JPH10194439A - Base conveying method and device - Google Patents
Base conveying method and deviceInfo
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- JPH10194439A JPH10194439A JP288297A JP288297A JPH10194439A JP H10194439 A JPH10194439 A JP H10194439A JP 288297 A JP288297 A JP 288297A JP 288297 A JP288297 A JP 288297A JP H10194439 A JPH10194439 A JP H10194439A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送装置、特
に、フィルム張付装置にセンタリングして基板を搬送す
るに好適な基板搬送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer device, and more particularly to a substrate transfer device suitable for transferring a substrate centered on a film sticking device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線盤用基板、液晶ディスプレイ用基板、プラ
ズマディスプレイ用基板等に例示される基板の製造工程
に、基板の表面に、感光性樹脂層を積層した透光性樹脂
フィルムを張り付ける工程がある。2. Description of the Related Art A photosensitive resin layer is formed on the surface of a substrate in a manufacturing process of a substrate such as a substrate for a printed wiring board, a substrate for a liquid crystal display, or a substrate for a plasma display used in electronic equipment such as a computer. There is a step of attaching the laminated translucent resin film.
【０００３】これは、基板に感光性樹脂層を接触させた
状態で、基板及びフィルムを、一対のラミネーションロ
ール間に通して、該フィルムを基板に熱圧着するもので
ある。In this method, a substrate and a film are passed between a pair of lamination rolls while a photosensitive resin layer is in contact with the substrate, and the film is thermocompression-bonded to the substrate.
【０００４】このようなフィルム張付装置のラミネーシ
ョンロールに対しては、基板をその幅方向に正確にセン
タリングして送り込む必要がある。[0004] It is necessary to feed the substrate to the lamination roll of such a film sticking device while centering the substrate accurately in the width direction.
【０００５】このための基板搬送装置としては、例えば
特開平４−３７１９６号公報等に開示される基板搬送装
置がある。As a substrate transfer device for this purpose, there is a substrate transfer device disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-37196.
【０００６】この基板搬送装置は、基板搬送方向に適宜
間隔で配置された複数のコンベアローラ上面より形成さ
れるほぼ水平の基板搬送面に基板を載置した状態で、各
コンベアローラの間の位置で、鉛直方向の軸線廻りに回
転自在の複数の幅寄せポールを、基板搬送面の幅方向の
外側から内方に移動して基板を幅方向に押して幅寄せす
るものである。[0006] This substrate transfer apparatus is configured such that a substrate is placed on a substantially horizontal substrate transfer surface formed by upper surfaces of a plurality of conveyor rollers arranged at appropriate intervals in the substrate transfer direction. Then, a plurality of width-adjusting poles rotatable around a vertical axis are moved inward from the outside in the width direction of the substrate transfer surface to push the substrate in the width direction to shift the width.
【０００７】このような基板搬送装置においては、前記
複数の幅寄せポールを基板の幅方向両端面に接触した状
態のまま基板をコンベアローラによって搬送し、その先
端をフィルム張付装置におけるラミネーションロールに
噛み込ませることによって確実なセンタリングを行うこ
とができる。In such a substrate transport apparatus, the substrate is transported by a conveyer roller while the plurality of width-adjusting poles are in contact with both end surfaces in the width direction of the substrate, and the leading end thereof is transferred to a lamination roll in a film sticking apparatus. Centering can be performed reliably by being bitten.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、基板に
予め感光性樹脂を薄膜状に塗布しておき、これに、透光
性樹脂フィルムを熱圧着させる場合は、感光性樹脂が基
板の端面からはみ出していることが多く、このはみ出し
ている感光性樹脂が該基板の幅方向両端面を案内する前
記幅寄せポールに粘着して、これを汚してしまったり、
あるいは幅寄せポール外周に付着した粘着性の感光性樹
脂に、基板端面の切断屑等が付着してしまうことがある
という問題点があった。However, when a photosensitive resin is applied to a substrate in advance in the form of a thin film and a light-transmitting resin film is thermocompression-bonded thereto, the photosensitive resin protrudes from the end face of the substrate. Often, this protruding photosensitive resin adheres to the width approaching pole that guides the width direction both end surfaces of the substrate, or stains it,
Alternatively, there has been a problem in that cutting debris or the like on the end face of the substrate may adhere to the adhesive photosensitive resin adhered to the outer periphery of the width approach pole.
【０００９】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、予め感光性樹脂が塗布されている
基板を幅寄せする場合でも、該感光性樹脂が幅寄せポー
ルに付着しないようにした基板搬送方法及び装置を提供
することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems. Even when a photosensitive resin is coated on a substrate to which the photosensitive resin is previously applied, the photosensitive resin does not adhere to the width-adjusting pole. It is an object of the present invention to provide a substrate transfer method and apparatus as described above.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本方法発明は、請求項１
記載のように、基板搬送方向に適宜間隔で配置された複
数のコンベアロール上面により形成されるほぼ水平の基
板搬送面に基板を載置した状態で、鉛直方向の軸線廻り
に回転自在の複数の幅寄せポールを、各コンベアローラ
の間の位置で、基板搬送面の幅方向外側から内方に移動
して基板を幅方向に押して幅寄せする工程を含む基板搬
送方法において、前記幅寄せ直後に前記幅寄せポールを
該基板の幅方向端面からわずかに離間させる工程を設
け、離間後に前記コンベアロールにより基板を搬送する
ようにして上記目的を達成するものである。According to the present invention, there is provided a method comprising:
As described, in a state in which the substrate is placed on a substantially horizontal substrate transfer surface formed by a plurality of conveyor roll upper surfaces arranged at appropriate intervals in the substrate transfer direction, a plurality of rotatable plurality of rotatable around the vertical axis. In the board transfer method including a step of moving the width shift pole to a position between the respective conveyor rollers and moving the board inward from the width direction outer side of the substrate transfer surface and pressing the substrate in the width direction, immediately after the width shift A step of slightly separating the width approaching pole from the end face in the width direction of the substrate is provided, and the substrate is conveyed by the conveyor roll after separation, thereby achieving the above object.
【００１１】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記幅寄せポールを離間させてから、少なくとも１
本の前記コンベアローラの直上から、前記基板の幅方向
両端近傍部分を、該コンベアローラと平行に回転自在の
一対の押えローラにより押圧する工程を設けたものであ
る。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, at least one of
The method includes a step of pressing a portion near both ends in the width direction of the substrate from directly above the conveyor roller by a pair of pressing rollers rotatable in parallel with the conveyor roller.
