JP2001062696A

JP2001062696A - 研掃方法及び装置

Info

Publication number: JP2001062696A
Application number: JP23700799A
Authority: JP
Inventors: Eiji Nakamura; 英次中村; Susumu Yamazaki; 享山崎
Original assignee: Nihon Micro Coating Co Ltd
Current assignee: Nihon Micro Coating Co Ltd
Priority date: 1999-08-24
Filing date: 1999-08-24
Publication date: 2001-03-13

Abstract

(57)【要約】【課題】液晶表示器用の液晶カラーフィルター基板、液
晶パネル基板、等の平板の両面を短時間で高度に平坦且
つ清浄に研掃できる方法及び装置を提供することであ
る。【解決手段】平板Ｐを前進Ｔさせながら、この平板の両
面に洗浄液を供給し、各硬度７０以下の一対のプレスロ
ーラ４２、５２を介してこの平板を表裏両側から挟むよ
うにこの平板の両面に研掃テープＳを押し付けるととも
にこれら研掃テープを平板の前進方向と逆方向に走行さ
せ、この平板の片側の面に押し付けた研掃テープをさら
に平板の前進方向と垂直な横方向Ｈに往復移動させて平
板の両面を同時に研掃する、研掃方法及び装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する分野】本発明は、ガラス、等の平板の表
面を研掃して、平板に付着した異物や汚れ及び平板上の
突起を除去するための方法及び装置に関し、特に、液晶
表示器用の液晶カラーフィルター基板、液晶パネル基
板、等のように高度の平坦性及び清浄性が表裏両面に要
求される平板を研掃するための方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明の解決しようとする課題】ディジ
タル表示器の一種である液晶表示器は、液晶材料を中央
にしてカラーフィルター及び透明電極を二枚のガラス基
板で挟み込んだものである。カラーフィルターは、印刷
法、等によりガラス基板表面に形成され、このカラーフ
ィルターの表面に酸化錫や酸化インジウム、等の透明導
電被膜を施して透明電極が設置される。また、表面に透
明導電被膜を直接施して透明電極を設置した二枚のガラ
ス基板（液晶パネル基板）の間に液晶材料を封入した液
晶表示器もある。

【０００３】このような液晶表示器に使用される液晶カ
ラーフィルター基板や液晶パネル基板の表面は、その製
造時に突起が形成されることがあるため、この突起の研
磨を兼ねて表面に付着した異物や汚れをクリーニングす
る研掃が行われる。

【０００４】このような研掃は、従来、ダミー板とよば
れる枠内に平板を嵌め込み、この平板の片面上にプレス
ローラを介して研磨テープを押し付けるとともにプレス
ローラを平板上で蛇行させて研掃が行われてきた（例え
ば、特開平１１−２８６５３号を参照）。

【０００５】しかし、このような従来の研掃では、平板
上に研磨テープを押し付けたまま蛇行させるので、プレ
スローラを旋回させたときに、その旋回半径の内側と外
側の旋回速度が異なるため、研掃ムラが生じ、平板を高
度に平坦且つ清浄に研掃できない、という問題がある。

【０００６】このような研掃ムラをなくすため、プレス
ローラを旋回させるときだけプレスローラを平板から離
すやり方があるが、このようなやり方では、研掃時間が
増大する、という問題が生じる。

【０００７】また、平板の一方の面を研掃した後に、こ
の平板をダミー板から外し、裏返しにしてこの平板をダ
ミー板に嵌め込み、それから平板の他方の面を研掃する
ので、このような平板の嵌め込みに手間がかかるだけで
なく、平板を片面ずつ研掃しているので、研掃に時間が
かかる、という問題がある。

【０００８】したがって、本発明の課題は、液晶表示器
用の液晶カラーフィルター基板、液晶パネル基板、等の
平板の両面を短時間で高度に平坦且つ清浄に研掃できる
方法及び装置を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、表面に高度の
平坦性及び清浄性が要求される液晶表示器用の液晶カラ
ーフィルター基板、液晶パネル基板、等の平板の表裏両
面を研掃し、平板の両面に付着した異物や汚れ、及び平
板の製造過程で形成された突起を短時間で除去するため
の研掃方法及び装置である。

【００１０】上記課題を解決する本発明の研掃方法は、
平板を前進させながら、この平板の両面に洗浄液を供給
し、この平板を表裏両側から挟むようにこの平板の両面
にそれぞれ研掃テープを押し付けるとともにこれら研掃
テープを平板の前進方向と逆方向に走行させて平板の両
面を研掃することを特徴とする。

