JP2001054866A - 放電成形ユニット及び切削装置 - Google Patents
放電成形ユニット及び切削装置Info
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Abstract
な改造が不要で大型化せず、かつ、放電による高精度な
砥石の成形を可能にする放電成形ユニットを提供する。 【解決手段】 砥粒と該砥粒を固定する導電性の固定部
材とによって形成された円形砥石を成形する放電成形ユ
ニットであって、円形砥石との間で放電を行う放電端子
24と、放電端子24を支持する支持部22とから構成
されており、放電端子24は、円形砥石の両側部の成形
に用いる、端面の端子面積が0.1〜1.0mm2の第
一の側部成形端子25と第二の側部成形端子26とから
少なくとも構成される放電成形ユニットを提供する。
Description
石を放電により加工して適宜の形状に成形する放電成形
ユニット及びこの放電成形ユニットを搭載した切削装置
に関する。
としては、例えば、特開平4−201073号公報に開
示された機上放電ツルーイング/ドレッシング装置が知
られている。
く、機上において放電ツルーイング/ドレッシングを行
うことができるが、砥石の形状が複数種類存在する場合
には、成形しようとする砥石の最終形状に対応した形状
の電極を個別に用意しなければならないため不経済であ
り、装置が大型化する要因にもなる。また、電極の取り
替えなどの煩雑な作業が必要となって生産性が低下する
という問題もある。そこで、例えば第2601750号
特許公報に開示された方法のように、一つの電極を用い
て種々の形状の砥石を成形する方法も提案されている。
合は砥石の形状に対応して電極の傾きや位置を調整する
必要があるため、複雑な機構が必要となる。従って、こ
のような機能を有する装置を切削装置に組み込もうとす
ると、切削装置を大幅に改造しなければならない。ま
た、切削装置が大型化するという問題もある。
も常に一定方向に放電現象が起こるわけではないため、
砥石を高精度に成形できないという問題もある。
形する装置においては、切削装置に組み込む場合にも切
削装置の大幅な改造が不要で大型化せず、かつ、高精度
に成形することができるようにすることに課題を有して
いる。
の具体的手段として本発明は、砥粒と該砥粒を固定する
導電性の固定部材とによって形成された円形砥石を成形
する放電成形ユニットであって、円形砥石との間で放電
を行う放電端子と、該放電端子を支持する支持部とから
構成されており、放電端子は、円形砥石の両側部の成形
に用いる端面の端子面積が0.1〜1.0mm2の第一
の側部成形端子と第二の側部成形端子とから少なくとも
構成される放電成形ユニットを提供する。
子には、円形砥石の外周部を成形する外周部成形端子が
更に含まれること、外周部成形端子の幅は0.1〜2.
0mmであること、放電端子には、刃部の形成に用いる
刃部形成端子が含まれること、円形砥石を構成する砥粒
の粒径は10μm以下であり、導電性の固定部材はメタ
ルボンドまたは電着成形に用いるメッキ材であること、
刃部形成端子を用いてマルチブレードを成形するように
したことを付加的要件とする。
装着される回転軸を備えたスピンドルユニットと円形砥
石に切削水を供給する切削水供給ノズルとから構成され
る切削手段と、被加工物を保持するチャックテーブルと
から少なくとも構成され、チャックテーブルに隣接する
位置に、上記の放電成形ユニットが搭載された切削装置
を提供する。
方向及びZ軸方向に移動可能であり、チャックテーブル
はX軸方向に移動可能な移動テーブルに配設されてお
り、放電成形ユニットは、移動テーブルのチャックテー
ブルに隣接する位置に配設されること、円形砥石がチャ
ックテーブルの金属部に接触した際に両者が導通するこ
とにより、回転軸と円形砥石とチャックテーブルの金属
部と低電圧源とが直列に接続される回路を形成し、更に
該導通を検出する導通検出手段を接続し、導通検出手段
における導通の検出結果に基づき円形砥石の動作原点を
決定するようにしたセットアップ手段を備え、セットア
ップ手段を構成する回路によって円形砥石の切削時の動
作原点と放電端子の放電時の動作原点とが検出されるこ
と、放電成形ユニットの放電端子には、円形砥石と放電
端子との間で放電させるための高電圧源が連結されてお
り、セットアップ手段を構成する回路には電源切り替え
手段が接続され、放電端子と円形砥石との間で放電させ
る際は、電源切り替え手段を低電圧源側から高電圧源側
に切り替えること、放電成形ユニットの放電端子と円形
砥石との間で放電させる際は、放電する位置に純水が供
給されることを付加的要件とする。
よれば、構造が簡単でかつ小型であるため、切削装置に
組み込む場合にも切削装置の大幅な改造を必要としな
い。
成形端子の端面の端子面積が小さいため、放電の方向性
の精度が高くなり、細かな砥粒からなる円形砥石も高精
度に成形することができる。
きるため、切削装置に搭載した場合には、種々の切削が
可能となって切削装置の機能を向上させることができ
る。
に示す切削装置10に搭載される放電成形ユニット20
について説明する。
ーハWを切削する際は、半導体ウェーハWはチャックテ
ーブル11に吸引保持される。このチャックテーブル1
1は、X軸方向に移動可能な移動テーブル12に固定さ
