JP4858520B2 - Screen printing machine and screen printing method - Google Patents

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Description

本発明は、マスクプレートのパターン孔を介して基板に半田ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printing machine and a screen printing method for printing a paste such as a solder paste on a substrate through a pattern hole of a mask plate.

スクリーン印刷機は、一対のベルトコンベア機構から成る基板搬送手段によって基板の搬送と作業位置への位置決めを行った後、基板の印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたマスクプレートを基板の印刷面に接触させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷する。また、基板搬送手段は一対のベルトコンベア機構のうちの一方が移動不能な固定側ベルトコンベア機構、他方が搬送する基板の幅方向（基板の搬送方向と直交する水平面内方向）に移動自在な可動側ベルトコンベア機構となっており、可動側ベルトコンベア機構を基板の幅方向に移動させることによって一対のベルトコンベア機構の間隔（コンベア幅）を変えることができるようになっている。このためスクリーン印刷機では、異なるサイズ（幅方向寸法）の基板の搬送及び位置決めを行うことができ、これによりスクリーン印刷機は複数種の基板に対してスクリーン印刷を行うことができる。   The screen printing machine transfers the substrate and positions the work position by the substrate transfer means comprising a pair of belt conveyor mechanisms, and then prints the mask plate provided with the pattern holes in accordance with the print target portion of the substrate. The paste is printed on the substrate through the pattern holes by contacting the surface and supplying the paste onto the mask plate and sliding the squeegee. Also, the substrate transport means is movable so that one of the pair of belt conveyor mechanisms can move in the fixed side belt conveyor mechanism, the other transports in the width direction of the substrate transported (in the horizontal plane perpendicular to the substrate transport direction). This is a side belt conveyor mechanism, and the distance between the pair of belt conveyor mechanisms (conveyor width) can be changed by moving the movable belt conveyor mechanism in the width direction of the substrate. For this reason, the screen printer can carry and position substrates of different sizes (dimensions in the width direction), whereby the screen printer can perform screen printing on a plurality of types of substrates.

このようなスクリーン印刷機では、基板に反りが生じているとペーストの印刷を良好に行うことができないため、スクリーン印刷を実行する前に、基板を上方から押圧して基板の反りを矯正する必要がある。基板の反りを矯正する基板反り矯正装置としては、例えば、下端にプレート部材を有した上下シリンダを基板の搬送方向に移動自在な移動フレームに固定して設け、プレート部材を基板の上方に対向させた状態で上下シリンダを伸張させることにより、プレート部材を介して基板が上下シリンダによって押圧されるようにしたものが知られている（特許文献１）。
特開２００５−３０５８８４号公報 In such a screen printing machine, if the substrate is warped, the paste cannot be printed satisfactorily. Therefore, before the screen printing is performed, it is necessary to press the substrate from above to correct the substrate warp. There is. As a substrate warpage correction device for correcting substrate warpage, for example, an upper and lower cylinder having a plate member at the lower end is fixed to a movable frame movable in the substrate transport direction, and the plate member is opposed to the upper side of the substrate. In the known state, the upper and lower cylinders are extended so that the substrate is pressed by the upper and lower cylinders via the plate member (Patent Document 1).
JP 2005-305484 A

しかしながら、基板搬送手段によって搬送及び位置決めされる基板の中心軸（基板の搬送方向に延びる基板の中心線）の位置は、基板のサイズに対応して可変設定されるコンベア幅に応じて基板の幅方向に移動するため、基板の中心軸と基板反り矯正装置が備えるプレート部材の中心軸が上下方向に必ずしも一致せず、プレート部材から受ける押し付け力のかかり具合が基板全体として不均衡になって基板の反りを十分に矯正できない場合があった。この場合、基板に反りが残ってしまい、その後のスクリーン印刷における印刷精度が低下するおそれがあった。   However, the position of the center axis of the substrate (the center line of the substrate extending in the substrate transport direction) transported and positioned by the substrate transport means is the width of the substrate in accordance with the conveyor width variably set corresponding to the size of the substrate. The center axis of the substrate and the center axis of the plate member included in the substrate warp correction device do not necessarily coincide with each other in the vertical direction, and the amount of pressing force received from the plate member becomes unbalanced as a whole substrate. In some cases, it was not possible to sufficiently correct the warpage. In this case, the substrate remains warped, and the printing accuracy in subsequent screen printing may be reduced.

そこで本発明は、基板のサイズによらず基板の十分な反りの矯正をしたうえでスクリーン印刷を実行することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a screen printing machine and a screen printing method capable of executing screen printing after sufficiently correcting the warpage of the substrate regardless of the size of the substrate.

請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板を搬送して作業位置に位置決めする一対のベルトコンベア機構から成る基板搬送手段と、基板搬送手段による基板の搬送方向と直交する方向に移動自在に設けられたプレート部材と、作業位置に位置決めされた基板に対してプレート部材を基板の搬送方向と直交する方向に移動させ、基板搬送手段を構成する一対のベルトコンベア機構の間隔に基づいて求められる基板の中心軸とプレート部材の中心軸を上下方向に一致させて基板とプレート部材の中心軸合わせを行う中心軸合わせ手段と
、中心軸合わせがなされた基板とプレート部材を互いに上下方向に押し付けて基板の反りの矯正を行う押し付け手段と、反りの矯正がなされた基板に接触されるマスクプレートと、基板と接触されたマスクプレートにペーストを供給するペースト供給手段と、ペースト供給手段によりペーストが供給されたマスクプレートに対して摺動され、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスキージと、を備えた。 The screen printing machine according to claim 1 is provided so as to be movable in a direction orthogonal to a substrate conveying direction by the substrate conveying means, and a substrate conveying means comprising a pair of belt conveyor mechanisms for conveying the substrate and positioning it at a work position. The substrate obtained on the basis of the distance between the pair of belt conveyor mechanisms constituting the substrate transport means by moving the plate member in the direction orthogonal to the substrate transport direction with respect to the plate member and the substrate positioned at the work position The center axis aligning means for aligning the center axis of the plate member with the center axis of the plate member in the vertical direction, and the substrate and the plate member aligned with each other in the vertical direction are pressed against each other in the vertical direction. A pressing means for correcting the warpage of the substrate, a mask plate in contact with the substrate on which the correction of warpage has been made, and a mask plate in contact with the substrate. Paste supply means for supplying paste to the substrate, and a squeegee that is slid with respect to the mask plate to which the paste is supplied by the paste supply means and that prints the paste on the substrate through the pattern holes provided in the mask plate, Prepared.

請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、押し付け手段は基板を上昇させてプレート部材に下方から押し付けるものである。   The screen printer according to claim 2 is the screen printer according to claim 1, wherein the pressing means raises the substrate and presses it against the plate member from below.

請求項３に記載のスクリーン印刷方法は、一対のベルトコンベア機構から成る基板搬送手段により基板を搬送して作業位置に位置決めする工程と、作業位置に位置決めした基板に対してプレート部材を基板の搬送方向と直交する方向に移動させ、基板搬送手段を構成する一対のベルトコンベア機構の間隔に基づいて求められる基板の中心軸とプレート部材の中心軸を上下方向に一致させて基板とプレート部材の中心軸合わせを行う工程と、中心軸合わせがなされた基板とプレート部材を互いに上下方向に押し付けて基板の反りの矯正を行う工程と、反りの矯正がなされた基板にマスクプレートを接触させる工程と、基板と接触したマスクプレートにペーストを供給する工程と、ペーストが供給されたマスクプレートに対してスキージを摺動させ、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷する工程と、を含む。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a screen printing method in which a substrate is transported by a substrate transport means including a pair of belt conveyor mechanisms and positioned at a work position, and a plate member is transported with respect to the substrate positioned at the work position. The center axis of the substrate and the plate member is made to coincide with the center axis of the plate member and the center axis of the plate member, which are obtained on the basis of the distance between the pair of belt conveyor mechanisms constituting the substrate transport means. A step of performing axial alignment, a step of pressing the substrate and the plate member aligned with each other in the vertical direction to correct the warpage of the substrate, a step of bringing the mask plate into contact with the substrate subjected to the correction of warping, and Supplying paste to the mask plate in contact with the substrate and sliding the squeegee against the mask plate supplied with the paste , And a step of printing a paste on a substrate through a pattern hole provided in the mask plate, a.

