KR100594493B1 - 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브에 관한 것으로, 종래의 분배밸브에 부착되는 실린더형 밸브는 사용하다보면 리턴스프링의 반발력이 감소되고, 또한 리턴스프링이 내장된 실린더측으로 파우더가 유입되어 실린더의 내벽에 흡착되며, 특히 폐기가스의 유입이 일시적으로 중단되면 배출되던 폐기가스가 역류되는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 예시도 3내지 예시도 7에 표현된 바와 같이, 하면에 흡입플랜지(300)가 설치되고, 직각을 이루는 측면에 반응·클린가스배출플랜지(310)(320)가 설치된 밸브하우징(100)의 내부에 수직상의 입구홀(212)과 수평상의 출구홀(214)이 형성되어 "ㄱ"자형의 통로(210)를 갖추고, 상기 입구홀(212)과 출구홀(214)에는 입·출구역류방지수단(216)(218)이 갖춰진 회전체(200)가 설치되어 상기 회전체(200)가 회전함에 따라 흡입되는 폐기가스의 배출방향을 간단하게 전환시킬 수 있으며 방향 전환시 잔류 폐기가스의 역류를 방지할 수 있도록 한 것이다.

Description

폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브{Distributing valve of waste gas treating apparatus for preventing backward flow}
도 1 은 반도체 생산라인의 공정도,
도 2 는 반도체 생산라인에 설치되는 종래의 분배밸브를 나타낸 종단면도,
도 3 은 본 발명에 따른 분배밸브의 사시도,
도 4 은 본 발명에 따른 분배밸브의 분해사시도,
도 5 는 본 발명에 따른 분배밸브의 요부를 일부 절개한 분해 사시도
도 6 은 도 3 의 A - A선 단면도로서, 본 발명의 분배밸브를 통해 반응가스를 배출시키는 것을 나타낸 일부 확대 단면도,
도 7 은 도 3 의 B - B선 단면도로서, 본 발명에 따른 분배밸브를 통해 크리닝가스를 배출시키는 것을 나타낸 일부확대 단면도이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -
100 - 밸브하우징, 110 - 수직관통홀,
120·130·140·150 - 수평관통홀,
200 - 회전체,
201 - 입구공압주입홀, 202 - 출구공압주입홀,
210 - "ㄱ"자형 통로,
212 - 입구홀, 213 - 경사면,
214 - 출구홀, 215 - 경사면,
216 - 입구역류방지수단, 218 - 출구역류방지수단,
220 - 입구지지링, 222 - 내측곡면,
224 - 경사면, 226 - 경사면,
230 - 입구통기링, 232 - "V"자형 홈,
231 - 외주경사면, 233 - 내주경사면,
234 - 입구통기홈,
240 - 입구고정링,
250 - 출구지지링,
252 - 경사면, 254 - 통기환홈,
260 - 출구통기링, 262 - 출구통기홈,
270 - 출구고정링,
300 - 흡입플랜지, 310 - 반응가스배출플랜지,
320 - 클린가스배출플랜지, 330·340 - 지지플랜지,
301·311·321·331·341 - 안착홈, 332·342 - 공압포트,
303·313·323·333·343 - 환형시트.
본 발명은 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밸브몸체의 내부에 수직통로와 수평통로로 이루어진 "ㄱ"자형 통로가 갖춰지고, 상기 통로의 양단에 역류방지수단을 갖춘 구형상의 회전체를 설치하여 회전체가 좌우로 회전함에 따라 입구로부터 투입하는 폐기가스가 역류하지 않으면서 측방향의 어느 일측 출구로 배출시킬 수 있도록 한 폐기가스 처리장치의 폐기가스 역류방지용 분배밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 생산라인에서는 각종 반응가스와 크리닝가스를 사용하여 제품을 제조하게 되며, 이러한 반도체 제품의 제조공정에서 폐기가스가 배출되는 공정의 일예로는 웨이퍼 처리공정이 있으며, 이를 상세히 설명하면 챔버(진공상태)내의 웨이퍼에 다종의 반응가스를 공급 화학반응시켜 웨이퍼 상면에 산화막을 형성하는 산화막 증착 처리공정이 있다.