れており、移動テーブル12の移動に伴ってX軸方向に
移動する。
に保持されると、移動テーブル12がX軸方向に移動す
ることにより半導体ウェーハWがアライメント手段13
の直下に位置付けられ、ここで切削すべき領域が検出さ
れる。そして更に移動テーブル12が同方向に移動する
ことにより、切削手段14の作用を受けて半導体ウェー
ハWが切削される。
ンドルハウジング15によって回転可能に支持された回
転軸16に円形砥石17が装着されたスピンドルユニッ
ト18と、円形砥石17を両側から挟むように配設され
た切削水供給ノズル19(片方は図示せず)とから構成
されており、全体としてY軸方向及びZ軸方向に移動可
能となっている。
12がX軸方向に往復移動し、切削手段14が下降して
切削水供給ノズル19から切削水を供給すると共に、円
形砥石17が半導体ウェーハWに切り込むことにより行
われる。
7の刃先の形状が摩耗により変形する場合があり、変形
が生じたままの状態で切削を続行すると、切削により形
成されたペレットの品質が低下するという問題がある。
そこで、移動テーブル12上のチャックテーブル11に
隣接する位置に放電成形ユニット20を搭載し、この放
電成形ユニット20を用いて適宜円形砥石17の刃先を
成形するようにする。
示すように、ネジ21によって移動テーブル12に固定
された支持部22と、支持部22にネジ23によって固
定された超硬合金で形成されることが好ましい放電端子
24とから構成され、移動テーブル12に取り付けるこ
とができるほど小型でかつ安価であり、切削装置の改造
も不要で、取付を簡単に行うことができる。
も第一の側部成形端子25と第二の側部成形端子26と
からなり、本実施の形態においては、更に外周部成形端
子27と刃部成形端子28とを備えている。
形端子26は、円形砥石17の両側面の放電成形に用い
る端子であり、その第一の端面25aと第二の端面26
aとは、Y軸方向において互いが離れる方向を向いてお
り、第一の端面25a及び第二の端面26aの端子面積
は、例えば0.1〜1.0mm2と非常に小さくなって
いる。
的面積の広い平面状に形成され、円形砥石17の外周部
の放電成形の際に用いる端子であり、その幅は0.1〜
2.0mmである。一方、刃部成形端子28は、先端が
0.1〜1.0mm角と比較的面積の狭い平面状に形成
され、マルチブレードの刃部を形成する際に用いる端子
である。
成形するときは、円形砥石17を回転させたままの状態
で切削手段14をY軸方向及びZ軸方向に移動させ、円
形砥石17の刃先をいずれかの端子に近づけ、その端子
と円形砥石との間で放電させる。
回転軸16に装着された円形砥石17とは電気的に導通
しており、回転軸16は導通検出手段30に接続されて
いる。この導通検出手段30は、電源切り替え手段31
を介して高電圧源32または低電圧源33の陽極に接続
されていると共に、切削手段14のY軸方向、Z軸方向
の移動を制御する制御手段34に接続されている。
ット20の放電端子24に接続されており、更に、低電
圧源33の陰極は金属部11aに接続されている。
2側に接続されていて、かつ、円形砥石17と放電端子
24との間で放電が行われているときは、円形砥石17
と回転軸16と導通検出手段30と高電圧源32と放電
端子24と金属部11aとが直列に接続された回路を構
成し、電源切り替え手段31が低電圧源33側に接続さ
れていて、かつ、円形砥石17と金属部11aとが接触
しているときは、円形砥石17と回転軸16と導通検出
手段30と低電圧源33と金属部11aとが直列に接続
された回路を構成する。そして、後者の場合は、円形砥
石17と回転軸16と導通検出手段30と低電圧源33
と金属部11aとで、切削時の切削手段の動作原点を定
めるセットアップ手段を構成する。なお、例えば、高電
圧源32の電圧は放電を行うのに充分な電圧である14
0V、低電圧源33の電圧は24Vとする。
源切り替え手段31を高電圧源32側に接続すること
で、放電端子24に備えた各端子と円形砥石17との間
に放電が生じる。このとき、導通検出手段30において
導通を検出したときの切削手段14の位置を放電成型時
の動作原点とすることができる。なお、放電の際には放
電する位置に純水を供給する。
3側に接続した場合は、円形砥石17を下降させて、図
2に示したように金属部11aに接触したときに導通検
出手段30によって導通が検出され、このときの円形砥
石17の位置を切削時の動作原点とすることができる
(セットアップ)。
粒が導電性の固定部材によって固定された砥石部40を
備えており、砥石部40の刃先は、切削の目的に応じて
種々の形状に加工されているが、摩耗により形状が変形
した場合は、成形しようとする形状に合わせてそれぞれ
の成形端子と砥石部40との間で放電させて加工を行
う。ここで、砥粒を固定する固定部材としては、メタル
ボンドを用いたり、また電着による場合はニッケル等の
メッキ材を用いたりするので、導電性を確保することが
できる。なお、成形前の円形砥石17aにおいては、図
6において便宜的な形状を用いて示すように、外周面を
外周部41、両側の面をそれぞれ左側部42、右側部4
3とする。
7(A)のような形状に成形する場合は、まず、切削手
段14をY軸方向及びZ軸方向に移動させ、図8(A)
に示すように、円形砥石17aの右側部43を第一の側