【００１１】ここで、一方の側の面に押し付けている研
掃テープを平板の前進方向と逆方向に走行させながら、
平板の他方の側の面に押し付けている研掃テープをこの
平板の前進方向と逆方向に走行させるとともにこの平板
の前進方向と垂直な横方向に往復移動させて平板の表裏
両面を研掃してもよい。

【００１２】洗浄液には、水（又は界面活性剤を含有し
た水溶液）が使用される。洗浄液を平板の両面に供給す
ることにより、研掃が促進され、研掃テープによって除
去された異物や汚れ及び突起の平板面上への再付着やこ
れら異物や突起による平板面の傷付けが防止される。

【００１３】本発明の研掃装置は、（１）平板の表側と
裏側とに、それぞれ、対向して配列した各硬度が７０以
下の少なくとも一対のプレスローラ、（２）平板を、前
進させながら、対向して配列したこれらプレスローラの
各々の間を通過させる手段、（３）これらプレスローラ
の各々を介して研掃テープを平板の前進方向と逆方向に
走行させるための手段、（４）これら一対のプレスロー
ラの各々を介して研掃テープを平板の表裏両側から挟む
ようにして平板の両面に押し付けるための手段、及び
（５）平板の両面に洗浄液を供給するための手段、から
構成される。

【００１４】本発明の研掃装置は、一対のプレスローラ
の各々を介して一方の側の面に押し付けている研掃テー
プを平板の前進方向と逆方向に走行させながら、平板の
他方の側の面に押し付けている研掃テープをこの平板の
前進方向と逆方向に走行させるとともにこの平板の前進
方向と垂直な横方向に往復移動させるための手段、をさ
らに含む。

【００１５】平板の両面に洗浄液を供給するための手段
は、各プレスローラの表面に設けた、洗浄液供給源に連
通する複数の孔を含む。このとき、研掃テープには、プ
ラスチック繊維からなる織布テープが使用され、プレス
ローラ表面の孔から吹き出した洗浄液が織布テープを通
じて研掃テープと平板の両面との接面に供給される。

【００１６】また、平板の両面に洗浄液を供給するため
の手段は、各プレスローラの前方及び／又は後方に配列
した、洗浄液供給源に連通するノズル、をさらに含み、
洗浄液がこのノズルを通じて平板の両面に供給される。

【００１７】本発明の研掃方法及び装置に使用する研掃
テープは、プラスチック繊維からなる織布テープ、表面
に砥粒を固定した発泡ポリウレタンフィルムテープ、砥
粒を固定した研掃層をプラスチックフィルム表面に形成
したテープ、又はプラスチックフィルム表面に植毛した
プラスチック繊維からなるパイルに砥粒を固定した植毛
テープである。

【００１８】

【発明の実施の形態】＜研掃装置＞本発明の研掃装置
は、図１及び図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、平板
Ｐを矢印Ｔの方向に送るための搬送システム１０、及び
この搬送システム１０により送られる平板Ｐの両面を研
掃するための研掃ヘッド４０、５０をそれぞれ有する上
下ユニット２０、３０、から構成される。

【００１９】搬送システム１０は、水平に並置した複数
の搬送ローラ１１、電動モータ、等によりこれら搬送ロ
ーラ１１を回転させるための駆動機構１４、及び搬送ロ
ーラ１１によって送られる平板Ｐを上から押さえるため
の補助ローラ１２、から構成される。各搬送ローラ１１
には、滑りどめ用のゴム製のリング１３が取り付けられ
る。搬送ローラ１１上に載せた平板Ｐは、搬送ローラ１
１の回転により、矢印Ｔの方向に送られる。補助ローラ
１２は、プレスローラ４２、５２の間に平板Ｐが挟まれ
て研掃されるときに、平板Ｐが横方向にズレたり上下方
向に傾かないように、平板Ｐを押さえつけるためのもの
である。

【００２０】上ユニット２０は、図１及び図２（ａ）に
示すように、研掃テープＳの送出ローラ２２及び巻取ロ
ーラ２３を収容したケース２１、及び平板Ｐの表面を研
掃するための研掃ヘッド４０、から構成される。

