JP2001085496A - 板状部材の搬送装置 - Google Patents
板状部材の搬送装置Info
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】板状部材に塵や傷を発生させることがなく、搬
送しながら洗浄を行うことにできる生産性の高い板状部
材の搬送装置を提供しようとするものである。 【解決手段】圧力液体の送り込まれる本体の上部に平面
部を有する多孔材を取り付け、多孔質体を通して圧力液
体が噴き出されるようにするとともに、搬送される板状
部材の両側を駆動するローラーを設けた。
送しながら洗浄を行うことにできる生産性の高い板状部
材の搬送装置を提供しようとするものである。 【解決手段】圧力液体の送り込まれる本体の上部に平面
部を有する多孔材を取り付け、多孔質体を通して圧力液
体が噴き出されるようにするとともに、搬送される板状
部材の両側を駆動するローラーを設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば半導体ウ
ェハーや液晶表示装置のガラスパネルなどの洗浄に用い
られる板状部材の搬送装置に関するものである。
ェハーや液晶表示装置のガラスパネルなどの洗浄に用い
られる板状部材の搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体ウェハーや液晶表示装置の
ガラスパネルなどの製造過程において用いられる板状部
材の搬送装置は、例えば特許出願公開平成１０年第１５
８８６６号公報に示されるようにガラスパネルを搬送装
置で保持しながら洗浄水を掛けて洗浄するようにしてい
る。
ガラスパネルなどの製造過程において用いられる板状部
材の搬送装置は、例えば特許出願公開平成１０年第１５
８８６６号公報に示されるようにガラスパネルを搬送装
置で保持しながら洗浄水を掛けて洗浄するようにしてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】半導体ウェハーや液晶
表示装置のガラスパネルなどの板状部材は極めて小さな
塵が付着しても重大な不良となるが、上記のような従来
の板状部材の搬送装置はガラスパネルをローラーコンベ
アで搬送しているため、ローラーコンベアの表面に塵が
付着していると、その塵がガラスパネルの表面に付着す
る可能性がある。
表示装置のガラスパネルなどの板状部材は極めて小さな
塵が付着しても重大な不良となるが、上記のような従来
の板状部材の搬送装置はガラスパネルをローラーコンベ
アで搬送しているため、ローラーコンベアの表面に塵が
付着していると、その塵がガラスパネルの表面に付着す
る可能性がある。
【０００４】またローラーコンベアによってガラスパネ
ル等が運搬される場合、ガラスパネル等の端部が1つの
ローラーから次のローラーへ移る時に衝撃を受ける。従
って、ガラスパネル等の搬送速度をある速度以上にする
ことができない。このため生産性をあるレベルから上げ
ることが困難になる。
ル等が運搬される場合、ガラスパネル等の端部が1つの
ローラーから次のローラーへ移る時に衝撃を受ける。従
って、ガラスパネル等の搬送速度をある速度以上にする
ことができない。このため生産性をあるレベルから上げ
ることが困難になる。
【０００５】特に液晶表示装置は精細度が年々上がって
おり、精細度を上げるためにはガラスパネルを薄くしな
ければならない。所がガラスパネルを薄くするに従っ
て、衝撃に対して弱くなり益々生産性が上がらなくな
る。
おり、精細度を上げるためにはガラスパネルを薄くしな
ければならない。所がガラスパネルを薄くするに従っ
て、衝撃に対して弱くなり益々生産性が上がらなくな
る。
【０００６】さらに上記のような従来のものでは、ガラ
スパネル等は片面だけしか洗浄できない。このため両面
を洗浄するためには、ガラスパネル等を反転させる必要
がある。最近の液晶表示装置用のガラスパネルは厚さが
０.７ｍｍで縦８００ｍｍ、横１１００ｍｍのものが多
用されている。
スパネル等は片面だけしか洗浄できない。このため両面
を洗浄するためには、ガラスパネル等を反転させる必要
がある。最近の液晶表示装置用のガラスパネルは厚さが
０.７ｍｍで縦８００ｍｍ、横１１００ｍｍのものが多
用されている。
【０００７】このように薄くて広いガラスパネルは両端
を把持して持ち上げると、中心部分撓みによって４０ｍ
ｍ程度も垂れ下がる。従って、このようなガラスパネル
を反転させる作業は容易ではなく、反転に複雑な装置が
必要となる。
を把持して持ち上げると、中心部分撓みによって４０ｍ
ｍ程度も垂れ下がる。従って、このようなガラスパネル
を反転させる作業は容易ではなく、反転に複雑な装置が
必要となる。