部成形端子25の第一の端面25aに対峙させる。そし
て、図4に示した導通検出手段30が導通を検出したと
きの切削手段14の位置を動作原点として制御手段34
に記憶させる。
その動作原点を基準として、制御手段34の制御の下
で、先端部を残して右側部43が一様に削られるように
切削手段14を上下動させ、放電により右側部43を成
形していく。放電時は、第一の端面の端子面積が0.1
〜1.0mm2と小さいため、従来より放電現象の方向
性の精度が高くなる。従って、細かな砥粒からなる円形
砥石も高精度に成形することができる。
れると、次に、図8(B)に示すように、円形砥石17
aの左側部42を第二の側部成形端子26の第二の端面
26aに対峙させる。そして、上記と同様に、導通検出
手段30が導通を検出したときの切削手段14の位置を
動作原点として制御手段34に記憶させ、その動作原点
を基準として、先端部を残して左側部42が一様に削ら
れるように切削手段14を上下動させる。
きは、図8(C)に示すように、外周部41を外周部成
形端子27の上方に近づけて放電が発生したときの位置
を動作原点として制御手段34に記憶させ、その動作原
点において円形砥石17aを固定し、また必要であれば
切削手段14をY軸方向に移動させて外周部41を成形
する。このようにして、図7(A)に示したような形状
の円形砥石17bが成形される。
形砥石17cを成形する場合について説明する。まず、
上記と同様にして第一の側部成形端子25との放電にお
ける動作原点を決定して制御手段34に記憶させてか
ら、その動作原点を基準として、円形砥石17aが目的
とする形状であるV字型の片方のテーパ面と同角度に移
動するように、切削手段14をY軸方向及びZ軸方向に
同時に駆動する。このような動作によって、右側部がテ
ーパ状に成形される。
6との放電における原点を決定して制御手段34に記憶
させてから、その動作原点を基準として、上記のように
して左側部42が成形された円形砥石17aが目的とす
る形状であるV字型のもう片方のテーパ面と同角度に移
動するように、切削手段14をY軸方向及びZ軸方向に
同時に駆動する。このような動作により、左側部42が
テーパ状に成形される。そして、図7(B)のような先
端がV字型に成形された円形砥石17cとなる。
成形された円形砥石17dを成形する場合について説明
する。この場合は、第二の側部成形端子26との放電に
おける動作原点を決定して制御手段34に記憶させてか
ら、その動作原点を基準として、円形砥石17aが目的
とする形状のテーパ面と同角度に移動するように、切削
手段14をY軸方向及びZ軸方向に同時に駆動する。こ
のように移動させることにより、片側が図7(C)のよ
うにテーパ状に成形された円形砥石17dとなる。
ルチブレード45を成形する際は、上記の場合に使用し
た第一の側部成形端子25、第二の側部成形端子26、
外周部成形端子27に加えて、刃部成形端子28を使用
する。
5aにおいて、刃部46を2点鎖線で示す位置から実線
で示す位置まで削り込み、刃先47、48を形成すると
きは、刃部成形端子28に刃部46を近づけ、動作原点
を制御手段34に記憶させた後、その動作原点を基準と
して切削手段14をY軸方向及びZ軸方向に移動させて
刃部46を所望の形状にする。
は、図5に示した円形砥石17aの刃先を成形する場合
と同様に、第一の側部成形端子25、第二の側部成形端
子26、外周部成形端子27用いて放電させながらY軸
方向及びZ軸方向に移動させることにより、例えば図1
0(B)、図10(C)に示すような刃先に成形するこ
とができる。
されていてもよい。この図11に示す放電成形ユニット
50においては、超硬合金で形成されることが好ましい
第一の側部成形端子51と第二の側部成形端子52とが
端面同士が対峙するように配設されており、この場合は
左側部と右側部とを同時にかつ左右対称に正確に成形す
ることができる。
ックテーブル11に隣接する位置に搭載した放電成形ユ
ニットを用いて円形ブレード17を成形できるため、切
削の途中でもすぐに成形を開始することができ、成形終
了後は切削作業を迅速に再開することができる。
ユニットを切削装置に搭載した場合について説明した
が、放電加工機自体に組み込むこともできることはもち
ろんである。
成形ユニットによれば、構造が簡単でかつ小型であるた
め、切削装置に組み込む場合にも切削装置の大幅な改造
を必要とせず、簡単に取り付けることができる。
成形端子の端面の端子面積が小さいため、放電の方向性
の精度が高くなる。従って、この放電成形ユニットを組
み込むことにより高精度な加工が可能な放電加工機を提
供することができ、また、この放電成形ユニットを切削
装置に搭載した場合には、高精度な放電加工により細か
な砥粒からなる円形砥石も高精度に成形することができ
るため、被切削物の品質が向上する。
きるため、切削装置に搭載した場合には、種々の切削が
可能となって切削装置の機能を向上させることができ、
切削装置を汎用的に使用することができるようになる。
図である。
を示す斜視図である。
示す斜視図である。
段と放電成形ユニットとの接続状態を示す説明図であ
る。
である。
る。
す正面図である。
す説明図である。
である。
して示す正面図である。
を示す斜視図である。
Claims (11)
