JP2006234176A - 動圧軸受装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 量産的にスラスト軸受部の隙間の精度が得られる構造の動圧軸受装置を提供することにある。
【解決手段】 外周面と円筒状の内周面１１及びスラスト板対向面１２と保持面１３を有する軸受スリーブと円筒状外周面２を有する軸体１とが相対的に回転自在に嵌合し、且つ軸体１の一部にスラスト板２０を設け、スラスト受板２５によりスラスト隙間を形成する動圧軸受装置であって、軸受スリーブ１０のスラスト板対向面１２とスラスト板２０のスリーブ対向面２１及びスラスト受板２５の軸受面２６とスラスト板２０の受板対向面２２は各々対向配置されていて、軸受スリーブ１０のスラスト板対向面１２又はスラスト受板２５の軸受面２６又はスラスト板２０のスリーブ対向面２１と受板対向面２２の内少なくとも１つの面は、研削加工か研磨加工等の面仕上げ加工が成された面とする。
【選択図】 図２

Description

本発明は、例えばハードディスクドライブやポリゴンミラー等の回転部の軸受に用いられる動圧軸受装置に関する。

ハードディスクドライブやポリゴンミラー等に用いられるスピンドルモーターの分野に於いて、高速、高容量化の要求から、高速で高精度のスピンドルモーターが必要とされ、これに伴い動圧軸受構造を採用したスピンドルモーターが種々提案されている。その中でも、軸体に１枚のスラスト板を設け、軸体と軸体に対向する軸受スリーブの一方を固定し、一方を回転自在にしたタイプは比較的構造が簡単で小型化が容易であるため、種々の改良型が提案されている。このようなタイプでは以下に述べるように、軸受スリーブが軸体とラジアル方向の軸受部を形成すると共に、スラスト板との対向面を設けてスラスト方向の軸受部も構成し、更にスラスト板の隙間を管理する構造のタイプが多い。

例えば特許文献１では、軸受スリーブが、軸体とラジアル方向の軸受部を形成すると同時に、スラスト板に対向する面を有してスラスト軸受部を形成し、更にスラスト軸受部の隙間を管理する段差を有する構造となっている。また、軸受スリーブを基台に固定し、軸体を回転自在な構造としている。その他に、特許文献２では、軸受スリーブがラジアル軸受部、スラスト軸受部、スラスト軸受部の隙間を管理する段差を有する構造であり、軸体を固定し軸受スリーブを回転自在の構造としている。

図４は、従来の動圧軸受装置１４０を組み込んだモーター１５０を示す断面図であり、図５はその部分拡大図である。モーターハウジング１２０に軸受スリーブ１０３が固定され、軸受スリーブ１０３の下端にはスラスト受板１０５が固定され、軸体１０１の保持体を構成している。軸体１０１の下端にスラスト板１０２が固定されており、軸受スリーブ１０３及びスラスト受板１０５に対して回転自在に支持される。ここでは、軸体１０１の外周面１０７と軸受スリーブ１０３の内周面１０６がラジアル軸受部を構成し、軸体１０１の外周面１０７と軸受スリーブ１０３の内周面１０６の少なくとも一方に動圧発生溝が形成されている。

更に、スラスト板１０２の上面１０８に対向する軸受スリーブ１０３の面１１０及びスラスト板１０２の下面１０９に対向するスラスト受板１０５の軸受面１１４とがスラスト軸受部を構成し、スラスト板１０２の上面１０８と下面１０９には動圧発生溝が形成されている。また、固定部と回転部の隙間には潤滑流体が隙間の開放口１１５付近まで充填されている。以上の構造の動圧軸受装置を回転させる為に、軸体１０１にはハブ１２５を設け、ハブ１２５にはローターマグネット１２６を設け、モーターハウジング１２０にはステーター１２１を設けている。前記構成において、軸体１０１とスラスト板１０２及びハブ１２５の固定、モーターハウジング１２０と軸受スリーブ１０３、スラスト受板１０５、ステーター１２１との固定は、隙間嵌め、接着、スポット溶接等から適宜選択または組み合わせて行われている。