本発明では、作業位置に位置決めした基板に対してプレート部材を基板の搬送方向と直交する方向に移動させ、基板搬送手段を構成する一対のベルトコンベア機構の間隔に基づいて求められる基板の中心軸とプレート部材の中心軸を上下方向に一致させて基板とプレート部材の中心軸合わせを行った後、基板とプレート部材を互いに上下方向に押し付けて基板の反りを矯正するようになっている。このため基板のサイズ（幅方向寸法）によらず基板の十分な反りの矯正をしたうえでスクリーン印刷を実行することができる。   In the present invention, the central axis of the substrate obtained based on the distance between the pair of belt conveyor mechanisms that move the plate member in the direction orthogonal to the substrate conveyance direction relative to the substrate positioned at the working position. After aligning the center axis of the plate member with the center axis of the plate member and aligning the center axis of the substrate and the plate member, the substrate and the plate member are pressed against each other in the vertical direction to correct the warp of the substrate. For this reason, screen printing can be executed after sufficiently correcting the warpage of the substrate regardless of the size of the substrate (dimension in the width direction).

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図、図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図、図３は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の正面図、図４は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図、図５（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える搬送コンベアのコンベア幅を変更した様子を示す図、図６（ａ），（ｂ）及び図７（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図、図８（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機において基板がプレート部材に押し付けられる様子を示す図、図９（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の動作説明図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a screen printer according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the screen printer according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a screen printer according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a block diagram showing a control system of the screen printing machine in one embodiment of the present invention, and FIGS. 5A and 5B are screens in one embodiment of the present invention. The figure which shows a mode that the conveyor width | variety of the conveyance conveyor with which a printing machine is equipped, FIG. 6 (a), (b) and FIG. 7 (a), (b) is operation | movement of the screen printing machine in one embodiment of this invention. FIGS. 8A and 8B are diagrams illustrating a state in which the substrate is pressed against the plate member in the screen printing machine according to the embodiment of the present invention. FIGS. 9A and 9B are diagrams illustrating the present invention. In one embodiment It illustrates the operation of the printing apparatus constituting a screen printing machine.

図１及び図２において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの搬送方向の上流側（図１及び図２における紙面左側）から投入された基板ＰＢに対して半田ペーストや導電性ペースト等のペーストのスクリーン印刷を行って基板ＰＢの搬送方向の下流側（図１及び図２における紙面右側）の装置（図示せず）に搬出する。以下の説明では、スクリーン印刷機１における基板ＰＢの搬送方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。   1 and 2, the screen printing machine 1 according to the present embodiment includes a solder paste and a conductive material for a substrate PB that is loaded from the upstream side in the conveyance direction of the substrate PB (the left side in FIG. 1 and FIG. 2). Screen printing of a paste such as a paste is performed, and the substrate PB is transported to an apparatus (not shown) on the downstream side (the right side in FIG. 1 and FIG. 2) in the transport direction. In the following description, the conveyance direction of the substrate PB in the screen printing machine 1 is the X-axis direction, and the horizontal plane direction orthogonal to the X-axis direction is the Y-axis direction. Also, the vertical direction is the Z-axis direction.

図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、基台２上に基板ＰＢにスクリーン印刷を施す印刷装置３、この印刷装置３に基板ＰＢを搬入する基板搬入コンベア４及び印刷装置３によってスクリーン印刷が施された基板ＰＢを印刷装置３から搬出する基板搬出コン
ベア５を備えている。これら基板搬入コンベア４、印刷装置３及び基板搬出コンベア５はこの順でＸ軸方向に並んで設けられており、基板搬入コンベア４及び基板搬出コンベア５はそれぞれ、同期して駆動される左右一対のベルトコンベア機構から構成されている。 1 and 2, the screen printing machine 1 is screen-printed by a printing device 3 that performs screen printing on a substrate PB on a base 2, a substrate carry-in conveyor 4 and a printing device 3 that carry the substrate PB into the printing device 3. The board | substrate carrying-out conveyor 5 which carries out the board | substrate PB which was given from the printing apparatus 3 is provided. The substrate carry-in conveyor 4, the printing device 3, and the substrate carry-out conveyor 5 are arranged in this order in the X-axis direction, and the substrate carry-in conveyor 4 and the substrate carry-out conveyor 5 are respectively paired on the left and right sides that are driven synchronously. It consists of a belt conveyor mechanism.

図１、図２及び図３において、印刷装置３は、基板搬入コンベア４から基板ＰＢを受け取ってＸ軸方向に搬送する搬送コンベア１１と、搬送コンベア１１上の基板ＰＢをクランプして基板ＰＢを搬送コンベア１１上に固定するクランパ１２と、搬送コンベア１１上の基板ＰＢの水平面内方向への位置合わせと上下方向への位置合わせを行う基板位置合わせ部１３と、基板位置合わせ部１３の上方に設けられたマスクプレート１４と、スキージヘッド１５と、基台２の上方をＹ軸方向に延び、基台２に相対的に固定して設けられたＹ軸ステージ１６ａ、Ｘ軸方向に延び、Ｙ軸ステージ１６ａに沿って移動自在に設けられたＸ軸ステージ１６ｂ及びＸ軸ステージ１６ｂに沿って移動自在に設けられた移動プレート１６ｃから成るＸＹロボット１６と、ＸＹロボット１６の移動プレート１６ｃに取り付けられたカメラユニット１７と、ＸＹロボット１６のＸ軸ステージ１６ｂに固定された水平なプレート部材１８及びマスクプレート１４上にペーストを供給するペースト供給部１９を備えている。   1, 2, and 3, the printing apparatus 3 receives the substrate PB from the substrate carry-in conveyor 4 and conveys the substrate PB by clamping the substrate PB on the conveyance conveyor 11 and the conveyance conveyor 11 that conveys the substrate PB in the X-axis direction. A clamper 12 that is fixed on the conveyor 11, a substrate alignment unit 13 that aligns the substrate PB on the conveyor 11 in the horizontal plane direction, and an alignment in the vertical direction, and above the substrate alignment unit 13. A mask plate 14 provided, a squeegee head 15, a Y-axis stage 16 a provided above the base 2 in the Y-axis direction and fixed relative to the base 2, and extends in the X-axis direction. An XY robot 16 comprising an X-axis stage 16b provided movably along the axis stage 16a and a moving plate 16c provided movably along the X-axis stage 16b. A camera unit 17 attached to the moving plate 16 c of the XY robot 16, a horizontal plate member 18 fixed to the X-axis stage 16 b of the XY robot 16, and a paste supply unit 19 for supplying paste onto the mask plate 14. ing.

図２及び図３において、ＸＹロボット１６を構成するＸ軸ステージ１６ｂは基板位置合わせ部１３とマスクプレート１４の間の領域に設けられている。このためＸ軸ステージ１６ｂがＹ軸ステージ１６ａに沿ってＹ軸方向に移動すると、Ｘ軸ステージ１６ｂ上を移動自在に設けられた移動プレート１６ｃ（すなわちカメラユニット１７）及びＸ軸ステージ１６ｂに固定されたプレート部材１８は、Ｘ軸ステージ１６ｂと一体となって、基板位置合わせ部１３とマスクプレート１４の間の領域をＹ軸方向に移動する。   2 and 3, the X axis stage 16 b constituting the XY robot 16 is provided in a region between the substrate alignment unit 13 and the mask plate 14. For this reason, when the X-axis stage 16b moves along the Y-axis stage 16a in the Y-axis direction, the X-axis stage 16b is fixed to the movable plate 16c (that is, the camera unit 17) and the X-axis stage 16b provided movably on the X-axis stage 16b. The plate member 18 is integrated with the X-axis stage 16b and moves in the Y-axis direction in a region between the substrate alignment unit 13 and the mask plate 14.

