movable frame lifting mechanism. Therefore, the weight of the portion to be raised and lowered can be reduced to reduce the inertia, and hunting accompanying the lifting and lowering of the support base and the movable frame can be minimized. Thus, for example, it is not necessary to wait until the hunting stops, and the time required until printing is completed can be greatly reduced.

【００９３】また支持台上には、基板ストッパが進退可
能に設けられており、基板ストッパは、基板搬入手段に
よって支持台上に搬入される基板の前端部に係合するこ
とにより、基板を支持台上における所定の位置で停止さ
せる。更に基板ストッパには、支持台上の基板の有無を
検出する基板検出センサが設けられる。制御手段は、基
板検出センサからの基板検出信号に基づいて、基板搬入
手段及び基板搬出手段を制御する。したがって、基板の
入れ替え及び認識カメラによる基準位置マークの認識に
要する時間を短縮することができるとともに、基板の入
れ替えに際して、搬入される基板と搬出される基板との
接触等を確実に防止することができる。これにより、印
刷時間の短縮を図ることができる。A substrate stopper is provided on the support table so as to be able to advance and retreat. The substrate stopper supports the substrate by engaging with the front end of the substrate loaded onto the support table by the substrate loading means. Stop at a predetermined position on the table. Further, the substrate stopper is provided with a substrate detection sensor for detecting the presence or absence of the substrate on the support base. The control unit controls the substrate loading unit and the substrate unloading unit based on the substrate detection signal from the substrate detection sensor. Therefore, it is possible to reduce the time required for the replacement of the board and the recognition of the reference position mark by the recognition camera, and to reliably prevent the contact between the board to be carried in and the board to be carried out when the board is replaced. it can. As a result, the printing time can be reduced.

【００９４】また、基板ストッパにおける基板との係合
面には、緩衝材が設けられるので、搬入される基板の慣
性力を減衰させることができ、基板の振動を極めて短時
間で止めることができる。Further, since the cushioning material is provided on the engagement surface of the substrate stopper with the substrate, the inertial force of the substrate to be carried in can be attenuated, and the vibration of the substrate can be stopped in a very short time. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の一実施形態であるスクリーン印刷装置
を示す概略平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view showing a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図２】図１のスクリーン印刷装置の内部を正面から見
た図である。FIG. 2 is a front view of the inside of the screen printing apparatus of FIG. 1;

【図３】図１のスクリーン印刷装置の開蓋状態の正面図
である。FIG. 3 is a front view of the screen printing apparatus in FIG. 1 in a cover open state.

【図４】図１のスクリーン印刷装置の右側面図である。FIG. 4 is a right side view of the screen printing apparatus of FIG.

【図５】図１のスクリーン印刷装置のテーブル部水平移
動機構、支持台昇降機構及び可動フレーム昇降機構を示
す正面図である。FIG. 5 is a front view showing a table section horizontal moving mechanism, a support base elevating mechanism, and a movable frame elevating mechanism of the screen printing apparatus of FIG. 1;

【図６】図５の右側面図である。FIG. 6 is a right side view of FIG.

【図７】スクリーン印刷方法の各工程を示すフローチャ
ートである。FIG. 7 is a flowchart showing each step of the screen printing method.

【図８】従来のスクリーン印刷機を示す要部平面図であ
る。FIG. 8 is a plan view of a main part showing a conventional screen printing machine.

【図９】従来のスクリーン印刷機の他の例を示す正面図
である。FIG. 9 is a front view showing another example of the conventional screen printing machine.