特開平９−１８２３６７号公報 特開平９−２９８８６０号公報

図４及び図５に示す従来の動圧軸受装置に於いて、動圧を発生する為には、ラジアル軸受部及びスラスト軸受部の隙間は一般に５μｍ付近に管理する必要がある。さらに、量産的に製品のバラツキを管理するためには各製品の軸受部の隙間が１μｍ〜２μｍ程度のバラツキ精度で管理される必要がある。ラジアル軸受部の隙間は、軸体１０１の外径と軸受スリーブ１０３の内周面１０６の内径との差だけでなく、実際には、軸体１０１の外周面１０７の表面粗さと真円度及び円筒度と、軸受スリーブ１０３の内周面１０６の表面粗さと真円度及び円筒度等の精度を含めて管理される。軸体１０１の外周面１０７及び軸受スリーブ１０３の内周面１０６は旋盤等の切削加工の他、研削加工や研磨加工による仕上げ加工をすることも可能である為、量産的にも精度を管理し易い部分である。

もう一方のスラスト軸受部の隙間についても、軸受スリーブ１０３の段差１１２とスラスト板１０２の厚み１１３の差だけでなく、実際には、スラスト板１０２の上面１０８及び下面１０９の平面度と、スラスト受板１０５の軸受面１１４の平面度、及び軸受スリーブ１０３の面１１０と面１１１の平面度等の精度を含めて管理される。その中で、スラスト板１０２の厚み１１３、その上面１０８、その下面１０９、及びスラスト受板１０５の軸受面１１４は切削加工の他、必要に応じて研削加工や研磨加工での面仕上げ加工により、部品の精度を得ることは可能である。

しかしながら、軸受スリーブ１０３の面１１０は面仕上げ加工が難しい構造となっている為、旋盤等の切削加工の精度に依存し、研削加工面や研磨加工面の平面度には到底及ばない。よって、段差１１２の加工精度も旋盤等の切削加工の精度に依存し、その量産的な部品加工精度は５μｍ程度が限界である。このような精度の軸受スリーブを用いて動圧軸受装置を組み立てた場合、スラスト軸受部の隙間の製品ばらつきは、段差１１２の精度に面１１０の平面度も影響して、５μｍ以上になってしまった。よって、量産的にスラスト軸受部の隙間を、製品ばらつきで１μｍ〜２μｍに管理することは非常に困難である。

本発明は前記課題を解決するためのものであり、その目的とするところは、量産的にスラスト軸受部の隙間の精度が得られる構造の動圧軸受装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の請求項１に記載の動圧軸受装置は、外周面と円筒状の内周面及びスラスト板対向面と保持面を有する軸受スリーブと、円筒状外周面を有する軸体と、該軸体の一部に設けられスリーブ対向面と受板対向面とを有するスラスト板と、少なくとも軸受面を有するスラスト受板とを備えた動圧軸受装置において、前記軸受スリーブの内周面と前記軸体の円筒状外周面とは相対的に回転自在に嵌合していると共に、前記軸受スリーブのスラスト板対向面と前記スラスト板のスリーブ対向面及び前記スラスト受板の軸受面と前記スラスト板の受板対向面は各々対向配置されていて、前記軸受スリーブのスラスト板対向面又は前記スラスト受板の軸受面又は前記スラスト板のスリーブ対向面と受板対向面の内少なくとも１つの面は、研削加工か研磨加工等の面仕上げ加工が成された面であることを特徴とする。

また、本発明の請求項２に記載の動圧軸受装置は、請求項１に記載の構成において、前記面仕上げ加工が施された面は、前記軸受スリーブのスラスト板対向面と前記スラスト板のスリーブ対向面であることを特徴とする。

本発明の請求項３に記載の動圧軸受装置は、請求項１又は請求項２に記載の構成において、前記面仕上げ加工が施された面は、前記スラスト板の受板対向面と前記スラスト受板
の軸受面であることを特徴とする。

