JP2001079944A - Roll type film sticking apparatus - Google Patents
Roll type film sticking apparatusInfo
- Publication number
- JP2001079944A JP2001079944A JP26425899A JP26425899A JP2001079944A JP 2001079944 A JP2001079944 A JP 2001079944A JP 26425899 A JP26425899 A JP 26425899A JP 26425899 A JP26425899 A JP 26425899A JP 2001079944 A JP2001079944 A JP 2001079944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressing roll
- pressing
- roll
- eccentric
- type film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、真空中または大気
中でウエハや基板(以下試料)に連続的にフィルムを貼付
けるロール式フィルム貼付装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a roll type film sticking apparatus for continuously sticking a film to a wafer or a substrate (hereinafter referred to as "sample") in a vacuum or in the atmosphere.
【０００２】[0002]
【従来の技術】真空中または大気中でロールにより連続
的にフィルムを試料に貼付ける装置としては、特公平５
−４０９０１号公報に記載される減圧貼合わせ装置があ
る。該公報には、貼合わせをおこなうとき装置内にある
ロールの隙間は、基板の厚さにより予め調整しておくこ
とが好ましく、これらのロール間隔は基板厚より１．６
(mm)少なく調整する事が好ましいと提案されている。こ
れより、厚みの違う試料を貼り合わせる場合、その都度
ロール間隔を調整する必要がある。2. Description of the Related Art An apparatus for continuously attaching a film to a sample in a vacuum or in the air by a roll is disclosed in
There is a vacuum bonding apparatus described in JP-40901A. According to the publication, it is preferable that the gap between the rolls in the apparatus at the time of lamination is adjusted in advance by the thickness of the substrate, and the interval between these rolls is 1.6 times the thickness of the substrate.
(mm) It has been suggested that it is preferable to adjust as small as possible. Thus, when attaching samples having different thicknesses, it is necessary to adjust the roll interval each time.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】レジストフィルム、搬
送フィルム等のフィルムを、真空中または大気中で加熱
または非加熱の押付ロールを用い連続的に試料に貼付け
る装置において、試料の厚さの違い、フィルムの種類の
違い等による、押付ロールの押付力等の運転条件の違い
が発生した場合、従来の装置では、装置内にある押付ロ
ールの隙間は、試料の厚さにより予め調整しておく必要
があり、試料の厚さが変わると装置を停止させ、装置内
を一旦大気圧に戻しロールの隙間調整を行い、そして再
度真空にし運転する必要がある。SUMMARY OF THE INVENTION In an apparatus for continuously attaching a film such as a resist film or a transport film to a sample in a vacuum or in the atmosphere by using a heated or non-heated pressing roll, the thickness of the sample is different. In the case where a difference in operating conditions such as a pressing force of a pressing roll due to a difference in film type or the like occurs, in a conventional apparatus, a gap between the pressing rolls in the apparatus is adjusted in advance according to a thickness of a sample. When the thickness of the sample changes, it is necessary to stop the apparatus, return the inside of the apparatus to the atmospheric pressure once, adjust the gap between the rolls, and operate again by applying a vacuum again.
【０００４】従って、最適の貼合わせを行うための条件
を探すとき、上記の操作をその都度繰り返し行う必要が
あり、作業効率が悪いという問題を抱えている。[0004] Therefore, when searching for the conditions for performing the optimal bonding, the above operation must be repeated each time, and there is a problem that the work efficiency is poor.
【０００５】本発明の目的は上記のような問題点に着目
し、押付ロールと基板の間隔を簡単に調整できるロール
式フィルム貼付装置を提供することにある。すなわち、
装置内の気密を保持した状態でしかも遠隔操作または手
動で、押付けロールの間隔を自由に設定することによ
り、ごく簡単に押付圧力を調整できるロール式フィルム
貼付装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a roll type film sticking apparatus which can easily adjust the distance between a pressing roll and a substrate, focusing on the above problems. That is,
It is an object of the present invention to provide a roll-type film sticking apparatus in which the pressing pressure can be adjusted very easily by freely setting the interval between the pressing rolls while maintaining airtightness in the apparatus and remotely or manually.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を達成
するために、上下一対の押付ロールと該押付ロールを回
転駆動する駆動機構と、該押付ロール間の隙間を調整す
る隙間調整機構とを備え、前記押付ロールによりフィル
ム状感光材料等を試料に貼り合わせるロール式フィルム
貼付装置において、前記隙間調整機構は、内側が前記押
付ロールの中心と同軸であり外側が該内側と偏芯してお
り該押付ロールの軸支持部に設けられた偏芯スリーブ
と、該偏芯スリーブに嵌合う固定スリーブと、該偏芯ス
リーブを回転させる回転手段とを備え、該回転手段で該
偏芯スリーブを回転させることにより、該偏芯スリーブ
の偏芯量だけ前記押付ロールを上下方向に移動させ、こ
の回転角度を調整することにより該押付ロールの上下方
向の移動量を変化させ、該押付ロールの押付力を任意に
調整することを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a pair of upper and lower pressing rolls, a driving mechanism for rotating the pressing rolls, and a gap adjusting mechanism for adjusting a gap between the pressing rolls. In a roll type film sticking apparatus for sticking a film-shaped photosensitive material or the like to a sample by the pressing roll, the gap adjusting mechanism is such that the inside is coaxial with the center of the pressing roll and the outside is eccentric with the inside. An eccentric sleeve provided on a shaft support portion of the pressing roll, a fixed sleeve fitted to the eccentric sleeve, and a rotating means for rotating the eccentric sleeve, and the eccentric sleeve is rotated by the rotating means. By rotating, the pressing roll is moved in the vertical direction by the amount of eccentricity of the eccentric sleeve, and by adjusting the rotation angle, the moving amount of the pressing roll in the vertical direction is changed. , Characterized by arbitrarily adjusting the pressing force of the pressing with rolls.