【図１０】従来のスクリーン印刷装置の更に他の例を示
す正面図である。FIG. 10 is a front view showing still another example of the conventional screen printing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０ スクリーン印刷装置 １１ 基板 １２ スクリーン １３ 装置フレーム ２０ テーブル部 ２１ テーブル部ガイド ２２ テーブル部水平移動手段（テーブル部水平移動機
構） ２３ ボールネジ軸 ２４ ボールネジナット ２５ テーブル部水平移動用モータ ２６ 昇降ガイド ２７ ガイド軸 ３０ 基板搬入手段（基板搬入用ローダ） ３１ 基板搬出手段（基板搬出用ローダ） ４０ 支持台 ４０ａ 支持ピン ４１ 支持台昇降ガイド ４２ 支持台昇降手段（支持台昇降機構） ４３ ボールネジ軸（共用されるボールネジ軸） ４４ ボールネジナット ４５ 支持台昇降用モータ ４６ 可動フレーム ４７ 可動フレーム昇降手段（可動フレーム昇降機構） ４８ ボールネジナット ４９ 可動フレーム昇降用モータ ５０ タイミングベルト ５１ 基板搬送機構 ５２ 基板ストッパ ５３ 基板検出センサ ５４ 緩衝材 ５５ 基板規制機構 ５５ａ 規制部材 ６０ スクリーンテーブル部 ６１ スクリーンテーブル部水平移動手段（スクリーン
テーブル部水平移動機構） ６２ スクリーンテーブル部回転手段（スクリーンテー
ブル部回転機構） ６３ スクリーンテーブル部水平移動用モータ ６４ クランプ ７０ 印刷ヘッド部 ７２ 印刷用スキージ ７３ 印刷ヘッド部水平移動手段（印刷ヘッド部水平移
動機構） ７４ ボールネジ軸 ７５ ボールネジナット ７６ 印刷ヘッド部水平移動用モータ ８０ 認識カメラ ８１ カメラＸ軸方向移動用モータ ８２ カメラＸ軸 ８３ カメラＹ軸方向移動用モータ ８４ カメラＹ軸DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Screen printing apparatus 11 Substrate 12 Screen 13 Device frame 20 Table part 21 Table part guide 22 Table part horizontal movement means (table part horizontal movement mechanism) 23 Ball screw shaft 24 Ball screw nut 25 Table part horizontal movement motor 26 Elevating guide 27 Guide shaft Reference Signs List 30 substrate carrying-in means (substrate carrying-in loader) 31 substrate carrying-out means (substrate carrying-out loader) 40 support base 40a support pin 41 support base elevating guide 42 support base elevating means (support base elevating mechanism) 43 ball screw shaft (shared ball screw) Shaft) 44 ball screw nut 45 support base elevating motor 46 movable frame 47 movable frame elevating means (movable frame elevating mechanism) 48 ball screw nut 49 movable frame elevating motor 50 timing belt 51 substrate transport mechanism 52 substrate Stopper 53 Substrate detection sensor 54 Buffer material 55 Substrate restricting mechanism 55a Restricting member 60 Screen table 61 Screen table horizontal moving means (screen table horizontal moving mechanism) 62 Screen table rotating means (screen table rotating mechanism) 63 Screen table Part horizontal movement motor 64 Clamp 70 Print head part 72 Printing squeegee 73 Print head part horizontal movement means (Print head part horizontal movement mechanism) 74 Ball screw shaft 75 Ball screw nut 76 Print head part horizontal movement motor 80 Recognition camera 81 Camera X Motor for axial movement 82 Camera X axis 83 Motor for camera Y axis movement 84 Camera Y axis

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｋ 3/12 ６１０ Ｂ４１Ｆ 33/14 Ｋ (72)発明者 中平 仁 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 大西 浩昭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 村上 俊行 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2C035 AA06 FA23 FA27 FA32 FB24 FB30 FB33 FB38 FB40 FC08 FD04 FD19 FE04 2C250 EA37 EB25 EB26 EB28 2F065 AA03 BB27 CC01 DD06 FF04 JJ03 JJ26 MM03 MM24 PP03 PP12 TT02 2F069 AA03 BB14 CC06 DD15 GG07 HH30 JJ07 JJ15 JJ17 MM03 MM24 MM34 PP01 5E343 AA02 BB72 DD03 FF13 FF30 GG11 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. ⁷ Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 3/12 610 B41F 33/14 K (72) Inventor Jin Nakahira 1006 Odakadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Matsushita Inside Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Hiroaki Onishi 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Toshiyuki Murakami 1006 Kadoma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture F Term in Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Reference) 2C035 AA06 FA23 FA27 FA32 FB24 FB30 FB33 FB38 FB40 FC08 FD04 FD19 FE04 2C250 EA37 EB25 EB26 EB28 2F065 AA03 BB27 CC01 DD06 FF04 JJ03 JJ26 MM03 MM24 PP03 PP12 TT02 2F007 TT02 2F007 BB72 DD03 FF13 FF30 GG11