図１及び図３において、搬送コンベア１１は同期して駆動される左右一対のベルトコンベア機構から構成されており、クランパ１２はＹ軸方向に開閉動作する左右一対の部材から構成されている。   1 and 3, the conveyor 11 is composed of a pair of left and right belt conveyor mechanisms that are driven in synchronism, and the clamper 12 is composed of a pair of left and right members that open and close in the Y-axis direction.

図３において、基板位置合わせ部１３は、基台２に対してＹ軸方向に相対移動するＹテーブル１３ａ、Ｙテーブル１３ａに対してＸ軸方向に相対移動するＸテーブル１３ｂ、Ｘテーブル１３ｂに対してＺ軸回りに相対回転するθテーブル１３ｃ、θテーブル１３ｃに固定されたベースプレート１３ｄ、ベースプレート１３ｄに対して相対昇降する第１昇降プレート１３ｅ、第１昇降プレート１３ｅに対して相対昇降する第２昇降プレート１３ｆ及び第２昇降プレート１３ｆに固定された基板支持部材１３ｇを有して構成されている。   In FIG. 3, the substrate alignment unit 13 is provided for the Y table 13 a that moves relative to the base 2 in the Y axis direction, the X table 13 b that moves relative to the Y table 13 a in the X axis direction, and the X table 13 b. Θ table 13c that rotates relative to the Z axis, base plate 13d fixed to θ table 13c, first elevating plate 13e that elevates relative to base plate 13d, and second elevating that relatively elevates relative to first elevating plate 13e. The substrate support member 13g is fixed to the plate 13f and the second elevating plate 13f.

基台２に対するＹテーブル１３ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル１３ａに対するＸテーブル１３ｂのＸ軸方向への移動、Ｘテーブル１３ｂに対するθテーブル１３ｃのＺ軸回りの回転、ベースプレート１３ｄに対する（すなわちθテーブル１３ｃに対する）第１昇降プレート１３ｅの昇降、第１昇降プレート１３ｅに対する第２昇降プレート１３ｆの（すなわち基板支持部材１３ｇの）昇降の各動作は、このスクリーン印刷機１が備える制御装置２０（図４）がＹテーブル駆動モータＭｙ（図３）やＸテーブル駆動モータＭｘ（図３）等のアクチュエータ等から成る基板位置合わせ部作動機構２１（図４）の作動制御を行うことによってなされる。   Movement of the Y table 13a with respect to the base 2 in the Y axis direction, movement of the X table 13b with respect to the Y table 13a in the X axis direction, rotation of the θ table 13c with respect to the X table 13b around the Z axis, and relative to the base plate 13d (that is, θ The control device 20 provided in the screen printing machine 1 is used for the operations of raising and lowering the first elevating plate 13e (with respect to the table 13c) and raising and lowering the second elevating plate 13f with respect to the first elevating plate 13e (that is, the substrate support member 13g) 4) is performed by controlling the operation of the substrate alignment unit operating mechanism 21 (FIG. 4) including actuators such as the Y table driving motor My (FIG. 3) and the X table driving motor Mx (FIG. 3).

また、搬送コンベア１１による基板ＰＢの搬送動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成る搬送コンベア作動機構２２（図４）の作動制御を行うことによってなされ（図４）、クランパ１２による搬送コンベア１１上の基板ＰＢのクランプ動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るクランパ作動機構２３（図４）の作動制御を行うことによってなされる。   The substrate PB is transported by the transport conveyor 11 when the control device 20 controls the transport conveyor operation mechanism 22 (FIG. 4) including an actuator (not shown) (FIG. 4). 11 is performed by the control device 20 controlling the operation of a clamper operating mechanism 23 (FIG. 4) including an actuator (not shown).

図１及び図３において、マスクプレート１４は平面視において矩形形状を有するマスク枠１４ａによって四辺が支持されており、マスク枠１４ａによって囲まれた内側領域には、印刷対象物である基板ＰＢの上面に形成された電極（図示せず）の形状及び位置に対応した多数のパターン孔（図示せず）が設けられている。   In FIG. 1 and FIG. 3, the mask plate 14 is supported on four sides by a mask frame 14a having a rectangular shape in plan view, and an inner region surrounded by the mask frame 14a has an upper surface of a substrate PB that is a printing object. A large number of pattern holes (not shown) corresponding to the shape and position of electrodes (not shown) formed on the substrate are provided.

図３において、スキージヘッド１５はＹ軸方向に移動自在に設けられた移動ビーム１５ｐに、Ｙ軸方向に対向する２つのスキージ１５ａが取り付けられた構成となっている。各スキージ１５ａはＸ軸方向に延びた「へら」状の部材であり、移動ビーム１５ｐに対する昇降動作とアタック角の設定を行うことができるようになっている。アタック角とは、搬送コンベア１１上の基板ＰＢ或いはマスクプレート１４に対してスキージ１５ａがなす角度αのことである。   In FIG. 3, the squeegee head 15 has a configuration in which two squeegees 15a facing in the Y-axis direction are attached to a moving beam 15p provided to be movable in the Y-axis direction. Each squeegee 15a is a “spar” -like member extending in the X-axis direction, and is capable of performing a lifting operation and an attack angle with respect to the moving beam 15p. The attack angle is an angle α formed by the squeegee 15 a with respect to the substrate PB or the mask plate 14 on the transport conveyor 11.

移動ビーム１５ｐのＹ軸方向への移動動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構２４（図４）の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ１５ａの昇降動作は、制御装置２０がスキージ昇降シリンダ１５ｂ（図３）等から成るスキージ昇降機構２５（図４）の作動制御を行うことによってなされる。また、各スキージ１５ａのアタック角の設定動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るアタック角設定機構２６（図４）の作動制御を行うことによってなされる。   The movement operation of the moving beam 15p in the Y-axis direction is performed when the control device 20 controls the operation of the squeegee head moving mechanism 24 (FIG. 4) including an actuator (not shown). This is done by the device 20 controlling the operation of the squeegee lifting mechanism 25 (FIG. 4) comprising the squeegee lifting cylinder 15b (FIG. 3). Moreover, the setting operation of the attack angle of each squeegee 15a is performed by the operation control of the attack angle setting mechanism 26 (FIG. 4) which the control apparatus 20 consists of an actuator etc. which are not shown in figure.

ＸＹロボット１６を構成するＸ軸ステージ１６ｂのＹ軸方向への移動動作及び移動プレート１６ｃのＸ軸方向への移動動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータから成るＸＹロボット作動機構３４（図４）の作動制御を行うことによってなされる。   The X-axis stage 16b constituting the XY robot 16 is moved in the Y-axis direction and the moving plate 16c is moved in the X-axis direction. This is done by performing the operation control.

図３において、カメラユニット１７は撮像面を下方に向けた第１カメラ１７ａと撮像面を上方に向けた第２カメラ１７ｂを備えて成る。第１カメラ１７ａは、制御装置２０に制御されて基板位置合わせ部１３によって位置合わせされた基板ＰＢに設けられている基板位置検出マークＭ（図１）の撮像を行い、第２カメラ１７ｂは、制御装置２０に制御されてマスクプレート１４に設けられているマスク位置検出マーク（図示せず）の撮像を行う。第１カメラ１７ａ及び第２カメラ１７ｂの撮像によって得られた画像データは制御装置２０に入力される（図４）。   In FIG. 3, the camera unit 17 includes a first camera 17a with the imaging surface facing downward and a second camera 17b with the imaging surface facing upward. The first camera 17a takes an image of the substrate position detection mark M (FIG. 1) provided on the substrate PB which is controlled by the control device 20 and is aligned by the substrate alignment unit 13, and the second camera 17b is Under the control of the control device 20, a mask position detection mark (not shown) provided on the mask plate 14 is imaged. Image data obtained by imaging with the first camera 17a and the second camera 17b is input to the control device 20 (FIG. 4).