【００１２】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、前記幅寄せポールによる幅寄せ後、基板の幅方向端
面から該幅寄せポールを離間する前に、少なくとも１本
の前記コンベアローラの直上から、前記基板の幅方向両
端近傍部分を、該コンベアローラと平行に回転自在の一
対の押えローラにより押圧する工程を設けたものであ
る。According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, after at least one of the conveyer rollers is moved before the width approaching pole is separated from the widthwise end surface of the substrate after the width approaching by the width approaching pole. A step is provided in which, from directly above, portions near both ends in the width direction of the substrate are pressed by a pair of pressing rollers rotatable in parallel with the conveyor roller.
【００１３】請求項４の発明は、請求項２又は３の発明
において、前記押えローラによる基板の押圧を、該基板
の搬送方向先端が、次工程における上下一対のラミネー
ションロール間への噛み込みまで継続するようにしたも
のである。According to a fourth aspect of the present invention, in the second or third aspect of the present invention, the pressing of the substrate by the pressing roller is performed until the leading end of the substrate in the transport direction is caught between the pair of upper and lower lamination rolls in the next step. It is intended to continue.
【００１４】本装置発明は、請求項５のように、基板搬
送方向に適宜間隔で配置され、その上面によりほぼ水平
の基板搬送面を形成する複数のコンベアローラと、これ
らコンベアローラの下側に、前記基板搬送面の幅方向外
側から幅方向中央位置に向かって進退自在の幅寄せベー
ス部材、及び、前記複数のコンベアローラ間、且つ、前
記基板搬送面の高さ位置で、前記幅寄せベース部材の上
面に取り付けられ、各々が、鉛直方向の軸に回転自在に
支持された複数の幅寄せポールを含んで構成された幅寄
せ機構と、を有してなる基板搬送装置において、前記基
板搬送面の幅方向には、前記幅寄せポールの内側に隣接
する位置で、且つ、基板搬送方向には少なくとも１本の
前記コンベアローラの直上位置で、前記幅寄せ部材に、
一定範囲で上下動自在、且つ、前記コンベアローラと平
行に回転自在に取り付けられた押えローラを設けること
により、上記目的を達成するものである。According to a fifth aspect of the present invention, there are provided a plurality of conveyor rollers which are arranged at appropriate intervals in the substrate transport direction and form a substantially horizontal substrate transport surface by the upper surface thereof, and A width-adjusting base member that is movable back and forth from a width-direction outer side of the substrate transfer surface toward a center position in the width direction, and the width-shift base between the plurality of conveyor rollers and at a height position of the substrate transfer surface. A width shifting mechanism attached to the upper surface of the member and each including a plurality of width shifting poles rotatably supported on a vertical axis; and In the width direction of the surface, at a position adjacent to the inside of the width shift pole, and at a position immediately above at least one of the conveyor rollers in the substrate transport direction, the width shift member,
The above object is achieved by providing a pressing roller which is vertically movable within a certain range and is rotatably mounted in parallel with the conveyor roller.
【００１５】請求項６の発明は、請求項５の発明におい
て、前記幅寄せ部材に取り付けられた上下駆動装置と、
この上下駆動装置により一定範囲で上下動自在に支持さ
れ、且つ、前記押えローラと対向するコンベアローラの
基板搬送方向両側に配置された一対の支持柱と、これら
一対の支持柱の上端を連結して配置され、前記押えロー
ラを回転自在に支持する支持ブロックと、を有するよう
にしたものである。According to a sixth aspect of the present invention, in accordance with the fifth aspect of the present invention, there is provided a vertical drive device attached to the width shifting member;
A pair of support columns, which are vertically movable within a certain range by the vertical drive device and are disposed on both sides of the conveyor roller facing the pressing roller in the substrate transport direction, and connect upper ends of the pair of support columns. And a support block that is disposed at a position and rotatably supports the pressing roller.
【００１６】請求項７の発明は、請求項５又は６の発明
において、前記押えローラを、基板幅方向位置調節自在
としたものである。According to a seventh aspect of the present invention, in the fifth or sixth aspect of the present invention, the position of the pressing roller is adjustable in the substrate width direction.
【００１７】請求項８の発明は、請求項５乃至７のいず
れかの発明において、前記幅寄せ部材機構を、幅寄せ終
了後に前記幅寄せポールが、幅寄せした基板の幅方向端
面からわずかに離間するように構成したものである。According to an eighth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the fifth to seventh aspects, the width-adjusting member mechanism causes the width-adjusting pole to slightly move from the width-direction end face of the substrate that has been adjusted. It is configured to be separated.
【００１８】本発明においては、幅寄せポールによって
基板を幅寄せした後、該幅寄せポールを基板の幅方向端
面からわずかに（約１ｍｍ）離間させるので、基板に感
光性樹脂等の粘着性材料が塗布されている場合でも、こ
れが幅寄せポールに付着することがない。又、幅寄せポ
ールは基板からわずかに離間されているのみであるの
で、基板が幅方向に大きくずれることがない。In the present invention, after the board is narrowed by the width adjusting pole, the width adjusting pole is slightly (about 1 mm) apart from the end face in the width direction of the substrate. Even if is applied, it does not adhere to the width approach pole. Further, since the width approaching pole is only slightly separated from the substrate, the substrate is not largely displaced in the width direction.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００２０】図１及び図２に示されるように、本発明に
係る基板搬送装置１０は、基板搬送方向に適宜間隔で配
置され、その上面よりほぼ水平の基板搬送面Ｉ−Ｉを形
成する複数のコンベアローラ１２と、これらコンベアロ
ーラの下側に、前記基板搬送面Ｉ−Ｉの幅方向外側から
幅方向中央位置に向かって進退自在の左右一対の幅寄せ
ベース部材１４Ｌ、１４Ｒ、及び、前記複数のコンベア
ローラ１２間、且つ前記基板搬送面Ｉ−Ｉの高さ位置
で、前記幅寄せベース部材１４Ｌ、１４Ｒの上面に取り
付けられ、各々が、鉛直軸１６に回転自在に支持された
複数の幅寄せポール１８Ｌ、１８Ｒを含んで構成された
幅寄せ機構２０と、前記複数のコンベアローラ１２のう
ち、基板搬送装置１０における最も出側のコンベアロー
ラ１２の真上位置で、且つ、前記幅寄せポール１８Ｌ、
１８Ｒの、基板搬送面幅方向内側に隣接する位置に設け
られた左右一対の押えローラ２２Ｌ、２２Ｒとを設けて
構成されている。As shown in FIGS. 1 and 2, the substrate transfer apparatus 10 according to the present invention is provided with a plurality of substrates arranged at appropriate intervals in the substrate transfer direction and forming a substantially horizontal substrate transfer surface II from the upper surface thereof. And a pair of left and right width-adjusting base members 14L, 14R that can move forward and backward from the outside in the width direction of the substrate transfer surface II to the center position in the width direction below the conveyor rollers 12, and Between the plurality of conveyor rollers 12 and at the height position of the substrate transfer surface II, a plurality of the plurality of rotatably mounted base members 14L and 14R are mounted on the upper surfaces of the width-shifting base members 14L and 14R. A width shifting mechanism 20 including the width shifting poles 18L and 18R, and a position just above the outermost conveyor roller 12 in the substrate transfer device 10 among the plurality of conveyor rollers 12. And, the side-to-side pole 18L,
18R, a pair of left and right pressing rollers 22L and 22R provided at positions adjacent to the inside of the substrate transfer surface width direction.