本発明の請求項４に記載の動圧軸受装置は、請求項１から請求項３に記載の構成において、前記スラスト板のスリーブ対向面と受板対向面及び、前記軸受スリーブのスラスト板対向面又は前記スラスト受板の軸受面とによってスラスト軸受部の隙間を形成していることを特徴とする。

本発明の請求項５に記載の動圧軸受装置は、請求項１から請求項４に記載の構成において、前記スラスト板のスリーブ対向面と前記軸受スリーブのスラスト板対向面の少なくとも一方、又は前記スラスト板の受板対向面と前記スラスト受板の軸受面の少なくとも一方に、動圧発生溝を設けてスラスト軸受部を形成すると共に、前記軸受スリーブの内周面と前記軸体の円筒状外周面の少なくとも一方に動圧発生溝を設けてラジアル軸受部を形成し、前記スラスト軸受部と前記ラジアル軸受部に潤滑流体を封入したことを特徴とする。

本発明の請求項６に記載の動圧軸受装置は、請求項１から請求項５に記載の構成において、前記軸受スリーブのスラスト板対向面と前記スラスト受板の軸受面との間にはスラストスペーサが配設されていて、該スラストスペーサのスリーブ対応面と受板対応面も研削加工か研磨加工等の面仕上げ加工が成された面であることを特徴とする。

本発明の請求項７に記載の動圧軸受装置は、請求項６に記載の構成において、面仕上げ加工がされた前記スラストスペーサの厚さ精度は、１μｍ以下であることを特徴とする。

本発明の請求項８に記載の動圧軸受装置は、請求項６又は請求項７に記載の構成において、前記軸受スリーブのスラスト板対向面と前記スラスト受板の軸受面及び前記スラストスペーサのスリーブ対応面と受板対応面とで形成する空間に前記スラスト板を配置したことを特徴とする。

本発明の請求項９に記載の動圧軸受装置は、請求項１から請求項８に記載の構成において、前記軸体と前記スラスト板とは、別体で形成されていることを特徴とする。

本発明の請求項１０に記載の動圧軸受装置は、請求項１から請求項９に記載の構成において、前記軸受スリーブのスラスト板対向面は、その軸受スリーブの内周面から外周面までを平面にて形成されていることを特徴とする。

本発明の請求項１１に記載の動圧軸受装置は、請求項６から請求項１０に記載の構成において、前記スラストスペーサは、脆性材料で形成されていることを特徴とする。

本発明の請求項１２に記載の動圧軸受装置は、請求項１１に記載の構成において、前記スラストスペーサは、セラミックス材で形成されていることを特徴とする。

本発明の請求項１３に記載の動圧軸受装置は、請求項１から請求項１２に記載の構成において、前記軸受スリーブの保持面には、潤滑流体の飛散を防止するためのカバーが設けられていることを特徴とする。

本発明の動圧軸受装置の構造によれば、軸受スリーブのスラスト板対向面とスラスト板のスリーブ対向面及びスラスト受板の軸受面とスラスト板の受板対向面は対向配置する構成を有していて、軸受スリーブのスラスト板対向面又はスラスト受板の軸受面又はスラスト板のスリーブ対向面と受板対向面の内少なくとも１つの面は、研削加工か研磨加工等の
面仕上げ加工が成された面であるため、部品の加工精度が向上し、スラスト軸受部の隙間の製品のばらつきを小さく抑えることが可能となり、これによってアッセンブリされた動圧軸受装置の精度を大いに向上させることが出来るようになった。

また、更にスラストスペーサを有し、このスラストスペーサのスリーブ対応面及び受板対応面を研削加工か研磨加工等の面仕上げ加工が成された面と成すと共に、加工時の弾性変形が少なくまた加工中に発生する熱に対して寸法変化の小さいセラミックスを用いることにより、スラストスペーサの加工精度を更に向上させることが可能であると共に、スラスト軸受部の隙間の製品ばらつきをさらに小さく抑えることが可能となった。