【０００７】本発明によれば、内側は押付ロールの中心
と同軸に加工し、外側は内側と偏芯させて加工されてい
る偏芯スリーブを回転させることにより、偏芯スリーブ
の偏芯量だけ押付ロールを上下方向に移動させ、この回
転角度を調整することにより押付ロールの押付力を任意
に調整することが出来る。According to the present invention, the inner side is machined coaxially with the center of the pressing roll, and the outer side is eccentric with the inner side. The pressing force of the pressing roll can be arbitrarily adjusted by moving the pressing roll in the vertical direction and adjusting the rotation angle.
【０００８】この操作は、外部のアクチュエータ等によ
り遠隔操作または、手動操作で行う事が出来る。従っ
て、押付ロールと基板の間隔を簡単に調整できる。すな
わち、装置内が真空であろうと大気圧であろうとまた、
装置全体が運転されていてもいなくても無関係に、自由
にかつ任意に押付ロールの押付力を調整できる。This operation can be performed by remote control or manual control using an external actuator or the like. Therefore, the distance between the pressing roll and the substrate can be easily adjusted. That is, irrespective of whether the inside of the device is vacuum or atmospheric pressure,
The pressing force of the pressing roll can be freely and arbitrarily adjusted irrespective of whether the entire apparatus is operated or not.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施態様を図面
を参照して説明する。先ず本発明が適用される真空式連
続貼付装置の基本構成を図１を用いて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, the basic configuration of a vacuum continuous sticking apparatus to which the present invention is applied will be described with reference to FIG.
【００１０】図１において、連続貼付装置は、チャンバ
１、供給装置２、排出装置３で構成されており、チャン
バ内には、搬送ロボット４、貼付フィルム巻出装置５、
搬送フィルム巻出装置６、保護フィルム巻取軸７、供給
コンベア１０、搬出コンベア１４、押付ロール１１、ニ
ップロール１２、カッター１３等が内蔵されている。In FIG. 1, the continuous sticking device is composed of a chamber 1, a supply device 2, and a discharge device 3, and a transfer robot 4, a sticking film unwinding device 5,
A transport film unwinding device 6, a protective film winding shaft 7, a supply conveyor 10, an unloading conveyor 14, a pressing roll 11, a nip roll 12, a cutter 13, and the like are built in.
【００１１】本連続貼付装置に供給されるウエハや基板
等の試料３３は、供給装置２に収納され、搬送ロボット
４で、供給装置２からチャンバ１内の供給コンベア１０
に送られる。供給コンベア１０に送られた試料３３は、
押付ロール１１により試料３３の上下面にそれぞれ貼付
フィルム８及び搬送フィルム９が貼り付けられる。貼付
フィルム８及び搬送フィルム９を貼り付けられた試料３
３は、ニップロール１２によりカッター１３に送られ、
カッター１３により所定の長さに切断する。切断された
貼付フィルム８及び搬送フィルム９を貼り付けられた試
料３３は、搬出コンベア１４により排出装置３に送られ
排出装置３により装置外に排出される。A sample 33 such as a wafer or a substrate to be supplied to the continuous attaching apparatus is stored in the supply apparatus 2, and is transferred from the supply apparatus 2 to the supply conveyor 10 in the chamber 1 by the transfer robot 4.
Sent to The sample 33 sent to the supply conveyor 10 is
The sticking film 8 and the transport film 9 are stuck on the upper and lower surfaces of the sample 33 by the pressing roll 11, respectively. Sample 3 with attached film 8 and carrier film 9
3 is sent to the cutter 13 by the nip roll 12,
It is cut by a cutter 13 into a predetermined length. The sample 33 to which the cut sticking film 8 and the transport film 9 have been stuck is sent to the discharging device 3 by the unloading conveyor 14 and discharged to the outside by the discharging device 3.