【００２１】ここで、前記コンベアローラ１２、幅寄せ
ベース部材１４Ｌ、１４Ｒ、押えローラ２２Ｌ、２２Ｒ
については、基板搬送面Ｉ−Ｉに対して左右対称である
ので、基板搬送装置１０の出側から見て左側の部材につ
いてのみ説明し、右側の部材の説明に代えるものとす
る。Here, the conveyor roller 12, the width shifting base members 14L and 14R, the pressing rollers 22L and 22R.
Is symmetrical with respect to the substrate transport plane II, so only the left-hand member when viewed from the exit side of the substrate transfer device 10 will be described, and the description of the right-hand member will be replaced.
【００２２】前記幅寄せポール１８Ｌは、幅寄せベース
部材１４Ｌ上に基板搬送方向に整列して配置された複数
の鉛直軸１６に、ゴム、ステンレススチール等の円筒状
ローラ１６Ａを回転自在に嵌装したものである。The width shifting pole 18L is rotatably fitted with a cylindrical roller 16A made of rubber, stainless steel or the like on a plurality of vertical shafts 16 arranged on the width shifting base member 14L in alignment with the substrate transport direction. It was done.
【００２３】前記幅寄せベース部材１４Ｌは、後述の如
く、幅寄せ駆動機構によって、基板搬送面Ｉ−Ｉの幅方
向に駆動される基板搬送方向に長い水平板状部材であっ
て、基板搬送方向出側の一端下側に、エアシリンダ２４
Ｌを備えている。The width shifting base member 14L is a horizontal plate-like member that is driven in the width direction of the substrate transfer surface II by a width shifting drive mechanism and is long in the substrate transfer direction, as will be described later. Air cylinder 24
L is provided.
【００２４】このエアシリンダ２４Ｌの下向きロッド２
５Ｌの下端には、水平なロッド押えプレート２６Ｌが支
持され、このロッド押えプレート２６Ｌの、基板搬送方
向両端に一対の支持柱２８Ａ、２８Ｂの下端が固定され
ている。The downward rod 2 of the air cylinder 24L
At the lower end of 5L, a horizontal rod pressing plate 26L is supported, and the lower ends of a pair of support columns 28A, 28B are fixed to both ends of the rod pressing plate 26L in the substrate transport direction.
【００２５】ここで、基板搬送方向上流側の支持柱２８
Ａは、前記幅寄せベース部材１４Ｌの切欠き１５を通っ
て、又基板搬送方向下流側の支持柱２８Ｂは、幅寄せベ
ース部材１４Ｌの端部外側を通って配置され、更に、こ
れらの支持柱２８Ａ、２８Ｂの中間位置を、基板搬送方
向出側のコンベアローラ１２が通る位置となるように配
置されている。Here, the support column 28 on the upstream side in the substrate transport direction is used.
A is disposed through the notch 15 of the width-adjusting base member 14L, and the support post 28B on the downstream side in the substrate transport direction is disposed outside the end of the width-adjustment base member 14L. The intermediate rollers 28A and 28B are arranged such that the conveyor rollers 12 on the outgoing side in the substrate transport direction pass therethrough.
【００２６】前記一対の支持柱２８Ａ、２８Ｂの上端
は、支持ブロック３０Ｌによって連結され、これによっ
て前記最も出側のコンベアローラ１２を跨ぐ門型部材が
形成されている。The upper ends of the pair of support columns 28A and 28B are connected by a support block 30L, thereby forming a portal member that straddles the outermost conveyor roller 12.
【００２７】前記支持ブロック３０Ｌの、基板搬送面幅
方向内側位置には、コンベアローラ１２と平行な押えロ
ーラ軸３２Ｌが取り付けられ、この押えローラ軸３２Ｌ
に、前記押えローラ２２Ｌが回転自在に支持されてい
る。At a position on the inner side of the support block 30L in the width direction of the substrate transfer surface, a pressing roller shaft 32L parallel to the conveyor roller 12 is mounted.
The press roller 22L is rotatably supported.
【００２８】図４に示されるように、前記押えローラ軸
３２Ｌは、支持ブロック３０Ｌのめねじ部３１Ａに螺合
するおねじ部３３Ａを有し、その捩じ込み深さによっ
て、支持ブロック３０Ｌに対する押えローラ軸３２Ｌの
軸方向位置が調整可能となっている。As shown in FIG. 4, the pressing roller shaft 32L has a male screw portion 33A screwed into the female screw portion 31A of the support block 30L. The axial position of the holding roller shaft 32L can be adjusted.
【００２９】図４の符号３１Ｂは支持ブロック３０Ｌに
螺合される止めねじであり、この止めねじ３１Ｂは、支
持ブロック３０Ｌに螺合される前記押えローラ軸３２Ｌ
の先端部３３Ｂを押圧することによって、該押えローラ
軸３２Ｌの回転を止め、その軸方向位置を固定するもの
である。Reference numeral 31B in FIG. 4 denotes a set screw screwed to the support block 30L. The set screw 31B is the pressing roller shaft 32L screwed to the support block 30L.