이때, 챔버내에서는 웨이퍼의 산화막 성장에 관여하면서 유독가스, 수분, 잔류가스와 분진형태의 산화규소 등의 잔류물질이 형성된다.
특히, 반도체 제조공정에서는 다종의 반응가스(프로세싱 가스)와 크리닝 가스를 사용되는데, 상기 가스들은 대개가 독성이 매우 강해서 인체에 치명적이고, 또한 서로 다른 성분의 가스가 혼합되거나 공기와 혼합되면 폭발할 위험성도 있어, 사용한 반응가스와 크리닝가스는 별개의 배출관을 통해 폐기가스 정화장치로 배출되어 인체에 무해하도록 정화된 후 대기 중으로 배출되고 있다.
상기 반도체 제조공정상에서 사용되는 프로세싱 가스와 크리닝 가스의 처리과정을 간단하게 설명하면 도 1에 표현된 바와 같이, 프로세싱 가스 흡인라인과 크 리닝 가스 흡입라인을 갖춘 챔버(1)에 프로세싱 가스 흡입라인을 통해 프로세싱 가스가 흡입되어 챔버(1)에 들어있는 다량의 웨이퍼는 산화막처리가 된다.
상기 웨이퍼에 산화막처리를 한 챔버에 들어 있는 프로세싱가스는 배출라인에 설치되어 있는 진공펌프(2)의 부압에 의해 배출되어지되, 상기 프로세싱가스는 분할개폐식의 분배밸브(5)를 통해 정화장치인 스크로버(3)로 보내어 정화된다.
이어서 크리닝가스 흡입라인을 통해 세정용 크리닝가스를 주입하여 잔여 프로 세싱 가스를 배출하게 되고 이렇게 배출되는 크리닝가스와 잔여 프로세싱가스는 분할개폐식의 분배밸브(5)를 통해 또 다른 정화장치인 스크로버(4)로 보내어 정화된다.
상기 각종 프로세싱가스를 분할 개폐하는 분배밸브(5)는 도 2에 표현된 바와 같이, 1개소의 흡입구(6)와 2개소의 배출구(7) 및 세정용 질소가스 유입구(8)가 형성된 금속경통(9)으로 이루어진 밸브몸체(10)와, 상기 금속경통(9)의 양측에 형성된 배출구(7)를 개폐시키도록 설치된 공압제어식의 실린더밸브(20)로 이루어져 있다.
상기 실린더밸브(20)는 리턴스브링(11)이 안치된 스프링실린더(12)와, 공압이 주입되는 구동포트(13)를 갖춘 부싱플랜지(14)와, 상기 스프링실린더(12)와 부싱플랜지(14)를 보울트로 금속경통(9)에 함께 장착시키는 실린더플랜지(15)와, 양측으로 패킹(16)과 개폐패킹(18)이 갖춰진 샤프트(17), 그리고 부싱플랜지(14)와 샤프트(17)의 사이틈을 밀폐하기 위한 0-링(19)으로 이루어져 있다.
이러한 종래의 분배밸브(5)의 동작을 설명하면, 공정후 폐기가스를 지정된 배출구(7)로 배출하기 위해서는 일측 부싱플랜지(14)의 구동보트(13)로 공압을 주입하면 패킹(16)이 리턴스프링(11)을 압축시키면서 샤프트(17)가 스프링실린더(12)측으로 이동함으로 개폐패킹(18)이 통로를 열어주게 되어 흡입구(6)를 통해 유입된 폐기가스는 지정된 배출구(7)로 빠져나가게 된다.
이때, 타측 통로는 도면에 표현된 바와 같이 구동포트(13))에 공압이 가해지지 않은 상태에서는 리턴스프링(11)에 의해 샤프트(17)의 일측에 형성된 개폐패킹(18)이 통로를 폐쇄시킨 상태를 이루게 됨으로서, 유입된 폐기가스는 지정된 배출구(7)만으로 배출되어 정화장치로 이송되고, 정화장치로 이송된 폐기가스는 인체에 무해한 가스로 정화되어 대기중으로 배출된다.