本発明の最良の実施形態は、外周面と円筒状の内周面及びスラスト板対向面と保持面を有する軸受スリーブと、円筒状外周面を有する軸体と、該軸体の一部に設けられスリーブ対向面と受板対向面とを有するスラスト板と、少なくとも軸受面を有するスラスト受板とを備えた動圧軸受装置において、前記軸受スリーブの内周面と前記軸体の円筒状外周面とは相対的に回転自在に嵌合していると共に、前記軸受スリーブのスラスト板対向面と前記スラスト板のスリーブ対向面及び前記スラスト受板の軸受面と前記スラスト板の受板対向面は各々対向配置されていて、前記軸受スリーブのスラスト板対向面又は前記スラスト受板の軸受面又は前記スラスト板のスリーブ対向面と受板対向面の内少なくとも１つの面は、研削加工か研磨加工等の面仕上げ加工が成された面であるように構成したものである。
また、スラストスペーサを更に設け、このスラストスペーサのスリーブ対応面及び受板対応面を研削加工か研磨加工等の面仕上げ加工が成された面とすると共に、特にこのスラストスペーサとしてセラミックスを用いるように成したものである。

本発明の実施例を、図１と図２を用いて説明する。図１は本発明の第１実施例の動圧軸受装置７及びそれを組み込んだモーター８の断面図であり、図２はその部分拡大図である。モーターハウジング４５の内周４６に、外周面１４や円筒状の内周面１１を有する軸受スリーブ１０とスラストスペーサ３０が固定されている。即ち軸受スリーブ１０の外周面１４とスラストスペーサ３０の外周面３４とは面一に形成されている。軸受スリーブ１０の内周面１１には円筒状外周面２を有する軸体１が回転自在に嵌合されて、隙間３を形成している。軸受スリーブ１０の内周面１１もしくは軸体１の円筒状外周面２の少なくとも一方に動圧発生溝パターンを設けることにより軸受スリーブ１０の内周面１１と軸体１の円筒状外周面２との間でラジアル軸受部を形成している。

また、軸体１の下部４には軸体１の円筒状外周面２の径よりも大なる外径のスラスト板２０を設けている。スラスト板２０を軸体１にスラストスペーサ３０を介して軸受スリーブ１０とスラスト受板２５に対向するように嵌合して、スラスト板２０を回転自在にする為のスラスト軸受部の隙間を形成している。また、スラスト板２０の軸受スリーブ１０とのスリーブ対向面である上面２１と軸受スリーブ１０のスラスト板２０とのスラスト板対向面である下面１２の少なくとも一方と、スラスト板２０のスラスト受板２５との受板対向面である下面２２とスラスト受板２５のスラスト板２０との対向面である軸受面としての上面２６の少なくとも一方に動圧発生溝パターンを設けることにより、スラスト板２０と軸受スリーブ１０、スラスト受板２５との間にスラスト軸受部を形成している。

さらに、ラジアル軸受部及びスラスト軸受部には潤滑流体が封入されている。軸受スリーブ１０の保持面としての上面１３は、内周面１１から外周面１４まで平面にて形成されていて、上面１３には潤滑流体の飛散を防止するため開放口３ａの部分にカバー３５を設
け、そのカバー３５の軸体１の近傍の部分３６には、ラビリンスシール構造や磁性流体シール構造を形成することも可能である。また、上記の部分３６のところに軸受スリーブ１０の保持面である上面１３とカバー部材３５との間には空間３７が形成されている。軸体１はかばー３５より上方に突出している。尚、モーターの回転機構については、先に図４を用いて説明した従来技術の一般的な構成であるので、ここでは説明を省略する。

次に、軸受部の隙間管理について説明する。ラジアル軸受部の隙間管理は従来と同様であるので省略し、ここでは、本発明の特徴であるスラスト軸受部の隙間管理について説明する。スラスト軸受部の隙間は、スラスト板２０の厚み２３とスラストスペーサ３０の厚み３３との差だけでなく、実際には、スラスト板２０の上面（スリーブ対向面）２１と下面（受板対向面）２２との平行度及びそれぞれの平面度、スラスト受板２５の上面（軸受面）２６の平面度、及び軸受スリーブ１０の下面（スラスト板対向面）１２の平面度、スラストスペーサ３０の軸受スリーブ１０側の面であるスリーブ対応面としての上面３１とスラスト受板２５側の面である受板対応面としての下面３２との平行度及びそれぞれの平面度等の精度を含めて管理される。