By pressing the tip portion 33B of the holding roller shaft 32L, the rotation of the pressing roller shaft 32L is stopped, and the axial position thereof is fixed.
【００３０】前記押えローラ軸３２Ｌの、先端部３３Ｂ
と反対側の端部は段付軸３３Ｃとされ、その外端側の細
径部３３Ｄに、前記押えローラ２２Ｌが嵌合されるよう
になっている。The tip 33B of the pressing roller shaft 32L
The opposite end is formed as a stepped shaft 33C, and the pressing roller 22L is fitted into a small-diameter portion 33D on the outer end side.
【００３１】この押えローラ２２Ｌは、その中心部にリ
ング状のベアリング２３Ａを備え、該ベアリング２３Ａ
部分が前記細径部３３Ｄに嵌合され、外側のリング状ウ
レタンゴムロール２３Ｂが回転自在となるようにされて
いる。The pressing roller 22L has a ring-shaped bearing 23A at the center thereof.
The portion is fitted into the small diameter portion 33D, and the outer ring-shaped urethane rubber roll 23B is rotatable.
【００３２】又、前記押えローラ軸３２Ｌの細径部３３
Ｄの端面には、ねじ孔３３Ｅが形成され、このねじ孔３
３Ｅにローラ位置調整つまみ３３Ｆが螺合され、該ロー
ラ位置調整つまみ３３Ｆを回転することによって押えロ
ーラ軸３２Ｌ全体を支持ブロック３０Ｌに対して螺進又
は螺退させ、該押えローラ軸３２Ｌの軸方向位置を調整
できるようにされている。The small diameter portion 33 of the pressing roller shaft 32L
A screw hole 33E is formed in the end face of D.
A roller position adjusting knob 33F is screwed into 3E, and by rotating the roller position adjusting knob 33F, the entire pressing roller shaft 32L is advanced or retracted with respect to the support block 30L, and the axial direction of the pressing roller shaft 32L is adjusted. The position can be adjusted.
【００３３】ここで、前記押えローラ２２Ｌの位置は、
前記幅寄せポール１８Ｌの基板搬送面幅方向内側に隣接
し、且つ該押えローラ２２Ｌの基板幅方向の厚さは５ｍ
ｍ程度、直径はコンベアローラ１２の外径と同程度（１
５〜１４ｍｍ）のあるいはこれより小さくされている。Here, the position of the pressing roller 22L is
The thickness of the pressing roller 22L in the width direction of the substrate is 5 m, which is adjacent to the inside of the width shifting pole 18L in the width direction of the substrate transfer surface.
m, and the diameter is the same as the outer diameter of the conveyor roller 12 (1
5-14 mm) or smaller.
【００３４】次に、前記幅寄せ機構２０について説明す
る。Next, the width shifting mechanism 20 will be described.
【００３５】この幅寄せ機構２０は、図１に示されるよ
うに、基板搬送面Ｉ−Ｉの入側近傍に設けられた幅寄せ
開始センサ３４によって、搬入されてくる基板３６の先
端を検出して、その検出信号に基づいて前記幅寄せベー
ス部材１４Ｌ、１４Ｒを、基板搬送面Ｉ−Ｉの幅方向中
央に向かって左右同期して移動し、該幅寄せベース部材
１４Ｌ、１４Ｒに取り付けられている左右の幅寄せポー
ル１８Ｌ、１８Ｒによって基板３６を幅方向にセンタリ
ングするものである。As shown in FIG. 1, the width shifting mechanism 20 detects the leading end of the incoming substrate 36 by the width shifting start sensor 34 provided near the entry side of the substrate transfer surface II. Then, based on the detection signal, the width-adjusting base members 14L and 14R are moved right and left synchronously toward the center in the width direction of the substrate transfer surface II and attached to the width-adjustment base members 14L and 14R. The board 36 is centered in the width direction by left and right width shifting poles 18L and 18R.
【００３６】この幅寄せベース部材１４Ｌ、１４Ｒを左
右同期して駆動する機構は、次のように構成されてい
る。The mechanism for driving the width shifting base members 14L and 14R in the left-right direction is configured as follows.
【００３７】幅寄せベース部材１４Ｌ、１４Ｒは、コン
ベアロール１２と平行で、且つ基板搬送方向に離間して
配置された一対のガイドシャフト３８Ａ、３８Ｂに、そ
れぞれのリニアブッシュ３９Ｌ、３９Ｒを介して基板幅
方向に摺動自在に嵌合され、これによって左右の幅寄せ
ポール１８Ｌ、１８Ｒの列が基板搬送方向と平行な状態
を保って幅寄せベース部材１４Ｌ、１４Ｒが基板搬送面
Ｉ−Ｉにおける幅方向に案内されるようになっている。The width-adjusting base members 14L, 14R are connected to a pair of guide shafts 38A, 38B, which are parallel to the conveyor roll 12 and spaced apart in the substrate transport direction, via respective linear bushes 39L, 39R. The width-adjusting base members 14L and 14R are slidably fitted in the width direction so that the rows of the left and right width-adjusting poles 18L and 18R are parallel to the substrate conveyance direction, and the widths of the width-adjustment base members 14L and 14R are on the substrate conveyance surface II. It is designed to be guided in the direction.
【００３８】これら一対のガイドシャフト３８Ａ、３８
Ｂの間の位置には、コンベアローラ１２と平行方向に幅
寄せ部材駆動用ベルト４０が、左右のベルトプーリ４
２、４３に巻回して配置されている。The pair of guide shafts 38A, 38
B, a belt 40 for driving the width shifting member in a direction parallel to the conveyor roller 12 is provided between the left and right belt pulleys 4.
It is wound around 2, 43 and arranged.
【００３９】前記リニアブッシュ３９Ｌは、幅寄せ部材
駆動用ベルト４０の両側部に固定部材４４Ｌを介して連
結され、又リニアブッシュ３９Ｒは幅寄せ部材駆動用ベ
ルト４０の下側部に固定部材４４Ｒを介して連結されて
いる。The linear bush 39L is connected to both sides of the width-shifting member driving belt 40 via fixing members 44L, and the linear bush 39R is fixed to the lower side of the width-shifting member driving belt 40 by a fixing member 44R. Are connected via
【００４０】従って、図２においてベルトプーリ４２、
４３が反時計方向に回転するように幅寄せ部材駆動用ベ
ルト４０を駆動すると、リニアブッシュ３９Ｌ、３９Ｒ
は、該幅寄せ部材駆動用ベルト４０によって同期して基
板搬送面Ｉ−Ｉの幅方向中央部に向かって移動されるよ
うになっている。Accordingly, in FIG.