【００２１】研掃テープＳを送り出し、巻き取るための
送出ローラ２２及び巻取ローラ２３は、それぞれ、ケー
ス２１の側面に固定した電動モータＭ１、Ｍ２によって
駆動される（図２（ａ））。

【００２２】研掃ヘッド４０は、左右側面、及びこれら
側面のそれぞれの上部を連結する左右方向に長い上面、
から構成される正面略コ字状のフレーム４１を有し、こ
のフレーム４１には、左右方向に長いプレスローラ４２
が、フレーム４１の左右側面に、軸棒４３を介して回転
可能に取り付けられる（図２（ａ））。

【００２３】この軸棒４３の符号４４で示す一端部は、
断面多角形状であり、軸棒４３の一端部４４と同形状の
開口を有する軸受け２８内に矢印Ｈの方向に移動可能に
挿入される。

【００２４】軸受け２８にはプーリー２６が固定され、
このプーリー２６はケース２１に固定した電動モータＭ
４に連結したプーリー２５とベルト２７を介して連結さ
れていおり、電動モータＭ４を駆動すると、プーリー２
５、２６とベルト２７を介して軸受け２８が回転し、軸
受け２８の開口内に挿入された軸棒４３が回転する。

【００２５】電動モータＭ１、Ｍ２、Ｍ４によって、研
掃テープＳは、ケース２１内の送出ローラ２２からケー
ス２１の底面に設けた開口（図示せず）を通過し、研掃
ヘッド４０のプレスローラ４２を介してケース２１の底
面に設けた開口（図示せず）を通過し、ケース２１内の
巻取ローラ２３へ送られる（図１の矢印ｔで示す方
向）。

【００２６】プレスローラ４２を介して走行する研掃テ
ープＳの速さやその引張具合は、これら電動モータＭ
１、Ｍ２、Ｍ４の出力を調節することによって適宜に調
節される。

【００２７】ここで、研掃テープＳには、太さ１デニー
ル以下のポリエステル、ナイロン、等のプラスチック繊
維からなる織布テープ、表面に砥粒を固定した発泡ポリ
ウレタンフィルムテープ（例えば、特開平９−５７６３
４号を参照）、砥粒を固定した研掃層をプラスチックフ
ィルム表面に形成したテープ、又はプラスチックフィル
ム表面に植毛したプラスチック繊維からなるパイルに砥
粒を固定した植毛テープ（例えば、ＰＣＴ／ＪＰ９５／
００２５３を参照）が使用される。

【００２８】フレーム４１の上面には、図２（ｂ）に示
すような左右方向に真っ直ぐに貫通する断面Ｉ字状の凹
部を形成した二つの嵌合部材４５が固定される。これら
嵌合部材４５は、ケース２１の底面に固定した図２
（ｂ）に示すような断面Ｉ字状の左右方向に長いレール
２４に貫挿され、これにより、研掃ヘッド４０が、ケー
ス２１に関して矢印Ｈで示す方向（すなわち、図１に示
す平板Ｐを送る矢印Ｔで示す方向と垂直な横方向）に移
動可能に、ケース２１に取り付けられる。

【００２９】また、フレーム４１は、ケース２１に固定
した電動モータＭ３により駆動される既知のピストン・
クランク機構４６に連結され、このピストン・クランク
機構４６を作動させることにより、研掃ヘッド４０がケ
ース２１に関して矢印Ｈで示す方向に往復移動される。

【００３０】研掃ヘッド４０のプレスローラ４２は、上
述したように、フレーム４１の左右側面に軸棒４３を介
して回転可能に取り付けられる。この軸棒４３の左右両
側には、図２（ａ）に示すように、フレーム４１が上記
のピストン・クランク機構４６の駆動により矢印Ｈで示
す方向に往復移動したとき、このフレーム４１とプレス
ローラ４２とが一体的に矢印Ｈで示す左右の方向に移動
するように、リング４７が固定されている。ここで、電
動モータＭ３、Ｍ４を駆動すると、研掃ヘッド４０が矢
印Ｈで示す方向に往復移動し、軸棒４３が回転しながら
軸受け２８の開口内を矢印Ｈの方向に移動する。

【００３１】よって、上記した各電動モータＭ１〜４を
同時に駆動することにより、プレスローラ４２を介して
研掃テープＳを平板Ｐの前進方向（矢印Ｔ）と逆方向
（矢印ｔ）に走行させながら、研掃テープＳを往復移動
（矢印Ｈ）できる。