【００１２】このような基本構成より成る連続貼付装置
において、本発明の一実施形態になる押付ロール１１部
の構造及び、押付ロール１１の隙間調整を、図２〜図６
を用いて説明する。なお、試料３３の下面に、搬送フィ
ルム９の代わり貼付フィルム８が貼り付けられる場合も
ある。In the continuous sticking apparatus having such a basic configuration, the structure of the pressing roll 11 and the gap adjustment of the pressing roll 11 according to an embodiment of the present invention are described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. Note that the attachment film 8 may be attached to the lower surface of the sample 33 instead of the transport film 9.
【００１３】先ず図２、図３は、本発明の一実施形態に
なる押付ロール部の組立図であり、図２（ａ）は図1の
押付ロール部を正面から見た組立図、図２（ｂ）は図２
（ａ）の右側面図、図３は図２（ａ）の左側面図であ
る。FIGS. 2 and 3 are assembly diagrams of a pressing roll portion according to an embodiment of the present invention. FIG. 2A is an assembly diagram of the pressing roll portion of FIG. 1 as viewed from the front. (B) is FIG.
FIG. 3A is a right side view, and FIG. 3 is a left side view of FIG.
【００１４】図２、図３において、押付ロール１１の両
端には、シャフト１５、１６、軸受１７、１８、偏芯ス
リーブ１９、２０及びギヤー２３、２４を取付けてお
り、偏芯スリーブ１９、２０の外側に嵌り合う固定スリ
ーブ２１、２２は、チャンバ隔壁２５に固定スリーブ取
付ボルト４５で固定されている。また、チャンバ隔壁２
５には、駆動シャフト２６、ギヤー２７、２８を取付け
ている。ギヤー２３と２７、ギヤー２４と２８は噛み合
っており、ギヤー２７は、さらにロータリーアクチュエ
ータまたはステッピングモータ３０の先端に取付けてい
るギヤー２９とも噛合っている。図中の３８は、偏芯ス
リーブ１９、２０の外径の中心点を表しており、３７
は、押付ロール１１の中心点を示している。上側の押付
ロール１１については、上下左右方向、下側の押付ロー
ル１１については、左右方向にＳ１(mm)だけ偏芯させて
いる。尚、ギヤー２３、２４は、偏芯スリーブ１９、２
０の外径と同芯に取付けている。2 and 3, shafts 15 and 16, bearings 17 and 18, eccentric sleeves 19 and 20, and gears 23 and 24 are attached to both ends of the pressing roll 11, and the eccentric sleeves 19 and 20 are provided. Are fixed to the chamber partition wall 25 by fixing sleeve mounting bolts 45. Also, the chamber partition 2
5, a drive shaft 26 and gears 27 and 28 are attached. The gears 23 and 27 and the gears 24 and 28 mesh with each other, and the gear 27 further meshes with a gear 29 attached to a tip of a rotary actuator or a stepping motor 30. Numeral 38 in the figure indicates the center point of the outer diameter of the eccentric sleeves 19 and 20.
Indicates the center point of the pressing roll 11. The upper pressing roll 11 is eccentric in the vertical and horizontal directions, and the lower pressing roll 11 is eccentric in the horizontal direction by S1 (mm). The gears 23 and 24 are eccentric sleeves 19 and 2
It is mounted concentrically with the outer diameter of 0.
【００１５】なお、これらの部品は、偏芯スリーブ１
９、２０の偏芯方法以外は、試料搬送面３２に対して反
対側の下側にも全く同様に取付けられているが、図の煩
雑化を避けるために同一物相当物には引用符号を省略し
た。[0015] These components are the eccentric sleeve 1
Except for the eccentric methods 9 and 20, they are mounted in exactly the same way on the lower side opposite to the sample transport surface 32. Omitted.
【００１６】なお、チャンバ隔壁２５内に形成されるチ
ャンバは、真空（減圧）チャンバの場合もあるし、無塵
化用ダウンフローを形成区画する大気中のチャンバの場
合もある。The chamber formed in the chamber partition wall 25 may be a vacuum (reduced pressure) chamber, or may be a chamber in the atmosphere for forming a dust-free downflow.
【００１７】本連続貼付装置の運転前は、上下に配置し
ている押付ロール１１の外径が、試料搬送面３２に対し
て、試料搬送面３２から上側の押付ロール１１はＳ２(m
m)、下側の押付ロール１１はＳ１(mm)離れてセットされ
ている。Before the operation of the continuous sticking apparatus, the outer diameter of the vertically arranged pressing rolls 11 is larger than the sample transferring surface 32 by the pressing rolls 11 above the sample transferring surface 32.
m), the lower pressing roll 11 is set S1 (mm) apart.