【０００８】さらに、最近の液晶パネルはガラス基板の
端部付近まで回路が構成されており、把持することので
きる部分が極めて小さくなってきている。
端部付近まで回路が構成されており、把持することので
きる部分が極めて小さくなってきている。
【０００９】本発明は上記のような問題点を解消するも
のであり、板状部材に塵や傷を発生させることがなく、
生産性の高い板状部材の搬送装置を提供しようとするも
のである。
のであり、板状部材に塵や傷を発生させることがなく、
生産性の高い板状部材の搬送装置を提供しようとするも
のである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の板状部材の搬送装置は圧力液体の送り込ま
れる本体の上部に平面部を有する多孔材を平面部が上を
向くように取り付け、多孔材を通して圧力液体が噴き出
されるようにするとともに、搬送される板状部材の両側
を駆動するローラーを設けた。
め、本発明の板状部材の搬送装置は圧力液体の送り込ま
れる本体の上部に平面部を有する多孔材を平面部が上を
向くように取り付け、多孔材を通して圧力液体が噴き出
されるようにするとともに、搬送される板状部材の両側
を駆動するローラーを設けた。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、少なくとも１つの平面部を有する多孔質体を設け、
圧力液体の送り込まれる本体の上部に多孔材を平面部が
上を向くように取り付け、多孔材を通して圧力液体が噴
き出されるようにするとともに、搬送される板状部材の
両側を駆動するローラーを設けたものであり、圧力液体
で板状部材を浮上させながらローラーで搬送させるとい
う作用を有する。
は、少なくとも１つの平面部を有する多孔質体を設け、
圧力液体の送り込まれる本体の上部に多孔材を平面部が
上を向くように取り付け、多孔材を通して圧力液体が噴
き出されるようにするとともに、搬送される板状部材の
両側を駆動するローラーを設けたものであり、圧力液体
で板状部材を浮上させながらローラーで搬送させるとい
う作用を有する。
【００１２】
【実施例】以下本発明の板状部材の搬送装置の実施例に
ついて図に沿って詳細に説明する。
ついて図に沿って詳細に説明する。
【００１３】図１は本発明の板状部材の洗浄装置の平面
図である。図１において１は被搬送物の板状部材であ
る。２，３はコンベアであり、多数の搬送ローラー４，
５が設けられている。そして、搬送ローラー４，５が板
状部材１の両端部６にのみ接するようにコンベア２，３
は一対設けられている。
図である。図１において１は被搬送物の板状部材であ
る。２，３はコンベアであり、多数の搬送ローラー４，
５が設けられている。そして、搬送ローラー４，５が板
状部材１の両端部６にのみ接するようにコンベア２，３
は一対設けられている。
【００１４】７は浮上装置であり、千鳥状に多数配置さ
れた個体ユニット８よりなる。各個体ユニット８はカッ
プ状の本体９と、その開口上端を塞ぐように取り付けら
れた多孔材１０と、本体内部へ洗浄液を供給する洗浄液
パイプ１１よりなる。多孔材１０は平板状であり、その
主面が水平になるように取り付けられる。
れた個体ユニット８よりなる。各個体ユニット８はカッ
プ状の本体９と、その開口上端を塞ぐように取り付けら
れた多孔材１０と、本体内部へ洗浄液を供給する洗浄液
パイプ１１よりなる。多孔材１０は平板状であり、その
主面が水平になるように取り付けられる。
【００１５】また多孔材１０としてはアルミナを含有す
る多孔性セラミックス焼結体よりなる。この焼結体は酸
化することなく、寿命が極めて長く焼結条件の設定によ
って孔の径や分布を調整することができる。多孔材１０
はこれ以外にシリカ、チタニア、マグネシア、カルシ
ア、イットニアを含む材料でもよい。
る多孔性セラミックス焼結体よりなる。この焼結体は酸
化することなく、寿命が極めて長く焼結条件の設定によ
って孔の径や分布を調整することができる。多孔材１０
はこれ以外にシリカ、チタニア、マグネシア、カルシ
ア、イットニアを含む材料でもよい。
【００１６】これ以外に多孔材１０としてポリエチレ
ン、ポリプロピレン、オレフィン系樹脂、フッ化エチレ
ン等の合成樹脂の多孔質体を用いることができる。これ
らの合成樹脂は化学的に安定であり、酸やアルカリに対
する耐薬品性が高い。
ン、ポリプロピレン、オレフィン系樹脂、フッ化エチレ
ン等の合成樹脂の多孔質体を用いることができる。これ
らの合成樹脂は化学的に安定であり、酸やアルカリに対
する耐薬品性が高い。
【００１７】洗浄液としては洗浄条件に合わせて純水、
超純水、水素水オゾン水のような機能水、アルカリ又は
酸の溶液あるいはエタノール等の有機洗浄液を用いるこ
