JPH05277939A - 機上放電ツルーイング／ドレッシングと電解による不導体被膜とを利用した鏡面加工方法及びその装置 - Google Patents
機上放電ツルーイング／ドレッシングと電解による不導体被膜とを利用した鏡面加工方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH05277939A JPH05277939A JP10380792A JP10380792A JPH05277939A JP H05277939 A JPH05277939 A JP H05277939A JP 10380792 A JP10380792 A JP 10380792A JP 10380792 A JP10380792 A JP 10380792A JP H05277939 A JPH05277939 A JP H05277939A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 鏡面研削加工で面粗さ、平面度などの加工精
度を高精度に、かつ安定に行ない、加工精度が悪化した
場合は機上で砥石の再ツルーイングあるいはドレッシン
グを行なうことができ、ツルーイングあるいはドレッシ
ングの段取りに時間を要さず、ワークとの位置合わせを
行なう必要がない、機上放電ツルーイング／ドレッシン
グと電解による不導体被膜とを利用した鏡面研削加工方
法及びその装置を提供。 【構成】 導電性砥石１に対して放電ツルーイング／ド
レッシングを行なった後、導電性砥石１の外周部あるい
は底面に電解用電極９を対向させて取付け、電解用電極
９と機上放電ツルーイング／ドレッシングされた導電性
砥石１との間に、加工液ノズル７から両者間間隙に不導
体被膜が生成しやすい研削液をかけながら電解電源９を
用いて低電圧を印加し、電解作用により不導体被膜を前
記機上放電ツルーイング／ドレッシングされた導電性砥
石１に付着させる。
度を高精度に、かつ安定に行ない、加工精度が悪化した
場合は機上で砥石の再ツルーイングあるいはドレッシン
グを行なうことができ、ツルーイングあるいはドレッシ
ングの段取りに時間を要さず、ワークとの位置合わせを
行なう必要がない、機上放電ツルーイング／ドレッシン
グと電解による不導体被膜とを利用した鏡面研削加工方
法及びその装置を提供。 【構成】 導電性砥石１に対して放電ツルーイング／ド
レッシングを行なった後、導電性砥石１の外周部あるい
は底面に電解用電極９を対向させて取付け、電解用電極
９と機上放電ツルーイング／ドレッシングされた導電性
砥石１との間に、加工液ノズル７から両者間間隙に不導
体被膜が生成しやすい研削液をかけながら電解電源９を
用いて低電圧を印加し、電解作用により不導体被膜を前
記機上放電ツルーイング／ドレッシングされた導電性砥
石１に付着させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、機上放電ツルーイング
／ドレッシングと電解による不導体被膜とを利用した鏡
面研削加工方法及びその装置に関する。
／ドレッシングと電解による不導体被膜とを利用した鏡
面研削加工方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、機上放電ドレッシングを利用した
鏡面研削加工の方法として、特開平1─188266号公報に
開示されているように、導電性砥石に電圧を印加しドレ
ッシングを行ないながら鏡面研削加工を行なう方法が示
されている。しかしこの技術は、砥石の結合剤の種類や
ロットあるいは研削液の性質によってドレッシング状態
が違い、鏡面が得られない場合があり、加工面粗さにば
らつきがあった。また、初期ドレッシング時間がかかり
すぎるという課題もあった。他の技術として、レジンボ
ンド砥石あるいはビトリファイドボンド砥石を用いる方
法があるが、レジンボンド砥石の場合は面粗さは良い
が、平面度が悪化する問題があり、ビトリファイドボン
ド砥石の場合は鏡面が得られにくいという課題があっ
た。
鏡面研削加工の方法として、特開平1─188266号公報に
開示されているように、導電性砥石に電圧を印加しドレ
ッシングを行ないながら鏡面研削加工を行なう方法が示
されている。しかしこの技術は、砥石の結合剤の種類や
ロットあるいは研削液の性質によってドレッシング状態
が違い、鏡面が得られない場合があり、加工面粗さにば
らつきがあった。また、初期ドレッシング時間がかかり