【００１８】本連続貼付装置を運転する場合は、まず下
側の押付ロール１１の外径を試料搬送面３２まで動か
す。すなわち、下側のロータリーアクチュエータまたは
ステッピングモータ３０を動かすことにより、回転力が
ギヤー２９、２７、２８、駆動シャフト２６により、ギ
ヤー２３、２４に伝わる。ギヤー２３、２４に回転力が
伝わると、押付ロール１１、シャフト１５、１６、軸受
１７、１８、偏芯スリーブ１９、２０及びギヤー２３、
２４が一体で回転し、偏芯スリーブ１９、２０が有るた
めに、押付ロール１１は上に移動する。この時、偏芯ス
リーブ１９、２０が９０度だけ回転するようにロータリ
ーアクチュエータまたはステッピングモータ３０を動か
す事により、下側の押付ロール１１の外径を試料搬送面
３２まで移動できる。When operating the continuous sticking apparatus, first, the outer diameter of the lower pressing roll 11 is moved to the sample transfer surface 32. That is, by moving the lower rotary actuator or the stepping motor 30, the rotational force is transmitted to the gears 23 and 24 by the gears 29, 27 and 28 and the drive shaft 26. When the rotational force is transmitted to the gears 23, 24, the pressing roll 11, the shafts 15, 16, the bearings 17, 18, the eccentric sleeves 19, 20, and the gear 23,
The press roll 11 moves upward because the 24 rotates integrally and the eccentric sleeves 19 and 20 are provided. At this time, the outer diameter of the lower pressing roll 11 can be moved to the sample transfer surface 32 by moving the rotary actuator or the stepping motor 30 so that the eccentric sleeves 19 and 20 rotate by 90 degrees.
【００１９】そして、次に上側の押付ロール１１を前記
と同様に動かし、上側の押付ロール１１の移動量を上側
のロータリーアクチュエータまたはステッピングモータ
３０の回転量で調整する事により、上下の押付ロール１
１間の隙間を任意に調整できる。Then, the upper pressing roll 11 is moved in the same manner as described above, and the amount of movement of the upper pressing roll 11 is adjusted by the amount of rotation of the upper rotary actuator or the stepping motor 30, whereby the upper and lower pressing rolls 1 are moved.
The gap between the two can be arbitrarily adjusted.
【００２０】この動作について図４を用いでもう少し詳
しく説明する。図４において、（a）は押付ロール１１
が上下に解放している初期状態、（b）は下側の押付ロ
ール１１のみが上昇した状態、（c）は上側の押付ロー
ル１１が下降して試料３３を挟み込んだ状態を示してい
る。なお、図４において、４８は偏芯スリーブ１９、２
０の断面、４６は偏芯スリーブ１９、２０の内径部、４
７は偏芯スリーブ１９、２０の外径部をそれぞれ表して
いる。This operation will be described in more detail with reference to FIG. In FIG. 4, (a) shows the pressing roll 11
Shows an initial state where the upper pressing roll 11 is lifted up and down, (b) shows a state where only the lower pressing roll 11 is raised, and (c) shows a state where the upper pressing roll 11 is lowered and sandwiches the sample 33. In FIG. 4, reference numeral 48 denotes an eccentric sleeve 19, 2
0 is the cross section, 46 is the inner diameter of the eccentric sleeves 19 and 20, 4
Reference numeral 7 denotes the outer diameter portions of the eccentric sleeves 19 and 20, respectively.
【００２１】先ず（a）の押付ロール１１が上下に解放
している初期状態で、上側の押付ロール１１は、押付ロ
ール１１の回転中心（偏芯スリーブ１９、２０の内径軸
芯）３７が偏芯スリーブ回転中心（偏芯スリーブ１９、
２０の外径軸芯３８より図に示しているように、上下及
び左右方向にそれぞれＳ１(mm)だけ偏芯して取付けられ
ている。下側の押付ロール１１は、押付ロール回転中心
３７が偏芯スリーブ１９、２０の回転中心３８の左右方
向にＳ１(mm)だけ偏芯して取付けられている。First, in the initial state in which the pressing roll 11 is released vertically in (a), the upper pressing roll 11 has an eccentric center 37 of the rotation of the pressing roll 11 (the inner diameter axes of the eccentric sleeves 19 and 20). Core sleeve rotation center (eccentric sleeve 19,
As shown in the drawing from the outer diameter shaft core 38 of 20, they are mounted eccentrically by S1 (mm) in the vertical and horizontal directions respectively. The lower pressing roll 11 is mounted with the pressing roll rotation center 37 eccentric in the left-right direction of the rotation center 38 of the eccentric sleeves 19 and 20 by S1 (mm).
【００２２】この状態より、下側の偏芯スリーブ１９、
２０を回転させて押付ロールの回転中心３７を、偏芯ス
リーブ１９、２０の回転中心３８に対して９０度回転さ
せることにより、押付ロール外径３５のｄ点は試料搬送
面３２に移動し試料３３を受けられる位置に来る。この
状態が、（b）に示す下側の押付ロール１１のみが上昇
した状態である。From this state, the lower eccentric sleeve 19,
By rotating the rotation center 20 to rotate the rotation center 37 of the pressing roll 90 degrees with respect to the rotation center 38 of the eccentric sleeves 19 and 20, the point d of the pressing roll outer diameter 35 moves to the sample transport surface 32 and the sample is moved. Comes in position to receive 33. This state is a state where only the lower pressing roll 11 shown in FIG.