When the belt 40 is driven to rotate the counter-clockwise direction, the linear bushes 39L, 39R
Are moved toward the center in the width direction of the substrate transfer surface II in synchronization with the belt 40 for driving the width shifting member.
【００４１】図２の符号４６は、前記一方のベルトプー
リ４２をその出力軸に支持して、該ベルトプーリ４２を
介して幅寄せ部材駆動用ベルト４０を駆動するための幅
寄せ駆動モータを示す。Reference numeral 46 in FIG. 2 denotes a width-shift driving motor for supporting the one belt pulley 42 on its output shaft and driving the width-shifting member driving belt 40 via the belt pulley 42. .
【００４２】この幅寄せ駆動モータ４６、前記ベルトプ
ーリ４２、４３の基板搬送面幅方向位置は、幅寄せセン
ター位置合わせハンドル４８Ｌ、４８Ｒによって調整さ
れ、これにより幅寄せセンターの位置が調整されるよう
になっている。The position of the width shifting drive motor 46 and the belt pulleys 42 and 43 in the width direction of the substrate transfer surface are adjusted by the width adjustment center positioning handles 48L and 48R, whereby the position of the width adjustment center is adjusted. It has become.
【００４３】この幅寄せセンター位置合わせはセンタリ
ングブロック５０と一体のセンタリングスクリュー５０
Ｌ、５０Ｒに対して、幅寄せセンター位置合わせハンド
ル４８Ｌ、４８Ｒと一体の連結シャフト５２Ｌ、５２Ｒ
の先端のカップリングを螺合させ、該カップリング５４
Ｌ、５４Ｒのセンタリングスクリュー５０Ｌ、５０Ｒへ
の螺合量の調整によって、連結シャフト５２Ｌ、５２Ｒ
及び幅寄せセンター位置合わせハンドル４８Ｌ又は４８
Ｒを回転させることにより、幅寄せ機構２０に取付けら
れているセンタリングブロック５０を移動して、幅寄せ
センター位置を調整できる。The centering of the centering screw 50 is performed by the centering screw 50 integrated with the centering block 50.
L, 50R, and connecting shafts 52L, 52R integral with the width adjustment center alignment handles 48L, 48R.
The coupling at the tip of
The connection shafts 52L, 52R are adjusted by adjusting the screwing amounts of the L, 54R to the centering screws 50L, 50R.
And width alignment center alignment handle 48L or 48
By rotating R, the centering block 50 attached to the width adjustment mechanism 20 can be moved to adjust the position of the width adjustment center.
【００４４】図１及び図２の符号６０Ｌ、６０Ｒは幅寄
せ内側センサ、６２Ｌ、６２Ｒは幅寄せ外側センサ、６
４は基板先端センサ、６６は基板後端センサ、６８は前
記各センサの出力信号に基づいて、コンベアローラ１
２、エアシリンダ２４Ｌ、２４Ｒ、幅寄せ駆動モータ４
６を制御するための制御装置をそれぞれ示す。Reference numerals 60L and 60R in FIGS. 1 and 2 denote a width-adjusting inner sensor, 62L and 62R denote a width-adjusting outer sensor, and 6
4 is a substrate leading edge sensor, 66 is a substrate trailing edge sensor, and 68 is a conveyor roller 1 based on the output signals of the sensors.
2. Air cylinders 24L, 24R, width drive motor 4.
6 shows a control device for controlling the control unit 6.
【００４５】又、図３の符号７０Ａ、７０Ｂは、基板搬
送装置１０の出側に配置され、上方（及び下方）から供
給されるフィルム（図示省略）を基板３６に熱圧着する
ためのラミネーションロールを示す。Reference numerals 70A and 70B in FIG. 3 denote lamination rolls disposed on the exit side of the substrate transfer device 10 for thermally pressing a film (not shown) supplied from above (and below) to the substrate 36. Is shown.
【００４６】次に、上記基板搬送装置１０により基板３
６を搬送して、前記ラミネーションロール７０Ａ、７０
Ｂに噛み込ませるまでの工程について説明する。Next, the substrate 3 is
6 and transport the lamination rolls 70A, 70A
The steps up to biting into B will be described.
【００４７】まず、基板３６の先端が前記幅寄せ開始セ
ンサ３４で検出されると、基板３６の幅方向両側にある
幅寄せポール１８Ｌ、１８Ｒの移動による幅寄せ動作が
始まる。First, when the leading end of the board 36 is detected by the width shifting start sensor 34, the width shifting operation by the movement of the width shifting poles 18L and 18R on both sides in the width direction of the board 36 starts.
【００４８】この幅寄せ動作の第１段目は速い動作で行
われ、幅寄せ駆動モータ４６が高速で回転することによ
って、幅寄せポール１８Ｌ、１８Ｒは高速で基板搬送面
Ｉ−Ｉの幅方向中央部に向かって左右同期して移動し、
前記幅寄せ内側センサ６０Ｌ、６０Ｒが基板３６の幅方
向両端を検出したとき停止する。この場合、基板３６の
幅方向端部は、幅寄せポール１８Ｌ、１８Ｒの一方のみ
によって押され、両方が押されることはない。The first stage of the width shifting operation is performed at a high speed, and the width shifting drive motor 46 is rotated at a high speed, so that the width shifting poles 18L and 18R are moved at a high speed in the width direction of the substrate transfer surface II. Move left and right synchronously toward the center,
When the width-adjusting inner sensors 60L and 60R detect both ends in the width direction of the substrate 36, the operation stops. In this case, the widthwise end of the substrate 36 is pushed by only one of the width shifting poles 18L and 18R, and neither is pushed.
【００４９】次に、１段目の幅寄せ速度よりも遅い速度
で、幅寄せ駆動モータ４６が回転し、左右の幅寄せポー
ル１８Ｌ、１８Ｒが遅い速度での２段目の幅寄せ動作を
行う。Next, the width shifting drive motor 46 rotates at a speed lower than the first width shifting speed, and the left and right width shifting poles 18L and 18R perform the second width shifting operation at a lower speed. .