すぎるという課題もあった。他の技術として、レジンボ
ンド砥石あるいはビトリファイドボンド砥石を用いる方
法があるが、レジンボンド砥石の場合は面粗さは良い
が、平面度が悪化する問題があり、ビトリファイドボン
ド砥石の場合は鏡面が得られにくいという課題があっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以上の説明のように、
従来、鏡面研削加工では面粗さ、平面度などの加工精度
を高精度に、かつ安定に行なう方法が無く、加工精度が
悪化した場合は砥石の再ツルーイングあるいはドレッシ
ングを行なう必要があった。そのため、ツルーイングあ
るいはドレッシングの段取りに時間がかかり、かつワー
クとの位置合わせを行なう必要がある、などの課題があ
った。
従来、鏡面研削加工では面粗さ、平面度などの加工精度
を高精度に、かつ安定に行なう方法が無く、加工精度が
悪化した場合は砥石の再ツルーイングあるいはドレッシ
ングを行なう必要があった。そのため、ツルーイングあ
るいはドレッシングの段取りに時間がかかり、かつワー
クとの位置合わせを行なう必要がある、などの課題があ
った。
【０００４】本発明の課題は、鏡面研削加工で面粗さ、
平面度などの加工精度を高精度に、かつ安定に行ない、
加工精度が悪化した場合は機上で砥石の再ツルーイング
あるいはドレッシングを行なうことができ、ツルーイン
グあるいはドレッシングの段取りに時間を要さず、ワー
クとの位置合わせを行なう必要がない、機上放電ツルー
イング／ドレッシングと電解による不導体被膜とを利用
した鏡面研削加工方法及びその装置を提供することにあ
る。
平面度などの加工精度を高精度に、かつ安定に行ない、
加工精度が悪化した場合は機上で砥石の再ツルーイング
あるいはドレッシングを行なうことができ、ツルーイン
グあるいはドレッシングの段取りに時間を要さず、ワー
クとの位置合わせを行なう必要がない、機上放電ツルー
イング／ドレッシングと電解による不導体被膜とを利用
した鏡面研削加工方法及びその装置を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、特許
請求の範囲記載の機上放電ツルーイング／ドレッシング
と電解による不導体被膜とを利用した鏡面研削加工方法
及びその装置を提供することによって上述した従来技術
の課題を解決した。
請求の範囲記載の機上放電ツルーイング／ドレッシング
と電解による不導体被膜とを利用した鏡面研削加工方法
及びその装置を提供することによって上述した従来技術
の課題を解決した。
【０００６】
【実施例】以下添付した図面に基づきこの発明を詳細に
説明する。図１の(a) は本発明放電ツルーイング／ドレ
ッシングと電解による不導体被膜とを利用した鏡面研削
加工方法をロータリ平面研削盤に適用した実施例装置の
ブロック図を示す。１は導電性のカップ型ダイヤモンド
砥石、２はその砥石１を回転させる研削機械の回転軸で
ある主軸、３は研削機械の図示しないテーブルに設置さ
れて砥石１の底面との間で放電させる放電用電極、４は
電極３を研削盤本体から絶縁する絶縁材、５は放電用電
極３または被加工物１１を回転させるワーク軸、６は砥
石１に対し一方の電圧を供給しそして放電用電極３に対
して他方の電圧の直流パルス電流を供給する高電圧放電
電源、７は砥石１と電極３の間に研削液または加工液を
噴出するための加工液ノズル、８は放電ツルーイング時
の電極追込み方向である。
説明する。図１の(a) は本発明放電ツルーイング／ドレ
ッシングと電解による不導体被膜とを利用した鏡面研削
加工方法をロータリ平面研削盤に適用した実施例装置の
ブロック図を示す。１は導電性のカップ型ダイヤモンド
砥石、２はその砥石１を回転させる研削機械の回転軸で
ある主軸、３は研削機械の図示しないテーブルに設置さ
れて砥石１の底面との間で放電させる放電用電極、４は
電極３を研削盤本体から絶縁する絶縁材、５は放電用電
極３または被加工物１１を回転させるワーク軸、６は砥
石１に対し一方の電圧を供給しそして放電用電極３に対
して他方の電圧の直流パルス電流を供給する高電圧放電
電源、７は砥石１と電極３の間に研削液または加工液を
噴出するための加工液ノズル、８は放電ツルーイング時
の電極追込み方向である。
【０００７】図１の(b) は機上放電ツルーイング／ドレ
ッシングされた導電性砥石１に、不導体被膜が生成しや
すい研削液をかけながら電解電源を用いて電圧を印加