【００２３】次に、この状態で上側の押付ロール１１を
動かす。上側の押付ロール１１の偏芯スリーブ１９，２
０を回転させ、その回転中心３８を回転軸にして押付ロ
ール１１の回転中心３７を回転させ、試料３３に接する
まで回転させる。この状態が、（c）の上側の押付ロー
ル１１が下降して試料３３を挟み込んだ状態で、試料３
３に図１に示す貼付フィルム８、搬送フィルム９を貼付
けられる状態である。従って、図１に示す供給コンベア
１０によって押付ロール１１の入口部に搬送されてきた
試料３３は、貼付フィルム８、搬送フィルム９と共に上
下の押付ロール１１で挟み込みフィルムの貼り付けを行
う。Next, the upper pressing roll 11 is moved in this state. Eccentric sleeves 19 and 2 of upper pressing roll 11
0 is rotated, and the rotation center 37 of the pressing roll 11 is rotated about the rotation center 38 as a rotation axis until the sample comes into contact with the sample 33. In this state, when the pressing roll 11 on the upper side of FIG.
3 shows a state in which the sticking film 8 and the transport film 9 shown in FIG. 1 are stuck. Therefore, the sample 33 conveyed to the entrance of the pressing roll 11 by the supply conveyor 10 shown in FIG. 1 is sandwiched between the upper and lower pressing rolls 11 together with the sticking film 8 and the conveying film 9 and the film is attached.
【００２４】この時、上側の押付ロール１１を動かすロ
ータリーアクチュエータまたはステッピングモータ３０
の回転量を変えることにより、運転条件の違いが発生し
ても、その運転条件に最適な上下の押付ロール１１間の
隙間を得ることができる。また、押付力（線圧）は、ロ
ータリーアクチュエータへの加圧圧力または、ステッピ
ングモータの出力トルクを変更することにより変える事
が出来る。At this time, a rotary actuator or a stepping motor 30 for moving the upper pressing roll 11 is used.
By changing the rotation amount of, even if a difference in operating conditions occurs, a gap between the upper and lower pressing rolls 11 that is optimal for the operating condition can be obtained. The pressing force (linear pressure) can be changed by changing the pressure applied to the rotary actuator or the output torque of the stepping motor.
【００２５】上下の押付ロール１１間の隙間の調整は、
簡単にできる。すなわち、貼付装置内部が大気に解放さ
れている停止中、貼付装置内部が真空に保たれている運
転中等いかなる場合においても可能である。特に、試料
の厚さの違い、フィルムの種類の違い等による、運転条
件の違いが発生しても、その運転条件に最適な押付ロー
ルの押付力（線圧）を、貼付装置内部が大気に解放され
ている停止中、貼付装置内部が真空に保たれている運転
中等いかなる場合においても、容易に調整を行う事が可
能であり、短時間で最適条件を見つけ出すことが出来
る。Adjustment of the gap between the upper and lower pressing rolls 11
Easy to do. That is, it is possible in any case, such as during stoppage in which the inside of the sticking device is open to the atmosphere, or during operation in which the inside of the sticking device is kept in a vacuum. In particular, even if operating conditions differ due to differences in sample thickness, film type, etc., the pressing force (linear pressure) of the pressing roll, which is optimal for the operating conditions, is applied to the atmosphere inside the sticking device. Adjustment can be easily performed in any case, such as during the stoppage when the device is released, during operation in which the inside of the sticking device is kept in a vacuum, and the optimum conditions can be found in a short time.
【００２６】一方、通常運転中の押付ロール１１自身の
回転力は、図２に示すシャフト１５の先端に取付けられ
た押付ロール用プーリー３１を介して押付ロール１１を
回転させる。その駆動方法の一実施態様を図５に示す。On the other hand, the rotational force of the pressing roll 11 during normal operation causes the pressing roll 11 to rotate via the pressing roll pulley 31 attached to the tip of the shaft 15 shown in FIG. One embodiment of the driving method is shown in FIG.
【００２７】図５において、タイミングベルト４２は、
駆動用プーリー３９、押付ロール用プーリー３１、ガイ
ドプーリー４０、オートスライドタイトナー付きプーリ
ー４１に巻き付けられている。In FIG. 5, the timing belt 42 is
It is wound around a driving pulley 39, a pressing roll pulley 31, a guide pulley 40, and a pulley 41 with an automatic slide tie toner.
【００２８】従って、駆動用プーリー３９を駆動すれば
押付ロール用プーリー３１が回転し、図２に示す押付ロ
ール１１か偏芯スリーブ１９、２０の内径軸芯３７を回
転中心として回転する。尚、図２に示す上側のロータリ
ーアクチュエーターまたはステッピングモータ３０を動
かし上側の押付ロール１１を上下方向に動かした場合
は、図５に示すオートスライドタイトナー４１が作動
し、押付ロール１１の上下方向の動きによるタイミング
ベルト４２の動きを吸収する。Therefore, when the drive pulley 39 is driven, the press roll pulley 31 rotates, and the press roll 11 or the inner diameter shaft core 37 of the eccentric sleeves 19 and 20 shown in FIG. When the upper rotary actuator or the stepping motor 30 shown in FIG. 2 is moved to move the upper pressing roll 11 in the vertical direction, the automatic slide tie toner 41 shown in FIG. The movement of the timing belt 42 due to the movement is absorbed.