- 【請求項1】 砥粒と該砥粒を固定する導電性の固定部
材とによって形成された円形砥石を成形する放電成形ユ
ニットであって、 該円形砥石との間で放電を行う放電端子と、該放電端子
を支持する支持部とから構成されており、 該放電端子は、該円形砥石の両側部の成形に用いる、端
面の端子面積が0.1〜1.0mm2の第一の側部成形
端子と第二の側部成形端子とから少なくとも構成される
放電成形ユニット。 - 【請求項2】 放電端子には、円形砥石の外周部を成形
する外周部成形端子が更に含まれる請求項1に記載の放
電成形ユニット。 - 【請求項3】 外周部成形端子の幅は0.1〜2.0m
mである請求項2に記載の放電成形ユニット。 - 【請求項4】 放電端子には、刃部の形成に用いる刃部
形成端子が含まれる請求項1乃至3に記載の放電成形ユ
ニット。 - 【請求項5】 円形砥石を構成する砥粒の粒径は10μ
m以下であり、導電性の固定部材はメタルボンドまたは
電着成形に用いるメッキ材である請求項1乃至4に記載
の放電成形ユニット。 - 【請求項6】 刃部形成端子を用いてマルチブレードを
成形するようにした請求項4または5に記載の放電成形
ユニット。 - 【請求項7】 円形砥石と、 該円形砥石が装着される回転軸を備えたスピンドルユニ
ットと該円形砥石に切削水を供給する切削水供給ノズル
とから構成される切削手段と、 被加工物を保持するチャックテーブルとから少なくとも
構成され、 該チャックテーブルに隣接する位置に、請求項1乃至6
に記載の放電成形ユニットが搭載された切削装置。 - 【請求項8】 切削手段はY軸方向及びZ軸方向に移動
可能であり、該チャックテーブルはX軸方向に移動可能
な移動テーブルに配設されており、 放電成形ユニットは、該移動テーブルの該チャックテー
ブルに隣接する位置に配設される請求項7に記載の切削
装置。 - 【請求項9】 円形砥石がチャックテーブルの金属部に
接触した際に両者が導通することにより、回転軸と該円
形砥石と該チャックテーブルの金属部と低電圧源とが直
列に接続される回路を形成し、更に該導通を検出する導
通検出手段を接続し、該導通検出手段における導通の検
出結果に基づき該円形砥石の動作原点を決定するように
したセットアップ手段を備え、 該セットアップ手段を構成する回路によって該円形砥石
の切削時の動作原点と放電端子の放電時の動作原点とが
検出される請求項7または8に記載の切削装置。 - 【請求項10】 放電成形ユニットの放電端子には、円
形砥石と該放電端子との間で放電させるための高電圧源
が連結されており、セットアップ手段を構成する回路に
は電源切り替え手段が接続され、該放電端子と該円形砥
石との間で放電させる際は、該電源切り替え手段を低電
圧源側から該高電圧源側に切り替える請求項9に記載の
切削装置。 - 【請求項11】 放電成形ユニットの放電端子と円形砥
石との間で放電させる際は、放電する位置に純水が供給
される請求項7乃至10に記載の切削装置。
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JP4421021B2 JP4421021B2 (ja) | 2010-02-24 |
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Family Applications (1)
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JP23244699A Expired - Lifetime JP4421021B2 (ja) | 1999-08-19 | 1999-08-19 | 放電成形ユニット及び切削装置 |
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Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002261049A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-13 | Mitsumi Electric Co Ltd | ダイシング装置及びダイシング方法 |
JP2010245167A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
US8047036B2 (en) | 2005-06-03 | 2011-11-01 | Magna International Inc. | Device and method for explosion forming |
US8250892B2 (en) | 2006-12-01 | 2012-08-28 | Cosma Engineering Europe Ag | Closure device for explosion forming |
US8252210B2 (en) | 2006-08-11 | 2012-08-28 | Cosma Engineering Europe Ag | Method and device for explosion forming |
US8322175B2 (en) | 2006-12-20 | 2012-12-04 | Cosma Engineering Europe Ag | Workpiece and method for explosion forming |