従来と同様に、スラスト板２０の厚み２３、その上面（スリーブ対向面）２１、その下面（受板対向面）２２、及びスラスト受板２５の上面（軸受面）２６は切削加工の他、必要に応じて研削加工や研磨加工での面仕上げ加工により、部品の精度を得ることが可能であるが、さらに、本発明では、従来の軸受スリーブに設けた段差構造を無くし、隙間管理の為にスラストスペーサ３０を設けたことにより、軸受スリーブ１０の下面（スラスト板対向面）１２、スラストスペーサ３０の上面（スリーブ対応面）３１と下面（受板対応面）３２の面はいずれも内周面から外周面３４まで平面に形成されているので、研削加工や研磨加工での面仕上げ加工が可能である。よって、スラスト軸受部の隙間の管理に関わるすべての部材表面に面仕上げ加工が可能な構造となっている。これによって、アッセンブリされた動圧軸受装置の精度を大いに向上させることが出来る。

動圧軸受装置７を構成する各部品には、金属及び合金、セラミックス、ガラス、プラスチック等から適宜選択して用いることが可能であるが、研削加工や研磨加工によって寸法精度を得る部分には、加工時の弾性変形が少なく、且つ加工中に発生する熱に対して寸法変化の小さい材質が好ましく、その材料としてはセラミックスやガラス等の脆性材料が挙げられる。その中でも、強度が高いセラミックスを用いることはさらに好ましい。セラミックスの材質としては、アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素等を用いることが可能である。しかしながら、全ての部材にセラミックスを用いることはコストアップにつながる為、その中でも軸受スリーブ１０及びスラストスペーサ３０にセラミックスを用いて面仕上げ加工を施せば、従来の軸受スリーブ１０３と比較して格段に寸法精度が向上する。

さらに、その中でも特に、スラストスペーサ３０にセラミックスを用いることは最も効果が大きく、このことはその厚み３３の加工精度が、従来の軸受スリーブ１０３の段差１１２の切削加工精度と比較される部分であることから明らかである。具体的には、段差１１２の切削加工精度は量産的に５μｍが限界であるが、セラミックス製のスラストスペーサ３０の上面（スリーブ対応面）３１及び下面（受板対応面）３２に研磨加工を行った場合は、その厚み３３の寸法精度は量産的にも１μｍ以下に管理可能である。

本発明の動圧軸受装置７を組み立てて、スラスト軸受部の隙間の製品ばらつきを測定した。尚、スラスト軸受部の隙間とは、単にスラストスペーサ３０の厚み３３とスラスト板２０の厚み２３との差ではなく、前述の様に、スラスト軸受部の隙間を構成する部材の表面の影響を受けるので、スラスト板が実際に上下に可動な範囲をスラスト軸受部の隙間とした。その測定は、軸体１に嵌合したスラスト板２０をスラスト受板２５の上面（軸受面
）２６に押しつけた場合と、軸受スリーブ１０の下面（スラスト板対向面）１２に押しつけた場合との、軸体１の面６の高さの差を測定して求めた。スラスト軸受部の隙間の設計値は１０．０μｍとした。