【００２９】また、別の実施態様になる押付ロール１１
の隙間調整の一例を図６に示す。A pressing roll 11 according to another embodiment is provided.
FIG. 6 shows an example of the gap adjustment.
【００３０】図６において、シャフト１５の先端には、
シャフト１５と駆動装置４４の回転軸が偏芯していても
駆動できる特殊なカップリング、例えば、平行食い違い
軸継手(段違い伝導継手または発明者の名を冠してシュ
ミットカプリング）４３を使用している。In FIG. 6, at the tip of the shaft 15,
A special coupling that can be driven even when the rotation axis of the shaft 15 and the driving device 44 is eccentric, for example, a parallel staggered shaft coupling (a stepped conduction coupling or a Schmidt coupling in the name of the inventor) 43 is used. I have.
【００３１】これにより、図２に示す押付ロール１１の
押付力の調整は、押付ロール１１が回転している時でも
ロータリーアクチュエーターまたはステッピングモータ
３０を動かすことが出来る。Thus, the pressing force of the pressing roll 11 shown in FIG. 2 can be adjusted by moving the rotary actuator or the stepping motor 30 even when the pressing roll 11 is rotating.
【００３２】これらの実施態様においては、真空式の連
続貼付装置で説明したが、大気式の連続貼付装置におい
ても同様に実施出来る。In these embodiments, a description has been given of a vacuum type continuous sticking apparatus. However, the present invention can be similarly applied to an atmospheric type continuous sticking apparatus.
【００３３】また、本発明の貼付装置でフィルムを貼り
付ける試料は、半導体ウエハー、プリント基板、ガラス
基板（ＬＣＤパネルやＰＤＰパネル形成用など）等があ
る。Samples to which a film is to be attached by the attaching apparatus of the present invention include semiconductor wafers, printed boards, glass substrates (for forming LCD panels and PDP panels, etc.).
【００３４】[0034]
【発明の効果】本発明によれば、従って、押付ロールと
基板の間隔を簡単に調整できる。すなわち、装置内が真
空であろうと大気圧であろうとまた、装置全体が運転さ
れていてもいなくても無関係に、自由にかつ任意に押付
ロールの押付力を調整できる。特に、試料の厚さの違
い、フィルムの種類の違い等による、運転条件の違いが
発生しても、その運転条件に最適な押付ロールの押付力
（線圧）を、貼付装置内部が大気に解放されている停止
中、貼付装置内部が真空に保たれている運転中等いかな
る場合においても、容易に調整を行う事が可能であり、
短時間で最適条件を見つけ出すことが出来る。According to the present invention, therefore, the distance between the pressing roll and the substrate can be easily adjusted. That is, the pressing force of the pressing roll can be freely and arbitrarily adjusted irrespective of whether the inside of the apparatus is vacuum or atmospheric pressure, and whether or not the entire apparatus is operated. In particular, even when operating conditions differ due to differences in sample thickness, film type, etc., the pressing force (linear pressure) of the pressing roll, which is optimal for the operating conditions, is applied to the atmosphere inside the sticking device. Adjustment can be easily performed in any case, such as during stoppage when the device is released, during operation in which the inside of the application device is kept in a vacuum,
You can find the optimal conditions in a short time.
【図１】本発明が適用されるロール式フィルム等連続貼
付装置平面図である。FIG. 1 is a plan view of a continuous sticking device such as a roll type film to which the present invention is applied.
【図２】図1の押付ロール部組立図である。FIG. 2 is an assembly diagram of a pressing roll unit of FIG. 1;
【図３】図1の押付ロール部組立図(側断面図)である。FIG. 3 is an assembly view (side sectional view) of a pressing roll unit in FIG. 1;
【図４】押付ロール移動説明図である。FIG. 4 is an explanatory view of a pressing roll movement.
【図５】押付ロール駆動方法（タイミングベルトタイ
プ）の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a pressing roll driving method (timing belt type).
【図６】押付ロール駆動方法（カップリングタイプ）の
説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a pressing roll driving method (coupling type).