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 支持台に支持された基板に、スクリーン
テーブル部に支持されたスクリーンを介して、印刷ヘッ
ド部によって印刷ペーストを印刷するスクリーン印刷方
法において、 テーブル部に対して昇降可能な可動フレームに昇降可能
に支持された支持台上に、基板搬入手段により、基板を
所定の基板搬入搬出方向に沿って搬入させるとともに、
基板搬入手段による基板の搬入に略同期して、基板搬出
手段により、支持台上の基板を前記基板搬入搬出方向に
沿って搬出させる基板搬入搬出工程と、 基板を搬入された支持台を、支持台昇降手段によって可
動フレームに対して昇降させることにより、基板を支持
台に支持させるとともに、基板規制手段によって支持台
上で位置決めし、更にこれらに略同期して、可動フレー
ムを可動フレーム昇降手段によってテーブル部に対して
上昇させるとともに、テーブル部をテーブル部水平移動
手段によって基板搬入搬出方向に対して略直交する方向
に沿って水平移動させることにより、支持台上の基板を
所定の位置に位置させる基板位置決め工程と、 基板搬入搬出方向に沿う認識カメラの水平移動、及びテ
ーブル部水平移動手段による基板搬入搬出方向と略直交
する方向に沿うテーブル部の水平移動に伴って、基板に
予め付与された基準位置マークを認識カメラに認識させ
る基板基準位置マーク認識工程と、 基板搬入搬出方向、及び基板搬入搬出方向と略直交する
方向に沿う認識カメラの水平移動に伴って、スクリーン
に予め付与された基準位置マークを認識カメラに認識さ
せるスクリーン基準位置マーク認識工程と、 認識カメラによって認識された前記各基準位置マークの
位置に基づいて、テーブル部を、テーブル部水平移動手
段によって基板搬入搬出方向に対して略直交する方向に
沿って水平移動させ、またスクリーンを支持するスクリ
ーンテーブル部を、スクリーンテーブル部水平移動手段
によって基板搬入搬出方向に沿って移動させるととも
に、スクリーンテーブル部回転手段によって支持台上の
基板と略平行な水平面内で回転させることにより、基板
及びスクリーンの相対的な位置合わせを行う位置補正工
程と、 スクリーンテーブル部の上方に配置された印刷ヘッド部
により、スクリーンテーブル部に支持されたスクリーン
を介して、印刷ペーストを基板上に印刷する印刷工程と
を有することを特徴とするスクリーン印刷方法。1. A screen printing method for printing a printing paste by a print head unit on a substrate supported by a support table via a screen supported by a screen table unit, wherein the movable frame is movable up and down with respect to the table unit. On the support table supported so as to be able to move up and down, the substrate loading means allows the substrate to be loaded in a predetermined substrate loading / unloading direction,
Substantially in synchronization with the loading of the substrate by the substrate loading means, the substrate loading / unloading step of transporting the substrate on the support table along the substrate loading / unloading direction by the substrate loading / unloading means, and supporting the support table loaded with the substrate. By raising and lowering the movable frame with respect to the movable frame by the platform elevating means, the substrate is supported on the support table, and positioned on the support table by the substrate regulating means, and further substantially in synchronization with these, the movable frame is moved by the movable frame elevating means. The substrate on the support is positioned at a predetermined position by raising the table relative to the table and horizontally moving the table in a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction by the table horizontal moving means. Substrate positioning process, horizontal movement of the recognition camera along the substrate loading / unloading direction, and substrate loading / unloading by means of table horizontal movement A substrate reference position mark recognizing step of causing a recognition camera to recognize a reference position mark previously given to the substrate along with the horizontal movement of the table section along a direction substantially orthogonal to the direction, a substrate loading / unloading direction, and a substrate loading / unloading direction. A screen reference position mark recognizing step of causing the recognition camera to recognize a reference position mark previously given to the screen along with the horizontal movement of the recognition camera along a direction substantially orthogonal to the reference position marks recognized by the recognition camera The table section is horizontally moved by the table section horizontal moving means in the direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction, and the screen table section supporting the screen is moved by the table table horizontal moving means. And the screen table rotating means. Therefore, by rotating in a horizontal plane that is substantially parallel to the substrate on the support table, a position correction step of performing relative alignment between the substrate and the screen, and a printing head unit disposed above the screen table unit, A printing step of printing a print paste on a substrate via a screen supported by the unit. 【請求項２】 支持台に支持された基板に、スクリーン