US8650921B2 (en) | 2006-08-11 | 2014-02-18 | Cosma Engineering Europe Ag | Method and device for explosion forming |
US8713982B2 (en) | 2008-01-31 | 2014-05-06 | Magna International Inc. | Device for explosive forming |
US8875553B2 (en) | 2007-02-14 | 2014-11-04 | Cosma Engineering Europe Ag | Method and mould arrangement for explosion forming |
US8939743B2 (en) | 2007-08-02 | 2015-01-27 | Cosma Engineering Europe Ag | Device for supplying a fluid for explosion forming |
US9393606B2 (en) | 2007-05-22 | 2016-07-19 | Cosma Engineering Europe Ag | Ignition device for explosive forming |
JP2016209959A (ja) * | 2015-05-08 | 2016-12-15 | 株式会社ディスコ | 角度付き切削ブレードの製造方法 |
CN106903387A (zh) * | 2017-05-05 | 2017-06-30 | 苏州三光科技股份有限公司 | 一种电极丝端部处理装置 |
-
1999
- 1999-08-19 JP JP23244699A patent/JP4421021B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002261049A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-13 | Mitsumi Electric Co Ltd | ダイシング装置及びダイシング方法 |
US8047036B2 (en) | 2005-06-03 | 2011-11-01 | Magna International Inc. | Device and method for explosion forming |
US8252210B2 (en) | 2006-08-11 | 2012-08-28 | Cosma Engineering Europe Ag | Method and device for explosion forming |
US8650921B2 (en) | 2006-08-11 | 2014-02-18 | Cosma Engineering Europe Ag | Method and device for explosion forming |
US8250892B2 (en) | 2006-12-01 | 2012-08-28 | Cosma Engineering Europe Ag | Closure device for explosion forming |
US8322175B2 (en) | 2006-12-20 | 2012-12-04 | Cosma Engineering Europe Ag | Workpiece and method for explosion forming |
US8875553B2 (en) | 2007-02-14 | 2014-11-04 | Cosma Engineering Europe Ag | Method and mould arrangement for explosion forming |
US9393606B2 (en) | 2007-05-22 | 2016-07-19 | Cosma Engineering Europe Ag | Ignition device for explosive forming |
US8939743B2 (en) | 2007-08-02 | 2015-01-27 | Cosma Engineering Europe Ag | Device for supplying a fluid for explosion forming |
US8713982B2 (en) | 2008-01-31 | 2014-05-06 | Magna International Inc. | Device for explosive forming |
JP2010245167A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP2016209959A (ja) * | 2015-05-08 | 2016-12-15 | 株式会社ディスコ | 角度付き切削ブレードの製造方法 |
CN106903387A (zh) * | 2017-05-05 | 2017-06-30 | 苏州三光科技股份有限公司 | 一种电极丝端部处理装置 |
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