１・・・チャンバ、２・・・供給装置、３・・・排出装
置 ４・・・搬送ロボット、５・・・貼付フィルム巻出装置 ６・・・搬送フィルム巻出装置、７・・・保護フィルム
巻取軸 ８・・・貼付フィルム、９・・・搬送フィルム、１０・
・・供給コンベア １１・・・押付ロール、１２・・・ニップロール、１３
・・・カッター １４・・・搬出コンベア、１５、１６・・・シャフト １７、１８・・・軸受、１９、２０・・・偏芯スリーブ ２１、２２・・・固定スリーブ、２３、２４・・・ギヤ
ー ２５・・・チャンバ隔壁、２６・・・駆動シャフト ２７、２８、２９・・・ギヤー ３０・・・ロータリーアクチュエーターまたはステッピ
ングモータ ３１・・・押付ロール用プーリー、３２・・・試料搬送
面 ３３・・・試料、３４・・・Ｏリング ３５・・・押付ロール外径、３６・・・偏芯スリーブ外
径 ３７・・・押付ロール回転中心及び偏心スリーブ内径軸
芯 ３８・・・偏芯スリーブ回転中心（偏芯スリーブ外径軸
芯） ３９・・・駆動用プーリー、４０・・・ガイドプーリー ４１・・・オートスライドタイトナー付プーリー ４２・・・タイミングベルト ４３・・・平行食い違い軸継手(シュミットカプリン
グ） ４４・・・駆動装置、４５・・・固定スリーブ取付ボル
ト ４６・・・偏芯スリーブ内径部、４７・・・偏芯スリー
ブ外径部 ４８・・・偏芯スリーブ断面DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Chamber 2 ... Supply device 3 ... Discharge device 4 ... Transport robot 5 ... Sticking film unwinding device 6 ... Transport film unwinding device 7 ... Protection Film take-up shaft 8: sticking film, 9: transport film, 10
..Supply conveyor 11 ... Pressing roll, 12 ... Nip roll, 13
... Cutter 14 ... Carry-out conveyor, 15,16 ... Shaft 17,18 ... Bearing, 19,20 ... Eccentric sleeve 21,22 ... Fixed sleeve, 23,24 ... Gear 25: chamber partition wall, 26: drive shaft 27, 28, 29 ... gear 30: rotary actuator or stepping motor 31: pulley for pressing roll, 32: sample transfer surface 33 ..Sample, 34 ... O-ring 35 ... Pressing roll outer diameter, 36 ... Eccentric sleeve outer diameter 37 ... Pressing roll rotation center and eccentric sleeve inner diameter shaft core 38 ... Eccentric sleeve rotation Center (center axis of eccentric sleeve outer diameter) 39: drive pulley, 40: guide pulley 41: auto slide tie pulley with toner 42: timing Rotation 43: Parallel staggered shaft coupling (Schmitt coupling) 44: Drive unit, 45: Fixed sleeve mounting bolt 46: Eccentric sleeve inner diameter part, 47: Eccentric sleeve outer diameter part 48 ..Eccentric sleeve cross section
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前田 保 山口県下松市東豊井794番地 日立テクノ エンジニアリング株式会社笠戸事業所内 Ｆターム(参考） 4F100 AT00A AT00B BA02 BA10A BA10B EJ192 EK06 EK11 GB43 4F211 AC03 AD05 AD08 AG01 AG03 AH81 AR02 AR07 SA07 SC07 SD01 SP04 SP09 SP45 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Tamotsu Maeda 794 Higashi-Toyoi, Kudamatsu City, Yamaguchi Prefecture Hitachi Techno Engineering Co., Ltd. AG03 AH81 AR02 AR07 SA07 SC07 SD01 SP04 SP09 SP45
Claims (3)
転駆動する駆動機構と、該押付ロール間の隙間を調整す
る隙間調整機構とを備え、前記押付ロールによりフィル
ム状感光材料等を試料に貼り合わせるロール式フィルム
貼付装置において、 前記隙間調整機構は、内側が前記押付ロールの中心と同
軸であり外側が該内側と偏芯しており該押付ロールの軸
支持部に設けられた偏芯スリーブと、該偏芯スリーブに
嵌合う固定スリーブと、該偏芯スリーブを回転させる回
転手段とを備え、該回転手段で該偏芯スリーブを回転さ
せることにより、該偏芯スリーブの偏芯量だけ前記押付
ロールを上下方向に移動させ、この回転角度を調整する
ことにより該押付ロールの上下方向の移動量を変化さ
せ、該押付ロールの押付力を任意に調整することを特徴
とするロール式フィルム貼付装置。1. A press mechanism comprising: a pair of upper and lower pressing rolls; a drive mechanism for rotating and driving the pressing rolls; and a gap adjusting mechanism for adjusting a gap between the pressing rolls. In the roll-type film sticking apparatus for bonding, the gap adjusting mechanism includes an eccentric sleeve provided on a shaft support portion of the pressing roll, the inside being coaxial with the center of the pressing roll and the outside being eccentric with the inside. A fixed sleeve fitted to the eccentric sleeve, and a rotating means for rotating the eccentric sleeve, by rotating the eccentric sleeve by the rotating means, the eccentric sleeve by the amount of eccentricity The pressing roll is moved in the vertical direction, and by adjusting the rotation angle, the amount of vertical movement of the pressing roll is changed, and the pressing force of the pressing roll is arbitrarily adjusted. Roll type film sticking device.