그러나, 상기와 같은 종래의 분배밸브(5)는 흡입구(6)와 양측의 배출구(7)가 설치되는 위치가 직각을 이루고 있고, 또한 실린더밸브(20) 자체의 구조가 매우 복잡하여 여러 가지 문제점이 있었다.
상기 분배밸브(5)의 여러 가지 문제점을 상세히 설명하면, 첫째, 챔버(1)에서 배출되는 폐기가스는 정화장치(4)로 이송중 화학적변화 또는 온도변화로 인해 자연적으로 파우더가 생성되는데, 이렇게 생성된 파우더는 분배밸브(5)의 내부벽에 흡착돠고, 특히 직각을 이루는 곡관부분에 파우더가 집중적으로 흡착되어 곡관부분의 통로가 협소해지면서 폐기가스가 원활하게 이송되지 못하는 문제점이 있었다.
둘째, 밸브몸체(10)의 양측으로 돌출되도록 실린더밸브(20)가 부착됨으로 해서 분배밸브(5)의 전체적인 부피가 늘어나게 되어 설비라인의 공간활용이 효율적이 지 못한 문제점이 있었다.
셋째, 구조적으로 실린더밸브(20)는 장시간 사용하다보면 리턴스프링(11)의 반발력이 감소되어 제기능을 다하지 못하고, 또한 리턴스프링(11)이 내장된 스프링실린더(12)측으로 파우더가 유입되어 스프링실린더(12)의 내벽에 흡착되면서 일정한 공압이 가해져도 패킹(16)이 리턴스프링(11)을 압축시키지 못해 실린더밸브(20)의 기능을 다하지 못하는 문제점이 있었다.
넷째, 분배밸브(5)의 흡입구(6)를 통해 흡입되던 폐기가스가 일시적으로 중단되었을 때, 분배밸브(5)의 내부에 흡입되었던 폐기가스가 순간적으로 역류되는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 육면체를 이루는 밸브하우징 내부에 수직통로와 수평통로로 이루어진 "ㄱ"자형의 통로를 갖춘 구형상의 회전체를 설치하고, 밸브하우징 상부에통상의 구동액츄에이터를 설치하며, 밸브하우징의 측면에 고압의 질소가스를 투입하는 공압포트를 설치하여 회전체가 회전함에 따라 폐기가스의 배출방향을 전환시키면서 배출되는 폐기가스가 역류되지 않도록 한 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 상부에 구동액츄에이터를 갖춘 밸브하우징과, 상기 밸브하우징 내에 설치되어 회전하는 구형상의 회전체와, 구동엑츄에이터와 회전체 사이에 설치되어 회전체에 회전력을 전달하는 구동축으로 이루어진 분배밸브에 있어서, 상기 밸브하우징은 그 하면과 측면에 수직관통홀과 다수의 수평관통홀이 형성되고, 수직관통홀에는 흡입플랜지가 설치되며, 다수의 수 직관통홀 중 직각을 이루는 두면의 수평관통홀에는 반응가스배출플랜지와 클린가스배출플랜지가 설치되고, 상기 반응·클린가스배출플랜지와 대향되는 두면에는 공압포트를 갖춘 지지플랜지가 설치되며, 상기 흡입플랜지와 반응가스·클린가스배출플랜지 및 지지플랜지의 내면에는 안착홈이 형성되어 환형시트가 설치되고, 상기 구형상의 가동체는 수직상의 입구홀과 수평상의 출구홀이 형성되어 "ㄱ"자형의 통로가 형성되며, 상기 입구홀과 출구홀에 입·출구역류방지수단이 설치되는 구조로 이루어지고, 상기 입구홀과 출구홀의 외주연에는 입·출구공압주입홀이 형성되어 있다.
상기 입구역류방지수단은 입구지지링과 입구통기링 및 입구고정링이 순차적으로 적층되는 구조로 이루어 지되, 입구홀의 내면과 입구지지링의 외면은 단면상 서로 상응하는 경사면을 이루고 있고, 상기 입구통기링은 입구지지링과 접하는 상단부 외주와 내주가 서로 대향하는 외·내주경사면을 이루어 "V"자형의 홈을 형성하며, 상기 입구통기링의 상단부 외주에는 등간격을 이루는 입구통기홈이 형성되어 있다.