【００３２】下ユニット３０は、上ユニット２０と同様
に、研掃テープＳの送出ローラ３２及び巻取ローラ３３
を収容したケース３１、及びこのケース３１に固定した
研掃ヘッド５０、から構成される。下ユニット３０の研
掃ヘッド５０は、ケース３１に固定されているので、上
ユニット２０の研掃ヘッド４０のように、研掃ヘッド４
０を横方向に往復移動させるための構成（ピストン・ク
ランク機構４６、軸受け２８、等）を有さず、この構成
を除けば、下ユニット３０は、上記の上ユニット２０と
上下対称の構成である。

【００３３】図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、上下
ユニット２０、３０の背面には、それぞれ、図２（ｂ）
に示すような断面Ｉ字状の凹部を形成した嵌合部材２
９、３９が固定され、これら嵌合部材２９、３９は、ハ
ウジング６０の背面に固定した上下方向に延びる断面Ｉ
字状のレール６１にそれぞれ貫挿され、上下ユニット２
０、３０が、それぞれ個別にこれらレール６１に沿って
上下移動できるようにハウジング６０の背面に取り付け
られている。

【００３４】図４に示すように、ベルト６３の一端が下
ユニット３０に固定され、このベルト６３の他端はハウ
ジング６０に固定したプーリー６２を介して支持台６６
に固定されている。支持台６６には貫通口（図示せず）
が設けられており、支持台６６は、この貫通口を通じて
上ユニット２０に固定したネジ棒Ｂを自由に挿通できる
ようになっているが、ネジ棒Ｂに螺合したナットＮによ
って上方向への移動が制限されている。

【００３５】上ユニット２０が下方向に移動すると、こ
れにともなって下ユニット３０が上方向に移動し、上下
ユニット２０、３０のそれぞれの研掃ヘッドのプレスロ
ーラ４２、５２が図４に点線７０で示す位置で接触す
る。この位置が、搬送システム１０（図１）で送られて
くる平板の位置に一致するようように、ベルト６３の長
さ、等が予め調節される。

【００３６】平板の両面に適用されるプレスローラ４
２、５２からの圧力は、上下ユニット２０、３０のそれ
ぞれに取り付けられる錘６４、６５の重さを調節した
り、プレスローラ４２、５２の間の距離を調節して行わ
れる。この圧力調節は、平板の厚さ程度の小さい範囲で
プレスローラ４２、５２の間の距離を調節して行われる
ので、この距離の微調節は、ネジ棒Ｂに螺合したナット
Ｎを回転させることによって行える。

【００３７】各プレスローラ４２、５２には、研掃テー
プＳを平板の両面に過度に押し付けて平板表面を傷つけ
ないように、硬度７０以下のゴムローラ、等が使用され
る。

【００３８】また、プレスローラ４２、５２の表面には
多数の孔（図示せず）が設けられる。この孔は、軸棒４
３、５３の内部を通じて洗浄液供給源（図示せず）へ連
通し、研掃中に、研掃テープＳと平板Ｐの両面との接面
に洗浄液を供給できるようになっており、これにより、
研掃された異物や汚れ及び突起が直ちに平板面から除去
される。このとき、研掃テープＳには、プレスローラ４
２、５２の孔から吹き出てくる洗浄液を平板の両面に一
様に供給するために、プラスチック繊維からなる織布テ
ープが使用される。

【００３９】本発明の装置は、洗浄液を平板の両面に供
給するためのノズル（図示せず）を有する。このノズル
は、プレスローラ４２、５２の各々の間を通過する前及
び／又は後にこの平板の両面に洗浄液を供給できるよう
に、平板の表裏両側のプレスローラ４２、５２の前方及
び／又は後方にそれぞれ配置される。

【００４０】＜研掃方法＞図１〜４に示す本発明に従
った研掃装置を使用して平板の両面を研掃する。

【００４１】予めプレスローラ４２、５２の間の距離を
調節し、研掃テープＳが平板Ｐの両面に所定の圧力で押
し付けられるようにする。そして、電動モータＭ１、Ｍ
２、Ｍ４を駆動して研掃テープＳを所定の速度で矢印ｔ
の方向に走行させ、搬送システム１０の駆動機構１４を
駆動する。

【００４２】平板Ｐを搬送ローラ１１上に載せ、矢印Ｔ
の方向に前進させる。平板Ｐを前進させながら、プレス
ローラ４２、５２の前方に配置したノズル（図示せず）
から平板Ｐの両面に洗浄液を供給する。