はじめに、軸受スリーブ１０、スラスト受板２５、スラスト板２０、スラストスペーサ３０にはステンレスを用いて、軸受スリーブ１０の下面（スラスト板対向面）１２、スラスト受板２５の上面（軸受面）２６、スラスト板２０の上面（スリーブ対向面）２１と下面（受板対向面）２２、スラストスペーサ３０の上面（スリーブ対応面）３１と下面（受板対応面）３２に研磨加工を行い、スラストスペーサ３０の厚み３３の最大最小範囲を１μｍ以下で使用して、本発明の動圧軸受装置７を２０台組み立てた。スラスト軸受部の隙間を測定したところ平均値１０．５μｍ、標準偏差０．８μｍであった。次に、スラストスペーサ３０にセラミックスを用いて、その厚み３３の最大最小範囲を０．５μｍ以下に管理して、本発明の動圧軸受装置７を２０台組み立てた。スラスト軸受部の隙間を測定したところ平均値１０．１μｍ、標準偏差０．３μｍであった。

以上、本発明の第１実施例のように、軸受スリーブ１０とスラストスペーサ３０とを組み合わせて用いる方が、従来構造の軸受スリーブ１０３よりも、各部品の構造が単純化される為、軸受スリーブ１０の下面（スラスト板対向面）１２、スラストスペーサ３０の上面（スリーブ対応面）３１、下面（受板対応面）３２への研削加工や研磨加工といった面仕上げの加工が可能になり、スラスト軸受部の隙間の各製品のばらつきを格段に小さくすることが可能となった。また、スラストスペーサにセラミックスを用いて、スラストスペーサの厚み精度を高めると、組立後のスラスト軸受部の隙間ばらつきも、より小さくすることが可能である。

図３は本発明の第２実施例の動圧軸受装置５７及び、それを組み込んだモーター５８の断面図である。第１実施例は軸が回転するタイプであるが、第２実施例は軸受スリーブが回転するタイプである。軸受スリーブの従来の段差構造を無くして、スラストスペーサを用いた特徴は第１実施例と同様であり、スラスト軸受部の隙間のばらつき範囲は第１実施例と同様の精度が得られる為、以下は動圧軸受装置５７の構造のみを説明する。モーターハウジング９５に、軸体５０が固定されている。軸体５０の外周には隙間５２を形成して、軸受スリーブ６０が回転自在に嵌合されており、軸受スリーブ６０の外周にはハブ９０が固定されている。

さらに、軸体５０にはその径よりも大なる外径のスラスト板７０を設けている。スラスト板７０を軸体５０にスラストスペーサ８０を介して軸受スリーブ６０とスラスト受板７５に対向するように嵌合し、スラスト板７０に対して回転自在にする為のスラスト軸受部の隙間を形成している。軸受スリーブ６０の内周面６１もしくは軸体５０の円筒状外周面５１の少なくとも一方に動圧発生溝パターンを設けることにより軸受スリーブ６０の内周面６１と軸体５０の円筒状外周面５１との間でラジアル軸受部を形成している。

また、スラスト板７０の軸受スリーブ６０に対向する面であるスリーブ対向面としての下面７１と軸受スリーブ６０のスラスト板７０に対向する面であるスラスト板対向面としての上面６２との少なくとも一方と、スラスト板７０のスラスト受板７５に対向する面である受板対向面としての上面７２とスラスト受板７５のスラスト板７０に対向する面である軸受面としての下面７６の少なくとも一方に動圧発生溝パターンを設けることにより、スラスト板７０と軸受スリーブ６０及びスラスト受板７５との間にスラスト軸受部を形成している。また、ラジアル軸受部及びスラスト軸受部には潤滑流体が封入されている。軸受スリーブ６０の保持面としての下面６３には、潤滑流体の飛散を防止するた
めのカバー８５を設けている。モーターの回転機構については、先に図４を用いて説明した従来技術と同様に一般的な構成を応用することが可能である。

本発明の第１実施例で、動圧軸受装置を組み込んだモーターを示す模式断面図。 図１に示す本発明の動圧軸受装置を組み込んだモーターを示す模式断面図の部分拡大図。 本発明の第２実施例で、動圧軸受装置を組み込んだモーターを示す模式断面図。 従来の動圧軸受装置を組み込んだモーターを示す模式断面図。 従来の動圧軸受装置を組み込んだモーターを示す模式断面図の部分拡大図。