또한, 상기 출구방지수단은 출구지지링과 출구통기링 및 출구고정링이 순차적으로 적층되는 구조로 이루어 지되, 상기 출구홀의 내면과 출구지지링의 내측 외면은 단면상 서로 상응되는 경사면을 이루고, 외측에는 통기환홈이 형성되며, 상기 출구통기링은 출구지지링과 접하는 일측면에 등간격을 이루는 출구통기홈이 형성되어 있다.
상기와 같은 구조를 이룸으로써 폐기가스의 흐름을 전환시킬 때, 회전체의 입구홀과 출구홀에 설치된 입·출구역류방지수단에 의해 배출되는 폐기가스의 역류가 방지되고, 특히 수직방향과 수평방향으로 형성된 회전체의 "ㄱ"자형 통로에 의해 회전체가 90ㅀ각도로 정역회전될 때 흡입되는 폐기가스의 배출방향이 전환될 수 있도록 한 것이다.
이하, 본 발명을 첨부된 예시도면을 참고로 하여 그 구성과 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
예시도 3 은 본 발명에 따른 분배밸브의 사시도이고, 예시도 4 는 본 발명에 따른 분배밸브의 분해사시도이며, 예시도 5 는 본 발명에 따른 분배밸브의 요부를 일부 절개한 분해 사시도 이고, 예시도 6 은 도 3 의 A - A선 단면도로서, 본 발명의 분배밸브를 통해 반응가스를 배출시키는 것을 나타낸 일부 확대 단면도, 예시도 7 은 도 3 의 B - B선 단면도로서, 본 발명에 따른 분배밸브를 통해 크리닝가스를 배출시키는 것을 나타낸 일부확대 단면도이다.
상기 예시도에 표현된 바와 같이, 본 발명은 상부에 구동액츄에이터(50)를 갖춘 밸브하우징(100)과, 상기 밸브하우징(100) 내에 설치되어 회전하는 구형상의 회전체(200)와, 구동엑츄에이터(50)와 회전체(200) 사이에 설치되어 회전체(200)에 회전력을 전달하는 구동축(70)으로 이루어진 분배밸브에 있어서, 상기 밸브하우징(100)은 그 하면과 측면에 수직관통홀(110)과 다수의 수평관통홀(120) (130)(140)(150)이 형성되고, 수직관통홀(110)에는 흡입플랜지(300)가 설치되며, 다수의 수평관통홀(120)(130)(140)(150) 중 직각을 이루는 두면의 수평관통홀 (120)(130)에는 반응가스배출플랜지(310)와 클린가스배출플랜지(320)가 설치되고, 상기 반응·클린가스배출플랜지(310)(320)와 대향되는 두면에는 공압포트(332) (342)를 갖춘 지지플랜지(330)(340)가 각각 설치되며, 상기 흡입플랜지(300)와 반응·클린가스배출플랜지(310)(320) 및 지지플랜지(330)(340)의 내면에는 안착홈(311)(321)(331)(341)이 형성되어 환형시트(303)(313)(323)(333)(343)가 설치되고, 특히 지지플랜지(330)(340)의 안착홈(331)(341) 하측에는 다수의 통기홀(334)(344)이 형성되며, 상기 구형상의 회전체(200)는 수직상의 입구홀(212)과 수평상의 출구홀(214)이 형성되어 "ㄱ"자형의 통로(210)가 형성되며, 상기 입구홀(212)과 출구홀(214)에 입·출구역류방지수단(216)(218)이 설치되는 구조로 이루어지고, 상기 입구홀(212)과 출구홀(214)의 외주연에는 입·출구공압주입홀(201)(202)이 형성되어 있다.