テーブル部に支持されたスクリーンを介して、印刷ヘッ
ド部によって印刷ペーストを印刷するスクリーン印刷装
置において、 装置フレームに水平移動可能に支持されたテーブル部
と、 テーブル部を、基板搬入搬出方向に対して略直交する方
向に沿って水平移動させるテーブル部水平移動手段と、 テーブル部に昇降可能に支持された可動フレームと、 可動フレームに昇降可能に支持された支持台と、 支持台の上方に配置され、スクリーンを支持するスクリ
ーンテーブル部と、 スクリーンテーブル部の上方に配置され、スクリーンテ
ーブル部に支持されたスクリーンを介して、印刷ペース
トを基板上に印刷する印刷ヘッド部と、 基板を、所定の基板搬入搬出方向に沿って支持台上に搬
入させる基板搬入手段と、 支持台上の基板を、前記基板搬入搬出方向に沿って搬出
させる基板搬出手段と、 テーブル部に設けられ、可動フレームをテーブル部に対
して昇降させる可動フレーム昇降手段と、 可動フレームに設けられ、支持台を可動フレームに対し
て昇降させる支持台昇降手段と、 基板を支持台上で位
置決めする基板規制手段と、 スクリーンテーブル部を、基板搬入搬出方向に沿って水
平移動させるスクリーンテーブル部水平移動手段と、 スクリーンテーブル部を、支持台に支持された基板と略
平行な水平面内で回転させるスクリーンテーブル部回転
手段と、 基板搬入搬出方向、及び基板搬入搬出方向と略直交する
方向に沿って水平移動可能に設けられ、基板及びスクリ
ーンにそれぞれ予め付与された基準位置マークを認識可
能な認識カメラと、 前記各手段及び認識カメラを制御する制御手段とを備
え、 制御手段は、基板搬入手段による支持台上への基板の搬
入、及び基板搬出手段による支持台上からの基板の搬出
を、所定の基板搬入搬出方向に沿って略同期して行わ
せ、 また制御手段は、支持台昇降手段による支持台の昇降動
作に伴う支持台への基板の支持、基板規制手段による支
持台上での基板の位置決め、可動フレーム昇降手段によ
る可動フレームの上昇、テーブル部水平移動手段による
基板搬入搬出方向に対して略直交する方向に沿うテーブ
ル部の水平移動、及び認識カメラによる基準位置マーク
認識を行う所定の位置への、可動フレームの上昇並びに
テーブル部の水平移動に伴う基板の位置決めを、略同期
して行わせ、 更に制御手段は、認識カメラによって認識された基板及
びスクリーンの各基準位置マークの位置に基づいて、テ
ーブル部水平移動手段、スクリーンテーブル部水平移動
手段、及びスクリーンテーブル部回転手段を略同期して
制御し、基板及びスクリーンの相対的な位置合わせを行
わせることを特徴とするスクリーン印刷装置。2. A screen printing apparatus for printing a printing paste by a print head unit on a substrate supported by a support table via a screen supported by a screen table unit, wherein the screen printing unit is horizontally supported by an apparatus frame. A table section; a table section horizontal moving means for horizontally moving the table section in a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction; a movable frame supported to be movable up and down on the table section; A support table supported on the support table, a screen table section disposed above the support table and supporting the screen, and a print paste placed on the substrate via the screen supported above the screen table section and disposed on the screen table section The print head unit that prints on the board and the board are loaded onto the support table along the board loading / unloading direction. A substrate carrying means for carrying out, a substrate carrying means for carrying out the substrate on the support table in the substrate carrying / carrying-out direction, a movable frame elevating means provided on the table portion, and raising and lowering the movable frame with respect to the table portion; A support table elevating means provided on the movable frame for raising and lowering the support table with respect to the movable frame; a substrate regulating means for positioning the substrate on the support table; and a horizontal movement of the screen table in the substrate loading / unloading direction. Screen table section horizontal moving means; screen table section rotating means for rotating the screen table section in a horizontal plane substantially parallel to the substrate supported by the support base; and a substrate loading / unloading direction, and a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction. It is provided so that it can move horizontally along the direction, and it can recognize the reference position mark previously given to the substrate and the screen respectively. A recognizing camera, and control means for controlling the means and the recognizing camera, wherein the control means loads the substrate onto the support by the substrate loading means and unloads