とができる。また洗浄液は洗浄液タンク（図示せず）よ
りポンプ（図示せず）によって洗浄液パイプ１１へ圧送
される。
超純水、水素水オゾン水のような機能水、アルカリ又は
酸の溶液あるいはエタノール等の有機洗浄液を用いるこ
とができる。また洗浄液は洗浄液タンク（図示せず）よ
りポンプ（図示せず）によって洗浄液パイプ１１へ圧送
される。
【００１８】本発明の洗浄装置は以上のように構成さ
れ、以下その動作について説明する。先ず、洗浄液パイ
プ１１より洗浄液を供給すると、本体９内部に洗浄液が
満たされ、次いで多孔材１０を洗浄液が通り抜け多孔材
１０の上面より噴出する。
れ、以下その動作について説明する。先ず、洗浄液パイ
プ１１より洗浄液を供給すると、本体９内部に洗浄液が
満たされ、次いで多孔材１０を洗浄液が通り抜け多孔材
１０の上面より噴出する。
【００１９】この時に多孔材１０の上に板状部材１が位
置していると多孔材１０と板状部材１との間に洗浄液層
１２が形成される。つまり板状部材１が洗浄液層１２の
の上に浮かんだ状態となる。
置していると多孔材１０と板状部材１との間に洗浄液層
１２が形成される。つまり板状部材１が洗浄液層１２の
の上に浮かんだ状態となる。
【００２０】従って、板状部材１は無接触状態で多孔性
セラミックス材２の上に浮遊し、極めて摩擦の小さな状
態となる。またこの状態でも板状部材１の両端部に搬送
ローラー４，５が接するようにすると搬送ローラー４，
５の回転駆動力で板状部材１は水平に移動する。搬送ロ
ーラー４，５の回転を止めると、板状部材の移動も停止
する。
セラミックス材２の上に浮遊し、極めて摩擦の小さな状
態となる。またこの状態でも板状部材１の両端部に搬送
ローラー４，５が接するようにすると搬送ローラー４，
５の回転駆動力で板状部材１は水平に移動する。搬送ロ
ーラー４，５の回転を止めると、板状部材の移動も停止
する。
【００２１】この板状部材１は浮上状態では摩擦は極め
て小さいため、板状部材１はローラー４，５に軽く接触
する状態でも十分な搬送力を得ることができる。そして
板状部材１が搬送ローラー４，５に軽く接触する状態で
あるため、接触によって塵が発生することはない。
て小さいため、板状部材１はローラー４，５に軽く接触
する状態でも十分な搬送力を得ることができる。そして
板状部材１が搬送ローラー４，５に軽く接触する状態で
あるため、接触によって塵が発生することはない。
【００２２】板状部材１は浮上状態では洗浄液によって
洗われるため、板状部材１の裏面に付着した塵や汚れは
洗浄液によって洗い流される。そして個体ユニット８は
千鳥状に多数配置されているが、個体ユニット８の上を
通過する板状部材１の裏面が隙間無く洗浄されるような
間隔で配置されている。
洗われるため、板状部材１の裏面に付着した塵や汚れは
洗浄液によって洗い流される。そして個体ユニット８は
千鳥状に多数配置されているが、個体ユニット８の上を
通過する板状部材１の裏面が隙間無く洗浄されるような
間隔で配置されている。
【００２３】以上の実施例では板状部材１の裏面しか洗
浄液によって洗われないが、板状部材１の表面に対して
洗浄液をかけるように板状部材１の表面に対向する洗浄
液スプレー（図示せず）を設け、板状部材１の表面から
洗浄液をかけるようにすると、板状部材１の表面にも洗
浄液が流されるため、板状部材１の両面が同時に洗浄さ
れるようになる。
浄液によって洗われないが、板状部材１の表面に対して
洗浄液をかけるように板状部材１の表面に対向する洗浄
液スプレー（図示せず）を設け、板状部材１の表面から
洗浄液をかけるようにすると、板状部材１の表面にも洗
浄液が流されるため、板状部材１の両面が同時に洗浄さ
れるようになる。
【００２４】以上の実施例では個体ユニット８の配置は
千鳥状であったが、これ以外に実施例２を示す図３のよ
うに板状部材１の幅とほぼ同一の幅広個体ユニット１３
を設けてもよい。この場合は洗浄液の噴出圧力が低くな
っても、洗浄液は板状部材１の裏面前面を洗うことがで
きる。
千鳥状であったが、これ以外に実施例２を示す図３のよ
うに板状部材１の幅とほぼ同一の幅広個体ユニット１３
を設けてもよい。この場合は洗浄液の噴出圧力が低くな
っても、洗浄液は板状部材１の裏面前面を洗うことがで
きる。
【００２５】また実施例３を示す図４のように個体ユニ
ット８を階段状に配置し、各階段状に配置された個体ユ
ニット８群を互いにずらして配置し、かつ各階段状に配
置された個体ユニット８は板状部材１の移動方向に対し
て重なり合うようにすることによって、板状部材１は移
動によってその裏面は全面に亙って洗浄される。
ット８を階段状に配置し、各階段状に配置された個体ユ
ニット８群を互いにずらして配置し、かつ各階段状に配