상기 입구역류방지수단(216)은 입구지지링(220)과 입구통기링(230) 및 입구고정링(240)이 순차적으로 적층되는 구조로 이루어 지되, 입구홀(212)의 내면과 입구지지링(220)의 외면은 단면상 서로 상응하는 경사면(213)(224)을 이루고 있고, 상기 입구통기링(230)은 입구지지링(220)과 접하는 상단부 외주와 내주가 서로 대향하는 외·내주경사면(231)(233)을 이루어 "V"자형의 홈(232)을 형성하며, 상기 입구통기링(230)의 상단부 외주에는 등간격을 이루는 입구통기홈(234)이 형성되어 있다.
또한, 상기 출구역류방지수단(218)은 출구지지링(250)과 출구통기링(260) 및 출구고정링(270)이 순차적으로 적층되는 구조로 이루어 지되, 상기 출구홀(214)의 내면과 출구지지링(250)의 내측 외면은 단면상 서로 상응되는 경사면(215)(252)을 이루고, 외측에는 통기환홈(254)이 형성되며, 상기 출구통기링(260)은 출구지지링(250)과 접하는 일측면에 등간격을 이루는 출구통기홈(262)이 형성되어 있다.
도면중 미설명부호 51·52·53·54·55는 밸브하우징(100)의 하면과 측면에 부착되는 흡입플랜지(300)와 반응가스·클린가스배출플랜지(310)(320) 및 지지플랜지(330)(340) 사이에 설치되는 개스킷이고, 56·57·58·59·60은 각각의 환형시트(303)(313)(323)(333)(343)에 설치되는 오링이며, 72는 구동축(70)을 밸브하우징(100)과 일체를 이루게 하는 결합너트, 74는 구동축(70)의 유동성을 갖추게 하기 위한 복수개의 접시스프링, 76은 구동축(70)의 회전성을 갖추기 위한 복수개의 와셔, 78은 구동축(70)이 회전할 때 기밀성을 갖추기 위한 개스킷, 80은 구동축(70)의 하단부가 끼워지도록 회전체(200)의 상단부에 형성된 키홈, 82는 구동축(70)의 하단부에 형성된 돌부 이다.
상기와 같이 이루어진 본 발명은 예시도 3과 예시도 5에 표현된 바와 같이, 밸브하우징(100)은 상면을 제외한 하면과 측면에 수직관통홀(110)과 다수의 수평관통홀(120)(130)(140)(150)이 형성되고, 상기 수직관통홀(110)에는 흡입플랜지(300)가 설치되며, 다수의 수평관통홀(120)(130)(140)(150) 중 직각을 이루는 두면의 수평관통홀(120)(130)에는 반응가스배출플랜지(310)와 클린가스배출플랜지(320)가 설치된다.
상기 반응·클린가스배출플랜지(310)(320)와 대향되는 두면에는 공압포트(332)(342)를 갖춘 지지플랜지(330)(340)가 각각 설치되며, 상기 흡입플랜지(300) 와 반응·클린가스배출플랜지(310)(320) 및 지지플랜지(330)(340)의 내면에는 안착홈(311)(321)(331)(341)이 형성되어 환형시트(303)(313)(323)(333)(343)가 설치된다. 또한,상기 구형상의 회전체(200)는 수직상의 입구홀(212)과 수평상의 출구홀(214)이 형성되어 "ㄱ"자형의 통로(210)를 갖추게 되며, 상기 입구홀(212)과 출구홀(214)에 입·출구역류방지수단(216)(218)이 설치되는 구조로 이루어지고, 상기 입구홀(212)과 출구홀(214)의 외주연에는 입·출구공압주입홀(201)(202)이 형성되어 있다.
상기 입구역류방지수단(216)은 입구지지링(220)과 입구통기링(230) 및 입구고정링(240)이 순차적으로 적층되는 구조로 이루어 지되, 입구홀(212)의 내면과 입구지지링(220)의 외면은 단면상 서로 상응하는 경사면(213)(224)을 이루고 있고, 상기 입구통기링(230)은 입구지지링(220)과 접하는 상단부 외주와 내주가 서로 대향하는 외·내주경사면(231)(233)을 이루어 "V"자형의 홈(232)을 형성하며, 상기 입구통기링(230)의 상단부 외주에는 등간격을 이루는 입구통기홈(234)이 형성되어 있다.