the substrate from the support by the substrate unloading means. Control is performed substantially synchronously along a predetermined substrate loading / unloading direction, and the control means supports the substrate on the support pedestal by the lifting / lowering operation of the support pedestal by the support pedestal lifting / lowering means, Positioning of the substrate, lifting of the movable frame by the movable frame lifting / lowering means, horizontal movement of the table section along a direction substantially perpendicular to the substrate loading / unloading direction by the table horizontal movement means, and reference position mark recognition by the recognition camera. The moving of the movable frame to the predetermined position and the positioning of the substrate accompanying the horizontal movement of the table section are performed substantially in synchronization with each other. The table part horizontal moving means, the screen table part horizontal moving means, and the screen table part rotating means are controlled substantially synchronously based on the positions of the respective reference position marks of the substrate and the screen recognized by A screen printing apparatus characterized in that a general alignment is performed. 【請求項３】 前記支持台は、可動フレームに固定され
たガイド軸に昇降可能に支持されており、 また前記支持台昇降手段は、外周面にボールネジを形成
されたボールネジ軸、並びに支持台に設けられ、ボール
ネジ軸を螺合されるボールネジナットからなるボールネ
ジ機構、及びボールネジ機構のボールネジ軸を回転させ
る支持台昇降用モータを、可動フレームに備えてなり、 更に前記可動フレーム昇降手段は、支持台昇降手段と共
用のボールネジ軸、並びにボールネジ軸を螺合され、テ
ーブル部に回転自在に支持されたボールネジナットから
なるボールネジ機構、及びボールネジ機構のボールネジ
ナットを回転させる可動フレーム昇降用モータを、テー
ブル部に備えてなることを特徴とする請求項２記載のス
クリーン印刷装置。3. The support base is supported by a guide shaft fixed to a movable frame so as to be able to move up and down. The support base elevating means includes a ball screw shaft having a ball screw formed on an outer peripheral surface, and a support shaft. A movable frame provided with a ball screw mechanism comprising a ball screw nut to which the ball screw shaft is screwed, and a support base elevating motor for rotating the ball screw shaft of the ball screw mechanism; and the movable frame elevating means includes a support base A ball screw shaft shared with the elevating means, a ball screw shaft having a ball screw nut screwed with the ball screw shaft and rotatably supported by the table portion, and a movable frame elevating motor for rotating the ball screw nut of the ball screw mechanism, the table portion. The screen printing apparatus according to claim 2, wherein the screen printing apparatus is provided. 【請求項４】 支持台上に進退可能に設けられ、基板搬
入手段によって支持台上に搬入される基板の前端部に係
合することにより、基板を支持台上における所定の位置
で停止させる基板ストッパと、 基板ストッパに設けられ、支持台上の基板の有無を検出
する基板検出センサとを備え、 制御手段は、基板検出センサからの基板検出信号に基づ
いて、基板搬入手段及び基板搬出手段を制御することを
特徴とする請求項２又は３記載のスクリーン印刷装置。4. A substrate which is provided on a support table so as to be able to advance and retreat, and which stops the substrate at a predetermined position on the support table by engaging with a front end of the substrate carried into the support table by the substrate carrying means. A stopper, provided on the substrate stopper, and a substrate detection sensor for detecting the presence or absence of the substrate on the support table, wherein the control unit controls the substrate loading unit and the substrate unloading unit based on a substrate detection signal from the substrate detection sensor. The screen printing apparatus according to claim 2, wherein the screen printing apparatus performs control. 【請求項５】 前記基板ストッパにおける基板との係合
面には、緩衝材が設けられることを特徴とする請求項４
記載のスクリーン印刷装置。5. A cushioning material is provided on an engagement surface of the substrate stopper with the substrate.
A screen printing apparatus as described in the above.