置された個体ユニット８は板状部材１の移動方向に対し
て重なり合うようにすることによって、板状部材１は移
動によってその裏面は全面に亙って洗浄される。
【００２６】
【発明の効果】本発明の板状部材の洗浄装置は上記の如
く構成したので、無接触状態で板状部材を持ち上げ、小
さな力で搬送することができ塵や傷を発生させることが
なく、生産性の高い板状部材の洗浄装置を提供すること
ができるものである。
く構成したので、無接触状態で板状部材を持ち上げ、小
さな力で搬送することができ塵や傷を発生させることが
なく、生産性の高い板状部材の洗浄装置を提供すること
ができるものである。
【００２７】また本発明の板状部材の洗浄装置は、板状
部材を浮上させる液体を洗浄液とすることで板状部材を
搬送しながら洗浄することができる。しかも洗浄液を両
面からかけるようにすることで、両面を同時に洗浄する
こともできる。
部材を浮上させる液体を洗浄液とすることで板状部材を
搬送しながら洗浄することができる。しかも洗浄液を両
面からかけるようにすることで、両面を同時に洗浄する
こともできる。
【図１】本発明の板状部材の搬送装置の実施例１を示す
上面図である。
上面図である。
【図２】本発明の板状部材の搬送装置の実施例１を示す
前面図である。
前面図である。
【図３】本発明の板状部材の搬送装置の実施例２を示す
上面図である。
上面図である。
【図４】本発明の板状部材の搬送装置の実施例３を示す
上面図である。
上面図である。
１ 板状部材 ２，３ コンベア ４，５ 搬送ローラー ６ 板状部材の両端部 ７ 浮上装置 ８ 個体ユニット ９ 本体 １０ 多孔材 １１ 洗浄液パイプ １２ 洗浄液層 １３ 幅広個体ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｊ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４３ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４３Ｂ
Claims (3)
- 【請求項１】少なくとも１つの平面部を有する多孔質体
を設け、圧力液体の送り込まれる本体の上部に前記多孔
材を前記平面部が上を向くように取り付け、前記多孔材
を通して圧力液体が噴き出されるようにするとともに、
送られる板状部材の両側を駆動するローラーを設けた板
状部材の搬送装置。 - 【請求項２】圧力液体は洗浄液である請求項１記載の板
状部材の搬送装置。 - 【請求項３】洗浄液を上方からもかけるようにした請求
項２記載の板状部材の搬送装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25813499A JP2001085496A (ja) | 1999-09-10 | 1999-09-10 | 板状部材の搬送装置 |
| KR10-2000-0053776A KR100422392B1 (ko) | 1999-09-10 | 2000-09-09 | 판상부재의 반송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25813499A JP2001085496A (ja) | 1999-09-10 | 1999-09-10 | 板状部材の搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001085496A true JP2001085496A (ja) | 2001-03-30 |
Family
ID=17315997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25813499A Pending JP2001085496A (ja) | 1999-09-10 | 1999-09-10 | 板状部材の搬送装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001085496A (ja) |
| KR (1) | KR100422392B1 (ja) |
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-
1999
- 1999-09-10 JP JP25813499A patent/JP2001085496A/ja active Pending
-
2000
- 2000-09-09 KR KR10-2000-0053776A patent/KR100422392B1/ko not_active IP Right Cessation
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