또한, 상기 출구역류방지수단(218)은 출구지지링(250)과 출구통기링(260) 및 출구고정링(270)이 순차적으로 적층되는 구조로 이루어 지되, 상기 출구홀(214)의 내면과 출구지지링(250)의 내측 외면은 단면상 서로 상응되는 경사면(215)(252)을 이루고, 외측에는 통기환홈(254)이 형성되며, 상기 출구통기링(260)은 출구지지링(250)과 접하는 일측면에 등간격을 이루는 출구통기홈(262)이 형성되어 있다.
상기와 같이 이루어진 본 발명의 작용을 설명하면 예시도 6내지 도 7에 표현 된 바와 같이, 밸브하우징(100)의 내부에 설치되어 있는 회전체(200)는 하면에 설치된 흡입플랜지(300)와 측면에 설치된 반응·클린가스배출플랜지(310)(320) 및 지지플랜지(330)(340)에 설치된 환형시트(303)(313)(323)(333)(343)에 의해 일정한 위치에 안정된 상태를 이루게 된다.
특히, 환형시트(303)(313)(323)(333)(343)의 일면 즉 흡입플랜지(300)와 반응·클린가스배출플랜지(310)(320) 및 지지플랜지(330)(340)에 형성된 안착홈(301) (311)(321)(331)(341)과 접하는 면에는 탄성계수가 높은 우레탄재질의 오링(56) (57)(58)(59)(60)의 탄발력에 의해 환형시트(303)(313)(323)(333)(343)가 회전체(200)에 밀착되어 기밀성을 갖추면서 회전체(200)와 밸브하우징(100)사이에는 일정한 공간을 갖추게 된다.
이때, 상기 회전체(200)에 형성된 "ㄱ"자형 통로(210)의 입구홀(212)과 대칭되는 위치인 회전체(200)의 상단부에는 키홈(82)이 형성되어 있어 구동축(70)의 하단부인 돌부(82)가 끼워져 구동축(70)이 회전됨에 따라 회전체(200)는 입구홀(212)을 중심축으로 회전되어 흡입플랜지(300)와 항상 연통되는 상태를 이루게 되며, 출구홀(214)은 회전체(200)가 회전되는 방향에 따라 반응가스배출플랜지(310)나 클린가스배출플랜지(320)와 연통되는 상태를 이루게 된다.
상기 밸브하우징(100)의 측면에 설치된 지지플랜지(330)(340)에는 공압포트(332)(342)가 설치되어 고압의 질소가스가 주입되는데 상기 주입되는 질소가스는 지지플랜지(330)(340)의 안착홈(331)(341) 하측에 형성된 다수의 통기홀(334)(344)을 통해 회전체(200)와 밸브하우징(100) 사이의 공간에 인체에 무해한 고압의 질소 가스가 주입된다.
상기, 회전체(200)와 밸스하우징(100) 사이의 공간에 주입된 고압의 질소가스는 회전체(200)의 입구홀(212)과 출구홀(214)의 외주에 형성된 입·출구공압주입홀(201)(202)을 통해 질소가스는 입·출구역류방지수단(216)(218)에 공급되어 폐기가스의 흐름을 보다 원활하게 하면서 역류되는 것을 방지하게 된다.
상기 회전체(200)의 입구홀(212)과 출구홀(214)에 설치되는 입·출구역류방지수단(216)(218)을 보다 구체적으로 설명하면, 입구역류방지수단(216)은 입구지지링(220)과 입구통기링(230) 및 입구고정링(240)이 순차적으로 적층되어 회전체(200)와 일체를 이루게 된다.
이때, 입구홀(212)의 내면과 입구지지링(220)의 외면은 서로 상응하는 경사면(213)(224)을 이루고, 입구지지링(220)과 입구통기링(230)이 접하는 면도 경사면(226)과 외주경사면(231)으로 이루어져 있어 입구고정링(240)이 입구홀(212)에 나사결합을 이루면서 입구고정링(240)이 회전체(200)의 입구홀(212)에 조여지는 압력만큼 입구지지링(220)은 입구홀(212)의 경사면(213)에 밀착되고, 입구통기링(230)은 외주경사면(231)이 입구지지링(220)의 경사면(226)에 밀착되어 기밀성을 유지하게 된다.