し、電解作用により不導体被膜を前記機上放電ツルーイ
ング／ドレッシングされた導電性砥石１に付着させる装
置をロータリ平面研削盤に適用した時のの実施例を示
す。図１の(a) の導電性のカップ型ダイヤモンド砥石１
は、砥石１を回転させる研削機械の主軸２に取り付けら
れたままで、ワーク軸５から放電用電極３が絶縁材４と
共に取り外され、ワーク軸５には被加工物１１が回転さ
れるように取り付けられている。９は砥石１の底面との
間で電解させる電解用電極、１０は砥石１と電解用電極
９の間に低電圧の直流パルス電流を供給する電解電源、
１２は被加工物１１の研削加工時ののワーク切込み方向
である。
ッシングされた導電性砥石１に、不導体被膜が生成しや
すい研削液をかけながら電解電源を用いて電圧を印加
し、電解作用により不導体被膜を前記機上放電ツルーイ
ング／ドレッシングされた導電性砥石１に付着させる装
置をロータリ平面研削盤に適用した時のの実施例を示
す。図１の(a) の導電性のカップ型ダイヤモンド砥石１
は、砥石１を回転させる研削機械の主軸２に取り付けら
れたままで、ワーク軸５から放電用電極３が絶縁材４と
共に取り外され、ワーク軸５には被加工物１１が回転さ
れるように取り付けられている。９は砥石１の底面との
間で電解させる電解用電極、１０は砥石１と電解用電極
９の間に低電圧の直流パルス電流を供給する電解電源、
１２は被加工物１１の研削加工時ののワーク切込み方向
である。
【０００８】作動においてはまず、図１の(a) に示すよ
うにロータリ平面研削盤の主軸２に装着された導電性砥
石１は、研削作業のために主軸２に装着されたまま回転
され、放電電源６からマイナス電圧を受電し、電極３に
対しては放電電源６からプラスの高電圧を受電する。放
電電極３に対し、主軸２上で回転している導電性砥石１
の底面を、研削液又は加工液を加工液ノズル７から両者
間間隙に噴出させながら、両者間に放電させると、導電
性砥石１の底面は放電により数μｍ溶融され、導電性結
合部分が除去されて平坦になる。
うにロータリ平面研削盤の主軸２に装着された導電性砥
石１は、研削作業のために主軸２に装着されたまま回転
され、放電電源６からマイナス電圧を受電し、電極３に
対しては放電電源６からプラスの高電圧を受電する。放
電電極３に対し、主軸２上で回転している導電性砥石１
の底面を、研削液又は加工液を加工液ノズル７から両者
間間隙に噴出させながら、両者間に放電させると、導電
性砥石１の底面は放電により数μｍ溶融され、導電性結
合部分が除去されて平坦になる。
【０００９】導電性砥石１に対して放電ツルーイング／
ドレッシングを行なった後、図１の(b) に示すように導
電性砥石１を主軸２に取り付けられたままで、ワーク軸
５から放電用電極３が絶縁材４と共に取り外され、ワー
ク軸５には被加工物１１が回転されるように取り付けら
れる。機上放電ツルーイング／ドレッシングされた導電
性砥石１の底面に電解用電極９を対向させて取付け、電
解用電極９と機上放電ツルーイング／ドレッシングされ
た導電性砥石１との間に、加工液ノズル７から両者間間
隙に不導体被膜が生成しやすい研削液をかけながら電解
電源９を用いて低電圧を印加し、電解作用により不導体
被膜を前記機上放電ツルーイング／ドレッシングされた
導電性砥石１に付着させるようにし、導電性砥石１の底
面に不導体被膜を付着させる。さらに電解はワーク加工
時にもインプロセスで行ない、不導体被膜の厚みを常に
一定にする。
ドレッシングを行なった後、図１の(b) に示すように導
電性砥石１を主軸２に取り付けられたままで、ワーク軸
５から放電用電極３が絶縁材４と共に取り外され、ワー
ク軸５には被加工物１１が回転されるように取り付けら
れる。機上放電ツルーイング／ドレッシングされた導電
性砥石１の底面に電解用電極９を対向させて取付け、電
解用電極９と機上放電ツルーイング／ドレッシングされ
た導電性砥石１との間に、加工液ノズル７から両者間間
隙に不導体被膜が生成しやすい研削液をかけながら電解
電源９を用いて低電圧を印加し、電解作用により不導体
被膜を前記機上放電ツルーイング／ドレッシングされた
導電性砥石１に付着させるようにし、導電性砥石１の底
面に不導体被膜を付着させる。さらに電解はワーク加工
時にもインプロセスで行ない、不導体被膜の厚みを常に
一定にする。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によると、導
