KR101024644B1

KR101024644B1 - 유체를 이용한 유리 기판 반송 장치

Info

Publication number: KR101024644B1
Application number: KR1020040006090A
Authority: KR
Inventors: 김한석
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2004-01-30
Filing date: 2004-01-30
Publication date: 2011-03-25
Also published as: KR20050078000A

Abstract

본 발명은 유리 기판 표면과 구동 롤러의 물리적 접촉이 없고, 반송 중에 유체 부상 테이블로부터 상방으로 분사되는 유체흐름이 유리 기판 하부 면을 지지하는 유리 기판 반송 장치에 관한 것으로, 유리 기판의 측면에 접촉하는 사이드 구동 롤러, 유체를 분사시켜 반송중인 유리 기판을 부상시키는 유체 부상 테이블; 및 반송 방향에 수직방향으로 직선 왕복운동에 의하여 부양된 유리 기판을 상기 사이드 구동 롤러로 도입시키는 사이드 가이드 롤러를 포함한다.

유리 기판, 반송, 유체 부상

Description

유체를 이용한 유리 기판 반송 장치{An apparatus for conveying the glass substrate using fluid}

도 1은 종래 장치에 의하여 유리 기판이 반송되는 과정을 도시한 사시도.

도 2는 또 다른 종래 기술의 유리 기판 반송 방법의 일 실시예에 따른 단면도.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 반송 장치의 단면도.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 반송 장치의 개략을 나타내는 사시도.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판 반송 장치의 평면도.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 구동 롤러의 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10. 사이드 구동 롤러 20. 유리 기판

100. 유체 부상 테이블 101. 유체 배출구

102. 유체 유입구 103. 유로

104. 유체 유도홈 120. 사이드 구동 롤러

121. 사이드 가이드 롤러 122. 유리 기판 이탈 방지턱

본 발명은 유리 기판 반송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 구동 롤러를 유리 기판 표면과 물리적으로 접촉시키지 않으며, 유체를 이용하여 유리 기판 표면을 지지하여 유리 기판을 반송시키는 유리 기판 반송 장치에 관한 것이다.

디스플레이 분야의 기술이 발전함에 따라 액정 표시 패널(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 및 유기 전계 발광 소자(유기 EL) 등의 디스플레이 패널의 크기가 점차 대형화 되고 있으며, 이들에 사용되는 유리 기판도 그 두께는 더욱 얇아지는 반면 폭이나 길이 등 그 크기는 점차 대형화되고 있다.

LCD와 유기 EL의 제조 공정에는 필수적으로 유리 기판 반송 시스템을 포함한다. 도 1에 종래의 기술에 따른 유리 기판 반송 장치를 도시하였다. 유리 기판을 반송하는 종래의 방법은 구동 모터에 의해 회전하는 다수의 구동 롤러(10) 상부와 유리 기판(20)의 하부 면을 접촉시켜 이동시키거나, 경우에 따라 소자 형성 영역인 상부 면을 이동 롤러(10)와 접촉시키는 방법을 채택하였다. 그러나 이러한 방법에 의하면 필연적으로 유리 기판 상부 면 또는 하부 면과 구동 롤러가 물리적으로 접촉하여 구동 롤러와 접촉하는 접촉면에 이물이 잔류하게 되어 오염원으로 작용할 수 있다. 비록 하부 면이 오염되는 경우 제품의 성능에 크게 영향을 미치지 않을 수는 있으나, 하부 면이 오염된 경우에도 유리 기판이 카세트(cassette)에 적재되어 이동하는 경우 오염된 기판 아래 층에 적재된 또 다른 유리 기판 상부 면에 오염원이 떨어져 상부 면을 오염시킬 수 있다.