특히, 입구통기링(230)의 내주경사면(233) 상단부는 입구지지링(220)의 내측하단부와 일정간격의 틈새를 갖게 되면서 입구공압주입홀(201)을 통해 주입되는 고압의 질소가스는 입구지지링(220)의 내측곡면(222)을 따라 배출되어 흡입되는 폐기가스의 흐름이 원활히 됨과 동시에 역류를 방지할 수 있게 된다.
즉, 입구통기링(230)의 상부에는 외주경사면(231)과 내주경사면(233)에 의해 "V"자형의 홈(232)이 형성되어 있어 일정한 공간을 이루게 됨으로 입구공압주입홀(201)을 통해 공급되는 질소가스는 내주경사면(233)과 입구지지링(220)의 내측면 사이의 틈새를 통해 내측곡면(222)을 따라 분사되어 흡입되는 폐기가스의 흐름을 원활하게 해주며, 또한 역류되는 것을 방지할 수 있게 되는 것이다.
또한, 출구역류방지수단(202)은 출구지지링(250)과 출구통기링(260) 및 출구고정링(270)이 순차적으로 적층되어 회전체(200)와 일체를 이루게 되는데, 이때, 출구홀(214)의 내면과 출구지지링(250)의 외면은 서로 상응하는 경사면(215)(252)을 이루고, 출구지지링(250)과 출구통기링(260)은 면접촉을 이루면서 출구고정링(270)이 출구홀(214)과 나사결합을 이루게 됨으로 출구고정링(270)이 출구통기링(260)을 출구지지링(250)측으로 압착시키게 되어 출구지지링(250)은 출구홀(214)의 경사면(215)에 밀착되면서 기밀성을 갖추게 된다.
상기와 같은 상태에서 지지플랜지(330)(340)의 공압포트(332)(342)를 통해 주입되는 고압의 질소가스의 작용을 예시도 6을 참고로 설명하면, 회전체(200)와 밸브하우징(100) 사이에 형성된 공간부에 주입된 고압의 질소가스는 회전체(200)의 입·출구홀(212)(214) 외주연에 형성된 입·출구공압주입홀(201)(202)을 통해 "ㄱ"자형 통로(210)에 주입된다.
이때, 흡입플랜지(300)를 통해 클린 폐기가스가 흡입되면 상기 고압의 질소가스는 입구통기링(230)의 입구통기홈(234)을 통해 내주경사면(233)과 입구지지링(220)의 내측하단부 사이의 틈새로 배출되어 흡입되는 클린 폐기가스의 흐름을 보 다 빠르게 하여 출구홀(214)측으로 반응 폐기가스를 배출시키게 된다.
또한, 출구공압주입홀(202)에 주입되는 고압의 질소가스는 출구통기링(260)의 출구통기홈(262)을 통해 출구지지링(250)의 통기환홈(254)에 주입되어 출구지지링(250)의 내측단과 출구통기링(260)의 내측단 사이의 틈새로 배출되어 배출되는 폐기가스를 클린가스배출플랜지(320)측으로 배출시키게 된다.
상기와 같은 상태에서 흡입플랜지(300) 측으로 반응가스가 유입되면, 구동엑츄에이트(50)의 구동력에 의해 회전체(200)가 회전되어 회전체(200)의 출구홀(214)이 반응가스배출플랜지(310)와 연통되는 사이에 고압의 질소가스는 입·출구공압주입홀(201)(202)을 통해 입구통기링(230)의 내주경사면(233)과 입구지지링(220)의 내측하단부 사이의 틈새와, 출구지지링(250)의 내측단과 출구통기링(260)의 내측단 사이의 틈새로 배출됨으로 잔류 클린가스의 역류는 방지되고, 예시도 7과 같이 회전체(200)의 출구홀(214)이 반응가스배출플랜지(310)와 연통되어 폐기되는 반응가스는 원활하게 배출되는 것이다.