電性砥石のツルーイング／ドレッシングを機上放電で行
ない、機上電解は不導体被膜の生成のみに使用している
ため、機上放電・電解ツルーイングあるいはドレッシン
グの段取り時間が電解ドレッシングと比較して１／１０
以下と極めで短時間となり、砥石の結合剤の種類やロッ
トの影響も小さくなり、鏡面研削加工が高精度にかつ安
定的に行なえるようになった。これにより、鏡面研削加
工で面粗さ、平面度などの加工精度を高精度に、かつ安
定に行ない、加工精度が悪化した場合は機上で砥石の再
ツルーイングあるいはドレッシングを行なうことがで
き、ツルーイングあるいはドレッシングの段取りに時間
を要さず、ワークとの位置合わせを行なう必要がない、
機上放電ツルーイング／ドレッシングと電解による不導
体被膜とを利用した鏡面研削加工方法及びその装置を提
供するものとなった。
電性砥石のツルーイング／ドレッシングを機上放電で行
ない、機上電解は不導体被膜の生成のみに使用している
ため、機上放電・電解ツルーイングあるいはドレッシン
グの段取り時間が電解ドレッシングと比較して１／１０
以下と極めで短時間となり、砥石の結合剤の種類やロッ
トの影響も小さくなり、鏡面研削加工が高精度にかつ安
定的に行なえるようになった。これにより、鏡面研削加
工で面粗さ、平面度などの加工精度を高精度に、かつ安
定に行ない、加工精度が悪化した場合は機上で砥石の再
ツルーイングあるいはドレッシングを行なうことがで
き、ツルーイングあるいはドレッシングの段取りに時間
を要さず、ワークとの位置合わせを行なう必要がない、
機上放電ツルーイング／ドレッシングと電解による不導
体被膜とを利用した鏡面研削加工方法及びその装置を提
供するものとなった。
【図１】本発明の放電ツルーイング／ドレッシングと電
解による不導体被膜とを利用した鏡面研削加工方法をロ
ータリ平面研削盤に適用した本発明の一実施例装置のブ
ロック図で、(a) は放電ツルーイング／ドレッシングの
装置のブロック図、(b) は(a) の装置で機上放電ツルー
イング／ドレッシングされた導電性砥石に、不導体被膜
が生成しやすい研削液をかけながら電解電源を用いて電
圧を印加し、電解作用により不導体被膜を付着させる装
置のブロック図。
解による不導体被膜とを利用した鏡面研削加工方法をロ
ータリ平面研削盤に適用した本発明の一実施例装置のブ
ロック図で、(a) は放電ツルーイング／ドレッシングの
装置のブロック図、(b) は(a) の装置で機上放電ツルー
イング／ドレッシングされた導電性砥石に、不導体被膜
が生成しやすい研削液をかけながら電解電源を用いて電
圧を印加し、電解作用により不導体被膜を付着させる装
置のブロック図。
１．．導電性のカップ型ダイヤモンド砥石 ２．．回転軸である主軸 ３．．放電用電極 ５．．放電用電極または被加工物を回転させるワーク軸 ６．．高電圧の直流パルス電流を供給する放電電源 ７．．研削液または加工液を噴出するための加工液ノズ
ル ９．．電解用電極 １０．．砥石と電解用電極との間に低電圧の直流パルス
電流を供給する電解電源 １１．．被加工物
ル ９．．電解用電極 １０．．砥石と電解用電極との間に低電圧の直流パルス
電流を供給する電解電源 １１．．被加工物
Claims (2)
- 【請求項１】 研削機械の回転軸に装着された導電性薄
刃砥石を装着のまま回転し、前記導電性砥石に対し高電
圧の直流パルス放電電源から一方の電圧を供給し、前記
放電電源から前記研削機械のテーブルに設置された放電
用電極に対して他方の電圧を供給し、前記放電用電極の
面に対し前記回転する前記導電性砥石の外周部あるいは
底面を接近させながら前記放電用電極との間で両者間に
研削液又は加工液を供給しながら放電させ、前記導電性
砥石の振れ取り及び整形を行なう機上放電ツルーイング
／ドレッシングを行い、前記機上放電ツルーイング／ド
レッシングされた前記導電性砥石の前記外周部あるいは
底面に電解用電極を対向させて取付け、前記電解用電極
と前記機上放電ツルーイング／ドレッシングされた導電
性砥石との間に、不導体被膜が生成しやすい研削液をか
けながら電解電源を用いて低電圧を印加し、電解作用に
より不導体被膜を前記機上放電ツルーイング／ドレッシ
ングされた導電性砥石に付着させるようにしたことを特
徴とする機上放電ツルーイング／ドレッシングと電解に
よる不導体被膜とを利用した鏡面研削加工方法。 - 【請求項２】 研削機械の回転軸に装着された導電性砥