상기와 같은 문제를 해결하기 위해 구동 롤러(10)와 유리 기판(20)의 접촉을 최소화하는 방안으로 유리 기판(20)의 양측 가장자리부를 지지하여 회전하는 구동 롤러(10)를 사용하고 있으나, 도 2에 도시된 바와 같이 유리 기판(20)이 대형화되면서 자중에 의해 유리 기판(20)의 중앙부가 휘어지는 단점이 있다. 이러한 휘어짐을 방지하기 위하여 중심선에 롤러를 추가할 수 있으나, 이 경우 오염을 증대시키는 효과가 있다. 또한 상기의 방법은 구동 롤러(10)와 유리 기판(20)의 접촉을 최소화하기는 하였지만 유리 기판의 양측 가장자리부와 구동 롤러(10)가 접촉하여 오염원을 근본적으로 제거할 수는 없어, 이에 대한 개선이 요구되고 있다.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로서, 유리 기판 표면과 구동 롤러의 물리적 접촉이 없고, 반송 중에 유체 부상 테이블로부터 상방으로 분사되는 유체흐름이 유리 기판 하부 면을 지지하는 유리 기판 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 유리 기판 반송 장치에 있어서,

유리 기판 반송 방향에 대해 수직 방향인 유리 기판 양 측면에 위치하여 유리 기판의 측면에 접촉하는 사이드 구동 롤러; 및

상부 면에 유체 배출구(101) 및 하부 면에 유체 유입구(102)를 가지고 그 내 부에 상기 상부 면의 유체 배출구와 상기 하부 면의 유체 유입구를 관통하여 양자를 연결시키는 유로(103)를 가지며 상기 양 사이드 구동 롤러(10) 사이에 설치되는 유체 부상 테이블(100)을 포함하는 유리 기판 반송 장치를 제공한다.

상기 장치의 개략적인 단면도를 도 3에 도시하였다.

본 발명의 반송 장치에 의해 반송되는 유리 기판의 무게는 구동 롤러(120)에 의해서 지지되지 않고 유체 부상 테이블(100)에서 분사된 유체에 의해서만 지지되기 때문에, 상기 사이드 구동 롤러(120)는 유리 기판의 하부 면이 아닌 측면에만 접촉하여 유리 기판을 반송시킬 수 있어 유리 기판 표면의 오염을 최소화 시킬 수 있다.

또한 본 발명에 따른 유리 기판 반송 장치는 유리 기판(20)이 자중에 의하여 휘어지는 것을 방지하기 위하여 양 사이드 구동 롤러(10) 사이에 위치하는 유체 부상 테이블(100)을 제공한다.

상기 유체 부상 테이블(100)은 상부 면에 유체가 분사되는 유체 배출구(101)를 가지고 있고 그 하부 면에 유체를 공급하는 유체 유입구(102)를 가지고 있으며 상기 배출구(101)와 유체 유입구(102)는 유체 테이블(100) 내부를 관통하는 유로(103)에 의하여 연결되어 있다.

상기 유체 부상 테이블(101)은 반송되는 유리 기판(20) 전체 면을 지지하기 위해 다수의 유체 배출구(101)를 형성할 수 있으며, 유체 부상 테이블(100)의 가장자리 보다 그 중심부에 더 많은 유체 배출구(101)를 형성할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 유체 부상 테이블(100)에는 그 상부 면에 일정 형상의 유체 유도홈을 형성하는 것이 바람직하다. 이러한 유체 유도홈(104)의 일 실시예를 도 4에 도시하였다. 도 4에 도시된 바와 같이 유체 유도홈(104)은 구성 표면을 나선형으로 형성함으로 유체가 와류 형태로 분사되어 유리 기판 하부 전체 면을 효율적으로 지지하게 할 수 있다. 또한 상기 유도홈(104)은 유체 배출구(101)로부터 시작하여 유체 부상 테이블(100)의 양 측면의 말단부까지 형성되어 있어 유체 배출구로부터 분사된 유체가 유체 부상 테이블(100) 측면으로 배기되도록 할 수 있다.

본 발명에 따른 유체 부상 테이블(101) 하부 면에 형성된 유체 유입구(102)는 유체 공급 수단(110)으로부터 일정한 압력의 유체를 공급 받는다. 이러한 유체 공급 수단(110)은 유체를 저장하고 있는 유체 공급원, 유체를 압축하기 위한 압축기, 유체 유입구(102)로 이송하기 위한 펌프, 또는 유리 기판(20)의 부유 정도를 조절하기 위한 유체의 압력 조절기 및 유량 조절기를 포함할 수 있다. 또한 상기 유체 공급 수단(110)은 유리 기판(20)이 불순물에 의해 오염되는 것을 방지하기 위하여 공급되는 유체를 정제할 수 있는 정제부를 추가적으로 포함하는 것이 바람직하다. 본 발명에 사용하는 유체는 공기 또는 질소와 같은 기체나 물 또는 기타 화학용액을 사용할 수 있으며, 기체를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 압축기, 압력 조절기, 유량 조절기 및 정제부에 대하여 특별한 제한이 없으며, 사용하는 유체에 따라 선택할 수 있는 각 수단은 당업자에게 자명한 것이다.