【００５０】この動作で、幅寄せ外側センサ６２Ｌ、６
２Ｒが基板３６の幅方向両端を検出し、幅寄せポール１
８Ｌ、１８Ｒが該基板３６の左右の端部に接触した状態
で幅寄せ動作が停止される。With this operation, the width shift outer sensors 62L, 62L
2R detects both ends in the width direction of the substrate 36,
When 8L and 18R are in contact with the left and right ends of the substrate 36, the width shifting operation is stopped.
【００５１】次に、制御装置６８によって、幅寄せ駆動
モータ４６がわずかに逆転され、これにより、幅寄せポ
ール１８Ｌ、１８Ｒは、基板３６の幅方向両端からわず
かに（約１ｍｍ）離間した位置に戻される。Next, the control unit 68 slightly reverses the width-adjustment drive motor 46, so that the width-adjustment poles 18L and 18R are at positions slightly (about 1 mm) apart from both ends in the width direction of the substrate 36. Will be returned.
【００５２】この幅寄せ駆動モータ４６の逆転終了時
に、制御装置６８からの信号によって、エアシリンダ２
４Ｌ、２４Ｒが作動され、ロッド２５Ｌ、２５Ｒ、ロッ
ド押えプレート２６Ｌ、２６Ｒ、支持柱２８Ｌ、２８Ｒ
を介して支持ブロック３０Ｌ、３０Ｒが下向きに駆動さ
れ、これによって押えローラ２２Ｌ、２２Ｒが押し下げ
られて、基板３６の幅方向両端部を、下方のコンベアロ
ーラ１２との間で挟み込む。At the end of the reverse rotation of the width shifting drive motor 46, the air cylinder 2
4L and 24R are operated, and rods 25L and 25R, rod holding plates 26L and 26R, and support columns 28L and 28R.
, The support blocks 30L, 30R are driven downward, whereby the pressing rollers 22L, 22R are pushed down, and both ends in the width direction of the substrate 36 are sandwiched between the lower conveyor roller 12 and the lower side.
【００５３】次に、基板３６は、ラミネーションロール
７０Ａ、７０Ｂに向かって所定の搬送速度で搬送され、
その先端が基板先端センサ６４によって検知されると、
制御装置６８によって、搬送速度とは異なる搬入速度で
搬送され、先端がラミネーションロール７０Ａ、７０Ｂ
に噛み込まれる。Next, the substrate 36 is transported toward the lamination rolls 70A and 70B at a predetermined transport speed.
When the tip is detected by the board tip sensor 64,
The control device 68 conveys the sheet at a carry-in speed different from the carry speed, and the leading ends of the lamination rolls 70A, 70B
Is bitten.
【００５４】前記搬送速度及び装入速度での基板３６の
搬送は、押えローラ２２Ｌ、２２Ｒがコンベアローラ１
２と平行な回転中心軸廻りに回転自在であるので、エア
シリンダ２４Ｌ、２４Ｒの押し下げ力による回転抵抗は
あるものの、支障なく基板３６が搬送され、前記基板後
端センサ６６により基板３６の後端が検出されると搬送
が終了する。The transfer of the substrate 36 at the transfer speed and the charging speed is performed by the pressing rollers 22L and 22R.
2, the substrate 36 is conveyed without any trouble, although there is a rotation resistance due to the pushing force of the air cylinders 24 </ b> L and 24 </ b> R. Is detected, the transfer is terminated.
【００５５】基板３６の先端がラミネーションロール７
０Ａ、７０Ｂに噛み込まれるとき、基板後端側が持ち上
がるような荷重を受けても、又はその逆に、先端側が持
ち上がるような荷重を受けても、基板３６は押えローラ
２２Ｌ、２２Ｒによってコンベアローラ１２との間に挟
み込まれているので、ずれたりすることがない。The end of the substrate 36 is a lamination roll 7
0A and 70B, the substrate 36 receives the load that lifts the rear end of the substrate, or conversely, receives the load that lifts the front end of the substrate 36 by the pressing rollers 22L and 22R. It does not shift because it is sandwiched between
【００５６】特に、基板３６先端角部がラミネーション
ロール７０Ａ、７０Ｂに接触するとき、該基板３６が押
し戻される力を受け、このとき、押し戻し力が左右で不
均一の場合、該基板３６の幅方向センターラインが基板
搬送装置１０のセンターラインに対して傾いてしまうお
それがあるが、押えローラ２２Ｌ、２２Ｒによって基板
３６が押え込まれているので、基板３６のセンターライ
ンが傾くようなことがない。In particular, when the corner of the tip of the substrate 36 comes into contact with the lamination rolls 70A, 70B, the substrate 36 receives a force for pushing it back. Although the center line may be inclined with respect to the center line of the substrate transfer device 10, the center line of the substrate 36 is not inclined since the substrate 36 is pressed by the pressing rollers 22L and 22R.
【００５７】又、最近、基板の全面積に対して、露光に
よりパターンを形成する領域の割合が大きくなり、基板
搬送装置において、基板のフィルム張付面を押圧したり
すると、後工程での露光不良箇所が発生する恐れがある
が、この基板搬送装置においては、押えローラ２２Ｌ、
２２Ｒの幅が狭く、且つ基板３６の幅方向両端部の狭い
領域のみを押圧するので、該押えローラ２２Ｌ、２２Ｒ
の押圧によるパターン形成不良が発生することがない。In recent years, the ratio of a region in which a pattern is formed by exposure to the entire area of the substrate has increased. Although there is a possibility that a defective portion may occur, in this substrate transfer device, the pressing roller 22L,
22R, and presses only a narrow region at both ends in the width direction of the substrate 36, so that the pressing rollers 22L, 22R
There is no occurrence of pattern formation failure due to pressing.