図３において、ペースト供給部１９は、基板位置合わせ部１３に対して水平面内方向に移動自在に設けられた移動プレート１９ｐに、基板ＰＢに印刷しようとするペーストを下方に吐出するシリンジ１９ａが取り付けられた構成となっている。移動プレート１９ｐの移動動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給部移動機構３８（図４）の作動制御を行うことによってなされ、シリンジ１９ａによるペーストの供給動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給機構３９（図４）の作動制御を行うことによってなされる。   In FIG. 3, the paste supply unit 19 has a syringe 19 a for discharging the paste to be printed on the substrate PB downward attached to a moving plate 19 p provided to be movable in a horizontal plane direction with respect to the substrate alignment unit 13. It is the composition which was made. The movement operation of the moving plate 19p is performed by the control device 20 controlling the operation of the paste supply unit moving mechanism 38 (FIG. 4) including an actuator (not shown), and the control device 20 performs the paste supply operation by the syringe 19a. This is done by controlling the operation of a paste supply mechanism 39 (FIG. 4) including an actuator (not shown).

また、基板搬入コンベア４による基板ＰＢの搬送（搬入）動作の制御及び基板搬出コンベア５による基板ＰＢの搬送（搬出）動作の制御は制御装置２０によってなされる（図４）。   Further, the control of the substrate PB transfer (carrying-in) operation by the substrate carry-in conveyor 4 and the control of the substrate PB transfer (carry-out) operation by the substrate carry-out conveyor 5 are performed by the control device 20 (FIG. 4).

ここで、スクリーン印刷機１において、基板搬入コンベア４、搬送コンベア１１及び基板搬出コンベア５はそれぞれ、左右一対のベルトコンベア機構のうち一方が基台２に対して移動不能な固定側ベルトコンベア機構、他方が搬送する基板ＰＢの幅方向（基板ＰＢの搬送方向と直交する水平面内方向であり、Ｙ軸方向）に移動自在な可動側ベルトコンベア機構となっており、可動側ベルトコンベア機構を基板ＰＢの幅方向に移動させることによって左右一対のベルトコンベア機構の間隔（コンベア幅）を可変設定することができるようになっている。このため、このスクリーン印刷機１では異なるサイズ（幅方向寸法）の
基板ＰＢの搬送及び位置決めを行うことができ、これによりスクリーン印刷機１は複数種の基板ＰＢに対してスクリーン印刷を行うことができる。 Here, in the screen printing machine 1, the substrate carry-in conveyor 4, the transfer conveyor 11, and the substrate carry-out conveyor 5 are each a fixed side belt conveyor mechanism in which one of the pair of left and right belt conveyor mechanisms cannot move with respect to the base 2, The other side is a movable belt conveyor mechanism that is movable in the width direction of the substrate PB to be conveyed (in the horizontal plane direction orthogonal to the conveyance direction of the substrate PB and in the Y-axis direction). The distance (conveyor width) between the pair of left and right belt conveyor mechanisms can be variably set. For this reason, the screen printer 1 can carry and position the substrates PB having different sizes (width-direction dimensions), whereby the screen printer 1 can perform screen printing on a plurality of types of substrates PB. it can.

図５（ａ），（ｂ）は基板ＰＢのサイズに応じ、搬送コンベア１１の固定側ベルトコンベア機構ＣＢａに対して可動側ベルトコンベア機構ＣＢｂを基板ＰＢの幅方向に移動させることによって、搬送コンベア１１のコンベア幅Ｗを変更した様子を示したものであり、図５（ｂ）は図５（ａ）よりも相対的にコンベア幅Ｗが小さいときを示している。また、この図から分かるように、搬送コンベア１１のコンベア幅Ｗを変更すると、搬送コンベア１１によって搬送される基板ＰＢの中心軸（基板ＰＢの搬送方向に延びる基板ＰＢの中心線）Ｃ１の位置が、基板ＰＢの幅方向（Ｙ軸方向）に移動する。なお、ここでは搬送コンベア１１についてのみ示しているが、基板搬入コンベア４及び基板搬出コンベア５についても同様である。   5 (a) and 5 (b) show the transfer conveyor by moving the movable belt conveyor mechanism CBb in the width direction of the substrate PB with respect to the fixed belt conveyor mechanism CBa of the transfer conveyor 11 according to the size of the substrate PB. 11 illustrates a state in which the conveyor width W is changed, and FIG. 5B illustrates a case where the conveyor width W is relatively smaller than that in FIG. Further, as can be seen from this figure, when the conveyor width W of the transfer conveyor 11 is changed, the position of the central axis C1 of the substrate PB transferred by the transfer conveyor 11 (the center line of the substrate PB extending in the transfer direction of the substrate PB) C1 is changed. The substrate PB moves in the width direction (Y-axis direction). Although only the transport conveyor 11 is shown here, the same applies to the substrate carry-in conveyor 4 and the substrate carry-out conveyor 5.

コンベア幅の設定入力はオペレータが制御装置２０に繋がるコンベア幅設定入力部４０（図４）から所定の操作を行うことによってなされ、コンベア幅設定入力部４０から出力されたコンベア幅の設定値の信号入力を受けた制御装置２０は、図示しないアクチュエータ等から成るコンベア幅設定機構４１（図４）を介して基板搬入コンベア４、搬送コンベア１１及び基板搬出コンベア５それぞれの可動側ベルトコンベア機構をＹ軸方向に移動させ、これら基板搬入コンベア４、搬送コンベア１１及び基板搬出コンベア５のコンベア幅がいずれもコンベア幅設定入力部４０から入力された設定値になるようにする。   The conveyor width setting input is performed when the operator performs a predetermined operation from the conveyor width setting input unit 40 (FIG. 4) connected to the control device 20, and the conveyor width setting value signal output from the conveyor width setting input unit 40. Upon receiving the input, the control device 20 moves the movable belt conveyor mechanisms of the substrate carry-in conveyor 4, the transfer conveyor 11 and the substrate carry-out conveyor 5 through the conveyor width setting mechanism 41 (FIG. 4) including an actuator (not shown). The conveyor widths of the substrate carry-in conveyor 4, the transfer conveyor 11 and the substrate carry-out conveyor 5 are all set to the set values input from the conveyor width setting input unit 40.

次に、図６〜図９を用いて本実施の形態におけるスクリーン印刷機１の動作について説明する。   Next, the operation of the screen printer 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.

スクリーン印刷機１の制御装置２０は、基板搬入コンベア４の上流側から基板ＰＢが投入されたことを図示しない検知手段により検知したら、基板搬入コンベア４を作動させてその基板ＰＢを受け取り、印刷装置３の搬送コンベア１１に向けて搬送する（図６（ａ）。図中に示す矢印Ａ１。基板搬入工程）。   When the control device 20 of the screen printing machine 1 detects that the substrate PB is introduced from the upstream side of the substrate carry-in conveyor 4 by a detection means (not shown), the substrate carry-in conveyor 4 is operated to receive the substrate PB, and the printing device 3 toward the transfer conveyor 11 (FIG. 6A. Arrow A1 shown in the figure, substrate loading step).