【００４３】そのまま平板Ｐを前進させながら、矢印ｔ
の方向に走行する研掃テープＳをプレスローラ４２、５
２を介して挟み込む。このとき、平板Ｐには、その前進
を妨げるように研掃テープＳが走行するが、平板Ｐは、
補助ローラ１２によって搬送ローラ１１に押し付けられ
ているので、そのまま前進し、平板Ｐが横にズレたり上
下に傾くことなく、プレスローラ４２、５２の間を通過
する。

【００４４】ここで、各プレスローラ４２、５２の孔か
ら洗浄液を吹き出し、研掃テープＳに織布テープを使用
することにより、研掃中に平板Ｐから除去した異物や汚
れ及び突起をより確実に速やかに平板Ｐから排除でき
る。

【００４５】また、平板Ｐがプレスローラ４２、５２の
間を通過するとき、ピストン・クランク機構４６（図２
（ａ））を作動し、研掃ヘッド４５を矢印Ｈの方向に往
復移動させてもよい。研掃ヘッド４５の往復移動速度
は、電動モータＭ３の出力を調節して行える。

【００４６】平板Ｐは、プレスローラ４２、５２の間を
通過しながら、プレスローラ４２、５２の後方に配列さ
れた搬送ローラ１１及び補助ローラ１２の間を通過す
る。このとき、平板Ｐには、上述のように、その前進を
妨げるように研掃テープＳが走行するが、平板Ｐは、こ
の補助ローラ１２によって搬送ローラ１１に押し付けら
れてそのまま前進し、平板Ｐが横にズレたり上下に傾く
ことなく、プレスローラ４２、５２の間を通過して出て
いく。

【００４７】このとき、プレスローラ４２、５２の後方
に配置したノズル（図示せず）から平板Ｐの両面に洗浄
液（水）を供給して、平板Ｐ上に浮いた異物や汚れ及び
突起を流し去る。

【００４８】

【発明の効果】以上、本発明の研掃方法及び装置が以上
のように構成されるので、（１）平板を搬送ローラ上に
順次載せていくだけで、自動的に平板の両面を順次研掃
できるので手間がかからず、平板の両面を同時に研掃す
るので研掃が短時間で行うことができ、（２）プレスロ
ーラの硬度が７０以下なので、研掃テープを平板面に押
し付けて走行させても平板面に傷を付けずに研掃でき、
平板の製造過程で形成された突起を研磨でき、表面に付
着した異物や汚れを拭き取ることができ、（３）平板面
に洗浄液が供給されるので、平板面から削られた突起及
び拭き取られた異物や汚れを飛散させることなく洗浄液
とともに直ちに除去できる、という効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に従った装置の右側面の略図で
ある。