【００５８】更に、この基板搬送装置１０においては、
幅寄せポール１８Ｌ、１８Ｒによって基板３６の幅寄せ
が終了した後、該幅寄せポール１８Ｌ、１８Ｒが基板３
６の幅方向両端からわずかに離間するように後退される
ので、幅寄せ後の基板３６搬送時に、該基板３６の幅方
向両端が幅寄せポール１８Ｌ、１８Ｒに接触することが
なく、従って、基板３６上に感光性樹脂層等の粘着性樹
脂が塗布されている場合でも、これが幅寄せポール１８
Ｌ、１８Ｒに粘着することがない。又、基板３６の幅方
向両端に付着している切断屑等が幅寄せポール１８Ｌ、
１８Ｒに付着したりすることがない。更に、幅寄せポー
ル１８Ｌ、１８Ｒとの接触により基板３６の幅方向両端
面が削られたりすることがない。Further, in the substrate transfer device 10,
After the width adjustment poles 18L and 18R complete the width adjustment of the substrate 36, the width adjustment poles 18L and 18R
6 are slightly retracted from both ends in the width direction of the substrate 36, so that when the substrate 36 is conveyed after the width is moved, both ends in the width direction of the substrate 36 do not contact the width-adjusting poles 18L and 18R. Even if an adhesive resin such as a photosensitive resin layer is applied on the
No sticking to L, 18R. In addition, cutting debris or the like adhering to both ends in the width direction of the substrate 36 may cause the width of the pole 18L,
It does not adhere to 18R. Further, both end surfaces in the width direction of the substrate 36 are not cut by the contact with the width shifting poles 18L and 18R.
【００５９】なお、上記基板搬送装置１０において、押
えローラ２２Ｌ、２２Ｒは、その下方のコンベアローラ
１２を跨ぐように配置された一対の支持柱２８Ｌ、２８
Ｒによって支持されているが、これは、１本の支持柱に
よって片持ち状に支持されるようにしてもよい。但し、
この場合は支持柱の剛性を大きくする必要がある。In the above-described substrate transfer apparatus 10, the holding rollers 22L and 22R are formed by a pair of support columns 28L and 28R which are disposed so as to straddle the conveyor roller 12 thereunder.
Although it is supported by R, it may be supported in a cantilever manner by a single support column. However,
In this case, it is necessary to increase the rigidity of the support column.
【００６０】又、上記押えローラ２２Ｌ、２２Ｒは、ウ
レタンゴムロール２３Ｂを備えたものであるが、本発明
はこれに限定されるものでなく、他の材質、例えばステ
ンレスステール等の金属製であってもよい。The pressing rollers 22L and 22R are provided with urethane rubber rolls 23B. However, the present invention is not limited to this, and may be made of another material, for example, a metal such as a stainless steel tail. Is also good.
【００６１】[0061]
【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、幅
寄せポールに基板に付着している切削屑、粘着性樹脂等
が付着することを確実に防止することができるという優
れた効果を有する。As described above, the present invention has an excellent effect that it is possible to reliably prevent cutting chips, adhesive resin and the like adhering to the substrate from adhering to the width adjusting pole. Have.
【００６２】又、基板のラミネーションロールへの噛込
時に、該基板が傾くことを確実に防止することができる
という優れた効果を有する。Also, there is an excellent effect that the substrate can be reliably prevented from tilting when the substrate is engaged with the lamination roll.
【図１】本発明に係る基板搬送装置の実施の形態の例を
示す平面図FIG. 1 is a plan view showing an example of an embodiment of a substrate transfer device according to the present invention.
【図２】図１のII−II線視図FIG. 2 is a view taken along the line II-II of FIG.
【図３】図２のIII −III 線視図FIG. 3 is a view taken along the line III-III in FIG. 2;
【図４】同基板搬送装置の要部を拡大して示す斜視図FIG. 4 is an enlarged perspective view showing a main part of the substrate transfer apparatus.
【図５】同基板搬送装置における押えローラ部分を拡大
して示す分解斜視図FIG. 5 is an exploded perspective view showing, in an enlarged manner, a pressing roller portion in the substrate transfer apparatus.
【図６】同基板搬送装置の制御系を示すブロック図FIG. 6 is a block diagram showing a control system of the substrate transfer apparatus.
Ｉ−Ｉ…基板搬送面 １０…基板搬送装置 １２…コンベアローラ １４Ｌ、１４Ｒ…幅寄せベース部材 １８Ｌ、１８Ｒ…幅寄せポール ２０…幅寄せ機構 ２２Ｌ、２２Ｒ…押えローラ ２４Ｌ、２４Ｒ…エアシリンダ ２８Ａ、２８Ｂ…支持柱 ３０Ｌ、３０Ｒ…支持ブロック ３２Ｌ、３２Ｒ…押えローラ軸 ４０…幅寄せ部材駆動用ベルト ４６…幅寄せ駆動モータ ６８…制御装置 II: Board transfer surface 10: Board transfer device 12: Conveyor rollers 14L, 14R: Width adjustment base members 18L, 18R: Width adjustment poles 20: Width adjustment mechanisms 22L, 22R: Holding rollers 24L, 24R: Air cylinders 28A, 28B: Support column 30L, 30R: Support block 32L, 32R: Press roller shaft 40: Width shifting member driving belt 46: Width shifting drive motor 68: Control device
─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成９年２月７日[Submission date] February 7, 1997
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing
【補正対象項目名】図１[Correction target item name] Fig. 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【図１】 FIG.
【手続補正２】[Procedure amendment 2]
【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing
【補正対象項目名】図２[Correction target item name] Figure 2
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【図２】 FIG. 2
【手続補正３】[Procedure amendment 3]
【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing
【補正対象項目名】図３[Correction target item name] Figure 3
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【図３】 FIG. 3
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing
【補正対象項目名】図４[Correction target item name] Fig. 4
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【図４】 FIG. 4
【手続補正５】[Procedure amendment 5]
【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing
【補正対象項目名】図５[Correction target item name] Fig. 5
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【図５】 FIG. 5
Claims (8)
のコンベアロール上面により形成されるほぼ水平の基板
搬送面に基板を載置した状態で、鉛直方向の軸線廻りに
回転自在の複数の幅寄せポールを、各コンベアローラの
間の位置で、基板搬送面の幅方向外側から内方に移動し
て基板を幅方向に押して幅寄せする工程を含む基板搬送
方法において、前記幅寄せ直後に前記幅寄せポールを該
基板の幅方向端面からわずかに離間させる工程を設けた
ことを特徴とする基板搬送方法。A plurality of conveyor rolls rotatable about a vertical axis with a substrate placed on a substantially horizontal substrate transport surface formed by a plurality of conveyor roll upper surfaces arranged at appropriate intervals in the substrate transport direction. In the board transfer method including a step of moving the width shift pole to a position between the respective conveyor rollers and moving the board inward from the width direction outer side of the substrate transfer surface and pressing the substrate in the width direction, immediately after the width shift A method of transporting a substrate, comprising a step of slightly separating the width approaching pole from an end surface in a width direction of the substrate.