符号の説明

１、５０ 軸体
２、５１ 外周面
３、５２ 隙間
３ａ 開放口
４ 下部
６ 面
７、５７ 動圧軸受装置
８、５８ モーター
１０、６０ 軸受スリーブ
１１、６１ 内周面
１２、２２、３２、６３、７１、７６ 下面
１３、２１、２６、３１、６２、７２ 上面
１４ 外周面
２０、７０ スラスト板
２３、３３ 厚み
２５、７５ スラスト受板
３０、８０ スラストスペーサ
３５、８５ カバー
３６ 部分
３７ 空間
４５、９５ モーターハウジング
４６ 内周
９０ ハブ

Claims (13)

1. 外周面と円筒状の内周面及びスラスト板対向面と保持面を有する軸受スリーブと、円筒状外周面を有する軸体と、該軸体の一部に設けられスリーブ対向面と受板対向面とを有するスラスト板と、少なくとも軸受面を有するスラスト受板と、を備えた動圧軸受装置において、
   前記軸受スリーブの内周面と前記軸体の円筒状外周面とは相対的に回転自在に嵌合していると共に、前記軸受スリーブのスラスト板対向面と前記スラスト板のスリーブ対向面及び前記スラスト受板の軸受面と前記スラスト板の受板対向面は各々対向配置されていて、前記軸受スリーブのスラスト板対向面又は前記スラスト受板の軸受面又は前記スラスト板のスリーブ対向面と受板対向面の内少なくとも１つの面は、研削加工か研磨加工等の面仕上げ加工が成された面であることを特徴とする動圧軸受装置。
2. 前記面仕上げ加工が施された面は、前記軸受スリーブのスラスト板対向面と前記スラスト板のスリーブ対向面であることを特徴とする請求項１に記載の動圧軸受装置。
3. 前記面仕上げ加工が施された面は、前記スラスト板の受板対向面と前記スラスト受板の軸受面であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の動圧軸受装置。
4. 前記スラスト板のスリーブ対向面と受板対向面及び、前記軸受スリーブのスラスト板対向面又は前記スラスト受板の軸受面とによってスラスト軸受部の隙間を形成していることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１に記載の動圧軸受装置。
5. 前記スラスト板のスリーブ対向面と前記軸受スリーブのスラスト板対向面の少なくとも一方、又は前記スラスト板の受板対向面と前記スラスト受板の軸受面の少なくとも一方に、動圧発生溝を設けてスラスト軸受部を形成すると共に、前記軸受スリーブの内周面と前記軸体の円筒状外周面の少なくとも一方に動圧発生溝を設けてラジアル軸受部を形成し、前記スラスト軸受部と前記ラジアル軸受部に潤滑流体を封入したことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１に記載の動圧軸受装置。
6. 前記軸受スリーブのスラスト板対向面と前記スラスト受板の軸受面との間にはスラストスペーサが配設されていて、該スラストスペーサのスリーブ対応面と受板対応面も研削加工か研磨加工等の面仕上げ加工が成された面であることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１に記載の動圧軸受装置。
7. 面仕上げ加工がされた前記スラストスペーサの厚さ精度は、１μｍ以下であることを特徴とする請求項６に記載の動圧軸受装置。
8. 前記軸受スリーブのスラスト板対向面と前記スラスト受板の軸受面及び前記スラストスペーサのスリーブ対応面と受板対応面とで形成する空間に前記スラスト板を配置したことを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の動圧軸受装置。
9. 前記軸体と前記スラスト板とは、別体で形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１に記載の動圧軸受装置。
10. 前記軸受スリーブのスラスト板対向面は、その軸受スリーブの内周面から外周面までを平面にて形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１に記載の動圧軸受装置。
11. 前記スラストスペーサは、脆性材料で形成されていることを特徴とする請求項６乃至請
    求項１０のいずれか１に記載の動圧軸受装置。
12. 前記スラストスペーサは、セラミックス材で形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の動圧軸受装置。
13. 前記軸受スリーブの保持面には、潤滑流体の飛散を防止するためのカバーが設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項１２のいずれか１に記載の動圧軸受装置。

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