制御装置２０は、基板搬入コンベア４により印刷装置３の搬送コンベア１１に基板ＰＢが投入されたことを図示しない検知手段により検知したら、搬送コンベア１１を作動させてその基板ＰＢを受け取り、作業位置に向けて搬送する。そして、基板ＰＢが作業位置に到達したら、搬送コンベア１１による基板ＰＢの搬送作動を停止させて、基板ＰＢを作業位置に位置決めする（図６（ｂ）。基板位置決め工程）。   When the control device 20 detects that the substrate PB has been put into the transport conveyor 11 of the printing device 3 by the substrate carry-in conveyor 4 by a detection means (not shown), the control device 20 operates the transport conveyor 11 to receive the substrate PB and put it in the work position. Transport toward. When the substrate PB reaches the work position, the transport operation of the substrate PB by the transport conveyor 11 is stopped and the substrate PB is positioned at the work position (FIG. 6B, substrate positioning step).

制御装置２０は、基板ＰＢを作業位置に位置決めしたら、ＸＹロボット１６を構成するＸ軸ステージ１６ｂの作動制御を行って、プレート部材１８をＹ軸方向（基板ＰＢの搬送方向と直交する水平面内方向）に移動させ、基板ＰＢの中心軸Ｃ１（図１）とプレート部材１８の中心軸Ｃ２（図１）を上下方向に一致させて基板ＰＢとプレート部材１８の中心軸合わせを行う（中心軸合わせ工程）。   After positioning the substrate PB at the work position, the control device 20 controls the operation of the X-axis stage 16b constituting the XY robot 16, and moves the plate member 18 in the Y-axis direction (horizontal plane direction orthogonal to the substrate PB transport direction). ) To align the center axis C1 (FIG. 1) of the substrate PB with the center axis C2 (FIG. 1) of the plate member 18 in the vertical direction (center axis alignment). Process).

ここで制御装置２０は、基板ＰＢのサイズ（幅方向寸法）に応じて変化する基板ＰＢの中心軸Ｃ１の位置を求めるに当たり、先ず、コンベア幅設定入力部４０からオペレータが入力したコンベア幅の設定値に基づいて、搬送コンベア１１を構成する一対のベルトコンベア機構（固定側ベルトコンベア機構ＣＢａ及び可動側ベルトコンベア機構ＣＢｂ）の間隔（コンベア幅）を検知する。そして、その検知したコンベア幅に基づいて、基板ＰＢの中心軸Ｃ１の位置を求める。なお、コンベア幅と基板ＰＢの中心軸Ｃ１の関係データは、制御装置２０に繋がる記憶装置２０ａ（図４）に予め記憶されている。   Here, in determining the position of the central axis C1 of the substrate PB that changes according to the size (width direction dimension) of the substrate PB, the control device 20 first sets the conveyor width input by the operator from the conveyor width setting input unit 40. Based on the value, the interval (conveyor width) between the pair of belt conveyor mechanisms (fixed side belt conveyor mechanism CBa and movable side belt conveyor mechanism CBb) constituting the conveyor 11 is detected. Then, based on the detected conveyor width, the position of the central axis C1 of the substrate PB is obtained. Note that the relationship data between the conveyor width and the central axis C1 of the substrate PB is stored in advance in a storage device 20a (FIG. 4) connected to the control device 20.

すなわち、この中心軸合わせ工程において、制御装置２０及び制御装置２０によって作
動制御がなされるＸＹロボット１６は、作業位置に位置決めされた基板ＰＢに対してプレート部材１８を基板ＰＢの搬送方向と直交する方向（搬送する基板ＰＢの幅方向）に移動させ、搬送コンベア１１を構成する一対のベルトコンベア機構の間隔（コンベア幅）に基づいて求められる基板ＰＢの中心軸Ｃ１とプレート部材１８の中心軸Ｃ２を上下方向に一致させて基板ＰＢとプレート部材１８の中心軸合わせを行う中心軸合わせ手段として機能している。 That is, in this center axis alignment step, the control device 20 and the XY robot 16 whose operation is controlled by the control device 20 make the plate member 18 perpendicular to the transport direction of the substrate PB with respect to the substrate PB positioned at the work position. The central axis C1 of the substrate PB and the central axis C2 of the plate member 18 obtained based on the distance (conveyor width) between the pair of belt conveyor mechanisms constituting the transport conveyor 11 are moved in the direction (width direction of the substrate PB to be transported). Is functioning as a center axis aligning means for aligning the center axes of the substrate PB and the plate member 18 by making them coincide in the vertical direction.

制御装置２０は、基板ＰＢとプレート部材１８の中心軸合わせを行ったら、第２昇降プレート１３ｆを第１昇降プレート１３ｅに対して相対上昇させ（図７（ａ）中に示す矢印Ａ２）、基板支持部材１３ｇの上面を基板ＰＢの下面に下方から当接させて、基板ＰＢを基板支持部材１３ｇに支持させる。そして更に、第２昇降プレート１３ｆを上昇させて基板ＰＢが搬送コンベア１１から上方に離間するように基板ＰＢを持ち上げていき、基板ＰＢをプレート部材１８の下面に下方から押し付ける（図７（ａ）。押し付け工程）。これにより基板ＰＢはプレート部材１８と基板支持部材１３ｇに挟まれ、基板ＰＢの反りが矯正される。図８（ａ）はプレート部材１８に押し付けられる前の反りがある状態の基板ＰＢを示しており、図８（ｂ）はプレート部材１８に押し付けられて反りが矯正されている状態の基板ＰＢを示している。   After aligning the central axes of the substrate PB and the plate member 18, the control device 20 raises the second elevating plate 13f relative to the first elevating plate 13e (arrow A2 shown in FIG. 7A), and the substrate The upper surface of the support member 13g is brought into contact with the lower surface of the substrate PB from below, and the substrate PB is supported by the substrate support member 13g. Further, the second elevating plate 13f is raised to lift the substrate PB so that the substrate PB is spaced upward from the transport conveyor 11, and the substrate PB is pressed against the lower surface of the plate member 18 from below (FIG. 7A). Pressing process). Thus, the substrate PB is sandwiched between the plate member 18 and the substrate support member 13g, and the warp of the substrate PB is corrected. FIG. 8A shows the substrate PB in a state where there is a warp before being pressed against the plate member 18, and FIG. 8B shows the substrate PB in a state where the warp is corrected by being pressed against the plate member 18. Show.

すなわち、この押し付け工程において、制御装置２０及び制御装置２０によって作動制御がなされる基板位置合わせ部１３は、中心軸合わせがなされた基板ＰＢとプレート部材１８を互いに上下方向に押し付けて基板ＰＢの反りの矯正を行う押し付け手段として機能している。   That is, in this pressing step, the control device 20 and the substrate positioning unit 13 whose operation is controlled by the control device 20 press the substrate PB and the plate member 18 that have been aligned with each other in the vertical direction to warp the substrate PB. It functions as a pressing means to correct.

制御装置２０は、基板ＰＢとプレート部材１８の押し付けが終了したら、第２昇降プレート１３ｆを第１昇降プレート１３ｅに対して相対下降させ（図７（ｂ）中に示す矢印Ａ３）、基板ＰＢが搬送コンベア１１に上方から載置されたところで第２昇降プレート１３ｆの下降を停止させる。制御装置２０は、第２昇降プレート１３ｆの下降を停止させたら、クランパ作動機構２３の作動制御を行い、クランパ１２により基板ＰＢを搬送コンベア１１上に固定する。そして、ＸＹロボット１６のＸ軸ステージ１６ｂをＹ軸方向に移動させて、プレート部材１８を搬送コンベア１１の上方位置から外れた所定の待機位置に移動させる（図１）。   When the pressing of the substrate PB and the plate member 18 is finished, the control device 20 lowers the second elevating plate 13f relative to the first elevating plate 13e (arrow A3 shown in FIG. 7B), and the substrate PB is The lowering of the second elevating plate 13f is stopped when placed on the conveyor 11 from above. When the control device 20 stops the lowering of the second elevating plate 13f, the control device 20 controls the operation of the clamper operating mechanism 23 and fixes the substrate PB on the conveyor 11 by the clamper 12. Then, the X-axis stage 16b of the XY robot 16 is moved in the Y-axis direction, and the plate member 18 is moved to a predetermined standby position deviated from the upper position of the transport conveyor 11 (FIG. 1).