【図２】図２（ａ）は、本発明に従った装置の上ユニッ
ト及び研掃ヘッドを正面からみた略図であり、図２
（ｂ）は、レールとこれに嵌挿した嵌合部材の断面図で
ある。

【図３】図３（ａ）は、本発明に従った装置の平面の略
図であり、図３（ｂ）は、本発明に従った装置の右側面
の略図である。

【図４】図４は、本発明に従った装置の上下ユニットを
それぞれ上下移動させるための手段の略図である。

【符号の説明】１０・・・搬送システム１１・・・搬送ローラ１２・・・補助ローラ１３・・・ゴム製のリング１４・・・駆動機構２０・・・上ユニット２１・・・ケース２２・・・送出ローラ２３・・・巻取ローラ２４・・・レール２５、２６・・・プーリー２７・・・ベルト２８・・・軸受け２９・・・嵌合部材３０・・・下ユニット３１・・・ケース３２・・・送出ローラ３３・・・巻取ローラ３９・・・嵌合部材４０・・・研掃ヘッド４１・・・フレーム４２・・・プレスローラ４３・・・軸棒４４・・・軸棒の一端部４５・・・嵌合部材４６・・・ピストン・クランク機構５０・・・研掃ヘッド５２・・・プレスローラ５３・・・軸棒６０・・・ハウジング６１・・・レール６２・・・プーリー６３・・・ベルト６４、６５・・・錘６６・・・支持台７０・・・上下研掃ヘッド接触位置Ｂ・・・ネジ棒Ｎ・・・ナットＰ・・・平板Ｓ・・・研掃テープＨ・・・往復移動方向Ｔ、ｔ・・・送り方向Ｍ１〜４・・・電動モータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2H088 FA18 FA21 FA30 HA01 HA12 MA20 3C058 AA05 AA09 AA11 AA12 AA14 AA16 AA18 AC04 CA01 CB03 DA02 3C063 AA03 AB07 BG01 BG08 BG22 EE01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】平板を前進させながら、この平板の両面に
洗浄液を供給し、この平板を表裏両側から挟むようにこ
の平板の両面にそれぞれ研掃テープを押し付けるととも
にこれら研掃テープを平板の前進方向と逆方向に走行さ
せて平板の両面を同時に研掃する、研掃方法。
【請求項２】前記平板の片側の面に押し付けた研掃テー
プをこの平板の前進方向と逆方向に走行させながらこの
平板の前進方向と垂直な横方向に往復移動させる、請求
項１の研掃方法。
【請求項３】前記洗浄液が、水、又は界面活性剤を含有
した水溶液、である、請求項１又は２の研掃方法。
【請求項４】前記研掃テープが、プラスチック繊維から
なる織布テープ、表面に砥粒を固定した発泡ポリウレタ
ンフィルムテープ、砥粒を固定した研掃層をプラスチッ
クフィルム表面に形成したテープ、又はプラスチックフ
ィルム表面に植毛したプラスチック繊維からなるパイル
に砥粒を固定した植毛テープである、請求項１〜３のい
ずれか１の研掃方法。
【請求項５】平板の両面を研掃するための研掃装置であ
って、（１）平板の表側と裏側とに、それぞれ、対向し
て配列した各硬度が７０以下の少なくとも一対のプレス
ローラ、（２）平板を前進させながらこれら対向して配
列したプレスローラの間を通過させる手段、（３）これ
らプレスローラの各々を介して前記研掃テープを平板の
前進方向と逆方向に走行させるための手段、（４）これ
ら一対のプレスローラの各々を介して研掃テープを平板
の表裏両側から挟むようにして平板の両面のそれぞれに
押し付けるための手段、及び（５）平板の両面に洗浄液
を供給するための手段、から成り、平板を前進させなが
ら、この平板の両面に前記洗浄液を供給し、前記一対の
プレスローラを介してこの平板を表裏両側から挟むよう
にこの平板の両面に前記研掃テープを押し付けるととも
にこれら研掃テープを平板の前進方向と逆方向に走行さ
せることによって、平板の両面が研掃される、研掃装
置。
【請求項６】前記平板の片側の面に押し付けた研掃テー
プをこの平板の前進方向と逆方向に走行させながらこの
平板の前進方向と垂直な横方向に往復移動させるための
手段、をさらに含む請求項５の研掃装置。
【請求項７】洗浄液を供給する前記手段が、前記プレス
ローラの表面に設けられた、洗浄液供給源に連通する複
数の孔、を含み、前記洗浄液がこれら孔を通じて前記プ
レスローラの表面から吹き出す、請求項５又は６の研掃
装置。
【請求項８】洗浄液を供給する前記手段が、前記プレス
ローラの前方に配列した、洗浄液供給源に連通するノズ
ル、を含み、前記洗浄液がこのノズルを通じて前記平板
の両面に供給される、請求項５〜７のいずれか１の研掃
装置。
【請求項９】洗浄液を供給する前記手段が、前記プレス
ローラの後方に配列した、洗浄液供給源に連通するノズ
ル、を含み、前記洗浄液がこのノズルを通じて前記平板
の両面に供給される、請求項５〜８のいずれか１の研掃
装置。
【請求項１０】前記洗浄液が、水、又は界面活性剤を含
有した水溶液、である、請求項５〜９のいずれか１の研
掃装置。
【請求項１１】前記研掃テープが、プラスチック繊維か
らなる織布テープであり、前記孔を通じて吹き出した前
記洗浄液が、この織布テープを通じて前記平板の両面に
供給される、請求項７の研掃装置。
【請求項１２】前記研掃テープが、プラスチック繊維か
らなる織布テープ、表面に砥粒を固定した発泡ポリウレ
タンフィルムテープ、砥粒を固定した研掃層をプラスチ
ックフィルム表面に形成したテープ、又はプラスチック
フィルム表面に植毛したプラスチック繊維からなるパイ
ルに砥粒を固定した植毛テープである、請求項５、６、
８、９又は１０の研掃装置。