間させてから、少なくとも１本の前記コンベアローラの
直上から、前記基板の幅方向両端近傍部分を、該コンベ
アローラと平行に回転自在の一対の押えローラにより押
圧する工程を設けたことを特徴とする基板搬送方法。2. The apparatus according to claim 1, wherein, after the width approaching pole is separated, a portion near both ends in the width direction of the substrate is rotatable in parallel with the conveyor roller directly above at least one of the conveyor rollers. A substrate transfer method, comprising a step of pressing with a pair of pressing rollers.
る幅寄せ後、基板の幅方向端面から該幅寄せポールを離
間する前に、少なくとも１本の前記コンベアローラの直
上から、前記基板の幅方向両端近傍部分を、該コンベア
ローラと平行に回転自在の一対の押えローラにより押圧
する工程を設けたことを特徴とする基板搬送方法。3. The board according to claim 1, wherein the width of the substrate is adjusted from immediately above at least one of the conveyor rollers before the width-adjusting pole is separated from a width-direction end surface of the substrate after the width-adjusting pole is moved. A substrate transporting method comprising a step of pressing a portion near both ends in a direction by a pair of pressing rollers rotatable in parallel with the conveyor roller.
による基板の押圧を、該基板の搬送方向先端が、次工程
における上下一対のラミネーションロール間への噛み込
みまで継続することを特徴とする基板搬送方法。4. The method according to claim 2, wherein the pressing of the substrate by the pressing roller is continued until the leading end in the transport direction of the substrate is engaged in a pair of upper and lower lamination rolls in the next step. Substrate transfer method.
上面によりほぼ水平の基板搬送面を形成する複数のコン
ベアローラと、これらコンベアローラの下側に、前記基
板搬送面の幅方向外側から幅方向中央位置に向かって進
退自在の幅寄せベース部材、及び、前記複数のコンベア
ローラ間、且つ、前記基板搬送面の高さ位置で、前記幅
寄せベース部材の上面に取り付けられ、各々が、鉛直方
向の軸に回転自在に支持された複数の幅寄せポールを含
んで構成された幅寄せ機構と、を有してなる基板搬送装
置において、 前記基板搬送面の幅方向には、前記幅寄せポールの内側
に隣接する位置で、且つ、基板搬送方向には少なくとも
１本の前記コンベアローラの直上位置で、前記幅寄せ部
材に、一定範囲で上下動自在、且つ、前記コンベアロー
ラと平行に回転自在に取り付けられた押えローラを設け
たことを特徴とする基板搬送装置。5. A plurality of conveyor rollers which are arranged at appropriate intervals in the substrate transport direction and form a substantially horizontal substrate transport surface by the upper surface thereof, and a plurality of conveyor rollers disposed below the conveyor rollers from the outside in the width direction of the substrate transport surface. A width-adjusting base member capable of moving forward and backward toward the center in the width direction, and between the plurality of conveyor rollers, and at a height position of the substrate transfer surface, each of which is attached to the upper surface of the width-adjusting base member, A width shifting mechanism including a plurality of width shifting poles rotatably supported on a vertical axis, in the width direction of the substrate transfer surface, At a position adjacent to the inside of the pole, and at a position immediately above at least one of the conveyor rollers in the substrate transport direction, the width shift member is vertically movable within a certain range, and A substrate transfer device comprising a holding roller rotatably mounted in parallel.
付けられた上下駆動装置と、この上下駆動装置により一
定範囲で上下動自在に支持され、且つ、前記押えローラ
と対向するコンベアローラの基板搬送方向両側に配置さ
れた一対の支持柱と、これら一対の支持柱の上端を連結
して配置され、前記押えローラを回転自在に支持する支
持ブロックと、を有することを特徴とする基板搬送装
置。6. A substrate of a conveyor roller according to claim 5, wherein said vertical drive device is attached to said width-shifting member, and said conveyor roller is supported by said vertical drive device so as to be movable up and down within a certain range, and faces said pressing roller. A substrate transfer device, comprising: a pair of support columns arranged on both sides in the transport direction; and a support block arranged by connecting upper ends of the pair of support columns and rotatably supporting the pressing roller. .
を基板幅方向位置調節自在としたことを特徴とする基板
搬送装置。7. The substrate transfer apparatus according to claim 5, wherein the position of the pressing roller is adjustable in the substrate width direction.
幅寄せ部材機構は、幅寄せ終了後に前記幅寄せポール
を、幅寄せした基板の幅方向端面からわずかに離間する
ように構成されたことを特徴とする基板搬送装置。8. The width-adjusting member mechanism according to claim 5, wherein the width-adjustment member mechanism is configured to slightly separate the width-adjustment pole from a width-direction end surface of the width-adjusted substrate after the end of the width-adjustment. A substrate transfer device, characterized in that:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP288297A JPH10194439A (en) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | Base conveying method and device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP288297A JPH10194439A (en) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | Base conveying method and device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10194439A true JPH10194439A (en) | 1998-07-28 |
Family
ID=11541738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP288297A Pending JPH10194439A (en) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | Base conveying method and device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10194439A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006273439A (en) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Daifuku Co Ltd | Conversion facility |
| CN107555089A (en) * | 2017-09-30 | 2018-01-09 | 无锡市光彩机械制造有限公司 | A kind of integrated shaped steel side pressure conveying device |
| CN114180258A (en) * | 2021-11-10 | 2022-03-15 | 临泉晶宫绿建节能建筑有限公司 | Assembled building board apparatus for producing |
-
1997
- 1997-01-10 JP JP288297A patent/JPH10194439A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006273439A (en) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Daifuku Co Ltd | Conversion facility |
| CN107555089A (en) * | 2017-09-30 | 2018-01-09 | 无锡市光彩机械制造有限公司 | A kind of integrated shaped steel side pressure conveying device |
| CN114180258A (en) * | 2021-11-10 | 2022-03-15 | 临泉晶宫绿建节能建筑有限公司 | Assembled building board apparatus for producing |
| CN114180258B (en) * | 2021-11-10 | 2023-08-25 | 临泉晶宫绿建节能建筑有限公司 | Assembled building board apparatus for producing |
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