制御装置２０は、クランパ１２により基板ＰＢを搬送コンベア１１上に固定したら、ＸＹロボット１６の作動制御による第１カメラ１７ａの移動と第１カメラ１７ａの撮像制御を行って基板ＰＢの基板位置検出マークＭの画像データを取得し、基板ＰＢの位置を把握するとともに、ＸＹロボット１６の作動制御による第２カメラ１７ｂの移動と第２カメラ１７ｂの撮像制御を行ってマスクプレート１４のマスク位置検出マークの画像データを取得し、マスクプレート１４の位置を把握する。   After fixing the substrate PB on the transport conveyor 11 by the clamper 12, the control device 20 performs the movement of the first camera 17a by the operation control of the XY robot 16 and the imaging control of the first camera 17a to perform the substrate position detection mark of the substrate PB. The image data of M is acquired, the position of the substrate PB is grasped, the movement of the second camera 17b by the operation control of the XY robot 16 and the imaging control of the second camera 17b are performed, and the mask position detection mark of the mask plate 14 is detected. Image data is acquired and the position of the mask plate 14 is grasped.

制御装置２０は、基板ＰＢの位置とマスクプレート１４の位置を把握したら、基板位置合わせ部１３による基板ＰＢの水平面内方向の移動動作によって、基板ＰＢをマスクプレート１４の直下の所定位置に位置させた後、基板位置合わせ部１３による基板ＰＢの垂直方向の移動（第１昇降プレート１３ｅの上昇）動作によって（図９（ａ）中に示す矢印Ａ４）、基板ＰＢの印刷面（上面）をマスクプレート１４の下面に下方から接触させる（マスクプレート接触工程）。これによりマスクプレート１４が基板ＰＢに対して位置合わせされる（図９（ａ））。   After grasping the position of the substrate PB and the position of the mask plate 14, the control device 20 moves the substrate PB in the horizontal plane direction by the substrate alignment unit 13 and positions the substrate PB at a predetermined position directly below the mask plate 14. After that, the substrate positioning unit 13 moves the substrate PB in the vertical direction (the first elevating plate 13e moves up) (arrow A4 shown in FIG. 9A) to mask the printing surface (upper surface) of the substrate PB. The lower surface of the plate 14 is contacted from below (mask plate contact process). Thereby, the mask plate 14 is aligned with the substrate PB (FIG. 9A).

制御装置２０は、マスクプレート１４に対する基板ＰＢの位置合わせを行ったら、基板ＰＢに対するスクリーン印刷を実行する。これには先ず、ペースト供給部１９をマスクプレート１４の上方に移動させ、シリンジ１９ａからマスクプレート１４の上面にペースト
Ｐを供給する（図９（ａ）。ペースト供給工程）。 After aligning the substrate PB with the mask plate 14, the control device 20 performs screen printing on the substrate PB. First, the paste supply unit 19 is moved above the mask plate 14, and the paste P is supplied from the syringe 19a to the upper surface of the mask plate 14 (FIG. 9A).

制御装置２０は、マスクプレート１４の上面にペーストＰを供給したら、一方のスキージ１５ａを下降させてそのスキージ１５ａの下縁をマスクプレート１４の上面に当接させる（図９（ｂ））。そして、スキージヘッド１５をＹ軸方向に移動させ、ペーストＰをスキージ１５ａによってかき寄せて、ペーストＰをマスクプレート１４のパターン孔内に充填させる。   After supplying the paste P to the upper surface of the mask plate 14, the control device 20 lowers one squeegee 15a and brings the lower edge of the squeegee 15a into contact with the upper surface of the mask plate 14 (FIG. 9B). Then, the squeegee head 15 is moved in the Y-axis direction, the paste P is scraped by the squeegee 15a, and the paste P is filled into the pattern holes of the mask plate 14.

なお、図９（ｂ）は、図中の左側のスキージ１５ａを矢印Ａ５の方向に移動させることによってペーストＰを矢印Ａ５の方向にかき寄せる様子を示したものである。ペーストＰを矢印Ａ５と反対の方向にかき寄せるときには、図中の右側のスキージ１５ａをマスクプレート１４の上面に当接させて、スキージヘッド１５を矢印Ａ５と反対の方向に移動させる。   FIG. 9B shows a state in which the paste P is scraped in the direction of the arrow A5 by moving the left squeegee 15a in the direction of the arrow A5. When the paste P is scraped in the direction opposite to the arrow A5, the right squeegee 15a in the drawing is brought into contact with the upper surface of the mask plate 14, and the squeegee head 15 is moved in the direction opposite to the arrow A5.

制御装置２０は、マスクプレート１４のパターン孔内にペーストＰを充填させたら、第２昇降プレート１３ｆを第１昇降プレート１３ｅに対して相対下降させ、マスクプレート１４を基板ＰＢから分離させる。これにより、いわゆる版離れが行われ、マスクプレート１４のパターン孔内に充填されたペーストＰが基板ＰＢ上に印刷（転写）される（印刷工程）。   After filling the pattern P of the mask plate 14 with the paste P, the control device 20 lowers the second lift plate 13f relative to the first lift plate 13e to separate the mask plate 14 from the substrate PB. Thereby, so-called plate separation is performed, and the paste P filled in the pattern holes of the mask plate 14 is printed (transferred) onto the substrate PB (printing process).

制御装置２０は、基板ＰＢにペーストを印刷したら、基板位置合わせ部１３を作動させて、搬送コンベア１１の基板搬出コンベア５に対する位置調整を行ったうえで、基板ＰＢを搬送コンベア１１から基板搬出コンベア５に載せ換え、基板搬出コンベア５によって、基板ＰＢをスクリーン印刷機１の外部に搬出する（基板搬出工程）。   After printing the paste on the substrate PB, the control device 20 operates the substrate alignment unit 13 to adjust the position of the transport conveyor 11 relative to the substrate carry-out conveyor 5, and then transfers the substrate PB from the transport conveyor 11 to the substrate carry-out conveyor. 5 and the substrate PB is carried out of the screen printer 1 by the substrate carry-out conveyor 5 (substrate carry-out process).