において、前記駆動機構から前記押付ロールへの回転力
の伝達は、該押付ロールのシャフト先端に取付けられた
プーリーを介して行うことを特徴とするロール式フィル
ム貼付装置。2. A roll type film sticking apparatus according to claim 1, wherein the transmission of the rotational force from said drive mechanism to said pressing roll is performed via a pulley attached to a tip of a shaft of said pressing roll. Roll type film sticking device.
において、前記駆動機構から前記押付ロールへの回転力
の伝達は、平行食い違い軸継手を介して行うことを特徴
とするロール式フィルム貼付装置。3. The roll-type film sticking apparatus according to claim 1, wherein the transmission of the rotational force from the drive mechanism to the pressing roll is performed via a parallel staggered joint. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26425899A JP2001079944A (en) | 1999-09-17 | 1999-09-17 | Roll type film sticking apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26425899A JP2001079944A (en) | 1999-09-17 | 1999-09-17 | Roll type film sticking apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001079944A true JP2001079944A (en) | 2001-03-27 |
Family
ID=17400688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26425899A Pending JP2001079944A (en) | 1999-09-17 | 1999-09-17 | Roll type film sticking apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001079944A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102718087A (en) * | 2012-04-24 | 2012-10-10 | 华中科技大学 | Synchronous driving pair roller device for compounding films |
| CN105058947A (en) * | 2015-07-31 | 2015-11-18 | 安徽德重机械有限公司 | Insulation material roll press |
| CN106457657A (en) * | 2014-03-20 | 2017-02-22 | 布鲁克纳机械有限责任两合公司 | Adjustable-angle pressing or nip roll |
| CN111347663A (en) * | 2020-03-13 | 2020-06-30 | 苏州天准科技股份有限公司 | Dash material pad pasting device |
| CN111994342A (en) * | 2020-08-15 | 2020-11-27 | 深圳市恒力天科技有限公司 | Film pasting equipment |
-
1999
- 1999-09-17 JP JP26425899A patent/JP2001079944A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102718087A (en) * | 2012-04-24 | 2012-10-10 | 华中科技大学 | Synchronous driving pair roller device for compounding films |
| CN102718087B (en) * | 2012-04-24 | 2015-01-28 | 华中科技大学 | Synchronous driving pair roller device for compounding films |
| CN106457657A (en) * | 2014-03-20 | 2017-02-22 | 布鲁克纳机械有限责任两合公司 | Adjustable-angle pressing or nip roll |
| CN106457657B (en) * | 2014-03-20 | 2019-01-15 | 布鲁克纳机械有限责任两合公司 | The pressure roller or nip rolls of adjustable angle |
| CN105058947A (en) * | 2015-07-31 | 2015-11-18 | 安徽德重机械有限公司 | Insulation material roll press |
| CN111347663A (en) * | 2020-03-13 | 2020-06-30 | 苏州天准科技股份有限公司 | Dash material pad pasting device |
| CN111994342A (en) * | 2020-08-15 | 2020-11-27 | 深圳市恒力天科技有限公司 | Film pasting equipment |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5556389B2 (en) | Conveying method and apparatus, and exposure method and apparatus | |
| TWI659462B (en) | Cutting or bonding device for substrate | |
| JP5170913B2 (en) | Polarizing film laminating apparatus and liquid crystal display manufacturing system having the same | |
| JP2007260865A (en) | Half-cutting method of laminated film and device therefor | |
| WO2019244653A1 (en) | Glass roll manufacturing method | |
| JP2007261188A (en) | Laminator | |
| CN109597229B (en) | Film tearing and laminating all-in-one machine and attaching method | |
| JP3944940B2 (en) | Substrate transfer device | |
| WO2019064718A1 (en) | Adhesion system for adhering resin film to fixed shape panel | |
| JP2001079944A (en) | Roll type film sticking apparatus | |
| JP4620433B2 (en) | Optical film sticking apparatus and method | |
| JP2004333616A (en) | Apparatus and method for transferring photosensitive resin | |
| JP2007320678A (en) | Method and device for peeling outer layer body | |
| TWI250937B (en) | Film sticking device | |
| JP2005272061A (en) | Conveying device and conveying method of substrate | |
| JP2002172585A (en) | Film cutting device of laminator | |
| JP2004140336A (en) | Lift type substrate treatment apparatus and substrate treatment system equipped with the same | |
| JPH10275845A (en) | Transfer device and processing device of substrate | |
| KR101899387B1 (en) | Transfer device for large area substrate | |
| JPH11129188A (en) | Film cutting device | |
| JP5827524B2 (en) | Sheet sticking device and sheet sticking method | |
| KR101873048B1 (en) | Polarized Film Attaching Apparatus for Display Panel | |
| JPH10194439A (en) | Base conveying method and device | |
| JP2005060197A (en) | Apparatus and method for attaching protective membrane | |
| JP2001044258A (en) | Process treatment system and process treatment method of substrate |