이상과 같이 본 발명은 하면에 흡입플랜지(300)가 설치되고, 직각을 이루는 측면에 반응·클린가스배출플랜지(310)(320)가 설치된 밸브하우징(100)의 내부에 수직상의 입구홀(212)과 수평상의 출구홀(214)이 형성되어 "ㄱ"자형의 통로(210)를 갖추고, 상기 입구홀(212)과 출구홀(214)에는 입·출구역류방지수단(216)(218)이 갖춰진 회전체(200)가 설치되어 상기 회전체(200)가 회전함에 따라 흡입되는 폐기가스의 배출방향을 간단하게 전환시킬 수 있으며 방향 전환시 잔류 폐기가스의 역 류를 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 상부에 구동액츄에이터(50)를 갖춘 밸브하우징(100)과, 상기 밸브하우징(100) 내에 설치되어 회전하는 구형상의 회전체(200)와, 구동엑츄에이터(50)와 회전체(200) 사이에 설치되어 회전체(200)에 회전력을 전달하는 구동축(70)으로 이루어진 분배밸브에 있어서, 상기 밸브하우징(100)은 그 하면과 측면에 수직관통홀(110)과 다수의 수평관통홀(120)(130)(140)(150)이 형성되고, 수직관통홀(110)에는 흡입플랜지(300)가 설치되며, 다수의 수평관통홀(120)(130)(140)(150) 중 직각을 이루는 두면의 수평관통홀(120)(130)에는 반응가스배출플랜지(310)와 클린가스배출플랜지(320)가 설치되고, 상기 반응·클린가스배출플랜지(310)(320)와 대향되는 두면에는 공압포트(332)(342)를 갖춘 지지플랜지(330)(340)가 각각 설치되며, 상기 흡입플랜지(300)와 반응·클린가스배출플랜지(310)(320) 및 지지플랜지(330)(340)의 내면에는 안착홈(311)(321)(331)(341)이 형성되어 환형시트(303) (313) (323) (333)(343)가 설치되고, 특히 지지플랜지(330)(340)의 안착홈(331)(341) 하측에는 다수의 통기홀(334)(344)이 형성되며, 상기 구형상의 회전체(200)는 수직상의 입구홀(212)과 수평상의 출구홀(214)이 형성되어 "ㄱ"자형의 통로(210)가 형성되며, 상기 입구홀(212)과 출구홀(214)에 입·출구역류방지수단(216)(218)이 설치되는 구조로 이루어지고, 상기 입구홀(212)과 출구홀(214)의 외주연에는 입·출구공압주입홀(201)(202)이 형성된 것을 특징으로 하는 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브.
  2. 제 1 항에 있어서, 입구역류방지수단(216)은 입구지지링(220)과 입구통기링(230) 및 입구고정링(240)이 순차적으로 적층되는 구조로 이루어 지되, 입구홀(212)의 내면과 입구지지링(220)의 외면은 단면상 서로 상응하는 경사면(213)(224)을 이루고 있고, 상기 입구통기링(230)은 입구지지링(220)과 접하는 상단부 외주와 내주가 서로 대향하는 외·내주경사면(231)(233)을 이루어 "V"자형의 홈(232)을 형성하며, 상기 입구통기링(230)의 상단부 외주에는 등간격을 이루는 입구통기홈(234)이 형성된 것을 특징으로 하는 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브.
  3. 제 1 항에 있어서, 출구역류방지수단(218)은 출구지지링(250)과 출구통기링(260) 및 출구고정링(270)이 순차적으로 적층되는 구조로 이루어 지되, 상기 출구홀(214)의 내면과 출구지지링(250)의 내측 외면은 단면상 서로 상응되는 경사면(215)(252)을 이루고, 외측에는 통기환홈(254)이 형성되며, 상기 출구통기링(260)은 출구지지링(250)과 접하는 일측면에 등간격을 이루는 출구통기홈(262)이 형성된 것을 특징으로 하는 폐기가스 처리장치의 역류방지용 분배밸브.
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