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢを搬送して作業位置に位置決めする一対のベルトコンベア機構（固定側ベルトコンベア機構ＣＢａ及び可動側ベルトコンベア機構ＣＢｂ）から成る基板搬送手段としての搬送コンベア１１、搬送コンベア１１による基板ＰＢの搬送方向と直交する方向（搬送する基板ＰＢの幅方向）に移動自在に設けられたプレート部材１８、作業位置に位置決めされた基板ＰＢに対してプレート部材１８を基板ＰＢの搬送方向と直交する方向に移動させ、搬送コンベア１１を構成する一対のベルトコンベア機構の間隔に基づいて求められる基板ＰＢの中心軸Ｃ１とプレート部材１８の中心軸Ｃ２を上下方向に一致させて基板ＰＢとプレート部材１８の中心軸合わせを行う中心軸合わせ手段（制御装置２０及びＸＹロボット１６）、中心軸合わせがなされた基板ＰＢとプレート部材１８を互いに上下方向に押し付けて基板ＰＢの反りの矯正を行う押し付け手段（制御装置２０及び基板位置合わせ部１３）、反りの矯正がなされた基板ＰＢに接触されるマスクプレート１４、基板ＰＢと接触されたマスクプレート１４にペーストＰを供給するペースト供給手段としてのペースト供給部１９、ペースト供給部１９によりペーストＰが供給されたマスクプレート１４に対して摺動され、マスクプレート１４に設けられたパターン孔を介して基板ＰＢにペーストＰを印刷するスキージ１５ａを備えたものとなっている。   As described above, the screen printing machine 1 according to the present embodiment transports the substrate PB and transports the substrate PB and positions the substrate PB at the work position. The substrate transport includes the pair of belt conveyor mechanisms (the fixed belt conveyor mechanism CBa and the movable belt conveyor mechanism CBb). Conveyance conveyor 11 as means, plate member 18 provided movably in a direction orthogonal to the conveyance direction of substrate PB by conveyance conveyor 11 (width direction of substrate PB to be conveyed), and substrate PB positioned at the work position The plate member 18 is moved in a direction orthogonal to the conveyance direction of the substrate PB, and the central axis C1 of the substrate PB and the central axis C2 of the plate member 18 obtained based on the distance between the pair of belt conveyor mechanisms constituting the conveyance conveyor 11 A center axis aligning means for aligning the center axes of the substrate PB and the plate member 18 with the same in the vertical direction The control device 20 and the XY robot 16), pressing means (the control device 20 and the substrate alignment unit 13) for correcting the warp of the substrate PB by pressing the substrate PB and the plate member 18 aligned with each other in the vertical direction. The paste P is supplied by the mask plate 14 that is in contact with the substrate PB that has been warped, the paste supply unit 19 that serves as a paste supply unit that supplies the paste P to the mask plate 14 that is in contact with the substrate PB, and the paste supply unit 19. The squeegee 15a that slides on the mask plate 14 and prints the paste P on the substrate PB through the pattern holes provided in the mask plate 14 is provided.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、一対のベルトコンベア機構から成る搬送コンベア１１により基板ＰＢを搬送して作業位置に位置決めする工程（基板位置決め工程）、作業位置に位置決めした基板ＰＢに対してプレート部材１８を基板ＰＢの搬送方向と直交する方向（搬送する基板ＰＢの幅方向）に移動させ、搬送コンベア１１を構成する一対のベルトコンベア機構の間隔に基づいて求められる基板ＰＢの中心軸Ｃ１とプレート部材１８の中心軸Ｃ２を上下方向に一致させて基板ＰＢとプレート部材１８の中心軸合わせを行う工程（中心軸合わせ工程）、中心軸合わせがなされた基板ＰＢとプレート部材１８を互いに上下方向に押し付けて基板ＰＢの反りの矯正を行う工程（押し付け工程）
、反りの矯正がなされた基板ＰＢにマスクプレート１４を接触させる工程（マスクプレート接触工程）、基板ＰＢと接触したマスクプレート１４にペーストＰを供給する工程（ペースト供給工程）及びペーストＰが供給されたマスクプレート１４に対してスキージ１５ａを摺動させ、マスクプレート１４に設けられたパターン孔を介して基板ＰＢにペーストＰを印刷する工程（印刷工程）を含むものとなっている。 Further, the screen printing method according to the present embodiment is a process of transporting the substrate PB by the transport conveyor 11 including a pair of belt conveyor mechanisms and positioning the substrate PB at the work position (substrate positioning process), and the substrate PB positioned at the work position. The plate member 18 is moved in the direction orthogonal to the transport direction of the substrate PB (the width direction of the transported substrate PB), and the central axis of the substrate PB obtained based on the distance between the pair of belt conveyor mechanisms constituting the transport conveyor 11 A step of aligning the center axis C2 of the substrate PB and the plate member 18 by aligning the center axis C2 of the plate member 18 with the center axis C1 (center axis alignment step), and the substrate PB and the plate member 18 subjected to center axis alignment A process of pressing the substrate PB to correct warping of the substrate PB (pressing process)
The step of bringing the mask plate 14 into contact with the substrate PB on which the warp correction has been made (mask plate contact step), the step of supplying the paste P to the mask plate 14 in contact with the substrate PB (paste supply step), and the paste P are supplied. The method includes a step (printing step) of sliding the squeegee 15a with respect to the mask plate 14 and printing the paste P on the substrate PB through the pattern holes provided in the mask plate 14.

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（スクリーン印刷方法）では、作業位置に位置決めした基板ＰＢに対してプレート部材１８を基板ＰＢの搬送方向と直交する方向（搬送する基板ＰＢの幅方向）に移動させ、搬送コンベア１１を構成する一対のベルトコンベア機構の間隔に基づいて求められる基板ＰＢの中心軸Ｃ１とプレート部材１８の中心軸Ｃ２を上下方向に一致させて基板ＰＢとプレート部材１８の中心軸合わせを行った後、基板ＰＢとプレート部材１８を互いに上下方向に押し付けて基板ＰＢの反りを矯正するようになっている。このため基板ＰＢのサイズ（幅方向寸法）によらず、基板ＰＢの十分な反りの矯正をしたうえでスクリーン印刷を実行することができる。   As described above, in the screen printer 1 (screen printing method) according to the present embodiment, the direction of the plate member 18 with respect to the substrate PB positioned at the work position is perpendicular to the transport direction of the substrate PB (the width of the transport substrate PB). The central axis C1 of the substrate PB and the central axis C2 of the plate member 18 obtained based on the distance between the pair of belt conveyor mechanisms constituting the conveyor 11 are made to coincide with each other in the vertical direction. After the center axis alignment of 18 is performed, the substrate PB and the plate member 18 are pressed against each other in the vertical direction to correct the warp of the substrate PB. For this reason, it is possible to execute screen printing after sufficiently correcting the warp of the substrate PB regardless of the size (width direction dimension) of the substrate PB.

ここで、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、中心軸合わせがなされた基板ＰＢとプレート部材１８を互いに上下方向に押し付けて基板ＰＢの反りの矯正を行う押し付け手段は制御装置２０及び基板位置合わせ部１３から成り、基板ＰＢを上昇させてプレート部材１８に下方から押し付けるタイプのものとなっているが、このようなタイプのものに替えて、プレート部材１８を下降させて基板ＰＢに上方から押し付けるタイプのものとすることもできる。この場合、制御装置２０により作動制御がなされてプレート部材１８を昇降させるプレート部材昇降機構（例えば空圧シリンダ）がＸ軸ステージ１６ｂとプレート部材１８の間に介装されることになる。   Here, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the pressing means for correcting the warp of the substrate PB by pressing the substrate PB and the plate member 18 that are aligned with each other in the vertical direction are the control device 20 and the substrate position. It comprises a mating portion 13 and is of a type that raises the substrate PB and presses it against the plate member 18 from below. Instead of this type of plate, the plate member 18 is lowered to the substrate PB from above. It can also be of the pressing type. In this case, an operation control is performed by the control device 20, and a plate member lifting mechanism (for example, a pneumatic cylinder) that lifts and lowers the plate member 18 is interposed between the X-axis stage 16 b and the plate member 18.