본 발명은 또한 유리 기판(20) 반송 방향에 대해 수직 방향인 유리 기판(20) 양 측면에 위치하여 유리 기판(20)의 측면에 접촉하는 사이드 구동 롤러(120);

상부 면에 유체 배출구(101) 및 하부 면에 유체 유입구(102)를 가지고 그 내 부에 상기 상부 면의 유체 배출구와 상기 하부 면의 유체 유입구를 관통하여 양자를 연결시키는 유로(103)를 가지며 상기 양 사이드 구동 롤러(120) 사이에 설치되는 유체 부상 테이블(100);

유리 기판 반송 방향에 대해 수직인 방향으로 직선 왕복 운동하여 상기 유체 부상 테이블(100)의 유체 배출구(101)로부터 배출된 유체에 의해 부양된 유리 기판(20)의 양 측면에 접촉하여 상기 사이드 구동 롤러(120)로 유리 기판(20)을 이동시키는 사이드 가이드 롤러(121)를 포함하는 유리 기판 반송 장치를 제공한다.

상기 유체 이동 장치의 개략적인 평면도를 도 5에 도시하였다. 편의상 도 5에는 유체 부상 테이블을 도시하지 않았으나, 그 구성 및 기능은 도 3 및 도 4에 도시된 테이블과 동일하다. 최초 유리 기판(20)이 반송 장치의 유체 부상 테이블 상에 도입되면 유체 배출구에서 배출되는 유체에 의하여 유리 기판(20)은 일정 높이로 부상된다. 부상된 유리 기판(20)의 양 측면은 유리 기판 반송 방향에 대해 수직인 방향으로 직선 왕복 운동이 가능한 사이드 가이드 롤러(121)와 접촉하며, 사이드 가이드 롤러(121)의 회전에 의하여 사이드 구동 롤러(120)로 반송된다.

또한 도 6에 도시한 바와 같이 상기 사이드 가이드 롤러(121) 및 사이드 구동 롤러(120)는 유리 기판의 이탈을 방지하기 위하여 그 상단부에 유리 기판 이탈 방지턱(122)을 형성하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 유리 기판 반송 장치를 사용하면, 유리 기판 표면과 반송 장 치의 구동롤러가 물리적으로 접촉하지 않으므로 오염원이 발생하지 않으며, 반송 중에 연속적으로 유체 흐름이 유리 기판 하부 면을 지지하므로 유리 기판 유리 기판 처짐 현상이 발생하지 않는다.

Claims

유리 기판 반송 장치에 있어서,

유리 기판 반송 방향에 대해 수직 방향인 유리 기판 양 측면에 위치하여 유리 기판의 측면에 접촉하는 사이드 구동 롤러; 및

상부 면에 유체 배출구 및 하부 면에 유체 유입구를 가지고, 그 내부에 상기 상부 면의 유체 배출구와 상기 하부 면의 유체 유입구를 관통하여 양자를 연결시키는 유로를 가지며, 상기 양 사이드 구동 롤러 사이에 설치되는 유체 부상 테이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 반송 장치.
제 1 항에 있어서, 유리 기판 반송 방향에 대해 수직인 방향으로 직선 왕복 운동하여 유체 부상 테이블의 배출구로부터 배출된 유체에 의해 부양된 유리 기판의 양 측면에 접촉하여 사이드 구동 롤러로 유리 기판을 이동시키는 사이드 가이드 롤러를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 반송 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 유체 부상 테이블의 상부 면에 나선 형상의 유체 유도홈이 형성되어 있되, 상기 유체 유도홈은 상기 유체 배출구로부터 시작하여 유체 부상 테이블의 양 측면의 말단부까지 형성되어 있는 유리 기판 반송 장치.
제 3 항에 있어서 상기 사이드 구동 롤러 및 사이드 가이드 롤러는 유리 기판 측면과 접촉하는 접촉부 상부에 유리 기판 이탈 방지턱을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 반송 장치.