石と、前記研削機械のテーブルに設置された放電用電極
と、前記導電性砥石に対し一方の電圧を供給しそして前
記放電用電極に対して他方の電圧の直流パルス高圧電流
を供給する放電電源と、前記放電用電極と前記導電性砥
石との間に研削液をかける研削液ノズルと、前記放電用
電極の面に対し前記回転する前記導電性砥石の外周部あ
るいは底面を接近させながら前記放電用電極との間で放
電させて前記導電性砥石の振れ取り及び整形を行なう機
上放電ツルーイング／ドレッシングを行う放電加工装置
と、前記機上放電ツルーイング／ドレッシングされた前
記導電性砥石の前記外周部あるいは底面に対向させて取
付けた電解用電極と、前記導電性砥石に対し一方の電圧
を供給しそして前記電解用電極に対して他方の電圧を供
給する低電圧直流電解電源と、前記電解用電極と前記導
電性砥石との間に不導体被膜が生成しやすい研削液を前
記研削液ノズルからかけながら電解電源を用いて低電圧
を印加し電解作用により不導体被膜を前記機上放電ツル
ーイング／ドレッシングされた導電性砥石に付着させる
電解装置と、を有することを特徴とする機上放電ツルー
イング／ドレッシングと電解による不導体被膜とを利用
した鏡面研削加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10380792A JPH05277939A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 機上放電ツルーイング／ドレッシングと電解による不導体被膜とを利用した鏡面加工方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10380792A JPH05277939A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 機上放電ツルーイング／ドレッシングと電解による不導体被膜とを利用した鏡面加工方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05277939A true JPH05277939A (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=14363676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10380792A Withdrawn JPH05277939A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 機上放電ツルーイング／ドレッシングと電解による不導体被膜とを利用した鏡面加工方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05277939A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001246561A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-09-11 | Inst Of Physical & Chemical Res | マイクロｖ溝加工装置及び方法 |
| CN110153811A (zh) * | 2019-05-24 | 2019-08-23 | 泰安正大自动焊机有限公司 | 一种高效数控复合外圆磨床 |
-
1992
- 1992-03-31 JP JP10380792A patent/JPH05277939A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001246561A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-09-11 | Inst Of Physical & Chemical Res | マイクロｖ溝加工装置及び方法 |
| JP4558881B2 (ja) * | 2000-03-03 | 2010-10-06 | 独立行政法人理化学研究所 | マイクロｖ溝加工装置及び方法 |
| CN110153811A (zh) * | 2019-05-24 | 2019-08-23 | 泰安正大自动焊机有限公司 | 一种高效数控复合外圆磨床 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990608 |