しかし、このようなプレート部材昇降機構が移動部材であるＸ軸ステージ１６ｂに設けられると、Ｘ軸ステージ１６ｂを移動させるためのアクチュエータの最大出力を大きくする必要がでてきたり、プレート部材昇降機構を作動させるための配管をＸ軸ステージ１６ｂとともに移動させる機構が必要になったりするので製造コストの増大を招くおそれがある。このため押し付け手段は本実施の形態のように、基板ＰＢを上昇させてプレート部材１８に下方から押し付けるタイプとすることが好ましく、これにより製造コストの増大を防ぐことができる。特に本実施の形態では、基板ＰＢのマスクプレート１４に対する位置決めを行うための機構（基板位置合わせ部１３）を利用して基板ＰＢをプレート部材１８に押し付けるようにしており、押し付け手段を新たに設ける必要がないものとなっている。   However, when such a plate member lifting mechanism is provided on the X-axis stage 16b, which is a moving member, it is necessary to increase the maximum output of the actuator for moving the X-axis stage 16b, Since a mechanism for moving the piping for operation together with the X-axis stage 16b becomes necessary, there is a risk of increasing the manufacturing cost. For this reason, it is preferable that the pressing means is of a type that raises the substrate PB and presses it against the plate member 18 from below as in the present embodiment, thereby preventing an increase in manufacturing cost. In particular, in the present embodiment, the substrate PB is pressed against the plate member 18 by using a mechanism (substrate alignment unit 13) for positioning the substrate PB with respect to the mask plate 14, and a pressing means is newly provided. It is not necessary.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、制御装置２０は、搬送コンベア１１を構成する一対のベルトコンベア機構の間隔（コンベア幅）を、コンベア幅設定入力部４０からオペレータが入力したコンベア幅の設定値に基づいて検知するようにしていたが、搬送コンベア１１を構成する一対のベルトコンベア機構の間隔（コンベア幅）を検出するコンベア幅検出器を設け、このコンベア幅検出器によって検出されるコンベア幅の値に基づいてコンベア幅を検知するようにしてもよい。   Although the embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to those shown in the above-described embodiments. For example, in the above-described embodiment, the control device 20 sets the interval (conveyor width) of the pair of belt conveyor mechanisms constituting the conveyor 11 to the conveyor width setting value input by the operator from the conveyor width setting input unit 40. Although it was made to detect based on, the conveyor width detector which detects the space | interval (conveyor width) of a pair of belt conveyor mechanism which comprises the conveyance conveyor 11 is provided, and the value of the conveyor width detected by this conveyor width detector Alternatively, the conveyor width may be detected.

基板のサイズによらず基板の十分な反りの矯正をしたうえでスクリーン印刷を実行することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。   Provided are a screen printing machine and a screen printing method capable of executing screen printing after sufficiently correcting a warp of a substrate regardless of the size of the substrate.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の正面図The front view of the printing apparatus which comprises the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える搬送コンベアのコンベア幅を変更した様子を示す図(A) (b) The figure which shows a mode that the conveyor width | variety of the conveyance conveyor with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided was changed. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機において基板がプレート部材に押し付けられる様子を示す図(A) (b) The figure which shows a mode that a board | substrate is pressed against a plate member in the screen printer in one embodiment of this invention. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the printing apparatus which comprises the screen printer in one embodiment of this invention

符号の説明Explanation of symbols

１ スクリーン印刷機
１１ 搬送コンベア（基板搬送手段）
１３ 基板位置合わせ部（押し付け手段）
１４ マスクプレート
１５ａ スキージ
１６ ＸＹロボット（中心軸合わせ手段）
１８ プレート部材
１９ ペースト供給部（ペースト供給手段）
２０ 制御装置（中心軸合わせ手段、押し付け手段）
ＰＢ 基板
Ｃ１ 基板の中心軸
Ｃ２ プレート部材の中心軸
Ｐ ペースト 1 Screen printer 11 Conveyor (substrate transport means)
13 Substrate alignment part (pressing means)
14 Mask plate 15a Squeegee 16 XY robot (center axis alignment means)
18 Plate member 19 Paste supply unit (paste supply means)
20 Control device (center axis alignment means, pressing means)
PB substrate C1 center axis of substrate C2 center axis of plate member P paste

Claims (3)

基板を搬送して作業位置に位置決めする一対のベルトコンベア機構から成る基板搬送手段と、
基板搬送手段による基板の搬送方向と直交する方向に移動自在に設けられたプレート部材と、
作業位置に位置決めされた基板に対してプレート部材を基板の搬送方向と直交する方向に移動させ、基板搬送手段を構成する一対のベルトコンベア機構の間隔に基づいて求められる基板の中心軸とプレート部材の中心軸を上下方向に一致させて基板とプレート部材の中心軸合わせを行う中心軸合わせ手段と、
中心軸合わせがなされた基板とプレート部材を互いに上下方向に押し付けて基板の反りの矯正を行う押し付け手段と、
反りの矯正がなされた基板に接触されるマスクプレートと、
基板と接触されたマスクプレートにペーストを供給するペースト供給手段と、
ペースト供給手段によりペーストが供給されたマスクプレートに対して摺動され、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスキージと、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。 Substrate transport means comprising a pair of belt conveyor mechanisms for transporting the substrate and positioning it at the work position;
A plate member movably provided in a direction orthogonal to the substrate transport direction by the substrate transport means;
The central axis of the substrate and the plate member obtained based on the distance between the pair of belt conveyor mechanisms that move the plate member in a direction orthogonal to the substrate conveyance direction relative to the substrate positioned at the work position. Center axis aligning means for aligning the center axis of the substrate and the plate member with the center axis aligned in the vertical direction;
A pressing means for correcting the warpage of the substrate by pressing the substrate and the plate member whose center axes are aligned in the vertical direction;
A mask plate that is in contact with the substrate on which the warp correction has been made; and
Paste supply means for supplying paste to the mask plate in contact with the substrate;
A squeegee that is slid with respect to the mask plate to which the paste is supplied by the paste supply means and prints the paste on the substrate through the pattern hole provided in the mask plate;
A screen printing machine comprising: 押し付け手段は基板を上昇させてプレート部材に下方から押し付けるものであることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。   2. The screen printing machine according to claim 1, wherein the pressing means raises the substrate and presses it against the plate member from below. 一対のベルトコンベア機構から成る基板搬送手段により基板を搬送して作業位置に位置決めする工程と、
作業位置に位置決めした基板に対してプレート部材を基板の搬送方向と直交する方向に移動させ、基板搬送手段を構成する一対のベルトコンベア機構の間隔に基づいて求められる基板の中心軸とプレート部材の中心軸を上下方向に一致させて基板とプレート部材の中心軸合わせを行う工程と、
中心軸合わせがなされた基板とプレート部材を互いに上下方向に押し付けて基板の反りの矯正を行う工程と、
反りの矯正がなされた基板にマスクプレートを接触させる工程と、
基板と接触したマスクプレートにペーストを供給する工程と、
ペーストが供給されたマスクプレートに対してスキージを摺動させ、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷する工程と、
を含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。 A step of conveying a substrate by a substrate conveying means comprising a pair of belt conveyor mechanisms and positioning it at a work position;
The plate member is moved in a direction orthogonal to the substrate transport direction with respect to the substrate positioned at the work position, and the center axis of the substrate and the plate member determined based on the distance between the pair of belt conveyor mechanisms constituting the substrate transport means Aligning the central axis with the vertical direction and aligning the central axis of the substrate and the plate member;
A process of correcting the warpage of the substrate by pressing the substrate and the plate member whose center axes are aligned in the vertical direction;
A step of bringing the mask plate into contact with the substrate on which the warp correction has been made; and
Supplying paste to the mask plate in contact with the substrate;
Sliding the squeegee with respect to the mask plate supplied with the paste, and printing the paste on the substrate via the pattern holes provided in the mask plate;
A screen printing method comprising:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN104417108B (en) * 2013-11-25 2016-11-23 三江县蓝世章民族工艺美术厂 The method of thick bamboo tube end face multicolour screen printing
WO2015145741A1 (en) * 2014-03-28 2015-10-01 ヤマハ発動機株式会社 Substrate processing device
CN104723660A (en) * 2015-04-21 2015-06-24 徐州强雳日常用品制造有限公司 Screen printer

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08224854A (en) * 1995-02-21 1996-09-03 Toshiba Corp Printing device
JP3290633B2 (en) * 1999-05-06 2002-06-10 富士機械製造株式会社 Screen printing machine
JP3613082B2 (en) * 1999-08-03 2005-01-26 松下電器産業株式会社 Screen printing method
JP4378896B2 (en) * 2001-05-10 2009-12-09 パナソニック株式会社 Substrate underlaying method
JP2005305884A (en) * 2004-04-23 2005-11-04 Hitachi Industries Co Ltd Screen printing machine
JP4950530B2 (en) * 2006-03-16 2012-06-13 富士機械製造株式会社 Substrate fixing device

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